JP3386336B2 - 静電容量式圧力センサ及びその製造方法 - Google Patents
静電容量式圧力センサ及びその製造方法Info
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Description
力センサ、特に自動車のエンジン制御に使用される静電
容量式圧力センサ及びその製造方法に関する。
例えば、特公平7−50789号公報に記載された圧力
センサがある。この公報記載の静電容量式圧力センサ
は、単結晶シリコン基板の上に不純物拡散によって第1
の電極を形成し、この第1の電極と空隙を介して対向す
る第2の電極が導電化された多結晶シリコンでダイヤフ
ラム状に形成される。
力が印加されると、この印加された圧力によってダイア
フラムである第2の電極が変位する。この第2の電極の
変位により、第1の電極と第2の電極との間の静電容量
が変化し、この変化を検出することによって、圧力を検
出する構成となっている。
た従来技術では、第1の電極が拡散によって形成されて
いるため、シリコン基板との接合容量が非常に大きく、
第1の電極と第2の電極との間の浮遊容量が大となって
しまうため、圧力の検出精度が低く、高精度の圧力検出
を行うことができなかった。
気に直接接触する構造となっているため、ガソリン等が
混入した汚れた空気が第2電極に接触した場合、リーク
電流が発生し、正確に静電容量を検出することが困難で
あり、高精度の圧力検出を行うことができなかった。
ムは多結晶シリコンで作られているため、塑性変形を起
こし易く、印加される圧力と静電容量の変化との対応関
係が変動する可能性があった。このため、圧力検出の精
度が低下し、信頼性に劣るという問題があった。
圧力を受けるダイアフラム部の塑性変形が抑制され、高
精度の圧力検出が可能な静電容量式圧力センサ及びその
製造方法を実現することである。
を達成するため、次のように構成される。すなわち、静
電容量式圧力センサにおいて、単結晶シリコン基板であ
り、印加される圧力によって変位するダイヤフラムと、
上記ダイヤフラム上に形成され、少なくとも2つ以上に
分割された絶縁膜と、上記絶縁膜上に形成された第1の
電極と、空隙を介して上記第1の電極に対向して形成さ
れた第2の電極と、上記ダイヤフラムに印加される圧力
によって、上記第1の電極と第2の電極との間の距離が
変化することによって、第1の電極と第2の電極との間
の静電容量が変化することを検出し、電圧に変換する手
段と、を備える。
いて、上記第1の電極は、少なくとも2つ以上に分割し
て構成されている。
いて、上記第1の電極の面積が上記絶縁膜の面積より小
さい。
(3)において、上記第1の電極と上記シリコン基板と
の間が一部中空となっている。
縁膜が形成されており、第1の電極と単結晶シリコン基
板との間及び第1の電極と不純物との間に生じる浮遊容
量が低減される。
割して、つまり、複数の領域に分割して形成されるよう
に構成すれば、ダイヤフラム、絶縁膜、第1の電極、相
互の熱膨張率差によって生じる応力歪を低減することが
可能となる。つまり、第1の電極、絶縁膜が、複数に分
割されている場合には、複数に分割されない場合と比較
して、相互の熱膨張率差によって生じる応力歪を低減す
ることができる。
シリコンで構成される場合には、圧力センサの信号を処
理する信号処理回路のMOSトランジスタのゲート電極
の材料も、多結晶シリコンで構成されるので、圧力セン
サと信号処理回とを一体化して構成することができる。
をドーピングする工程と、2以上に分割された複数の領
域を有する酸化膜を上記不純物上の所定の部分に形成す
る工程と、導電化された多結晶シリコン膜を上記酸化膜
のそれぞれの上に形成し、複数領域を有する第1の電極
をパターンニングする工程と、犠牲層を少なくとも上記
第1の電極上に形成し、パターンニングをする工程と、
第2の電極となる導電化された多結晶シリコン膜を少な
くとも上記犠牲層上に形成する工程と、絶縁された多結
晶シリコン膜を上記第2の電極上に形成し、パターンニ
ングする工程と、上記酸化膜の面積が、上記第1の電極
の面積より小さい面積となるように上記犠牲層及び上記
酸化膜の一部を除去する工程と、保護膜を上記絶縁され
た多結晶シリコン膜上に形成する工程と、上記単結晶シ
リコン基板の上記不純物がドーピングされた面とは反対
側の面の所定の部分をエッチングし、上記不純物からな
るダイヤフラムを形成する工程と、を備える。
おり、圧力センサの信号を処理する信号処理回路のMO
Sトランジスタのゲート電極の材料も、多結晶シリコン
で構成される場合には、圧力センサと信号処理回とを一
体化して同時に製造することができる。
て、単結晶シリコン基板であり、印加される圧力によっ
て変位するダイヤフラムと、上記ダイヤフラム上に形成
され、少なくとも2つ以上に分割された複数の領域を有
し、これら複数の領域が互いに電気的に接続される第1
の電極と、空隙を介して上記域第1の電極に対向して形
成された一つの第2の電極と、上記ダイヤフラムに印加
される圧力によって、上記第1の電極と第2の電極との
間の距離が変化することによって、第1の電極と第2の
電極との間の静電容量が変化することを検出し、電圧に
変換する手段とを備える。
されるので、ダイヤフラムと第1の電極との熱膨張率差
によって生じる応力歪を低減することが可能となる。
おり、圧力センサの信号を処理する信号処理回路のMO
Sトランジスタのゲート電極の材料も、多結晶シリコン
で構成される場合には、圧力センサと信号処理回とを一
体化して同時に製造することができる。
である静電容量式圧力センサの断面図であり、図2は、
この第1の実施形態の平面図である。図1及び図2にお
いて、この第1の実施形態である静電容量式圧力センサ
は、単結晶シリコン基板101、不純物拡散層102、
酸化膜層(絶縁膜)103、固定電極配線104a、可
動電極(第1の電極)104b、保護膜105、固定電
極(第2の電極)107、固定電極用構造体108、空
隙109、保護膜110、ダイヤフラム111、圧力導
入孔112を備えている。
2へ導入される。圧力導入孔112に導入された空気
が、ダイヤフラム111に圧力を加えると、その圧力の
大きさに応じてダイヤフラム111が変位する。
イヤフラム111上に形成された可動電極104bと固
定電極107との間の空隙109が変化する、つまり、
可動電極104bと固定電極107との間の距離が変化
することによって両電極間に形成される静電容量が変化
する。この静電容量変化を検出することにより、圧力を
検出することができる。
単結晶シリコンを用いて作られた脆性材料であるため、
塑性変形することなく、信頼性の良い、安定した圧力受
動構造体を形成している。
の間には、酸化膜103が形成されており、可動電極1
04bと基板101との間及び可動電極104bと不純
物拡散層102との間に生じる浮遊容量を低減してい
る。さらに、酸化膜103は、図示するように、細かく
分割して、つまり、複数の領域に分割して形成される
(この例においては、16分割)。
と同様に、細かく分割して、つまり、複数の領域に分割
して形成され、各領域が電気的に接続されている。そし
て、酸化膜103の、各領域の上部に、可動電極104
bの複数に分割された各領域が形成される。
膜103、可動電極104b相互の熱膨張率差によって
生じる応力歪を低減することが可能である。つまり、可
動電極104b、酸化膜103が、複数に分割されてい
る場合には、複数に分割されない場合と比較して、相互
の熱膨張率差によって生じる応力歪を低減することがで
きる。
ングされていない絶縁性の多結晶シリコン膜でできた固
定電極用構造体108によって覆われており、固定電極
107の剛性が強化される。また、固定電極107の表
面を絶縁物で完全に覆うことによりリーク電流を低減す
ることができる。
ある静電容量式圧力センサによれば、ダイヤフラム11
1が不純物拡散された単結晶シリコンを用いて作られた
脆性材料とされ、可動電極104bとダイタヤフラム1
11との間には酸化膜103が配置されるとともに、こ
れら可動電極104bと酸化膜103とは複数の領域に
分割されている。
がドーピングされていない絶縁性の多結晶シリコン膜で
できた固定電極用構造体108によって覆われている。
したがって、圧力受動構造体が安定しており、熱歪によ
る変形が少なく、浮遊容量やリーク電流の少ない、高精
度な信頼性の高い静電容量式圧力センサを実現すること
ができる。
ある静電容量式圧力センサの製造方法を説明する。図3
〜図6は、上記製造方法の各工程を説明する図である。
図3において、IC製造用の単結晶シリコン基板101
に、CMOS回路のウェル形成と同一の不純物拡散層1
02をイオン打ち込み、熱拡散によって形成する。この
不純物は基板がN-subであればP-well、基板がP-sub
であれば、N-wellとする(図3の工程(a)、
(b))。
成用と同一の酸化膜103を熱拡散によって選択的に形
成する(所定の部分に形成する)。あるいは、全面に酸
化膜を形成した後、ドライエッチングによってパターニ
ングしても良い(図3の工程(c))。
固定電極用配線104aと可動電極104bを形成する
ための不純物がドーピングされた多結晶シリコンを成
膜、パターニングを行う(図4の工程(d))。この場
合、後述するCMOS回路(又はMOS回路)のゲート
電極の材料は、多結晶シリコンであることが多いので、
電極104b等の形成と同時にCMOS回路(又はMO
S回路)も一体化して形成することが可能となる。
105を被せた後、酸化膜やPSG膜等の犠牲層106
をデポジション、ホトエッチングによるパターンニング
を行う(図4の工程(e)、(f))。
において、固定電極107となる不純物がドーピングさ
れた多結晶シリコン膜と、ノンドーピングの多結晶シリ
コン膜108とがデポジッション、パターンニングされ
る。
犠牲層がウェットエッチングされる。その後、窒化膜等
の保護膜110が形成され、単結晶シリコン基板101
の裏面からKOH等により異方性のウェットエッチング
される(図6の工程(j))。このとき、単結晶シリコ
ン基板101と拡散層102との間に電圧を印加しなが
らエッチングすることによって、単結晶シリコン基板1
01のみがエッチングされ、不純物拡散層102は、エ
ッチングされずに残すことができる。これによって、ダ
イヤフラム110と圧力導入孔111とを同時形成でき
る(図6の工程(k))。
電容量式圧力センサの製造方法によって、COMOS回
路(MOS回路)と同一基板上に一体化してセンサを製
造でき、小型で安価な、特性が安定した圧力センサの製
造方法を実現することができる。
電容量式圧力センサの断面図であり、図8は、この第2
の実施形態の平面図である。図7及び図8において、こ
の第2の実施形態である静電容量式圧力センサは、単結
晶シリコン基板201、不純物拡散層202、酸化膜層
203、固定電極配線204a、可動電極204b、固
定電極206、固定電極用構造体207、空隙208、
保護膜209、ダイヤフラム210、圧力導入孔211
を備えている。
1へ導入される。圧力導入孔211に導入された空気
が、ダイヤフラム210に圧力を加えると、その圧力の
大きさに応じてダイヤフラム210が変位する。ダイヤ
フラム210が変位すると、このダイヤフラム210上
に形成された可動電極204bと固定電極206と間の
空隙208が変化する、つまり、可動電極204bと固
定電極206との間の距離が変化することによって、両
電極間に形成された静電容量が変化し、圧力を検出する
ことができる。ダイヤフラム210は、不純物拡散され
た単結晶シリコンを用いて作られた脆性材料である。
の間には、酸化膜203が形成されており、可動電極2
04bと基板201との間及び可動電極204bと不純
物拡散層202との間に生じる浮遊容量を低減してい
る。
し、その上部にオーバーハングした形で、つまり、酸化
膜203の各分割領域のそれぞれの面積より、可動電極
204bの各分割領域のそれぞれの面積が大となるよう
に、可動電極204bを形成したことによって、ダイヤ
フラム210と、酸化膜203と、可動電極204bと
の相互の熱膨張率差によって生じる応力歪を大きく低減
することが可能である。
電容量式圧力センサにおいても、第1の実施形態と同様
な効果を得ることができる。さらに、この第2の実施形
態においては、酸化膜203の各分割領域のそれぞれの
面積より、可動電極204bの各分割領域のそれぞれの
面積が大となるように可動電極204bを形成している
ので、ダイヤフラム210と、酸化膜203と、可動電
極204bとの相互の熱膨張率差によって生じる応力歪
を、大きく低減することが可能である。
ある静電容量式圧力センサの製造方法を説明する。図9
〜図12は、上記製造方法の各工程を説明する図であ
る。図9において、IC製造用の単結晶シリコン基板2
01に、CMOS回路(MOS回路)のウェル形成と同
一の不純物拡散層202をイオン打ち込み、熱拡散によ
って形成する。この不純物層は基板が、N-subであれば
P-well、基板がP-subであれば、N-wellとする(図9
の工程(a)、(b))。
成用と同一の酸化膜203を熱酸化によって選択的に形
成する(図9の工程(c))。あるいは、全面酸化膜を
形成した後、ドライエッチングによってパターンニング
しても良い。
203の上に固定電極用配線204aと可動電極240
bとを形成するための不純物がドーピングされた多結晶
シリコンを成膜、パターンニングを行う(図10の工程
(d))。
bとの上に酸化膜やPSG膜等の犠牲層205をデポジ
ション、ホトエッチングによるパターニングを行う(図
10の工程(e))。
ーピングされた多結晶シリコン膜と、ノンドーピングの
多結晶シリコン膜207とがデポジッション、パターニ
ングされる(図10の工程(f)、図11の工程
(g))。
化膜203の一部が、ウェットエッチングされる(図1
1の工程(h))。
膜207の上に、窒化膜等の保護膜209が形成され
(図12の工程(i))、単結晶シリコン基板201の
裏面からKOH等によりウェットエッチングされる(図
12の工程(j))。このとき、単結晶シリコン基板2
01と拡散層202との間に電圧を加えながらエッチン
グすることによって、単結晶シリコン基板201のみが
エッチングされ、不純物拡散層202はエッチングされ
ずに残すことができる。これによって、ダイヤフラム2
10と圧力導入孔211とを同時形成することができ
る。
電容量式圧力センサの製造方法によって、COMOS回
路と同一基板上に一体化してセンサを製造でき、小型で
安価な、特性が安定した圧力センサの製造方法を実現す
ることができる。
からの出力信号等の信号処理に適用される信号処理回路
の構成図である。図13において、この信号処理回路
は、信号印加部231、圧力検出部232、容量検出部
233、出力調整部234からなる。
グスイッチSW1、SW2を備える。また、圧力検出部
232は、1つのコンデンサCSからなっており、これ
が上述した、可動電極(104b、204b)と固定電
極(107、206)とにより形成される圧力検出素子
としてのコンデンサである。
W3、SW4、SW5、オペアンプOP1、コンデンサ
CR、CT、CFによって構成される。出力調整部23
4は、電源VDD、オペアンプOP2、抵抗R4、R
5、R6、R7、コンデンサC4によって構成される。
量検出部233は、スイッチドキャパシタ回路構成とな
っており、各スイッチのオン−オフ動作によって容量値
に比例した出力が得られる。容量検出部233の出力電
圧(OP1の出力)をVoとすると、この回路の動作
は、次式(1)で表される。ただし、CF、CT、C
S、CRは、それぞれコンデンサCF、CT、CS、C
Rの静電容量値とする。 CF・Vo(n) = CF・Vo(n-1) - CT・Vo(n-1) - CS・VDD + CR・VDD −−− (1) 最終的には、次式(2)で表される関係になる。 Vo = ((CR-CS)/CF)・VDD −−− (2) したがって、圧力が検出素子に印加され、コンデンサC
Sの容量値が変化することを電圧出力に変換できる。
所定のオフセット電圧と感度とに調整される。この回路
構成によって、圧力信号を電圧信号に比較的容易に変換
できる。
構成され、このCMOS回路のゲート電極が多結晶シリ
コンであれば、CMOS回路と圧力センサ本体とを一体
化して成形可能である。
静電容量式圧力センサの断面図であり、図15は、この
第3の実施形態の平面図である。図14及び図15にお
いて、この第3の実施形態である静電容量式圧力センサ
は、単結晶シリコン基板301、不純物拡散層302、
酸化膜層303a、固定電極配線304a、可動電極3
04b、固定電極307、固定電極用構造体308、空
隙309、保護膜310、ダイヤフラム311a、溝3
11b、圧力導入孔312を備えている。
2へ導入され、ダイヤフラム311に圧力を加えると、
その圧力の大きさに応じてダイヤフラム311aが変位
する。ダイヤフラム311aが変位すると、このダイヤ
フラム311a上に形成された可動電極304bと固定
電極307との間の空隙309が変化し、これによっ
て、両電極間に形成される静電容量が変化し、圧力を検
出することができる。
不純物拡散された単結晶シリコンを用いてつくられてい
るため、塑性変形することなく、信頼性の良い、安定し
た圧力受動構造体を形成している。
311bを細かく分割して形成し、溝311b以外の上
部にのみ可動電極304bを形成したことによって、ダ
イヤフラム311aと可動電極304bとの熱膨張率差
によって生じる応力歪を低減することが可能である。
ングされていない絶縁性の多結晶シリコン膜でできた固
定電極用構造体308によって覆われており、固定電極
307の剛性強化と固定電極307の表面を絶縁物で完
全に覆うことによってリーク電流を低減している。
ある静電容量式圧力センサによれば、ダイヤフラム31
1aを不純物拡散された単結晶シリコンを用いて作られ
た脆性材料とされ、これら可動電極304bは複数の領
域に分割されている。さらに、固定電極307の上部
は、不純物がドーピングされていない絶縁性の多結晶シ
リコン膜でできた固定電極用構造体308によって覆わ
れている。したがって、圧力受動構造体が安定してお
り、熱歪による変形が少なく、リーク電流の少ない、高
精度な信頼性の高い静電容量式圧力センサを実現するこ
とができる。
ある静電容量式圧力センサの製造方法を説明する。図1
6〜図19は、上記製造方法の各工程を説明する図であ
る。図16において、IC製造用の単結晶シリコン基板
301に、CMOS回路のウェル形成と同一の不純物拡
散層302をイオン打ち込み、熱拡散によって形成する
(図16の工程(a)、(b))。この不純物は基板が
N-subであればP-well、基板がP-subであれば、N-we
llとする。
成用と同一の酸化膜303a、303bを熱酸化によっ
て選択的に形成する(図16の工程(c))。あるい
は、全面酸化膜を形成した後、ドライエッチングによっ
てパターンニングしても良い。
び不純物拡散層302の上に固定電極用配線304aと
可動電極304bを形成するための不純物がドーピング
された多結晶シリコンを成膜、パターンニングを行う
(図17の工程(d))。
膜やPSG膜等の犠牲層306をデポジション、ホトエ
ッチングによるパターンニングを行う(図17の工程
(e))。
ーピングされた多結晶シリコン膜と、ノンドーピングの
多結晶シリコン膜308とがデポジッション、パターン
ニングされる(図17の工程(f)、図18の工程
(g))。
酸化膜303bとがウェットエッチングされ、空隙30
9と溝311bとが同時に形成される(図18の工程
(h))。その後、窒化膜等の保護膜310が形成され
(図19の工程(i))、単結晶シリコン基板301の
裏面からKOH等により異方性のウエットエッチングさ
れる(図19の工程(j))。
散層302との間に電圧を加えながらエッチングするこ
とによって、単結晶シリコン基板301のみがエッチン
グされ、不純物拡散層302はエッチングされずに残さ
せることができる。これによって、ダイヤフラム311
aと圧力導入孔312とを同時形成することができる。
電容量式圧力センサの製造方法によって、COMOS回
路と同一基板上に一体化してセンサを製造でき、小型で
安価な、特性が安定した圧力センサの製造方法を実現す
ることができる。
(104b、204b、304b)、酸化膜(103、
203の分割数は16としているが、分割数は16に限
られず、必要な仕様に応じた歪低減効果が得られる分割
数で良く、その数は2分割以上の値であればよい。
自動車用のエンジン制御用の圧力センサとして適切であ
るが、自動車用に限らず、圧力を検出するものであれ
ば、他のものにも適用可能である。
ているため、次のような効果がある。ダイヤフラムが不
純物拡散された単結晶シリコンを用いて作られた脆性材
料とされ、可動電極とダイタヤフラムとの間には酸化膜
が配置されるので、浮遊容量が低減され、高精度の圧力
検出が可能な静電容量式圧力センサを実現することがで
きる。
分割されるように構成すれば、ダイヤフラム、酸化膜、
可動電極相互の熱膨張率差によって生じる応力歪を低減
することができ、さらに、高精度の圧力検出が可能な静
電容量式圧力センサを実現することができる。
ングされていない絶縁性の多結晶シリコン膜でできた固
定電極用構造体によって覆われるように構成すれば、熱
歪による変形が少なく、リーク電流の少ない、高精度な
信頼性の高い静電容量式圧力センサを実現することがで
きる。
く、かつ熱応力成膜時の真性応力による歪を受けにくい
安定した特性を有する静電容量式圧力センサを実現する
ことができる。
て製造できるため、回路部との1チップ化が可能とな
り、小型化、低価格化が可能な製造方法を実現すること
ができる。
センサの断面図である。
センサの製造方法を説明する図である。
センサの製造方法を説明する図である。
センサの製造方法を説明する図である。
センサの製造方法を説明する図である。
センサの断面図である。
センサの製造方法を説明する図である。
力センサの製造方法を説明する図である。
力センサの製造方法を説明する図である。
力センサの製造方法を説明する図である。
信号処理回路の構成図である。
力センサの断面図である。
力センサの製造方法を説明する図である。
力センサの製造方法を説明する図である。
力センサの製造方法を説明する図である。
力センサの製造方法を説明する図である。
Claims (6)
- 【請求項1】単結晶シリコン基板であり、印加される圧
力によって変位するダイヤフラムと、 上記ダイヤフラム上に形成され、少なくとも2つ以上に
分割された絶縁膜と、 上記絶縁膜上に形成された第1の電極と、 空隙を介して上記第1の電極に対向して形成された第2
の電極と、 上記ダイヤフラムに印加される圧力によって、上記第1
の電極と第2の電極との間の距離が変化することによっ
て、第1の電極と第2の電極との間の静電容量が変化す
ることを検出し、電圧に変換する手段と、を備えること
を特徴とする静電容量式圧力センサ。 - 【請求項2】請求項1記載の静電容量式圧力センサにお
いて、上記第1の電極は、少なくとも2つ以上に分割し
て構成されていることを特徴とする静電容量式圧力セン
サ。 - 【請求項3】請求項2記載の静電容量式圧力センサにお
いて、上記第1の電極の面積が上記絶縁膜の面積より小
さいことを特徴とする静電容量式圧力センサ。 - 【請求項4】請求項1から3のうちのいずれか一項に記
載の静電容量式圧力センサにおいて、上記第1の電極と
上記シリコン基板との間が一部中空となっていることを
特徴とする静電容量式圧力センサ。 - 【請求項5】単結晶シリコン基板に不純物をドーピング
する工程と、2以上に分割された複数の領域を有する 酸化膜を上記不
純物上の所定の部分に形成する工程と、導 電化された多結晶シリコン膜を上記酸化膜のそれぞれ
の上に形成し、複数の領域を有する第1の電極をパター
ンニングする工程と、 犠牲層を少なくとも上記第1の電極上に形成し、パター
ンニングをする工程と、第2の電極となる導電化された
多結晶シリコン膜を少なくとも上記犠牲層上に形成する
工程と、 絶縁された多結晶シリコン膜を上記第2の電極上に形成
し、パターンニングする工程と、上記酸化膜の複数領域のそれぞれの面積が、 上記第1の
電極の複数の領域のそれぞれの面積より小さい面積とな
るように上記犠牲層及び上記酸化膜の一部を除去する工
程と、 保護膜を上記絶縁された多結晶シリコン膜上に形成する
工程と、 上記単結晶シリコン基板の上記不純物がドーピングされ
た面とは反対側の面の所定の部分をエッチングし、上記
不純物からなるダイヤフラムを形成する工程と、を備え
ることを特徴とする静電容量式圧力センサの製造方法。 - 【請求項6】単結晶シリコン基板であり、印加される圧
力によって変位するダイヤフラムと、 上記ダイヤフラム上に形成され、少なくとも2つ以上に
分割された複数の領域を有し、これら複数の領域が互い
に電気的に接続される第1の電極と、 空隙を介して上記域第1の電極に対向して形成された一
つの第2の電極と、 上記ダイヤフラムに印加される圧力によって、上記第1
の電極と第2の電極との間の距離が変化することによっ
て、第1の電極と第2の電極との間の静電容量が変化す
ることを検出し、電圧に変換する手段と、を備えること
を特徴とする静電容量式圧力センサ。
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---|---|---|---|
JP16760897A JP3386336B2 (ja) | 1997-06-24 | 1997-06-24 | 静電容量式圧力センサ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP16760897A JP3386336B2 (ja) | 1997-06-24 | 1997-06-24 | 静電容量式圧力センサ及びその製造方法 |
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JPH1114482A JPH1114482A (ja) | 1999-01-22 |
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ID=15852940
Family Applications (1)
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JP16760897A Expired - Lifetime JP3386336B2 (ja) | 1997-06-24 | 1997-06-24 | 静電容量式圧力センサ及びその製造方法 |
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-
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