JP3343023B2 - 乱流式クリーンルームの空気供給装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、乱流式クリーンル
ームの空気供給装置、更に詳しくは乱流式クリーンルー
ム内の温度を素早く均一化するために有効な空気供給装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】室内の清浄度をある程度高く維持してお
くことを特に要求される部屋（以下「クリーンルーム」
という。）の空調システムは、一般にクリーンルーム内
での汚れた空気を一旦取り出し、新鮮な空気を補給した
後に、所定の空気条件に調整し、この調整空気を、再び
クリーンルームに供給し以後これを繰り返すという、い
わゆる循環方式が採用されている。具体的には、クリー
ンルームの外に空調のための主要設備を配置し、クリー
ンルーム内の汚れた空気や昇温した空気、湿度変化した
空気等をクリーンルームから取り出した後、その空調設
備へと導く。空調設備には、クリーンルーム内のクリー
ン度（１フィート立方中の０．５ミクロン以上のダスト
の数）、温度、湿度及び風量を調節できるように、一般
にフィルター、熱交換器、蒸気発生器及び送風機等が備
えられている。従って、空調設備に導かれた空気は、別
途外部からこの空調設備へ導かれた新鮮空気と混合され
た後、クリーン度、温度、湿度及び風量について所望の
設定値に調節され、その後再びクリーンルーム内に供給
されるようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の空調
システムにおいて、温度の調節は、クリーンルーム内の
ある箇所（温度測定箇所）の温度が所望の値となるよう
にクリーンルームに供給される前の空気の温度を変更す
るという単純な制御によって行われるが、調整空気のク
リーンルーム内への再供給は、空気吹出口からルーム内
へ吹き込む方式であるため、吹出口直下においては、吹
出し冷風塊が周囲の空気とすぐには十分混じり合った状
態とはならないため、温度低下を招くことがある。

【０００４】即ち、従来の乱流式クリーンルームの空調
システムでは、一般に空気の吹出口が天井に、複数等間
隔に設けられており、供給された空気の大部分はそのま
ま天井から床へ向けて吹き出される。このため、ルーム
内では垂直方向の空気の積層状態が乱され、つまり乱流
が形成される。そして、平面的にみると、ルーム内の温
度は、空気供給口より少し大きい面積に相当する区域で
の温度変化が著しく、それ以外はあまり温度変化がない
という非常に不均一な温度分布となっている。そして、
この不均一な温度分布の緩和は、空気の自然対流による
混じり合いにまかせている。このことが種々の問題を引
き起こしている。例えば、冷たい空気（以下、「冷風」
という。）が供給される場合について具体的に言えば、
空気吹出口の真下に半導体検査機器等の精密機器が配置
されているような場合、供給された冷風が直接その精密
機器に当たって、結露を生じさせる結果、精密機器を可
動させる前に除露作業を余儀なくさせられるという問題
がある。また、空気の吹出口の真下付近に動植物が生息
するようにすると、動植物の体調や成長に悪影響を及ぼ
すことになり、さらにルームに食品を収納すると、温度
分布の不均一はたちまち品質を劣化させ、製品価値をな
くしてしまうといった問題につながる。

【０００５】このような問題を解決するための一策とし
ては、乱流式クリーンルーム内への空気の吹き込みを、
各空気吹出口から多方面に向けて行うこと、つまりルー
ム内の空気と速やかに混合できるように、いわゆる案内
気流を攪拌する空気拡散装置を取り付けることが考えら
れる。

【０００６】しかし、そのような空気拡散装置の取り付
けは、装置そのもの及び取付作業等が大がかりなものと
なってしまい、設備コストやメンテナンスコストの大幅
な増加につながる。そこで、本発明者等は、天井からの
空気の吹き込自体は従来と同様とし、吹き込まれた直後
に適当な偏向板を設けて、空気が水平方向に均等に拡散
するようにすれば、そのような大がかりな空気拡散装置
を使用せずとも同様の効果、つまり乱流式クリーンルー
ム内での吹出気流を室内空気と速やかに混合し、室内の
温度ムラを少なくできるはずとの考えを基に、そのよう
な偏向板の有効かつ適切な配置の仕方を見極めるべく検
討を重ね、本発明に達することができた。即ち、本発明
の目的とするところは、再調整された空気が乱流式クリ
ーンルーム内へ供給された場合、空気吹出口を通過する
空気の気流拡散性能を高めることにより吹出気流を室内
空気と素早く混合させ、室内の温度ムラを少なくするこ
とができる、非常に経済的でかつコンパクトなものを提
供しようとする点にある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明のうちで請求項１記載の発明は、室内の
清浄度をある程度高く維持するために室内空気を排出し
所定の空気条件に調整した後、その室内に還流すること
によってその室内の温度，湿度及びクリーン度を調節す
るようにした乱流式クリーンルームの空気供給装置にお
いて、前記乱流式クリーンルームに再供給される空気の
吹出口には、少なくとも４基以上のガイド弁を、全体が
正方形状または長方形状となるように集合して配置し、
それぞれのガイド弁には、複数の空気案内翼がブライン
ド状に配設されると共に各空気案内翼の角度が個別に当
該ガイド弁に対し変化できるようにされ、また、ガイド
弁は、各ガイド弁の取り付け方向を互いに異なるように
組み合わせ可能とされていることを特徴としたものであ
る。

【０００８】複数の空気案内翼の取り付け構成を上記の
ようにすることにより、乱流式クリーンルームの容積、
空気吹出口の位置（天井の中央あるいは端）等の条件の
如何にかかわらず、その空気案内翼の角度及びガイド弁
の取り付け方向を予めその条件に合うように調整してお
くだけで、吹出口を通過した空気（例えば冷風）を直ち
に水平方向に均等に拡散させることができる。この結
果、吹出気流を素早く室内空気と混じり合わせ、室内の
温度ムラの少ない乱流式クリーンルームを確保すること
ができる。加えて、天井に設ける空気吹出口の数をへら
すことができる。従って、本発明はこのような乱流式ク
リーンルームを確保するための空気供給装置として、従
来のように大がかりな空気拡散装置を使用しない分、非
常に経済的なものとすることができ、かつコンパクトで
ある。

【０００９】また請求項２記載の発明は、請求項１記載
の発明の構成のうち、前記ガイド弁を前記吹出口に取り
付けられた収納ケース内に配置されたものであることを
特徴としたものである。このようにガイド弁を収納ケー
ス内に配置することによって、各空気案内翼の角度やガ
イド弁の取り付け方向の調整やこれらの部材の清掃が容
易になり、メンテナンスを有利なものにすることができ
るようになる。

【００１０】また請求項３記載の発明は、請求項１又は
２記載の発明の構成のうち、前記ガイド弁を６基以上集
合すると共に、その集合群の中央部に位置するガイド弁
の空気案内翼を、そのガイド弁を通過する空気が真下に
向かうように角度調節されたものであることを特徴とし
たものである。ガイド弁が５基以下の場合、例えば使用
される可能性が高い４基の場合で言えば、吹出口を通過
した空気が四方に拡散される効果は十分に発揮しうるも
のの、吹出口の真下方向は風圧を受けるため、いわば減
圧状態の空間部が形成されることになる。この結果、四
方に拡散するように流出した空気の一部がその真下方向
に逆流しやすくなり、この場合は結果的に供給される空
気の流れを部分的に撹乱されしまうので、本発明の効果
を最大限に発揮させようとする点からは改善の余地があ
る。そこで、ガイド弁を６基以上、例えば６基とした場
合は中央の１基又は２基については空気が真下方向に流
れるように調整しておくことにより、そのような空気の
逆流を防ぎ、吹出口を通過した空気を全方向に均等に拡
散することができる。従って、本発明の効果を最大限に
発揮させることができるようになる。

【００１１】また請求項４記載の発明は、請求項１乃至
請求項３記載の発明の構成のうち、前記収納ケースを多
孔板で形成されたものであることを特徴としたものであ
る。このように収納ケースとして多孔板を使用すること
により、収納ケースを通過する空気を整流した後、全方
向へ供給することができるので、水平方向への拡散効率
を高めることができる。従って、吹出口のすぐ下、つま
り天井に近い高さの位置から水平方向の均一な温度分布
と、垂直方向の乱れのない空気の積層状態、即ち層流状
態を一層確実に形成することができるようになるという
利点がある。

【００１２】また請求項５記載の発明は、請求項１乃至
請求項４記載の発明の構成のうち、前記ガイド弁及び前
記収納ケースを帯電防止可能な軽金属板で形成されたも
のであることを特徴としたものである。一般にダスト
は、静電気を帯びている場合に容易に付着するという性
質があるため、係るダストが存在する空気の吹出口をプ
ラスチック製材料で構成したような場合、その部材にダ
ストが付着し成長する。このため、清掃・除去のための
作業が必要となり、放置すれば空調そのものの効率が悪
くなってしまう。しかし、本発明のように帯電防止可能
な軽金属製のガイド弁及び収納ケースを使用すれば、こ
のような不都合はなく本発明の効果を十分に発揮させる
ことができる。

【００１３】また請求項６記載の発明は、請求項１乃至
請求項５記載の発明の構成のうち、乱流式クリーンルー
ムを集積回路試験装置を設置した部屋とした点に特徴が
ある。本発明を、集積回路試験装置を設置した乱流式ク
リーンルームに好適なものとすることにより、従来この
ような乱流式クリーンルームで生じていた集積回路試験
装置の結露発生を防止し、除露作業を不要とすることが
できる。また請求項７記載の発明は、請求項１乃至請求
項５記載の発明の構成のうち、乱流式クリーンルームを
動植物の生息する部屋とした点に特徴がある。本発明
を、動植物の生息するような乱流式クリーンルームに好
適なものとすることにより、従来このような乱流式クリ
ーンルームで生じていた不都合、即ち温度分布の不均一
に起因した動植物の生息に対しての悪影響をなくすこと
ができる。また請求項８記載の発明は、請求項１乃至請
求項５記載の発明の構成のうち、乱流式クリーンルーム
を食品を取り扱う部屋とした点に特徴がある。本発明
を、食品を取り扱うような乱流式クリーンルームに好適
なものとすることにより、従来このような乱流式クリー
ンルームで生じていた不都合、即ち温度分布の不均一に
起因した食品の品質劣化、製品価値の問題を解決するこ
とができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
（図１から図６）に基づき説明する。図１は集積回路試
験装置を設置した乱流式クリーンルーム（以下、実施形
態の説明中では単に「ルーム」という）の空調システム
を示す概略説明図であり、図２はルームの空気吹出口に
配置される複数のガイド弁のうちの一つを代表的に示す
斜視図であり、図３は６基のガイド弁を多孔板製収納ケ
ースに備えた斜視図であり、図４は図３に示す多孔板製
収納ケースを裏側から見た状態を示す斜視図である。

【００１５】図１に示すように、集積回路試験装置を設
置したルームの空調システムは、基本的にルーム３とル
ーム３の外部に設置された空調システム１との両者を接
続するダクト４，６とで構成されている。そして、ルー
ム３内の空気を循環させる空調設備１と、集積回路試験
装置２を設置したルーム３をダクト４によってつながれ
た構成になっている。そして、空調設備１は、フィルタ
ー７，温水器８，冷水器９，蒸気発生器１０，及び送風
機１１を内蔵して構成されている。送風機１１の出口は
ダクト４に接続されている。さらに空調設備１の側壁に
は、外部の新鮮な空気を取り入れる吸引ファン５が設け
られており、吸引ファン５の出口部には、ルーム３内か
ら取り出された空気を空調設備１に導くためのダクト６
の先端が開口する構成とされている。

【００１６】ダクト４は、空調設備１を経て再活性され
た空気をルーム３内まで送るための配管であり、ルーム
３内の天井４０の裏側（図面では上側面）上を這うよう
に取り付けられている。また天井４０に形成された凹部
空間４０ａの中央部には、天井４０を貫いてダクト４の
内部に開口する接続管１３が設けられている。即ち、接
続管１３及び凹部空間４０ａでルーム３に対する空気吹
出口１２が確保された構成となっている。また、凹部空
間４０ａのルーム３側寄りの位置には、供給される空気
内に含まれるダストを除去するフィルター１５が取り付
けられている。さらにフィルター１５より下で天井４０
の下面より少し下方に突き出た位置には、本発明特有の
ガイド弁１６を６基納置した多孔板製収納ケース２３が
取り付けられている。

【００１７】各ガイド弁１６は、図２に示すように、ブ
ラインド状に複数並列に配置された空気案内翼１８の両
端に側面板１９が取り付けて構成される。この取り付け
は、各空気案内翼１８の両端中央部と各側面板１９の中
央部とをボルト・ナット締めすることにより行う。ナッ
トを緩めることにより各空気案内翼１８の角度を０°〜
９０°の範囲まで変化できるようにされている。各空気
案内翼１８の上側縁部１８ａは、各空気案内翼１８の角
度を変えても接続管１３から流れてくる空気が無理なく
ガイド弁１６を通過できるようにさせている。

【００１８】図１に示した多孔板製収納ケース（以下、
「パンチケース」という。）及び該ケース内にガイド弁
１６を納置する際の具体的な構成を、以下図３、図４を
参照しつつ説明する。図３に示すように、パンチケース
２３の内部には６基のガイド弁１６（図面では代表的に
３基のみ示している。）が納置されており、同図に示す
ように各ガイド弁１６は、そのガイド弁全体としての取
り付け方向が、順次互いに異なる方向を向くように組み
合わせてある（例えば東西南北の方向）。なお、空気吹
出口１２が天井４０の端付近にない場合には、原則的に
中央部にある２基のガイド弁１６においては空気案内翼
１８は真下を向くように、他の４基のガイド弁１６にお
いては空気案内翼１８は例えば東西南北の方向を向くよ
うに、各空気案内翼１８の角度を変えるものとする。パ
ンチケース２３の周線部には、フランジ部２４が形成さ
れており、適当な間隔で設けられたネジ穴２７を有す
る。このフランジ部２４を天井４０の下面にネジ止めす
ることにより、図１に示すように、複数のガイド弁１６
を空気吹出口１２の真下に簡単に取り付けられるように
なっている。

【００１９】次に、上記のように構成されたルームの空
調システムの作動について説明する。空調システムを稼
働させると、まず吸引ファン５が回り、外部の新鮮な空
気が空調設備１に導かれる。導入量としては、ルーム３
から取り出し、循環させる空気の量の３％程度が好まし
い。この程度の空気を追加することでルーム３の室圧を
好ましい状態に保持できるからである。導入された空気
は、ルーム３から排出された空気と混合された後、まず
フィルター７で混合空気中のダストが除去される。次い
で、ルーム３内の検知温度に応じて温水器８又は、冷水
器９のいずれかを通過することにより交換される。温水
器８あるいは、冷水器９を通過した空気は、蒸気発生器
１０を通過する間に所望の湿度を有する空気に調整され
た後、送風機１１へ送られる。送風機１１によってダク
ト４内に押し出された調整済みの空気は、ダクト４，接
続管１３を経て空気吹出口１２の内部に到達する。到達
した空気は、フィルター１５によって、より細かいダス
ト（フィルター７では除去できなかったダスト）が完全
に除去された後、そのフィルター１５の下面全体から供
給され、ガイド弁１６に達する。

【００２０】ガイド弁１６に達した空気は、空気案内翼
１８（図３参照）の間に入り込み、その空気案内翼１８
の表面上に沿って流れる。ガイド弁１６は上述したよう
に、各空気案内翼１８が全方向を向くように配置してい
るので、ガイド弁１６を通過した空気は、当然に全方向
に広がるように流れる。従って、ルーム３の天井付近全
体で吹出気流は室内空気と素早く混じり合う。この結
果、ルーム３内全体が温度的にムラの少ない、つまりほ
ぼ均一した室温状態となる。

【００２１】従って、空気吹出口１２から冷風が供給さ
れた場合でも、従来の乱流式ルームにおける空調システ
ムで問題とされていた集積回路試験装置２に生じる結露
の発生を回避することができる。ルーム３内の下方にあ
る空気は、ルーム３の側壁下部に備えつけられた排出フ
ァン２５で取り出された後、ダクト６を通って、空調設
備１に送られ再循環に供される。

【００２２】上記の実施の形態は、本発明に係る乱流式
クリーンルームの空気供給装置を集積回路試験装置室に
適用した場合について記載したものであるが、クリーン
ルームが動植物の生息するような部屋や食品を取り扱う
部屋、例えばペットショップ等、そして食品工場である
場合にも適用可能であり、脱臭用材を組み込むことを容
易にできる構成で好適な空調システムとすることができ
る。

【００２３】

【比較例】以下、本発明に係る空気供給装置を集積回路
試験装置室に適用した空調システムで得られる温度分布
の均一性を従来の集積回路試験装置室の空調システムで
得られる温度分布について図面を参照しつつ比較する。
図５は従来の集積回路試験装置室の空調システムを稼働
したときに得られる室内の風速測定図であり、図６は本
発明の空気供給装置を装備した集積回路試験装置室の空
調システムを稼働したときに得られる室内の風速測定図
である。なお、図５、図６ともに試験装置室の天井から
床方向に見た図で、実線で正方形を囲っている部分は集
積回路試験装置が存在する位置、点線で長方形を囲って
いる部分はガイド弁が存在する位置を示している。な
お、点線内の矢印は、各ガイド弁により空気が供給され
る方向を示しており、黒点は真下方向を向いていること
を示している。

【００２４】従来の空調システムでは、試験装置室内に
供給された空気は直接、床方向に真っ直ぐに流下する。
従って、図５に示すように、集積回路試験装置の付近
は、空気の流速範囲が最大である０．５０ｍ／ｓ以上の
範囲Ｆとなっている。また、集積回路試験装置から離れ
た場所では、空気の流速の範囲が最小である０．０５ｍ
／ｓ以下の範囲Ａとなっている。即ち、このような最大
範囲と最小範囲の隔たりが非常に大きく、しかも流速範
囲の境界線が混み入った状態にあるため、ルーム全体と
してみれば平面的にも、また垂直方向にみても室温のム
ラが著しいことが理解できる。

【００２５】これに対し、本発明の空調システムを稼働
した場合は、図６に示すように、空気の流速は０．３０
ｍ／ｓ〜０．５０ｍ／ｓの範囲Ｅから０．０５ｍ／ｓ以
下の範囲Ａまで存在する。しかし０．０５ｍ／ｓ以下の
範囲Ａは、図５の場合より非常に狭くなっている。また
０．５０ｍ／ｓ以上の範囲Ｆは存在しない。このよう
に、最大範囲と最小範囲の隔たりが小さく、しかも流速
範囲の境界線は図５の場合と異なり、その間隔が大きい
ためクリーンルーム全体としてみれば、平面的にも、垂
直的にも室温のムラが非常に少なくなっていることがよ
く理解できる。

【００２６】なお、上記の本発明の空調システムによる
効果と同一の効果を、天井部に大がかりな空気拡散装置
を取り付け、該装置を作動させることによって達成させ
ようとする場合に要する総コストを試算したところ、実
に１０倍にもなることが分かり、本発明に係る空調シス
テムの有効性、特に経済面での優位性が明らかとなっ
た。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のうち請求
項１記載の発明は、前記乱流式クリーンルームに再供給
される空気の吹出口には、少なくとも４基以上のガイド
弁を、全体が正方形状または長方形状となるように集合
して配置し、それぞれのガイド弁には、複数の空気案内
翼がブラインド状に配設されると共に各空気案内翼の角
度が個別に当該ガイド弁に対し変化できるようにされ、
また、ガイド弁は、各ガイド弁の取り付け方向を互いに
異なるように組み合わせ可能とされているものである。
従って、吹出気流を素早く室内空気と混じり合わせ、室
内の温度ムラの少ない乱流式クリーンルームを確保する
ことができる。従って、本発明はこのような乱流式クリ
ーンルームを確保するための空気供給装置として、従来
のように大がかりな空気拡散装置を使用しない分、非常
に経済的なものとすることができ、かつコンパクトであ
る。

【００２８】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明の効果に加えて、ガイド弁を収納ケース内に配置する
ことによって、各空気案内翼の角度やガイド弁の取り付
け方向の調整やこれらの部材の清掃が容易になり、メン
テナンスを有利なものにすることができるというような
効果を奏する。

【００２９】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の効果に加えて、ガイド弁を６基以上、例えば６基と
した場合は中央の１基又は２基については空気が真下方
向に流れるように調整しておくことにより、中央での空
気の逆流を防ぎ、吹出口を通過した空気を全方向に均等
に拡散することができる。従って、本発明の効果を最大
限に発揮させることができるというような効果を奏す
る。

【００３０】請求項４記載の発明は、請求項１乃至請求
項３の発明の効果に加えて、収納ケースとして多孔板を
使用することにより、収納ケースを通過する空気を整流
した後、全方向へ供給することができるので、水平方向
への拡散効率を高めることができる。従って、吹出口の
すぐ下、つまり天井に近い高さの位置から水平方向の均
一な温度分布と、垂直方向の乱れのない空気の積層状
態、即ち層流状態を一層確実に形成することができると
いうような効果を奏する。

【００３１】請求項５記載の発明は、請求項１乃至請求
項４記載の発明の構成のうち、ガイド弁及び収納ケース
を帯電防止可能な軽金属板で形成されたものである。
一般にダストは、静電気を帯びている場合に容易に付着
するという性質があるため、係るダストが存在する空気
の吹出口をプラスチック製材料で構成したような場合、
その部材にダストが付着し成長する。このため、清掃・
除去のための作業が必要となり、放置すれば空調そのも
のの効率が悪くなるが、本発明によれば、このような不
都合はなく本発明の効果を十分に発揮させることができ
る。

【００３２】請求項６記載の発明は、請求項１乃至請求
項５記載の効果に加えて、本発明を、集積回路試験装置
を設置した乱流式クリーンルームに好適なものとするこ
とにより、従来このような乱流式クリーンルームで生じ
ていた集積回路試験装置の結露発生を防止し、除露作業
を不要とすることができる効果が得られる。

【００３３】請求項７記載の発明は、請求項１乃至請求
項５記載の効果に加えて、本発明を、動植物の生息する
ような乱流式クリーンルームに好適なものとすることに
より、従来このような乱流式クリーンルームで生じてい
た不都合、即ち温度分布の不均一に起因した動植物の生
息に対しての悪影響をなくすことができる効果が得られ
る。

【００３４】請求項８記載の発明は、請求項１乃至請求
項５記載の効果に加えて、本発明を、食品を取り扱うよ
うな乱流式クリーンルームに好適なものとすることによ
り、従来このような乱流式クリーンルームで生じていた
不都合、即ち温度分布の不均一に起因した食品の品質劣
化、製品価値の問題を解決することができる効果が得ら
れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】集積回路試験装置を設置した乱流式クリーンル
ームの空調システムを示す概略説明図である。

【図２】乱流式クリーンルームの空気吹出口に配置され
る複数のガイド弁のうちの一つを代表的に示す斜視図で
ある。

【図３】６基のガイド弁を多孔板製収納ケースに備えた
斜視図である。

【図４】図３に示す多孔板製収納ケースを裏側から見た
状態を示す斜視図である。

【図５】従来の集積回路試験装置室の空調システムを稼
働したときに得られる室内の風速測定図である。

【図６】本発明の空気供給装置を集積回路試験装置室に
適用した空調システムを稼働したときに得られる室内の
風速測定図である。

【符号の説明】

１ 空調設備 ２ 集積回路試験装置 ３ 集積回路試験装置室（乱流式クリーンルーム） ４，６ ダクト ５ 吸引ファン ８ 温水器 ９ 冷水器 １０ 蒸気発生器 １１ 送風機 １２ 空気吹出口 １６ ガイド弁 １８ 空気案内翼 ２３ 多孔板製収納ケース Ａ 空気の流れ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮岡 進 兵庫県西脇市和田町75番地 ジェネシ ス・テクノロジー株式会社 西脇事業所 内 (72)発明者 吉用 明敏 兵庫県西脇市和田町75番地 ジェネシ ス・テクノロジー株式会社 西脇事業所 内 (72)発明者 畑 一郎 兵庫県西脇市和田町75番地 ジェネシ ス・テクノロジー株式会社 西脇事業所 内 (72)発明者 山下 恭平 東京都豊島区南大塚２丁目26番20号 株 式会社テクノ菱和 東京本店内 (72)発明者 加藤 圭二 東京都豊島区南大塚２丁目26番20号 株 式会社テクノ菱和 東京本店内 (72)発明者 菊地 雅史 大阪府大阪市北区天満２丁目７番３号 株式会社テクノ菱和 大阪支店内 (72)発明者 今井 精一 東京都豊島区南大塚２丁目26番20号 株 式会社テクノ菱和 本社内 (56)参考文献 特開 平７−120035（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−221164（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−55045（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−86019（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−149029（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F24F 7/04 - 7/06

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 室内の清浄度をある程度高く維持するた
   めに室内空気を排出し所定の空気条件に調整した後、そ
   の室内に還流することによってその室内の温度，湿度及
   びクリーン度を調節するようにした乱流式クリーンルー
   ムの空気供給装置において、 前記乱流式クリーンルームに再供給される空気の吹出口
   には、少なくとも４基以上のガイド弁を、全体が正方形
   状または長方形状となるように集合して配置し、 それぞれのガイド弁には、複数の空気案内翼がブライン
   ド状に配設されると共に各空気案内翼の角度が個別に当
   該ガイド弁に対し変化できるようにされ、 また、ガイド弁は、各ガイド弁の取り付け方向を互いに
   異なるように組み合わせ可能とされている ことを特徴と
   する乱流式クリーンルームの空気供給装置。
2. 【請求項２】 前記ガイド弁は、前記吹出口に取り付け
   られた収納ケース内に配置されたものである請求項１記
   載の乱流式クリーンルームの空気供給装置。
3. 【請求項３】 前記ガイド弁を６基以上集合すると共
   に、その集合群の中央部に位置するガイド弁の空気案内
   翼を、そのガイド弁を通過する空気が真下に向かうよう
   に角度調節されたものである請求項１又は請求項２記載
   の乱流式クリーンルームの空気供給装置。
4. 【請求項４】 前記収納ケースが多孔板で形成されたも
   のである請求項１乃至請求項３記載の乱流式クリーンル
   ームの空気供給装置。
5. 【請求項５】 前記ガイド弁及び前記収納ケースは、帯
   電防止可能な軽金属板で形成されたものである請求項１
   乃至請求項４記載の乱流式クリーンルームの空気供給装
   置。
6. 【請求項６】 前記クリーンルームが、集積回路試験装
   置を設置した部屋である請求項１乃至請求項５記載の乱
   流式クリーンルームの空気供給装置。
7. 【請求項７】 前記クリーンルームが、動植物の生息す
   る部屋である請求項１乃至請求項５記載の乱流式クリー
   ンルームの空気供給装置。
8. 【請求項８】 前記クリーンルームが、食品を取り扱う
   部屋である請求項１乃至請求項５記載の乱流式クリーン
   ルームの空気供給装置。