JP3378285B2 - Structure of solid electrolytic capacitor and method of manufacturing solid electrolytic capacitor - Google Patents

Structure of solid electrolytic capacitor and method of manufacturing solid electrolytic capacitor

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JP3378285B2
JP3378285B2 JP03816793A JP3816793A JP3378285B2 JP 3378285 B2 JP3378285 B2 JP 3378285B2 JP 03816793 A JP03816793 A JP 03816793A JP 3816793 A JP3816793 A JP 3816793A JP 3378285 B2 JP3378285 B2 JP 3378285B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、小型大容量化を図った
タンタル固体電解コンデンサー又はアルミ固体電解コン
デンサー等の固体電解コンデンサーの構造、及び、この
固体電解コンデンサーを製造する方法に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure of a solid electrolytic capacitor such as a tantalum solid electrolytic capacitor or an aluminum solid electrolytic capacitor which has a small size and a large capacity, and a method for producing the solid electrolytic capacitor.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、この種の固体電解コンデンサーに
おけるコンデンサー素子1は、以下に述べるような方法
で製造している。
2. Description of the Related Art Conventionally, a capacitor element 1 in a solid electrolytic capacitor of this type is manufactured by the method described below.

【0003】先づ、タンタル等の金属粒子を、図13
示すように、多孔質のチップ片2に焼結すると共に、こ
のチップ片2にタンタル等の金属製の陽極棒3を固着す
る。
First, as shown in FIG. 13 , metal particles of tantalum or the like are sintered on a porous chip piece 2, and an anode rod 3 made of metal such as tantalum is fixed to the chip piece 2.

【0004】このチップ片2を、図14に示すように、
りん酸水溶液A等の化成液に浸漬した状態で直流電流を
印加して陽極酸化を行うことにより、チップ片2におけ
る各金属粒子の表面に、五酸化タンタル4等の誘電体膜
を形成する。
As shown in FIG. 14 , this chip piece 2 is
A direct current is applied in a state of being immersed in a chemical conversion solution such as phosphoric acid aqueous solution A to carry out anodization to form a dielectric film such as tantalum pentoxide 4 on the surface of each metal particle in the chip piece 2.

【0005】この場合、チップ片2を、りん酸水溶液A
等の化成液に対して、当該チップ片2の上面がりん酸水
溶液A等の化成液の液面より適宜深さHだけ沈むように
浸漬することにより、前記陽極棒3における付け根部の
外周面にも、同じく五酸化タンタル4a等の誘電体膜を
適宜長さHの部分にわたって形成する。
In this case, the chip piece 2 is replaced with a phosphoric acid aqueous solution A.
By dipping the upper surface of the chip piece 2 into the outer peripheral surface of the base portion of the anode rod 3 by appropriately immersing the upper surface of the chip piece 2 in such a manner as to be submerged by a depth H from the liquid surface of the chemical conversion solution such as phosphoric acid aqueous solution A. Similarly, a dielectric film of tantalum pentoxide 4a or the like is similarly formed over a portion having a length H.

【0006】次いで、前記五酸化タンタル4,4a等の
誘電体膜を形成する工程を完了した前記チップ片2を、
図15に示すように、硝酸マンガン水溶液Bに対して、
当該チップ片2の上面が硝酸マンガン水溶液Bの液面よ
り低くならない状態まで浸漬して、硝酸マンガン水溶液
Bをチップ片2の内部まで浸透したのち引き揚げて焼成
することを複数回にわたって繰り返すことで、前記五酸
化タンタル4等の誘電体膜の表面に二酸化マンガン5等
の金属酸化物による固体電解質層を形成するか、前記五
酸化タンタル4等の誘電体膜の表面に、有機半導体膜に
よる固体電解質層を、化学重合方法又は電解酸化重合方
法或いは気相重合方法にて形成する。
Next, the chip piece 2 after completing the step of forming the dielectric film such as tantalum pentoxide 4, 4a
As shown in FIG. 15 , with respect to the manganese nitrate aqueous solution B,
By dipping until the upper surface of the chip piece 2 does not become lower than the liquid surface of the manganese nitrate aqueous solution B, permeating the manganese nitrate aqueous solution B into the inside of the chip piece 2, and then lifting and baking, is repeated a plurality of times. A solid electrolyte layer formed of a metal oxide such as manganese dioxide 5 is formed on the surface of the dielectric film such as tantalum pentoxide 4, or a solid electrolyte layer formed of an organic semiconductor film is formed on the surface of the dielectric film such as tantalum pentoxide 4. The layer is formed by a chemical polymerization method, an electrolytic oxidative polymerization method, or a gas phase polymerization method.

【0007】更に、前記チップ片2における上面を除く
全外周面に、グラファト膜等を介して銀又はニッケル等
の金属製の陰極膜を形成することによって、前記コンデ
ンサー素子1を構成するようにしている。
Further, the capacitor element 1 is constructed by forming a cathode film made of metal such as silver or nickel on the entire outer peripheral surface of the chip piece 2 excluding the upper surface through a graphat film or the like. There is.

【0008】つまり、従来の固体電解コンデンサーにお
けるコンデンサー素子1は、チップ片2における金属粒
子の表面に、五酸化タンタル等の誘電体膜4を形成する
に際して、このチップ片2に固着した陽極棒3における
付け根部の外周面にも、五酸化タンタル4a等の誘電体
膜を、前記金属粒子の表面に形成した五酸化タンタル4
等の誘電体膜に連続するように形成することにより、こ
の五酸化タンタル4a等の誘電体膜にて、陽極棒3の陽
極側と、二酸化マンガン5等の固体電解質層の陰極側と
を隔離(絶縁)するように構成している。
That is, in the capacitor element 1 of the conventional solid electrolytic capacitor, when the dielectric film 4 such as tantalum pentoxide is formed on the surface of the metal particles of the chip piece 2, the anode rod 3 fixed to the chip piece 2 is formed. A tantalum pentoxide 4 having a dielectric film such as tantalum pentoxide 4a formed on the surface of the metal particles also on the outer peripheral surface of the root portion of
By forming the dielectric film such as tantalum pentoxide 4a so as to be continuous, the anode side of the anode rod 3 and the cathode side of the solid electrolyte layer such as manganese dioxide 5 are separated by the dielectric film such as tantalum pentoxide 4a. It is configured to (insulate).

【0009】このため、従来の固体電解コンデンサーに
おいては、チップ片2から突出する陽極棒3を、その付
け根部から切除することができないから、従来における
面実装型の固体電解コンデンサーの場合には、例えば、
特公平3−30977号公報に記載され、且つ、図16
に示すように、コンデンサー素子1を、そのチップ片2
を左右一対のリード端子6a,6bの一方のリード端子
6bに、このチップ片2から突出する陽極棒3を他方の
リード端子6aに各々固着したのち、その全体を、合成
樹脂製のモールド部7にてパッケージすると言う構成に
しているか、或いは、図17に示すように、コンデンサ
ー素子1のうちチップ片2の底面及び陽極棒3の先端を
除く部分を合成樹脂等の被覆材8にてパッケージし、前
記チップ片2の底面に、半田等による陰極端子部9b
を、前記陽極棒3の先端に半田等による陽極端子部9a
を各々形成すると言う構成している。
For this reason, in the conventional solid electrolytic capacitor, the anode rod 3 protruding from the chip piece 2 cannot be cut off from the root portion thereof. Therefore, in the case of the conventional surface mount type solid electrolytic capacitor, For example,
Japanese Patent Publication No. 3-30977, and FIG.
As shown in FIG.
To the lead terminals 6b of the pair of left and right lead terminals 6a and 6b, and the anode rod 3 protruding from the chip piece 2 is fixed to the other lead terminal 6a. 17 , or as shown in FIG. 17 , the portion of the capacitor element 1 excluding the bottom surface of the chip piece 2 and the tip of the anode rod 3 is packaged with a covering material 8 such as synthetic resin. , The cathode terminal portion 9b made of solder or the like on the bottom surface of the chip piece 2.
Is attached to the tip of the anode rod 3 by an anode terminal portion 9a made of solder or the like.
Are formed respectively.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】すなわち、従来におけ
る固体電解コンデンサーでは、そのコンデンサー素子1
を、チップ片2及びこのチップ片2から突出する陽極棒
3の両方の全体を含んだ状態で、前記のように、合成樹
脂製のモールド部7又は合成樹脂等の被覆材8にてパッ
ケージするようにしなければならないから、コンデンサ
ー素子2の大きさに比べて、全体の大きさが、チップ片
2から前記陽極棒3を突出する分だけ大きくなるから、
体積効率が低くて、容量に比べて大型化すると共に、重
量が増大すると言う問題があった。
That is, in the conventional solid electrolytic capacitor, the capacitor element 1
Is packaged with the mold part 7 made of synthetic resin or the covering material 8 made of synthetic resin or the like, as described above, including both the chip piece 2 and the anode rod 3 protruding from the chip piece 2. Therefore, the entire size of the capacitor element 2 is larger than that of the capacitor element 2 by the amount by which the anode rod 3 is projected from the chip piece 2.
There is a problem that the volume efficiency is low, the volume is larger than the capacity, and the weight is increased.

【0011】特に、図16に示す面実装型の固体電解コ
ンデンサーの場合には、合成樹脂製のモールド部7にて
パッケージするとき、チップ片2に大きいストレスを作
用することにより、漏れ電流(LC)が増大したり、シ
ョート不良が発生したりすることが多発し、換言する
と、不良品率が高いから、製造に際しての歩留り率が低
いのであり、しかも、合成樹脂製モールド部7の形成、
及び両リード端子6a,6bの曲げ加工、並びに、チッ
プ片2及び陽極棒3に対するリード端子6a,6bの固
着等を必要として、製造工程が複雑であると共に、両リ
ード端子6a,6b及びモールド部7に材料費が可成り
嵩むことにより、前記したように製造に際しての歩留り
率が低いことと相俟って、製造コストが大幅にアップす
る、その上、モールド部7にてパッケージすることによ
り、重量バランスがアンバランスになるので、プリント
基板等に実装したあとにおいて、超音波洗浄するとき、
両リード端子6a,6bが、チップ片2から外れること
が多発すると言う問題があった。
In particular, in the case of the surface mount type solid electrolytic capacitor shown in FIG. 16 , when the synthetic resin mold portion 7 is used for packaging, a large stress acts on the chip piece 2 to cause leakage current (LC). ) Increases or short-circuit defects frequently occur. In other words, since the defective product rate is high, the yield rate in manufacturing is low, and furthermore, the synthetic resin mold portion 7 is formed,
In addition, the manufacturing process is complicated because the lead terminals 6a and 6b need to be bent, and the lead terminals 6a and 6b are fixed to the chip piece 2 and the anode rod 3, and the lead terminals 6a and 6b and the molded portion are complicated. 7, the material cost is considerably increased, so that the manufacturing cost is significantly increased in combination with the low yield rate in manufacturing as described above. Moreover, by packaging in the mold part 7, Since the weight balance becomes unbalanced, when ultrasonic cleaning is performed after mounting on a printed circuit board, etc.
There is a problem that both lead terminals 6a and 6b often come off the chip piece 2.

【0012】本発明は、これらの問題を解消できるよう
にした固体電解コンデンサーの構造と、その製造方法と
を提供することを技術的課題とするものである。
It is a technical object of the present invention to provide a structure of a solid electrolytic capacitor capable of solving these problems and a manufacturing method thereof.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明における固体電解コンデンサーは、「タン
タル等の金属粒子を多孔質に焼結したチップ片における
一端面に、タンタル等の金属粒子を多孔質に焼結した金
属片を、その間にタンタル等の金属板片を挟んで固着す
る一方、前記チップ片、前記金属片及び前記金属板片の
表面に、五酸化タンタル等の誘電体膜を、前記チップ片
に、二酸化マンガン等の固体電解質層及び陰極膜を各々
形成し、前記金属片の端面に、陽極端子膜を形成す
る。」と言う構造にした。
In order to achieve this technical object, the solid electrolytic capacitor according to the present invention has a structure in which "a metal particle such as tantalum is attached to one end surface of a chip piece obtained by porously sintering metal particles such as tantalum. Porous sintered gold
The metal piece is fixed by sandwiching a metal plate piece such as tantalum between the metal piece and the chip piece , the metal piece and the metal plate piece.
A dielectric film such as tantalum pentoxide is formed on the surface , a solid electrolyte layer such as manganese dioxide and a cathode film are formed on the chip piece, and an anode terminal film is formed on the end surface of the metal piece. "."

【0014】また、本発明における製造方法は、「タン
タル等の金属粒子を多孔質に焼結したチップ片における
一端面に、タンタル等の金属粒子を多孔質に焼結した金
属片を、その間にタンタル等の金属板片を挟んで固着す
る工程と、次いで、前記チップ片、前記金属片及び前記
金属板片に対して五酸化タンタル等の誘電体膜を形成す
る工程、前記チップ片に対して二酸化マンガン等の固体
電解質層及び陰極膜を形成する工程を各々施す工程と
前記金属片の端面に、金属片における金属面を当該端面
に露出する表面加工を施す工程と、そして、前記端面に
陽極端子を形成する工程とを備えていることを特徴とす
る。」ものである。
Further, the production method of the present invention, the metal particles "tantalum on one end surface of the porous sinter chip pieces, the metal pieces by sintering a porous metal particles such as tantalum, in the meantime Fix by sandwiching metal plate pieces such as tantalum
And then the chip piece , the metal piece and the
A step, the step of subjecting each forming a solid electrolyte layer and a cathode layer, such as manganese dioxide to said tip piece for forming a dielectric film such as tantalum pentoxide with respect to the metal plate piece,
The method is characterized by further comprising: a step of subjecting an end surface of the metal piece to a surface treatment for exposing a metal surface of the metal piece to the end surface; and a step of forming an anode terminal on the end surface. It is something.

【0015】[0015]

【作 用】このように構成することにより、前記多孔
質のチップ片に対して二酸化マンガン等の固体電解質層
を形成するときにおいて、前記金属片における各タンタ
ル等の金属粒子の表面に二酸化マンガンの固体電解質層
が形成されることを、前記金属板片にて確実に防止する
こができ、従って、前記金属片の端面における陽極側
と、前記固体電解質層の陰極側とを、前記多孔質の金属
片と金属板片とによって完全に隔離(絶縁)することが
できるから、陽極側と陰極側とを隔離(絶縁)すること
のために、前記従来のように、チップ片に陽極棒を固着
して、この陽極棒の付け根部の外周面に誘電体膜を形成
することを必要としないのである。
[For work] With this structure, the porous
Solid electrolyte layer such as manganese dioxide for high quality chip pieces
When forming, each tantalum in the metal piece
Solid electrolyte layer of manganese dioxide on the surface of metal particles such as
The metal plate piece reliably prevents the formation of
This is done, and therefore the anode side at the end face of the metal piece
And the cathode side of the solid electrolyte layer, the porous metal
Since it can be completely isolated (insulated) by the piece and the metal plate piece, in order to separate (insulate) the anode side and the cathode side, the anode bar is fixed to the chip piece as in the conventional case. Therefore, it is not necessary to form a dielectric film on the outer peripheral surface of the root portion of the anode rod.

【0016】[0016]

【発明の効果】このように、本発明によると、従来のよ
うに、コンデンサー素子におけるチップ片から陽極棒を
突出することを必要とせず、換言すると、従来における
陽極棒を省略することができることにより、コンデンサ
ー素子における金属片付きチップ片のみをパッケージす
るのみで良いから、従来のものに比べて、大幅に、大容
量で小型・軽量化することができるのである。
As described above, according to the present invention, unlike the prior art, it is not necessary to project the anode rod from the chip piece in the capacitor element, in other words, the conventional anode rod can be omitted. Since only the chip piece with the metal piece in the capacitor element needs to be packaged, the capacity and the size and the weight can be significantly reduced as compared with the conventional one.

【0017】また、面実装型にする場合において、図1
7に示すように、コンデンサー素子に二つのリード端子
に固着し、且つ、その全体を合成樹脂製のモールド部に
てパッケージすることを必要としないことにより、不良
品を発生を確実に低減できると共に、材料費を節減で
き、且つ、加工工程をも少なくすることができるから、
製造コストを大幅に低減できる効果を有する。
Further, in the case of the surface mount type, FIG.
As shown in FIG. 7, since it is not necessary to fix the capacitor element to the two lead terminals and to package the whole in a synthetic resin mold part, it is possible to surely reduce the number of defective products. Since the material cost can be reduced and the number of processing steps can be reduced,
This has the effect of significantly reducing manufacturing costs.

【0018】[0018]

【実施例】以下、本発明の実施例を、タンタル固体電解
コンデンサーを製造する場合の図面について説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings for manufacturing a tantalum solid electrolytic capacitor.

【0019】図1〜図11は、第1の実施例を示すもの
である。
1 to 11 show a first embodiment.

【0020】先づ、図1に示すように、タンタル粒子を
多孔質に焼結して成るチップ片12の上面に、同じくタ
ンタル粒子を多孔質に焼結して成る金属片13を、当該
金属片13と前記チップ片12との間にタンタル製の
属板片14を挟んで重ね合わせて、これらを、図2及び
図3に示すように、互いに溶接するか、或いは、耐熱導
電性のペースト又は接着剤にて結合する。この場合、前
記三者を、その焼結の前において重ね、この重ねた状態
で焼結するようにしても良い。
First, as shown in FIG. 1, on the upper surface of a chip piece 12 formed by sintering tantalum particles into a porous structure, a metal piece 13 formed by similarly sintering tantalum particles into a porous structure is formed. Gold made of tantalum between the piece 13 and the chip piece 12
The metal plate pieces 14 are overlapped with each other with the metal plate pieces 14 sandwiched therebetween, and these are welded to each other as shown in FIGS. 2 and 3, or bonded with a heat-resistant conductive paste or adhesive. In this case, the three members may be stacked before the sintering and then sintered in this stacked state.

【0021】次いで、前記チップ片12に結合した金属
片13の上面13aに、図4に示すように、タンタルワ
イヤー15を、溶接にて固着するか、或いは、耐熱導電
性のペースト又は接着剤にて固着したのち、この金属片
13及び金属板片14を備えたチップ片12の全体を、
図5に示すように、りん酸水溶液Aに浸漬した状態で、
直流電流を印加して陽極酸化を行うことにより、チップ
片12における各タンタル粒子の表面、金属片13にお
ける各タンタル粒子の表面、及び、金属板片14の表面
に、五酸化タンタル16の誘電体膜を形成する。
Then, as shown in FIG. 4, a tantalum wire 15 is fixed by welding to the upper surface 13a of the metal piece 13 bonded to the chip piece 12, or a heat-resistant conductive paste or adhesive is used. Then, the whole chip piece 12 provided with the metal piece 13 and the metal plate piece 14 is
As shown in FIG. 5, while immersed in the phosphoric acid aqueous solution A,
By applying a direct current to carry out anodization, the surface of each tantalum particle in the chip piece 12, the surface of each tantalum particle in the metal piece 13 , and the surface of the metal plate piece 14 are tantalum pentoxide. 16 dielectric films are formed.

【0022】前記のようにして五酸化タンタル16の誘
電体膜を形成する工程を完了した前記金属片13及び金
属板片14を備えたチップ片12を、図6に示すよう
に、硝酸マンガン水溶液Bに対して、当該チップ片12
のみを浸漬して、硝酸マンガン水溶液Bをチップ片12
の内部まで浸透したのち引き揚げて焼成することを複数
回にわたって繰り返すことにより、前記チップ片12に
おける五酸化タンタル16の誘電体膜の表面に、二酸化
マンガン17の固体電解質層を形成する。
The metal piece 13 and the gold having completed the step of forming the dielectric film of tantalum pentoxide 16 as described above.
As shown in FIG. 6, the chip piece 12 provided with the metal plate piece 14 was treated with respect to the manganese nitrate aqueous solution B.
Dip only the manganese nitrate aqueous solution B into the chip pieces 12
The solid electrolyte layer of manganese dioxide 17 is formed on the surface of the dielectric film of tantalum pentoxide 16 in the chip piece 12 by repeating the process of penetrating into the inside of the chip and then lifting and firing it several times.

【0023】この二酸化マンガン17の固体電解質層を
形成する場合において、前記金属片13に、硝酸マンガ
ン水溶液Bが浸透することを、前記金属板片14にて阻
止できることにより、この金属片13における各タンタ
ル粒子の表面に二酸化マンガン17の固体電解質層が形
成されることを防止できるから、前記金属片13におけ
る各タンタル粒子と、前記チップ片12に形成した二酸
化マンガン17の固体電解質層とを、確実に隔離(絶
縁)することができるのである。
When the solid electrolyte layer of manganese dioxide 17 is formed, the metal plate piece 14 can prevent the metal manganese nitrate aqueous solution B from penetrating into the metal piece 13, whereby each metal piece 13 can be prevented. Since it is possible to prevent the solid electrolyte layer of manganese dioxide 17 from being formed on the surface of the tantalum particles, each tantalum particle in the metal piece 13 and the solid electrolyte layer of manganese dioxide 17 formed in the chip piece 12 can be securely formed. It can be isolated (insulated).

【0024】次いで、前記チップ片12における外周面
のうち前記金属片13及び金属板片14を除く部分に対
して、図7に示すように、グラファト膜(図示せず)を
介して銀膜18を形成すると共に、前記タンタルワイヤ
ー15を、切断又は剥離等に除去することによって、コ
ンデンサー素子11とする。
Next, as shown in FIG. 7, a silver film 18 is formed on the outer peripheral surface of the chip piece 12 excluding the metal piece 13 and the metal plate piece 14 via a graphat film (not shown). And the tantalum wire 15 is removed by cutting, peeling or the like to form the capacitor element 11.

【0025】そして、図8及び図9に示すように、前記
コンデンサー素子11における銀膜18の表面に、半田
等による金属の陰極端子膜19を形成する(なお、この
陰極端子膜19は、コンデンサー素子11における底面
にのみ形成するようにしても良い)一方、前記金属片1
3の上面13aを、研磨加工することにより、金属片1
3における各タンタル粒子を当該上面13aに露出する
と言う表面加工を施したのち、この上面13aに対し
て、ニッケルメッキ等の半田ぬれ性を向上する下地処理
を施したのち、半田等による陽極端子膜20を形成す
る。
Then, as shown in FIGS. 8 and 9, a metallic cathode terminal film 19 is formed on the surface of the silver film 18 in the capacitor element 11 by soldering or the like (this cathode terminal film 19 is a capacitor). The metal piece 1 may be formed only on the bottom surface of the element 11.
By polishing the upper surface 13a of No. 3, the metal piece 1
The surface treatment of exposing each tantalum particle in No. 3 to the upper surface 13a is performed, and then the upper surface 13a is subjected to a base treatment for improving solder wettability such as nickel plating, and then the anode terminal film by solder or the like. Form 20.

【0026】なお、前記の表面加工は、プラズマによる
物理的な表面加工、又は薬品の腐食による化学的な表面
加工によって行うようにしても良い。
The surface treatment may be performed by physical surface treatment with plasma or chemical surface treatment by chemical corrosion.

【0027】次いで、前記コンデンサー素子11におけ
る外周面のうち、その底面における陰極端子膜19の一
部及び前記陽極端子膜20を除く部分に対して、図10
及び図11に示すように、耐熱性合成樹脂又はガラス製
の被覆膜21を形成することにより、面実装型タンタル
固体電解コンデンサーの完成品にするのである。
Next, with respect to a part of the outer peripheral surface of the capacitor element 11 except the part of the cathode terminal film 19 and the anode terminal film 20 on the bottom surface thereof, FIG.
Further, as shown in FIG. 11, by forming a coating film 21 made of heat resistant synthetic resin or glass, a surface mounted tantalum solid electrolytic capacitor is completed.

【0028】図12は、第2の実施例を示す。この第2
の実施例は、タンタル固体電解コンデンサーを、前記第
1の実施例のようにタンタルワイヤーを使用することな
く、タンタルワイヤーレスで製造する場合である。
FIG. 12 shows a second embodiment. This second
In this example, the tantalum solid electrolytic capacitor is manufactured without tantalum wire without using tantalum wire as in the first embodiment.

【0029】すなわち、前記図2及び図3に示すように
構成した金属片13及び金属板片14を備えたチップ片
12を、酸素ガスの気相中において酸化処理することに
よって、五酸化タンタルの誘電体膜を形成したのち、図
12に示すように、硝酸マンガン水溶液Bに対して、当
該チップ片12のみを浸漬して、硝酸マンガン水溶液B
をチップ片12の内部まで浸透したのち引き揚げて焼成
すること複数回にわたって繰り返すことにより、前記チ
ップ片12に対してのみ五酸化タンタルの誘電体膜の表
面に二酸化マンガンの固体電解質層を形成する。
That is, the chip piece 12 provided with the metal piece 13 and the metal plate piece 14 configured as shown in FIGS. 2 and 3 is oxidized in the gas phase of oxygen gas to obtain tantalum pentoxide. After forming the dielectric film, as shown in FIG. 12, only the chip piece 12 is immersed in the manganese nitrate aqueous solution B to form the manganese nitrate aqueous solution B.
The solid electrolyte layer of manganese dioxide is formed on the surface of the dielectric film of tantalum pentoxide only for the chip piece 12 by penetrating the inside of the chip piece 12 and then lifting and baking the same.

【0030】なお、この場合において、前記チップ片1
2への硝酸マンガン水溶液Bの浸透は、チップ片12に
対する硝酸マンガン水溶液Bのディスペンサー等による
塗着、又は予め硝酸マンガン水溶液Bを含ませたスポン
ジ体へのチップ片12の接触によって行うようにしても
良い。
In this case, the chip piece 1
The manganese nitrate aqueous solution B is permeated into the tip 2 by applying the manganese nitrate aqueous solution B to the tip 12 by a dispenser or by contacting the tip 12 with a sponge body containing the manganese nitrate aqueous solution B in advance. Is also good.

【0031】そして、以後は、前記第1の実施例の場合
と同様に、グラファト膜を介しての銀膜の形成、金属片
13の上面13aに対する表面加工、半田等による金属
の陰極端子膜19及び陽極端子膜20の形成、及び被覆
膜21の形成を行うことより、面実装型タンタル固体電
解コンデンサーの完成品とするのである。
Then, thereafter, as in the case of the first embodiment, the silver film is formed through the graphat film, the upper surface 13a of the metal piece 13 is surface-processed, and the metal cathode terminal film 19 is formed by soldering or the like. By forming the anode terminal film 20 and the coating film 21, the surface-mounted tantalum solid electrolytic capacitor is completed.

【0032】なお、この第2の実施例の場合において
は、固体電解質層を、有機半導体膜とし、この有機半導
体膜を、化学重合方法又は電解酸化重合方法或いは気相
重合方法によって形成するようにしても良いのである
In the case of this second embodiment,
Uses the solid electrolyte layer as an organic semiconductor film, and
The body membrane is processed by a chemical polymerization method, an electrolytic oxidative polymerization method, or a gas phase.
It may be formed by a polymerization method .

【0033】また、本発明は、前記実施例のタンタル固
体電解コンデンサーの場合に限らず、アルミ固体電解コ
ンデンサー等のような他の固体電解コンデンサーにも適
用できることは言うまでもない
The present invention also relates to the tantalum solid of the above embodiment.
Not limited to the case of body electrolytic capacitors, aluminum solid electrolytic capacitors
Suitable for other solid electrolytic capacitors such as capacitors
Needless to say, it can be used .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明における第1の実施例に使用するチップ
片と金属片との斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of a chip piece and a metal piece used in a first embodiment of the present invention.

【図2】前記図1におけるチップ片に金属片を固着した
状態の斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a state where a metal piece is fixed to the chip piece in FIG.

【図3】図2のIII −III 視断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG.

【図4】前記図2におけるチップ片にタンタルワイヤー
を固着した状態の斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing a state in which a tantalum wire is fixed to the chip piece in FIG.

【図5】前記図4におけるチップ片に五酸化タンタルの
誘電体膜を形成する処理を行っている状態の断面図であ
る。
5 is a cross-sectional view showing a state in which a process of forming a dielectric film of tantalum pentoxide on the chip piece in FIG. 4 is being performed.

【図6】前記図5におけるチップ片に二酸化マンガンの
固体電解質層を形成する処理を行っている状態の断面図
である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state in which a treatment for forming a solid electrolyte layer of manganese dioxide is performed on the chip piece in FIG.

【図7】前記図6におけるチップ片に、そのタンタルワ
イヤーを除去したのち銀膜を形成した状態の斜視図であ
る。
FIG. 7 is a perspective view showing a state where a silver film is formed on the chip piece in FIG. 6 after removing the tantalum wire.

【図8】前記図7のチップ片に、陽極端子膜と陰極端子
膜とを形成した状態の斜視図である。
8 is a perspective view showing a state in which an anode terminal film and a cathode terminal film are formed on the chip piece of FIG.

【図9】図8のIX−IX視断面図である。9 is a sectional view taken along line IX-IX in FIG.

【図10】タンタル固体電解コンデンサーの斜視図であ
る。
FIG. 10 is a perspective view of a tantalum solid electrolytic capacitor.

【図11】図9のXI−XI視拡大断面図である。FIG. 11 is an enlarged sectional view taken along line XI-XI of FIG. 9.

【図12】本発明における第2の実施例において二酸化
マンガンの固体電解質層を形成する処理を行っている状
態の断面図である。
FIG. 12 is a cross-sectional view showing a state in which a treatment for forming a solid electrolyte layer of manganese dioxide is being performed in the second embodiment of the present invention.

【図13】従来の製造方法に使用するチップ片の斜視図
である
FIG. 13 is a perspective view of a chip piece used in a conventional manufacturing method.
Is .

【図14】前記図13におけるチップ片に五酸化タンタ
ルの誘電体膜を形成する処理を行っている状態の断面図
である。
14] A tantalum pentoxide is added to the chip piece in FIG.
Sectional view of the process of forming the dielectric film
Is.

【図15】前記図14における二酸化マンガンの固体電
解質層を形成する処理を行っている状態の断面図であ
る。
15 is a solid state electrode of manganese dioxide in FIG.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state where a treatment for forming a degrading layer is being performed.
It

【図16】従来におけるタンタル固体電解コンデンサー
を示す縦断正面図である
FIG. 16: Conventional tantalum solid electrolytic capacitor
FIG .

【図17】従来における別のタンタル固体電解コンデン
サーを示す縦断正面図である。
FIG. 17 is another conventional tantalum solid electrolytic capacitor.
It is a vertical section front view showing a sir.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 コンデンサー素子 12 チップ片 13,13′ 金属片 14 金属板片 15 タンタルワイヤー 16 五酸化タンタルの誘電体膜 17 二酸化マンガンの固体電解質
層 18 銀膜 19 陰極端子膜 20 陽極端子膜 21 被覆膜
11 Capacitor Element 12 Chip Piece 13, 13 'Metal Piece 14 Metal Plate Piece 15 Tantalum Wire 16 Tantalum Pentoxide Dielectric Film 17 Manganese Dioxide Solid Electrolyte Layer 18 Silver Film 19 Cathode Terminal Film 20 Anode Terminal Film 21 Coating Film

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01G 9/052 H01G 9/012 H01G 9/00 Continuation of front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01G 9/052 H01G 9/012 H01G 9/00

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】タンタル等の金属粒子を多孔質に焼結した
チップ片における一端面に、タンタル等の金属粒子を多
孔質に焼結した金属片を、その間にタンタル等の金属板
片を挟んで固着する一方、前記チップ片、前記金属片及
び前記金属板片の表面に、五酸化タンタル等の誘電体膜
を、前記チップ片に、二酸化マンガン等の固体電解質層
及び陰極膜を各々形成し、前記金属片の端面に、陽極端
子膜を形成したことを特徴とする固体電解コンデンサー
の構造。
1. A chip piece obtained by sintering metal particles such as tantalum into a porous material is provided with metal particles such as tantalum on one end surface thereof.
A metal piece such as tantalum is sandwiched between metal pieces that have been sintered into a porous structure.
The chip piece , the metal piece and the metal piece
And a dielectric film such as tantalum pentoxide on the surface of the metal plate piece, a solid electrolyte layer such as manganese dioxide and a cathode film are formed on the chip piece, and an anode terminal film is formed on the end surface of the metal piece. A solid electrolytic capacitor structure characterized by being formed.
【請求項2】タンタル等の金属粒子を多孔質に焼結した
チップ片における一端面に、タンタル等の金属粒子を多
孔質に焼結した金属片を、その間にタンタル等の金属板
片を挟んで固着する工程と、次いで、前記チップ片、前
記金属片及び前記金属板片に対して五酸化タンタル等の
誘電体膜を形成する工程、前記チップ片に対して二酸化
マンガン等の固体電解質層及び陰極膜を形成する工程を
各々施す工程と、前記金属片の端面に、金属片における
金属面を当該端面に露出する表面加工を施す工程と、そ
して、前記端面に陽極端子を形成する工程とを備えてい
ことを特徴とする固体電解コンデンサーの製造方法。
2. A chip piece obtained by sintering metal particles such as tantalum into a porous piece, and a metal piece obtained by sintering metal particles such as tantalum into a porous plate on one end surface of the chip piece , and a metal plate made of tantalum or the like therebetween.
A step of sandwiching and fixing the piece , and then the chip piece ,
Forming a dielectric film such as tantalum pentoxide with respect to serial metal piece and the metal plate piece, a step of subjecting each forming a solid electrolyte layer and a cathode layer, such as manganese dioxide to the tip piece, A step of subjecting the end surface of the metal piece to a surface treatment for exposing the metal surface of the metal piece to the end surface ;
And, it has a step of forming an anode terminal to the end face
Method for producing a solid electrolytic capacitor, characterized in that that.
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