JP3399004B2 - 撥水撥油性熱線遮蔽ガラス - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、耐久性に優れた撥水撥
油性を有する熱線遮蔽ガラスに関する。

【０００２】

【従来の技術】熱線遮蔽ガラスとして、透明ガラス基板
上にいわゆる熱分解溶液スプレー法で酸化チタンを被覆
したもの、酸化コバルト、酸化鉄及び酸化クロムの混合
物を形成したもの（いずれも日本板硝子社製商品名レフ
ライト（登録商標、以下省略））や、透明ガラス基板上
にスパッタリング法で窒化チタンのような金属窒化膜
を、ステンレス膜のような金属膜を、あるいは金属窒化
膜、金属膜および金属酸化膜等を積層したもの（日本板
硝子社製商品名レフシャイン（登録商標、以下省略））
が広く用いられてきている。

【０００３】 一方、表面に撥水撥油性を与えた物品とし
ては、ポリテトラフルオロエチレンを被覆したテフロン
（デュポン社商品名）がよく知られている。テフロンの
コーティングを行うには、通常５０〜６０％の固体を含
む水中分散液を作り、金属やセラミックスの表面に塗っ
てから乾燥させ、次いで約３５０℃に加熱する方法がと
られている。

【０００４】 最近では、表面にポリシロキサンを主成分
とするシリコーンオイルを塗布することが、自動車用の
ガラスや衣服の撥水撥油処理として利用され始めてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の熱線遮蔽ガ
ラスのうち、金属酸化物被膜を溶液スプレー法で形成し
たもの（レフライト）は、被膜が金属酸化物膜であるた
め化学的耐久性に優れ、また、被膜を高温時のガラスリ
ボンに形成するため機械的耐久性にも優れているという
長所がある。従って、被膜を外部環境に曝して使用する
こと、すなわち窓ガラスとして用いる場合、被膜を室外
側にして用いることが可能である。

【０００６】 しかしながら、金属酸化物被膜は水分との
親和性が高いので、水に濡れ易く、その水分の乾燥過程
で固形物が汚れとして凝着してしまうという欠点がある
ため、表面を清浄に保つには定期的な清掃が必要であ
る。汚れが目だつのを避けたい場合には、被膜を室内側
にして用いなければならなかった。

【０００７】 しかし、もともと単層の金属酸化物被膜で
あるため、熱線遮蔽性が十分ではないのに、被膜を室内
側にすると、さらに熱線遮蔽性能が低下し、また意匠的
にも室外側の反射率が低下するため、美しいミラー効果
が損なわれるという不利益があった。

【０００８】 一方、透明ガラス基板上にスパッタリング
法で窒化チタンのような金属窒化膜、ステンレス膜のよ
うな金属膜を、あるいはこれら金属窒化膜、金属膜、お
よび金属酸化膜等を積層して形成した熱線遮蔽ガラス
（レフシャイン）は、熱線遮蔽性に優れているので、省
エネルギーの観点から広く普及し始めている。

【０００９】 しかし、化学的、機械的耐久性が十分では
ないので、窓ガラスとして利用する場合、被膜面を室内
側にして使用するという制約がある。従って、被膜が外
部環境にむきだしにならないので、水分に起因する汚れ
の問題はレフライトほど重要ではない。

【００１０】 しかし、逆に室内環境に起因する汚れ、例
えば指紋等の油汚れが目だつという問題がある。これ
は、反射率の高い高性能熱線遮蔽ガラスであるため、そ
のような油汚れが付着した部分（反射率が変化する）と
周囲との反射率の差が顕著になって、目だちやすくなる
ものである。

【００１１】 次に、このような汚れを防止するための手
段としての、従来の撥水撥油処理のうち、テフロンコー
ティングは潤滑性に優れるという特性を利用して、フラ
イパンや電子ジャーの内面の撥水撥油処理として応用さ
れているが、ガラスとの付着力が十分でないので、ガラ
スの表面処理として有効に利用することができない。ま
た、表面が機械的に傷つきやすいという問題点もある。

【００１２】 シリコーンオイルのコーティングは、後処
理として手軽に用いることができる利点があるが、耐久
性が十分でないので撥水撥油性の効果が持続しないとい
う重大な問題点があった。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記従来の問
題点を解決するためになされたものであって、透明ガラ
ス基板上に熱線遮蔽性被膜が形成され、前記熱線遮蔽性
被膜の上に、炭化物を主成分とする被膜が形成された熱
線遮蔽ガラスであって、前記炭化物を主成分とする被膜
の少なくともその表面がプラズマ処理によりフッ素化さ
れている撥水撥油性熱線遮蔽ガラスである。

【００１４】 本発明に用いられる熱線遮蔽性被膜として
は、前記レフライトを製造するのに用いられる、熱分解
溶液スプレー法で形成した酸化チタン被膜や、酸化コバ
ルト、酸化鉄及び酸化クロムの混合物からなる被膜、前
記レフシャインを製造するのに用いられる、スパッタリ
ング法で成膜された金属膜、金属窒化膜、金属酸窒化
膜、金属酸化膜の一種または二種以上からなる積層膜
が、実用性があるものとして挙げることができる。

【００１５】 しかし、熱線遮蔽性被膜としては、これら
に限定されるわけではなく、高屈折率透明誘電体膜と低
屈折率透明誘電体膜を交互に形成した干渉フィルタータ
イプや、ＩＴＯ膜のような透明導電性膜の熱線遮蔽性能
を利用したものであってもよい。

【００１６】 熱線遮蔽性被膜の上に設けられる炭化物を
主成分とした被膜としては、耐久性に優れたＳｉＣ，Ｔ
ｉＣ，Ｃｒ_３Ｃ_２，ＺｒＣ，ＮｂＣ，ＴａＣ，ＷＣのう
ちのいずれか一種もしくは二種以上を主成分としたもの
を例示することができる。これらの炭化物膜はいずれも
優れた化学的、機械的耐久性を有しており、かつ容易に
プラズマによるフッ素化処理（Ｃ−Ｆ結合の生成）を行
うことができる。最上層の膜がこれらの炭化物の膜であ
って、その表面がフッ素化されている。

【００１７】 最上層の膜の表面にＣ−Ｆ結合を生成する
ことにより、水や炭化水素（油分）よりも小さな表面エ
ネルギーの表面とすることができ、水分や油分をはじく
ことが可能になる。

【００１８】 そして、この最上層の膜は、例えば、下層
の熱線遮蔽性被膜との付着力を増したり、耐久性を向上
させたり、熱線遮蔽性を高めたり、色調を調整する目的
で、部分的に酸化して用いてもよく、金属や窒化物が副
成分として混合されていてもよい。

【００１９】 また、最上層の膜の厚みとしては、５〜１
００ｎｍ、さらに１０〜５０ｎｍが望ましい。膜厚が５
ｎｍより薄いと、フッ素化された撥水撥油性の表面が摩
耗等によって消滅してしまう可能性が高くなり、また膜
厚を１００ｎｍ以上にしても撥水撥油性の効果が向上せ
ず、かえって膜剥がれ等の問題が生じることになる。

【００２０】 最上層の膜を、５〜１００ｎｍの範囲で適
当な厚みとすることにより、熱線遮蔽性能を向上させる
ことも可能になる。このことは、前記したレフライトを
熱線遮蔽性被膜として用いる場合に、とりわけ効果的で
ある。すなわち、レフライトに撥水撥油機能を付与する
だけでなく、熱線遮蔽性能を前記したレフシャイン並に
高めることもできる。

【００２１】 加えて、前記レフシャインを熱線遮蔽性被
膜として利用する場合には、炭化物膜の種類と厚みを適
当に選択することにより、色調のバリエーションを増や
しながら、撥水撥油性能を付与することができるという
利点を生む。

【００２２】 本発明にかかる熱線遮蔽性被膜を、熱分解
溶液スプレー法で被覆される酸化チタンの被膜や、酸化
コバルトを含む被膜とするときは、フロート法板ガラス
製造工程の製板用フロートバスを通過してきた約５００
〜６５０℃の高温のガラス板に、熱分解して酸化物被膜
になる有機金属塩を含む溶液をスプレーする方法で形成
することができる。

【００２３】 その後熱線遮蔽性被膜を被覆したガラスを
真空槽に導入し、該真空槽内でカーバイドを主成分とし
た被膜をスパッタリング法で形成し、その後カーバイド
を主成分とした被膜の表面を、フッ素化カーボンを含有
するプラズマ中にさらしてフッ素化することにより、撥
水撥油性熱線遮蔽ガラスとすることができる。

【００２４】 高温ガラスリボンに、溶液スプレー法で酸
化チタン被膜もしくは酸化コバルト、酸化鉄及び酸化ク
ロムの混合物からなる被膜を形成するのは、熱線反射ガ
ラスの製造方法として、既に実用化されているプロセス
である。酸化チタン被膜の膜厚が５０ｎｍ程度のもの
は、日本板硝子社製商品名レフライトＳに相当するシル
バー色熱線反射ガラスであるので、これをそのまま用い
ることができる。

【００２５】 また、酸化コバルト、酸化鉄及び酸化クロ
ムの混合物の被膜の膜厚が５０ｎｍ程度のものは、日本
板硝子社製商品名レフライトブロンズに相当するブロン
ズ色熱線反射ガラスであるので、やはり、これをそのま
ま用いることができる。

【００２６】 該酸化チタン被膜もしくは該酸化コバル
ト、酸化鉄及び酸化クロム被膜の上に形成する炭化物膜
としては、ＳｉＣ，ＴｉＣ，Ｃｒ_３Ｃ_２，ＺｒＣ，Ｎｂ
Ｃ，ＴａＣ，ＷＣのうちのいずれか一種もしくは二種以
上を主成分とするものが望ましい。これらの炭化物膜は
いずれも優れた化学的、機械的耐久性を有しており、か
つ容易にプラズマでフッ素化（Ｃ−Ｆ結合の生成）する
ことが可能である。

【００２７】 表面のフッ素化は、フッ素化カーボンを含
有するプラズマ中にさらすことによって行うことがで
き、該フッ素化カーボンとしては、ＣＦ_４もしくはＣＦ
_４と酸素の混合ガスのいずれかを用いることにより、最
も効果的にフッ素化を行うことができる。水素化フッ素
化カーボン、例えばＣＨＦ_３を用いてもフッ素化した表
面を得ることができる。

【００２８】 該フッ素化カーボンを含有するプラズマに
よる表面のフッ素化は、公知のプラズマ処理装置である
平行平板型反応性イオンエッチング装置（ＲＩＥ）や、
円筒型プラズマエッチング装置（ＰＲ）を用いて、フッ
素化カーボンを含有する減圧条件で、高周波電力を印加
して発生させるグロー放電プラズマにさらすことによっ
て容易に行うことができる。

【００２９】 ＰＲ装置を用いる場合、膜のエッチングよ
りもフッ素化を支配的に行うためには、エッチトンネル
を取り付けてイオンによるエッチングを除外するのが効
果的である。

【００３０】 本発明にかかる熱線遮蔽性の被膜として、
スパッタリングにより形成した金属膜、金属窒化膜、金
属酸窒化膜、金属酸化膜の群から選ばれた一種からなる
単層膜または二種以上からなる積層膜を用いることがで
きる。

【００３１】 かかる熱線遮蔽性の被膜としては、それ自
体で熱線遮断能を有する窒化チタン膜、酸窒化チタン
膜、窒化クロム膜、酸窒化クロム膜、ステンレス膜の単
層の膜が例示できる。また、前記熱線遮断能を有する単
層膜のガラス基板側またはガラス基板とは反対側に、前
記熱線遮断能を有する膜と接して二酸化チタン膜または
二酸化錫膜を設けたものも、本発明の熱線遮蔽性の被膜
として用いることができる。

【００３２】 また、前記熱線遮断能を有する単層膜のガ
ラス基板側およびガラス基板とは反対側に、前記熱線遮
断能を有する膜と接して二酸化チタン膜または二酸化錫
膜を設けたものも、本発明の熱線遮蔽性の被膜として用
いることができる。

【００３３】 本発明にかかる熱線遮蔽性の被膜は、公知
のスパッタリング法で形成することができ、金属窒化物
の膜は、窒素を含む雰囲気中で、金属酸窒化物の膜は窒
素と酸素とを含む雰囲気中で、その金属をターゲットと
するスパッタリング法により形成できる。

【００３４】 前記二酸化チタン膜または二酸化錫膜は、
熱線遮蔽性の被膜の光学特性を調整するのに用いられ
る。

【００３５】 窒化チタンの単層膜を２０〜１００ｎｍの
膜厚で形成したものは、日本板硝子社製高性能熱線反射
ガラスであるレフシャインＴシリーズとして製造されて
いるので、これをそのまま用いることができる。

【００３６】 また、約５〜２０ｎｍのステンレス膜と約
３０ｎｍの窒化チタン膜を、ガラス基板上にこの順序で
形成したものも、日本板硝子社製高性能熱線反射ガラス
であるレフシャインＳシリーズとして製造されているの
で、これをそのまま用いることができる。

【００３７】

【作用】本発明にかかる熱線遮蔽性の被膜は、耐摩耗性
が優れた炭化物膜で保護され、さらにその表面はプラズ
マ処理により強固にフッ素が結合されて、表面エネルギ
ーが小さくなっているので、撥水撥油性および耐摩耗性
の耐久度が大きい熱線遮蔽ガラスとすることができる。

【００３８】

【実施例】以下に、実施例によりさらに詳細に説明す
る。

【００３９】（ 実施例１） フロートガラス製造設備の製板用フロートバス出口で、
約６００℃のガラスリボンに金属チタンのキレート化合
物を含む有機溶液をスプレーで吹き付けて（溶液スプレ
ー法）、約５０ｎｍの厚みの酸化チタン被膜を、６ｍｍ
厚みのフロート板ガラス上に形成した（日本板硝子社商
品名レフライトシルバー：可視光線透過率６１．８％、
可視光線反射率３３．２％、日射光線透過率６３．４
％）。

【００４０】 この被膜表面を清浄にした後、炭化タンタ
ルをターゲットとして設置した直流スパッタ装置内にセ
ットし、５×１０^−４Ｐａまで排気した。そして、アル
ゴンガスを１００ｓｃｃｍの流量で導入し、装置内の圧
力を０．２Ｐａとした後、２Ａの電流をターゲットに印
加し、ガラス基板を所定の速度でターゲット上方を通過
させることにより、酸化チタン被膜の上に約２０ｎｍの
厚みの炭化タンタル被膜を形成した。

【００４１】 その後、このガラス基板をエッチトンネル
付円筒型プラズマエッチング装置内にセットし、６Ｐａ
まで排気後、ＣＦ_４ガスを７０Ｐａまで導入し、ＲＦ電
力３００Ｗで２分間放電を行い、炭化タンタル膜の表面
をフッ素化処理した。

【００４２】 得られたガラスの可視光線透過率は３５
％、可視光線反射率は４６％、日射光線透過率は３４％
であった。反射色調は青みがかったグレー色で、可視光
線反射率の増大を反映して反射色の鮮やかさが増してい
た。また、日射光線透過率も１３％程度低下しており、
熱線遮蔽性能が向上していた。

【００４３】 この熱線遮蔽ガラスの撥水性を評価するた
めに、純水の接触角を測定したところ、約１０３゜であ
り、優れた撥水性を示していることがわかった。

【００４４】 次に、このガラスの耐久性を評価するた
め、Ｔｅｌｅｄｙｎｅ Ｔａｂｅｒ社製摩耗試験機を用
いて、ＣＳ−１０Ｆの摩耗輪に５００ｇの荷重をかけて
３００回の回転摩耗を加えた。この摩耗試験前後でのガ
ラスの透過率変化とヘイズ率変化は、いずれも２％未満
であり、膜の耐久性の優れていることがわかった。

【００４５】 また、摩耗試験後の純水に対する接触角は
約９０゜であり、優れた撥水性も維持されていることが
わかった。

【００４６】（ 実施例２） フロートガラス製造設備の製板用フロートバス出口で、
約６００℃のガラスリボンに金属コバルトのキレート化
合物主成分とし、副成分として鉄とクロムのキレート化
合物を含む有機溶液をスプレーで吹き付けて（溶液スプ
レー法）、約５０ｎｍの厚みの酸化コバルト-酸化鉄-酸
化クロムからなる被膜を、６ｍｍ厚みのフロート板ガラ
ス上に形成した（日本板硝子社商品名レフライトブロン
ズ：可視光線透過率４２．６％、可視光線反射率３４．
０％、日射光線透過率４８．４％）。

【００４７】 この被膜表面を清浄にした後、炭化珪素を
ターゲットとして設置した直流スパッタ装置内にセット
し、５×１０^−４Ｐａまで排気した。そして、アルゴン
ガスを１００ｓｃｃｍの流量で導入し、装置内の圧力を
０．２Ｐａとした後、１Ａの電流をターゲットに印加
し、ガラス基板を所定の速度でターゲット上方を通過さ
せることにより、酸化コバルト-酸化鉄-酸化クロム混合
被膜の上に、約２０ｎｍの厚みの炭化珪素被膜を形成し
た。その後、このガラス基板をエッチトンネル付円筒型
プラズマエッチング装置内にセットし、６Ｐａまで排気
後、ＣＦ_４ガスを７０Ｐａまで導入し、ＲＦ電力２００
Ｗで１０分間放電を行い、炭化珪素膜の表面をフッ素化
処理した。

【００４８】 得られたガラスの可視光線透過率は３７
％、可視光線反射率は３４％、日射光線透過率は４１％
であった。透過色調は日本板硝子社製レフライトブロン
ズとほぼ同等のブロンズ色である。反射色調はレフライ
トブロンズがグレー色であるのに対して、比較的鮮やか
なブロンズ色であった。日射光線透過率は７％程度低下
しているおり、熱線遮蔽性能が向上していた。

【００４９】 この熱線遮蔽ガラスの撥水性を評価するた
めに、純水の接触角を測定したところ、約９３゜であ
り、優れた撥水性を示していることがわかった。

【００５０】 次に、このガラスの耐久性を評価するた
め、Ｔｅｌｅｄｙｎｅ Ｔａｂｅｒ社製摩耗試験機を用
いて、ＣＳ−１０Ｆの摩耗輪に５００ｇの荷重をかけて
３００回の回転摩耗を加えた。この摩耗試験前後でのガ
ラスの透過率変化とヘイズ率変化は、いずれも２％未満
であり、膜の耐久性の優れていることがわかった。

【００５１】 また、摩耗試験後の純水に対する接触角は
約８２゜であり、優れた撥水性も維持されていることが
わかった。

【００５２】（ 実施例３） ３つのスパッタカソードを有するインライン式直流スパ
ッタリング装置の第一のカソードに金属ステンレスを、
第二のカソードに金属チタンを、そして第三のカソード
に炭化チタンをそれぞれターゲットとして取り付けた。

【００５３】 基板として洗浄した６ｍｍ厚フロート板ガ
ラスをスパッタ装置にセットし、５×１０^−４Ｐａまで
排気した。そして、窒素ガスを１００ｓｃｃｍの流量で
導入し、装置内の圧力を０．２Ｐａとした後、２Ａの電
流を金属チタンターゲットに印加し、ガラス基板を所定
の速度でターゲット上方を通過させることにより、約３
０ｎｍの厚みの窒化チタン被膜を形成した（日本板硝子
社製高性能熱線反射ガラス・レフシャインＴシリーズ・
ＴＳ３０に相当する：可視光線透過率３０％、可視光線
反射率１６．３％、日射光線透過率２３．５％）。

【００５４】 次に、スパッタ装置内を再び５×１０^−４
Ｐａまで排気した後、アルゴンガスを１００ｓｃｃｍの
流量で導入し、装置内の圧力を０．２Ｐａとした後、２
Ａの電流を炭化チタンターゲットに印加し、ガラス基板
を所定の速度でターゲット上方を通過させることによ
り、窒化チタン被膜の上に約２０ｎｍの厚みの炭化チタ
ン被膜を形成した。その後、このガラス基板をエッチト
ンネル付円筒型プラズマエッチング装置内にセットし、
６Ｐａまで排気後、ＣＦ_４ガスを７０Ｐａまで導入し、
ＲＦ電力３００Ｗで４分間放電を行い、炭化チタン膜の
表面をフッ素化処理した。

【００５５】 このようにして得られたガラスの可視光線
透過率は１７％、可視光線反射率は２４％、日射光線透
過率は１２％であった。透過色調はグレーであった。反
射色調は淡いグリーンであった。

【００５６】 この熱線遮蔽ガラスの撥水性を評価するた
めに、純水の接触角を測定したところ、約９６゜であ
り、優れた撥水性を示していることがわかった。

【００５７】 次に、このガラスの耐久性を評価するた
め、Ｔｅｌｅｄｙｎｅ Ｔａｂｅｒ社製摩耗試験機を用
いて、ＣＳ−１０Ｆの摩耗輪に５００ｇの荷重をかけて
３００回の回転摩耗を加えた。この摩耗試験前後でのガ
ラスの透過率変化とヘイズ率変化は、いずれも４％未満
であり、膜の耐久性の優れていることがわかった。

【００５８】 また、摩耗試験後の純水に対する接触角は
約８５゜であり、優れた撥水性も維持されていることが
わかった。

【００５９】（ 実施例４） ３つのスパッタカソードを有するインライン式直流スパ
ッタリング装置の第一のカソードに金属ステンレスを、
第二のカソードに金属チタンを、そして第三のカソード
に炭化珪素をそれぞれターゲットとして取り付けた。

【００６０】 基板として洗浄した６ｍｍ厚フロート板ガ
ラスをスパッタ装置にセットし、５×１０^−４Ｐａまで
排気した。アルゴンガスを１００ｓｃｃｍの流量で導入
し、装置内の圧力を０．２Ｐａに調整した後、１Ａの電
流を金属ステンレスターゲットに投入し、ガラス基板を
所定の速度でターゲットの上方を通過させることによ
り、約６ｎｍのステンレス被膜をガラス基板上に形成し
た。

【００６１】 ついで、スパッタ装置内を再び５×１０
^−４Ｐａまで排気した後、窒素ガスを１００ｓｃｃｍの
流量で導入し、装置内の圧力を０．２Ｐａとした後、２
Ａの電流を金属チタンターゲットに印加し、ガラス基板
を所定の速度でターゲット上方を通過させることによ
り、ステンレス被膜の上に、約２８ｎｍの厚みの窒化チ
タン被膜を形成した（日本板硝子社製高性能熱線反射ガ
ラス・レフシャインＳシリーズ・ＳＳ２０に相当する：
可視光線透過率２０％、可視光線反射率２３．８％、日
射光線透過率１５．８％）。

【００６２】 次に、スパッタ装置内を再び５×１０^−４
Ｐａまで排気した後、アルゴンガスを１００ｓｃｃｍの
流量で導入し、装置内の圧力を０．２Ｐａとした後、１
Ａの電流をターゲットに印加し、ガラス基板を所定の速
度でターゲット上方を通過させることにより、窒化チタ
ン被膜の上に約２０ｎｍの厚みの炭化珪素被膜を形成し
た。その後、このガラス基板をエッチトンネル付円筒型
プラズマエッチング装置内にセットし、６Ｐａまで排気
後、ＣＦ_４ガスを７０Ｐａまで導入し、ＲＦ電力３００
Ｗで１０分間放電を行い、炭化珪素膜の表面をフッ素化
処理した。

【００６３】 このようにして得られたガラスの可視光線
透過率は２０％、可視光線反射率は３４％、日射光線透
過率は１６％であった。透過色調はブロンズであった。
反射色調はグレー色がかった淡いブルーであった。

【００６４】 この熱線遮蔽ガラスの撥水性を評価するた
めに、純水の接触角を測定したところ、約９０゜であ
り、優れた撥水性を示していることがわかった。

【００６５】 次に、このガラスの耐久性を評価するた
め、Ｔｅｌｅｄｙｎｅ Ｔａｂｅｒ社製摩耗試験機を用
いて、ＣＳ−１０Ｆの摩耗輪に５００ｇの荷重をかけて
３００回の回転摩耗を加えた。この摩耗試験前後でのガ
ラスの透過率変化とヘイズ率変化は、いずれも４％未満
であり、膜の耐久性の優れていることがわかった。

【００６６】 また、摩耗試験後の純水に対する接触角は
約８１゜であり、優れた撥水性も維持されていることが
わかった。さらに、実施例１〜４で得られたガラスサン
プルは、いずれも撥油性があることが確認された。

【００６７】（ 比較例） 本発明に基づく、炭素もしくはカーバイド被膜の形成と
その後のフッ素化処理を行わない場合の、表面の純水に
対する接触角を比較例として測定した結果を以下の表１
に示す。

【００６８】

【表１】 ──────────────────────────────────── 比較サンプル 接触角（°） −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− ・溶液スプレー法で形成した５０ｎｍ厚みの酸化チタン被膜表面 ３５ （日本板硝子社製レフライトＳに相当） ・溶液スプレー法で形成した５０ｎｍ厚みの酸化コバルト-酸化鉄- ４０ 酸化クロム混合被膜表面（レフライトＢに相当） ・スパッタ法で成膜した３０ｎｍ厚みの窒化チタン被膜表面 ５５ （日本板硝子社製レフシャインＴＳ３０に相当） ・スパッタ法で成膜した６ｎｍ厚みのステンレス被膜と２８ｎｍ ５５ 厚みの窒化チタンの２層被膜表面（レフシャインＳＳ２０に相当） ・スパッタ法で成膜した７ｎｍ厚みのステンレス被膜と６ｎｍ ５０ 厚みの酸化チタン２層被膜表面（レフシャインＳＧＹ２０に相当） ────────────────────────────────────

【００６９】

【発明の効果】本発明によれば、最表面に耐久性に優れ
た撥水撥油性被膜を有する熱線遮蔽ガラスを得ることが
できる。そのため、窓ガラスとして用いる場合、被膜を
室外側にしても、外部環境からの水分や油分に起因する
汚れを防止することができる。

【００７０】 結果として、熱線遮蔽ガラスの有する熱線
遮蔽性能と意匠性を効果的に活用することができる。さ
らに色調のバリエーションも豊富にでき、また熱線遮蔽
性能を高めることもできる。

【００７１】 また、被膜を室内側にして用いる場合も、
室内環境に起因する、特に油性の汚れが付着するのを防
止することができるので、高性能熱線遮蔽ガラスの意匠
性の低下を避けることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による熱線遮蔽ガラスの一部断面図であ
る。

【符号の説明】

１・・・ガラス基板、 ２・・・熱線遮蔽性の被膜、 ３・・・炭化物を主成分とする被膜、 ３ａ・・・プラズマ処理によりフッ素化されている層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C03C 15/00 - 23/00 B32B 1/00 - 35/00

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明ガラス基板上に熱線遮蔽性被膜が形
   成され、前記熱線遮蔽性被膜の上に、炭化物を主成分と
   する被膜が形成された熱線遮蔽ガラスにおいて、 前記炭化物を主成分とする被膜の少なくともその表面が
   プラズマ処理によりフッ素化されていることを特徴とす
   る撥水撥油性熱線遮蔽ガラス。
2. 【請求項２】 前記炭化物が、ＳｉＣ，ＴｉＣ，Ｃｒ_３
   Ｃ_２，ＺｒＣ，ＮｂＣ，ＴａＣ，ＷＣの群から選ばれた
   少なくとも一種である請求項１に記載の撥水撥油性熱線
   遮蔽ガラス。
3. 【請求項３】 前記熱線遮蔽性被膜が、熱分解スプレー
   法で被覆された二酸化チタンの被膜である請求項１また
   は２に記載の撥水撥油性熱線遮蔽ガラス。
4. 【請求項４】 前記熱線遮蔽性被膜が、熱分解溶液スプ
   レー法で被覆された酸化コバルト、酸化鉄及び酸化クロ
   ムからなる被膜である請求項１または２に記載の撥水撥
   油性熱線遮蔽ガラス。
5. 【請求項５】 前記熱線遮蔽性被膜が、いずれもスパッ
   タリング法で被覆された金属、金属窒化物、金属酸窒化
   物、金属酸化物の群から選ばれた一種からなる単層膜ま
   たは、前記群から選ばれた二種以上からなる積層膜であ
   る請求項１または２に記載の撥水撥油性熱線遮蔽性ガラ
   ス。