JP3393612B2 - 耐食性窒化珪素質焼結部材の製造方法 - Google Patents
耐食性窒化珪素質焼結部材の製造方法Info
- Publication number
- JP3393612B2 JP3393612B2 JP24045093A JP24045093A JP3393612B2 JP 3393612 B2 JP3393612 B2 JP 3393612B2 JP 24045093 A JP24045093 A JP 24045093A JP 24045093 A JP24045093 A JP 24045093A JP 3393612 B2 JP3393612 B2 JP 3393612B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon nitride
- nitride sintered
- polishing
- sintered member
- resistant silicon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、耐食性が優れた耐食性
窒化珪素質焼結部材に関するもので、例えば原子炉処理
容器等の原子力関連部品、腐食性環境で用いられる軸受
け、摺動部品等に適用される。
窒化珪素質焼結部材に関するもので、例えば原子炉処理
容器等の原子力関連部品、腐食性環境で用いられる軸受
け、摺動部品等に適用される。
【０００２】
【従来の技術】窒化珪素焼結体は耐熱性、耐食性等に優
れた特性を有する極めて安定な物質であるが、焼結体を
構造部材として使用する場合に焼結前の成形時にある程
度の形状に加工はするものの、焼結中の収縮による変形
のため焼結体としては所望の寸法が得られにくく、焼結
後に平面研削、サンドブラスト等の機械加工を施して仕
上げるのが一般的である。
れた特性を有する極めて安定な物質であるが、焼結体を
構造部材として使用する場合に焼結前の成形時にある程
度の形状に加工はするものの、焼結中の収縮による変形
のため焼結体としては所望の寸法が得られにくく、焼結
後に平面研削、サンドブラスト等の機械加工を施して仕
上げるのが一般的である。
【０００３】この窒化珪素焼結体の耐食性の向上を目的
として特開平２−２７１９６６号公報では、焼結体表面
から内部に向かって粒界相（結合相）量の勾配を有する
表面層で被覆された窒化珪素基セラミックスが開示され
ており、最表面の結合相量は０．５ｖｏｌ％以下と非常
に少なく、粒界相量の制御が重要であることを示してい
る。その制御方法としては窒素ガス中１６００℃以上の
高温での熱処理を用いており、表面の結合相を分解させ
揮発させることにより、耐食性に劣る結合相を予め除去
するというものである。
として特開平２−２７１９６６号公報では、焼結体表面
から内部に向かって粒界相（結合相）量の勾配を有する
表面層で被覆された窒化珪素基セラミックスが開示され
ており、最表面の結合相量は０．５ｖｏｌ％以下と非常
に少なく、粒界相量の制御が重要であることを示してい
る。その制御方法としては窒素ガス中１６００℃以上の
高温での熱処理を用いており、表面の結合相を分解させ
揮発させることにより、耐食性に劣る結合相を予め除去
するというものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記公報記載
の方法により製造された焼結体は、機械的強度や靱性等
の機械的特性を高める機能をする結合相が部分的にせよ
除去されたものであるから、熱処理前に比べて機械的特
性に劣ったものである。また機械加工については表面粗
度Ｒｍａｘ：０．８μｍ以下と示されているだけで、耐
食性に与える影響については何等示唆されていない。
の方法により製造された焼結体は、機械的強度や靱性等
の機械的特性を高める機能をする結合相が部分的にせよ
除去されたものであるから、熱処理前に比べて機械的特
性に劣ったものである。また機械加工については表面粗
度Ｒｍａｘ：０．８μｍ以下と示されているだけで、耐
食性に与える影響については何等示唆されていない。
【０００５】一方、本発明者は、窒化珪素質焼結体を部
材として用いるときに大半の部材に対して必要である焼
結後の機械加工によって窒化珪素焼結体がもつ本来の耐
食性が損なわれることを見出した。本発明の目的は、こ
のような知見に基づき、機械的特性を劣化させること無
く、機械加工の影響を除去して高耐食性を有する窒化珪
素焼結部材を提供することにある。
材として用いるときに大半の部材に対して必要である焼
結後の機械加工によって窒化珪素焼結体がもつ本来の耐
食性が損なわれることを見出した。本発明の目的は、こ
のような知見に基づき、機械的特性を劣化させること無
く、機械加工の影響を除去して高耐食性を有する窒化珪
素焼結部材を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】その目的達成のために本
発明耐食性窒化珪素質焼結部材の製造方法は、窒化珪素
質焼結体の表面を機械加工した後、機械加工された表面
層の少なくとも一部を、損傷を与えないかまたはその機
械加工よりも損傷の程度の軽い加工手段により除去する
ことを特徴とする。
発明耐食性窒化珪素質焼結部材の製造方法は、窒化珪素
質焼結体の表面を機械加工した後、機械加工された表面
層の少なくとも一部を、損傷を与えないかまたはその機
械加工よりも損傷の程度の軽い加工手段により除去する
ことを特徴とする。
【０００７】ここで、損傷を与えないかまたはその機械
加工よりも損傷の程度の軽い加工手段とは、例えば研磨
又は非酸化性雰囲気中１５５０℃以下の熱処理である。
除去される表面層の部分は、 少なくとも圧縮応力が５
０ＭＰａ以下となる深さのところまでであり、好ましく
は少なくとも機械加工された表面から２０μｍの深さま
でである。
加工よりも損傷の程度の軽い加工手段とは、例えば研磨
又は非酸化性雰囲気中１５５０℃以下の熱処理である。
除去される表面層の部分は、 少なくとも圧縮応力が５
０ＭＰａ以下となる深さのところまでであり、好ましく
は少なくとも機械加工された表面から２０μｍの深さま
でである。
【０００８】更にこの研磨は、５０μｍ以下の砥粒を用
いる一次研磨と、それより小さい１５μｍ以下の砥粒及
び酸化鉄Ｆｅ２Ｏ３粉末のうち１種以上を用いる二次研
磨との２段階に分けて行われるのが望ましい。前記加工
手段が熱処理の場合も、機械加工された表面の圧縮応力
が５０ＭＰａ以下となるまで行われるものとする。
いる一次研磨と、それより小さい１５μｍ以下の砥粒及
び酸化鉄Ｆｅ２Ｏ３粉末のうち１種以上を用いる二次研
磨との２段階に分けて行われるのが望ましい。前記加工
手段が熱処理の場合も、機械加工された表面の圧縮応力
が５０ＭＰａ以下となるまで行われるものとする。
【０００９】
【作用】耐食性を決定する要因は、機械加工後に表面に
残留した圧縮応力又は発生した微小亀裂にあると考えら
れる。そして、このように圧縮応力や微小亀裂が存在す
る変質層が、損傷を与えないかまたはその機械加工より
も損傷の程度の軽い加工手段により除去される。従っ
て、表面の圧縮応力が軽減され、微小亀裂も減少する。
その結果、窒化珪素質焼結体本来の優れた耐食性を取り
戻すことができる。
残留した圧縮応力又は発生した微小亀裂にあると考えら
れる。そして、このように圧縮応力や微小亀裂が存在す
る変質層が、損傷を与えないかまたはその機械加工より
も損傷の程度の軽い加工手段により除去される。従っ
て、表面の圧縮応力が軽減され、微小亀裂も減少する。
その結果、窒化珪素質焼結体本来の優れた耐食性を取り
戻すことができる。
【００１０】機械加工により表面に導入される変質層の
厚さは加工方法によっても異なるが、例えば＃１４０〜
＃２００程度の番手のダイヤモンド砥石を用いた場合に
は約５０μｍ程度の変質層ができる。この厚さはＸ線に
より残留応力が測定されることから判断できる。加工に
より残留応力が発生するメカニズムははっきりしない
が、例えば加工中に微小き裂が多数導入されて見かけ上
体積膨張が生じ、その結果圧縮残留応力が生じることが
考えられる。いずれにしても加工変質層が生成している
ことに相違ない。
厚さは加工方法によっても異なるが、例えば＃１４０〜
＃２００程度の番手のダイヤモンド砥石を用いた場合に
は約５０μｍ程度の変質層ができる。この厚さはＸ線に
より残留応力が測定されることから判断できる。加工に
より残留応力が発生するメカニズムははっきりしない
が、例えば加工中に微小き裂が多数導入されて見かけ上
体積膨張が生じ、その結果圧縮残留応力が生じることが
考えられる。いずれにしても加工変質層が生成している
ことに相違ない。
【００１１】このような表面変質層を除去する望ましい
手段としては、５０μｍ以下のダイヤモンド等の砥粒に
よる一次研磨加工の後に、少なくとも１０μｍ以上の厚
さを酸化鉄粉末及び／又は１５μｍ以下の砥粒を用いて
二次研磨加工し、一次研磨及び二次研磨を併せて２０μ
ｍ以上（好ましくは５０μｍ以上）研磨除去する方法が
挙げられる。
手段としては、５０μｍ以下のダイヤモンド等の砥粒に
よる一次研磨加工の後に、少なくとも１０μｍ以上の厚
さを酸化鉄粉末及び／又は１５μｍ以下の砥粒を用いて
二次研磨加工し、一次研磨及び二次研磨を併せて２０μ
ｍ以上（好ましくは５０μｍ以上）研磨除去する方法が
挙げられる。
【００１２】一次研磨時の砥粒の粒径が５０μｍを超え
ると平面研削ほどではないものの研磨加工時にある程度
の加工変質層が生じ、それを二次研磨で取り除くとこが
できなくなる。二次研磨時の砥粒の粒径が１５μｍを超
えると同様に表面変質層が僅かではあるものの残留して
しまう。また砥粒としてはダイヤモンドが好ましい。ま
た酸化鉄粉末を用いると窒化珪素焼結体との間で化学反
応を生じながら表面層が除去されていくので該表面変質
層を生成させない加工方法として好ましい。
ると平面研削ほどではないものの研磨加工時にある程度
の加工変質層が生じ、それを二次研磨で取り除くとこが
できなくなる。二次研磨時の砥粒の粒径が１５μｍを超
えると同様に表面変質層が僅かではあるものの残留して
しまう。また砥粒としてはダイヤモンドが好ましい。ま
た酸化鉄粉末を用いると窒化珪素焼結体との間で化学反
応を生じながら表面層が除去されていくので該表面変質
層を生成させない加工方法として好ましい。
【００１３】変質層の除去厚みとしては変質している部
分すべてを除去することが好ましいが、２０μｍ以上
（好ましくは５０μｍ以上）除去することによって機械
加工される以前と同程度の耐食性を得ることができる。
分すべてを除去することが好ましいが、２０μｍ以上
（好ましくは５０μｍ以上）除去することによって機械
加工される以前と同程度の耐食性を得ることができる。
【００１４】同じ目的（残留応力の除去）で窒素やアル
ゴンガスなどの非酸化性雰囲気中で１５５０℃以下の温
度で処理する方法も有効である。この場合雰囲気が酸化
性であると窒化珪素焼結体が酸化されるため強度などの
特性が損なわれて好ましくない。処理温度が１３００℃
未満では効果が小さく、１５５０℃を超えると窒化珪素
焼結体の粒成長や粒界成分の揮発など焼結体そのものの
変質が生じるため好ましくない。また、処理時間として
は特に定めないが、１時間程度の処理で効果がでるよう
に処理温度を選択するのが好ましい。雰囲気圧力は、揮
発を抑制するために１気圧以上が良い。
ゴンガスなどの非酸化性雰囲気中で１５５０℃以下の温
度で処理する方法も有効である。この場合雰囲気が酸化
性であると窒化珪素焼結体が酸化されるため強度などの
特性が損なわれて好ましくない。処理温度が１３００℃
未満では効果が小さく、１５５０℃を超えると窒化珪素
焼結体の粒成長や粒界成分の揮発など焼結体そのものの
変質が生じるため好ましくない。また、処理時間として
は特に定めないが、１時間程度の処理で効果がでるよう
に処理温度を選択するのが好ましい。雰囲気圧力は、揮
発を抑制するために１気圧以上が良い。
【００１５】
【実施例】平均粒径０．７μｍ、純度９７％のＳｉ3Ｎ4
粉末に、Ｙ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3、Ｅｒ2Ｏ3、Ｖ2Ｏ5、Ｗ
Ｏ3、ＭｇＯ、ＺｒＯ2及びＣｅＯ2の各粉末を焼結助剤
として表１に示す割合で配合し、樹脂製球石及び樹脂製
ポットを用いて、エタノールとともに２４時間湿式混合
を行った。
粉末に、Ｙ2Ｏ3、Ａｌ2Ｏ3、Ｅｒ2Ｏ3、Ｖ2Ｏ5、Ｗ
Ｏ3、ＭｇＯ、ＺｒＯ2及びＣｅＯ2の各粉末を焼結助剤
として表１に示す割合で配合し、樹脂製球石及び樹脂製
ポットを用いて、エタノールとともに２４時間湿式混合
を行った。
【００１６】混合物を乾燥させ、乾燥した混合物を２ｔ
ｏｎ／ｃｍ2の圧力で５０×５０×１０ｍｍの大きさに
静水圧プレス成形し、下記に示す条件で焼結を行い、表
１に示す焼結助剤の異なる３種の窒化珪素質焼結体を得
た。
ｏｎ／ｃｍ2の圧力で５０×５０×１０ｍｍの大きさに
静水圧プレス成形し、下記に示す条件で焼結を行い、表
１に示す焼結助剤の異なる３種の窒化珪素質焼結体を得
た。
【００１７】
［試料Ｎｏ．１〜６，９〜１１の焼結条件］
焼結：常圧焼結＋ガス圧焼結
一次焼成：Ｎ2中 １ａｔｍ−１７００℃−４ｈｒ
二次焼成：Ｎ2中 １００ａｔｍ−１８００℃−２ｈｒ
［試料Ｎｏ．７，８の焼結条件］
焼結：常圧焼結＋ＨＩＰ焼結
一次焼成：Ｎ2中 １ａｔｍ−１７００℃−４ｈｒ
二次焼成：Ｎ2中 ２０００ａｔｍ−１８００℃−２ｈｒ
焼結体の密度をアルキメデス法で測定し、以下の式より
相対密度を求め、表１に示した。
相対密度を求め、表１に示した。
【００１８】相対密度（％）＝（焼結体密度／完全緻密
焼結体密度）×１００ なお、完全緻密焼結体は配合粉末を圧力２００ｋｇｆ／
ｃｍ2、１８００℃−１ｈｒの条件でホットプレス焼結
することにより作製された。
焼結体密度）×１００ なお、完全緻密焼結体は配合粉末を圧力２００ｋｇｆ／
ｃｍ2、１８００℃−１ｈｒの条件でホットプレス焼結
することにより作製された。
【００１９】得られた窒化珪素質焼結体を＃１４０番の
ダイヤモンド砥石を用いて平面研削することにより３×
４×４０ｍｍの試験片Ｎｏ．１〜１１を準備した。試験
片Ｎｏ．２〜５，８，１０，１１について砥粒径４５μ
ｍのダイヤモンドディスクを用いて研磨後、さらに酸化
鉄Ｆｅ2Ｏ3粉末（試薬特級）を用いてメカノケミカル研
磨（１２μｍ除去）を施すことにより表面層を所定厚み
除去した。また、試験片Ｎｏ．６については１気圧窒素
中１５００℃×１時間の熱処理を施した。
ダイヤモンド砥石を用いて平面研削することにより３×
４×４０ｍｍの試験片Ｎｏ．１〜１１を準備した。試験
片Ｎｏ．２〜５，８，１０，１１について砥粒径４５μ
ｍのダイヤモンドディスクを用いて研磨後、さらに酸化
鉄Ｆｅ2Ｏ3粉末（試薬特級）を用いてメカノケミカル研
磨（１２μｍ除去）を施すことにより表面層を所定厚み
除去した。また、試験片Ｎｏ．６については１気圧窒素
中１５００℃×１時間の熱処理を施した。
【００２０】こうして合計１１種の焼結助剤及び表面仕
上げが異なる試験片（表中にそれぞれ、平面研削、研
磨、熱処理と記載）を作成した。それぞれの試験片につ
いてＸ線により残留応力を測定したところ、平面研削後
には約１００ＭＰａの圧縮残留応力が測定され、表面変
質層が形成されていることが分かった。これに対し、上
述の方法により表面層を除去していくと、除去とともに
残留応力は小さくなり、３０μｍ以上除去すると１／３
以下になることが分かった。同様に窒素中、１５００℃
×１時間の熱処理においても残留応力を１／２以下にす
ることができた。
上げが異なる試験片（表中にそれぞれ、平面研削、研
磨、熱処理と記載）を作成した。それぞれの試験片につ
いてＸ線により残留応力を測定したところ、平面研削後
には約１００ＭＰａの圧縮残留応力が測定され、表面変
質層が形成されていることが分かった。これに対し、上
述の方法により表面層を除去していくと、除去とともに
残留応力は小さくなり、３０μｍ以上除去すると１／３
以下になることが分かった。同様に窒素中、１５００℃
×１時間の熱処理においても残留応力を１／２以下にす
ることができた。
【００２１】これらの試験片を用いて以下の耐食性評価
を行った。試薬特級硫酸（３６規定）を６倍に薄めるこ
とにより濃度６規定の硫酸溶液を得た。この溶液中に上
記焼結体試験片各５本を室温で２４時間浸漬した後、試
験片の断面をＳＥＭにより観察し、粒界相が溶出した侵
食層の厚さを測定してこれを侵食深さとした。
を行った。試薬特級硫酸（３６規定）を６倍に薄めるこ
とにより濃度６規定の硫酸溶液を得た。この溶液中に上
記焼結体試験片各５本を室温で２４時間浸漬した後、試
験片の断面をＳＥＭにより観察し、粒界相が溶出した侵
食層の厚さを測定してこれを侵食深さとした。
【００２２】
【表１】
表１に示すように、本発明により得られた焼結部材（Ｎ
ｏ．２〜６、８及び１０〜１１）は硫酸に浸漬後の侵食
深さが１μｍ以下と酸に対する耐食性に優れている。一
方比較例として示したＮｏ．１、７及び９は表面変質層
を有するためその部分が侵食されやすく、侵食深さが大
きい値となり、耐食性に劣っている。
ｏ．２〜６、８及び１０〜１１）は硫酸に浸漬後の侵食
深さが１μｍ以下と酸に対する耐食性に優れている。一
方比較例として示したＮｏ．１、７及び９は表面変質層
を有するためその部分が侵食されやすく、侵食深さが大
きい値となり、耐食性に劣っている。
【００２３】
【発明の効果】本発明により、本来窒化珪素焼結体の持
つ機械的特性を損なうことなく耐食性に優れた窒化珪素
質焼結部材を提供することができた。
つ機械的特性を損なうことなく耐食性に優れた窒化珪素
質焼結部材を提供することができた。
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平４−115859（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−155663（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−201766（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−271966（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−48813（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−305561（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−122783（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−106473（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−151290（ＪＰ，Ａ)
特公 昭52−40326（ＪＰ，Ｂ１)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C04B 35/56 - 35/58
C04B 41/80 - 41/91
Claims (5)
- 【請求項１】 窒化珪素質焼結体の表面を機械加工した
後、機械加工された表面層の少なくとも圧縮応力が５０
ＭＰａ以下となる深さのところまで、損傷を与えないか
またはその機械加工よりも損傷の程度の軽い加工手段に
より除去することを特徴とする耐食性窒化珪素質焼結部
材の製造方法。 - 【請求項２】 前記加工手段が研磨である請求項１に記
載の耐食性窒化珪素質焼結部材の製造方法。 - 【請求項３】 除去される表面層の部分が、少なくとも
機械加工された表面から２０μｍの深さのところまでで
ある請求項１または２に記載の耐食性窒化珪素質焼結部
材の製造方法。 - 【請求項４】 研磨が、５０μｍ以下の砥粒を用いる一
次研磨と、１５μｍ以下の砥粒及び酸化鉄Ｆｅ２Ｏ３粉
末のうち１種以上を用いる二次研磨との２段階に分けて
行われる請求項１〜３のいずれかに記載の耐食性窒化珪
素質焼結部材の製造方法。 - 【請求項５】 窒化珪素質焼結体の表面を機械加工した
後、機械加工された表面層の少なくとも一部を、非酸化
性雰囲気中１５５０℃以下で、表面の圧縮応力が５０Ｍ
Ｐａ以下となるまで熱処理することを特徴とする耐食性
窒化珪素質焼結部材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24045093A JP3393612B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 耐食性窒化珪素質焼結部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24045093A JP3393612B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 耐食性窒化珪素質焼結部材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0769736A JPH0769736A (ja) | 1995-03-14 |
| JP3393612B2 true JP3393612B2 (ja) | 2003-04-07 |
Family
ID=17059684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24045093A Expired - Lifetime JP3393612B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 耐食性窒化珪素質焼結部材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3393612B2 (ja) |
-
1993
- 1993-08-31 JP JP24045093A patent/JP3393612B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0769736A (ja) | 1995-03-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0739326B1 (en) | Low temperature, pressureless sintering of silicon nitride | |
| JP6400478B2 (ja) | 耐磨耗性部材 | |
| KR101400598B1 (ko) | 반도체 제조 장치용 내식성 부재 및 그 제법 | |
| JPH07299708A (ja) | 窒化ケイ素系セラミックス部品の製造方法 | |
| JPH08239270A (ja) | 超塑性炭化ケイ素焼結体とその製造方法 | |
| JP3035582B2 (ja) | アルミナ質焼結体 | |
| JP4951753B2 (ja) | 炭化ケイ素焼結体の製造方法 | |
| EP1669335B1 (en) | Bearing rolling ball and method for manufacturing the same | |
| JPS58211862A (ja) | コ−テイング付き複合窒化珪素切削工具 | |
| JP3042402B2 (ja) | 窒化珪素系セラミックス摺動材料及びその製造方法 | |
| US5100847A (en) | Super tough monolithic silicon nitride | |
| JP2829229B2 (ja) | 窒化ケイ素系セラミックス焼結体 | |
| JP3393612B2 (ja) | 耐食性窒化珪素質焼結部材の製造方法 | |
| US5449649A (en) | Monolithic silicon nitride having high fracture toughness | |
| JP4959113B2 (ja) | アルミナ質焼結体 | |
| Tuan et al. | The effects of microstructure on the mechanical properties of Al2O3-NiAl composites | |
| JP4070417B2 (ja) | 窒化珪素質部材及びその製造方法並びに切削工具 | |
| EP0454780B1 (en) | Super tough monolithic silicon nitride | |
| JPH10259058A (ja) | サイアロン複合体及びその製造方法 | |
| JP4588379B2 (ja) | 半導体製造装置用部材の製造方法 | |
| Schwetz et al. | Toughness and Hardness of Lps‐Sic and Lps‐Sic Based Composites | |
| JPH06666B2 (ja) | 精密加工性に優れたセラミックス材料 | |
| JP2004091243A (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法および窒化珪素質焼結体 | |
| JP4500515B2 (ja) | 半導体製造装置用部品および測長用ミラー | |
| JPH111370A (ja) | 熱処理窒化珪素セラミックス及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090131 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090131 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100131 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100131 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110131 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110131 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120131 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120131 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130131 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130131 Year of fee payment: 10 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |