JP3353347B2 - 電子放出用電極、それを用いた蛍光パネル及びその蛍光パネルの製造方法 - Google Patents
電子放出用電極、それを用いた蛍光パネル及びその蛍光パネルの製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子放出用電極、それ
を用いた蛍光パネル及びその蛍光パネルの製造方法に関
し、詳しくは、駆動電圧の安定化を図った電子放出用電
極、その電極を用いた蛍光パネル及びその蛍光パネルの
製造方法に関する。
を用いた蛍光パネル及びその蛍光パネルの製造方法に関
し、詳しくは、駆動電圧の安定化を図った電子放出用電
極、その電極を用いた蛍光パネル及びその蛍光パネルの
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から蛍光パネルにおいては、その電
極に平面電極を使用し、この平面電極に駆動電圧を印加
して、電子を放出させている。この放出させた電子によ
り蛍光パネルの内表面に塗布された蛍光物質を発光さ
せ、蛍光パネルを点灯させている。このような従来の蛍
光パネルに使用されている平面電極は、その表面が平坦
であり、電子の放出が起こり難く、電子を放出するのに
かなり高い駆動電圧を必要とする。
極に平面電極を使用し、この平面電極に駆動電圧を印加
して、電子を放出させている。この放出させた電子によ
り蛍光パネルの内表面に塗布された蛍光物質を発光さ
せ、蛍光パネルを点灯させている。このような従来の蛍
光パネルに使用されている平面電極は、その表面が平坦
であり、電子の放出が起こり難く、電子を放出するのに
かなり高い駆動電圧を必要とする。
【０００３】そこで、従来、駆動電力を低くするため
に、平面電極の表面に、さらに平面電極を形成する物質
よりもその仕事関数（金属や半導体の結晶表面から１個
の電子を表面のすぐ外側に取り出すのに必要な最小のエ
ネルギー）の小さい物質を塗布したものがある。
に、平面電極の表面に、さらに平面電極を形成する物質
よりもその仕事関数（金属や半導体の結晶表面から１個
の電子を表面のすぐ外側に取り出すのに必要な最小のエ
ネルギー）の小さい物質を塗布したものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の電子放出用電極やその電子放出用電極を用い
た蛍光パネルにあっては、電子放出用電極の表面が酸化
されて電子放出用電極の表面に酸化膜が形成されるが、
電子放出用電極の表面に付着する酸化物に対処するため
の方策が取られていなかったため、電子放出用電極から
の電子の放出が一定せず、この電子放出用電極を蛍光パ
ネル等に適用した場合に、駆動電圧、特に、放電開始電
圧が不安定になるという問題があった。特に、電極表面
にその電極を形成する物質よりも仕事関数の小さい物質
を塗布した電子放出用電極にあっては、酸化されやす
く、駆動電圧の安定化が要望されている。
うな従来の電子放出用電極やその電子放出用電極を用い
た蛍光パネルにあっては、電子放出用電極の表面が酸化
されて電子放出用電極の表面に酸化膜が形成されるが、
電子放出用電極の表面に付着する酸化物に対処するため
の方策が取られていなかったため、電子放出用電極から
の電子の放出が一定せず、この電子放出用電極を蛍光パ
ネル等に適用した場合に、駆動電圧、特に、放電開始電
圧が不安定になるという問題があった。特に、電極表面
にその電極を形成する物質よりも仕事関数の小さい物質
を塗布した電子放出用電極にあっては、酸化されやす
く、駆動電圧の安定化が要望されている。
【０００５】そこで、本発明は、電子放出用電極の電極
表面に所定の物質で保護膜を形成することにより、ま
た、この電子放出用電極を蛍光パネルに適用することに
より、電極表面に酸化膜が付着することを防止し、該電
子放出用電極を蛍光パネルに使用して、電子放出用電極
に所定の駆動電圧を印加したとき、電子放出用電極の表
面に形成した保護膜を除去できるようにし、安定した駆
動電圧、特に、放電開始電圧の得られる電子放出用電極
及びこの電子放出用電極を用いた蛍光パネルを提供する
ことを目的としている。また、電極表面に酸化膜の付着
していない蛍光パネルを安価に、かつ簡単に製造するこ
とのできる蛍光パネルの製造方法を提供することを目的
としている。
表面に所定の物質で保護膜を形成することにより、ま
た、この電子放出用電極を蛍光パネルに適用することに
より、電極表面に酸化膜が付着することを防止し、該電
子放出用電極を蛍光パネルに使用して、電子放出用電極
に所定の駆動電圧を印加したとき、電子放出用電極の表
面に形成した保護膜を除去できるようにし、安定した駆
動電圧、特に、放電開始電圧の得られる電子放出用電極
及びこの電子放出用電極を用いた蛍光パネルを提供する
ことを目的としている。また、電極表面に酸化膜の付着
していない蛍光パネルを安価に、かつ簡単に製造するこ
とのできる蛍光パネルの製造方法を提供することを目的
としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の所定の電極用物
質で所定形状に形成された電子放出用電極において、 前
記電極用物質の表面に酸化膜が形成されるのを防止する
ために、前記電極用物質を真空中で形成した後、該真空
状態を維持したまま前記電極用物質の表面に所定の物質
で保護膜を形成してなることにより、上記目的を達成し
ている。
質で所定形状に形成された電子放出用電極において、 前
記電極用物質の表面に酸化膜が形成されるのを防止する
ために、前記電極用物質を真空中で形成した後、該真空
状態を維持したまま前記電極用物質の表面に所定の物質
で保護膜を形成してなることにより、上記目的を達成し
ている。
【０００７】前記電極用物質は、例えば、請求項２に記
載するように、ランタンヘキサボライトで形成されてい
てもよい。また、例えば、請求項３に記載するように、
前記電極用物質の下面に、該電極用物質よりも仕事関数
の大きい物質で形成された第２の電極用物質が積層され
てもよい。
載するように、ランタンヘキサボライトで形成されてい
てもよい。また、例えば、請求項３に記載するように、
前記電極用物質の下面に、該電極用物質よりも仕事関数
の大きい物質で形成された第２の電極用物質が積層され
てもよい。
【０００８】また、保護膜は、例えば、請求項４に記載
するように、銀、金、パラジウムのいずれかであっても
よく、また、例えば、請求項５に記載するように、電子
放出用電極に駆動電圧を印加して放電を行うことにより
生じるスパッタにより除去可能な厚さに形成されていて
もよい。
するように、銀、金、パラジウムのいずれかであっても
よく、また、例えば、請求項５に記載するように、電子
放出用電極に駆動電圧を印加して放電を行うことにより
生じるスパッタにより除去可能な厚さに形成されていて
もよい。
【０００９】本発明の所定形状のガラス板により密閉空
間が形成され、その密閉空間内部に不活性ガスの封入さ
れた蛍光パネルにおいて、 前記密閉空間内部に配設され
ている電子放出用電極は電極用物質及び所定の物質で形
成された保護膜を有し、前記保護膜は、該電極用物質の
表面に酸化膜が形成されるのを防止するために、真空中
で形成された前記電極用物質の表面に、該真空状態を維
持したまま形成されてなることにより、達成している。
間が形成され、その密閉空間内部に不活性ガスの封入さ
れた蛍光パネルにおいて、 前記密閉空間内部に配設され
ている電子放出用電極は電極用物質及び所定の物質で形
成された保護膜を有し、前記保護膜は、該電極用物質の
表面に酸化膜が形成されるのを防止するために、真空中
で形成された前記電極用物質の表面に、該真空状態を維
持したまま形成されてなることにより、達成している。
【００１０】本発明の所定形状のガラス板により密閉空
間が形成され、その密閉空間内に不活性ガスの封入され
た蛍光パネルの製造方法において、 電極用物質を真空中
で形成した後、該電極用物質の表面に酸化膜が形成され
るのを防止するために該真空状態を維持したまま前記電
極用物質の表面に所定の物質で保護膜を形成する工程
と、前記電極用物質及び該保護膜からなる電子放出用電
極を前記密閉空間内部に配設する工程と、該電子放出用
電極に所定の駆動電圧を印加して該保護膜をスパッタリ
ングして除去する工程と、を有することにより、達成し
ている。
間が形成され、その密閉空間内に不活性ガスの封入され
た蛍光パネルの製造方法において、 電極用物質を真空中
で形成した後、該電極用物質の表面に酸化膜が形成され
るのを防止するために該真空状態を維持したまま前記電
極用物質の表面に所定の物質で保護膜を形成する工程
と、前記電極用物質及び該保護膜からなる電子放出用電
極を前記密閉空間内部に配設する工程と、該電子放出用
電極に所定の駆動電圧を印加して該保護膜をスパッタリ
ングして除去する工程と、を有することにより、達成し
ている。
【００１１】
【作用】本発明の電子放出用電極、それを用いた蛍光パ
ネル及びその蛍光パネルの製造方法によれば、所定の電
極用物質で所定形状に形成された電子放出用電極の表面
に所定の物質で保護膜を形成しているので、電子放出用
電極の表面に酸化膜が形成されるのを防止することがで
き、電子放出用電極を蛍光パネル等に適用したとき、電
子放出用電極に駆動電圧が印加されると、該電子放出用
電極の表面の保護膜がスパッタリングされ、保護膜を除
去することができる。その結果、表面に酸化膜が形成さ
れない、安定した駆動電圧、特に、安定した放電開始電
圧の得られる電子放出用電極を得ることができる。
ネル及びその蛍光パネルの製造方法によれば、所定の電
極用物質で所定形状に形成された電子放出用電極の表面
に所定の物質で保護膜を形成しているので、電子放出用
電極の表面に酸化膜が形成されるのを防止することがで
き、電子放出用電極を蛍光パネル等に適用したとき、電
子放出用電極に駆動電圧が印加されると、該電子放出用
電極の表面の保護膜がスパッタリングされ、保護膜を除
去することができる。その結果、表面に酸化膜が形成さ
れない、安定した駆動電圧、特に、安定した放電開始電
圧の得られる電子放出用電極を得ることができる。
【００１２】この場合、電極用物質を仕事関数の小さい
物質で形成して、その表面に保護膜を形成したり、電極
用物質の表面に該電極用物質よりも仕事関数の小さい物
質で形成された電極用物質を積層し、該表面に積層され
た電極用物質の表面に保護膜を形成すると、仕事関数が
小さいことから、保護膜を形成していないときには電極
表面に酸化膜が形成され易いが、電極表面を保護膜で覆
っているので、酸化膜は形成されず、駆動電圧を低くす
ることができるとともに、安定した駆動電圧の得られる
電子放出用電極を得ることができる。
物質で形成して、その表面に保護膜を形成したり、電極
用物質の表面に該電極用物質よりも仕事関数の小さい物
質で形成された電極用物質を積層し、該表面に積層され
た電極用物質の表面に保護膜を形成すると、仕事関数が
小さいことから、保護膜を形成していないときには電極
表面に酸化膜が形成され易いが、電極表面を保護膜で覆
っているので、酸化膜は形成されず、駆動電圧を低くす
ることができるとともに、安定した駆動電圧の得られる
電子放出用電極を得ることができる。
【００１３】また、保護膜を、スパッタ率の高い物質で
形成したり、また、電子放出用電極に印加される電圧に
よるスパッタにより除去可能な厚さに形成すると、保護
膜を電子放出用電極に印加する駆動電圧により、容易に
除去することができ、簡単、かつ安価に駆動電圧の安定
した電子放出用電極を得ることができる。
形成したり、また、電子放出用電極に印加される電圧に
よるスパッタにより除去可能な厚さに形成すると、保護
膜を電子放出用電極に印加する駆動電圧により、容易に
除去することができ、簡単、かつ安価に駆動電圧の安定
した電子放出用電極を得ることができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
【００１５】図１〜図４は、電子放出用電極、それを用
いた蛍光パネル及びその蛍光パネルの製造方法の一実施
例を示す図である。
いた蛍光パネル及びその蛍光パネルの製造方法の一実施
例を示す図である。
【００１６】図１において、電子放出用電極１は、金属
基板２と金属基板２上に積層された表面電極３を備えて
おり、表面電極３上には、保護膜４が形成されている。
基板２と金属基板２上に積層された表面電極３を備えて
おり、表面電極３上には、保護膜４が形成されている。
【００１７】上記金属基板２は、所定の電極用物質、例
えば、ステンレス、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）ある
いはニッケル合金等の比較的仕事関数の小さい物質で略
四角柱型に形成されており、その表面は、平坦に形成さ
れている。
えば、ステンレス、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）ある
いはニッケル合金等の比較的仕事関数の小さい物質で略
四角柱型に形成されており、その表面は、平坦に形成さ
れている。
【００１８】上記表面電極３は、金属基板２よりも仕事
関数の小さい物質、例えば、チタン酸窒素やランタンヘ
キサボライト（ＬａＢ6 ）で形成されている。
関数の小さい物質、例えば、チタン酸窒素やランタンヘ
キサボライト（ＬａＢ6 ）で形成されている。
【００１９】保護膜４は、高スパッタ率の物質、すなわ
ち、スパッタリングされ易い物質、例えば、銀（Ａｇ）
で形成されており、また表面電極３への酸化膜の形成を
防止するのに充分で、かつスパッタリングにより、容易
に除去可能な厚さに形成されている。なお、保護膜４
は、スパッタ率の良好な物質であれば、上記銀（Ａｇ）
に限るものではなく、例えば、金（Ａｕ）やパラジウム
（Ｐｄ）等を用いて形成してもよい。
ち、スパッタリングされ易い物質、例えば、銀（Ａｇ）
で形成されており、また表面電極３への酸化膜の形成を
防止するのに充分で、かつスパッタリングにより、容易
に除去可能な厚さに形成されている。なお、保護膜４
は、スパッタ率の良好な物質であれば、上記銀（Ａｇ）
に限るものではなく、例えば、金（Ａｕ）やパラジウム
（Ｐｄ）等を用いて形成してもよい。
【００２０】次に、この電子放出用電極１の製造方法に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００２１】電子放出用電極１を製造するには、まず、
金属基板２を上記物質で形成する。この金属基板２を真
空炉等に入れ、スパッタリングや真空蒸着等の成膜技術
により、金属基板２上に表面電極３を成膜して形成す
る。次に、この真空状態を保ったまま、同様の成膜技術
により、保護膜４を表面電極３の表面に形成し、その
後、真空炉等から電子放出用電極１を取り出して、電子
放出用電極１の製造を完了する。
金属基板２を上記物質で形成する。この金属基板２を真
空炉等に入れ、スパッタリングや真空蒸着等の成膜技術
により、金属基板２上に表面電極３を成膜して形成す
る。次に、この真空状態を保ったまま、同様の成膜技術
により、保護膜４を表面電極３の表面に形成し、その
後、真空炉等から電子放出用電極１を取り出して、電子
放出用電極１の製造を完了する。
【００２２】このとき、電子放出用電極１を真空状態か
ら取り出して、外気に触れさせた場合、表面電極３の表
面が保護膜４により覆われているので、表面電極３が仕
事関数の小さい物質で形成されていても、表面電極３の
表面には、酸化膜が付着しない。
ら取り出して、外気に触れさせた場合、表面電極３の表
面が保護膜４により覆われているので、表面電極３が仕
事関数の小さい物質で形成されていても、表面電極３の
表面には、酸化膜が付着しない。
【００２３】上記電子放出用電極１は、図２に示すよう
な蛍光パネル１０に適用される。
な蛍光パネル１０に適用される。
【００２４】蛍光パネル１０は、下ガラス板１１と上ガ
ラス板１２により密閉室１３が形成されており、密閉室
１３内には、アルゴンガス等の不活性ガスが封入され
る。この密閉室１３内の両側部に上記電子放出用電極１
がその表面が相対向する状態で一対配設されており、下
ガラス板１１及び上ガラス板１２の内面には、蛍光物質
が塗布されている。また、各電子放出用電極１には、そ
れぞれ駆動電圧を供給するための端子１４が接続されて
おり、各端子１４には、リード線１５が接続されてい
る。このリード線１５から各電子放出用電極１に駆動電
圧が供給される。
ラス板１２により密閉室１３が形成されており、密閉室
１３内には、アルゴンガス等の不活性ガスが封入され
る。この密閉室１３内の両側部に上記電子放出用電極１
がその表面が相対向する状態で一対配設されており、下
ガラス板１１及び上ガラス板１２の内面には、蛍光物質
が塗布されている。また、各電子放出用電極１には、そ
れぞれ駆動電圧を供給するための端子１４が接続されて
おり、各端子１４には、リード線１５が接続されてい
る。このリード線１５から各電子放出用電極１に駆動電
圧が供給される。
【００２５】そして電子放出用電極１は、その表面電極
３の表面に保護膜４が形成された状態で蛍光パネル１０
に取り付けられる。
３の表面に保護膜４が形成された状態で蛍光パネル１０
に取り付けられる。
【００２６】次に、蛍光パネルの製造方法について説明
する。
する。
【００２７】上述のようにして、蛍光パネル１０に上記
電子放出用電極１を組み込むと、リード線１５を介して
所定の駆動電圧を各電子放出用電極１に供給する。電子
放出用電極１に駆動電圧を供給して放電を行なわせる
と、表面電極３の表面に形成されている保護膜４がスパ
ッターされ、図３に示すように、保護膜４は、はじき飛
ばされて表面電極３から除去される。
電子放出用電極１を組み込むと、リード線１５を介して
所定の駆動電圧を各電子放出用電極１に供給する。電子
放出用電極１に駆動電圧を供給して放電を行なわせる
と、表面電極３の表面に形成されている保護膜４がスパ
ッターされ、図３に示すように、保護膜４は、はじき飛
ばされて表面電極３から除去される。
【００２８】この場合、保護膜４は、銀（Ａｇ）等のス
パッタ率の良好な物質で形成されているため、表面電極
３から効率的に除去される。また、保護膜４が、表面電
極３への酸化膜の形成を防止するのに充分で、かつスパ
ッタリングにより、容易に除去可能な厚さに形成されて
いるので、スパッタリングにより保護膜４を表面電極３
から完全に除去することができる。
パッタ率の良好な物質で形成されているため、表面電極
３から効率的に除去される。また、保護膜４が、表面電
極３への酸化膜の形成を防止するのに充分で、かつスパ
ッタリングにより、容易に除去可能な厚さに形成されて
いるので、スパッタリングにより保護膜４を表面電極３
から完全に除去することができる。
【００２９】したがって、保護膜４により表面電極３の
表面に酸化膜が付着することを防止することができ、そ
の後、蛍光パネル１０に適用して駆動電圧を印加するだ
けで、保護膜４を除去することができる。その結果、酸
化膜の付着していない蛍光パネル１０を簡単、かつ安価
に製造することができる。
表面に酸化膜が付着することを防止することができ、そ
の後、蛍光パネル１０に適用して駆動電圧を印加するだ
けで、保護膜４を除去することができる。その結果、酸
化膜の付着していない蛍光パネル１０を簡単、かつ安価
に製造することができる。
【００３０】次に、作用を説明する。
【００３１】このような電子放出用電極１及びこの電子
放出用電極１を用いた蛍光パネル１０は、図４に示すよ
うな、液晶表示装置２０に適用される。
放出用電極１を用いた蛍光パネル１０は、図４に示すよ
うな、液晶表示装置２０に適用される。
【００３２】図４は、アクティブマトリックスカラー液
晶表示装置２０の正面断面図であり、上記電子放出用電
極１は、そのアクティブマトリックスカラー液晶表示装
置２０の蛍光パネル１０の電極として適用されている。
晶表示装置２０の正面断面図であり、上記電子放出用電
極１は、そのアクティブマトリックスカラー液晶表示装
置２０の蛍光パネル１０の電極として適用されている。
【００３３】すなわち、図４において、アクティブマト
リックスカラー液晶表示装置２０は、その液晶表示パネ
ル２１が、下偏光板２２、下ガラス基板２３、ＴＦＴマ
トリックス２４、シール材２５、液晶２６、カラーフィ
ルタ２７、上ガラス基板２８及び上偏光板２９等を積層
して形成されており、液晶２６は、下ガラス基板２３、
シール材２５及び上ガラス基板２８により密閉された室
内に封入されている。また、この密閉室内の下面にＴＦ
Ｔマトリックス２４が設けられ、密閉室内の上面にカラ
ーフィルタ２７が設けられている。ＴＦＴマトリックス
２４は、通常の液晶表示パネル２１に使用されているも
ので、信号電極と操作電極の交点にＭＯＳ（Metal Oxid
e Semiconductor） トランジスタによるＴＦＴ（Thin F
ilm Transistor）をマトリックス状に形成したものであ
る。
リックスカラー液晶表示装置２０は、その液晶表示パネ
ル２１が、下偏光板２２、下ガラス基板２３、ＴＦＴマ
トリックス２４、シール材２５、液晶２６、カラーフィ
ルタ２７、上ガラス基板２８及び上偏光板２９等を積層
して形成されており、液晶２６は、下ガラス基板２３、
シール材２５及び上ガラス基板２８により密閉された室
内に封入されている。また、この密閉室内の下面にＴＦ
Ｔマトリックス２４が設けられ、密閉室内の上面にカラ
ーフィルタ２７が設けられている。ＴＦＴマトリックス
２４は、通常の液晶表示パネル２１に使用されているも
ので、信号電極と操作電極の交点にＭＯＳ（Metal Oxid
e Semiconductor） トランジスタによるＴＦＴ（Thin F
ilm Transistor）をマトリックス状に形成したものであ
る。
【００３４】この液晶表示パネル２１の下面（裏面）に
蛍光パネル１０が配設されている。蛍光パネル１０は、
その電極として上記電子放出用電極１が用いられてお
り、上記蛍光パネル１０の製造方法により製造されたも
のである。したがって、蛍光パネル１０の表面電極３の
表面からは保護膜４が除去されており、また酸化膜は付
着していない。
蛍光パネル１０が配設されている。蛍光パネル１０は、
その電極として上記電子放出用電極１が用いられてお
り、上記蛍光パネル１０の製造方法により製造されたも
のである。したがって、蛍光パネル１０の表面電極３の
表面からは保護膜４が除去されており、また酸化膜は付
着していない。
【００３５】各電子放出用電極１は、図１に示したよう
に、その金属基板２の表面に仕事関数の小さい表面電極
３が形成され、また、この表面電極３の表面の保護膜４
が除去されているため、電子を放出し易いだけでなく、
酸化膜が付着していないため、安定した駆動電圧で放電
させることができる。その結果、低電圧駆動が可能であ
るとともに、駆動電圧、特に、駆動開始電圧を安定化さ
せることができる。その結果、電子放出用電極１を使用
した蛍光パネル１０の消費電力が少なくなり、アクティ
ブマトリックスカラー液晶表示装置２０の消費電力を低
減することができる。したがって、このアクティブマト
リックスカラー液晶表示装置２０を適用した電池仕様の
電子機器、例えば、ブック型パーソナルコンピュータや
ワードプロセッサ等の消費電力を低減することができ、
電池仕様の電子機器にも充分適用することができる。
に、その金属基板２の表面に仕事関数の小さい表面電極
３が形成され、また、この表面電極３の表面の保護膜４
が除去されているため、電子を放出し易いだけでなく、
酸化膜が付着していないため、安定した駆動電圧で放電
させることができる。その結果、低電圧駆動が可能であ
るとともに、駆動電圧、特に、駆動開始電圧を安定化さ
せることができる。その結果、電子放出用電極１を使用
した蛍光パネル１０の消費電力が少なくなり、アクティ
ブマトリックスカラー液晶表示装置２０の消費電力を低
減することができる。したがって、このアクティブマト
リックスカラー液晶表示装置２０を適用した電池仕様の
電子機器、例えば、ブック型パーソナルコンピュータや
ワードプロセッサ等の消費電力を低減することができ、
電池仕様の電子機器にも充分適用することができる。
【００３６】以上説明したように、表面電極３の表面に
保護膜４を形成しているので、電子放出用電極１の表面
に酸化膜が形成されるのを防止することができ、電子放
出用電極１を蛍光パネル１０等に適用したとき、電子放
出用電極１の表面に酸化膜が付着するのを防止すること
ができ、その後、電子放出用電極１に駆動電圧が印加さ
れると、該電子放出用電極１の表面がスパッタリングさ
れ、電子放出用電極１の表面に形成した保護膜４を除去
することができる。その結果、安定した駆動電圧、特
に、安定した放電開始電圧の得られる電子放出用電極を
得ることができる。
保護膜４を形成しているので、電子放出用電極１の表面
に酸化膜が形成されるのを防止することができ、電子放
出用電極１を蛍光パネル１０等に適用したとき、電子放
出用電極１の表面に酸化膜が付着するのを防止すること
ができ、その後、電子放出用電極１に駆動電圧が印加さ
れると、該電子放出用電極１の表面がスパッタリングさ
れ、電子放出用電極１の表面に形成した保護膜４を除去
することができる。その結果、安定した駆動電圧、特
に、安定した放電開始電圧の得られる電子放出用電極を
得ることができる。
【００３７】なお、上記各実施例においては、金属基板
２の表面に金属基板２より仕事関数の小さい物質で形成
した表面電極３を積層しているが、これに限るものでは
なく、電子放出用電極１自体の表面に、保護膜４を形成
してもよく、この場合にあっても上記同様に、酸化膜が
付着することを防止することができ、駆動電圧の安定化
を図ることができる。
２の表面に金属基板２より仕事関数の小さい物質で形成
した表面電極３を積層しているが、これに限るものでは
なく、電子放出用電極１自体の表面に、保護膜４を形成
してもよく、この場合にあっても上記同様に、酸化膜が
付着することを防止することができ、駆動電圧の安定化
を図ることができる。
【００３８】また、上記各実施例においては、電子放出
用電極１を平面型のものに適用したが、平面型のものに
限るものでないことはいうまでもない。
用電極１を平面型のものに適用したが、平面型のものに
限るものでないことはいうまでもない。
【００３９】さらに、電子放出用電極１を蛍光パネルに
適用した場合について説明したが、これに限るものでは
なく、電子放出用電極１は、例えば、ガスレーザや電子
顕微鏡の電子銃の電子放出用電極等としても適用するこ
とができる。
適用した場合について説明したが、これに限るものでは
なく、電子放出用電極１は、例えば、ガスレーザや電子
顕微鏡の電子銃の電子放出用電極等としても適用するこ
とができる。
【００４０】
【発明の効果】本発明の電子放出用電極、蛍光パネル及
びその製造方法によれば、所定の電極用物質で所定形状
に形成された電子放出用電極の表面に所定の物質で保護
膜を形成しているので、電子放出用電極の表面に酸化膜
が形成されるのを防止することができ、電子放出用電極
を蛍光パネル等に適用したとき、電子放出用電極に駆動
電圧が印加されると、該保護膜がスパッタリングされ、
該保護膜を除去することができる。その結果、電極表面
に酸化膜が形成されることのない、安定した駆動電圧、
特に、安定した放電開始電圧の得られる電子放出用電極
を得ることができる。
びその製造方法によれば、所定の電極用物質で所定形状
に形成された電子放出用電極の表面に所定の物質で保護
膜を形成しているので、電子放出用電極の表面に酸化膜
が形成されるのを防止することができ、電子放出用電極
を蛍光パネル等に適用したとき、電子放出用電極に駆動
電圧が印加されると、該保護膜がスパッタリングされ、
該保護膜を除去することができる。その結果、電極表面
に酸化膜が形成されることのない、安定した駆動電圧、
特に、安定した放電開始電圧の得られる電子放出用電極
を得ることができる。
【００４１】この場合、電極用物質を仕事関数の小さい
物質で形成して、その表面に保護膜を形成したり、電極
用物質の表面に該電極用物質よりも仕事関数の小さい物
質で形成された電極用物質を積層し、該表面に積層され
た電極用物質の表面に保護膜を形成すると、仕事関数が
小さいことから保護膜を形成していないときには、電極
表面に酸化膜が形成され易いが、電極表面を保護膜で覆
っているので、酸化膜は形成されず、駆動電圧を低くす
ることができるとともに、安定した駆動電圧の得られる
電子放出用電極を得ることができる。
物質で形成して、その表面に保護膜を形成したり、電極
用物質の表面に該電極用物質よりも仕事関数の小さい物
質で形成された電極用物質を積層し、該表面に積層され
た電極用物質の表面に保護膜を形成すると、仕事関数が
小さいことから保護膜を形成していないときには、電極
表面に酸化膜が形成され易いが、電極表面を保護膜で覆
っているので、酸化膜は形成されず、駆動電圧を低くす
ることができるとともに、安定した駆動電圧の得られる
電子放出用電極を得ることができる。
【００４２】また、保護膜を、スパッタ率の高い物質で
形成したり、また、電子放出用電極に印加される電圧に
よるスパッタにより除去可能な厚さに形成すると、保護
膜を電子放出用電極に印加する駆動電圧により、容易に
除去することができ、簡単、かつ安価に駆動電圧の安定
した電子放出用電極を得ることができる。
形成したり、また、電子放出用電極に印加される電圧に
よるスパッタにより除去可能な厚さに形成すると、保護
膜を電子放出用電極に印加する駆動電圧により、容易に
除去することができ、簡単、かつ安価に駆動電圧の安定
した電子放出用電極を得ることができる。
【図１】本発明に係る電子放出用電極の一実施例の正面
図。
図。
【図２】図１の電子放出用電極を適用した本発明に係る
蛍光パネルの正面断面図。
蛍光パネルの正面断面図。
【図３】本発明に係る蛍光パネルの製造方法により製造
し保護膜を除去した蛍光パネルの正面断面図。
し保護膜を除去した蛍光パネルの正面断面図。
【図４】本発明に係る蛍光パネルの製造方法により製造
した蛍光パネルを使用したアクティブマトリックスカラ
ー液晶表示装置の正面断面図。
した蛍光パネルを使用したアクティブマトリックスカラ
ー液晶表示装置の正面断面図。
１ 電子放出用電極 ２ 金属基板 ３ 表面電極 ４ 保護膜 １０ 蛍光パネル １１ 下ガラス板 １２ 上ガラス板 １３ 密閉室
Claims (7)
- 【請求項１】 所定の電極用物質で所定形状に形成され
た電子放出用電極において、 前記電極用物質の表面に酸化膜が形成されるのを防止す
るために、前記電極用物質を真空中で形成した後、該真
空状態を維持したまま前記電極用物質の表面に所定の物
質で保護膜を形成してなることを特徴とする電子放出用
電極。 - 【請求項２】 前記電極用物質は、ランタンヘキサボラ
イトで形成されたことを特徴とする請求項１記載の電子
放出用電極。 - 【請求項３】 前記電極用物質の下面に、該電極用物質
よりも仕事関数の大きい物質で形成された第２の電極用
物質が積層されることを特徴とする請求項１または請求
項２記載の電子放出用電極。 - 【請求項４】 前記保護膜は、銀、金、パラジウムのい
ずれかであることを特徴とする請求項１から請求項３の
いずれかに記載の電子放出用電極。 - 【請求項５】 前記保護膜は、電子放出用電極に駆動電
圧を印加して放電を行うことにより生じるスパッタによ
り除去可能な厚さに形成されたことを特徴とする請求項
１から請求項４のいずれかに記載の電子放出用電極。 - 【請求項６】 所定形状のガラス板により密閉空間が形
成され、その密閉空間内部に不活性ガスの封入された蛍
光パネルにおいて、前記密閉空間内部に配設されている電子放出用電極は電
極用物質及び所定の物質で形成された保護膜を有し、前
記保護膜は、該電極用物質の表面に酸化膜が形成される
のを防止するために、真空中で形成された前記電極用物
質の表面に、該真空状態を維持したまま形成されてなる
ことを特徴とする蛍光パネル。 - 【請求項７】 所定形状のガラス板により密閉空間が形
成され、その密閉空間内に不活性ガスの封入された蛍光
パネルの製造方法において、電極用物質を真空中で形成した後、該電極用物質の表面
に酸化膜が形成されるのを防止するために該真空状態を
維持したまま前記電極用物質の表面に所定の物質で保護
膜を形成する工程と、前記電極用物質及び該保護膜から
なる電子放出用電極を前記密閉空間内部に配設する工程
と、該電子放出用電極に所定の駆動電圧を印加して該保
護膜をスパッタリングして除去する工程と、を有する こ
とを特徴とする蛍光パネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27953492A JP3353347B2 (ja) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | 電子放出用電極、それを用いた蛍光パネル及びその蛍光パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27953492A JP3353347B2 (ja) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | 電子放出用電極、それを用いた蛍光パネル及びその蛍光パネルの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06103965A JPH06103965A (ja) | 1994-04-15 |
| JP3353347B2 true JP3353347B2 (ja) | 2002-12-03 |
Family
ID=17612348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27953492A Expired - Fee Related JP3353347B2 (ja) | 1992-09-22 | 1992-09-22 | 電子放出用電極、それを用いた蛍光パネル及びその蛍光パネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3353347B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008060056A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-03-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 冷陰極蛍光ランプ用電極 |
-
1992
- 1992-09-22 JP JP27953492A patent/JP3353347B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06103965A (ja) | 1994-04-15 |
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