JP3344106B2 - マッフル構造および熱風循環炉 - Google Patents
マッフル構造および熱風循環炉Info
- Publication number
- JP3344106B2 JP3344106B2 JP22931994A JP22931994A JP3344106B2 JP 3344106 B2 JP3344106 B2 JP 3344106B2 JP 22931994 A JP22931994 A JP 22931994A JP 22931994 A JP22931994 A JP 22931994A JP 3344106 B2 JP3344106 B2 JP 3344106B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- muffle
- furnace body
- circulation path
- furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は熱風循環炉にかかり、詳
しくは、熱処理室に対して供給される雰囲気ガスの循環
方式に関する。
しくは、熱処理室に対して供給される雰囲気ガスの循環
方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、セラミック製品に対する焼成
などの熱処理を行うに際しては、図４の縦断面図で示す
ような構成とされた熱風循環炉を用いることが行われて
いる。すなわち、５００ないし６００℃以下程度の温度
域における熱伝達では輻射伝熱よりも対流伝熱の方が主
となるため、予め加熱された雰囲気ガスが熱処理室内を
流通することによって被処理物の熱処理を行う構成とさ
れた熱風循環炉を用いることが炉内温度分布のバラツキ
を低下させるうえで好都合となるからである。そして、
この熱風循環炉は、断熱構造を有する炉体１１と、熱処
理室であるところのマッフル、つまり耐熱金属板を組み
合わせて作製されたマッフル１２と、このマッフル１２
と炉体１１との間に設けられ、かつ、外部から供給され
たうえで加熱された窒素などの雰囲気ガスＧが流通する
ガス流通路１３とを備えている。
などの熱処理を行うに際しては、図４の縦断面図で示す
ような構成とされた熱風循環炉を用いることが行われて
いる。すなわち、５００ないし６００℃以下程度の温度
域における熱伝達では輻射伝熱よりも対流伝熱の方が主
となるため、予め加熱された雰囲気ガスが熱処理室内を
流通することによって被処理物の熱処理を行う構成とさ
れた熱風循環炉を用いることが炉内温度分布のバラツキ
を低下させるうえで好都合となるからである。そして、
この熱風循環炉は、断熱構造を有する炉体１１と、熱処
理室であるところのマッフル、つまり耐熱金属板を組み
合わせて作製されたマッフル１２と、このマッフル１２
と炉体１１との間に設けられ、かつ、外部から供給され
たうえで加熱された窒素などの雰囲気ガスＧが流通する
ガス流通路１３とを備えている。
【０００３】さらに、この際のマッフル１２内には被処
理物であるセラミック製品などを収容した匣（図示して
いない）が多段に積み重ねられた状態で収納されること
になっており、マッフル１２を構成して互いに対向する
側面板のそれぞれには雰囲気ガスＧを流通させる多数の
通気孔１４が形成されている。また、マッフル１２上に
位置するガス循環路１３内には、外部から導入した雰囲
気ガスＧを供給するためのガス供給管１５が引き込まれ
ているとともに、供給された雰囲気ガスＧを循環させる
シロッコファン１６と、循環する雰囲気ガスＧを所要温
度まで加熱する電熱ヒータ１７とがそれぞれ配設されて
おり、シロッコファン１６は密封軸受１８を介して電動
機１９と連結されたうえ、この電動機１９を用いて回転
駆動されるようになっている。
理物であるセラミック製品などを収容した匣（図示して
いない）が多段に積み重ねられた状態で収納されること
になっており、マッフル１２を構成して互いに対向する
側面板のそれぞれには雰囲気ガスＧを流通させる多数の
通気孔１４が形成されている。また、マッフル１２上に
位置するガス循環路１３内には、外部から導入した雰囲
気ガスＧを供給するためのガス供給管１５が引き込まれ
ているとともに、供給された雰囲気ガスＧを循環させる
シロッコファン１６と、循環する雰囲気ガスＧを所要温
度まで加熱する電熱ヒータ１７とがそれぞれ配設されて
おり、シロッコファン１６は密封軸受１８を介して電動
機１９と連結されたうえ、この電動機１９を用いて回転
駆動されるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記従来構
成とされた熱風循環炉においては、耐熱性に優れたシロ
ッコファン１６や高度の軸シール性能を有する密封軸受
１８などの機器類を用いる必要があるためにコストの増
大を招くことになるばかりか、これら機器類の素材や性
能に基づく制限を受けるために雰囲気ガスＧの温度をさ
らに上昇させることによって生産性の向上を図ることが
できないことになっていた。また、密封軸受１８が炉内
外の温度差に基づく影響を大きく受けるために軸シール
性能の劣化が避けられず、炉外からの空気（酸素）の侵
入を防ぎながら雰囲気ガスを高純度に制御することが困
難になるという不都合も生じていた。
成とされた熱風循環炉においては、耐熱性に優れたシロ
ッコファン１６や高度の軸シール性能を有する密封軸受
１８などの機器類を用いる必要があるためにコストの増
大を招くことになるばかりか、これら機器類の素材や性
能に基づく制限を受けるために雰囲気ガスＧの温度をさ
らに上昇させることによって生産性の向上を図ることが
できないことになっていた。また、密封軸受１８が炉内
外の温度差に基づく影響を大きく受けるために軸シール
性能の劣化が避けられず、炉外からの空気（酸素）の侵
入を防ぎながら雰囲気ガスを高純度に制御することが困
難になるという不都合も生じていた。
【０００５】本発明は、これらの不都合に鑑みて創案さ
れたものであり、機器類を用いない簡単な構成でもって
生産性の向上及び雰囲気ガスの高純度制御を実現するこ
とができる熱風循環炉の提供を目的としている。
れたものであり、機器類を用いない簡単な構成でもって
生産性の向上及び雰囲気ガスの高純度制御を実現するこ
とができる熱風循環炉の提供を目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる熱風循環
炉は、被処理物が収納される熱処理室と、該熱処理室の
外周囲に配設されたうえで熱処理室に接続され、かつ、
熱処理室内をも流通する雰囲気ガスが循環するガス循環
路と、該ガス循環路内に挿入されて雰囲気ガスの循環方
向に沿って配設され、かつ、外部からの雰囲気ガスが供
給されるガス供給管とを備えており、該ガス供給管の先
端には雰囲気ガスを噴出するガス噴出ノズルが取り付け
られていることを特徴とするものである。なお、この際
におけるガス循環路は、雰囲気ガスが熱処理室内を水平
もしくは垂直いずれかの方向に沿って流通する向きとな
るように接続されている。
炉は、被処理物が収納される熱処理室と、該熱処理室の
外周囲に配設されたうえで熱処理室に接続され、かつ、
熱処理室内をも流通する雰囲気ガスが循環するガス循環
路と、該ガス循環路内に挿入されて雰囲気ガスの循環方
向に沿って配設され、かつ、外部からの雰囲気ガスが供
給されるガス供給管とを備えており、該ガス供給管の先
端には雰囲気ガスを噴出するガス噴出ノズルが取り付け
られていることを特徴とするものである。なお、この際
におけるガス循環路は、雰囲気ガスが熱処理室内を水平
もしくは垂直いずれかの方向に沿って流通する向きとな
るように接続されている。
【０００７】
【作用】上記構成によれば、ガス供給管を通じて外部か
ら供給された新たな雰囲気ガスはガス噴出ノズルを通じ
て噴出してくることになり、このガス噴出ノズルの周囲
に存在していた雰囲気ガスは新たに噴出する雰囲気ガス
の噴出作用によって循環方向に沿って誘引されたうえで
ガス循環路内を熱処理室へと流れた後、熱処理室内を流
通することになる。
ら供給された新たな雰囲気ガスはガス噴出ノズルを通じ
て噴出してくることになり、このガス噴出ノズルの周囲
に存在していた雰囲気ガスは新たに噴出する雰囲気ガス
の噴出作用によって循環方向に沿って誘引されたうえで
ガス循環路内を熱処理室へと流れた後、熱処理室内を流
通することになる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【０００９】図１は本実施例にかかる熱風循環炉の概略
構造を示す縦断面図であり、図２及び図３のそれぞれは
その変形例を示す縦断面図である。
構造を示す縦断面図であり、図２及び図３のそれぞれは
その変形例を示す縦断面図である。
【００１０】本実施例にかかる熱風循環炉はバッチ式と
いわれるものであり、電熱ヒータ１が埋設された断熱構
造を有する炉体２と、被処理物であるところのセラミッ
ク製品などを収容したうえで多段積みされた匣（図示し
ていない）が収納される熱処理室、つまり耐熱金属板を
組み合わせてなるマッフル３と、このマッフル３の外周
囲に沿って配設されたうえでマッフル３に対して接続さ
れ、かつ、このマッフル３内をも流通する雰囲気ガスＧ
が循環するガス循環路４とを備えている。そして、この
際におけるガス循環路４は耐熱金属製の配管材を使用し
て構成されたうえ、このガス循環路４内を循環しながら
電熱ヒータ１によって加熱された雰囲気ガスＧがマッフ
ル３内を水平方向に沿って流通する向きとなる状態でマ
ッフル３に対して接続されており、マッフル３を構成し
て対向配置された側面板それぞれのガス循環路４が接続
された箇所には雰囲気ガスＧを流通させる多数の通気孔
５が形成されている。
いわれるものであり、電熱ヒータ１が埋設された断熱構
造を有する炉体２と、被処理物であるところのセラミッ
ク製品などを収容したうえで多段積みされた匣（図示し
ていない）が収納される熱処理室、つまり耐熱金属板を
組み合わせてなるマッフル３と、このマッフル３の外周
囲に沿って配設されたうえでマッフル３に対して接続さ
れ、かつ、このマッフル３内をも流通する雰囲気ガスＧ
が循環するガス循環路４とを備えている。そして、この
際におけるガス循環路４は耐熱金属製の配管材を使用し
て構成されたうえ、このガス循環路４内を循環しながら
電熱ヒータ１によって加熱された雰囲気ガスＧがマッフ
ル３内を水平方向に沿って流通する向きとなる状態でマ
ッフル３に対して接続されており、マッフル３を構成し
て対向配置された側面板それぞれのガス循環路４が接続
された箇所には雰囲気ガスＧを流通させる多数の通気孔
５が形成されている。
【００１１】また、ガス循環路４内には外部から導入し
た雰囲気ガスＧを供給するためのガス供給管６が挿入さ
れており、直管状とされたガス供給管６はその長手方向
がガス循環路４内における雰囲気ガスＧの循環方向に沿
って固定的に配設されたものとなっている。そして、ガ
ス循環路４の長手方向における中央部近くに位置するガ
ス供給管６の先端にはガス噴出ノズル７が取り付けられ
ており、ガス供給管６によって供給された雰囲気ガスＧ
はガス噴出ノズル７によって絞られながらガス循環路４
内へと噴出することになっている。
た雰囲気ガスＧを供給するためのガス供給管６が挿入さ
れており、直管状とされたガス供給管６はその長手方向
がガス循環路４内における雰囲気ガスＧの循環方向に沿
って固定的に配設されたものとなっている。そして、ガ
ス循環路４の長手方向における中央部近くに位置するガ
ス供給管６の先端にはガス噴出ノズル７が取り付けられ
ており、ガス供給管６によって供給された雰囲気ガスＧ
はガス噴出ノズル７によって絞られながらガス循環路４
内へと噴出することになっている。
【００１２】そこで、本実施例にかかる熱風循環炉で
は、ガス供給管６を通じて外部から供給された新たな雰
囲気ガスＧがガス噴出ノズル７を通じたうえで噴出する
ことになり、ガス循環路４内におけるガス噴出ノズル７
の周囲に存在していた雰囲気ガスＧは新たに噴出してき
た雰囲気ガスＧの噴出作用によって循環方向へと誘引さ
れることになる。すなわち、この際においては、新たに
供給された雰囲気ガスＧの噴流の持つ運動量が周囲の雰
囲気ガスＧに拡散して影響を及ぼすことになり、影響を
受けた雰囲気ガスＧが噴流の周囲を取り巻く周囲流とし
て誘引されることが起こるのである。そして、新たな雰
囲気ガスＧ及び誘引された雰囲気ガスＧは、炉体２に埋
設された電熱ヒータ１によってともに加熱されながらガ
ス循環路４内をマッフル３へと向かって流れた後、通気
孔５を通じてマッフル３内に流入したうえ、このマッフ
ル３内を流通しながら被処理物であるセラミック製品の
焼成などを行うことになる。
は、ガス供給管６を通じて外部から供給された新たな雰
囲気ガスＧがガス噴出ノズル７を通じたうえで噴出する
ことになり、ガス循環路４内におけるガス噴出ノズル７
の周囲に存在していた雰囲気ガスＧは新たに噴出してき
た雰囲気ガスＧの噴出作用によって循環方向へと誘引さ
れることになる。すなわち、この際においては、新たに
供給された雰囲気ガスＧの噴流の持つ運動量が周囲の雰
囲気ガスＧに拡散して影響を及ぼすことになり、影響を
受けた雰囲気ガスＧが噴流の周囲を取り巻く周囲流とし
て誘引されることが起こるのである。そして、新たな雰
囲気ガスＧ及び誘引された雰囲気ガスＧは、炉体２に埋
設された電熱ヒータ１によってともに加熱されながらガ
ス循環路４内をマッフル３へと向かって流れた後、通気
孔５を通じてマッフル３内に流入したうえ、このマッフ
ル３内を流通しながら被処理物であるセラミック製品の
焼成などを行うことになる。
【００１３】なお、図示していないが、新たな雰囲気ガ
スＧの供給量に見合う使用済みの雰囲気ガスＧを排出す
るための排気孔が予めガス循環路４中に設けられている
ことは当然である。また、この際における新たな雰囲気
ガスＧの供給量を調整することによって雰囲気ガスＧの
循環量を比例的に調整しうることは勿論であり、本発明
の発明者が検討したところによれば、供給量の７倍近い
循環量を得ることも可能である。
スＧの供給量に見合う使用済みの雰囲気ガスＧを排出す
るための排気孔が予めガス循環路４中に設けられている
ことは当然である。また、この際における新たな雰囲気
ガスＧの供給量を調整することによって雰囲気ガスＧの
循環量を比例的に調整しうることは勿論であり、本発明
の発明者が検討したところによれば、供給量の７倍近い
循環量を得ることも可能である。
【００１４】さらにまた、本実施例においては、熱処理
室３内を流通しながらセラミック製品の焼成などを行っ
た雰囲気ガスＧが流入してくるガス循環路４の流入部位
に、酸素濃度計などのガス成分検出用機器に対して接続
されるサンプリングポートＳを取り付けている。そし
て、このような構成とした場合には、サンプリングポー
トＳを通じたうえで処理中であるセラミック製品の周囲
を通過したばかりの雰囲気ガスＧの成分検出を行うこと
によっての的確な酸素濃度制御などの雰囲気ガス制御を
行うことが可能となる。
室３内を流通しながらセラミック製品の焼成などを行っ
た雰囲気ガスＧが流入してくるガス循環路４の流入部位
に、酸素濃度計などのガス成分検出用機器に対して接続
されるサンプリングポートＳを取り付けている。そし
て、このような構成とした場合には、サンプリングポー
トＳを通じたうえで処理中であるセラミック製品の周囲
を通過したばかりの雰囲気ガスＧの成分検出を行うこと
によっての的確な酸素濃度制御などの雰囲気ガス制御を
行うことが可能となる。
【００１５】ところで、本実施例におけるガス循環路４
は雰囲気ガスＧがマッフル３内を水平方向に沿って流通
する向きとなるよう接続されているのであるが、例え
ば、図２もしくは図３の変形例でそれぞれ示すように、
雰囲気ガスＧがマッフル３内を垂直方向に沿って流通す
る向きとしてガス循環路４をマッフル３に接続してもよ
い。なお、これらの図２及び図３において図１と互いに
同一となる部品、部分については同一符号を付し、ここ
での詳しい説明は省略する。
は雰囲気ガスＧがマッフル３内を水平方向に沿って流通
する向きとなるよう接続されているのであるが、例え
ば、図２もしくは図３の変形例でそれぞれ示すように、
雰囲気ガスＧがマッフル３内を垂直方向に沿って流通す
る向きとしてガス循環路４をマッフル３に接続してもよ
い。なお、これらの図２及び図３において図１と互いに
同一となる部品、部分については同一符号を付し、ここ
での詳しい説明は省略する。
【００１６】まず、図２で示す第１の変形例にかかる熱
風循環炉は、マッフル３内の垂直方向に沿って雰囲気ガ
スＧが流通する向きとなるようガス循環路４がマッフル
３に接続されたものであり、ここでのガス循環路４はマ
ッフル３を構成して上下に対向する天井板及び底面板の
それぞれに対して接続されている。そして、この際にお
ける天井板及び底面板には多数の通気孔５が形成されて
おり、底面板側から流入した雰囲気ガスＧはマッフル３
内を下側から上側へと流通したうえで天井板側から流出
していくことになる。ところで、このような構成を採用
した場合には、セラミック製品などを収容した匣（図示
していない）が多段に積み重ねられた状態で収納された
マッフル３内における温度分布のバラツキが図１で示し
た構成の場合よりも改善されると考えられる。
風循環炉は、マッフル３内の垂直方向に沿って雰囲気ガ
スＧが流通する向きとなるようガス循環路４がマッフル
３に接続されたものであり、ここでのガス循環路４はマ
ッフル３を構成して上下に対向する天井板及び底面板の
それぞれに対して接続されている。そして、この際にお
ける天井板及び底面板には多数の通気孔５が形成されて
おり、底面板側から流入した雰囲気ガスＧはマッフル３
内を下側から上側へと流通したうえで天井板側から流出
していくことになる。ところで、このような構成を採用
した場合には、セラミック製品などを収容した匣（図示
していない）が多段に積み重ねられた状態で収納された
マッフル３内における温度分布のバラツキが図１で示し
た構成の場合よりも改善されると考えられる。
【００１７】また、図３で示す第２の変形例にかかる熱
風循環炉は、マッフル３を構成する側面板それぞれの下
半側に対してガス循環路４を接続する一方、このガス循
環路４から引き出されたガス流出管８をマッフル３の天
井板から突入させた構成を有するものであり、この熱風
循環炉においてもマッフル３の下側から流入した雰囲気
ガスＧがマッフル３内を上向きに流通していくことにな
る。さらに、これら第１及び第２の変形例にかかる熱風
循環炉においても、熱処理室３内を流通した雰囲気ガス
Ｇが流入してくるガス循環路４の流入部位に、ガス成分
検出用機器に対して接続されるサンプリングポートＳが
取り付けられている。そして、これら変形例の場合にお
いては、セラミック製品の周囲を通過した雰囲気ガスＧ
がガス循環路４の流入部位、例えば、ガス流出管８を集
中して流れることになり、雰囲気ガスＧが集中している
分だけ精度の高い成分検出を行うことが可能となる。
風循環炉は、マッフル３を構成する側面板それぞれの下
半側に対してガス循環路４を接続する一方、このガス循
環路４から引き出されたガス流出管８をマッフル３の天
井板から突入させた構成を有するものであり、この熱風
循環炉においてもマッフル３の下側から流入した雰囲気
ガスＧがマッフル３内を上向きに流通していくことにな
る。さらに、これら第１及び第２の変形例にかかる熱風
循環炉においても、熱処理室３内を流通した雰囲気ガス
Ｇが流入してくるガス循環路４の流入部位に、ガス成分
検出用機器に対して接続されるサンプリングポートＳが
取り付けられている。そして、これら変形例の場合にお
いては、セラミック製品の周囲を通過した雰囲気ガスＧ
がガス循環路４の流入部位、例えば、ガス流出管８を集
中して流れることになり、雰囲気ガスＧが集中している
分だけ精度の高い成分検出を行うことが可能となる。
【００１８】なお、以上説明した熱風循環炉において
は、雰囲気ガスＧを加熱するための電熱ヒータ１を炉体
２に埋設しているが、これに限定されることはなく、電
熱ヒータ１を炉体２の内表面上に配設しておいても、あ
るいはまた、ガス循環路４内に設けておいてもよいこと
は勿論である。そして、電熱ヒータ１を炉体２に埋設し
たり、炉体２上に配設したりしておいた場合には、雰囲
気ガスＧのみならず、マッフル３をも電熱ヒータ１によ
って直接的に加熱することが可能となる結果、炉内温度
分布や炉内熱応答性の改善を図ることができるという利
点が得られる。さらにまた、以上の説明においては熱風
循環炉がバッチ式であることを前提としているが、本発
明の適用範囲がバッチ式のみに限定されないことは勿論
である。すなわち、例えば、複数個のマッフル３を互い
に連通接続したうえでガス循環路４及びガス供給管６、
ガス噴出ノズル７を各マッフル３ごとに対して設けるこ
ととすれば、連続式といわれる熱風循環炉をも構成しう
ることになる。
は、雰囲気ガスＧを加熱するための電熱ヒータ１を炉体
２に埋設しているが、これに限定されることはなく、電
熱ヒータ１を炉体２の内表面上に配設しておいても、あ
るいはまた、ガス循環路４内に設けておいてもよいこと
は勿論である。そして、電熱ヒータ１を炉体２に埋設し
たり、炉体２上に配設したりしておいた場合には、雰囲
気ガスＧのみならず、マッフル３をも電熱ヒータ１によ
って直接的に加熱することが可能となる結果、炉内温度
分布や炉内熱応答性の改善を図ることができるという利
点が得られる。さらにまた、以上の説明においては熱風
循環炉がバッチ式であることを前提としているが、本発
明の適用範囲がバッチ式のみに限定されないことは勿論
である。すなわち、例えば、複数個のマッフル３を互い
に連通接続したうえでガス循環路４及びガス供給管６、
ガス噴出ノズル７を各マッフル３ごとに対して設けるこ
ととすれば、連続式といわれる熱風循環炉をも構成しう
ることになる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明にかかる熱
風循環炉によれば、雰囲気ガスを循環させるための機器
類を何ら用いることなく、外部から新たに供給された雰
囲気ガスを噴出させるだけのことによってガス噴出ノズ
ルの周囲に存在する雰囲気ガスをも循環させることが可
能となる。したがって、シロッコファンなどの機器類や
これらを駆動するための動力を使用する必要がなくな
り、コストの低減を図ることが可能となるばかりか、雰
囲気ガスの高純度制御を容易に行えるという効果が得ら
れる。また、機器類による制限を受けることがなく、雰
囲気ガスの温度を９００℃以上にまで上昇させたうえで
使用することが可能となる結果、生産性の向上を図るこ
とができるという効果も得られる。
風循環炉によれば、雰囲気ガスを循環させるための機器
類を何ら用いることなく、外部から新たに供給された雰
囲気ガスを噴出させるだけのことによってガス噴出ノズ
ルの周囲に存在する雰囲気ガスをも循環させることが可
能となる。したがって、シロッコファンなどの機器類や
これらを駆動するための動力を使用する必要がなくな
り、コストの低減を図ることが可能となるばかりか、雰
囲気ガスの高純度制御を容易に行えるという効果が得ら
れる。また、機器類による制限を受けることがなく、雰
囲気ガスの温度を９００℃以上にまで上昇させたうえで
使用することが可能となる結果、生産性の向上を図るこ
とができるという効果も得られる。
【図１】本実施例にかかる熱風循環炉の概略構造を示す
縦断面図である。
縦断面図である。
【図２】第１の変形例にかかる熱風循環炉の概略構造を
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
【図３】第２の変形例にかかる熱風循環炉の概略構造を
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
【図４】従来例にかかる熱風循環炉の概略構造を示す縦
断面図である。
断面図である。
３ マッフル（熱処理室） ４ ガス循環路 ６ ガス供給管 ７ ガス噴出ノズル Ｇ 雰囲気ガス Ｓ サンプリングポート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F27B 5/00 - 5/18 F27D 7/02 F27B 17/00
Claims (7)
- 【請求項１】 被処理物が収納されるマッフルと、 該マッフルの外周囲に配設されたうえでマッフルに接続
され、かつ、マッフル内をも流通する雰囲気ガスが循環
するガス循環路と、該がス循環路内に挿入されて雰囲気ガスの循環方向に沿
って配設され、かつ、外部からの雰囲気ガスが供給され
るガス供給管とを備えており、 該ガス供給管の先端には雰囲気ガスを噴出するガス噴出
ノズルが取り付けられていることを特徴とするマッフル
構造。 - 【請求項２】 炉体と、 前記炉体内部の空間に配設され、被熱処理物が収納され
るマッフルと、 前記炉体内部の空間に配設され、前記マッフルに接続さ
れると共に、このマッフルを経由して雰囲気ガスを循環
させるガス循環路と、 前記炉体外部から前記ガス循環路内に挿入され、雰囲気
ガスを供給するガス供給管と、 前記炉体内部の空間を加熱するヒータとを備え、 前記マッフルおよび前記ガス循環路により、前記炉体内
部の空間とは独立した空間が形成されると共に、前記ガ
ス供給管の先端には雰囲気ガスを噴出するガス噴出ノズ
ルが取り付けられていることを特徴とする 熱風循環炉。 - 【請求項３】 炉体と、 前記炉体内部の空間に配設され、被熱処理物が収納され
るマッフルと、 前記炉体内部の空間に配設され、前記マッフルに接続さ
れると共に、このマッフルを経由して雰囲気ガスを循環
させるガス循環路と、 前記炉体の外部から前記ガス循環路内に挿入され、雰囲
気ガスを供給するガス供給管と、 前記炉体に埋設され、前記炉体内部の空間を加熱するヒ
ータとを備え、 前記ガス供給管の先端には雰囲気ガスを噴出するガス噴
出ノズルが取り付けられている ことを特徴とする熱風循
環炉。 - 【請求項４】 炉体と、 前記炉体内部の空間に配設され、被熱処理物が収納され
るマッフルと、 前記炉体内部の空間に配設され、前記マッフルに接続さ
れると共に、このマッフルを経由して雰囲気ガスを循環
させるガス循環路と、 前記炉体の外部から前記ガス循環炉内に挿入され、雰囲
気ガスを供給するガス供給管と、 前記炉体の内表面上に配設され、前記炉体内部の空間を
加熱するヒータとを備え、前記ガス供給管の先端には雰囲気ガスを噴出するガス噴
出ノズルが取り付けられていることを特徴とする 熱風循
環炉。 - 【請求項５】 前記ガス循環路は、雰囲気ガスが前記マ
ッフル内を水平方向に沿って流通する向きで接続されて
いることを特徴とする請求項２ないし請求項４のうずれ
かに記載の熱風循環炉。 - 【請求項６】 前記ガス循環路は、雰囲気ガスが前記マ
ッフル内を垂直方向に沿って流通する向きで接続されて
いることを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれ
かに記載の熱風循環炉。 - 【請求項７】 前記マッフル内を流通した雰囲気ガスが
流入してくる前記ガス循環路の流入部位に、ガス成分検
出用機器に対して接続されるサンプリングボードが取り
付けられていることを特徴とする請求項２ないし請求項
６のいずれかに記載の熱風循環炉。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22931994A JP3344106B2 (ja) | 1994-08-16 | 1994-09-26 | マッフル構造および熱風循環炉 |
| TW84106304A TW272234B (ja) | 1994-08-16 | 1995-06-20 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19253494 | 1994-08-16 | ||
| JP6-192534 | 1994-08-16 | ||
| JP22931994A JP3344106B2 (ja) | 1994-08-16 | 1994-09-26 | マッフル構造および熱風循環炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08110177A JPH08110177A (ja) | 1996-04-30 |
| JP3344106B2 true JP3344106B2 (ja) | 2002-11-11 |
Family
ID=26507376
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22931994A Expired - Lifetime JP3344106B2 (ja) | 1994-08-16 | 1994-09-26 | マッフル構造および熱風循環炉 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3344106B2 (ja) |
| TW (1) | TW272234B (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005221135A (ja) * | 2004-02-05 | 2005-08-18 | Ishin Giken:Kk | 焼成炉 |
| KR101353584B1 (ko) * | 2012-07-06 | 2014-01-22 | 허혁재 | 연속식 열처리로 및 분리가능한 연속식 열처리로용 급·배기장치 |
-
1994
- 1994-09-26 JP JP22931994A patent/JP3344106B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-06-20 TW TW84106304A patent/TW272234B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW272234B (ja) | 1996-03-11 |
| JPH08110177A (ja) | 1996-04-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10477867B2 (en) | Oven appliance with air curtain | |
| JP6572464B2 (ja) | 過熱水蒸気を用いた加熱装置及び加熱方法 | |
| CN100457348C (zh) | 回流炉及热风吹出式加热器 | |
| JP3344106B2 (ja) | マッフル構造および熱風循環炉 | |
| JPS6318649B2 (ja) | ||
| US4142712A (en) | Method and apparatus for effecting uniform heat transfer in an industrial furnace | |
| CN113817908A (zh) | 一种退火炉 | |
| US6186089B1 (en) | Apparatus for enamelling a conductive wire | |
| KR100346360B1 (ko) | 평판형상워크의일면을무풍가열할수있는열처리장치 | |
| US7435375B1 (en) | Annealing furnace purging and oxidation system and method | |
| JP2020073858A (ja) | 熱風乾燥炉 | |
| CN206073709U (zh) | 分层交错喷吹循环式工业炉 | |
| EP0065698A2 (en) | Heating method and apparatus | |
| JPH05172464A (ja) | 熱処理炉 | |
| US2991535A (en) | Tunnel kiln firing section | |
| JPH07268450A (ja) | 加熱装置 | |
| JPS62247032A (ja) | フロ−テイング式熱処理炉 | |
| TW201945064A (zh) | 熱破壞揮發性有機化合物之方法與設備 | |
| JPS61106721A (ja) | 均熱炉 | |
| US7037106B2 (en) | Apparatus for uniform flow distribution of gas in processing equipment | |
| CN100357691C (zh) | 分室炉腔的冷却装置及方法 | |
| JPS62139829A (ja) | 箱型熱処理炉 | |
| JPS62116725A (ja) | 焼鈍炉 | |
| JPS6321567Y2 (ja) | ||
| JPS62188718A (ja) | 冷却装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080830 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080830 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090830 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090830 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100830 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100830 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110830 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120830 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120830 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130830 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |