JP3388190B2 - 半導体試験装置用テストプログラム生成システム及びテストプログラム生成方法 - Google Patents
半導体試験装置用テストプログラム生成システム及びテストプログラム生成方法Info
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/3183—Generation of test inputs, e.g. test vectors, patterns or sequences
- G01R31/318307—Generation of test inputs, e.g. test vectors, patterns or sequences computer-aided, e.g. automatic test program generator [ATPG], program translations, test program debugging
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体試験装置用
テストプログラム生成システム及びテストプログラム生
成方法、即ち、ＬＳＩテスタ用テストプログラム生成シ
ステム及びテストプログラム生成方法に関する。
テストプログラム生成システム及びテストプログラム生
成方法、即ち、ＬＳＩテスタ用テストプログラム生成シ
ステム及びテストプログラム生成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】様々な用途に使用される半導体装置には
信頼性が要求されるため、完成した半導体製品について
は半導体試験装置（ＬＳＩテスタ）による試験が行われ
るが、この試験を行うためには、ＬＳＩテスタ上で実行
されるテストプログラムを、半導体製品の種類ごとに、
即ち、ＬＳＩテスタの機種ごとに生成する必要がある。
信頼性が要求されるため、完成した半導体製品について
は半導体試験装置（ＬＳＩテスタ）による試験が行われ
るが、この試験を行うためには、ＬＳＩテスタ上で実行
されるテストプログラムを、半導体製品の種類ごとに、
即ち、ＬＳＩテスタの機種ごとに生成する必要がある。
【０００３】図６は、従来の半導体試験装置用テストプ
ログラム生成システムの構成を示したブロック図であ
り、従来の半導体試験装置用テストプログラム生成方法
は、このテストプログラム生成システムにより実施され
る。
ログラム生成システムの構成を示したブロック図であ
り、従来の半導体試験装置用テストプログラム生成方法
は、このテストプログラム生成システムにより実施され
る。
【０００４】図６に示した従来の半導体試験装置用テス
トプログラム生成システムは、テストプログラム生成の
ために用いられる複数のパラメータファイルが含まれる
パラメータファイル群が格納された記憶手段６０と、パ
ラメータファイル群の各パラメータファイルから読み出
したデータのコンパイル及びリンクを行うことにより、
実行可能プログラムであるバイナリファイルのテストプ
ログラム６２を生成するプログラム翻訳手段６１とから
構成されている。記憶手段６０に格納されたパラメータ
ファイル群には、測定項目及び測定順序を記述したテス
トフローファイル６０１と、測定シーケンスを記述した
テンプレートファイル６０２と、測定対象ＬＳＩに入出
力する信号波形の波形モード及びタイミング値を記述し
た波形ファイル６０３と、測定対象ＬＳＩに入出力する
信号の電圧を記述したレベルファイル６０４と、測定対
象ＬＳＩの接触子とＬＳＩテスタの接触子との接続関係
を記述したピンファイル６０５と、ＤＣ測定の測定条件
を記述したＤＣ測定条件ファイル６０６と、変数及び演
算式が記述された変数ファイル６０７と、テストパター
ンの実行開始アドレス及び停止アドレスの情報が記述さ
れたパターンリストファイル６０８と、テンプレートと
各パラメータとの結び付きを記述したインスタンスファ
イル６０９とが含まれている。
トプログラム生成システムは、テストプログラム生成の
ために用いられる複数のパラメータファイルが含まれる
パラメータファイル群が格納された記憶手段６０と、パ
ラメータファイル群の各パラメータファイルから読み出
したデータのコンパイル及びリンクを行うことにより、
実行可能プログラムであるバイナリファイルのテストプ
ログラム６２を生成するプログラム翻訳手段６１とから
構成されている。記憶手段６０に格納されたパラメータ
ファイル群には、測定項目及び測定順序を記述したテス
トフローファイル６０１と、測定シーケンスを記述した
テンプレートファイル６０２と、測定対象ＬＳＩに入出
力する信号波形の波形モード及びタイミング値を記述し
た波形ファイル６０３と、測定対象ＬＳＩに入出力する
信号の電圧を記述したレベルファイル６０４と、測定対
象ＬＳＩの接触子とＬＳＩテスタの接触子との接続関係
を記述したピンファイル６０５と、ＤＣ測定の測定条件
を記述したＤＣ測定条件ファイル６０６と、変数及び演
算式が記述された変数ファイル６０７と、テストパター
ンの実行開始アドレス及び停止アドレスの情報が記述さ
れたパターンリストファイル６０８と、テンプレートと
各パラメータとの結び付きを記述したインスタンスファ
イル６０９とが含まれている。
【０００５】翻訳手段６１には、各パラメータファイル
６０１〜６０９に格納されているデータをコンパイルす
るコンパイル手段６１１と、コンパイル済みのデータか
ら実行可能プログラムであるバイナリファイルのテスト
プログラム６２を生成するリンク手段６１２とが備えら
れている。
６０１〜６０９に格納されているデータをコンパイルす
るコンパイル手段６１１と、コンパイル済みのデータか
ら実行可能プログラムであるバイナリファイルのテスト
プログラム６２を生成するリンク手段６１２とが備えら
れている。
【０００６】図６に示した従来の半導体試験装置用テス
トプログラム生成システムは、記憶手段６０から各パラ
メータファイル６０１〜６０９を読み出し、各パラメー
タファイル６０１〜６０９に格納されているデータをコ
ンパイル手段６１１によりコンパイルし、コンパイル済
みのデータをリンク手段６１２によりリンクして、実行
可能プログラムであるバイナリファイルのテストプログ
ラム６２を生成する。
トプログラム生成システムは、記憶手段６０から各パラ
メータファイル６０１〜６０９を読み出し、各パラメー
タファイル６０１〜６０９に格納されているデータをコ
ンパイル手段６１１によりコンパイルし、コンパイル済
みのデータをリンク手段６１２によりリンクして、実行
可能プログラムであるバイナリファイルのテストプログ
ラム６２を生成する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような従来の半導体試験装置用テストプログラム生成シ
ステムにおいては、各パラメータファイル６０１〜６０
９に格納されているデータはＬＳＩテスタの機種ごとに
固有のテストプログラム言語で記述されるため、特定の
種類の各パラメータファイル６０１〜６０９からは、特
定機種のＬＳＩテスタ専用のテストプログラムしか生成
できないという問題点があった。従って、作業者は、異
なった機種のＬＳＩテスタのためのテストプログラムを
作成するためには、それぞれのＬＳＩテスタに固有のテ
ストプログラム言語を習得してから作成しなければなら
ず、多大な時間と労力とを要することになる。
ような従来の半導体試験装置用テストプログラム生成シ
ステムにおいては、各パラメータファイル６０１〜６０
９に格納されているデータはＬＳＩテスタの機種ごとに
固有のテストプログラム言語で記述されるため、特定の
種類の各パラメータファイル６０１〜６０９からは、特
定機種のＬＳＩテスタ専用のテストプログラムしか生成
できないという問題点があった。従って、作業者は、異
なった機種のＬＳＩテスタのためのテストプログラムを
作成するためには、それぞれのＬＳＩテスタに固有のテ
ストプログラム言語を習得してから作成しなければなら
ず、多大な時間と労力とを要することになる。
【０００８】また、パラメータファイル群のうちテンプ
レートファイル６０２は、予めＬＳＩテスタメーカによ
り測定シーケンスの雛形が記述されたものが用意されて
いるが、構成が複雑であるため、ユーザである作業者が
容易に作成又は修正することができないという問題点も
あった。
レートファイル６０２は、予めＬＳＩテスタメーカによ
り測定シーケンスの雛形が記述されたものが用意されて
いるが、構成が複雑であるため、ユーザである作業者が
容易に作成又は修正することができないという問題点も
あった。
【０００９】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、各機種ＬＳＩテスタに対応したテスト
プログラムの作成が可能であり、ＬＳＩテスタの機種ご
とに用意される測定シーケンスを記述したテンプレート
ファイルの作成及び修正を容易に行うことが可能な構成
の半導体試験装置用テストプログラム生成システム及び
テストプログラム生成方法を提供することである。
で、その目的は、各機種ＬＳＩテスタに対応したテスト
プログラムの作成が可能であり、ＬＳＩテスタの機種ご
とに用意される測定シーケンスを記述したテンプレート
ファイルの作成及び修正を容易に行うことが可能な構成
の半導体試験装置用テストプログラム生成システム及び
テストプログラム生成方法を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に係る半導体試験
装置用テストプログラム生成システムによれば、各機種
ＬＳＩテスタに共通の情報が登録されたライブラリ、及
び、ＬＳＩの種類ごとに固有の製品情報が登録された製
品情報ファイルが格納された記憶手段と、各機種ＬＳＩ
テスタのテストプログラムの生成に必要なデータを記憶
手段のライブラリ及び製品情報ファイルから読み出し
て、ＬＳＩテスタの機種ごとに固有の各種テストプログ
ラム言語から独立した共通言語のデータに変換すること
により、各機種ＬＳＩテスタのテストプログラムの生成
に使用する中間データを生成するライブラリ抽出／中間
データ生成手段とを備えたことを特徴とし、本発明に係
る半導体試験装置用テストプログラム生成方法によれ
ば、各機種ＬＳＩテスタに共通の情報が登録されたライ
ブラリのデータ、及び、ＬＳＩの種類ごとに固有の製品
情報が登録された製品情報ファイルのデータのうち、各
機種ＬＳＩテスタのテストプログラムの生成に必要なデ
ータを、ＬＳＩテスタの機種ごとに固有の各種テストプ
ログラム言語から独立した共通言語のデータに変換する
ことにより、各機種ＬＳＩテスタのテストプログラムの
生成に使用する中間データを生成する第１の過程を備え
たことを特徴とし、本発明に係る半導体試験装置用テス
トプログラム生成システム及びテストプログラム生成方
法の上記各構成により、中間データを各機種ＬＳＩテス
タのテストプログラム生成のために共通に使用すること
ができる。
装置用テストプログラム生成システムによれば、各機種
ＬＳＩテスタに共通の情報が登録されたライブラリ、及
び、ＬＳＩの種類ごとに固有の製品情報が登録された製
品情報ファイルが格納された記憶手段と、各機種ＬＳＩ
テスタのテストプログラムの生成に必要なデータを記憶
手段のライブラリ及び製品情報ファイルから読み出し
て、ＬＳＩテスタの機種ごとに固有の各種テストプログ
ラム言語から独立した共通言語のデータに変換すること
により、各機種ＬＳＩテスタのテストプログラムの生成
に使用する中間データを生成するライブラリ抽出／中間
データ生成手段とを備えたことを特徴とし、本発明に係
る半導体試験装置用テストプログラム生成方法によれ
ば、各機種ＬＳＩテスタに共通の情報が登録されたライ
ブラリのデータ、及び、ＬＳＩの種類ごとに固有の製品
情報が登録された製品情報ファイルのデータのうち、各
機種ＬＳＩテスタのテストプログラムの生成に必要なデ
ータを、ＬＳＩテスタの機種ごとに固有の各種テストプ
ログラム言語から独立した共通言語のデータに変換する
ことにより、各機種ＬＳＩテスタのテストプログラムの
生成に使用する中間データを生成する第１の過程を備え
たことを特徴とし、本発明に係る半導体試験装置用テス
トプログラム生成システム及びテストプログラム生成方
法の上記各構成により、中間データを各機種ＬＳＩテス
タのテストプログラム生成のために共通に使用すること
ができる。
【００１１】中間データを生成するためのデータの変換
は、各機種ＬＳＩテスタのテストプログラムの生成に共
通して必要な中間データが含まれる複数の情報ファイル
と、ＬＳＩテスタの機種ごとに対応して設けられて、Ｌ
ＳＩテスタの機種ごとに固有の測定シーケンスが記述さ
れ、測定シーケンスに中間データが挿入される複数のテ
ンプレートファイルとに分類されて行われるものとした
ので、テンプレートファイルはテストプログラムを生成
しようとするＬＳＩテスタの機種ごとに使用する一方、
その他の複数の情報ファイルは各機種ＬＳＩテスタのテ
ストプログラムの生成に共通して使用することができ
る。
は、各機種ＬＳＩテスタのテストプログラムの生成に共
通して必要な中間データが含まれる複数の情報ファイル
と、ＬＳＩテスタの機種ごとに対応して設けられて、Ｌ
ＳＩテスタの機種ごとに固有の測定シーケンスが記述さ
れ、測定シーケンスに中間データが挿入される複数のテ
ンプレートファイルとに分類されて行われるものとした
ので、テンプレートファイルはテストプログラムを生成
しようとするＬＳＩテスタの機種ごとに使用する一方、
その他の複数の情報ファイルは各機種ＬＳＩテスタのテ
ストプログラムの生成に共通して使用することができ
る。
【００１２】複数のテンプレートファイルは、中間デー
タ及び複数のテンプレートファイルの生成後に、入力関
数及び出力関数を定義し又は変更することが可能なもの
としたので、テンプレートファイルのシーケンス部に挿
入する項目の数、位置等に変更が必要になった場合であ
っても、システム自体の構成を修正することなく迅速に
対応することができる。
タ及び複数のテンプレートファイルの生成後に、入力関
数及び出力関数を定義し又は変更することが可能なもの
としたので、テンプレートファイルのシーケンス部に挿
入する項目の数、位置等に変更が必要になった場合であ
っても、システム自体の構成を修正することなく迅速に
対応することができる。
【００１３】また、複数のテンプレートファイルは、中
間データ及び複数のテンプレートファイルの生成後に、
測定シーケンスのうち繰り返し実行する範囲を指定する
ことが可能なものとしたので、テンプレートファイルは
同一種類に属する各仕様の製品共通に使用することが可
能となる。
間データ及び複数のテンプレートファイルの生成後に、
測定シーケンスのうち繰り返し実行する範囲を指定する
ことが可能なものとしたので、テンプレートファイルは
同一種類に属する各仕様の製品共通に使用することが可
能となる。
【００１４】中間データの生成後に、中間データをライ
ブラリに登録することとしたので、個々の中間データを
再利用し又は多数のユーザが共有することができる。
ブラリに登録することとしたので、個々の中間データを
再利用し又は多数のユーザが共有することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る半導体試験装
置用テストプログラム生成システム及びテストプログラ
ム生成方法の実施の一形態について、図面を参照しなが
ら説明する。
置用テストプログラム生成システム及びテストプログラ
ム生成方法の実施の一形態について、図面を参照しなが
ら説明する。
【００１６】図１は、本発明に係る半導体試験装置用テ
ストプログラム生成システムの実施の一形態における構
成を示したブロック図であり、本発明に係る半導体試験
装置用テストプログラム生成方法の実施の一形態は、こ
のテストプログラム生成システムにより実施される。
ストプログラム生成システムの実施の一形態における構
成を示したブロック図であり、本発明に係る半導体試験
装置用テストプログラム生成方法の実施の一形態は、こ
のテストプログラム生成システムにより実施される。
【００１７】図１に示した本発明に係る半導体試験装置
用テストプログラム生成システムは、測定方法、測定シ
ーケンスの内容等、各機種ＬＳＩテスタに共通の情報が
登録されたライブラリ１００，及び、各種ＬＳＩのパッ
ケージ規格、ピンの配列及び名称等、ＬＳＩの種類ごと
に固有の製品情報が登録された製品情報ファイル１０１
が格納された記憶手段１０と、各機種ＬＳＩテスタのテ
ストプログラムの生成に必要なデータを記憶手段１０の
ライブラリ１００及び製品情報ファイル１０１から読み
出して、各種テストプログラム言語から独立した共通言
語のデータに変換することにより、中間データ群１４の
各ファイル１４０〜１４９の中間データを生成するライ
ブラリ抽出／中間データ生成手段１１と、生成された中
間データ群の各ファイルに含まれる中間データを記憶手
段１０のライブラリ１００に登録する中間データ・ライ
ブラリ登録手段１２と、中間データ群１４の必要な各フ
ァイル１４０〜１４９から読み出した中間データを変換
することにより、ＬＳＩテスタの機種ごとに対応した第
１，第２，第３，．．．，第ｎのテストプログラム１６
Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，．．．，１６ｎをＡＳＣＩＩ（Am
erican Standard Code for Information Interchange）
ファイルで作成するために、ＬＳＩテスタの機種ごとに
対応して設けられた第１，第２，第３，．．．，第ｎの
テストプログラム生成手段１５Ａ，１５Ｂ，１５
Ｃ，．．．，１５ｎと、ＡＳＣＩＩファイルの第１，第
２，第３，．．．，第ｎのテストプログラム１６Ａ，１
６Ｂ，１６Ｃ，．．．，１６ｎのコンパイル及びリンク
を行うことにより、ＬＳＩテスタの機種ごとに対応した
実行可能プログラムであるバイナリファイルの第１，第
２，第３，．．．，第ｎのテストプログラム１８Ａ，１
８Ｂ，１８Ｃ，．．．，１８ｎを生成するために、ＬＳ
Ｉテスタの機種ごとに対応して設けられた第１，第２，
第３，．．．，第ｎのプログラム翻訳手段１７Ａ，１７
Ｂ，１７Ｃ，．．．，１７ｎとから構成されている。
用テストプログラム生成システムは、測定方法、測定シ
ーケンスの内容等、各機種ＬＳＩテスタに共通の情報が
登録されたライブラリ１００，及び、各種ＬＳＩのパッ
ケージ規格、ピンの配列及び名称等、ＬＳＩの種類ごと
に固有の製品情報が登録された製品情報ファイル１０１
が格納された記憶手段１０と、各機種ＬＳＩテスタのテ
ストプログラムの生成に必要なデータを記憶手段１０の
ライブラリ１００及び製品情報ファイル１０１から読み
出して、各種テストプログラム言語から独立した共通言
語のデータに変換することにより、中間データ群１４の
各ファイル１４０〜１４９の中間データを生成するライ
ブラリ抽出／中間データ生成手段１１と、生成された中
間データ群の各ファイルに含まれる中間データを記憶手
段１０のライブラリ１００に登録する中間データ・ライ
ブラリ登録手段１２と、中間データ群１４の必要な各フ
ァイル１４０〜１４９から読み出した中間データを変換
することにより、ＬＳＩテスタの機種ごとに対応した第
１，第２，第３，．．．，第ｎのテストプログラム１６
Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，．．．，１６ｎをＡＳＣＩＩ（Am
erican Standard Code for Information Interchange）
ファイルで作成するために、ＬＳＩテスタの機種ごとに
対応して設けられた第１，第２，第３，．．．，第ｎの
テストプログラム生成手段１５Ａ，１５Ｂ，１５
Ｃ，．．．，１５ｎと、ＡＳＣＩＩファイルの第１，第
２，第３，．．．，第ｎのテストプログラム１６Ａ，１
６Ｂ，１６Ｃ，．．．，１６ｎのコンパイル及びリンク
を行うことにより、ＬＳＩテスタの機種ごとに対応した
実行可能プログラムであるバイナリファイルの第１，第
２，第３，．．．，第ｎのテストプログラム１８Ａ，１
８Ｂ，１８Ｃ，．．．，１８ｎを生成するために、ＬＳ
Ｉテスタの機種ごとに対応して設けられた第１，第２，
第３，．．．，第ｎのプログラム翻訳手段１７Ａ，１７
Ｂ，１７Ｃ，．．．，１７ｎとから構成されている。
【００１８】実行可能プログラムであるテストプログラ
ムの生成に用いられる中間データ群１４は人手で作成す
ることも可能であるが、ライブラリ抽出／中間データ生
成手段１１により、測定方法、測定シーケンスの内容
等、各機種ＬＳＩテスタに共通の情報のデータと、各種
ＬＳＩのパッケージ規格、ピンの配列及び名称等、ＬＳ
Ｉの種類ごとに固有の製品情報のデータとを、記憶手段
１０のライブラリ１００と製品情報ファイル１０１とか
らそれぞれ読み出し、各種テストプログラム言語から独
立した共通言語のデータに変換することにより、中間デ
ータ群１４の各ファイル１４０〜１４９の中間データを
自動的に作成する。
ムの生成に用いられる中間データ群１４は人手で作成す
ることも可能であるが、ライブラリ抽出／中間データ生
成手段１１により、測定方法、測定シーケンスの内容
等、各機種ＬＳＩテスタに共通の情報のデータと、各種
ＬＳＩのパッケージ規格、ピンの配列及び名称等、ＬＳ
Ｉの種類ごとに固有の製品情報のデータとを、記憶手段
１０のライブラリ１００と製品情報ファイル１０１とか
らそれぞれ読み出し、各種テストプログラム言語から独
立した共通言語のデータに変換することにより、中間デ
ータ群１４の各ファイル１４０〜１４９の中間データを
自動的に作成する。
【００１９】中間データ群の各ファイルには、測定項目
及び測定順序を記述したテストフローファイル１４０
と、測定対象ＬＳＩの種類ごとに測定シーケンスを記述
した第１，第２，第３，．．．，第ｎのテンプレートフ
ァイル１４１Ａ，１４１Ｂ，１４１Ｃ，．．．，１４１
ｎと、測定対象ＬＳＩに入出力する信号波形の波形モー
ド及びタイミング値を記述した波形ファイル１４２と、
測定対象ＬＳＩに入出力する信号の電圧を記述したレベ
ルファイル１４３と、測定対象ＬＳＩの接触子とＬＳＩ
テスタの接触子との接続関係を記述したピンファイル１
４４と、ＤＣ測定の測定条件を記述したＤＣ測定条件フ
ァイル１４５と、ユニットの電源オン／オフの順序及び
時間を記述したパワーシーケンス１４６と、変数及び演
算式が記述された変数ファイル１４７と、テストパター
ンの実行開始アドレス及び停止アドレスの情報が記述さ
れたパターンリストファイル１４８と、テンプレートと
各パラメータとの結び付きを記述したインスタンスファ
イル１４９とが含まれている。
及び測定順序を記述したテストフローファイル１４０
と、測定対象ＬＳＩの種類ごとに測定シーケンスを記述
した第１，第２，第３，．．．，第ｎのテンプレートフ
ァイル１４１Ａ，１４１Ｂ，１４１Ｃ，．．．，１４１
ｎと、測定対象ＬＳＩに入出力する信号波形の波形モー
ド及びタイミング値を記述した波形ファイル１４２と、
測定対象ＬＳＩに入出力する信号の電圧を記述したレベ
ルファイル１４３と、測定対象ＬＳＩの接触子とＬＳＩ
テスタの接触子との接続関係を記述したピンファイル１
４４と、ＤＣ測定の測定条件を記述したＤＣ測定条件フ
ァイル１４５と、ユニットの電源オン／オフの順序及び
時間を記述したパワーシーケンス１４６と、変数及び演
算式が記述された変数ファイル１４７と、テストパター
ンの実行開始アドレス及び停止アドレスの情報が記述さ
れたパターンリストファイル１４８と、テンプレートと
各パラメータとの結び付きを記述したインスタンスファ
イル１４９とが含まれている。
【００２０】本発明に係る半導体試験装置用テストプロ
グラム生成システムにおける中間データ群が、図６に示
した従来の半導体試験装置用テストプログラム生成シス
テムにおけるパラメータファイル群と異なる点は、第
１，第２，第３，．．．，第ｎのテンプレートファイル
１４１Ａ，１４１Ｂ，１４１Ｃ，．．．，１４１ｎを除
く中間データ群の各ファイルがＬＳＩテスタの機種ごと
に固有のテストプログラム言語から独立した共通言語で
記述されていることと、第１，第２，第３，．．．，第
ｎのテンプレートファイル１４１Ａ，１４１Ｂ，１４１
Ｃ，．．．，１４１ｎが測定対象ＬＳＩの種類ごとに、
即ち、ＬＳＩテスタの機種ごとに対応して設けられてい
ることである。第１，第２，第３，．．．，第ｎのテン
プレートファイル１４１Ａ，１４１Ｂ，１４１
Ｃ，．．．，１４１ｎを除く中間データ群の各ファイル
が共通言語で記述されている一方、第１，第２，第
３，．．．，第ｎのテンプレートファイル１４１Ａ，１
４１Ｂ，１４１Ｃ，．．．，１４１ｎが測定対象ＬＳＩ
の種類ごとに対応して設けられているのは、テンプレー
トファイルは測定対象ＬＳＩの種類ごとに測定シーケン
スを記述したものだからである。
グラム生成システムにおける中間データ群が、図６に示
した従来の半導体試験装置用テストプログラム生成シス
テムにおけるパラメータファイル群と異なる点は、第
１，第２，第３，．．．，第ｎのテンプレートファイル
１４１Ａ，１４１Ｂ，１４１Ｃ，．．．，１４１ｎを除
く中間データ群の各ファイルがＬＳＩテスタの機種ごと
に固有のテストプログラム言語から独立した共通言語で
記述されていることと、第１，第２，第３，．．．，第
ｎのテンプレートファイル１４１Ａ，１４１Ｂ，１４１
Ｃ，．．．，１４１ｎが測定対象ＬＳＩの種類ごとに、
即ち、ＬＳＩテスタの機種ごとに対応して設けられてい
ることである。第１，第２，第３，．．．，第ｎのテン
プレートファイル１４１Ａ，１４１Ｂ，１４１
Ｃ，．．．，１４１ｎを除く中間データ群の各ファイル
が共通言語で記述されている一方、第１，第２，第
３，．．．，第ｎのテンプレートファイル１４１Ａ，１
４１Ｂ，１４１Ｃ，．．．，１４１ｎが測定対象ＬＳＩ
の種類ごとに対応して設けられているのは、テンプレー
トファイルは測定対象ＬＳＩの種類ごとに測定シーケン
スを記述したものだからである。
【００２１】中間データ群１４の各ファイルに含まれる
個々の中間データは、中間データ・ライブラリ登録手段
１２により、記憶手段１０のライブラリ１００に登録す
ることができる。これにより、個々の中間データを再利
用し又は多数のユーザが共有することができる。
個々の中間データは、中間データ・ライブラリ登録手段
１２により、記憶手段１０のライブラリ１００に登録す
ることができる。これにより、個々の中間データを再利
用し又は多数のユーザが共有することができる。
【００２２】図２は、テストプログラム言語から独立し
た共通言語で記述されたレベルファイル１４３のフォー
マットの一例を示した表示図である。
た共通言語で記述されたレベルファイル１４３のフォー
マットの一例を示した表示図である。
【００２３】ある特定機種のＬＳＩテスタのテストプロ
グラム言語においては、例えば、電源の設定は、ＶＳ１
＝５．０Ｖ（電源電圧），Ｒ８Ｖ（電圧印加レンジ），
Ｍ０．８Ａ（測定レンジ）というように、「ＶＳ１」と
いう語を用いて行われるが、この「ＶＳ１」という語
は、この特定機種のＬＳＩテスタのテストプログラム言
語に固有のものであり、他の機種のＬＳＩテスタのテス
トプログラム言語においては使用できないものである。
従って、図６に示した従来の半導体試験装置用テストプ
ログラム生成システムのように、そのような特定機種の
ＬＳＩテスタのテストプログラム言語を用いてパラメー
タファイル群を作成したのでは、そのパラメータファイ
ル群は、その特定機種のＬＳＩテスタのテストプログラ
ム生成にしか使用することができない。
グラム言語においては、例えば、電源の設定は、ＶＳ１
＝５．０Ｖ（電源電圧），Ｒ８Ｖ（電圧印加レンジ），
Ｍ０．８Ａ（測定レンジ）というように、「ＶＳ１」と
いう語を用いて行われるが、この「ＶＳ１」という語
は、この特定機種のＬＳＩテスタのテストプログラム言
語に固有のものであり、他の機種のＬＳＩテスタのテス
トプログラム言語においては使用できないものである。
従って、図６に示した従来の半導体試験装置用テストプ
ログラム生成システムのように、そのような特定機種の
ＬＳＩテスタのテストプログラム言語を用いてパラメー
タファイル群を作成したのでは、そのパラメータファイ
ル群は、その特定機種のＬＳＩテスタのテストプログラ
ム生成にしか使用することができない。
【００２４】そこで、本発明に係る半導体試験装置用テ
ストプログラム生成システム及びテストプログラム生成
方法においては、テストプログラム言語から独立した共
通言語を用いる中間データを生成することとし、その中
間データにおいては、例えば、電源の設定には「ＶＤ
Ｄ」という語を共通して用いるようにする。これによ
り、中間データ群に含まれる各ファイルの中間データを
各機種ＬＳＩテスタのテストプログラム生成のために共
通に使用することができるようになる。
ストプログラム生成システム及びテストプログラム生成
方法においては、テストプログラム言語から独立した共
通言語を用いる中間データを生成することとし、その中
間データにおいては、例えば、電源の設定には「ＶＤ
Ｄ」という語を共通して用いるようにする。これによ
り、中間データ群に含まれる各ファイルの中間データを
各機種ＬＳＩテスタのテストプログラム生成のために共
通に使用することができるようになる。
【００２５】図２に示した例においては、電源の設定の
「ＶＤＤ」の他、入力基準電圧値の「ＩＮ」、出力基準
電圧値の「ＯＵＴ」、終端電圧値の「ＶＴ」、負荷電流
値の「ＩＬ」、電圧クランプ値の「ＤＣＬＰ」といった
共通言語が使用されている。次に、本発明に係る半導体
試験装置用テストプログラム生成システムにおいては、
中間データ群１４の必要な各ファイル１４０〜１４９か
ら読み出したデータを入力データとして、ＬＳＩテスタ
の機種ごとに対応して設けられた第１，第２，第
３，．．．，第ｎのテストプログラム生成手段１５Ａ，
１５Ｂ，１５Ｃ，．．．，１５ｎにより、ＬＳＩテスタ
の機種ごとに対応した第１，第２，第３，．．．，第ｎ
のテストプログラム１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，．．．，
１６ｎがＡＳＣＩＩファイルでそれぞれ作成される。即
ち、第１，第２，第３，．．．，第ｎのテストプログラ
ム生成手段１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，．．．，１５ｎ
は、予め指定されたＬＳＩテスタの機種に対応したテス
トプログラム言語で記述された第１，第２，第
３，．．．，第ｎのテンプレートファイル１４１Ａ，１
４１Ｂ，１４１Ｃ，．．．，１４１ｎのいずれかのデー
タと、テンプレートファイル以外の共通言語で記述され
た各ファイルの中間データとを読み出し、それらのデー
タを該当機種のＬＳＩテスタのテストプログラム言語に
変換し合成したＡＳＣＩＩファイルの第１，第２，第
３，．．．，第ｎのテストプログラム１６Ａ，１６Ｂ，
１６Ｃ，．．．，１６ｎのいずれかを作成する。
「ＶＤＤ」の他、入力基準電圧値の「ＩＮ」、出力基準
電圧値の「ＯＵＴ」、終端電圧値の「ＶＴ」、負荷電流
値の「ＩＬ」、電圧クランプ値の「ＤＣＬＰ」といった
共通言語が使用されている。次に、本発明に係る半導体
試験装置用テストプログラム生成システムにおいては、
中間データ群１４の必要な各ファイル１４０〜１４９か
ら読み出したデータを入力データとして、ＬＳＩテスタ
の機種ごとに対応して設けられた第１，第２，第
３，．．．，第ｎのテストプログラム生成手段１５Ａ，
１５Ｂ，１５Ｃ，．．．，１５ｎにより、ＬＳＩテスタ
の機種ごとに対応した第１，第２，第３，．．．，第ｎ
のテストプログラム１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，．．．，
１６ｎがＡＳＣＩＩファイルでそれぞれ作成される。即
ち、第１，第２，第３，．．．，第ｎのテストプログラ
ム生成手段１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，．．．，１５ｎ
は、予め指定されたＬＳＩテスタの機種に対応したテス
トプログラム言語で記述された第１，第２，第
３，．．．，第ｎのテンプレートファイル１４１Ａ，１
４１Ｂ，１４１Ｃ，．．．，１４１ｎのいずれかのデー
タと、テンプレートファイル以外の共通言語で記述され
た各ファイルの中間データとを読み出し、それらのデー
タを該当機種のＬＳＩテスタのテストプログラム言語に
変換し合成したＡＳＣＩＩファイルの第１，第２，第
３，．．．，第ｎのテストプログラム１６Ａ，１６Ｂ，
１６Ｃ，．．．，１６ｎのいずれかを作成する。
【００２６】さらに、ＬＳＩテスタの機種ごとに対応し
て設けられた第１，第２，第３，．．．，第ｎのプログ
ラム翻訳手段１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃ，．．．，１７ｎ
が、ＡＳＣＩＩファイルの第１，第２，第３，．．．，
第ｎのテストプログラム１６Ａ，１６Ｂ，１６
Ｃ，．．．，１６ｎのコンパイル及びリンクを行うこと
により、ＬＳＩテスタの機種ごとに対応した実行可能プ
ログラムであるバイナリファイルの第１，第２，第
３，．．．，第ｎのテストプログラム１８Ａ，１８Ｂ，
１８Ｃ，．．．，１８ｎを生成する。
て設けられた第１，第２，第３，．．．，第ｎのプログ
ラム翻訳手段１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃ，．．．，１７ｎ
が、ＡＳＣＩＩファイルの第１，第２，第３，．．．，
第ｎのテストプログラム１６Ａ，１６Ｂ，１６
Ｃ，．．．，１６ｎのコンパイル及びリンクを行うこと
により、ＬＳＩテスタの機種ごとに対応した実行可能プ
ログラムであるバイナリファイルの第１，第２，第
３，．．．，第ｎのテストプログラム１８Ａ，１８Ｂ，
１８Ｃ，．．．，１８ｎを生成する。
【００２７】中間データ群の各ファイルに含まれる中間
データを入力として、各テストプログラム生成手段によ
り、ＡＳＣＩＩファイルの各テストプログラムが作成さ
れ、さらに、各プログラム翻訳手段が、実行可能プログ
ラムであるバイナリファイルの各テストプログラムを生
成する方法を、以下に、より具体的に説明する。
データを入力として、各テストプログラム生成手段によ
り、ＡＳＣＩＩファイルの各テストプログラムが作成さ
れ、さらに、各プログラム翻訳手段が、実行可能プログ
ラムであるバイナリファイルの各テストプログラムを生
成する方法を、以下に、より具体的に説明する。
【００２８】図３は、中間データ群１４の各ファイル１
４０〜１４９の関係を示した説明図である。
４０〜１４９の関係を示した説明図である。
【００２９】テストフローファイル１４０は、変数の定
義及び初期化のために挿入する変数ファイル１４７のフ
ァイル名と、測定項目及び測定順序を指定するためのイ
ンスタンスファイル１４９のファイル名とを指定する。
インスタンスファイル１４９は、各測定項目ごとに生成
されて備えられ、各測定項目を実現するために必要なフ
ァイルのファイル名を指定する。インスタンスファイル
１４９で指定するファイル名は、テンプレートファイル
１４１（１４１Ａ，１４１Ｂ，１４１Ｃ，．．．，１４
１ｎのうちのいずれか），パワーシーケンスファイル１
４６，レベルファイル１４３，波形ファイル１４２，Ｄ
Ｃ測定条件ファイル１４５，パターンリストファイル１
４８の各ファイル名である。上述のようにファイル名を
指定することにより、各ファイル間の関係付けを行う。
義及び初期化のために挿入する変数ファイル１４７のフ
ァイル名と、測定項目及び測定順序を指定するためのイ
ンスタンスファイル１４９のファイル名とを指定する。
インスタンスファイル１４９は、各測定項目ごとに生成
されて備えられ、各測定項目を実現するために必要なフ
ァイルのファイル名を指定する。インスタンスファイル
１４９で指定するファイル名は、テンプレートファイル
１４１（１４１Ａ，１４１Ｂ，１４１Ｃ，．．．，１４
１ｎのうちのいずれか），パワーシーケンスファイル１
４６，レベルファイル１４３，波形ファイル１４２，Ｄ
Ｃ測定条件ファイル１４５，パターンリストファイル１
４８の各ファイル名である。上述のようにファイル名を
指定することにより、各ファイル間の関係付けを行う。
【００３０】図４は、各ファイル間の関係付けを利用し
てテストプログラムを生成する手順を示したフローチャ
ートである。
てテストプログラムを生成する手順を示したフローチャ
ートである。
【００３１】テストプログラムの生成は、以下のように
行う。最初に、テストプログラムを使用するＬＳＩテス
タ名と、実施するテストのテストフローファイル名とを
指定する（ステップＳ４０）。ＬＳＩテスタ名及びテス
トフローファイル名の指定後、指定したテストフローフ
ァイルからインスタンス名を取得する（ステップＳ４
１）。インスタンス名の取得後、そのインスタンス名に
対応するインスタンスファイルからテンプレート名を取
得し（ステップＳ４２）、さらに、そのインスタンスフ
ァイルから各中間データのファイル名を取得する（ステ
ップＳ４３）。各中間データのファイル名の取得後、そ
のファイル名に対応する各中間データのファイルから必
要なデータを読み込む（ステップＳ４４）。必要な中間
データの読込後、中間データを、指定したＬＳＩテスタ
のテストプログラム言語のデータに置き換える（ステッ
プＳ４５）。データの置き換え後、テンプレート内で指
定されているデータ展開場所に、テストプログラム言語
のデータを挿入する（ステップＳ４６）。また、テスト
フロー内で指定されているインスタンス展開場所にテン
プレートを出力し、ＡＳＣＩＩファイルのテストプログ
ラムを生成する（ステップＳ４７）。以上のステップＳ
４１からステップＳ４７までの手順の処理は、総てのイ
ンスタンスについて終了するまで繰り返され（ステップ
Ｓ４８）、総てのインスタンスについて処理が終了する
と、指定されたＬＳＩテスタ名に対応する翻訳手段が、
ＡＳＣＩＩファイルのテストプログラムのコンパイル及
びリンクを行うことにより、バイナリファイルのテスト
プログラムが生成される（ステップＳ４９）。
行う。最初に、テストプログラムを使用するＬＳＩテス
タ名と、実施するテストのテストフローファイル名とを
指定する（ステップＳ４０）。ＬＳＩテスタ名及びテス
トフローファイル名の指定後、指定したテストフローフ
ァイルからインスタンス名を取得する（ステップＳ４
１）。インスタンス名の取得後、そのインスタンス名に
対応するインスタンスファイルからテンプレート名を取
得し（ステップＳ４２）、さらに、そのインスタンスフ
ァイルから各中間データのファイル名を取得する（ステ
ップＳ４３）。各中間データのファイル名の取得後、そ
のファイル名に対応する各中間データのファイルから必
要なデータを読み込む（ステップＳ４４）。必要な中間
データの読込後、中間データを、指定したＬＳＩテスタ
のテストプログラム言語のデータに置き換える（ステッ
プＳ４５）。データの置き換え後、テンプレート内で指
定されているデータ展開場所に、テストプログラム言語
のデータを挿入する（ステップＳ４６）。また、テスト
フロー内で指定されているインスタンス展開場所にテン
プレートを出力し、ＡＳＣＩＩファイルのテストプログ
ラムを生成する（ステップＳ４７）。以上のステップＳ
４１からステップＳ４７までの手順の処理は、総てのイ
ンスタンスについて終了するまで繰り返され（ステップ
Ｓ４８）、総てのインスタンスについて処理が終了する
と、指定されたＬＳＩテスタ名に対応する翻訳手段が、
ＡＳＣＩＩファイルのテストプログラムのコンパイル及
びリンクを行うことにより、バイナリファイルのテスト
プログラムが生成される（ステップＳ４９）。
【００３２】図５は、テストプログラムの生成及び出力
の際におけるデータの一構成例を示した説明図である。
の際におけるデータの一構成例を示した説明図である。
【００３３】テンプレートファイル１４１は、ヘッダ情
報部５０と、宣言部５１と、シーケンス部５２とから構
成されている。ヘッダ情報部５０は、テンプレートファ
イル１４１の属性及び種類を示す情報を記述する。宣言
部５１は、テンプレートファイル内に挿入する中間デー
タファイル１９のファイル名５１０，入力関数５１１，
出力関数５１２を宣言する。シーケンス部５２は、テス
トプログラム言語及び宣言部５１で宣言したデータの挿
入箇所を記述することにより測定シーケンスを記述す
る。
報部５０と、宣言部５１と、シーケンス部５２とから構
成されている。ヘッダ情報部５０は、テンプレートファ
イル１４１の属性及び種類を示す情報を記述する。宣言
部５１は、テンプレートファイル内に挿入する中間デー
タファイル１９のファイル名５１０，入力関数５１１，
出力関数５１２を宣言する。シーケンス部５２は、テス
トプログラム言語及び宣言部５１で宣言したデータの挿
入箇所を記述することにより測定シーケンスを記述す
る。
【００３４】インスタンスファイル１４９の構成は、テ
ンプレートファイルの宣言部５１の構成に１対１で対応
し、宣言された項目に対して入力する中間データファイ
ルのファイル名５３，入力関数で挿入する文字列５４，
出力関数で取り込む値を格納する変数名５５をそれぞれ
指定する。上述のような構成により、テンプレートファ
イル１４１のシーケンス部５２にデータを挿入して出力
ファイル２０を完成させる。
ンプレートファイルの宣言部５１の構成に１対１で対応
し、宣言された項目に対して入力する中間データファイ
ルのファイル名５３，入力関数で挿入する文字列５４，
出力関数で取り込む値を格納する変数名５５をそれぞれ
指定する。上述のような構成により、テンプレートファ
イル１４１のシーケンス部５２にデータを挿入して出力
ファイル２０を完成させる。
【００３５】本発明に係る半導体試験装置用テストプロ
グラム生成システム及びテストプログラム生成方法にお
いては、中間データ及びテンプレートファイル１４１の
生成後に作業者自身がテンプレートファイル１４１内に
自由に入力関数及び出力関数を定義し又は変更すること
ができる。これにより、テンプレートファイルのシーケ
ンス部５２に挿入する項目の数、位置等に変更が必要に
なった場合であっても、システム自体の構成を修正する
ことなく迅速に対応することができる。
グラム生成システム及びテストプログラム生成方法にお
いては、中間データ及びテンプレートファイル１４１の
生成後に作業者自身がテンプレートファイル１４１内に
自由に入力関数及び出力関数を定義し又は変更すること
ができる。これにより、テンプレートファイルのシーケ
ンス部５２に挿入する項目の数、位置等に変更が必要に
なった場合であっても、システム自体の構成を修正する
ことなく迅速に対応することができる。
【００３６】また、通常、ＤＣテストは、電流・電圧印
加条件、パス／フェイル判定条件、測定ピン、測定パタ
ーンアドレスを変更しながら同一シーケンスを繰り返し
てテストを実行する。そこで、本発明に係る半導体試験
装置用テストプログラム生成システム及びテストプログ
ラム生成方法においては、中間データ及びテンプレート
ファイル１４１の生成後に、繰り返し実行を行うシーケ
ンス部分を繰り返し範囲として宣言し、そのシーケンス
部分を繰り返し実行する回数分だけ出力ファイル２０に
展開する。繰り返し回数は製品ごとに不定であるが、こ
れによりテンプレートファイル１４１は同一種類に属す
る各仕様の製品共通に使用することが可能となる。
加条件、パス／フェイル判定条件、測定ピン、測定パタ
ーンアドレスを変更しながら同一シーケンスを繰り返し
てテストを実行する。そこで、本発明に係る半導体試験
装置用テストプログラム生成システム及びテストプログ
ラム生成方法においては、中間データ及びテンプレート
ファイル１４１の生成後に、繰り返し実行を行うシーケ
ンス部分を繰り返し範囲として宣言し、そのシーケンス
部分を繰り返し実行する回数分だけ出力ファイル２０に
展開する。繰り返し回数は製品ごとに不定であるが、こ
れによりテンプレートファイル１４１は同一種類に属す
る各仕様の製品共通に使用することが可能となる。
【００３７】
【発明の効果】本発明に係る半導体試験装置用テストプ
ログラム生成システム及びテストプログラム生成方法に
よれば、各機種ＬＳＩテスタに共通の情報が登録された
ライブラリのデータ、及び、ＬＳＩの種類ごとに固有の
製品情報が登録された製品情報ファイルのデータのう
ち、各機種ＬＳＩテスタのテストプログラムの生成に必
要なデータを、ＬＳＩテスタの機種ごとに固有の各種テ
ストプログラム言語から独立した共通言語のデータに変
換することにより、各機種ＬＳＩテスタのテストプログ
ラムの生成に使用する中間データを生成することとした
ので、中間データを各機種ＬＳＩテスタのテストプログ
ラム生成のために共通に使用することができる。その結
果、ＬＳＩテスタの機種ごとに固有のテストプログラム
言語から独立した共通言語で構成される中間データを習
得するのみで、各機種ＬＳＩテスタのテストプログラム
を作成することができる。即ち、ＬＳＩテスタの機種ご
とに固有のテストプログラム言語を習得する必要がなく
なり、各機種ＬＳＩテスタのテストプログラム作成の効
率の向上を図ることができる。
ログラム生成システム及びテストプログラム生成方法に
よれば、各機種ＬＳＩテスタに共通の情報が登録された
ライブラリのデータ、及び、ＬＳＩの種類ごとに固有の
製品情報が登録された製品情報ファイルのデータのう
ち、各機種ＬＳＩテスタのテストプログラムの生成に必
要なデータを、ＬＳＩテスタの機種ごとに固有の各種テ
ストプログラム言語から独立した共通言語のデータに変
換することにより、各機種ＬＳＩテスタのテストプログ
ラムの生成に使用する中間データを生成することとした
ので、中間データを各機種ＬＳＩテスタのテストプログ
ラム生成のために共通に使用することができる。その結
果、ＬＳＩテスタの機種ごとに固有のテストプログラム
言語から独立した共通言語で構成される中間データを習
得するのみで、各機種ＬＳＩテスタのテストプログラム
を作成することができる。即ち、ＬＳＩテスタの機種ご
とに固有のテストプログラム言語を習得する必要がなく
なり、各機種ＬＳＩテスタのテストプログラム作成の効
率の向上を図ることができる。
【００３８】中間データを生成するためのデータの変換
は、各機種ＬＳＩテスタのテストプログラムの生成に共
通して必要な中間データが含まれる複数の情報ファイル
と、ＬＳＩテスタの機種ごとに対応して設けられて、Ｌ
ＳＩテスタの機種ごとに固有の測定シーケンスが記述さ
れ、測定シーケンスに中間データが挿入される複数のテ
ンプレートファイルとに分類されて行われるものとした
ので、テンプレートファイルはテストプログラムを生成
しようとするＬＳＩテスタの機種ごとに使用する一方、
その他の複数の情報ファイルは各機種ＬＳＩテスタのテ
ストプログラムの生成に共通して使用することができ
る。
は、各機種ＬＳＩテスタのテストプログラムの生成に共
通して必要な中間データが含まれる複数の情報ファイル
と、ＬＳＩテスタの機種ごとに対応して設けられて、Ｌ
ＳＩテスタの機種ごとに固有の測定シーケンスが記述さ
れ、測定シーケンスに中間データが挿入される複数のテ
ンプレートファイルとに分類されて行われるものとした
ので、テンプレートファイルはテストプログラムを生成
しようとするＬＳＩテスタの機種ごとに使用する一方、
その他の複数の情報ファイルは各機種ＬＳＩテスタのテ
ストプログラムの生成に共通して使用することができ
る。
【００３９】複数のテンプレートファイルは、中間デー
タ及び複数のテンプレートファイルの生成後に、入力関
数及び出力関数を定義し又は変更することが可能なもの
としたので、テンプレートファイルのシーケンス部に挿
入する項目の数、位置等に変更が必要になった場合であ
っても、システム自体の構成を修正することなく迅速に
対応することができる。
タ及び複数のテンプレートファイルの生成後に、入力関
数及び出力関数を定義し又は変更することが可能なもの
としたので、テンプレートファイルのシーケンス部に挿
入する項目の数、位置等に変更が必要になった場合であ
っても、システム自体の構成を修正することなく迅速に
対応することができる。
【００４０】また、複数のテンプレートファイルは、中
間データ及び複数のテンプレートファイルの生成後に、
測定シーケンスのうち繰り返し実行する範囲を指定する
ことが可能なものとしたので、テンプレートファイルは
同一種類に属する各仕様の製品共通に使用することが可
能となる。
間データ及び複数のテンプレートファイルの生成後に、
測定シーケンスのうち繰り返し実行する範囲を指定する
ことが可能なものとしたので、テンプレートファイルは
同一種類に属する各仕様の製品共通に使用することが可
能となる。
【００４１】中間データの生成後に、中間データをライ
ブラリに登録することとしたので、個々の中間データを
再利用し又は多数のユーザが共有することができる。
ブラリに登録することとしたので、個々の中間データを
再利用し又は多数のユーザが共有することができる。
【図１】本発明に係る半導体試験装置用テストプログラ
ム生成システムの実施の一形態における構成を示したブ
ロック図。
ム生成システムの実施の一形態における構成を示したブ
ロック図。
【図２】テストプログラム言語から独立した共通言語で
記述されたレベルファイルのフォーマットの一例を示し
た表示図。
記述されたレベルファイルのフォーマットの一例を示し
た表示図。
【図３】中間データ群１４の各ファイル１４０〜１４９
の関係を示した説明図。
の関係を示した説明図。
【図４】各ファイル間の関係付けを利用してテストプロ
グラムを生成する手順を示したフローチャート。
グラムを生成する手順を示したフローチャート。
【図５】テストプログラムの生成及び出力の際における
データの一構成例を示した説明図。
データの一構成例を示した説明図。
【図６】従来の半導体試験装置用テストプログラム生成
システムの構成を示したブロック図。
システムの構成を示したブロック図。
１０ 記憶手段
１００ ライブラリ
１０１ 製品情報ファイル
１１ ライブラリ抽出／中間データ生成手段
１２ 中間データ・ライブラリ登録手段
１４ 中間データ群
１４０ テストフローファイル１４０
１４１，１４１Ａ，１４１Ｂ，１４１Ｃ，．．．，１４
１ｎ 第１，第２，第３，．．．，第ｎのテンプレート
ファイル ５０ ヘッダ部 ５１ 宣言部 ５１０ 中間データファイルのファイル名 ５１１ 入力関数 ５１２ 出力関数 ５２ シーケンス部 １４２ 波形ファイル １４３ レベルファイル １４４ ピンファイル １４５ ＤＣ測定条件ファイル １４６ パワーシーケンス １４７ 変数ファイル １４８ パターンリストファイル １４９ インスタンスファイル１４９ ５３ 中間データファイルのファイル名 ５４ 入力関数で挿入する文字列 ５５ 出力関数で取り込む値を格納する変数名 １５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，．．．，１５ｎ 第１，第
２，第３，．．．，第ｎのテストプログラム生成手段 １６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，．．．，１６ｎ ＡＳＣＩＩ
ファイルの第１，第２，第３，．．．，第ｎのテストプ
ログラム １７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃ，．．．，１７ｎ 第１，第
２，第３，．．．，第ｎのプログラム翻訳手段 １８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ，．．．，１８ｎ バイナリフ
ァイルの第１，第２，第３，．．．，第ｎのテストプロ
グラム ２０ 出力ファイル ６０ 記憶手段 ６０１ テストフローファイル ６０２ テンプレートファイル ６０３ 波形ファイル ６０４ レベルファイル ６０５ ピンファイル ６０６ ＤＣ測定条件ファイル ６０７ 変数ファイル ６０８ パターンリストファイル ６０９ インスタンスファイル ６１ プログラム翻訳手段 ６１１ コンパイル手段 ６１２ リンク手段 ６２ バイナリファイルのテストプログラム
１ｎ 第１，第２，第３，．．．，第ｎのテンプレート
ファイル ５０ ヘッダ部 ５１ 宣言部 ５１０ 中間データファイルのファイル名 ５１１ 入力関数 ５１２ 出力関数 ５２ シーケンス部 １４２ 波形ファイル １４３ レベルファイル １４４ ピンファイル １４５ ＤＣ測定条件ファイル １４６ パワーシーケンス １４７ 変数ファイル １４８ パターンリストファイル １４９ インスタンスファイル１４９ ５３ 中間データファイルのファイル名 ５４ 入力関数で挿入する文字列 ５５ 出力関数で取り込む値を格納する変数名 １５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，．．．，１５ｎ 第１，第
２，第３，．．．，第ｎのテストプログラム生成手段 １６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，．．．，１６ｎ ＡＳＣＩＩ
ファイルの第１，第２，第３，．．．，第ｎのテストプ
ログラム １７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃ，．．．，１７ｎ 第１，第
２，第３，．．．，第ｎのプログラム翻訳手段 １８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ，．．．，１８ｎ バイナリフ
ァイルの第１，第２，第３，．．．，第ｎのテストプロ
グラム ２０ 出力ファイル ６０ 記憶手段 ６０１ テストフローファイル ６０２ テンプレートファイル ６０３ 波形ファイル ６０４ レベルファイル ６０５ ピンファイル ６０６ ＤＣ測定条件ファイル ６０７ 変数ファイル ６０８ パターンリストファイル ６０９ インスタンスファイル ６１ プログラム翻訳手段 ６１１ コンパイル手段 ６１２ リンク手段 ６２ バイナリファイルのテストプログラム
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 小田代 佳 哲
神奈川県川崎市幸区堀川町580番１号
株式会社東芝 半導体システム技術セン
ター内
(72)発明者 小 室 浩 二
神奈川県川崎市川崎区駅前本町25番地１
東芝マイクロエレクトロニクス株式会
社内
(72)発明者 岡 部 謹 爾
神奈川県川崎市川崎区駅前本町25番地１
東芝マイクロエレクトロニクス株式会
社内
(56)参考文献 特開 昭60−76100（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−48300（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−172903（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−72278（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G06F 11/22 - 11/26
G01R 31/28
G01R 31/3183
Claims (12)
- 【請求項１】各機種ＬＳＩテスタに共通の情報が登録さ
れたライブラリ、及び、ＬＳＩの種類ごとに固有の製品
情報が登録された製品情報ファイルが格納された記憶手
段と、 前記各機種ＬＳＩテスタのテストプログラムの生成に必
要なデータを前記記憶手段の前記ライブラリ及び前記製
品情報ファイルから読み出して、前記ＬＳＩテスタの機
種ごとに固有の各種テストプログラム言語から独立した
共通言語のデータに変換することにより、前記各機種Ｌ
ＳＩテスタのテストプログラムの生成に使用する中間デ
ータを生成するライブラリ抽出／中間データ生成手段
と、を備えたことを特徴とする半導体試験装置用テスト
プログラム生成システム。 - 【請求項２】前記中間データを前記記憶手段の前記ライ
ブラリに登録する中間データ・ライブラリ登録手段を備
えたことを特徴とする請求項１に記載の半導体試験装置
用テストプログラム生成システム。 - 【請求項３】前記中間データを変換することにより、前
記ＬＳＩテスタの機種ごとに対応したテストプログラム
をＡＳＣＩＩファイルで作成するために、前記ＬＳＩテ
スタの機種ごとに対応して設けられた複数のテストプロ
グラム生成手段と、 前記ＡＳＣＩＩファイルのテストプログラムのコンパイ
ル及びリンクを行うことにより、前記ＬＳＩテスタの機
種ごとに対応した実行可能プログラムであるバイナリフ
ァイルのテストプログラムを生成するために、前記ＬＳ
Ｉテスタの機種ごとに対応して設けられた複数のプログ
ラム翻訳手段と、を備えたことを特徴とする請求項１又
は２に記載の半導体試験装置用テストプログラム生成シ
ステム。 - 【請求項４】前記中間データを生成するためのデータの
変換は、前記各機種ＬＳＩテスタのテストプログラムの
生成に共通して必要な前記中間データが含まれる複数の
情報ファイルと、前記ＬＳＩテスタの機種ごとに対応し
て設けられて、前記ＬＳＩテスタの機種ごとに固有の測
定シーケンスが記述され、前記測定シーケンスに前記中
間データが挿入される複数のテンプレートファイルとに
分類されて行われるものであることを特徴とする請求項
１乃至３のいずれかに記載の半導体試験装置用テストプ
ログラム生成システム。 - 【請求項５】前記複数のテンプレートファイルは、前記
中間データ及び前記複数のテンプレートファイルの生成
後に、入力関数及び出力関数を定義し又は変更すること
が可能なものであることを特徴とする請求項４に記載の
半導体試験装置用テストプログラム生成システム。 - 【請求項６】前記複数のテンプレートファイルは、前記
中間データ及び前記複数のテンプレートファイルの生成
後に、前記測定シーケンスのうち繰り返し実行する範囲
を指定することが可能なものであることを特徴とする請
求項４又は５に記載の半導体試験装置用テストプログラ
ム生成システム。 - 【請求項７】各機種ＬＳＩテスタに共通の情報が登録さ
れたライブラリのデータ、及び、ＬＳＩの種類ごとに固
有の製品情報が登録された製品情報ファイルのデータの
うち、前記各機種ＬＳＩテスタのテストプログラムの生
成に必要なデータを、前記ＬＳＩテスタの機種ごとに固
有の各種テストプログラム言語から独立した共通言語の
データに変換することにより、前記各機種ＬＳＩテスタ
のテストプログラムの生成に使用する中間データを生成
する第１の過程を備えたことを特徴とする半導体試験装
置用テストプログラム生成方法。 - 【請求項８】前記中間データを変換することにより、前
記ＬＳＩテスタの機種ごとに対応したテストプログラム
をＡＳＣＩＩファイルで作成する第２の過程と、 前記ＡＳＣＩＩファイルのテストプログラムのコンパイ
ル及びリンクを行うことにより、前記ＬＳＩテスタの機
種ごとに対応した実行可能プログラムであるバイナリフ
ァイルのテストプログラムを生成する第３の過程と、を
さらに備えたことを特徴とする請求項７に記載の半導体
試験装置用テストプログラム生成方法。 - 【請求項９】前記第１の過程において、前記中間データ
を生成するためのデータの変換は、前記各機種ＬＳＩテ
スタのテストプログラムの生成に共通して必要な前記中
間データが含まれる複数の情報ファイルと、前記ＬＳＩ
テスタの機種ごとに対応して設けられて、前記ＬＳＩテ
スタの機種ごとに固有の測定シーケンスが記述され、前
記測定シーケンスに前記中間データが挿入される複数の
テンプレートファイルとに分類されて行われることを特
徴とする請求項７又は８に記載の半導体試験装置用テス
トプログラム生成方法。 - 【請求項１０】前記複数のテンプレートファイルは、前
記中間データ及び前記複数のテンプレートファイルの生
成後に、入力関数及び出力関数を定義し又は変更するこ
とが可能なものであることを特徴とする請求項９に記載
の半導体試験装置用テストプログラム生成方法。 - 【請求項１１】前記複数のテンプレートファイルは、前
記中間データ及び前記複数のテンプレートファイルの生
成後に、前記測定シーケンスのうち繰り返し実行する範
囲を指定することが可能なものであることを特徴とする
請求項９又は１０に記載の半導体試験装置用テストプロ
グラム生成方法。 - 【請求項１２】前記第１の過程における前記中間データ
の生成後に、前記中間データを前記ライブラリに登録す
ることを特徴とする請求項７乃至１１のいずれかに記載
の半導体試験装置用テストプログラム生成方法。
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