JP3345430B2 - 携帯式電子精密ノギス - Google Patents
携帯式電子精密ノギスInfo
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- JP3345430B2 JP3345430B2 JP54864798A JP54864798A JP3345430B2 JP 3345430 B2 JP3345430 B2 JP 3345430B2 JP 54864798 A JP54864798 A JP 54864798A JP 54864798 A JP54864798 A JP 54864798A JP 3345430 B2 JP3345430 B2 JP 3345430B2
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- magnetoresistive
- scale
- electrodes
- electrode
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/20—Slide gauges
- G01B3/205—Slide gauges provided with a counter for digital indication of the measured dimension
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
- G01D5/2451—Incremental encoders
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は直線寸法を測定するのに使用される携帯式電
子精密ノギス、即ちスライドゲージに関する。特に本発
明は、電子式精密ノギスに関する。
子精密ノギス、即ちスライドゲージに関する。特に本発
明は、電子式精密ノギスに関する。
従前のノギスは競争価格で、よりよい読みを与える電
子ノギスによって徐々に取って代られる傾向にある。今
日一般に使用されている多くの電子ノギスは静電容量セ
ンサーを有している。ノギスシャフト上の電極配列と、
ノギス スライド上の反対側に配置された電極配列との
間に起る容量の変化を、シャフトに沿うスライドの位置
によって情報を供給するように測定する。この情報をス
ライドと通常一体化されたスクリーン上に表示する。こ
の種の回線は、例えばブラウン アンド シャープ テ
ーザ エスエイの欧州特許出願第96810686号に記載して
ある。
子ノギスによって徐々に取って代られる傾向にある。今
日一般に使用されている多くの電子ノギスは静電容量セ
ンサーを有している。ノギスシャフト上の電極配列と、
ノギス スライド上の反対側に配置された電極配列との
間に起る容量の変化を、シャフトに沿うスライドの位置
によって情報を供給するように測定する。この情報をス
ライドと通常一体化されたスクリーン上に表示する。こ
の種の回線は、例えばブラウン アンド シャープ テ
ーザ エスエイの欧州特許出願第96810686号に記載して
ある。
静電容量の測定の原理は、それがすぐれた解決と正確
さとを提供するが故に確立されている一方、他方これら
装置の電気消費が極めて小なるが故に、例えば電池によ
って強化できる。しかし静電容量式のセンサーノギスが
適正に作動するためには、清潔に保持しなければならな
い。しかし湿った環境で、或いは例えば潤滑剤を撒き散
らした或いは埃っぽい環境で作動するよう間違って取扱
はれている。かかる悪条件下にあっては、電子ノギスよ
りも手動ノギスまたは時計型ノギスの方がよい。
さとを提供するが故に確立されている一方、他方これら
装置の電気消費が極めて小なるが故に、例えば電池によ
って強化できる。しかし静電容量式のセンサーノギスが
適正に作動するためには、清潔に保持しなければならな
い。しかし湿った環境で、或いは例えば潤滑剤を撒き散
らした或いは埃っぽい環境で作動するよう間違って取扱
はれている。かかる悪条件下にあっては、電子ノギスよ
りも手動ノギスまたは時計型ノギスの方がよい。
欧州特許第286820号は、帯磁部分を備えたスケールを
包含するノギスについて記述している。このノギスで
は、磁気読み取りヘッドがスライドに取り付けてあり、
このスライドの移動によって生ずる磁界の変化を記録し
ている。しかしながら、このような磁気ヘッドは比較的
高価で、しかも体積が大きなもので、ノギスの小さな寸
法内に収めることが難しい。また、測定の精度は、磁気
ヘッドの精度及びノイスに直接的に依存するとともに、
スケールに対する磁気ヘッドの正確な位置決めにも依存
する。さらに、この装置によりもたらされる分解能は限
られている。
包含するノギスについて記述している。このノギスで
は、磁気読み取りヘッドがスライドに取り付けてあり、
このスライドの移動によって生ずる磁界の変化を記録し
ている。しかしながら、このような磁気ヘッドは比較的
高価で、しかも体積が大きなもので、ノギスの小さな寸
法内に収めることが難しい。また、測定の精度は、磁気
ヘッドの精度及びノイスに直接的に依存するとともに、
スケールに対する磁気ヘッドの正確な位置決めにも依存
する。さらに、この装置によりもたらされる分解能は限
られている。
従って、本発明の目的は、従来装置に比べて改良され
た携帯式電子ノギスを提供することにある。特に、本発
明の目的は、塵埃や潤滑油に対する鋭敏度が低いセンサ
を包含し、百万分の百程度の分解能と百万分の数百程度
の精度、すなわち同様な価格の容量性ノギスにより得ら
れる性能に匹敵する性能を持ち、例えばリチウム電池の
ような簡単な電池によって作動させ得るように電力消費
を充分に低めたノギスを提供することにある。
た携帯式電子ノギスを提供することにある。特に、本発
明の目的は、塵埃や潤滑油に対する鋭敏度が低いセンサ
を包含し、百万分の百程度の分解能と百万分の数百程度
の精度、すなわち同様な価格の容量性ノギスにより得ら
れる性能に匹敵する性能を持ち、例えばリチウム電池の
ような簡単な電池によって作動させ得るように電力消費
を充分に低めたノギスを提供することにある。
本発明によれば、これらの目的は、シャフト（２）に
沿って長手方向に移動させ得るスライド（１）を包含
し、該スライド及び前記シャフトが、それぞれジョー
（10）及び（20）を備え、前記スライドがさらに、前記
ジョー（10、20）間の間隙に依存する情報を電子ディス
プレイ（12）に表示する電子手段（11）を備え、該電子
手段が電池（110）を包含し、 前記シャフト（２）が、磁化周期λを有する磁化され
たスケール（21）を備え、 前記電子手段（11）が、前記スケール（21）に対面し
て配設された、ｎを２以上の数とするとき、ｎ個の磁気
抵抗電極（1121）のアレイからなる単一のセンサ（11
2）を包含し、これら磁気抵抗電極の抵抗の値が、前記
スケール（21）に沿うその長手方向の位置の関数である
ようにし、前記磁気抵抗電極（1121）のアレイが、直列
接続の磁気抵抗電極（1121）の少なくとも数組（Ａから
D'）を包含し、 前記電子手段（11）が、前記磁気抵抗電極（1121）の
抵抗の値から、前記ジョー（10、20）間の間隙に依存す
る情報を決定して、この情報を前記電子ディスプレイ
（12）上に表示するようにする装置（112、113）を更に
備えた携帯式電子精密ノギスにおいて、 前記磁気抵抗電極の組が、少なくとも２つの測定ブリ
ッジを形成するように接続されていること、 前記電子手段（11）が、前記少なくとも２つの測定ブ
リッジの出力における信号を、前記ジョー（10、20）間
の距離を決定するために用いること、および 各組（ＡからD'）の直列接続の磁気抵抗電極（1121）の
数が８以上であること を特徴とする携帯式電子精密ノギスにより達成される。
沿って長手方向に移動させ得るスライド（１）を包含
し、該スライド及び前記シャフトが、それぞれジョー
（10）及び（20）を備え、前記スライドがさらに、前記
ジョー（10、20）間の間隙に依存する情報を電子ディス
プレイ（12）に表示する電子手段（11）を備え、該電子
手段が電池（110）を包含し、 前記シャフト（２）が、磁化周期λを有する磁化され
たスケール（21）を備え、 前記電子手段（11）が、前記スケール（21）に対面し
て配設された、ｎを２以上の数とするとき、ｎ個の磁気
抵抗電極（1121）のアレイからなる単一のセンサ（11
2）を包含し、これら磁気抵抗電極の抵抗の値が、前記
スケール（21）に沿うその長手方向の位置の関数である
ようにし、前記磁気抵抗電極（1121）のアレイが、直列
接続の磁気抵抗電極（1121）の少なくとも数組（Ａから
D'）を包含し、 前記電子手段（11）が、前記磁気抵抗電極（1121）の
抵抗の値から、前記ジョー（10、20）間の間隙に依存す
る情報を決定して、この情報を前記電子ディスプレイ
（12）上に表示するようにする装置（112、113）を更に
備えた携帯式電子精密ノギスにおいて、 前記磁気抵抗電極の組が、少なくとも２つの測定ブリ
ッジを形成するように接続されていること、 前記電子手段（11）が、前記少なくとも２つの測定ブ
リッジの出力における信号を、前記ジョー（10、20）間
の距離を決定するために用いること、および 各組（ＡからD'）の直列接続の磁気抵抗電極（1121）の
数が８以上であること を特徴とする携帯式電子精密ノギスにより達成される。
直線寸法または角度寸法を測定する磁気抵抗電極を備
えたセンサは、それ自体公知である。しかし、この公知
のセンサの磁気抵抗電極の抵抗は、電池電源とするに
は、余りにも弱い。従って、このようなセンサを、例え
ば携帯式精密ノギスのような高電力消費の電気的自己出
力型装置に用いることは、今までもくろまれたことがな
かった。
えたセンサは、それ自体公知である。しかし、この公知
のセンサの磁気抵抗電極の抵抗は、電池電源とするに
は、余りにも弱い。従って、このようなセンサを、例え
ば携帯式精密ノギスのような高電力消費の電気的自己出
力型装置に用いることは、今までもくろまれたことがな
かった。
磁気抵抗材料の特性を利用したノギスは、既に例えば
米国特許第5029402号明細書、米国特許第4226024号明細
書及び米国特許第5174041号明細書に記載され公知であ
る。これらの明細書には、それぞれ磁気抵抗電極を包含
する２つの各別なセンサを備えたノギスが記載されてい
る。これら２つのセンサ間の距離は臨界的なもので、測
定の達成精度を決定する。２つだけの磁気抵抗電極を用
いることで適用される計測の原理は、精密ノギス、すな
わち長さを0.1mm以下の分解能及び精度をもって測定す
ることができるノギス構造を可能とするものではない。
この理由から、この形式のノギスを用いることは、肉片
の測定とか樹木の幹の直径の測定とかの要求精度がそん
なに高くない特定の用途に運命付けられている。従っ
て、これらの明細書の教示を、非常に異なった技術領域
の精密測定に転置することはできない。
米国特許第5029402号明細書、米国特許第4226024号明細
書及び米国特許第5174041号明細書に記載され公知であ
る。これらの明細書には、それぞれ磁気抵抗電極を包含
する２つの各別なセンサを備えたノギスが記載されてい
る。これら２つのセンサ間の距離は臨界的なもので、測
定の達成精度を決定する。２つだけの磁気抵抗電極を用
いることで適用される計測の原理は、精密ノギス、すな
わち長さを0.1mm以下の分解能及び精度をもって測定す
ることができるノギス構造を可能とするものではない。
この理由から、この形式のノギスを用いることは、肉片
の測定とか樹木の幹の直径の測定とかの要求精度がそん
なに高くない特定の用途に運命付けられている。従っ
て、これらの明細書の教示を、非常に異なった技術領域
の精密測定に転置することはできない。
本発明は、以下の図面に例示した実施形態についての
記載を読むことにより、さらによく理解されよう。
記載を読むことにより、さらによく理解されよう。
図１は、本発明による携帯式電子ノギスの展開図であ
る。
る。
図２は、本発明のノギスに採用された電子手段の拡大
部分図である。
部分図である。
図３は、本発明によるノギスのスケールの上方の磁気
抵抗センサの斜視図である。
抵抗センサの斜視図である。
図４は、測定ブリッジを構成するようにした磁気抵抗
電極の接続の第１の実施例を示す電気回路図である。
電極の接続の第１の実施例を示す電気回路図である。
図１は、本発明による携帯式電子ノギスの展開図であ
る。このノギスの構造は、例えば本出願人の特許出願EP
719999に記載されて知られており、その内容をここに
参照する。この特許出願明細書では、シャフトに沿うス
ライドの案内手段とジョーを制御する手段との可能で有
利な実施例を述べている。
る。このノギスの構造は、例えば本出願人の特許出願EP
719999に記載されて知られており、その内容をここに
参照する。この特許出願明細書では、シャフトに沿うス
ライドの案内手段とジョーを制御する手段との可能で有
利な実施例を述べている。
本発明のノギスは、シャフト２と、このシャフトに沿
って長手方向に移動できるスライド１とを包含してい
る。シャフトは、ノギスの使用目的に従って、異なった
長さのものとすることができる。典型的な長さは、例え
ば15、20または40cmである。スライドには可動ジョー10
が設けられており、シャフトには固定ジョー20が設けら
れている。例えば液晶ディスプレイのようなディスプレ
イ12が、２つのジョー間の間隙に依存する情報を表示す
る。例えばディスプレイ12は、５個の数字を示すものと
することができ、ピリオドの後の２つの数字は２つのジ
ョー10及び20の間のmmの距離を示す。
って長手方向に移動できるスライド１とを包含してい
る。シャフトは、ノギスの使用目的に従って、異なった
長さのものとすることができる。典型的な長さは、例え
ば15、20または40cmである。スライドには可動ジョー10
が設けられており、シャフトには固定ジョー20が設けら
れている。例えば液晶ディスプレイのようなディスプレ
イ12が、２つのジョー間の間隙に依存する情報を表示す
る。例えばディスプレイ12は、５個の数字を示すものと
することができ、ピリオドの後の２つの数字は２つのジ
ョー10及び20の間のmmの距離を示す。
磁化されたスケール21が、例えば接着剤のような任意
の公知固定手段によりシャフトに取り付けられている。
このスケールは、好適にはシャフト２の全長に亘って延
在するものとする。別の実施例としては、スケールをシ
ャフト２の一部分だけに長手方向に延在させ、この部分
の上を、センサ112（後述する）を移動させることがで
きるようにする。
の公知固定手段によりシャフトに取り付けられている。
このスケールは、好適にはシャフト２の全長に亘って延
在するものとする。別の実施例としては、スケールをシ
ャフト２の一部分だけに長手方向に延在させ、この部分
の上を、センサ112（後述する）を移動させることがで
きるようにする。
シャフト２及びスライド１は、好適には、例えば経済
的な例としてはアルミニウムで、他のより丈夫な例とし
てはスチールで作られる。スケール21は、例えば軟鉄ま
たは高磁気保持力を有するフェライト層を塗布したガラ
スの支持体のような永久磁石材料製のものとすることが
必要である。このスケールは、図２及び図３に見られる
ように、磁化周期λをもって磁化されている。図に例示
されている実施態様では、この周期磁化は、基本的に水
平すなわちスケール21の長手方向軸線に沿っている。垂
直の周期磁化すなわちスケールの軸線に垂直な周期磁化
を有するスケールも作ることができ、これは、磁気ドメ
インが寄生磁界によって移動させられにくい、隣接磁気
ドメインの安定性がよくなるという利点を提供するもの
である。
的な例としてはアルミニウムで、他のより丈夫な例とし
てはスチールで作られる。スケール21は、例えば軟鉄ま
たは高磁気保持力を有するフェライト層を塗布したガラ
スの支持体のような永久磁石材料製のものとすることが
必要である。このスケールは、図２及び図３に見られる
ように、磁化周期λをもって磁化されている。図に例示
されている実施態様では、この周期磁化は、基本的に水
平すなわちスケール21の長手方向軸線に沿っている。垂
直の周期磁化すなわちスケールの軸線に垂直な周期磁化
を有するスケールも作ることができ、これは、磁気ドメ
インが寄生磁界によって移動させられにくい、隣接磁気
ドメインの安定性がよくなるという利点を提供するもの
である。
この好適な実施形態におけるシャフトとスケールは２
つの各別の部片から組み立てられているが、シャフトが
好適な材料で作られていると、このシャフトを直接に磁
化して、スケールとシャフトとを単一の要素に一体化す
ることも可能であることを注目すべきである。
つの各別の部片から組み立てられているが、シャフトが
好適な材料で作られていると、このシャフトを直接に磁
化して、スケールとシャフトとを単一の要素に一体化す
ることも可能であることを注目すべきである。
スケール21は、非磁性材料22の保護層で被覆されてい
る。この保護被覆は、例えば使用者がディスプレイ12を
読み取ることなしに測定を直接的に行うことを可能とす
るように、マーキング220を付けた自己接着性合成樹脂
シートにより達成することができる。
る。この保護被覆は、例えば使用者がディスプレイ12を
読み取ることなしに測定を直接的に行うことを可能とす
るように、マーキング220を付けた自己接着性合成樹脂
シートにより達成することができる。
この実施形態では、スライド１は、３つの側面、すな
わち下面及び両側面においてシャフト２を囲んでいる。
プリント配線回路板115が、スライドの頂部に直接に、
好適にはねじにより取り付けられている。スライドとプ
リント配線回路板115との整合は、スケール21とプリン
ト配線回路板115との間の間隔が優れた精度をもって管
理され得るに充分な精密さである。必要に応じて、この
距離を調整するために適宜な手段を設けることができ
る。
わち下面及び両側面においてシャフト２を囲んでいる。
プリント配線回路板115が、スライドの頂部に直接に、
好適にはねじにより取り付けられている。スライドとプ
リント配線回路板115との整合は、スケール21とプリン
ト配線回路板115との間の間隔が優れた精度をもって管
理され得るに充分な精密さである。必要に応じて、この
距離を調整するために適宜な手段を設けることができ
る。
符号11により示す電子手段は、ノギスのジョー10及び
20間の間隙に依存して、電子液晶ディスプレイ12上に情
報を表示することを可能にする。この電子手段は、プリ
ント回路板115上に直接組み込まれている。これは、図
３に略示されている単一の磁気抵抗センサ112を主とし
て包含している。磁気抵抗センサ112は、磁化されたス
ケール21に対向してプリント回路板115の下に組み込ま
れている。センサ112は、各群1120の多くの磁気抵抗電
極1121（図２）のアレイを包含している。このアレイの
異なった抵抗の値は、スライド１のシャフト２上の位置
の周期関数である。エポキシ被覆116は、磁気抵抗セン
サ112を保護して、磁気抵抗路1121がシャフト上の塵埃
粒子によって引っかかれるのを防いでいる。電子手段11
はさらに、例えば電池110のような自己出力型電気供給
手段を包含している。電池110は、好適には偏平なリチ
ュウム電池により構成させ、これにより装置の数時間に
及ぶ自律制御作動を保証させなければならない。電気供
給手段はまた、スライドのハウジング上に設けた光電池
により構成させることもできる。オプションとして、電
気供給手段はまた、スケール21の反対側でプリント配線
回路板115の下にはめ込んだ直流発電機111をも包含す
る。この直流発電機111は、例えば誘導巻線型要素を包
含する。スライド１がスケールに沿って移動した時、誘
導巻線型要素を横切る可変磁界が、これらの要素に電流
を発生し、この電流を、蓄電器または再充電可能な電池
110の再充電に用いるのである。ASIC型集積回路113は、
センサ112上の磁気抵抗電極の抵抗値から、ジョー10及
び20間の間隙に依存する情報を決定し、ジョー間の距離
を表すようにディスプレイ12を制御する。電子手段11は
また、好適にはセンサ112の反対側のプリント配線回路
板115の上面に装架した永久磁石114をオプションとして
包含する。この永久磁石のおかげで、センサ112の磁気
抵抗電極1121は、所要の特性を与えるように分極化され
る。
20間の間隙に依存して、電子液晶ディスプレイ12上に情
報を表示することを可能にする。この電子手段は、プリ
ント回路板115上に直接組み込まれている。これは、図
３に略示されている単一の磁気抵抗センサ112を主とし
て包含している。磁気抵抗センサ112は、磁化されたス
ケール21に対向してプリント回路板115の下に組み込ま
れている。センサ112は、各群1120の多くの磁気抵抗電
極1121（図２）のアレイを包含している。このアレイの
異なった抵抗の値は、スライド１のシャフト２上の位置
の周期関数である。エポキシ被覆116は、磁気抵抗セン
サ112を保護して、磁気抵抗路1121がシャフト上の塵埃
粒子によって引っかかれるのを防いでいる。電子手段11
はさらに、例えば電池110のような自己出力型電気供給
手段を包含している。電池110は、好適には偏平なリチ
ュウム電池により構成させ、これにより装置の数時間に
及ぶ自律制御作動を保証させなければならない。電気供
給手段はまた、スライドのハウジング上に設けた光電池
により構成させることもできる。オプションとして、電
気供給手段はまた、スケール21の反対側でプリント配線
回路板115の下にはめ込んだ直流発電機111をも包含す
る。この直流発電機111は、例えば誘導巻線型要素を包
含する。スライド１がスケールに沿って移動した時、誘
導巻線型要素を横切る可変磁界が、これらの要素に電流
を発生し、この電流を、蓄電器または再充電可能な電池
110の再充電に用いるのである。ASIC型集積回路113は、
センサ112上の磁気抵抗電極の抵抗値から、ジョー10及
び20間の間隙に依存する情報を決定し、ジョー間の距離
を表すようにディスプレイ12を制御する。電子手段11は
また、好適にはセンサ112の反対側のプリント配線回路
板115の上面に装架した永久磁石114をオプションとして
包含する。この永久磁石のおかげで、センサ112の磁気
抵抗電極1121は、所要の特性を与えるように分極化され
る。
電子手段111は、ハウジング13、好適には合成の衝撃
防止材料製のハウジングにより保護されている。このハ
ウジングの形状は、人間工学的な形状であり、スライド
を左右両方向に容易に動かせるようにしている。このた
め、ハウジング13は、突出したノンスリップ部分130を
備えており、このノンスリップ部分のおかげで、スライ
ドが非常に容易に操作することができる。ハウジング13
に穿設した開口131は、ディスプレイ12を見ることを可
能としている。スイッチ132は、例えばノギスの使用開
始、またはリセット、連続する計測値の加算ないしは平
均などのような作動を指令する。ハウジングは、取り外
したり、電池110の交換のために少なくとも部分的に開
いたりすることができる。オプションとして備える光電
池コネクタ133は、ノギス１と例えばプリンタ、パソコ
ン、または機械のような外部装置との間のインターフェ
イスとしてのものである。
防止材料製のハウジングにより保護されている。このハ
ウジングの形状は、人間工学的な形状であり、スライド
を左右両方向に容易に動かせるようにしている。このた
め、ハウジング13は、突出したノンスリップ部分130を
備えており、このノンスリップ部分のおかげで、スライ
ドが非常に容易に操作することができる。ハウジング13
に穿設した開口131は、ディスプレイ12を見ることを可
能としている。スイッチ132は、例えばノギスの使用開
始、またはリセット、連続する計測値の加算ないしは平
均などのような作動を指令する。ハウジングは、取り外
したり、電池110の交換のために少なくとも部分的に開
いたりすることができる。オプションとして備える光電
池コネクタ133は、ノギス１と例えばプリンタ、パソコ
ン、または機械のような外部装置との間のインターフェ
イスとしてのものである。
磁気抵抗センサ112は、図３に略図的に示されている
多数の磁気抵抗電極1121を包含する。磁気抵抗電極1121
は、平行電極のアレイとして配置されている。これらの
電極の長さは、0.1mmから10mmの間の長さのもので、好
適には、丁度チップ112の幅以下のものである。例え
ば、センサ112の幅が1.4mmであるとすると、磁気抵抗電
極の長さは、例えば1mm近くに設定される。電極の幅
は、極端に薄く、現在のセンサ製造技術が許す限り、好
適には40ミクロン以下、例えば５ミクロンのような薄さ
とする。その厚さは、100nm以下、好適には50nm以下で
ある。このような寸法とすることにより、高抵抗を有す
る集積電極を形成することが可能となり、従来のセンサ
の電力消費量よりも電力消費量を減少させることがで
き、これにより、簡単な電池110により給電することが
可能となる。このような寸法はまた、センサの電子回路
に過度の困難を生じさせることなく、電極の抵抗変化を
測定するに充分なスケール磁界の感度を得ることを可能
とする。
多数の磁気抵抗電極1121を包含する。磁気抵抗電極1121
は、平行電極のアレイとして配置されている。これらの
電極の長さは、0.1mmから10mmの間の長さのもので、好
適には、丁度チップ112の幅以下のものである。例え
ば、センサ112の幅が1.4mmであるとすると、磁気抵抗電
極の長さは、例えば1mm近くに設定される。電極の幅
は、極端に薄く、現在のセンサ製造技術が許す限り、好
適には40ミクロン以下、例えば５ミクロンのような薄さ
とする。その厚さは、100nm以下、好適には50nm以下で
ある。このような寸法とすることにより、高抵抗を有す
る集積電極を形成することが可能となり、従来のセンサ
の電力消費量よりも電力消費量を減少させることがで
き、これにより、簡単な電池110により給電することが
可能となる。このような寸法はまた、センサの電子回路
に過度の困難を生じさせることなく、電極の抵抗変化を
測定するに充分なスケール磁界の感度を得ることを可能
とする。
様々な磁気抵抗電極1121が、センサ112に長手方向に
並べれられており、スケール２によって発生する周期λ
の磁界Hx（ｘ）に関して様々な位相位置を占める。スケ
ール２から充分な距離ａでは、磁界は、大略ｘの正弦関
数である。各磁気抵抗電極1121上のスケール21で発生す
る磁界は、従ってこの電極の長手方向位置の正弦関数で
ある。各電極1121の抵抗は、スライド１がシャフトに沿
って移動する時、正弦波として展開する。集積回路113
は、各種抵抗1121の値からスライドの位置を決定して、
この情報をディスプレイ112上に表示する。
並べれられており、スケール２によって発生する周期λ
の磁界Hx（ｘ）に関して様々な位相位置を占める。スケ
ール２から充分な距離ａでは、磁界は、大略ｘの正弦関
数である。各磁気抵抗電極1121上のスケール21で発生す
る磁界は、従ってこの電極の長手方向位置の正弦関数で
ある。各電極1121の抵抗は、スライド１がシャフトに沿
って移動する時、正弦波として展開する。集積回路113
は、各種抵抗1121の値からスライドの位置を決定して、
この情報をディスプレイ112上に表示する。
図４は、磁気抵抗電極1121の好適な接続方式を略図的
に例示している。磁気抵抗電極は、この例では２つの測
定ブリッジ（ホイートストン ブリッジ）を形成するよ
うに接続されている。各ブリッジの対応する電極は、90
度すなわちλ/4だけ位相がずれている。各ブリッジは、
４つの磁気抵抗電極ABCD及びA'B'C'D'（または後述する
ように、好適には４組の磁気抵抗電極）からなる。電極
または１組の電極Ａ、A'は、電極または１組の電極Ｃ、
C'に対して180度だけ位相がずれている。同様に、電極
または１組の電極Ｂ、B'は、電極または１組の電極Ｄ、
D'に対して180度だけ位相がずれている。
に例示している。磁気抵抗電極は、この例では２つの測
定ブリッジ（ホイートストン ブリッジ）を形成するよ
うに接続されている。各ブリッジの対応する電極は、90
度すなわちλ/4だけ位相がずれている。各ブリッジは、
４つの磁気抵抗電極ABCD及びA'B'C'D'（または後述する
ように、好適には４組の磁気抵抗電極）からなる。電極
または１組の電極Ａ、A'は、電極または１組の電極Ｃ、
C'に対して180度だけ位相がずれている。同様に、電極
または１組の電極Ｂ、B'は、電極または１組の電極Ｄ、
D'に対して180度だけ位相がずれている。
電極Ａ、A'、Ｂ、B'は、電極Ｂ、B'、Ｄ、D'と同じ位
相を占めている。しかしながら、各対AB、A'B'、CD、C'
D'の磁気抵抗電極は、例えば＋45度及び−45度の反対す
る方向の“床屋の看板柱”構造を有している。同形の磁
界Hxは、＋45度の方向を向いた床屋看板柱構造を備えた
磁気抵抗電極に、−45度の方向を向いた床屋看板柱構造
の磁気抵抗電極で生じる抵抗変化とは反対の抵抗Δｒの
変化を生じる。この結果、磁気抵抗電極における反対方
向の床屋看板柱構造は、180度だけ位相がずれたのと同
じ効果を有する。床屋看板柱構造を用いることは、磁界
Hxにより各磁気抵抗電極1121の生じた抵抗Δｒにおける
変化が制御され得ることを保証する。異なった方向の床
屋看板柱構造、例えば同じセンサに＋45度と−45度とに
向いた構造を用いることにより、電極配置に付加的な自
由度を与え、その密度を増大すること、及び幾何学的配
置のエラーのよりよい補償を得ることを可能とする。
相を占めている。しかしながら、各対AB、A'B'、CD、C'
D'の磁気抵抗電極は、例えば＋45度及び−45度の反対す
る方向の“床屋の看板柱”構造を有している。同形の磁
界Hxは、＋45度の方向を向いた床屋看板柱構造を備えた
磁気抵抗電極に、−45度の方向を向いた床屋看板柱構造
の磁気抵抗電極で生じる抵抗変化とは反対の抵抗Δｒの
変化を生じる。この結果、磁気抵抗電極における反対方
向の床屋看板柱構造は、180度だけ位相がずれたのと同
じ効果を有する。床屋看板柱構造を用いることは、磁界
Hxにより各磁気抵抗電極1121の生じた抵抗Δｒにおける
変化が制御され得ることを保証する。異なった方向の床
屋看板柱構造、例えば同じセンサに＋45度と−45度とに
向いた構造を用いることにより、電極配置に付加的な自
由度を与え、その密度を増大すること、及び幾何学的配
置のエラーのよりよい補償を得ることを可能とする。
２つのブリッジは、電圧UP及びUNの間で給電される。
ブリッジ出力で受けられた信号は、それぞれ点Ｃ及びC'
間の点Ｓ及びS'間で集められる。出力CC'で受けた信号
は、出力SS'で受けた信号に対して90度だけ位相がずれ
ている。これらの測定ブリッジを用いることにより、例
えばスケールとセンサとの間の間隔に由来するエラーを
補償することが可能であり、このようにして、前述の形
式の古典的なノギスで見い出されるような単純なガイド
機構を用いてさえも、10ミクロン以下、５ミクロン程度
の測定の正確さを構成することが可能となる。
ブリッジ出力で受けられた信号は、それぞれ点Ｃ及びC'
間の点Ｓ及びS'間で集められる。出力CC'で受けた信号
は、出力SS'で受けた信号に対して90度だけ位相がずれ
ている。これらの測定ブリッジを用いることにより、例
えばスケールとセンサとの間の間隔に由来するエラーを
補償することが可能であり、このようにして、前述の形
式の古典的なノギスで見い出されるような単純なガイド
機構を用いてさえも、10ミクロン以下、５ミクロン程度
の測定の正確さを構成することが可能となる。
センサ112はさらに、図示してない少なくとも１つの
補償抵抗を包含している。この補償抵抗の抵抗値は、磁
界が印加されていない時、前記測定ブリッジを平衡させ
るように、製造過程においてレーザーにより調節され得
る。この抵抗は、測定ブリッジを更正することを可能と
している。
補償抵抗を包含している。この補償抵抗の抵抗値は、磁
界が印加されていない時、前記測定ブリッジを平衡させ
るように、製造過程においてレーザーにより調節され得
る。この抵抗は、測定ブリッジを更正することを可能と
している。
センサの電力消費をさらに減少させるために、電極の
組ＡからD'は、好適には直列接続のいくつかの磁気抵抗
電極1121により構成させる。組ごとの磁気抵抗電極の数
は、好適には８以上であるが、これはチップ112の寸法
によってのみ制約される。本発明の１実施形態において
は、組当たりの磁気抵抗電極の数は72である。それぞれ
72個の電極４組で構成される２つの測定ブリッジを備え
たこの非限定的な例においては、センサ112上の磁気抵
抗電極1121の総数は、576個である。従って、各組の抵
抗及び点UP及びUN間の各測定ブリッジABCD及びA'B'C'D'
の抵抗は、10KΩ以上、好適には50KΩ以上で、限られた
容量の単一のリチウム電池により、数時間はこのノギス
に電力を供給することを可能にする。
組ＡからD'は、好適には直列接続のいくつかの磁気抵抗
電極1121により構成させる。組ごとの磁気抵抗電極の数
は、好適には８以上であるが、これはチップ112の寸法
によってのみ制約される。本発明の１実施形態において
は、組当たりの磁気抵抗電極の数は72である。それぞれ
72個の電極４組で構成される２つの測定ブリッジを備え
たこの非限定的な例においては、センサ112上の磁気抵
抗電極1121の総数は、576個である。従って、各組の抵
抗及び点UP及びUN間の各測定ブリッジABCD及びA'B'C'D'
の抵抗は、10KΩ以上、好適には50KΩ以上で、限られた
容量の単一のリチウム電池により、数時間はこのノギス
に電力を供給することを可能にする。
各組を構成する電極は、すべて同じ位相位置、すなわ
ち周期λの距離にある位置を占めることができる。第１
の好適な実施例においては、各組の電極は、近接した位
相位置、例えばｋを全数、ｗを各組の電極の広がりを示
すパラメータとすると、ｋλ−w/2とｋλ＋w/2との間に
拡がる位置を占めるように広がる。１つの例では、ｗは
λ/4に等しい。同じ組でｗだけ広がった連続する電極の
ユニットは群と呼ばれ、図３に符号1120により示されて
いる。この形状によれば、厚さｗの間隔に広がった電極
の抵抗の平均である組をなす電極ＡからD'の抵抗の結果
値を達成することが可能である。第１の実施例と組み合
わせることができる第２の好適な実施例では、各組は、
180度位相がずれているが反対方向の床屋看板柱構造を
備えた電極を包含している。
ち周期λの距離にある位置を占めることができる。第１
の好適な実施例においては、各組の電極は、近接した位
相位置、例えばｋを全数、ｗを各組の電極の広がりを示
すパラメータとすると、ｋλ−w/2とｋλ＋w/2との間に
拡がる位置を占めるように広がる。１つの例では、ｗは
λ/4に等しい。同じ組でｗだけ広がった連続する電極の
ユニットは群と呼ばれ、図３に符号1120により示されて
いる。この形状によれば、厚さｗの間隔に広がった電極
の抵抗の平均である組をなす電極ＡからD'の抵抗の結果
値を達成することが可能である。第１の実施例と組み合
わせることができる第２の好適な実施例では、各組は、
180度位相がずれているが反対方向の床屋看板柱構造を
備えた電極を包含している。
このシステムの幾何学的エラーの最適補償を達成する
ために、磁気抵抗センサ112の電極1121は、周期λをｋ
だけ、好適には周期λを少なくとも２つだけ、例えば６
つだけ広げられている。この上限は、チップ112の寸法
によってのみ決定される。
ために、磁気抵抗センサ112の電極1121は、周期λをｋ
だけ、好適には周期λを少なくとも２つだけ、例えば６
つだけ広げられている。この上限は、チップ112の寸法
によってのみ決定される。
スケールの表面における磁界ＨOは、好適には10ない
し100kA/mの間隔に含まれ、次式に示す割合に従って、
表面の距離ａに指数関数的に減少する。
し100kA/mの間隔に含まれ、次式に示す割合に従って、
表面の距離ａに指数関数的に減少する。
Hx（ａ）＝ＨO・ｅ−２πa/λ 携帯式のノギスでは、スケール21と磁気抵抗電極1121
との間の距離を200ミクロン以下とすることは、装置の
コストをかなり高めることなく達成することはできな
い。かくして、選ばれた距離は、好適には200ミクロン
と700ミクロンの間に含まれるべきであり、この範囲を
逸脱すると、距離ａの増加はもはや重要な経済的な利点
を生まない。本発明の１実施例では、選ばれた距離ａ
は、500ミクロン、すなわち磁気抵抗センサの通例の性
能よりもかなり大きい値である。
との間の距離を200ミクロン以下とすることは、装置の
コストをかなり高めることなく達成することはできな
い。かくして、選ばれた距離は、好適には200ミクロン
と700ミクロンの間に含まれるべきであり、この範囲を
逸脱すると、距離ａの増加はもはや重要な経済的な利点
を生まない。本発明の１実施例では、選ばれた距離ａ
は、500ミクロン、すなわち磁気抵抗センサの通例の性
能よりもかなり大きい値である。
上述の割合は、スケールの距離ａにおける磁界Hx
（ｘ）が、スケールの周期λとともに急速に増大するこ
とを示す。ａ＝λ/2では、磁界Ｈ（ａ）は既に、スケー
ルの表面における磁界ＨOの値のわずか４％を示す。そ
れゆえ、λ＝2aを越えて行くことは困難である。さもな
ければ、結果としてできる磁界は、磁気抵抗電極の抵抗
に感知できる程度の影響を及ぼすにはあまりにも弱い。
しかしながら、Hx（ｘ、ａ）のｎ＝１とは異なる高調波
は、λが減少すると減少し、正確さの増大を保証する。
試験によれば、最適の歩み寄りが、λを2a近く、好適に
は1.6aないし2.2aの間とすることにより経験的に達成さ
れる。所要の正確さは、例えばλを0.5から1.5mm、好適
には1mmの値とした時に達成することができることが試
験により示された。
（ｘ）が、スケールの周期λとともに急速に増大するこ
とを示す。ａ＝λ/2では、磁界Ｈ（ａ）は既に、スケー
ルの表面における磁界ＨOの値のわずか４％を示す。そ
れゆえ、λ＝2aを越えて行くことは困難である。さもな
ければ、結果としてできる磁界は、磁気抵抗電極の抵抗
に感知できる程度の影響を及ぼすにはあまりにも弱い。
しかしながら、Hx（ｘ、ａ）のｎ＝１とは異なる高調波
は、λが減少すると減少し、正確さの増大を保証する。
試験によれば、最適の歩み寄りが、λを2a近く、好適に
は1.6aないし2.2aの間とすることにより経験的に達成さ
れる。所要の正確さは、例えばλを0.5から1.5mm、好適
には1mmの値とした時に達成することができることが試
験により示された。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−14502（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−318917（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−264818（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−147915（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 7/02
Claims (23)
- 【請求項１】シャフト（２）に沿って長手方向に移動さ
せ得るスライド（１）を包含し、該スライド及び前記シ
ャフトが、それぞれジョー（10）及び（20）を備え、前
記スライドがさらに、前記ジョー（10、20）間の間隙に
依存する情報を電子ディスプレイ（12）に表示する電子
手段（11）を備え、該電子手段が電池（110）を包含
し、 前記シャフト（２）が、磁化周期λを有する磁化された
スケール（21）を備え、 前記電子手段（11）が、前記スケール（21）に対面して
配設された、ｎを２以上の数とするとき、ｎ個の磁気抵
抗電極（1121）のアレイからなる単一のセンサ（112）
を包含し、これら磁気抵抗電極の抵抗の値が、前記スケ
ール（21）に沿うその長手方向の位置の関数であるよう
にし、前記磁気抵抗電極（1121）のアレイが、直列接続
の磁気抵抗電極（1121）の少なくとも数組（ＡからD'）
を包含し、 前記電子手段（11）が、前記磁気抵抗電極（1121）の抵
抗の値から、前記ジョー（10、20）間の間隙に依存する
情報を決定して、この情報を前記電子ディスプレイ（1
2）上に表示するようにする装置（112、113）を更に備
えた携帯式電子精密ノギスにおいて、 前記磁気抵抗電極の組が、少なくとも２つの測定ブリッ
ジを形成するように接続されていること、 前記電子手段（11）が、前記少なくとも２つの測定ブリ
ッジの出力における信号を、前記ジョー（10、20）間の
距離を決定するために用いること、および 各組（ＡからD'）の直列接続の磁気抵抗電極（1121）の
数が８以上であること を特徴とする携帯式電子精密ノギス。 - 【請求項２】請求項１記載のノギスにおいて、前記磁気
抵抗電極の厚さが100nm以下で、長さが0.1から10mmの間
に包含され、幅が40ミクロン以下であることを特徴とす
るノギス。 - 【請求項３】請求項２記載のノギスにおいて、前記磁気
抵抗電極（1121）の寸法、その材質、及び組当たりの数
が、これら磁気抵抗電極の各組（ＡからD'）の結果的な
抵抗が10kΩ以上であるように選定したことを特徴とす
るノギス。 - 【請求項４】請求項３記載のノギスにおいて、前記磁気
抵抗電極（1121）の寸法、その材質、及び組当たりの数
が、これら磁気抵抗電極の各組の結果的な抵抗が50kΩ
以上であるように選定したことを特徴とするノギス。 - 【請求項５】請求項１記載のノギスにおいて、前記磁気
抵抗電極（1121）が、前記スケールの磁化周期λの少な
くともｋ＝２周期分に亘って長手方向にひろがているこ
とを特徴とするノギス。 - 【請求項６】請求項５記載のノギスにおいて、前記磁気
抵抗電極（1121）の前記組（ＡからD'）が、ｋλ−w/2
とｋλ＋w/2との間に広がっている位置を占めている電
極から構成されていることを特徴とするノギス。 - 【請求項７】請求項１記載のノギスにおいて、第２の測
定ブリッジを形成する磁気抵抗電極（1121）が、第１の
測定ブリッジを形成する磁気抵抗電極に対してλ/4だけ
位相がずれており、これら２つの測定ブリッジの出力に
おける信号（Ｓ、S';C、C'）が90度だけ位相がずれてい
ることを特徴とするノギス。 - 【請求項８】請求項７記載のノギスにおいて、前記磁気
抵抗電極（1121）が、磁気抵抗電極のｘ個の群（1120）
を構成するように長手方向に広がっており、これらの群
が、λ/4だけ間隔を離しており、直列接続の同じ組（Ａ
からD'）の少なくとも２つの磁気抵抗電極（1121）を包
含していることを特徴とするノギス。 - 【請求項９】請求項１ないし８のいずれか１つに記載の
ノギスにおいて、前記磁化されたスケール（21）と前記
磁気抵抗電極（1121）との間の距離（ａ）が、0.2mmと
0.7mmとの間にあること、及び前記スケールの周期が、
0.5mmと1.5mmとの間であることを特徴とするノギス。 - 【請求項１０】請求項９記載のノギスにおいて、前記磁
気抵抗電極が、前記スケールの磁化周期λの少なくとも
ｋ＝２周期分に亘って長手方向にひろがていることを特
徴とするノギス。 - 【請求項１１】請求項10記載のノギスにおいて、前記磁
気抵抗電極が、少なくとも3mmに亘って長手方向に広が
っていることを特徴とするノギス。 - 【請求項１２】請求項１に記載のノギスにおいて、少な
くとも若干の磁気抵抗電極（1121）が、床屋看板構造を
備えていることを特徴とするノギス。 - 【請求項１３】請求項12記載のノギスにおいて、前記磁
気抵抗電極（1121）が、いくつかの異なった向きの床屋
看板構造を備えていることを特徴とするノギス。 - 【請求項１４】請求項１記載のノギスにおいて、前記セ
ンサ（112）が、前記測定ブリッジの少なくとも１つの
補償抵抗をさらに包含し、その抵抗値が、磁界が印加さ
れていない場合に前記測定ブリッジを平衡させるよう
に、製造過程においてレーザーにより調節され得るよう
にしたことを特徴とするノギス。 - 【請求項１５】請求項１ないし14のいずれか１つに記載
のノギスにおいて、前記電子手段（11）が、プリント配
線回路板（115）に配置されていること、及び前記磁気
センサ（112）が、前記スケール（21）に対面する前記
プリント配線回路板（115）の面に配設されていること
を特徴とするノギス。 - 【請求項１６】請求項15記載のノギスにおいて、前記電
子手段（11）が、前記磁気抵抗電極（1121）に近接して
前記スケール（21）に対面する前記プリント配線回路板
の面に装架され、前記磁気抵抗電極（1121）に由来する
磁界の方向及び振幅を変更するようにした永久磁石（11
4）を包含することを特徴とするノギス。 - 【請求項１７】請求項16記載のノギスにおいて、前記磁
気抵抗センサ（112）が、前記スケール（21）の反対側
に合成保護層（116）を塗布されていることを特徴とす
るノギス。 - 【請求項１８】請求項16記載のノギスにおいて、前記ス
ライド（１）が金属製であること、前記プリント配線回
路板（115）が前記スライドに直接に貼付されており、
これにより前記磁気抵抗センサ（112）の磁気抵抗電極
が、前記スケール（21）の所定距離（ａ）にあること、
及び前記スライドがさらに、前記プリント配線回路板を
覆う合成材料の衝撃防護皮膜（117）を備えており、 開口が、電子ディスプレイをはめるために前記衝撃防護
皮膜（117）を貫通して設けられていることを特徴とす
るノギス。 - 【請求項１９】請求項１ないし18のいずれか１つに記載
のノギスにおいて、前記電子手段（11）がさらに、電池
（110）と直流発生器（111）とを包含し、前記磁化され
たスケール（21）に沿う前記スライドの移動が、前記直
流発生器（111）に直流を発生させ、この直流が前記電
池（110）を再充電するのに用いられ、前記電池が前記
電子手段（11）に給電するようにしたことを特徴とする
ノギス。 - 【請求項２０】請求項１ないし19のいずれか１つに記載
のノギスにおいて、前記シャフト（２）及び前記スライ
イド（１）がアルミニウム製のもので、前記スケールが
鋼製のものであることを特徴とするノギス。 - 【請求項２１】請求項20記載のノギスにおいて、前記ス
ケール（21）が非磁性保護層（22）で被覆されているこ
とを特徴とするノギス。 - 【請求項２２】請求項21記載のノギスにおいて、前記保
護層（22）が、前記シャフト（２）に沿う前記スライド
（１）の位置を少なくともおおよそ示すマーキング（22
0）を有することを特徴とするノギス。 - 【請求項２３】請求項１記載のノギスにおいて、前記磁
気抵抗電極（1121）のアレイが、直列接続の少なくとも
８個の電極のそれぞれを構成する磁気抵抗電極（1121）
の少なくとも数組（ＡからD'）からなり、前記磁気抵抗
電極（1121）の厚さが100nm以下で、長さが0.1から10mm
の間に包含され、幅が40ミクロン以下であって、前記磁
気抵抗電極の組（ＡからD'）のそれぞれの結果的な抵抗
が10kΩ以上であり、このためノギスが前記電池（110）
により簡単に給電され得るようにしたことを特徴とする
ノギス。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/CH1997/000177 WO1998051990A1 (fr) | 1997-05-09 | 1997-05-09 | Calibre electronique portable de precision |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Family
ID=4550872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54864798A Expired - Fee Related JP3345430B2 (ja) | 1997-05-09 | 1997-05-09 | 携帯式電子精密ノギス |
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| Country | Link |
|---|---|
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| EP (1) | EP0980506B1 (ja) |
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| AU (1) | AU2630097A (ja) |
| DE (1) | DE69704577T2 (ja) |
| ES (1) | ES2155992T3 (ja) |
| HK (1) | HK1026476A1 (ja) |
| WO (1) | WO1998051990A1 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| CH695071A5 (fr) * | 2000-07-07 | 2005-11-30 | Tesa Sa | Dispositif de mesure de dimensions comprenant une règle magnétique et procédé de fabrication d'une règle magnétique. |
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| JP3831218B2 (ja) * | 2001-08-21 | 2006-10-11 | 株式会社ミツトヨ | 出力付き測定器 |
| CN100485309C (zh) * | 2002-11-08 | 2009-05-06 | 北京航天峰光电子技术有限责任公司 | 磁性位移测量装置 |
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