JP3366941B2 - アライメント方法 - Google Patents
アライメント方法Info
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- JP3366941B2 JP3366941B2 JP2000252294A JP2000252294A JP3366941B2 JP 3366941 B2 JP3366941 B2 JP 3366941B2 JP 2000252294 A JP2000252294 A JP 2000252294A JP 2000252294 A JP2000252294 A JP 2000252294A JP 3366941 B2 JP3366941 B2 JP 3366941B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- photodiode array
- array
- optical signal
- beam splitter
- Prior art date
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- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、送信されてきた
並列光信号をフォトダイオードアレイの受光部に入れる
アライメント方法に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】図５は光の入出力インターフェイスを持
つプロセッサモジュールの基本構成を示す模式図であ
る。現在の集積回路は、そのクロックスピードが増すに
つれ、配線部分における遅延や周波数制限の問題が顕在
化しつつある。そこで、入出力の配線を光に置き換えた
図５のような構成のモジュールが検討されている。出力
インターフェイスとしてのレーザダイオードアレイ１と
入力インターフェイスとしてのフォトダイオードアレイ
２と、そして入力されたデータを処理するプロセッサ３
とを同一の基板４上に作りこむか張りつける等して、一
つのモジュールとして構成したものである。 【０００３】このような構成を持つプロセッサモジュー
ルは、他のモジュールとのデータのやり取りを電気的な
配線により行うのではなく、光により行うことができ
る。このように電気配線を光に置き換える技術は、光イ
ンターコネクトと呼ばれる。光インターコネクトは、電
気配線に比べ、高速、低消費電力、対雑音性などの特徴
を持つ。データは光の形でフォトダイオードアレイ２か
ら入力され、プロセッサ３により処理される。処理され
たデータは、レーザダイオードアレイ１により光信号に
変換され、出力される。 【０００４】ここで、発光／受光素子としてアレイ状の
ものが使われるのは、一般にプロセッサ３においてデー
タが３２ビットや６４ビットといった並列のデータフォ
ーマットで処理されるためである。アレイ状の発光／受
光素子を用いることにより、パラレル／シリアル変換の
無い高速な入出力が可能となる。 【０００５】図６は、上記の光インターフェイスを持っ
たプロセッサモジュールが組み合わされ、一つのシステ
ムが構成される例を示す模式図である。レーザダイオー
ドアレイ１から発せられた並列光信号は、レンズ５やミ
ラー６などの光学系により次のプロセッサモジュールへ
と送られ、フォトダイオードアレイ２から入力される。 【０００６】図５で示されたプロセッサモジュールは、
図７中にあるようなフォトダイオードアレイ２、プロセ
ッサ３、レーザダイオードアレイ１のサンドイッチ構成
の形で構成される場合もある。この場合も、レーザダイ
オードアレイ１から発せられた並列光信号は、次のモジ
ュールのフォトダイオードアレイ２へとレンズ５によっ
て結像され、モジュール間の光接続が確立される。 【０００７】このように、レーザダイオードアレイ１と
フォトダイオードアレイ２との間を接続するためには、
レンズ５のみによる結像だけでなく、二次元光導波路が
用いられる場合もある。 【０００８】図８は、並列光信号を伝送するために、二
次元光導波路のひとつであるイメージファイバが用いら
れた場合を示す模式図である。イメージファイバは、共
通のクラッド層の中に複数のコアが埋め込まれた構造を
持ち、二次元の光信号を直接伝送することができる光フ
ァイバである。レーザダイオードアレイ１の光信号は、
レンズ５によりイメージファイバの入力端面に結像され
る。イメージファイバは、その光信号を並列に伝送す
る。イメージファイバの出力端に現れた光信号は、レン
ズ５によりフォトダイオードアレイ２に結像され、レー
ザダイオードアレイ１とフォトダイオードアレイ２との
間の光接続が確立される。 【０００９】このように発光素子と受光素子との間を光
接続する例は、上記のように二次元アレイの場合に限ら
れるわけではなく、一次元のアレイである場合や、端に
１チャンネルだけの場合もある。いずれにしろ、レーザ
ダイオードアレイの発光部から発せられた光をフォトダ
イオードアレイの受光部に位置合わせする、アライメン
ト技術が必要となる。 【００１０】図９は従来のアライメント方法の一例を説
明する模式図である。電流源８を用いてレーザダイオー
ドアレイ１を発光させておき、フォトダイオードアレイ
２の各チャネルの出力電流を電流計９により測定する。
その出力が最大になるようにフォトダイオードアレイ２
またはレーザダイオードアレイ１やレンズ５を動かしな
がらアライメントが行われる。 【００１１】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来のアライメント方法では、アライメントが
終了するまでに時間がかかり、製造コストが高くなって
しまうという問題があった。 【００１２】図９におけるアライメントの過程では、ま
ず一つのチャネルの出力が最大になるようアライメント
が行われた後、次のチャネルについてアライメントを行
おうとすると、前のチャネルのアライメントがずれてし
まう。全てのチャネルについて同時にその出力が最大に
なるようアライメントを行うには時間がかかり、これが
製造コストを引き上げていた。 【００１３】図１０はアライメントに要する時間を短縮
するために用いられる従来のアライメント方法の別の一
例を説明する模式図である。レーザダイオードアレイ１
とフォトダイオードアレイ２との間にビームスプリッタ
１０が入った構成になっており、ここで反射した光をカ
メラ１１で観察する。 【００１４】レーザダイオードアレイ１から発せられた
並列光信号の一部はフォトダイオードアレイ２の上で反
射する。この反射光は、ビームスプリッタ１０を通して
カメラ１１で観察することが出来る。また、ランプ１２
で照らされたフォトダイオードアレイ２も、同時にビー
ムスプリッタ１０を通してカメラ１１で観察することが
出来る。つまりカメラ１１により、並列光信号とフォト
ダイオードアレイ２とが重なった画像を観察することが
できることになる。従って、この像を観察しながら、並
列光信号がフォトダイオードアレイ２の受光部に入射す
るようにアライメントを行うことができる。この場合、
アライメントのずれの様子は、カメラ１１により観察さ
れているので、短時間でアライメントを終了することが
できる。 【００１５】しかしながら、この方法は、フォトダイオ
ードアレイ２がパッケージのジグや回路部品などに覆わ
れていてランプ１２の光を当てることができない場合、
適用することができないという問題があった。 【００１６】また、レーザダイオードアレイ１からフォ
トダイオードアレイ２へのパワーの伝達効率を上げるた
めにはビームスプリッタ１０の透過率をできるだけ高く
しておきたいという要求がある。この場合、カメラ１１
側に反射する光の強度は弱くなる。レーザダイオードア
レイ１からの並列光信号は、一般にパワー密度が高いた
め、ビームスプリッタ１０での反射が小さい場合でも、
カメラ１１で容易に観察することができる。しかし、フ
ォトダイオードアレイ２を観察するためには、ランプ１
２の光を強くしなくてはならないが、そうするとランプ
１２の熱によりフォトダイオードアレイ２が劣化してし
まうという問題があった。 【００１７】本発明は、上記に鑑み提案されたもので、
フォトダイオードアレイに光を当てることができないよ
うな場合においても適用でき、ビームスプリッタの透過
率が高い場合においても受光部の位置と並列光信号とを
カメラで確認しながら、並列光信号がフォトダイオード
アレイの受光部に入るよう、容易にアライメントを行う
ことができるアライメント方法を提供することを目的と
する。 【００１８】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明は、送信されてきた並列光信
号をフォトダイオードアレイの受光部に入れるアライメ
ント方法において、上記並列光信号の光路中にビームス
プリッタを介在させ、上記並列光信号がフォトダイオー
ドアレイに伝送されて反射したその反射信号光を、ビー
ムスプリッタで分岐してカメラで撮像し、上記フォトダ
イオードアレイに順方向電流を流し受光部を発光させて
その受光部からの光をビームスプリッタで分岐してカメ
ラで撮像し、画像中の反射信号光の像および受光部から
の光の像を同時に観察し、その双方の位置をマッチング
させることでアライメントを行う、ことを特徴としてい
る。 【００１９】 【発明の実施の形態】以下にこの発明の実施の形態を図
面に基づいて詳細に説明する。 【００２０】図１はこの発明のアライメント方法を説明
するための模式図である。一般にフォトダイオードに順
方向電流を流すと発光ダイオードとして働き、光を発す
る。この原理を用い、フォトダイオードアレイ２に電流
源８などから順方向に電流を流して、各受光部（フォト
ダイオード）を発光させる。このフォトダイオードアレ
イ２の光は、ビームスプリッタ１０を通してカメラ１１
により観察することができる。また、このフォトダイオ
ードアレイ２の発光はパワー密度が高いため、ビームス
プリッタ１０の透過率が高い場合でも、容易にカメラ１
１で観察することができる。このフォトダイオードアレ
イ２からの光は、その受光部の位置を示すことになる。 【００２１】同時にレーザダイオードアレイ１にも電流
を流し、各発光部（レーザダイオード）を発光させる。
この光もフォトダイオードアレイ２で反射したものが、
ビームスプリッタ１０を通して観察される。 【００２２】図２はカメラによって観察されるレーザダ
イオードアレイからの光１３とフォトダイオードアレイ
からの光１４との様子を、アレイサイズが５×５の場合
を例として説明する模式図である。レーザダイオードア
レイからの光１３は、フォトダイオードアレイの上で反
射した並列光信号の位置を示す。また、フォトダイオー
ドアレイからの光１４は受光部の位置を示す。従って、
この画面を見ながら、これらの光が重なる（マッチング
する）ようにレーザダイオードアレイまたはフォトダイ
オードアレイ、レンズ等の位置を合わせることにより、
容易にアライメントを行うことができる。 【００２３】図３はレーザダイオードアレイおよびフォ
トダイオードアレイの発光／受光部のうち、それぞれ対
応する３点のみを発光させた場合を示す模式図である。
光信号の伝送においてレンズの収差等によるひずみが十
分小さい場合は、図２のように全ての発光／受光部を発
光させる必要は無く、図３のように、３点のみを発光せ
さ、その位置を合わせることにより、他のチャネルも全
てアライメントされる。 【００２４】なお、上記の説明では、フォトダイオード
アレイを発光させてアライメントを行う本発明の構成
を、二次元光信号を空間伝搬させるシステムに適用する
ようにしたが、これを、二次元光導波路で伝搬させるシ
ステムに適用するように構成してもよい。その場合、図
１に示した光学部品５，１０，１を用いるようにしても
よいが、その他の構成、例えば図４に示すように、二次
元光導波路７から出力される二次元光信号光を、ロッド
レンズ６１、ビームスプリッタ６２およびロッドレンズ
６３からなる光学系６０に入れ、その光学系６０を通過
した二次元光信号をレンズ５を経由してフォトダイオー
ドアレイ２に入れるようにしてもよい。 【００２５】この場合は、二次元光信号の一部がフォト
ダイオードアレイで反射するので、その反射信号光を、
ビームスプリッタ６２で分岐し観察用ロッドレンズ６４
を介してカメラ１１撮像し、また、受光部の光をビーム
スプリッタ６２で分岐し観察用ロッドレンズ６４を介し
てカメラ１１で撮像して、その双方の像の位置をマッチ
ングさせるようにする。 【００２６】このように、図１に示した光学部品５，１
０，１に代えて、いずれも大量生産が可能で安価なロッ
ドレンズ６１，６３およびビームスプリッタ６２を用い
ることで、低コストで光学系を構成することができる。
また、ロッドレンズ６１，６３は直径、焦点距離とも１
ｍｍ以下のものが作成可能であり、ビームスプリッタ６
２も１〜５ｍｍ角の小型のものが作成可能であるため、
光学系の大幅な小型化が可能となる。 【００２７】 【発明の効果】以上、詳述したように、本発明のアライ
メント方法によれば、フォトダイオードアレイの受光部
からの光の像をアライメントに用いるようにしたので、
フォトダイオードアレイに光を当てることができないよ
うな場合においても適用でき、ビームスプリッタの透過
率が高い場合においても受光部の位置と並列光信号とを
カメラで確認しながら、並列光信号がフォトダイオード
アレイの受光部に入るよう、容易にアライメントを行う
ことができる。
並列光信号をフォトダイオードアレイの受光部に入れる
アライメント方法に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】図５は光の入出力インターフェイスを持
つプロセッサモジュールの基本構成を示す模式図であ
る。現在の集積回路は、そのクロックスピードが増すに
つれ、配線部分における遅延や周波数制限の問題が顕在
化しつつある。そこで、入出力の配線を光に置き換えた
図５のような構成のモジュールが検討されている。出力
インターフェイスとしてのレーザダイオードアレイ１と
入力インターフェイスとしてのフォトダイオードアレイ
２と、そして入力されたデータを処理するプロセッサ３
とを同一の基板４上に作りこむか張りつける等して、一
つのモジュールとして構成したものである。 【０００３】このような構成を持つプロセッサモジュー
ルは、他のモジュールとのデータのやり取りを電気的な
配線により行うのではなく、光により行うことができ
る。このように電気配線を光に置き換える技術は、光イ
ンターコネクトと呼ばれる。光インターコネクトは、電
気配線に比べ、高速、低消費電力、対雑音性などの特徴
を持つ。データは光の形でフォトダイオードアレイ２か
ら入力され、プロセッサ３により処理される。処理され
たデータは、レーザダイオードアレイ１により光信号に
変換され、出力される。 【０００４】ここで、発光／受光素子としてアレイ状の
ものが使われるのは、一般にプロセッサ３においてデー
タが３２ビットや６４ビットといった並列のデータフォ
ーマットで処理されるためである。アレイ状の発光／受
光素子を用いることにより、パラレル／シリアル変換の
無い高速な入出力が可能となる。 【０００５】図６は、上記の光インターフェイスを持っ
たプロセッサモジュールが組み合わされ、一つのシステ
ムが構成される例を示す模式図である。レーザダイオー
ドアレイ１から発せられた並列光信号は、レンズ５やミ
ラー６などの光学系により次のプロセッサモジュールへ
と送られ、フォトダイオードアレイ２から入力される。 【０００６】図５で示されたプロセッサモジュールは、
図７中にあるようなフォトダイオードアレイ２、プロセ
ッサ３、レーザダイオードアレイ１のサンドイッチ構成
の形で構成される場合もある。この場合も、レーザダイ
オードアレイ１から発せられた並列光信号は、次のモジ
ュールのフォトダイオードアレイ２へとレンズ５によっ
て結像され、モジュール間の光接続が確立される。 【０００７】このように、レーザダイオードアレイ１と
フォトダイオードアレイ２との間を接続するためには、
レンズ５のみによる結像だけでなく、二次元光導波路が
用いられる場合もある。 【０００８】図８は、並列光信号を伝送するために、二
次元光導波路のひとつであるイメージファイバが用いら
れた場合を示す模式図である。イメージファイバは、共
通のクラッド層の中に複数のコアが埋め込まれた構造を
持ち、二次元の光信号を直接伝送することができる光フ
ァイバである。レーザダイオードアレイ１の光信号は、
レンズ５によりイメージファイバの入力端面に結像され
る。イメージファイバは、その光信号を並列に伝送す
る。イメージファイバの出力端に現れた光信号は、レン
ズ５によりフォトダイオードアレイ２に結像され、レー
ザダイオードアレイ１とフォトダイオードアレイ２との
間の光接続が確立される。 【０００９】このように発光素子と受光素子との間を光
接続する例は、上記のように二次元アレイの場合に限ら
れるわけではなく、一次元のアレイである場合や、端に
１チャンネルだけの場合もある。いずれにしろ、レーザ
ダイオードアレイの発光部から発せられた光をフォトダ
イオードアレイの受光部に位置合わせする、アライメン
ト技術が必要となる。 【００１０】図９は従来のアライメント方法の一例を説
明する模式図である。電流源８を用いてレーザダイオー
ドアレイ１を発光させておき、フォトダイオードアレイ
２の各チャネルの出力電流を電流計９により測定する。
その出力が最大になるようにフォトダイオードアレイ２
またはレーザダイオードアレイ１やレンズ５を動かしな
がらアライメントが行われる。 【００１１】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来のアライメント方法では、アライメントが
終了するまでに時間がかかり、製造コストが高くなって
しまうという問題があった。 【００１２】図９におけるアライメントの過程では、ま
ず一つのチャネルの出力が最大になるようアライメント
が行われた後、次のチャネルについてアライメントを行
おうとすると、前のチャネルのアライメントがずれてし
まう。全てのチャネルについて同時にその出力が最大に
なるようアライメントを行うには時間がかかり、これが
製造コストを引き上げていた。 【００１３】図１０はアライメントに要する時間を短縮
するために用いられる従来のアライメント方法の別の一
例を説明する模式図である。レーザダイオードアレイ１
とフォトダイオードアレイ２との間にビームスプリッタ
１０が入った構成になっており、ここで反射した光をカ
メラ１１で観察する。 【００１４】レーザダイオードアレイ１から発せられた
並列光信号の一部はフォトダイオードアレイ２の上で反
射する。この反射光は、ビームスプリッタ１０を通して
カメラ１１で観察することが出来る。また、ランプ１２
で照らされたフォトダイオードアレイ２も、同時にビー
ムスプリッタ１０を通してカメラ１１で観察することが
出来る。つまりカメラ１１により、並列光信号とフォト
ダイオードアレイ２とが重なった画像を観察することが
できることになる。従って、この像を観察しながら、並
列光信号がフォトダイオードアレイ２の受光部に入射す
るようにアライメントを行うことができる。この場合、
アライメントのずれの様子は、カメラ１１により観察さ
れているので、短時間でアライメントを終了することが
できる。 【００１５】しかしながら、この方法は、フォトダイオ
ードアレイ２がパッケージのジグや回路部品などに覆わ
れていてランプ１２の光を当てることができない場合、
適用することができないという問題があった。 【００１６】また、レーザダイオードアレイ１からフォ
トダイオードアレイ２へのパワーの伝達効率を上げるた
めにはビームスプリッタ１０の透過率をできるだけ高く
しておきたいという要求がある。この場合、カメラ１１
側に反射する光の強度は弱くなる。レーザダイオードア
レイ１からの並列光信号は、一般にパワー密度が高いた
め、ビームスプリッタ１０での反射が小さい場合でも、
カメラ１１で容易に観察することができる。しかし、フ
ォトダイオードアレイ２を観察するためには、ランプ１
２の光を強くしなくてはならないが、そうするとランプ
１２の熱によりフォトダイオードアレイ２が劣化してし
まうという問題があった。 【００１７】本発明は、上記に鑑み提案されたもので、
フォトダイオードアレイに光を当てることができないよ
うな場合においても適用でき、ビームスプリッタの透過
率が高い場合においても受光部の位置と並列光信号とを
カメラで確認しながら、並列光信号がフォトダイオード
アレイの受光部に入るよう、容易にアライメントを行う
ことができるアライメント方法を提供することを目的と
する。 【００１８】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明は、送信されてきた並列光信
号をフォトダイオードアレイの受光部に入れるアライメ
ント方法において、上記並列光信号の光路中にビームス
プリッタを介在させ、上記並列光信号がフォトダイオー
ドアレイに伝送されて反射したその反射信号光を、ビー
ムスプリッタで分岐してカメラで撮像し、上記フォトダ
イオードアレイに順方向電流を流し受光部を発光させて
その受光部からの光をビームスプリッタで分岐してカメ
ラで撮像し、画像中の反射信号光の像および受光部から
の光の像を同時に観察し、その双方の位置をマッチング
させることでアライメントを行う、ことを特徴としてい
る。 【００１９】 【発明の実施の形態】以下にこの発明の実施の形態を図
面に基づいて詳細に説明する。 【００２０】図１はこの発明のアライメント方法を説明
するための模式図である。一般にフォトダイオードに順
方向電流を流すと発光ダイオードとして働き、光を発す
る。この原理を用い、フォトダイオードアレイ２に電流
源８などから順方向に電流を流して、各受光部（フォト
ダイオード）を発光させる。このフォトダイオードアレ
イ２の光は、ビームスプリッタ１０を通してカメラ１１
により観察することができる。また、このフォトダイオ
ードアレイ２の発光はパワー密度が高いため、ビームス
プリッタ１０の透過率が高い場合でも、容易にカメラ１
１で観察することができる。このフォトダイオードアレ
イ２からの光は、その受光部の位置を示すことになる。 【００２１】同時にレーザダイオードアレイ１にも電流
を流し、各発光部（レーザダイオード）を発光させる。
この光もフォトダイオードアレイ２で反射したものが、
ビームスプリッタ１０を通して観察される。 【００２２】図２はカメラによって観察されるレーザダ
イオードアレイからの光１３とフォトダイオードアレイ
からの光１４との様子を、アレイサイズが５×５の場合
を例として説明する模式図である。レーザダイオードア
レイからの光１３は、フォトダイオードアレイの上で反
射した並列光信号の位置を示す。また、フォトダイオー
ドアレイからの光１４は受光部の位置を示す。従って、
この画面を見ながら、これらの光が重なる（マッチング
する）ようにレーザダイオードアレイまたはフォトダイ
オードアレイ、レンズ等の位置を合わせることにより、
容易にアライメントを行うことができる。 【００２３】図３はレーザダイオードアレイおよびフォ
トダイオードアレイの発光／受光部のうち、それぞれ対
応する３点のみを発光させた場合を示す模式図である。
光信号の伝送においてレンズの収差等によるひずみが十
分小さい場合は、図２のように全ての発光／受光部を発
光させる必要は無く、図３のように、３点のみを発光せ
さ、その位置を合わせることにより、他のチャネルも全
てアライメントされる。 【００２４】なお、上記の説明では、フォトダイオード
アレイを発光させてアライメントを行う本発明の構成
を、二次元光信号を空間伝搬させるシステムに適用する
ようにしたが、これを、二次元光導波路で伝搬させるシ
ステムに適用するように構成してもよい。その場合、図
１に示した光学部品５，１０，１を用いるようにしても
よいが、その他の構成、例えば図４に示すように、二次
元光導波路７から出力される二次元光信号光を、ロッド
レンズ６１、ビームスプリッタ６２およびロッドレンズ
６３からなる光学系６０に入れ、その光学系６０を通過
した二次元光信号をレンズ５を経由してフォトダイオー
ドアレイ２に入れるようにしてもよい。 【００２５】この場合は、二次元光信号の一部がフォト
ダイオードアレイで反射するので、その反射信号光を、
ビームスプリッタ６２で分岐し観察用ロッドレンズ６４
を介してカメラ１１撮像し、また、受光部の光をビーム
スプリッタ６２で分岐し観察用ロッドレンズ６４を介し
てカメラ１１で撮像して、その双方の像の位置をマッチ
ングさせるようにする。 【００２６】このように、図１に示した光学部品５，１
０，１に代えて、いずれも大量生産が可能で安価なロッ
ドレンズ６１，６３およびビームスプリッタ６２を用い
ることで、低コストで光学系を構成することができる。
また、ロッドレンズ６１，６３は直径、焦点距離とも１
ｍｍ以下のものが作成可能であり、ビームスプリッタ６
２も１〜５ｍｍ角の小型のものが作成可能であるため、
光学系の大幅な小型化が可能となる。 【００２７】 【発明の効果】以上、詳述したように、本発明のアライ
メント方法によれば、フォトダイオードアレイの受光部
からの光の像をアライメントに用いるようにしたので、
フォトダイオードアレイに光を当てることができないよ
うな場合においても適用でき、ビームスプリッタの透過
率が高い場合においても受光部の位置と並列光信号とを
カメラで確認しながら、並列光信号がフォトダイオード
アレイの受光部に入るよう、容易にアライメントを行う
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明のアライメント方法を説明する図であ
る。 【図２】カメラによって観察されるレーザダイオードア
レイからの光とフォトダイオードアレイからの光との様
子を、アレイサイズが５×５の場合を例として説明する
図である。 【図３】レーザダイオードアレイおよびフォトダイオー
ドアレイの発光／受光部のうち、それぞれ対応する３点
のみを発光させた場合を示す図である。 【図４】この発明を二次元光導波路で伝搬するシステム
に適用した場合の構成を示す図である。 【図５】光の入出力インターフェイスを持つプロセッサ
モジュールの基本構成を示す図である。 【図６】光インターフェイスを持ったプロセッサモジュ
ールが組み合わされ、一つのシステムが構成される例を
示す図である。 【図７】サンドイッチ構成を持ったプロセッサモジュー
ルが組み合わされ、一つのシステムが構成される例を示
す図である。 【図８】並列光信号を伝送するためにイメージファイバ
が用いられた場合を示す図である。 【図９】従来のアライメント方法の一例を示す図であ
る。 【図１０】アライメントに要する時間を短縮するために
用いられる従来のアライメント方法の別の一例を説明す
る図である。 【符号の説明】 １ レーザダイオードアレイ ２ フォトダイオードアレイ ３ プロセッサ ４ 基板 ５ レンズ ６ ミラー ７ イメージファイバ ８ 電流源 ９ 電流計 １０ ビームスプリッタ １１ カメラ １２ ランプ １３ レーザダイオードアレイからの光 １４ フォトダイオードアレイからの光
る。 【図２】カメラによって観察されるレーザダイオードア
レイからの光とフォトダイオードアレイからの光との様
子を、アレイサイズが５×５の場合を例として説明する
図である。 【図３】レーザダイオードアレイおよびフォトダイオー
ドアレイの発光／受光部のうち、それぞれ対応する３点
のみを発光させた場合を示す図である。 【図４】この発明を二次元光導波路で伝搬するシステム
に適用した場合の構成を示す図である。 【図５】光の入出力インターフェイスを持つプロセッサ
モジュールの基本構成を示す図である。 【図６】光インターフェイスを持ったプロセッサモジュ
ールが組み合わされ、一つのシステムが構成される例を
示す図である。 【図７】サンドイッチ構成を持ったプロセッサモジュー
ルが組み合わされ、一つのシステムが構成される例を示
す図である。 【図８】並列光信号を伝送するためにイメージファイバ
が用いられた場合を示す図である。 【図９】従来のアライメント方法の一例を示す図であ
る。 【図１０】アライメントに要する時間を短縮するために
用いられる従来のアライメント方法の別の一例を説明す
る図である。 【符号の説明】 １ レーザダイオードアレイ ２ フォトダイオードアレイ ３ プロセッサ ４ 基板 ５ レンズ ６ ミラー ７ イメージファイバ ８ 電流源 ９ 電流計 １０ ビームスプリッタ １１ カメラ １２ ランプ １３ レーザダイオードアレイからの光 １４ フォトダイオードアレイからの光
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(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｈ０１Ｌ 31/02 Ｃ
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01B 11/00
G01B 11/27
H01L 27/14
H01L 27/15
H01L 31/0232
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 送信されてきた並列光信号をフォトダイ
オードアレイの受光部に入れるアライメント方法におい
て、 上記並列光信号の光路中にビームスプリッタを介在さ
せ、 上記並列光信号がフォトダイオードアレイに伝送されて
反射したその反射信号光を、ビームスプリッタで分岐し
てカメラで撮像し、 上記フォトダイオードアレイに順方向電流を流し受光部
を発光させてその受光部からの光をビームスプリッタで
分岐してカメラで撮像し、 画像中の反射信号光の像および受光部からの光の像を同
時に観察し、その双方の位置をマッチングさせることで
アライメントを行う、 ことを特徴とするアライメント方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000252294A JP3366941B2 (ja) | 2000-08-23 | 2000-08-23 | アライメント方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000252294A JP3366941B2 (ja) | 2000-08-23 | 2000-08-23 | アライメント方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002062110A JP2002062110A (ja) | 2002-02-28 |
| JP3366941B2 true JP3366941B2 (ja) | 2003-01-14 |
Family
ID=18741556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000252294A Expired - Lifetime JP3366941B2 (ja) | 2000-08-23 | 2000-08-23 | アライメント方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3366941B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040005216A (ko) * | 2002-07-09 | 2004-01-16 | 오수익 | 두 극소 대상물의 정렬을 위한 이미지획득시스템 |
| CN106524916B (zh) * | 2016-12-09 | 2022-07-19 | 东莞创视自动化科技有限公司 | 一种去重影的视觉对位模组及其方法 |
| CN114136238B (zh) * | 2021-11-05 | 2023-12-26 | 厦门聚视智创科技有限公司 | 一种手机摄像头支架光学检测装置及其检测方法 |
-
2000
- 2000-08-23 JP JP2000252294A patent/JP3366941B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002062110A (ja) | 2002-02-28 |
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