JP3317896B2 - レーザ発振波長監視装置 - Google Patents
レーザ発振波長監視装置Info
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J4/00—Measuring polarisation of light
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光源から射
出されたレーザ光の発振波長を監視するレーザ発振波長
監視装置に関する。
出されたレーザ光の発振波長を監視するレーザ発振波長
監視装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、１本の光ファイバに複数の波長の
光を伝送する波長多重伝送が盛んに行われている。この
波長多重伝送を行うためには、複数の異なる波長のレー
ザ光源が必要である。これらの光源は、良好な伝送品質
を確保するために、その発振波長を極めて正確に制御す
る必要がある。レーザ発振波長監視装置は、その制御の
ために、発振波長の変動を監視するものである。
光を伝送する波長多重伝送が盛んに行われている。この
波長多重伝送を行うためには、複数の異なる波長のレー
ザ光源が必要である。これらの光源は、良好な伝送品質
を確保するために、その発振波長を極めて正確に制御す
る必要がある。レーザ発振波長監視装置は、その制御の
ために、発振波長の変動を監視するものである。
【０００３】従来のレーザ発振波長監視装置としては、
例えば、特開平１０−００９９６１号公報に記載されて
いるものがある。この波長監視装置では、レーザ光を誘
電体多層膜に入射させ、その透過光をフォトダイオード
で受光し、それによって得られるフォトカレントの変動
を監視することにより、レーザ光源の発振波長の変動を
監視していた。
例えば、特開平１０−００９９６１号公報に記載されて
いるものがある。この波長監視装置では、レーザ光を誘
電体多層膜に入射させ、その透過光をフォトダイオード
で受光し、それによって得られるフォトカレントの変動
を監視することにより、レーザ光源の発振波長の変動を
監視していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
１０−００９９６１号公報に記載の従来のレーザ発振波
長監視装置によれば、入射する光の偏光状態によって誘
電体多層膜での透過光強度が変化（即ち、偏光依存性が
存在）するため、フォトカレントの変動がレーザ光源
（光）の発振波長の変動によるものか、装置に入射した
レーザ光の偏光の変動によるものかを特定することがで
きず、高精度の波長監視が不可能であるという問題があ
る。
１０−００９９６１号公報に記載の従来のレーザ発振波
長監視装置によれば、入射する光の偏光状態によって誘
電体多層膜での透過光強度が変化（即ち、偏光依存性が
存在）するため、フォトカレントの変動がレーザ光源
（光）の発振波長の変動によるものか、装置に入射した
レーザ光の偏光の変動によるものかを特定することがで
きず、高精度の波長監視が不可能であるという問題があ
る。
【０００５】従って、本発明の目的は、レーザ（入射）
光の偏光状態にかかわらず、発振波長の変動方向および
変動量を高精度に監視することができるレーザ発振波長
監視装置を提供することにある。
光の偏光状態にかかわらず、発振波長の変動方向および
変動量を高精度に監視することができるレーザ発振波長
監視装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】係る目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、レーザ光源から出射された
レーザ光の発振波長を監視するレーザ発振波長監視装置
において、レーザ光の所定の偏光成分を透過させる透過
手段と、透過手段を透過したレーザ光内の、所定の波長
の光を透過するバンドパスフィルタと、バンドパスフィ
ルタを透過したレーザ光を、予め定めた偏光成分別に分
離して出力する偏光分離手段と、偏光分離手段から出力
された光を偏光成分別に受光する複数の受光素子と、を
具備し、所定の偏光成分は、偏光分離手段における分離
方向に対して４５°の傾きである直線偏光成分であり、
バンドパスフィルタは、透過手段を透過したレーザ光の
光軸に対して所定の角度を有して配置され、複数の受光
素子がそれぞれ受光した光の強度及び光の強度比に基づ
いて、レーザ光の発振波長の変動方向およびその変動量
を監視することを特徴とする。
め、請求項１記載の発明は、レーザ光源から出射された
レーザ光の発振波長を監視するレーザ発振波長監視装置
において、レーザ光の所定の偏光成分を透過させる透過
手段と、透過手段を透過したレーザ光内の、所定の波長
の光を透過するバンドパスフィルタと、バンドパスフィ
ルタを透過したレーザ光を、予め定めた偏光成分別に分
離して出力する偏光分離手段と、偏光分離手段から出力
された光を偏光成分別に受光する複数の受光素子と、を
具備し、所定の偏光成分は、偏光分離手段における分離
方向に対して４５°の傾きである直線偏光成分であり、
バンドパスフィルタは、透過手段を透過したレーザ光の
光軸に対して所定の角度を有して配置され、複数の受光
素子がそれぞれ受光した光の強度及び光の強度比に基づ
いて、レーザ光の発振波長の変動方向およびその変動量
を監視することを特徴とする。
【０００７】請求項２記載の発明は、レーザ光源から出
射されたレーザ光の発振波長を監視するレーザ発振波長
監視装置において、レーザ光の所定の偏光成分を透過さ
せる透過手段と、透過手段を透過したレーザ光を、予め
定めた偏光成分別に分離して出力する偏光分離手段と、
偏光分離手段を透過したレーザ光の内、所定の波長の光
を透過するバンドパスフィルタと、偏光分離手段から出
力された光を偏光成分別に受光する複数の受光素子と、
を具備し、所定の偏光成分は、偏光分離手段における分
離方向に対して４５°の傾きである直線偏光成分であ
り、バンドパスフィルタは、偏光分離手段を透過した各
々のレーザ光の光軸に対して各々所定の角度を有して配
置され、複数の受光素子がそれぞれ受光した光の強度及
び光の強度比に基づいて、レーザ光の発振波長の変動方
向およびその変動量を監視することを特徴とする。
射されたレーザ光の発振波長を監視するレーザ発振波長
監視装置において、レーザ光の所定の偏光成分を透過さ
せる透過手段と、透過手段を透過したレーザ光を、予め
定めた偏光成分別に分離して出力する偏光分離手段と、
偏光分離手段を透過したレーザ光の内、所定の波長の光
を透過するバンドパスフィルタと、偏光分離手段から出
力された光を偏光成分別に受光する複数の受光素子と、
を具備し、所定の偏光成分は、偏光分離手段における分
離方向に対して４５°の傾きである直線偏光成分であ
り、バンドパスフィルタは、偏光分離手段を透過した各
々のレーザ光の光軸に対して各々所定の角度を有して配
置され、複数の受光素子がそれぞれ受光した光の強度及
び光の強度比に基づいて、レーザ光の発振波長の変動方
向およびその変動量を監視することを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら、
本発明の実施の形態を詳細に説明する。
本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【０００９】図１は、本発明の実施の形態によるレーザ
発振波長監視装置の構成図であり、図２はその一部斜視
図である。
発振波長監視装置の構成図であり、図２はその一部斜視
図である。
【００１０】図１に示すように、このレーザ発振波長監
視装置は、不図示のレーザ光源から出射されたレーザ光
を導くシングルモードの光ファイバ１と、光ファイバ１
からの出射光を平行光に像変換するレンズ２と、レンズ
２で像変換された平行光のうち所定の直線偏光成分のみ
を選択透過する検光子３と、例えば、誘電体多層膜で形
成される狭帯域の光バンドパスフィルタ４と、光バンド
パスフィルタ４を透過した光を偏光成分別に分離する偏
光分離素子５と、偏光分離素子５で分離した各偏光成分
を受光し電気信号に変換する受光素子６１および６２と
から構成されている。
視装置は、不図示のレーザ光源から出射されたレーザ光
を導くシングルモードの光ファイバ１と、光ファイバ１
からの出射光を平行光に像変換するレンズ２と、レンズ
２で像変換された平行光のうち所定の直線偏光成分のみ
を選択透過する検光子３と、例えば、誘電体多層膜で形
成される狭帯域の光バンドパスフィルタ４と、光バンド
パスフィルタ４を透過した光を偏光成分別に分離する偏
光分離素子５と、偏光分離素子５で分離した各偏光成分
を受光し電気信号に変換する受光素子６１および６２と
から構成されている。
【００１１】以上の構成において、レンズ２は、例え
ば、光ファイバ１からの出射光をビーム径３００ｕｍの
平行光に像変換するものであり、本実施の形態では結合
効率の低下を抑制するために非球面レンズを用いてい
る。
ば、光ファイバ１からの出射光をビーム径３００ｕｍの
平行光に像変換するものであり、本実施の形態では結合
効率の低下を抑制するために非球面レンズを用いてい
る。
【００１２】検光子３には、高い消光比を得るために透
過偏光以外の偏光成分を吸収するタイプの偏光子（商品
名：ポーラコア）を用いている。この検光子３の透過偏
光方向は、図中のｘ軸およびｙ軸に対して４５度傾斜さ
せている。
過偏光以外の偏光成分を吸収するタイプの偏光子（商品
名：ポーラコア）を用いている。この検光子３の透過偏
光方向は、図中のｘ軸およびｙ軸に対して４５度傾斜さ
せている。
【００１３】光バンドパスフィルタ４は、例えば、厚さ
０．３ｍｍのガラス基板上に、誘電体多層膜を形成させ
てなる狭帯域の光バンドパスフィルタである。無偏光状
態における半値全幅は０．４ｎｍ、また透過中心波長
は、所望とするレーザの発振波長（ここでは、１５５
０．００ｎｍ）に調整している。このために、図１中の
ｘ軸に対して１６度（望ましい範囲は、１０〜３０度程
度）傾斜して配置させている。
０．３ｍｍのガラス基板上に、誘電体多層膜を形成させ
てなる狭帯域の光バンドパスフィルタである。無偏光状
態における半値全幅は０．４ｎｍ、また透過中心波長
は、所望とするレーザの発振波長（ここでは、１５５
０．００ｎｍ）に調整している。このために、図１中の
ｘ軸に対して１６度（望ましい範囲は、１０〜３０度程
度）傾斜して配置させている。
【００１４】偏光分離素子５は、ＰＢＳプリズムであ
り、図２に示すように、ｘ軸およびｙ軸に平行な偏光成
分を別々に分離できるように配置されている。
り、図２に示すように、ｘ軸およびｙ軸に平行な偏光成
分を別々に分離できるように配置されている。
【００１５】受光素子６１および６２は、例えば、有効
アパーチャ径が５００ｕｍのｐｉｎ接合フォトダイオー
ドである。
アパーチャ径が５００ｕｍのｐｉｎ接合フォトダイオー
ドである。
【００１６】なお、検光子３および偏光分離素子５につ
いては、ルチルのような複屈折性物質を用いてもよい。
いては、ルチルのような複屈折性物質を用いてもよい。
【００１７】次に、波長監視動作について、図１〜図４
を用いて説明する。光ファイバ１より出射した光１００
は、レンズ２で平行光１００ａに変換された後、検光子
３へ入射される。検光子３の透過偏光方向は、ｘ軸およ
びｙ軸に対して４５度傾斜させているので、偏光方向が
ｘ軸およびｙ軸に対して４５度となっている直線偏光１
０１のみが透過する。検光子３を透過した直線偏光１０
１は、光バンドパスフィルタ４へ入射する。光バンドパ
スフィルタ４を透過した直線偏光１０１ａは、偏光分離
素子５でｘ軸に平行な偏光成分である直線偏光１０２と
ｙ軸に平行な偏光成分である直線偏光１０３とに分離さ
れた後、受光素子６１，６２に入射される。これによ
り、受光素子６１、６２から入射光強度に応じたフォト
カレントがそれぞれ出力される。
を用いて説明する。光ファイバ１より出射した光１００
は、レンズ２で平行光１００ａに変換された後、検光子
３へ入射される。検光子３の透過偏光方向は、ｘ軸およ
びｙ軸に対して４５度傾斜させているので、偏光方向が
ｘ軸およびｙ軸に対して４５度となっている直線偏光１
０１のみが透過する。検光子３を透過した直線偏光１０
１は、光バンドパスフィルタ４へ入射する。光バンドパ
スフィルタ４を透過した直線偏光１０１ａは、偏光分離
素子５でｘ軸に平行な偏光成分である直線偏光１０２と
ｙ軸に平行な偏光成分である直線偏光１０３とに分離さ
れた後、受光素子６１，６２に入射される。これによ
り、受光素子６１、６２から入射光強度に応じたフォト
カレントがそれぞれ出力される。
【００１８】この際、前述したように、検光子３を透過
した直線偏光１０１の偏光方向はｘ軸およびｙ軸に対し
て４５度の傾きを持っているため、光バンドパスフィル
タ４を透過した直線偏光１０１ａのうち、ｘ軸に平行な
偏光成分である直線偏光１０２とｙ軸に平行な偏光成分
である直線偏光１０３とでは、光バンドパスフィルタ４
での実効屈折率が異なる。
した直線偏光１０１の偏光方向はｘ軸およびｙ軸に対し
て４５度の傾きを持っているため、光バンドパスフィル
タ４を透過した直線偏光１０１ａのうち、ｘ軸に平行な
偏光成分である直線偏光１０２とｙ軸に平行な偏光成分
である直線偏光１０３とでは、光バンドパスフィルタ４
での実効屈折率が異なる。
【００１９】例えば、直線偏光１０１が白色光であった
場合、直線偏光１０２と１０３の透過スペクトラムは異
なる。具体的には、直線偏光１０２のフィルタ透過中心
波長が、直線偏光１０３のフィルタ透過中心波長に比べ
て短波長側にシフトする。これにより、出射光１００の
波長に応じて受光素子６１，６２に入射する光の強度、
即ち、フォトカレントが変化するようになっている。こ
れらの光１０２、１０３の強度は、後述するように、光
１００の強度あるいは偏光状態によっても変化する。
場合、直線偏光１０２と１０３の透過スペクトラムは異
なる。具体的には、直線偏光１０２のフィルタ透過中心
波長が、直線偏光１０３のフィルタ透過中心波長に比べ
て短波長側にシフトする。これにより、出射光１００の
波長に応じて受光素子６１，６２に入射する光の強度、
即ち、フォトカレントが変化するようになっている。こ
れらの光１０２、１０３の強度は、後述するように、光
１００の強度あるいは偏光状態によっても変化する。
【００２０】ここで、光１００の波長、即ち、レーザ光
（光源）の所望の発振波長が１５５０．００ｎｍである
場合を例にとって、図３および図４を参照しながら波長
監視動作について具体的に説明する。図３は、直線偏光
１０２および１０３の透過損失波長特性を示す図であ
り、図４は、受光素子６１および６２のフォトカレント
の光波長特性を示す図である。
（光源）の所望の発振波長が１５５０．００ｎｍである
場合を例にとって、図３および図４を参照しながら波長
監視動作について具体的に説明する。図３は、直線偏光
１０２および１０３の透過損失波長特性を示す図であ
り、図４は、受光素子６１および６２のフォトカレント
の光波長特性を示す図である。
【００２１】図３に示すように、光（レーザ光）１００
の発振波長が１５５０．００ｎｍである場合、光バンド
パスフィルタ４における直線偏光１０２と１０３の透過
損失は同一で、約８ｄＢである。このとき受光素子６
１，６２で得られるフォトカレントは、図４に示すよう
に、それぞれ１３０ｕＡである。
の発振波長が１５５０．００ｎｍである場合、光バンド
パスフィルタ４における直線偏光１０２と１０３の透過
損失は同一で、約８ｄＢである。このとき受光素子６
１，６２で得られるフォトカレントは、図４に示すよう
に、それぞれ１３０ｕＡである。
【００２２】次に、光１００の波長が１５４９．９０ｎ
ｍにシフトすると、光バンドパスフィルタ４における直
線偏光１０２の透過損失は小さくなるのに対して、直線
偏光１０３の透過損失は大きくなる。即ち、本実施の形
態では、図３に示すように、直線偏光１０２の透過損失
が約７ｄＢであるのに対して、直線偏光１０３の透過損
失は約１０ｄＢとなる。このため、受光素子６１，６２
に入射する光強度が異なり、得られるフォトカレントも
変化する。即ち、図４に示すように、受光素子６１で得
られたフォトカレントが１５２ｕＡであるのに対して、
受光素子６２のフォトカレントは１１０ｕＡとなる。
ｍにシフトすると、光バンドパスフィルタ４における直
線偏光１０２の透過損失は小さくなるのに対して、直線
偏光１０３の透過損失は大きくなる。即ち、本実施の形
態では、図３に示すように、直線偏光１０２の透過損失
が約７ｄＢであるのに対して、直線偏光１０３の透過損
失は約１０ｄＢとなる。このため、受光素子６１，６２
に入射する光強度が異なり、得られるフォトカレントも
変化する。即ち、図４に示すように、受光素子６１で得
られたフォトカレントが１５２ｕＡであるのに対して、
受光素子６２のフォトカレントは１１０ｕＡとなる。
【００２３】このように、受光素子６１，６２で得られ
るフォトカレントは、光１００の波長により異なり、光
１００が短波長側にシフトした場合には受光素子６１の
フォトカレントが受光素子６２のそれと比較して増加
し、長波長側にシフトした場合には、この逆の振る舞い
をする。このような振る舞いから、受光素子６１，６２
のフォトカレントの比は、光１００の波長変動の方向お
よびその変動量に応じて変化する。このため、受光素子
６１，６２のフォトカレントおよびそれらの比を監視す
ることで、光１００の波長変動、その変動方向およびそ
の変動量を電気的に高精度に監視することができる。
るフォトカレントは、光１００の波長により異なり、光
１００が短波長側にシフトした場合には受光素子６１の
フォトカレントが受光素子６２のそれと比較して増加
し、長波長側にシフトした場合には、この逆の振る舞い
をする。このような振る舞いから、受光素子６１，６２
のフォトカレントの比は、光１００の波長変動の方向お
よびその変動量に応じて変化する。このため、受光素子
６１，６２のフォトカレントおよびそれらの比を監視す
ることで、光１００の波長変動、その変動方向およびそ
の変動量を電気的に高精度に監視することができる。
【００２４】一方、光１００の偏光状態が変化すると、
検光子３を透過した直線偏光１０１の光強度が変化する
ことになる。このため、偏光分離素子５を透過後の直線
偏光１０２，１０３の光強度もまた変化し、受光素子６
１，６２で発生するフォトカレントも変化することにな
る。しかし、光バンドパスフィルタ４による透過損失は
変化しない。このため、直線偏光１０２および１０３の
強度比は変化せず、発生するフォトカレントの比もまた
変化しない。このことから、フォトカレントの比を監視
することで、偏光状態の変化を補償することができる。
また、同じ理由から、この監視手法を用いることで光１
００の強度変化も補償することができる。
検光子３を透過した直線偏光１０１の光強度が変化する
ことになる。このため、偏光分離素子５を透過後の直線
偏光１０２，１０３の光強度もまた変化し、受光素子６
１，６２で発生するフォトカレントも変化することにな
る。しかし、光バンドパスフィルタ４による透過損失は
変化しない。このため、直線偏光１０２および１０３の
強度比は変化せず、発生するフォトカレントの比もまた
変化しない。このことから、フォトカレントの比を監視
することで、偏光状態の変化を補償することができる。
また、同じ理由から、この監視手法を用いることで光１
００の強度変化も補償することができる。
【００２５】なお、入射光を無偏光状態にして入射し、
光バンドパスフィルタ４の中心波長を調整することによ
り、フィルタ中心波長を動作点（レーザ発振波長）に容
易に調整することができるため、レーザ発振波長監視装
置の製造が容易であるという効果もある。
光バンドパスフィルタ４の中心波長を調整することによ
り、フィルタ中心波長を動作点（レーザ発振波長）に容
易に調整することができるため、レーザ発振波長監視装
置の製造が容易であるという効果もある。
【００２６】図５は、本発明の他の実施の形態によるレ
ーザ発振波長監視装置の構成図である。この他の実施の
形態は、図５に示すように、図１の光バンドパスフィル
タ４を省いた代わりに、偏光分離素子５と受光素子６
１，６２の間にそれぞれ光バンドパスフィルタ４１，４
２を設けたものである。
ーザ発振波長監視装置の構成図である。この他の実施の
形態は、図５に示すように、図１の光バンドパスフィル
タ４を省いた代わりに、偏光分離素子５と受光素子６
１，６２の間にそれぞれ光バンドパスフィルタ４１，４
２を設けたものである。
【００２７】この場合、光バンドパスフィルタ４１，４
２は、図１の光バンドパスフィルタ４と同一の特性を有
する光バンドパスフィルタであり、その透過中心波長
は、光バンドパスフィルタ４１が１５４９．５０ｎｍ、
光バンドパスフィルタ４２が１５５０．５０ｎｍに調整
されている。そして、その時の光線入射角は、光バンド
パスフィルタ４１が１０度、光バンドパスフィルタ４２
が８度となっている。なお、レーザ光源の波長は１５５
０．００ｎｍである。
２は、図１の光バンドパスフィルタ４と同一の特性を有
する光バンドパスフィルタであり、その透過中心波長
は、光バンドパスフィルタ４１が１５４９．５０ｎｍ、
光バンドパスフィルタ４２が１５５０．５０ｎｍに調整
されている。そして、その時の光線入射角は、光バンド
パスフィルタ４１が１０度、光バンドパスフィルタ４２
が８度となっている。なお、レーザ光源の波長は１５５
０．００ｎｍである。
【００２８】以上のような構成としても、受光素子６
１、６２に入射される光の強度は、光１００の波長や強
度あるいは偏光状態に応じて変化し、偏光状態が変化し
ただけではそれらの光の強度の比は変化しないため、上
記実施の形態と同じ効果を得ることができる。
１、６２に入射される光の強度は、光１００の波長や強
度あるいは偏光状態に応じて変化し、偏光状態が変化し
ただけではそれらの光の強度の比は変化しないため、上
記実施の形態と同じ効果を得ることができる。
【００２９】なお、本発明は、上述した各実施の形態以
外の形でも適用させることができる。例えば、図１に示
す構成において、光バンドパスフィルタ４は、レンズ２
と検光子３の間に配置しても良い。検光子３が透過させ
る偏光成分、偏光分離素子５が分離させて出力する偏光
成分については、それらの間の関係によって生じる制限
の範囲内で任意に変更させることができる。
外の形でも適用させることができる。例えば、図１に示
す構成において、光バンドパスフィルタ４は、レンズ２
と検光子３の間に配置しても良い。検光子３が透過させ
る偏光成分、偏光分離素子５が分離させて出力する偏光
成分については、それらの間の関係によって生じる制限
の範囲内で任意に変更させることができる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明のレーザ発
振波長監視装置によれば、レーザ光の所定の偏光成分を
透過手段によって透過し、この透過手段を透過したレー
ザ光を偏光分離手段によって予め定めた偏光成分別に分
離して出力し、この偏光分離手段から出力された光を複
数の受光素子によって偏光成分別に受光するようにした
ので、レーザ（入射）光の偏光状態にかかわらず、発振
波長の変動方向および変動量を高精度に監視することが
できる。
振波長監視装置によれば、レーザ光の所定の偏光成分を
透過手段によって透過し、この透過手段を透過したレー
ザ光を偏光分離手段によって予め定めた偏光成分別に分
離して出力し、この偏光分離手段から出力された光を複
数の受光素子によって偏光成分別に受光するようにした
ので、レーザ（入射）光の偏光状態にかかわらず、発振
波長の変動方向および変動量を高精度に監視することが
できる。
【図１】本発明の実施の形態によるレーザ発振波長監視
装置の構成を示す図である。
装置の構成を示す図である。
【図２】図１の一部斜視図である。
【図３】光バンドパスフィルタの透過損失波長特性を示
す図である。
す図である。
【図４】受光素子のフォトカレントの光波長特性を示す
図である。
図である。
【図５】本発明の他の実施の形態によるレーザ発振波長
監視装置の構成を示す図である。
監視装置の構成を示す図である。
１ 光ファイバ ２ レンズ ３ 検光子 ４，４１，４２ 光バンドパスフィルタ ５ 偏光分離素子 ６１，６２ 受光素子 １００ 光ファイバからの出射光 １００ａ レンズで像変換された平行光 １０１ 検光子を透過した直線偏光 １０１ａ 光バンドパスフィルタを透過した直線偏光 １０２，１０３ 偏光分離素子を透過した直線偏光
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01J 9/00,3/26 H01S 3/13
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ光源から出射されたレーザ光の発
振波長を監視するレーザ発振波長監視装置において、 前記レーザ光の所定の偏光成分を透過させる透過手段
と、 前記透過手段を透過したレーザ光内の、所定の波長の光
を透過するバンドパスフィルタと、 前記バンドパスフィルタを透過したレーザ光を、予め定
めた偏光成分別に分離して出力する偏光分離手段と、 前記偏光分離手段から出力された光を前記偏光成分別に
受光する複数の受光素子と、を具備し、 前記所定の偏光成分は、前記偏光分離手段における分離
方向に対して４５°の傾きである直線偏光成分であり、 前記バンドパスフィルタは、前記透過手段を透過したレ
ーザ光の光軸に対して所定の角度を有して配置され、前記複数の受光素子がそれぞれ受光した光の強度及び前
記光の強度比に基づいて、前記レーザ光の発振波長の変
動方向およびその変動量を監視する ことを特徴とするレ
ーザ発振波長監視装置。 - 【請求項２】 レーザ光源から出射されたレーザ光の発
振波長を監視するレーザ発振波長監視装置において、 前記レーザ光の所定の偏光成分を透過させる透過手段
と、 前記透過手段を透過したレーザ光を、予め定めた偏光成
分別に分離して出力する偏光分離手段と、 前記偏光分離手段を透過したレーザ光の内、所定の波長
の光を透過するバンドパスフィルタと、 前記偏光分離手段から出力された光を前記偏光成分別に
受光する複数の受光素子と、を具備し、 前記所定の偏光成分は、前記偏光分離手段における分離
方向に対して４５°の傾きである直線偏光成分であり、 前記バンドパスフィルタは、前記偏光分離手段を透過し
た各々のレーザ光の光軸に対して各々所定の角度を有し
て配置され、前記複数の受光素子がそれぞれ受光した光の強度及び前
記光の強度比に基づいて、前記レーザ光の発振波長の変
動方向およびその変動量を監視する ことを特徴とするレ
ーザ発振波長監視装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11443398A JP3317896B2 (ja) | 1998-04-24 | 1998-04-24 | レーザ発振波長監視装置 |
| FR9905174A FR2777993A1 (fr) | 1998-04-24 | 1999-04-23 | Procede et appareil de surveillance de lumiere laser |
| CA 2270102 CA2270102A1 (en) | 1998-04-24 | 1999-04-23 | Wavelength monitoring system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11443398A JP3317896B2 (ja) | 1998-04-24 | 1998-04-24 | レーザ発振波長監視装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11304594A JPH11304594A (ja) | 1999-11-05 |
| JP3317896B2 true JP3317896B2 (ja) | 2002-08-26 |
Family
ID=14637608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11443398A Expired - Fee Related JP3317896B2 (ja) | 1998-04-24 | 1998-04-24 | レーザ発振波長監視装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3317896B2 (ja) |
| CA (1) | CA2270102A1 (ja) |
| FR (1) | FR2777993A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7253902B2 (en) * | 2004-03-31 | 2007-08-07 | Mitutoyo Corporation | Wavelength detector |
| CN111194528B (zh) * | 2017-10-05 | 2021-10-26 | 华为技术有限公司 | 波长监测和/或控制设备、包括所述设备的激光系统及操作所述设备的方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| GB2226127B (en) * | 1988-12-16 | 1992-07-29 | Stc Plc | Optical frequency monitor |
| JPH09325286A (ja) * | 1996-06-03 | 1997-12-16 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 波長可変光フィルタモジュール |
| JPH109961A (ja) * | 1996-06-21 | 1998-01-16 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | 光波長監視装置 |
-
1998
- 1998-04-24 JP JP11443398A patent/JP3317896B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-04-23 CA CA 2270102 patent/CA2270102A1/en not_active Abandoned
- 1999-04-23 FR FR9905174A patent/FR2777993A1/fr not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2777993A1 (fr) | 1999-10-29 |
| JPH11304594A (ja) | 1999-11-05 |
| CA2270102A1 (en) | 1999-10-24 |
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