JP3365617B2 - エアフィルタ用濾材の製造方法 - Google Patents
エアフィルタ用濾材の製造方法Info
- Publication number
- JP3365617B2 JP3365617B2 JP32825298A JP32825298A JP3365617B2 JP 3365617 B2 JP3365617 B2 JP 3365617B2 JP 32825298 A JP32825298 A JP 32825298A JP 32825298 A JP32825298 A JP 32825298A JP 3365617 B2 JP3365617 B2 JP 3365617B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support material
- filter medium
- breathable support
- roll
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D39/14—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
- B01D39/16—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of organic material, e.g. synthetic fibres
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D39/14—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
- B01D39/16—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of organic material, e.g. synthetic fibres
- B01D39/1692—Other shaped material, e.g. perforated or porous sheets
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S55/00—Gas separation
- Y10S55/05—Methods of making filter
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はポリテトラフルオロ
エチレン（以下「ＰＴＦＥ」という）多孔質膜を用いた
エアフィルタ用濾材に関し、さらに詳しくは半導体工業
や薬品工業などのクリーンルームで使用される気体中の
浮遊粒子の捕獲に適したＰＴＦＥ多孔質膜を捕集層とす
るエアフィルタ用濾材に関するものである。
エチレン（以下「ＰＴＦＥ」という）多孔質膜を用いた
エアフィルタ用濾材に関し、さらに詳しくは半導体工業
や薬品工業などのクリーンルームで使用される気体中の
浮遊粒子の捕獲に適したＰＴＦＥ多孔質膜を捕集層とす
るエアフィルタ用濾材に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、クリーンルームで使用されるエア
フィルタ用濾材としては、ガラス繊維にバインダーを加
えて抄紙したものが多く用いられてきた。しかし、この
ような濾材には、濾材中の付着小繊維の存在、加工によ
る折曲げ時の自己発塵といった問題があった。さらにこ
の濾材には、フッ酸などある種の化学薬品と接触すると
劣化し、発塵するという問題もあった。
フィルタ用濾材としては、ガラス繊維にバインダーを加
えて抄紙したものが多く用いられてきた。しかし、この
ような濾材には、濾材中の付着小繊維の存在、加工によ
る折曲げ時の自己発塵といった問題があった。さらにこ
の濾材には、フッ酸などある種の化学薬品と接触すると
劣化し、発塵するという問題もあった。
【０００３】ＰＴＦＥはクリーンな材料であり、耐薬品
性にも優れている。そこで近年、ＰＴＦＥ多孔質膜が、
半導体工業のクリーンルームに用いられる高性能エアフ
ィルタの濾材として使用されている。特開平５−２０２
２１７公報に記載されているＰＴＦＥ多孔質膜はその一
例である。一般に、ＰＴＦＥ多孔質膜は、補強のために
通気性を有する支持材とラミネートされて濾材とされ
る。この濾材は、連続したＷ字状にひだ折り加工（以下
「プリーツ加工」ともいう）され、枠付けされてエアフ
ィルタとして用いられる。
性にも優れている。そこで近年、ＰＴＦＥ多孔質膜が、
半導体工業のクリーンルームに用いられる高性能エアフ
ィルタの濾材として使用されている。特開平５−２０２
２１７公報に記載されているＰＴＦＥ多孔質膜はその一
例である。一般に、ＰＴＦＥ多孔質膜は、補強のために
通気性を有する支持材とラミネートされて濾材とされ
る。この濾材は、連続したＷ字状にひだ折り加工（以下
「プリーツ加工」ともいう）され、枠付けされてエアフ
ィルタとして用いられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】プリーツ加工の方法と
しては、通常、レシプロ方式またはロータリー方式が用
いられる。ロータリー方式は生産性の点で有利であり、
一方、レシプロ方式はプリーツ加工のきれいさの点で有
利である。ところで、従来、ＰＴＦＥ多孔質膜を通気性
支持材により補強した濾材をプリーツ加工した場合、濾
材がダメージを受けてピンホールが発生し、得られたフ
ィルタにリークが発生してしまうという問題があった。
しては、通常、レシプロ方式またはロータリー方式が用
いられる。ロータリー方式は生産性の点で有利であり、
一方、レシプロ方式はプリーツ加工のきれいさの点で有
利である。ところで、従来、ＰＴＦＥ多孔質膜を通気性
支持材により補強した濾材をプリーツ加工した場合、濾
材がダメージを受けてピンホールが発生し、得られたフ
ィルタにリークが発生してしまうという問題があった。
【０００５】本発明は、上記従来の問題を解決するべく
なされたものであって、プリーツ加工によりひだ折りし
てもＰＴＦＥ多孔質膜がダメージを受けず、クリーンル
ームに要求される清浄空間の提供に適したエアフィルタ
用濾材を提供することを目的とする。
なされたものであって、プリーツ加工によりひだ折りし
てもＰＴＦＥ多孔質膜がダメージを受けず、クリーンル
ームに要求される清浄空間の提供に適したエアフィルタ
用濾材を提供することを目的とする。
【０００６】上記目的を達成するために、本発明のエア
フィルタ用濾材の製造方法は、ＰＴＦＥ多孔質膜と通気
性支持材との積層体を含むエアフィルタ用濾材の製造方
法であって、前記通気性支持材を、前記通気性支持材を
構成する少なくとも１つの材料の融点以上に加熱する工
程と、前記通気性支持材を構成する少なくとも一つの材
料の軟化点以上に加熱された状態で、前記通気性支持材
を前記平滑化部材に押し当てて、前記通気性支持材の最
大摩擦抵抗を２５ｇｆ以下にする工程とを含むことを特
徴とする。本発明の製造方法によれば、表面が平滑化さ
れ、プリーツ加工によりひだ折りしても、ＰＴＦＥ多孔
質膜がダメージを受けにくいエアフィルタ用濾材を提供
することができる。通気性支持材の表面の平滑化の程度
は、上記最大摩擦抵抗値により表示して、２５ｇｆ以
下、さらに好ましくは２０ｇｆ以下である。この通気性
支持材の表面は、平滑化の工程の前に行われる、ＰＴＦ
Ｅ多孔質膜との積層工程において、エアフィルタ用濾材
の露出面に配置される。
フィルタ用濾材の製造方法は、ＰＴＦＥ多孔質膜と通気
性支持材との積層体を含むエアフィルタ用濾材の製造方
法であって、前記通気性支持材を、前記通気性支持材を
構成する少なくとも１つの材料の融点以上に加熱する工
程と、前記通気性支持材を構成する少なくとも一つの材
料の軟化点以上に加熱された状態で、前記通気性支持材
を前記平滑化部材に押し当てて、前記通気性支持材の最
大摩擦抵抗を２５ｇｆ以下にする工程とを含むことを特
徴とする。本発明の製造方法によれば、表面が平滑化さ
れ、プリーツ加工によりひだ折りしても、ＰＴＦＥ多孔
質膜がダメージを受けにくいエアフィルタ用濾材を提供
することができる。通気性支持材の表面の平滑化の程度
は、上記最大摩擦抵抗値により表示して、２５ｇｆ以
下、さらに好ましくは２０ｇｆ以下である。この通気性
支持材の表面は、平滑化の工程の前に行われる、ＰＴＦ
Ｅ多孔質膜との積層工程において、エアフィルタ用濾材
の露出面に配置される。
【０００７】ここで、上記最大摩擦抵抗は、Bowden-Leb
en型往復動摩擦試験機を用い、条件を以下のように設定
して測定される最大負荷により定められるものである。 ・相手材 ：直径１０ｍｍの鋼球（JIS B 1501に規定さ
れる鋼球） ・摺動速度：７００ｍｍ／分 ・荷重 ：１００ｇｆ ・移動距離：４０ｍｍ このようにして、静摩擦抵抗および動摩擦抵抗が測定さ
れ、その最大値が最大摩擦抵抗として定められる。
en型往復動摩擦試験機を用い、条件を以下のように設定
して測定される最大負荷により定められるものである。 ・相手材 ：直径１０ｍｍの鋼球（JIS B 1501に規定さ
れる鋼球） ・摺動速度：７００ｍｍ／分 ・荷重 ：１００ｇｆ ・移動距離：４０ｍｍ このようにして、静摩擦抵抗および動摩擦抵抗が測定さ
れ、その最大値が最大摩擦抵抗として定められる。
【０００８】従来問題となっていた濾材のピンホール
は、以下の１〜３に示すようなメカニズムで発生すると
考えられる。 １．濾材に山部、谷部を形成するために濾材表面を部分
的に押圧するブレードが濾材表面を擦って行く。 ２．濾材とブレードとの間の摩擦力により、濾材内部に
剪断応力が発生する。 ３．この剪断応力は濾材内部のＰＴＦＥ多孔質膜と通気
性支持材との接着部に集中し、相対的に強度の低いＰＴ
ＦＥ多孔質膜の多孔質構造が破壊されてしまう。
は、以下の１〜３に示すようなメカニズムで発生すると
考えられる。 １．濾材に山部、谷部を形成するために濾材表面を部分
的に押圧するブレードが濾材表面を擦って行く。 ２．濾材とブレードとの間の摩擦力により、濾材内部に
剪断応力が発生する。 ３．この剪断応力は濾材内部のＰＴＦＥ多孔質膜と通気
性支持材との接着部に集中し、相対的に強度の低いＰＴ
ＦＥ多孔質膜の多孔質構造が破壊されてしまう。
【０００９】しかしながら、本発明のエアフィルタ濾材
の製造方法によれば、少なくとも一方の露出面の最大摩
擦抵抗が２５ｇｆ以下、さらに好ましくは２０ｇｆ以下
であるために、レシプロタイプなどのプリーツ機により
プリーツ加工しても、ブレードと濾材との間の摩擦抵抗
が過大とならない。その結果、濾材に作用する剪断応力
が低減され、ＰＴＦＥ多孔質膜にピンホールが発生しに
くくなる。なお、最大摩擦抵抗の下限は特に限定される
わけではないが、通常、２ｇｆとされる。
の製造方法によれば、少なくとも一方の露出面の最大摩
擦抵抗が２５ｇｆ以下、さらに好ましくは２０ｇｆ以下
であるために、レシプロタイプなどのプリーツ機により
プリーツ加工しても、ブレードと濾材との間の摩擦抵抗
が過大とならない。その結果、濾材に作用する剪断応力
が低減され、ＰＴＦＥ多孔質膜にピンホールが発生しに
くくなる。なお、最大摩擦抵抗の下限は特に限定される
わけではないが、通常、２ｇｆとされる。
【００１０】
【００１１】
【００１２】上記エアフィルタ用濾材の製造方法におい
ては、通気性支持材の表面の凹凸が押圧されることより
変形可能となる温度にまで加熱された状態で、通気性支
持材が平滑化部材に押し当てられることが好ましい。従
って、具体的には、通気性支持材を構成する少なくとも
一つの材料の軟化点以上に加熱した状態で、通気性支持
材を平滑化部材に押し当てる。
ては、通気性支持材の表面の凹凸が押圧されることより
変形可能となる温度にまで加熱された状態で、通気性支
持材が平滑化部材に押し当てられることが好ましい。従
って、具体的には、通気性支持材を構成する少なくとも
一つの材料の軟化点以上に加熱した状態で、通気性支持
材を平滑化部材に押し当てる。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明のエアフィルタ用濾材は、
ＰＴＦＥ多孔質膜と、この膜を保護および補強するため
の通気性支持材との積層体を含んでいる。通気性支持材
により、濾材にはプリーツ加工に必要なコシも与えられ
る。
ＰＴＦＥ多孔質膜と、この膜を保護および補強するため
の通気性支持材との積層体を含んでいる。通気性支持材
により、濾材にはプリーツ加工に必要なコシも与えられ
る。
【００１４】ＰＴＦＥ多孔質膜は、従来から用いられて
きた方法により得ることができる。この方法の一例とし
ては、未焼成のＰＴＦＥ粉末と液状潤滑剤（ナフサな
ど）との混和物を押出および／または圧延によりフィル
ム状に成形し、この未焼成フィルムから液状潤滑剤を除
去し、次いで延伸して多孔質化する方法を挙げることが
できる。なお、通常、延伸後にＰＴＦＥの融点以上の温
度に加熱して焼成することにより強度を向上させる。
きた方法により得ることができる。この方法の一例とし
ては、未焼成のＰＴＦＥ粉末と液状潤滑剤（ナフサな
ど）との混和物を押出および／または圧延によりフィル
ム状に成形し、この未焼成フィルムから液状潤滑剤を除
去し、次いで延伸して多孔質化する方法を挙げることが
できる。なお、通常、延伸後にＰＴＦＥの融点以上の温
度に加熱して焼成することにより強度を向上させる。
【００１５】ＰＴＦＥ多孔質膜としては、使用用途に応
じた捕集性能が発揮されるものであれば、孔径、厚さ、
気孔率などを特に限定することなく用いることができ
る。ただし、半導体クリーンルームなどフィルタに使用
される濾材とするためには、捕集性能を示すＰＦ値（Pe
rformance of Filter）が２０より大きいことが好まし
い。なお、ＰＦ値は次の式で表される。 ＰＦ値＝｛（−ｌｏｇ透過率）／圧力損失｝×１００
じた捕集性能が発揮されるものであれば、孔径、厚さ、
気孔率などを特に限定することなく用いることができ
る。ただし、半導体クリーンルームなどフィルタに使用
される濾材とするためには、捕集性能を示すＰＦ値（Pe
rformance of Filter）が２０より大きいことが好まし
い。なお、ＰＦ値は次の式で表される。 ＰＦ値＝｛（−ｌｏｇ透過率）／圧力損失｝×１００
【００１６】一方、通気性支持材は、材質、構造、形態
が特に限定されるものではないが、ＰＴＦＥ多孔質膜よ
り通気性に優れた材料、例えば不織布、織布、メッシュ
（網目状シート）、その他の多孔質材料を用いることが
できる。ただし、強度、柔軟性、作業性の点からは不織
布が好ましい。さらに、後述する操作により濾材表面の
最大摩擦抵抗を小さくする場合には、不織布を構成する
一部または全部の繊維が芯鞘構造の複合繊維であり、芯
成分が鞘成分より相対的に融点が高い合成繊維であるこ
とが好ましい。なお、通気性支持材の材料としては、特
に限定するものではないが、ポリオレフィン（ポリエチ
レン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）など）、ポリア
ミド、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート（Ｐ
ＥＴ）など）、芳香族ポリアミド、あるいはこれらの複
合材などからなるものを用いることができる。
が特に限定されるものではないが、ＰＴＦＥ多孔質膜よ
り通気性に優れた材料、例えば不織布、織布、メッシュ
（網目状シート）、その他の多孔質材料を用いることが
できる。ただし、強度、柔軟性、作業性の点からは不織
布が好ましい。さらに、後述する操作により濾材表面の
最大摩擦抵抗を小さくする場合には、不織布を構成する
一部または全部の繊維が芯鞘構造の複合繊維であり、芯
成分が鞘成分より相対的に融点が高い合成繊維であるこ
とが好ましい。なお、通気性支持材の材料としては、特
に限定するものではないが、ポリオレフィン（ポリエチ
レン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）など）、ポリア
ミド、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート（Ｐ
ＥＴ）など）、芳香族ポリアミド、あるいはこれらの複
合材などからなるものを用いることができる。
【００１７】また、上記積層体は、ＰＴＦＥ多孔質膜と
通気性支持材とが交互に積層されていてもよいし、ＰＴ
ＦＥ多孔質膜および通気性支持材のいずれか一方もしく
は両方が連続して積層されている部分があってもよい。
また、層の界面に接着のための材料が介在していてもよ
い。
通気性支持材とが交互に積層されていてもよいし、ＰＴ
ＦＥ多孔質膜および通気性支持材のいずれか一方もしく
は両方が連続して積層されている部分があってもよい。
また、層の界面に接着のための材料が介在していてもよ
い。
【００１８】このような積層体からなるエアフィルタ用
濾材の例を図２〜図５に示す。図示したように、エアフ
ィルタ用濾材の最外層には通気性支持材１が配置されて
いることが好ましい。また、ピンホールの発生を効果的
に抑制するためには、図３〜図５に示したように、ＰＴ
ＦＥ多孔質膜２を２層以上含むことが好ましく、なかで
も図５に示したように、ＰＴＦＥ多孔質膜２の間に通気
性支持材１が挟み込まれた層構成を含むことが好まし
い。プリーツ加工時の剪断応力を緩和するためである。
なお、この積層体はＰＴＦＥ多孔質膜の片面に通気性支
持材を配置した２層構造のものであってもよい。これら
の積層体の最外層の少なくとも一方、好ましくは両方の
外側表面（積層体の露出面）の上記最大摩擦抵抗が２５
ｇｆ以下とされる。
濾材の例を図２〜図５に示す。図示したように、エアフ
ィルタ用濾材の最外層には通気性支持材１が配置されて
いることが好ましい。また、ピンホールの発生を効果的
に抑制するためには、図３〜図５に示したように、ＰＴ
ＦＥ多孔質膜２を２層以上含むことが好ましく、なかで
も図５に示したように、ＰＴＦＥ多孔質膜２の間に通気
性支持材１が挟み込まれた層構成を含むことが好まし
い。プリーツ加工時の剪断応力を緩和するためである。
なお、この積層体はＰＴＦＥ多孔質膜の片面に通気性支
持材を配置した２層構造のものであってもよい。これら
の積層体の最外層の少なくとも一方、好ましくは両方の
外側表面（積層体の露出面）の上記最大摩擦抵抗が２５
ｇｆ以下とされる。
【００１９】このような積層体を製造する方法は、特に
限定されないが、例えば接着剤ラミネート、熱ラミネー
トなどの方法を適用することができる。例えば、熱ラミ
ネートにより積層する場合は、加熱により不織布などの
通気性支持材の一部を溶融させて接着積層すればよい。
また、ホットメルトパウダーのような融着剤を介在させ
て接着してもよい。一方、ＰＴＦＥ多孔質膜相互を積層
する方法としては、成膜時に圧着積層する方法や熱融着
する方法などがある。
限定されないが、例えば接着剤ラミネート、熱ラミネー
トなどの方法を適用することができる。例えば、熱ラミ
ネートにより積層する場合は、加熱により不織布などの
通気性支持材の一部を溶融させて接着積層すればよい。
また、ホットメルトパウダーのような融着剤を介在させ
て接着してもよい。一方、ＰＴＦＥ多孔質膜相互を積層
する方法としては、成膜時に圧着積層する方法や熱融着
する方法などがある。
【００２０】通気性支持材の表面の平滑化は、例えば、
通気性支持材の表面に存在する凹凸が押圧されることに
より変形しうる温度にまで通気性支持材を加熱する工程
と、この通気性支持材の表面を平滑化部材に押し当てて
平滑化する工程とを含む方法により実施することができ
る。
通気性支持材の表面に存在する凹凸が押圧されることに
より変形しうる温度にまで通気性支持材を加熱する工程
と、この通気性支持材の表面を平滑化部材に押し当てて
平滑化する工程とを含む方法により実施することができ
る。
【００２１】通気性支持材を加熱する工程において、通
気性支持材は、通気性支持材を構成する少なくとも１つ
の材料の融点以上にまで加熱される。加熱温度の上限
は、特に限定されないが、実用的には通気性支持材の融
点よりも１００度高い温度とすることが好ましい。通気
性支持材の加熱温度は、通気性支持材の材質、加熱から
平滑化までの時間などに応じて適宜定められればよい。
例えば、通気性支持材が芯成分が鞘成分よりも融点が高
い芯鞘構造の複合繊維を含む場合は、通気性支持材の加
熱温度は鞘成分の融点以上で芯成分の融点よりも低く設
定することが好ましい。
気性支持材は、通気性支持材を構成する少なくとも１つ
の材料の融点以上にまで加熱される。加熱温度の上限
は、特に限定されないが、実用的には通気性支持材の融
点よりも１００度高い温度とすることが好ましい。通気
性支持材の加熱温度は、通気性支持材の材質、加熱から
平滑化までの時間などに応じて適宜定められればよい。
例えば、通気性支持材が芯成分が鞘成分よりも融点が高
い芯鞘構造の複合繊維を含む場合は、通気性支持材の加
熱温度は鞘成分の融点以上で芯成分の融点よりも低く設
定することが好ましい。
【００２２】通気性支持材の加熱は、例えば通気性支持
材を所定温度にまで加熱したロールなどの加熱部材との
接触により行うことができる。特に加熱ロールとの接触
による方法は、加熱作業を連続して実施できるために好
ましい。
材を所定温度にまで加熱したロールなどの加熱部材との
接触により行うことができる。特に加熱ロールとの接触
による方法は、加熱作業を連続して実施できるために好
ましい。
【００２３】加熱後、通気性支持材は平滑化部材に押し
当てられる。この押し当てにより、通気性支持材の平滑
化部材との接触面が押圧力によって平滑化される。平滑
化部材は、通気性支持材の表面を平滑化しうる表面を備
えたものであれば特に限定されないが、例えばシリコー
ン部材をその具体例として挙げることができる。平滑化
部材をロール状とすれば、平滑化作業を連続して行うこ
とができる。かようなロールとしては、例えばシリコー
ンロールを用いることができる。なお、平滑化部材は、
温度調節機構を備えたものであってもよい。
当てられる。この押し当てにより、通気性支持材の平滑
化部材との接触面が押圧力によって平滑化される。平滑
化部材は、通気性支持材の表面を平滑化しうる表面を備
えたものであれば特に限定されないが、例えばシリコー
ン部材をその具体例として挙げることができる。平滑化
部材をロール状とすれば、平滑化作業を連続して行うこ
とができる。かようなロールとしては、例えばシリコー
ンロールを用いることができる。なお、平滑化部材は、
温度調節機構を備えたものであってもよい。
【００２４】通気性支持材が平滑化部材と接触するとき
の支持材の温度は、通気性支持材を構成する少なくとも
１つの材料の軟化点以上とする。例えば、通気性支持材
が芯成分が鞘成分よりも融点が高い芯鞘構造の複合繊維
を含む場合は、平滑化時の通気性支持材の温度は、鞘成
分の軟化点以上が好適である。なお、加熱から平滑化に
至るまで温度降下を抑制するために、加熱から平滑化に
至るまでの時間はできるだけ短いことが好ましい。
の支持材の温度は、通気性支持材を構成する少なくとも
１つの材料の軟化点以上とする。例えば、通気性支持材
が芯成分が鞘成分よりも融点が高い芯鞘構造の複合繊維
を含む場合は、平滑化時の通気性支持材の温度は、鞘成
分の軟化点以上が好適である。なお、加熱から平滑化に
至るまで温度降下を抑制するために、加熱から平滑化に
至るまでの時間はできるだけ短いことが好ましい。
【００２５】上記に説明した方法は、熱ラミネートによ
る積層体の製造方法と併用することが好ましい。ＰＴＦ
Ｅ多孔質膜と通気性支持材とを加熱を伴う工程により積
層した後に、露出面となる通気性支持材の表面を平滑化
部材に押し当てて平滑化すれば、効率的に摩擦抵抗が低
い露出面を備えたエアフィルタ用濾材を製造できる。
る積層体の製造方法と併用することが好ましい。ＰＴＦ
Ｅ多孔質膜と通気性支持材とを加熱を伴う工程により積
層した後に、露出面となる通気性支持材の表面を平滑化
部材に押し当てて平滑化すれば、効率的に摩擦抵抗が低
い露出面を備えたエアフィルタ用濾材を製造できる。
【００２６】上記に説明した方法は、加熱ロールと、こ
の加熱ロールに隣接して配置した（好ましくはシリコン
ロールである）平滑化ロールとを備えた装置により、効
率的に実施することができる。また、熱ラミネートによ
りＰＴＦＥ多孔質膜との積層体を製造する場合には、加
熱ロールと対向する位置に積層体を圧着するためのロー
ルを準備し、このロールと加熱ロールによって通気性支
持材とＰＴＦＥ多孔質膜とを熱ラミネートすることが好
ましい。
の加熱ロールに隣接して配置した（好ましくはシリコン
ロールである）平滑化ロールとを備えた装置により、効
率的に実施することができる。また、熱ラミネートによ
りＰＴＦＥ多孔質膜との積層体を製造する場合には、加
熱ロールと対向する位置に積層体を圧着するためのロー
ルを準備し、このロールと加熱ロールによって通気性支
持材とＰＴＦＥ多孔質膜とを熱ラミネートすることが好
ましい。
【００２７】このような方法を実施するための装置の例
を図１に示す。図１には、図２に示した積層構造（通気
性支持材／ＰＴＦＥ多孔質膜／通気性支持材）を有する
濾材を連続的に製造する場合の例が示されている。図示
したように、まず通気性支持材１とＰＴＦＥ多孔質膜２
とが、通気性支持材１がＰＴＦＥ多孔質膜２を挟み込む
ようにガイドロール５に供給される。これらの材料は、
重なり合った状態で加熱ロール３の外周上を進行しなが
ら、通気性支持材１の融点以上の温度にまで加熱され、
ピンチロール６と加熱ロール３との間を通過する際に圧
着される。さらにこの積層体は、加熱ロール３の近傍に
配置された平滑化部材としてのシリコーンロール４の外
周上を経て送り出される。このシリコーンロール４の表
面は平滑であり、その平滑面との接触により、積層体の
露出面は押圧されて平滑化される。
を図１に示す。図１には、図２に示した積層構造（通気
性支持材／ＰＴＦＥ多孔質膜／通気性支持材）を有する
濾材を連続的に製造する場合の例が示されている。図示
したように、まず通気性支持材１とＰＴＦＥ多孔質膜２
とが、通気性支持材１がＰＴＦＥ多孔質膜２を挟み込む
ようにガイドロール５に供給される。これらの材料は、
重なり合った状態で加熱ロール３の外周上を進行しなが
ら、通気性支持材１の融点以上の温度にまで加熱され、
ピンチロール６と加熱ロール３との間を通過する際に圧
着される。さらにこの積層体は、加熱ロール３の近傍に
配置された平滑化部材としてのシリコーンロール４の外
周上を経て送り出される。このシリコーンロール４の表
面は平滑であり、その平滑面との接触により、積層体の
露出面は押圧されて平滑化される。
【００２８】通気性支持材の表面の平滑化は、例えばカ
レンダーロールを利用した方法によっても実施すること
ができる。また、予め通気性支持材の表面を平滑化し、
この通気性支持材とＰＴＦＥ多孔質膜とを積層してもよ
い。
レンダーロールを利用した方法によっても実施すること
ができる。また、予め通気性支持材の表面を平滑化し、
この通気性支持材とＰＴＦＥ多孔質膜とを積層してもよ
い。
【００２９】上記に説明したようなエアフィルタ用濾材
を用いれば、レシプロタイプのプリーツ機で加工した場
合にもブレードとの摩擦抵抗を小さく保持し、濾材に作
用する剪断応力を低減することができる。従って捕集層
であるＰＴＦＥ多孔質膜へのダメージを緩和し、リーク
発生のないエアフィルタを得ることができる。
を用いれば、レシプロタイプのプリーツ機で加工した場
合にもブレードとの摩擦抵抗を小さく保持し、濾材に作
用する剪断応力を低減することができる。従って捕集層
であるＰＴＦＥ多孔質膜へのダメージを緩和し、リーク
発生のないエアフィルタを得ることができる。
【００３０】
【実施例】以下、実施例および比較例により本発明をさ
らに具体的に説明する。 （実施例１）焼成されたＰＴＦＥ多孔質膜（厚さ：１０
μｍ、気孔率９３％、平均孔径０．７μｍ、圧力損失：
３５ｍｍＨ2Ｏ、捕集効率：９９．９９９９９５％、Ｐ
Ｆ値：２１）と厚さ１５０μｍ、目付量３０ｇ／ｍ2の
ＰＥＴ／ＰＥ芯鞘不織布（ユニチカ社製「エルベスＴＯ
３０３ＷＤＯ」、鞘部ＰＥの融点：１２９℃、同ＰＥの
軟化点：７４℃、芯部ＰＥＴの融点：２６１℃）を、図
１と同様の装置により、熱ラミネート方式（加熱ロール
温度：１６０℃）により積層し、ＰＴＦＥ多孔質膜を中
間に配設した３層構造の濾材を得た。なお、ピンチロー
ルと加熱ロールの間を通して多孔質膜と不織布を圧着さ
せた３層品が平滑化部材であるシリコーンロールと接触
するときの不織布の温度は１２４℃であった。また、上
記不織布の軟化点はＴＭＡ（熱機械測定装置；Thermo M
echanical Analysis）による針入モード（Penetration
Mode）にて測定した。装置としては、セイコーインスト
ルメンツ株式会社製ＴＭＡ／ＳＳ１２０Ｃを用い、条件
を下記のように設定した。 プローブ針径：１ｍｍφ 荷重 ：４ｇ 昇温速度 ：５℃／ｍｉｎ
らに具体的に説明する。 （実施例１）焼成されたＰＴＦＥ多孔質膜（厚さ：１０
μｍ、気孔率９３％、平均孔径０．７μｍ、圧力損失：
３５ｍｍＨ2Ｏ、捕集効率：９９．９９９９９５％、Ｐ
Ｆ値：２１）と厚さ１５０μｍ、目付量３０ｇ／ｍ2の
ＰＥＴ／ＰＥ芯鞘不織布（ユニチカ社製「エルベスＴＯ
３０３ＷＤＯ」、鞘部ＰＥの融点：１２９℃、同ＰＥの
軟化点：７４℃、芯部ＰＥＴの融点：２６１℃）を、図
１と同様の装置により、熱ラミネート方式（加熱ロール
温度：１６０℃）により積層し、ＰＴＦＥ多孔質膜を中
間に配設した３層構造の濾材を得た。なお、ピンチロー
ルと加熱ロールの間を通して多孔質膜と不織布を圧着さ
せた３層品が平滑化部材であるシリコーンロールと接触
するときの不織布の温度は１２４℃であった。また、上
記不織布の軟化点はＴＭＡ（熱機械測定装置；Thermo M
echanical Analysis）による針入モード（Penetration
Mode）にて測定した。装置としては、セイコーインスト
ルメンツ株式会社製ＴＭＡ／ＳＳ１２０Ｃを用い、条件
を下記のように設定した。 プローブ針径：１ｍｍφ 荷重 ：４ｇ 昇温速度 ：５℃／ｍｉｎ
【００３１】得られた濾材のシリコーンロール接触面お
よびシリコーンロール非接触面の最大摩擦抵抗を上記方
法（Bowden-Leben型往復動摩擦試験機として株式会社エ
イ・アンド・デイ製のＡＦＴ−１５Ｂを使用）により測
定したところ、それぞれ９．９ｇｆ、２７．０ｇｆであ
った。
よびシリコーンロール非接触面の最大摩擦抵抗を上記方
法（Bowden-Leben型往復動摩擦試験機として株式会社エ
イ・アンド・デイ製のＡＦＴ−１５Ｂを使用）により測
定したところ、それぞれ９．９ｇｆ、２７．０ｇｆであ
った。
【００３２】（実施例２）加熱ロールの温度を１５０℃
とした以外は実施例１と同様にして濾材を得た。なお、
多孔質膜と不織布を圧着させた３層品が平滑化部材であ
るシリコーンロールと接触するときの不織布の温度は１
１５℃であった。得られた濾材のシリコーンロール接触
面およびシリコーンロール非接触面の最大摩擦抵抗を上
記方法により測定したところ、それぞれ１６．３ｇｆ、
２８．６ｇｆであった。
とした以外は実施例１と同様にして濾材を得た。なお、
多孔質膜と不織布を圧着させた３層品が平滑化部材であ
るシリコーンロールと接触するときの不織布の温度は１
１５℃であった。得られた濾材のシリコーンロール接触
面およびシリコーンロール非接触面の最大摩擦抵抗を上
記方法により測定したところ、それぞれ１６．３ｇｆ、
２８．６ｇｆであった。
【００３３】（実施例３）加熱ロールの温度を１４０℃
とした以外は実施例１と同様にして濾材を得た。なお、
多孔質膜と不織布を圧着させた３層品が平滑化部材であ
るシリコーンロールと接触するときの不織布の温度は１
０４℃であった。得られた濾材のシリコーンロール接触
面およびシリコーンロール非接触面の最大摩擦抵抗を上
記方法により測定したところ、それぞれ２２．３ｇｆ、
２８．１ｇｆであった。
とした以外は実施例１と同様にして濾材を得た。なお、
多孔質膜と不織布を圧着させた３層品が平滑化部材であ
るシリコーンロールと接触するときの不織布の温度は１
０４℃であった。得られた濾材のシリコーンロール接触
面およびシリコーンロール非接触面の最大摩擦抵抗を上
記方法により測定したところ、それぞれ２２．３ｇｆ、
２８．１ｇｆであった。
【００３４】（実施例４）実施例１で得た濾材の表裏を
逆にする。そして再び図１と同様の装置のロール（ロー
ル温度：１６０℃）に通し、次いでシリコーンロールに
接触させて、２つの露出面が平滑化された濾材を得た。
なお、平滑化部材であるシリコーンロールと接触すると
きの不織布の温度は１２２℃であった。得られた濾材の
両面の最大摩擦抵抗を上記方法により測定したところ、
それぞれ９．９ｇｆ（最初にシリコーンロールと接触さ
せた面）、１１．１ｇｆ（２回目にシリコーンロールと
接触させた面）であった。
逆にする。そして再び図１と同様の装置のロール（ロー
ル温度：１６０℃）に通し、次いでシリコーンロールに
接触させて、２つの露出面が平滑化された濾材を得た。
なお、平滑化部材であるシリコーンロールと接触すると
きの不織布の温度は１２２℃であった。得られた濾材の
両面の最大摩擦抵抗を上記方法により測定したところ、
それぞれ９．９ｇｆ（最初にシリコーンロールと接触さ
せた面）、１１．１ｇｆ（２回目にシリコーンロールと
接触させた面）であった。
【００３５】（実施例５）実施例１で用いたのと同じＰ
ＴＦＥ多孔質膜とＰＥＴ／ＰＥ芯鞘不織布の各１枚を一
対のロール間を通して積層した。なお、ロール温度は１
４０℃に設定した。次に、図１の通気性支持材１、１に
代えて、この２層品を不織布が外側になるように配置す
るとともに、ＰＴＦＥ多孔質膜２に代えてＰＥＴ／ＰＥ
芯鞘不織布（実施例１で用いたのと同じ）を配置した。
そして、これらを熱ラミネート方式（ロール温度：１６
０℃）により積層し、不織布／ＰＴＦＥ多孔質膜／不織
布／ＰＴＦＥ多孔質膜／不織布の５層構造の濾材を得
た。なお、シリコーンロールと接触するときの不織布の
温度は１２１℃であった。得られた濾材のシリコーンロ
ール接触面とシリコーンロール非接触面の最大摩擦抵抗
を上記方法により測定したところ、それぞれ１２．５ｇ
ｆ、２８．０ｇｆであった。
ＴＦＥ多孔質膜とＰＥＴ／ＰＥ芯鞘不織布の各１枚を一
対のロール間を通して積層した。なお、ロール温度は１
４０℃に設定した。次に、図１の通気性支持材１、１に
代えて、この２層品を不織布が外側になるように配置す
るとともに、ＰＴＦＥ多孔質膜２に代えてＰＥＴ／ＰＥ
芯鞘不織布（実施例１で用いたのと同じ）を配置した。
そして、これらを熱ラミネート方式（ロール温度：１６
０℃）により積層し、不織布／ＰＴＦＥ多孔質膜／不織
布／ＰＴＦＥ多孔質膜／不織布の５層構造の濾材を得
た。なお、シリコーンロールと接触するときの不織布の
温度は１２１℃であった。得られた濾材のシリコーンロ
ール接触面とシリコーンロール非接触面の最大摩擦抵抗
を上記方法により測定したところ、それぞれ１２．５ｇ
ｆ、２８．０ｇｆであった。
【００３６】（実施例６）まず、厚さ１７０μｍ、目付
量３２ｇ／ｍ2のＰＥＴ不織布（三井石油化学工業社製
「シンテックスＭＹ Ｒ−２００」、融点：２５６℃）
をカレンダロールに通し、不織布の両面を平滑にした
（なお、このときのロール温度は、１００℃とした）。
この不織布の片面に低密度ポリエチレンのパウダー（融
点９７．５℃、３０メッシュパス）を１０ｇ／ｍ2の割
合で均一に散布し、これを１２０℃に加熱してパウダー
を熱融着した。次に、ＰＴＦＥ多孔質膜（実施例１で用
いたのと同じ）の両面に表面を平滑化した不織布を配置
し（パウダー散布面がＰＴＦＥ多孔質膜側になるように
配置し）、図１と同様の装置（ただし、シリコーンロー
ル４は配置せず）により熱ラミネート（ロール温度：１
４０℃）し、ＰＴＦＥ多孔質膜を中間層とする３層構造
の濾材を得た。得られた濾材の両面の最大摩擦抵抗を上
記方法により測定したところ、それぞれ１３．５ｇｆ、
１４．６ｇｆであった。
量３２ｇ／ｍ2のＰＥＴ不織布（三井石油化学工業社製
「シンテックスＭＹ Ｒ−２００」、融点：２５６℃）
をカレンダロールに通し、不織布の両面を平滑にした
（なお、このときのロール温度は、１００℃とした）。
この不織布の片面に低密度ポリエチレンのパウダー（融
点９７．５℃、３０メッシュパス）を１０ｇ／ｍ2の割
合で均一に散布し、これを１２０℃に加熱してパウダー
を熱融着した。次に、ＰＴＦＥ多孔質膜（実施例１で用
いたのと同じ）の両面に表面を平滑化した不織布を配置
し（パウダー散布面がＰＴＦＥ多孔質膜側になるように
配置し）、図１と同様の装置（ただし、シリコーンロー
ル４は配置せず）により熱ラミネート（ロール温度：１
４０℃）し、ＰＴＦＥ多孔質膜を中間層とする３層構造
の濾材を得た。得られた濾材の両面の最大摩擦抵抗を上
記方法により測定したところ、それぞれ１３．５ｇｆ、
１４．６ｇｆであった。
【００３７】（比較例１）シリコーンロールと接触させ
ないこと以外は実施例１と同様にして濾材を得た。得ら
れた濾材の両面の最大摩擦抵抗を上記方法により測定し
たところ、それぞれ２６．９ｇｆ、２８．２ｇｆであっ
た。
ないこと以外は実施例１と同様にして濾材を得た。得ら
れた濾材の両面の最大摩擦抵抗を上記方法により測定し
たところ、それぞれ２６．９ｇｆ、２８．２ｇｆであっ
た。
【００３８】（比較例２）カレンダーロールによる不織
布表面の平滑化を行わなかったこと以外は実施例６と同
様に作業して３層構造の濾材を得た。得られた濾材の両
面の最大摩擦抵抗を上記方法により測定したところ、そ
れぞれ２９．０ｇｆ、２７．６ｇｆであった。
布表面の平滑化を行わなかったこと以外は実施例６と同
様に作業して３層構造の濾材を得た。得られた濾材の両
面の最大摩擦抵抗を上記方法により測定したところ、そ
れぞれ２９．０ｇｆ、２７．６ｇｆであった。
【００３９】上記実施例１〜６、比較例１〜２で得られ
たエアフィルタ用濾材をレシプロタイプのプリーツ機に
よりプリーツ加工し、各濾材についてそれぞれ３０点づ
つ以下の方法により捕集性能を測定し、リークの有無を
調べた。 １ エアフィルタ濾材（測定面積１００ｃｍ2）を隔壁
として、上流側と下流側を分離する。 ２ 上流側に試験粒子である cold ＤＯＰ（ジオクチル
フタレート）を導入し、面速５．３ｃｍ／秒で下流側か
ら吸引する。 ３ 上流側の粒子濃度と濾材から漏洩した下流側の粒子
濃度をレーザーパーティクルカウンター（ＬＰＣ）にて
測定する。 ４ 粒子サイズ０．１〜０．２μｍの粒子透過率をＰ
0.1、０．２〜０．３μｍの粒子透過率をＰ0.2として、
次の条件を満たす場合にリークと判断した。 Ｐ0.2／Ｐ0.1＞０．１ リークの頻度を下表に示す。
たエアフィルタ用濾材をレシプロタイプのプリーツ機に
よりプリーツ加工し、各濾材についてそれぞれ３０点づ
つ以下の方法により捕集性能を測定し、リークの有無を
調べた。 １ エアフィルタ濾材（測定面積１００ｃｍ2）を隔壁
として、上流側と下流側を分離する。 ２ 上流側に試験粒子である cold ＤＯＰ（ジオクチル
フタレート）を導入し、面速５．３ｃｍ／秒で下流側か
ら吸引する。 ３ 上流側の粒子濃度と濾材から漏洩した下流側の粒子
濃度をレーザーパーティクルカウンター（ＬＰＣ）にて
測定する。 ４ 粒子サイズ０．１〜０．２μｍの粒子透過率をＰ
0.1、０．２〜０．３μｍの粒子透過率をＰ0.2として、
次の条件を満たす場合にリークと判断した。 Ｐ0.2／Ｐ0.1＞０．１ リークの頻度を下表に示す。
【００４０】
【表１】
【００４１】表１より、少なくとも一方の露出面の最大
摩擦抵抗値が２５ｇｆ以下であるエアフィルタ用濾材
は、濾材にダメージを与えやすいレシプロ方式によりプ
リーツ加工しても、ピンホールが発生しにくいことがわ
かる。
摩擦抵抗値が２５ｇｆ以下であるエアフィルタ用濾材
は、濾材にダメージを与えやすいレシプロ方式によりプ
リーツ加工しても、ピンホールが発生しにくいことがわ
かる。
【００４２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
プリーツ加工してもピンホールが生じにくくクリーンル
ームに要求される清浄空間の保持に適したエアフィルタ
用濾材を提供することができる。
プリーツ加工してもピンホールが生じにくくクリーンル
ームに要求される清浄空間の保持に適したエアフィルタ
用濾材を提供することができる。
【図１】 本発明のエアフィルタ用濾材を製造するため
の装置の例の概略を示す図である。
の装置の例の概略を示す図である。
【図２】 本発明のエアフィルタ用濾材の例の構成を示
す断面図である。
す断面図である。
【図３】 本発明のエアフィルタ用濾材の別の例の構成
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図４】 本発明のエアフィルタ用濾材の別の例の構成
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図５】 本発明のエアフィルタ用濾材の別の例の構成
を示す断面図である。
を示す断面図である。
１ 通気性支持材
２ ＰＴＦＥ多孔質膜
３ 加熱ロール
４ シリコーンロール
５ ガイドロール
６ ピンチロール
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平５−202217（ＪＰ，Ａ)
国際公開97／26135（ＷＯ，Ａ１)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B01D 67/00 - 71/82 510
B01D 39/00 - 39/20
Claims (2)
- 【請求項１】 ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と
通気性支持材との積層体を含むエアフィルタ用濾材の製
造方法であって、前記通気性支持材を、前記通気性支持
材を構成する少なくとも１つの材料の融点以上に加熱す
る工程と、前記通気性支持材を構成する少なくとも一つ
の材料の軟化点以上に加熱された状態で、前記通気性支
持材を平滑化部材に押し当てて、前記通気性支持材の最
大摩擦抵抗を２５ｇｆ以下にする工程とを含むことを特
徴とするエアフィルタ用濾材の製造方法。 - 【請求項２】 前記通気性支持材を加熱する工程におい
て、 前記通気性支持材が、熱ロールの外周上を進行しながら
加熱される請求項１に記載のエアフィルタ用濾材の製造
方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32825298A JP3365617B2 (ja) | 1998-06-11 | 1998-11-18 | エアフィルタ用濾材の製造方法 |
| US09/315,946 US6149702A (en) | 1998-06-11 | 1999-05-21 | Filtering medium for air filters and process for producing the same |
| EP99111172A EP0963775B1 (en) | 1998-06-11 | 1999-06-08 | Filtering medium for air filters and process for producing the same |
| DE69941277T DE69941277D1 (de) | 1998-06-11 | 1999-06-08 | Filtermaterial für Luftfilter und Verfahren zu seiner Herstellung |
| KR10-1999-0021773A KR100425390B1 (ko) | 1998-06-11 | 1999-06-11 | 에어 필터용 여과재 및 이의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16387998 | 1998-06-11 | ||
| JP10-163879 | 1998-06-11 | ||
| JP32825298A JP3365617B2 (ja) | 1998-06-11 | 1998-11-18 | エアフィルタ用濾材の製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002276209A Division JP2003112021A (ja) | 1998-06-11 | 2002-09-20 | エアフィルタ用濾材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000061280A JP2000061280A (ja) | 2000-02-29 |
| JP3365617B2 true JP3365617B2 (ja) | 2003-01-14 |
Family
ID=26489190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32825298A Expired - Fee Related JP3365617B2 (ja) | 1998-06-11 | 1998-11-18 | エアフィルタ用濾材の製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6149702A (ja) |
| EP (1) | EP0963775B1 (ja) |
| JP (1) | JP3365617B2 (ja) |
| KR (1) | KR100425390B1 (ja) |
| DE (1) | DE69941277D1 (ja) |
Families Citing this family (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB9816118D0 (en) * | 1998-07-23 | 1998-09-23 | Pall Corp | Filter assemblies |
| JP3177512B2 (ja) * | 1998-10-12 | 2001-06-18 | 日本精線株式会社 | 金属フィルタ |
| JP2000225328A (ja) * | 1998-11-30 | 2000-08-15 | Nitto Denko Corp | フィルタ用ろ材 |
| US6334881B1 (en) * | 1999-04-20 | 2002-01-01 | Gore Enterprise Holdings, Inc. | Filter media |
| KR100375884B1 (ko) * | 2000-01-21 | 2003-03-15 | 김태진 | 발효 공정용 용존 산소 센서의 복합 멤브레인 및 그의제조 방법 |
| KR100394786B1 (ko) * | 2000-08-14 | 2003-08-14 | 다이킨 고교 가부시키가이샤 | 에어필터용 부품, 그 패키지 및 그 패키징 방법 |
| JP3362730B2 (ja) * | 2000-08-24 | 2003-01-07 | ダイキン工業株式会社 | エアフィルター濾材、それを用いたエアフィルターパック及びエアフィルターユニット並びにエアフィルター濾材の製造方法 |
| US6596112B1 (en) | 2000-10-20 | 2003-07-22 | Pall Corporation | Laminates of asymmetric membranes |
| AU2001295065A1 (en) * | 2000-10-20 | 2002-05-06 | Usf Filtration And Separations Group Inc. | Laminates of asymmetric membranes |
| JP2002346319A (ja) * | 2001-05-21 | 2002-12-03 | Nitto Denko Corp | タービン用吸気フィルタ濾材 |
| US6808553B2 (en) | 2001-06-13 | 2004-10-26 | Nitto Denko Corporation | Filter medium for turbine and methods of using and producing the same |
| US20050136763A1 (en) * | 2003-12-17 | 2005-06-23 | Dana Eagles | Industrial fabric having a layer of a fluoropolymer and method of manufacture |
| US20050204714A1 (en) * | 2004-03-22 | 2005-09-22 | 3M Innovative Properties Company | Self-supporting pleated filter and method of making same |
| JP2006061808A (ja) * | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Nitto Denko Corp | マスク用通気フィルタ濾材 |
| US7332011B1 (en) * | 2005-03-16 | 2008-02-19 | Leslye Sandberg | Equipment air filter assembly |
| CN101163533B (zh) * | 2005-04-26 | 2011-06-22 | 日东电工株式会社 | 过滤器滤材及其制造方法和使用方法以及过滤器组件 |
| DE602005026932D1 (de) * | 2005-07-14 | 2011-04-28 | Gore W L & Ass Gmbh | Kühllüftereinheit zum Kühlen von elektronischen Bauelementen |
| AU2006278421A1 (en) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Donaldson Company, Inc. | Microporous membrane for flash distillation |
| KR20080039278A (ko) * | 2006-10-30 | 2008-05-07 | 주식회사 엘지화학 | 공기정화용 필터 여재, 이를 이용하여 제조된 공기정화용필터 및 이의 제조방법 |
| US8038013B2 (en) * | 2007-03-06 | 2011-10-18 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Liquid filtration media |
| US7993523B2 (en) * | 2007-03-06 | 2011-08-09 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Liquid filtration media |
| US20100183865A1 (en) * | 2007-06-21 | 2010-07-22 | Nitto Denko Corporation | Porous polytetrafluoroethylene sheet roll and tape roll |
| JP5206277B2 (ja) * | 2007-09-26 | 2013-06-12 | 東レ株式会社 | 分離膜支持体の製造方法、並びに分離膜及び流体分離素子 |
| US8673040B2 (en) | 2008-06-13 | 2014-03-18 | Donaldson Company, Inc. | Filter construction for use with air in-take for gas turbine and methods |
| US20100186595A1 (en) * | 2009-01-23 | 2010-07-29 | Kang Na Hsiung Enterprise Co., Ltd. | Composite filter and gas filter assembly including the same |
| US8262780B2 (en) * | 2009-07-22 | 2012-09-11 | Bha Group, Inc | High performance gas turbine inlet filter (HEPA) using membrane media |
| JP2011101864A (ja) * | 2009-11-11 | 2011-05-26 | Nitto Denko Corp | 分離膜ユニット及びこれを備えた分離膜エレメント |
| JP5012990B2 (ja) * | 2010-06-17 | 2012-08-29 | ダイキン工業株式会社 | 多孔膜を備える濾材、その製造方法、フィルタパック、ならびにフィルタユニット |
| EP2733163B1 (en) * | 2011-07-05 | 2020-10-28 | Nitto Denko Corporation | Porous polytetrafluoroethylene film and air filter filtration material |
| EP2758155B1 (en) | 2011-09-23 | 2019-01-09 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Surface-modified fluoropolymer membrane and method of its production |
| CN105148616B (zh) * | 2014-05-03 | 2016-10-26 | 东莞市千洪电子有限公司 | 一种对覆膜滤料进行生产的装置 |
| WO2019059382A1 (ja) * | 2017-09-22 | 2019-03-28 | 日東電工株式会社 | エアフィルタ濾材、フィルタプリーツパックおよびエアフィルタユニット |
| CN113069833A (zh) * | 2021-04-28 | 2021-07-06 | 广东溢达纺织有限公司 | 一种可重复使用口罩的滤材、其制造方法和口罩 |
| US20230100527A1 (en) * | 2021-09-29 | 2023-03-30 | Entegris, Inc. | Medical use venting filter |
Family Cites Families (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3986851A (en) * | 1975-06-23 | 1976-10-19 | The Harshaw Chemical Company | Filter of polytetrafluoroethylene fibers |
| US4324574A (en) * | 1980-12-19 | 1982-04-13 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Felt-like layered composite of PTFE and glass paper |
| JPS58145735A (ja) * | 1982-02-22 | 1983-08-30 | Daikin Ind Ltd | ポリテトラフルオロエチレン多孔体の製造方法 |
| JPS6058208A (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-04 | Kurabo Ind Ltd | フイルタ−エレメントとその製法 |
| US4878930A (en) * | 1984-03-15 | 1989-11-07 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Filter cartridge |
| DE3780511T2 (de) * | 1986-05-23 | 1993-03-04 | Gore & Ass | Hochleistungsgasfilter. |
| JPH0667859B2 (ja) * | 1986-12-02 | 1994-08-31 | セントラル硝子株式会社 | 含フツ素樹脂の低分子量物の製造方法 |
| US4816328A (en) * | 1987-11-13 | 1989-03-28 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Breathable, non-linting laminate |
| US5037457A (en) * | 1988-12-15 | 1991-08-06 | Millipore Corporation | Sterile hydrophobic polytetrafluoroethylene membrane laminate |
| US5019140A (en) * | 1988-12-21 | 1991-05-28 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Irradiated expanded polytetrafluoroethylene composites, and devices using them, and processes for making them |
| US5154827A (en) * | 1990-01-22 | 1992-10-13 | Parker-Nannifin Corporation | Laminated microporous fluorocarbon membrane and fluorocarbon filter cartridge using same |
| JPH0689165B2 (ja) * | 1990-01-29 | 1994-11-09 | ダイキン工業株式会社 | ポリテトラフルオロエチレン多孔膜およびその製造方法 |
| JPH03293008A (ja) * | 1990-04-06 | 1991-12-24 | Toyobo Co Ltd | エレクトレットフィルター及びその製造方法 |
| US5082472A (en) * | 1990-11-05 | 1992-01-21 | Mallouk Robert S | Composite membrane for facilitated transport processes |
| US5096473A (en) * | 1991-03-01 | 1992-03-17 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Filtration fabric laminates |
| CA2074349C (en) * | 1991-07-23 | 2004-04-20 | Shinji Tamaru | Polytetrafluoroethylene porous film and preparation and use thereof |
| JP2792354B2 (ja) * | 1991-07-23 | 1998-09-03 | ダイキン工業株式会社 | ポリテトラフルオロエチレン多孔膜 |
| US5207812B1 (en) * | 1992-05-08 | 1996-10-01 | Gore & Ass | Filter cartridge |
| DE69424569T2 (de) * | 1993-01-25 | 2001-01-18 | Daikin Ind Ltd | Poröser Film aus Polytetrafluoroethylen |
| JP3003500B2 (ja) * | 1994-04-28 | 2000-01-31 | ダイキン工業株式会社 | ポリテトラフルオロエチレン複合多孔膜 |
| US5507847A (en) * | 1994-07-29 | 1996-04-16 | W. L. Gore & Associates, Inc. | ULPA filter |
| JP3648276B2 (ja) * | 1994-12-05 | 2005-05-18 | 三菱樹脂株式会社 | フィルター用多孔質体 |
| US5478372A (en) * | 1995-02-08 | 1995-12-26 | W. L. Gore & Associates, Inc. | High temperature, chemical resistant laminate for filtration systems |
| JPH09193277A (ja) * | 1996-01-16 | 1997-07-29 | Daikin Ind Ltd | 複層フェルト、それからなる部材および複層フェルトの製法 |
| US5888275A (en) * | 1996-02-26 | 1999-03-30 | Japan Gore-Tex, Inc. | Assembly for deaeration of liquids |
| JP3273735B2 (ja) * | 1996-05-17 | 2002-04-15 | 日東電工株式会社 | ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜およびその製造方法、シート状ポリテトラフルオロエチレン成形体、並びに、エアーフィルター用濾材 |
| US5928414A (en) * | 1996-07-11 | 1999-07-27 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Cleanable filter media and filter elements |
| JPH10211409A (ja) * | 1997-01-28 | 1998-08-11 | Nippon Muki Co Ltd | エアフィルタ用濾材並びにエアフィルタ |
| JP3512100B2 (ja) * | 1997-04-11 | 2004-03-29 | ダイキン工業株式会社 | エアフィルターユニットおよびその製造方法 |
| US5820645A (en) * | 1997-05-23 | 1998-10-13 | Reemay, Inc. | Pleatable nonwoven composite article for gas filter media |
| JPH11137931A (ja) * | 1997-09-02 | 1999-05-25 | Nitto Denko Corp | エアフィルタ及びその製造方法 |
-
1998
- 1998-11-18 JP JP32825298A patent/JP3365617B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-05-21 US US09/315,946 patent/US6149702A/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-06-08 DE DE69941277T patent/DE69941277D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-06-08 EP EP99111172A patent/EP0963775B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-06-11 KR KR10-1999-0021773A patent/KR100425390B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6149702A (en) | 2000-11-21 |
| EP0963775A3 (en) | 2001-04-18 |
| EP0963775A2 (en) | 1999-12-15 |
| EP0963775B1 (en) | 2009-08-19 |
| KR100425390B1 (ko) | 2004-03-30 |
| JP2000061280A (ja) | 2000-02-29 |
| KR20000006115A (ko) | 2000-01-25 |
| DE69941277D1 (de) | 2009-10-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3365617B2 (ja) | エアフィルタ用濾材の製造方法 | |
| EP1266681B1 (en) | Filter medium for turbine and methods of using and producing the same | |
| CN111148561B (zh) | 空气过滤器滤材、过滤器褶裥组件及空气过滤器单元 | |
| JP3467779B2 (ja) | フィルター濾材およびそれを用いたエアフィルターユニット | |
| JP5112251B2 (ja) | エアフィルタ用濾材の製造方法 | |
| JP2000079332A (ja) | エアフィルタ用ろ材 | |
| JP3362730B2 (ja) | エアフィルター濾材、それを用いたエアフィルターパック及びエアフィルターユニット並びにエアフィルター濾材の製造方法 | |
| JP5051944B2 (ja) | エアフィルタ用濾材およびその製造方法 | |
| JP6292920B2 (ja) | エアフィルタ濾材の製造方法、エアフィルタ濾材及びエアフィルタパック | |
| CN107530646B (zh) | 过滤器滤材和过滤器单元 | |
| JP3761172B2 (ja) | エアフィルタ用濾材、その使用方法、エアフィルタユニットおよび通気性支持材 | |
| JP2001170424A (ja) | エアフィルタ用ろ材およびそれを用いたエアフィルタユニット | |
| JP2005095803A (ja) | エアフィルタ用濾材およびそれを用いたエアフィルタユニット | |
| JP2003112021A (ja) | エアフィルタ用濾材 | |
| JP2007111697A (ja) | エアフィルタ用ろ材 | |
| JP3410019B2 (ja) | エアフィルタ用濾材の成形方法および濾材成形用ブレード | |
| JP4007919B2 (ja) | 集塵機用フィルター | |
| JP4224437B2 (ja) | エアフィルタ濾材およびそれを用いたエアフィルタユニット | |
| WO2020204177A1 (ja) | フィルタ濾材及びフィルタユニット | |
| JP2003093815A (ja) | エアフィルタ濾材の製造方法 | |
| KR20150079105A (ko) | Ptfe 필터 매체 및 그 제조 방법 | |
| JPH11267423A (ja) | エアフィルタ用ろ材 | |
| KR20000011539A (ko) | 공기필터용필터매질 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081101 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111101 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141101 Year of fee payment: 12 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |