JP3380760B2 - 抵抗体膜用ペースト - Google Patents
抵抗体膜用ペーストInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ハイブリッドＩＣ
や各種電子装置に用いられる抵抗体の被膜形成に係り、
詳しくは塗布と焼成により、アルミナやガラス等の基板
上に金属酸化物よりなる抵抗体膜を形成するための抵抗
体膜用ペースト、基板上にこの抵抗体膜用ペーストを塗
布し、焼成して形成された抵抗体膜およびこの抵抗体膜
を使用する電子部品に関する。
や各種電子装置に用いられる抵抗体の被膜形成に係り、
詳しくは塗布と焼成により、アルミナやガラス等の基板
上に金属酸化物よりなる抵抗体膜を形成するための抵抗
体膜用ペースト、基板上にこの抵抗体膜用ペーストを塗
布し、焼成して形成された抵抗体膜およびこの抵抗体膜
を使用する電子部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ハイブリッドＩＣや各種電子装置
に用いられる抵抗体の金属酸化物被膜形成方法として
は、金属および／または金属酸化物粉体とガラスとの混
合物にバインダーとして、樹脂溶液を混合したペースト
を基板上にスクリーン印刷し、さらに焼成によリ被膜形
成を行う厚膜方式と抵抗体膜形成材料のスパッタリング
技術等による薄膜方式がよく知られている。
に用いられる抵抗体の金属酸化物被膜形成方法として
は、金属および／または金属酸化物粉体とガラスとの混
合物にバインダーとして、樹脂溶液を混合したペースト
を基板上にスクリーン印刷し、さらに焼成によリ被膜形
成を行う厚膜方式と抵抗体膜形成材料のスパッタリング
技術等による薄膜方式がよく知られている。
【０００３】前者の厚膜方式は、成膜設備は安価でか
つ、生産性も高いが、形成された膜の均一性が悪く、抵
抗値ばらつきが大きいという問題点があった。一方、薄
膜方式は、均一な薄膜は得られるが、設備が高価で、ま
た、生産性も低いという問題点があった。
つ、生産性も高いが、形成された膜の均一性が悪く、抵
抗値ばらつきが大きいという問題点があった。一方、薄
膜方式は、均一な薄膜は得られるが、設備が高価で、ま
た、生産性も低いという問題点があった。
【０００４】また、従来、製造設備の安価な前記厚膜技
術を用いて薄膜状の抵抗体膜を製造する技術が種々提案
されており、それらの技術の一種として、ＭＯＤ（Ｍｅ
ｔａｌｌｏ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）
法が提案されている。ＭＯＤ法とは、厚膜方式と同様の
方法で、金属および／または金属酸化物とガラスとの混
合物のかわリに、金属有機化合物の溶液を用いて、ぺー
ストを作製し、薄膜を形成する方法である（特開昭６０
−１０２７０１号、特開昭６０−１０２７０２号、特開
昭６２−２９２４５３号、特開平１−１５２０７４号、
特開平２−３９９５３号、特開平２−３３９０１号、特
開平２−３３９０２号) 。
術を用いて薄膜状の抵抗体膜を製造する技術が種々提案
されており、それらの技術の一種として、ＭＯＤ（Ｍｅ
ｔａｌｌｏ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）
法が提案されている。ＭＯＤ法とは、厚膜方式と同様の
方法で、金属および／または金属酸化物とガラスとの混
合物のかわリに、金属有機化合物の溶液を用いて、ぺー
ストを作製し、薄膜を形成する方法である（特開昭６０
−１０２７０１号、特開昭６０−１０２７０２号、特開
昭６２−２９２４５３号、特開平１−１５２０７４号、
特開平２−３９９５３号、特開平２−３３９０１号、特
開平２−３３９０２号) 。
【０００５】前記金属有機化合物の溶液を用いた厚膜方
式で薄膜を形成する方法において、スクリーン印刷に適
したペーストを作製するに際しては粘度適性や保存安定
性の点に問題があった。そこで、粘度適性や保存安定性
に優れたペーストを作製するために適当な粘性剤が必要
である。例えば、導電性膜用ペーストにおいて、粘度を
調整するために、粘性剤として、エチルセルロース等の
セルロース系化合物が知られている（特開昭５６−５３
５４号、特開昭５７−２７５０５号、特開昭５８−１９
８１３号）。また、アスファルトを粘性剤として用い
た、抵抗体膜の例はあるが、金属有機化合物の溶液の他
にガラス粉末を加え、成膜性を保っている（特開昭５０
−３００９４号）。
式で薄膜を形成する方法において、スクリーン印刷に適
したペーストを作製するに際しては粘度適性や保存安定
性の点に問題があった。そこで、粘度適性や保存安定性
に優れたペーストを作製するために適当な粘性剤が必要
である。例えば、導電性膜用ペーストにおいて、粘度を
調整するために、粘性剤として、エチルセルロース等の
セルロース系化合物が知られている（特開昭５６−５３
５４号、特開昭５７−２７５０５号、特開昭５８−１９
８１３号）。また、アスファルトを粘性剤として用い
た、抵抗体膜の例はあるが、金属有機化合物の溶液の他
にガラス粉末を加え、成膜性を保っている（特開昭５０
−３００９４号）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前記金属有機化合物の
溶液を用いた厚膜方式で薄膜を形成する方法に利用され
るスリーン印刷用ペーストの粘性剤としてのエチルセル
ロース等は金属有機化合物によっては相溶性が悪く、成
膜性が良くない場合があった。また、アスファルトを粘
性剤として用いる抵抗体膜用ペーストの例は、金属有機
化合物の溶液の他にガラス粉末を加えて成膜性を保って
いるため、得られる抵抗体膜の均一性が悪く、抵抗体膜
の抵抗値にばらつきがあった。
溶液を用いた厚膜方式で薄膜を形成する方法に利用され
るスリーン印刷用ペーストの粘性剤としてのエチルセル
ロース等は金属有機化合物によっては相溶性が悪く、成
膜性が良くない場合があった。また、アスファルトを粘
性剤として用いる抵抗体膜用ペーストの例は、金属有機
化合物の溶液の他にガラス粉末を加えて成膜性を保って
いるため、得られる抵抗体膜の均一性が悪く、抵抗体膜
の抵抗値にばらつきがあった。
【０００７】そこで本発明は前記の従来の問題点を解決
し、抵抗値のばらつきの小さい均一な抵抗体膜を形成す
るための塗布に適したペーストを提供することを目的と
している。
し、抵抗値のばらつきの小さい均一な抵抗体膜を形成す
るための塗布に適したペーストを提供することを目的と
している。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明は次の構成を採用する。すなわち、本発明の抵
抗体膜用ペーストは、ルテニウム（Ｒｕ）、イリジウム
（Ｉｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、白金（Ｐｔ）、パラジウ
ム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）の金属有機化合物の中
から選ばれる少なくとも一種の化合物（１）、およびシ
リコン（Ｓｉ）、ビスマス（Ｂｉ）、鉛（Ｐｂ），スズ
（Ｓｎ）、アルミニウム（Ａｌ）、ホウ素（Ｂ）、チタ
ン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、カルシウム（Ｃ
ａ）、バリウム（Ｂａ）の金属または非金属の有機化合
物の中から選ばれる少なくとも一種の化合物（２）を含
み、かつ、化合物（１）の中の金属に対して、化合物
（２）の中の金属または非金属を元素組成において１〜
４当量含有する溶液に、添加剤としてアスファルトを溶
液に溶かしたものを混合して作製し、該アスファルトの
量が全溶液中の６乃至１０重量％であることを特徴とす
る。
に本発明は次の構成を採用する。すなわち、本発明の抵
抗体膜用ペーストは、ルテニウム（Ｒｕ）、イリジウム
（Ｉｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、白金（Ｐｔ）、パラジウ
ム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）の金属有機化合物の中
から選ばれる少なくとも一種の化合物（１）、およびシ
リコン（Ｓｉ）、ビスマス（Ｂｉ）、鉛（Ｐｂ），スズ
（Ｓｎ）、アルミニウム（Ａｌ）、ホウ素（Ｂ）、チタ
ン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、カルシウム（Ｃ
ａ）、バリウム（Ｂａ）の金属または非金属の有機化合
物の中から選ばれる少なくとも一種の化合物（２）を含
み、かつ、化合物（１）の中の金属に対して、化合物
（２）の中の金属または非金属を元素組成において１〜
４当量含有する溶液に、添加剤としてアスファルトを溶
液に溶かしたものを混合して作製し、該アスファルトの
量が全溶液中の６乃至１０重量％であることを特徴とす
る。
【０００９】抵抗体間膜用ペーストにおいて、添加剤と
して用いるアスファルト溶液はフィルタした後に用いる
ことが好ましい。本発明の抵抗体膜は、上記の抵抗体膜
用ペーストを基板上に塗布し、さらに焼成して形成され
たことを特徴とする。また、本発明の電子部品は、上記
の抵抗体膜を有することを特徴とする。
して用いるアスファルト溶液はフィルタした後に用いる
ことが好ましい。本発明の抵抗体膜は、上記の抵抗体膜
用ペーストを基板上に塗布し、さらに焼成して形成され
たことを特徴とする。また、本発明の電子部品は、上記
の抵抗体膜を有することを特徴とする。
【００１０】［作用］
本発明によると、化合物（１）と化合物（２）を含む溶
液に、塗布に適した粘度とチクソトロピー性をもたせる
ために、添加剤として所定量となるようにアスファルト
を添加したものを混合し、ガラス粉末を添加することな
く、ペーストを作製する。このペーストを基板上に塗布
し、さらに焼成して抵抗体膜を得ることができる。
液に、塗布に適した粘度とチクソトロピー性をもたせる
ために、添加剤として所定量となるようにアスファルト
を添加したものを混合し、ガラス粉末を添加することな
く、ペーストを作製する。このペーストを基板上に塗布
し、さらに焼成して抵抗体膜を得ることができる。
【００１１】アスファルトを添加することで、均一なペ
ーストがえられ、塗布に適した粘度とチクソトロピー性
をもたせることができ、塗布時に表面性がよく、膜厚ば
らつきの小さい膜がえられ、また、焼成後の抵抗値ばら
つきの小さい抵抗体膜がえられる。また、アスファルト
の添加により、焼成時に成膜性をよくする。
ーストがえられ、塗布に適した粘度とチクソトロピー性
をもたせることができ、塗布時に表面性がよく、膜厚ば
らつきの小さい膜がえられ、また、焼成後の抵抗値ばら
つきの小さい抵抗体膜がえられる。また、アスファルト
の添加により、焼成時に成膜性をよくする。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明に用いられる金属有機物化
合物としては、Ｉｒ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｏｓの
それぞれのカルボン酸塩、ジケトン型キレート化合物、
アルコキシド化合物、メルカプチド化合物など、また、
溶媒としては、それぞれの金属有機化合物を溶解し、か
つ高沸点溶媒が望ましく、ターピネオール、酢酸ベンジ
ル、イソホロン、ブチルカルビトールアセテートなどを
単独であるいは、混合して用いる。添加元素としての金
属あるいは非金属の有機化合物としては、Ｂｉ、Ｓｉ、
Ｐｂ、Ｔｉ、Ｂ、Ｂａ、Ｓｎ、Ａｌ、Ｚｒ、Ｃａのそれ
ぞれのカルボン酸塩、ジケトン型キレート化合物、アル
コキシド化合物、メルカプチド化合物等を用いる。さら
に、金属有機化合物および非金属有機化合物のかわり
に、それぞれの化合物を含む市販の金属のレジネートあ
るいは非金属のレジネートを用いても良い。
合物としては、Ｉｒ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｏｓの
それぞれのカルボン酸塩、ジケトン型キレート化合物、
アルコキシド化合物、メルカプチド化合物など、また、
溶媒としては、それぞれの金属有機化合物を溶解し、か
つ高沸点溶媒が望ましく、ターピネオール、酢酸ベンジ
ル、イソホロン、ブチルカルビトールアセテートなどを
単独であるいは、混合して用いる。添加元素としての金
属あるいは非金属の有機化合物としては、Ｂｉ、Ｓｉ、
Ｐｂ、Ｔｉ、Ｂ、Ｂａ、Ｓｎ、Ａｌ、Ｚｒ、Ｃａのそれ
ぞれのカルボン酸塩、ジケトン型キレート化合物、アル
コキシド化合物、メルカプチド化合物等を用いる。さら
に、金属有機化合物および非金属有機化合物のかわり
に、それぞれの化合物を含む市販の金属のレジネートあ
るいは非金属のレジネートを用いても良い。
【００１３】前記抵抗体膜用ぺーストの構成成分以外
に、印刷性の改善をねらいとして、消泡剤やレベリング
剤その他の添加剤添加も可能である。抵抗体膜の作製方
法は、前記抵抗体膜用ぺーストをスクリーン印刷あるい
は、ディップ塗布法、スピンコート法、バーコート法に
よって、基板上に、塗布し、乾燥後、有機金属、非金属
化合物または添加剤の熱分解温度以上で焼成するもので
ある。
に、印刷性の改善をねらいとして、消泡剤やレベリング
剤その他の添加剤添加も可能である。抵抗体膜の作製方
法は、前記抵抗体膜用ぺーストをスクリーン印刷あるい
は、ディップ塗布法、スピンコート法、バーコート法に
よって、基板上に、塗布し、乾燥後、有機金属、非金属
化合物または添加剤の熱分解温度以上で焼成するもので
ある。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の具体的な実施例について説明
する。 実施例１ まず、粘性剤のアスファルトの溶液の調整を次のように
して行う。 アスファルト（ファインパウダー：東京化成 (株) 製） １５０ｇ α−ターピネオール（東京化成（株）製） ６００ｍｌ を１５０℃で３時間加熱、撹拌をおこないアスファルト
の溶液を作製する。つぎに、金属有機化合物および非金
属有機化合物を含むそれぞれの金属のレジネートおよび
非金属のレジネートとして、 Ｉｒレジネート（Ａ−１１２３：ＮＥケムキャット社製） ［金属含有率： ６．０％］ ２１．１２ｇ Ｂｉレジネート（＃８３６５：ＮＥケムキャット社製） ［金属含有率：２０．０％］ ６．８９ｇ Ｓｉレジネート（＃２８ＦＣ：ＮＥケムキャット社製） ［金属含有率： ９．３％］ ２．００ｇ を混合（レジネート中の金属含有率から、換算して、Ｉ
ｒ／Ｂｉ／Ｓｉ＝１／１／１の元素組成比となる）した
後、１００℃の乾燥器中で、重量が６０％に減少するま
で濃縮する。濃縮したＩｒ、Ｂｉ、Ｓｉを含む混合液１
８ｇに、前記の粘性剤のアスファルトの溶液を１２．０
ｇ加え、撹拌混合して、抵抗体膜作製用ペーストが得ら
れる。
する。 実施例１ まず、粘性剤のアスファルトの溶液の調整を次のように
して行う。 アスファルト（ファインパウダー：東京化成 (株) 製） １５０ｇ α−ターピネオール（東京化成（株）製） ６００ｍｌ を１５０℃で３時間加熱、撹拌をおこないアスファルト
の溶液を作製する。つぎに、金属有機化合物および非金
属有機化合物を含むそれぞれの金属のレジネートおよび
非金属のレジネートとして、 Ｉｒレジネート（Ａ−１１２３：ＮＥケムキャット社製） ［金属含有率： ６．０％］ ２１．１２ｇ Ｂｉレジネート（＃８３６５：ＮＥケムキャット社製） ［金属含有率：２０．０％］ ６．８９ｇ Ｓｉレジネート（＃２８ＦＣ：ＮＥケムキャット社製） ［金属含有率： ９．３％］ ２．００ｇ を混合（レジネート中の金属含有率から、換算して、Ｉ
ｒ／Ｂｉ／Ｓｉ＝１／１／１の元素組成比となる）した
後、１００℃の乾燥器中で、重量が６０％に減少するま
で濃縮する。濃縮したＩｒ、Ｂｉ、Ｓｉを含む混合液１
８ｇに、前記の粘性剤のアスファルトの溶液を１２．０
ｇ加え、撹拌混合して、抵抗体膜作製用ペーストが得ら
れる。
【００１５】本ペーストを、１インチ角のアルミナ基板
（ＧＳ−６：京セラ（株）製）上に、スクリーン印刷
（印刷機：プレスコ社製８１１５型）によって、塗布し
た後、７０℃で３０分間乾燥後、８００℃で１５分間焼
成した結果、抵抗体膜が得られた。抵抗体膜のシート抵
抗の値は、５点の平均値、抵抗値ばらつきを求めた。シ
ート抵抗の値、抵抗値ばらつきの値は、表２に示した。
ここで抵抗値ばらつきは抵抗値の標準偏差を平均の抵抗
値で除算したものを言う。なお、粘度の測定はＲＨＥＯ
ＭＡＴ１１５コーンプレート型粘度計を用い、規定した
粘度範囲は回転数が１０ｓ-1の値である。
（ＧＳ−６：京セラ（株）製）上に、スクリーン印刷
（印刷機：プレスコ社製８１１５型）によって、塗布し
た後、７０℃で３０分間乾燥後、８００℃で１５分間焼
成した結果、抵抗体膜が得られた。抵抗体膜のシート抵
抗の値は、５点の平均値、抵抗値ばらつきを求めた。シ
ート抵抗の値、抵抗値ばらつきの値は、表２に示した。
ここで抵抗値ばらつきは抵抗値の標準偏差を平均の抵抗
値で除算したものを言う。なお、粘度の測定はＲＨＥＯ
ＭＡＴ１１５コーンプレート型粘度計を用い、規定した
粘度範囲は回転数が１０ｓ-1の値である。
【００１６】実施例２
実施例１における粘性剤のアスファルトの溶液の作製方
法を以下のように、換えた。まず、粘性剤のアスファル
トの溶液は、 アスファルト（ファインパウダー: 東京化成（株) 製） １５０ｇ α−夕ーピネオール（東京化成（株) 製） ６００ｍｌ を１５０℃で３時間加熱、撹拌をおこない作製した溶液
５００ｍｌに、２，２，４−トリメチル−ペンタン−
１，３−ジオール−モノブチルエステル（チッソ（株)
製）２５ｇを加え、アスファルト溶液を作製した。以下
は実施例１と同様にしてペーストを作製し、同様の方法
で抵抗体膜を得た。得られた抵抗体膜のシート抵抗の
値、抵抗値ばらつきの値は、表２に示した。
法を以下のように、換えた。まず、粘性剤のアスファル
トの溶液は、 アスファルト（ファインパウダー: 東京化成（株) 製） １５０ｇ α−夕ーピネオール（東京化成（株) 製） ６００ｍｌ を１５０℃で３時間加熱、撹拌をおこない作製した溶液
５００ｍｌに、２，２，４−トリメチル−ペンタン−
１，３−ジオール−モノブチルエステル（チッソ（株)
製）２５ｇを加え、アスファルト溶液を作製した。以下
は実施例１と同様にしてペーストを作製し、同様の方法
で抵抗体膜を得た。得られた抵抗体膜のシート抵抗の
値、抵抗値ばらつきの値は、表２に示した。
【００１７】実施例３、４
実施例２における粘性剤のアスファルトの溶液の作製方
法において、溶媒をα−ターピネオールから、酢酸ベン
ジル（東京化成（株）製）（実施例３）およびイソホロ
ン（実施例４）に換えた他は、実施例２と同様に行っ
た。得られた抵抗体膜のシート抵抗の値、抵抗値ばらつ
きの値は、表２に示した。
法において、溶媒をα−ターピネオールから、酢酸ベン
ジル（東京化成（株）製）（実施例３）およびイソホロ
ン（実施例４）に換えた他は、実施例２と同様に行っ
た。得られた抵抗体膜のシート抵抗の値、抵抗値ばらつ
きの値は、表２に示した。
【００１８】実施例５、６
実施例２における粘性剤のアスファルトの溶液の濃縮し
たＩｒ、Ｂｉ、Ｓｉを含む混合液に対する量を以下の表
１のように換えた他は、実施例２と同様に行った。得ら
れた抵抗体膜のシート抵抗の値、抵抗値ばらつきは、表
２に示した。
たＩｒ、Ｂｉ、Ｓｉを含む混合液に対する量を以下の表
１のように換えた他は、実施例２と同様に行った。得ら
れた抵抗体膜のシート抵抗の値、抵抗値ばらつきは、表
２に示した。
【００１９】
【表１】
【００２０】比較例１
実施例１において、アスファルト溶液を加えず、濃縮し
たＩｒ、Ｂｉ、Ｓｉを含む混合溶液にα−ターピネオー
ルを加え、同様の粘度にして、ぺーストを得る。このぺ
ーストを用いて、実施例１と同様の方法で抵抗体膜を得
た。得られた抵抗体膜のシート抵抗の値、抵抗値ばらつ
きの値は、表２に示した。
たＩｒ、Ｂｉ、Ｓｉを含む混合溶液にα−ターピネオー
ルを加え、同様の粘度にして、ぺーストを得る。このぺ
ーストを用いて、実施例１と同様の方法で抵抗体膜を得
た。得られた抵抗体膜のシート抵抗の値、抵抗値ばらつ
きの値は、表２に示した。
【００２１】比較例２
実施例１において、アスファルトの溶液のかわりに、エ
チルセルロースのα−ターピネオール溶液を濃縮したＩ
ｒ、Ｂｉ、Ｓｉを含む混合液に加え、同様の粘度にし
て、ぺーストを得る。このぺーストを用いて、実施例１
と同様の方法で抵抗体膜を得た。得られた抵抗体膜のシ
ート抵抗の値、抵抗値ばらつきの値は、表２に示した。
チルセルロースのα−ターピネオール溶液を濃縮したＩ
ｒ、Ｂｉ、Ｓｉを含む混合液に加え、同様の粘度にし
て、ぺーストを得る。このぺーストを用いて、実施例１
と同様の方法で抵抗体膜を得た。得られた抵抗体膜のシ
ート抵抗の値、抵抗値ばらつきの値は、表２に示した。
【００２２】
【表２】
【００２３】実施例７〜１２
実施例１におけるＩｒ、Ｂｉ、Ｓｉの重量比を、Ｉｒ／
Ｂｉ／Ｓｉ＝１／１／１から、以下の表３のように換え
た他は、実施例１と同様に行った。得られた抵抗体膜の
シート抵抗の値、抵抗値ばらつきの値は表３に示した。
Ｂｉ／Ｓｉ＝１／１／１から、以下の表３のように換え
た他は、実施例１と同様に行った。得られた抵抗体膜の
シート抵抗の値、抵抗値ばらつきの値は表３に示した。
【００２４】比較例３〜８
実施例７〜１２において、アスファルト溶液を加えず、
濃縮したＩｒ、Ｂｉ、Ｓｉを含む混合溶液にα−ターピ
ネオールを加え、同様の粘度にして、ぺーストを得る。
このぺーストを用いて、実施例７〜１２と同様の方法で
抵抗体膜を得た。得られた抵抗体膜のシート抵抗の値、
抵抗値ばらつきの値は、表３に示した。
濃縮したＩｒ、Ｂｉ、Ｓｉを含む混合溶液にα−ターピ
ネオールを加え、同様の粘度にして、ぺーストを得る。
このぺーストを用いて、実施例７〜１２と同様の方法で
抵抗体膜を得た。得られた抵抗体膜のシート抵抗の値、
抵抗値ばらつきの値は、表３に示した。
【００２５】
【表３】
【００２６】実施例１３〜２０
実施例１における金属および非金属の種類と量比をＩ
ｒ、Ｂｉ、Ｓｉの１／１／１から、以下の表４のように
換えた他は、実施例１と同様に行った。ぺーストは表４
に示したそれぞれの金属のレジネートおよび非金属のレ
ジネートを用いて、レジネートの中の金属含有率から、
換算して所望の元素組成比となるように作製した。得ら
れた抵抗体膜のシート抵抗の値、抵抗値ばらつきの値
は、表４に示した。使用した金属のレジネートおよび非
金属のレジネートは、表５に示した。
ｒ、Ｂｉ、Ｓｉの１／１／１から、以下の表４のように
換えた他は、実施例１と同様に行った。ぺーストは表４
に示したそれぞれの金属のレジネートおよび非金属のレ
ジネートを用いて、レジネートの中の金属含有率から、
換算して所望の元素組成比となるように作製した。得ら
れた抵抗体膜のシート抵抗の値、抵抗値ばらつきの値
は、表４に示した。使用した金属のレジネートおよび非
金属のレジネートは、表５に示した。
【００２７】比較例９〜１６
実施例１３〜２０において、アスファルト溶液を加え
ず、濃縮したそれぞれの金属有機化合物および非金属有
機化合物を含む混合溶液にα−ターピネオールを加え、
同様の粘度にして、ぺーストを得る。このぺーストを用
いて、実施例１３〜２０と同様の方法で抵抗体膜を得
た。得られた抵抗体膜のシート抵抗の値、抵抗値ばらつ
きの値は、表４に示した。
ず、濃縮したそれぞれの金属有機化合物および非金属有
機化合物を含む混合溶液にα−ターピネオールを加え、
同様の粘度にして、ぺーストを得る。このぺーストを用
いて、実施例１３〜２０と同様の方法で抵抗体膜を得
た。得られた抵抗体膜のシート抵抗の値、抵抗値ばらつ
きの値は、表４に示した。
【００２８】
【表４】
【００２９】
【表５】
【００３０】実施例２１
実施例２において、アスファルト溶液のフィルターを行
ったほかは、実施例２と同様にしてぺーストを作製し
た。アスファルト溶液のフィルター方法は、５００ｍｌ
の注射器にアスファルト溶液を入れ、注射器の先端に、
メッシュ０．４５μの使い捨てフィルター（クロマトデ
ィスク２５Ｎ：倉敷紡績（株）製）をつけて、フィルタ
ーを行う。フィルターしたアスファルト溶液を用いて、
実施例２と同様にして、ぺーストを作製し、同様の方法
で抵抗体膜を得た。得られた抵抗体膜のシート抵抗の値
は、３２６Ω／□、抵抗値ばらつきの値は、１．６％で
あった。
ったほかは、実施例２と同様にしてぺーストを作製し
た。アスファルト溶液のフィルター方法は、５００ｍｌ
の注射器にアスファルト溶液を入れ、注射器の先端に、
メッシュ０．４５μの使い捨てフィルター（クロマトデ
ィスク２５Ｎ：倉敷紡績（株）製）をつけて、フィルタ
ーを行う。フィルターしたアスファルト溶液を用いて、
実施例２と同様にして、ぺーストを作製し、同様の方法
で抵抗体膜を得た。得られた抵抗体膜のシート抵抗の値
は、３２６Ω／□、抵抗値ばらつきの値は、１．６％で
あった。
【００３１】実施例２２
金属有機化合物および非金属有機化合物として、
イリジウム−２，２，６，６，−テトラメチル−３，
５，−ヘプタンジオネート ｛Ｉｒ［（ＣＨ3 ）3 ＣＣ
ＯＣＣＯＣ（ＣＨ3 ）3 ］3 ｝ ：７．３９ｇ ２−エチルヘキサン酸ビスマス［Ｂｉ（ＯＯＣＣ
7 Ｈ15）3 ］：６．３９ｇポリ（ジトリルシロキサン）
｛［ＳｉＯ（Ｃ6 Ｈ4 ＣＨ3 ）2 ］n ｝：１．３８ｇ をターピネオール、ブチルカルビトールアセテートの混
合溶媒３０ｍｌに溶かし、さらに、実施例２で用いたア
スファルト溶液１５ｇを加え、撹拌混合して、ペースト
が得られる。以下は実施例１と同様の方法で、抵抗体膜
を得た。シート抵抗の値は、７５２Ω／□、抵抗値ばら
つきは、４．７％であった。
５，−ヘプタンジオネート ｛Ｉｒ［（ＣＨ3 ）3 ＣＣ
ＯＣＣＯＣ（ＣＨ3 ）3 ］3 ｝ ：７．３９ｇ ２−エチルヘキサン酸ビスマス［Ｂｉ（ＯＯＣＣ
7 Ｈ15）3 ］：６．３９ｇポリ（ジトリルシロキサン）
｛［ＳｉＯ（Ｃ6 Ｈ4 ＣＨ3 ）2 ］n ｝：１．３８ｇ をターピネオール、ブチルカルビトールアセテートの混
合溶媒３０ｍｌに溶かし、さらに、実施例２で用いたア
スファルト溶液１５ｇを加え、撹拌混合して、ペースト
が得られる。以下は実施例１と同様の方法で、抵抗体膜
を得た。シート抵抗の値は、７５２Ω／□、抵抗値ばら
つきは、４．７％であった。
【００３２】比較例１７
金属有機化合物および非金属有機化合物として、
イリジウム−２，２，６，６，−テトラメチル−３，
５，−ヘプタンジオネート ｛Ｉｒ［（ＣＨ3 ）3 ＣＣ
ＯＣＣＯＣ（ＣＨ3 ）3 ］3 ｝ ：７．３９ｇ ２−エチルヘキサン酸ビスマス［Ｂｉ（ＯＯＣＣ
7 Ｈ15）3 ］：６．３９ｇ ポリ（ジトリルシロキサン）｛［ＳｉＯ（Ｃ6 Ｈ4 ＣＨ
3 ）2 ］n ｝：１．３８ｇ をターピネオール、ブチルカルビトールアセテートの混
合溶媒３０ｍｌに溶かした溶液を用いて、実施例１と同
様の方法で、抵抗体膜を得た。得られた抵抗体膜のシー
ト抵抗の値は、７０４Ω／□、抵抗値ばらつきは、８．
９％であった。
５，−ヘプタンジオネート ｛Ｉｒ［（ＣＨ3 ）3 ＣＣ
ＯＣＣＯＣ（ＣＨ3 ）3 ］3 ｝ ：７．３９ｇ ２−エチルヘキサン酸ビスマス［Ｂｉ（ＯＯＣＣ
7 Ｈ15）3 ］：６．３９ｇ ポリ（ジトリルシロキサン）｛［ＳｉＯ（Ｃ6 Ｈ4 ＣＨ
3 ）2 ］n ｝：１．３８ｇ をターピネオール、ブチルカルビトールアセテートの混
合溶媒３０ｍｌに溶かした溶液を用いて、実施例１と同
様の方法で、抵抗体膜を得た。得られた抵抗体膜のシー
ト抵抗の値は、７０４Ω／□、抵抗値ばらつきは、８．
９％であった。
【００３３】
【発明の効果】本発明の特徴は、アスファルトを溶媒に
溶かしたものを混合し、均一なペーストがえられ、塗布
に適した粘度とチクソトロピー性をもたせることがで
き、塗布時に表面性がよく、膜厚ばらつきの小さい膜が
得られ、焼成後の抵抗値ばらつきの小さい抵抗体膜がえ
られる。また、アスファルトのもう一つの添加効果は焼
成時に抵抗体膜の成膜性をよくすることである。
溶かしたものを混合し、均一なペーストがえられ、塗布
に適した粘度とチクソトロピー性をもたせることがで
き、塗布時に表面性がよく、膜厚ばらつきの小さい膜が
得られ、焼成後の抵抗値ばらつきの小さい抵抗体膜がえ
られる。また、アスファルトのもう一つの添加効果は焼
成時に抵抗体膜の成膜性をよくすることである。
【００３４】本発明においては、抵抗体膜用ぺーストを
作製の際、金属有機化合物および添加元素としての金属
あるいは非金属の有機化合物の種類と割合を容易に換え
られるので、抵抗値の制御が容易にできる。このように
して得られた抵抗体膜は、サーマルヘッドやハイブリッ
ドＩＣ等の各種電子部品へ応用できる。
作製の際、金属有機化合物および添加元素としての金属
あるいは非金属の有機化合物の種類と割合を容易に換え
られるので、抵抗値の制御が容易にできる。このように
して得られた抵抗体膜は、サーマルヘッドやハイブリッ
ドＩＣ等の各種電子部品へ応用できる。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 田甫 文明
神奈川県南足柄市竹松1600番地富士ゼロ
ツクス株式会社内
(72)発明者 佐藤 克洋
神奈川県南足柄市竹松1600番地富士ゼロ
ツクス株式会社内
(72)発明者 赤崎 豊
神奈川県南足柄市竹松1600番地富士ゼロ
ツクス株式会社内
(56)参考文献 特開 昭50−30094（ＪＰ，Ａ)
Claims (4)
- 【請求項１】 ルテニウム（Ｒｕ）、イリジウム（Ｉ
ｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム
（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）の金属有機化合物の中か
ら選ばれる少なくとも一種の化合物（１）、およびシリ
コン（Ｓｉ）、ビスマス（Ｂｉ）、鉛（Ｐｂ），スズ
（Ｓｎ）、アルミニウム（Ａｌ）、ホウ素（Ｂ）、チタ
ン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、カルシウム（Ｃ
ａ）、バリウム（Ｂａ）の金属または非金属の有機化合
物の中から選ばれる少なくとも一種の化合物（２）を含
み、 かつ、化合物（１）の中の金属に対して、化合物（２）
の中の金属または非金属を元素組成において１〜４当量
含有する溶液に、添加剤としてアスファルトを溶液に溶
かしたものを混合して作製し、該アスファルトの量が全
溶液中の６乃至１０重量％であることを特徴とする抵抗
体膜用ペースト。 - 【請求項２】 添加剤として用いるアスファルト溶液は
フィルタした後に用いることを特徴とする請求項１に記
載の抵抗体膜用ペースト。 - 【請求項３】 請求項１乃至請求項２に記載の抵抗体膜
用ペーストを基板上に塗布し、さらに焼成して形成され
たことを特徴とする抵抗体膜。 - 【請求項４】 請求項４に記載の抵抗体膜を有すること
を特徴とする電子部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00913199A JP3380760B2 (ja) | 1999-01-18 | 1999-01-18 | 抵抗体膜用ペースト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00913199A JP3380760B2 (ja) | 1999-01-18 | 1999-01-18 | 抵抗体膜用ペースト |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3041682A Division JPH0770368B2 (ja) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 抵抗体膜用ペースト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11260603A JPH11260603A (ja) | 1999-09-24 |
| JP3380760B2 true JP3380760B2 (ja) | 2003-02-24 |
Family
ID=11712086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00913199A Expired - Fee Related JP3380760B2 (ja) | 1999-01-18 | 1999-01-18 | 抵抗体膜用ペースト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3380760B2 (ja) |
-
1999
- 1999-01-18 JP JP00913199A patent/JP3380760B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11260603A (ja) | 1999-09-24 |
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