JP3314406B2 - How to measure the height of cream solder - Google Patents
How to measure the height of cream solderInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はクリーム半田の高さ測定
方法に係り、詳しくは、ソルダーレジストにより覆われ
た平面性の良好な回路パターンの上面を高さの基準にし
てクリーム半田の高さをレーザ光により測定し、これに
基づいてクリーム半田の塗布量の良否を検査するように
したものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for measuring the height of a cream solder, and more particularly to a method for measuring the height of a cream solder based on the upper surface of a circuit pattern having good flatness covered with a solder resist. Is measured by a laser beam, and based on the measured value, the quality of the applied amount of the cream solder is inspected.
【0002】[0002]
【従来の技術】IC、LSIなどのチップは半田付けに
より基板の電極に接着される。この半田付けは、スクリ
ーン印刷装置により基板の電極にクリーム半田を塗布
し、このクリーム半田上にチップのリードを着地させた
後、リフロー装置によりクリーム半田を加熱処理して行
われる。2. Description of the Related Art Chips such as ICs and LSIs are bonded to electrodes on a substrate by soldering. This soldering is performed by applying cream solder to the electrodes of the substrate using a screen printing device, landing the chip leads on the cream solder, and then heating the cream solder using a reflow device.
【0003】ところで、クリーム半田の塗布量が適正で
ないと、半田付けが不良となりやすいことから、チップ
マウンタによりチップを基板に搭載する前に、クリーム
半田部の塗布量の良否を判定する検査が行われる。この
検査方法として、レーザ装置を用いてクリーム半田の高
さを測定し、その結果に基づいてクリーム半田の塗布量
の良否を判定することが知られている。[0003] By the way, if the amount of cream solder applied is not proper, soldering is likely to be defective. Therefore, before mounting a chip on a substrate by a chip mounter, an inspection for judging whether the amount of cream solder applied is proper or not is performed. Will be As this inspection method, it is known that the height of the cream solder is measured using a laser device, and the quality of the applied amount of the cream solder is determined based on the result.
【0004】この高さの測定は、基板の電極に塗布され
たクリーム半田に、発光部からレーザ光を照射し、その
反射光を受光部に受光することにより行われるが、この
場合、クリーム半田の高さの基準を設定せねばならな
い。そこで従来は、レーザ光によりクリーム半田が塗布
されている電極の上面の高さを測定し、この上面の高さ
を高さの基準にしていた。The height is measured by irradiating the cream solder applied to the electrodes of the substrate with laser light from the light emitting section and receiving the reflected light at the light receiving section. In this case, the cream solder is used. Height standards must be set. Therefore, conventionally, the height of the upper surface of the electrode on which the cream solder is applied is measured by a laser beam, and the height of the upper surface is used as a reference for the height.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、電極の上面
には、クリーム半田のヌレ性を改善するために半田レベ
ラーや半田メッキ等により半田コーティング部が形成さ
れており、従って、上述したクリーム半田の実際の高さ
の基準は、この半田コーティング部の上面となる。とこ
ろが半田コーティング部の上面は粗面であって凹凸が甚
だしいことから、レーザ光を照射してその高さを測定し
た場合、測定結果がばらつきやすいものである。このた
め半田コーティング部を高さの基準とする従来手段で
は、クリーム半田の高さの測定結果の信頼性が低く、ひ
いてはクリーム半田の塗布量の良否判定ミスを生じやす
いという問題点があった。On the upper surface of the electrode, a solder coating portion is formed by a solder leveler, solder plating or the like in order to improve the wettability of the cream solder. The reference for the actual height is the upper surface of the solder coating. However, since the upper surface of the solder coating portion is rough and has significant irregularities, when the height is measured by irradiating a laser beam, the measurement result tends to vary. For this reason, in the conventional means using the solder coating portion as a reference for the height, there has been a problem that the reliability of the measurement result of the cream solder height is low, and that the determination of the quality of the application amount of the cream solder is liable to occur.
【0006】また基板には、電極以外の部分に半田が付
着しないように、ソルダーレジストが塗布されている。
このソルダーレジストは透明または半透明であってレー
ザ光は透過する。またエッチング手段などにより電極と
同時に形成される回路パターンはソルダーレジストによ
り覆われているが、その上面は凹凸の比較的少ない平滑
面であり、しかもソルダーレジストにより保護されてい
るので、比較的平面性が良い。[0006] The substrate is coated with a solder resist so that solder does not adhere to portions other than the electrodes.
This solder resist is transparent or translucent, and transmits laser light. The circuit pattern formed simultaneously with the electrodes by etching means is covered with solder resist, but its upper surface is a smooth surface with relatively few irregularities and is protected by solder resist, so it has a relatively flat surface. Is good.
【0007】そこで本発明は、上記事情に鑑みなされた
ものであって、レーザ光による測定精度の向上を図るこ
とができるクリーム半田の高さ測定方法を提供すること
を目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a cream solder height measuring method capable of improving measurement accuracy by a laser beam.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】このために本発明は、電
極の側部のソルダーレジストにより覆われた回路パター
ンにレーザ光を照射してその上面の高さを測定し、測定
された高さを高さの基準として、クリーム半田の高さを
レーザ光により測定するようにしたものである。For this purpose, the present invention provides a method of irradiating a circuit pattern covered with a solder resist on the side of an electrode with a laser beam, measuring the height of the upper surface thereof, and measuring the measured height. Is used as a height standard, and the height of the cream solder is measured by a laser beam.
【0009】[0009]
【作用】上記構成によれば、電極の側部の回路パターン
に、発光部からレーザ光を照射すると、レーザ光は透明
または半透明のソルダーレジストを透過して回路パター
ンの上面に照射され、その反射光を受光部に受光して回
路パターンの上面の高さを検出する。そして基板の電極
に塗布されたクリーム半田にレーザ光を照射し、その反
射光を受光部に受光してクリーム半田の高さを測定する
が、この場合、回路パターンの上面は平滑面であってし
かもソルダーレジストに覆われて保護されているので、
平面性が比較的良好であり、高さの基準としての信頼性
がきわめて高い。従って回路パターンの上面の高さをク
リーム半田の高さの基準とすることにより、信頼性の高
い測定結果を得ることができ、これに基づいて、クリー
ム半田の塗布量の良否判定を的確に行うことができる。According to the above arrangement, when laser light is irradiated from the light emitting portion to the circuit pattern on the side of the electrode, the laser light is transmitted through the transparent or translucent solder resist and is irradiated on the upper surface of the circuit pattern. The reflected light is received by the light receiving section to detect the height of the upper surface of the circuit pattern. Then, the cream solder applied to the electrodes of the substrate is irradiated with laser light, and the reflected light is received by a light receiving portion to measure the height of the cream solder. In this case, the upper surface of the circuit pattern is a smooth surface. Moreover, since it is covered and protected by solder resist,
The flatness is relatively good, and the reliability as a height standard is extremely high. Therefore, by using the height of the upper surface of the circuit pattern as a reference for the height of the cream solder, a highly reliable measurement result can be obtained, and based on this, the quality of the cream solder is appropriately determined. be able to.
【0010】[0010]
【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。図1はクリーム半田の高さ測定装置の正面図
である。1は基板、2は基板1上に形成された電極、3
は電極2の上面にスクリーン印刷装置により塗布された
クリーム半田、4はXテーブル、5はYテーブルであ
る。6はレーザ光Bの発光部、7は発光部6から照射さ
れて対象物で反射されたレーザ光Bを受光する受光部、
8は発光部6と受光部7をYテーブル5に取り付けるブ
ラケット、9,10はXYテーブル4,5の駆動用のモ
ータであり、発光部6と受光部7は、一体的にXY方向
に移動する。11はYテーブル5に設けられて、クリー
ム半田3を観察するCCDカメラである。Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a front view of the cream solder height measuring device. 1 is a substrate, 2 is an electrode formed on the substrate 1, 3
Is a cream solder applied to the upper surface of the electrode 2 by a screen printing device, 4 is an X table, and 5 is a Y table. Reference numeral 6 denotes a light emitting unit of the laser light B, 7 denotes a light receiving unit that receives the laser light B emitted from the light emitting unit 6 and reflected by the object,
Reference numeral 8 denotes a bracket for attaching the light emitting unit 6 and the light receiving unit 7 to the Y table 5, and 9 and 10 denote motors for driving the XY tables 4 and 5. The light emitting unit 6 and the light receiving unit 7 move integrally in the XY directions. I do. Reference numeral 11 denotes a CCD camera provided on the Y table 5 for observing the cream solder 3.
【0011】図2は電極2にクリーム半田3が塗布され
た基板1の断面図であって、基板1の上面には電極2に
接続する回路パターン12が形成されている。電極2と
回路パターン12は銅箔のエッチング手段などにより同
時に形成されるものであり、その表面は凹凸の比較的少
ない平滑面である。13は回路パターン12の電極2以
外の部分を覆うソルダーレジストである。このソルダー
レジスト13は、透明または半透明な樹脂からなり、レ
ーザ光Bは透過して回路パターン12の上面の高さを測
定できる。14はクリーム半田3のヌレ性を改善するた
めに、電極2の上面に形成された半田コーティング部で
ある。この半田コーティング部14は半田レベラーや半
田メッキなどにより形成されており、上述したようにそ
の上面は凹凸のある粗面である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the substrate 1 in which the cream 2 is applied to the electrode 2. A circuit pattern 12 connected to the electrode 2 is formed on the upper surface of the substrate 1. The electrode 2 and the circuit pattern 12 are formed at the same time by a copper foil etching means or the like, and their surfaces are smooth surfaces with relatively few irregularities. Reference numeral 13 denotes a solder resist that covers portions of the circuit pattern 12 other than the electrodes 2. The solder resist 13 is made of a transparent or translucent resin, and transmits the laser beam B so that the height of the upper surface of the circuit pattern 12 can be measured. Reference numeral 14 denotes a solder coating formed on the upper surface of the electrode 2 in order to improve the wettability of the cream solder 3. The solder coating portion 14 is formed by a solder leveler, solder plating, or the like, and the upper surface thereof is a rough surface having irregularities as described above.
【0012】次にこの測定装置を用いたクリーム半田3
の検査方法を説明する。本実施例では、カメラ11によ
るクリーム半田3の平面形状の良否検査と、レーザ光B
によるクリーム半田3の高さの検査を行い、両方の検査
に共に合格すれば、クリーム半田3の塗布量は良と判定
される。Next, the cream solder 3 using this measuring device
An inspection method will be described. In the present embodiment, the quality of the planar shape of the cream solder 3 is inspected by the camera 11 and the laser light B
Inspection of the height of the cream solder 3 is performed, and if both the tests pass, the application amount of the cream solder 3 is determined to be good.
【0013】まずカメラ11によるクリーム半田3の平
面形状の良否検査を行う。図3はカメラ11によるクリ
ーム半田3の平面形状の良否を判定するための説明図で
ある。図中、A欄はカメラ11に取り込まれたCCD画
像を2値化処理した電極2の平面画像を示している。銅
箔から成る電極2は暗く観察され、また鉛と錫の合金な
どから成るクリーム半田3は明るく観察される。またB
欄はその良否の判定図を示している。a欄は良品のクリ
ーム半田3を示しており、b欄は位置ずれ、c欄は欠
け、d欄はにじみによる不良品のクリーム半田3を示し
ている。次に、このクリーム半田3の平面形状の良否判
定方法を詳細に説明する。First, a quality inspection of the planar shape of the cream solder 3 by the camera 11 is performed. FIG. 3 is an explanatory diagram for determining whether or not the planar shape of the cream solder 3 by the camera 11 is good. In the figure, column A shows a planar image of the electrode 2 obtained by binarizing the CCD image captured by the camera 11. The electrode 2 made of a copper foil is observed dark, and the cream solder 3 made of an alloy of lead and tin is observed bright. Also B
The column shows a determination diagram of the quality. Column a shows non-defective cream solder 3, column b shows displacement, column c is missing, and column d shows defective cream solder 3 due to bleeding. Next, a method of determining the quality of the cream solder 3 in the planar shape will be described in detail.
【0014】A−aに示すクリーム半田3は、電極2の
中央部に適量塗布されている。B−aはこのクリーム半
田3の良否判定図を示している。このクリーム半田3の
良否判定は、電極2の設計面積を基準に行われる。すな
わち、この電極2の設計面積S1からクリーム半田3の
面積を差し引いた不塗布部の面積(すなわちA−a欄で
影線を施した部分の面積)S2が予め設定された面積の
範囲内にあるか否かによって判定される。L(LOW)
は面積の下限値、H(HIGH)は面積の上限値であ
る。この下限値Lと上限値Hは、要求される精度に応じ
て設定される。B−a欄において、S2は下限値Lと上
限値Hの間にあり、したがって良品と判定される。なお
電極2の設計面積S1は設計上既知であって、予めコン
ピュータ(図示せず)に登録されている。また上記面積
S2は輝度分布に基づく周知の画像処理により簡単に求
められる。An appropriate amount of cream solder 3 indicated by Aa is applied to the center of the electrode 2. Ba shows a quality judgment diagram of the cream solder 3. The determination of the quality of the cream solder 3 is made based on the design area of the electrode 2. That is, the area of the non-applied portion obtained by subtracting the area of the cream solder 3 from the design area S1 of the electrode 2 (that is, the area of the portion shaded in the column A-a) S2 falls within the preset area. It is determined by whether or not there is. L (LOW)
Is the lower limit of the area, and H (HIGH) is the upper limit of the area. The lower limit L and the upper limit H are set according to the required accuracy. In the section Ba, S2 is between the lower limit value L and the upper limit value H, and is therefore determined to be non-defective. The design area S1 of the electrode 2 is known in design and is registered in a computer (not shown) in advance. The area S2 can be easily obtained by well-known image processing based on a luminance distribution.
【0015】また、A−bにおいて、クリーム半田3は
右上方に位置ずれして電極2に形成されている。このよ
うな位置ずれは、スクリーン印刷装置によるクリーム半
田3の印刷時にスクリーンマスクと基板1の間に位置ず
れがある場合に起きる。このものは、電極2からはみ出
した分だけクリーム半田3の面積が小さくなり、このた
めB−bに示すように、不塗布部の面積S2は上限値H
を超えるので不良品と判定される。In addition, in Ab, the cream solder 3 is formed on the electrode 2 so as to be displaced to the upper right. Such a displacement occurs when there is a displacement between the screen mask and the substrate 1 when the cream solder 3 is printed by the screen printing apparatus. In this case, the area of the cream solder 3 is reduced by the amount protruding from the electrode 2, and therefore, as shown by Bb, the area S2 of the non-applied portion is set to the upper limit H
Is determined as a defective product.
【0016】A−cにおいて、クリーム半田3は左端部
が欠けている。このような欠けは、スクリーン印刷装置
のスクリーンマスクに穿孔されたパターン孔の一部が目
詰りした場合などに起きる。クリーム半田3が欠けた分
だけその面積は小さくなり、このためB−cに示すよう
に、不塗布面積S2は上限値Hを超えるので不良品と判
定される。In A-c, the cream solder 3 lacks the left end. Such chipping occurs when a part of the pattern holes formed in the screen mask of the screen printing apparatus is clogged. The area is reduced by the amount of the cream solder 3 being chipped, and the non-applied area S2 exceeds the upper limit H as shown by B-c, so that it is determined to be defective.
【0017】A−dにおいて、クリーム半田3は電極2
の外縁部近くまでにじみ出している。このにじみは、電
極2にクリーム半田3が多量に塗布された場合に生じ
る。このにじみ出た分だけクリーム半田3の面積は大き
くなり、このためB−dに示すように、不塗布面積S2
は下限値Lより小さくなるので不良品と判定される。こ
のように、電極2の設計面積S1を判定基準とすること
により、クリーム半田3の平面形状の良否判定を簡単に
行える。In Ad, the cream solder 3 is the electrode 2
Oozes out near the outer edge. This bleeding occurs when a large amount of cream solder 3 is applied to the electrode 2. The area of the cream solder 3 increases by the amount of the oozing, and therefore, as shown in Bd, the uncoated area S2
Is smaller than the lower limit L, so that it is determined to be defective. As described above, by using the design area S1 of the electrode 2 as a criterion, the quality of the cream solder 3 in the planar shape can be easily determined.
【0018】このカメラ11での平面形状の検査によ
り、不良と判定されたクリーム半田3が形成された基板
1は除去され、全てのクリーム半田3が良品と判定され
た基板1だけについて、以下に述べるようにその後レー
ザ光Bによるクリーム半田3の高さの検査が行われる。
この検査は、図4において電極2を縦断する方向(矢印
X方向)にレーザ光Bをスキャンニングさせて、クリー
ム半田3の長手方向の高さ分布を測定する検査と、電極
2を横断する方向(矢印Y方向)にレーザ光Bをスキャ
ンニングさせて、クリーム半田3の幅方向の高さ分布を
測定する検査とから成っている。The board 1 on which the cream solder 3 determined to be defective is formed by inspection of the planar shape with the camera 11 is removed, and only the board 1 for which all cream solders 3 are determined to be non-defective is described below. As described above, the inspection of the height of the cream solder 3 by the laser beam B is performed.
This inspection is performed by scanning the laser beam B in the direction (arrow X direction) that traverses the electrode 2 in FIG. 4 to measure the height distribution of the cream solder 3 in the longitudinal direction, and the direction traversing the electrode 2. And scanning the laser beam B in the direction of the arrow Y to measure the height distribution of the cream solder 3 in the width direction.
【0019】まず、このクリーム半田3の長手方向(X
方向)の高さ分布を測定する検査を詳細に説明する。図
5はクリーム半田3の良否判定の説明図である。図5
中、A欄は電極2にクリーム半田3が塗布された基板1
の断面図を示しており、B欄はクリーム半田3の良否の
判定図を示し、C欄は良否の判定式を示している。ま
た、図5のa欄は良品のクリーム半田3、同図b欄は過
少による不良品のクリーム半田3、同図c欄は過多によ
る不良品のクリーム半田3を示している。First, in the longitudinal direction (X
The inspection for measuring the height distribution in the (direction) will be described in detail. FIG. 5 is an explanatory diagram of the quality judgment of the cream solder 3. FIG.
In the column A, the substrate 1 in which the cream solder 3 is applied to the electrode 2 is shown.
, A column B shows a determination diagram of the quality of the cream solder 3, and a column C shows a determination formula of the quality. In addition, the column a of FIG. 5 shows a non-defective cream solder 3, the column b of FIG. 5 shows a cream solder 3 of an inferior product due to an insufficient amount, and the column c of FIG.
【0020】レーザ光BをX方向にスキャンニングさせ
て、B−aに示されるクリーム半田3の長手方向の高さ
分布を入手する。そして予め設定された上限値H(HI
GH)と下限値L(LOW)の範囲内にある長さL1,
L2,L3の和Lを求め、この和Lが予め設定された下
限値Lmin と上限値Lmax の範囲内にあるか否かにより
良否を判定する。本例ではC−aに示すようにLmin <
L<Lmax であり、良品と判定される。The laser beam B is scanned in the X direction to obtain the height distribution of the cream solder 3 in the longitudinal direction indicated by Ba. Then, a preset upper limit value H (HI
GH) and the length L1, which falls within the range of the lower limit L (LOW).
The sum L of L2 and L3 is obtained, and pass / fail is determined based on whether or not the sum L is within a range between a preset lower limit Lmin and an upper limit Lmax. In this example, Lmin <
L <Lmax, and it is determined that the product is good.
【0021】B−aにおいて、S.Lは高さの基準であ
り、図2に示すようにレーザ光Bにより電極2の側部の
ソルダーレジスト13により覆われた回路パターン12
の上面の高さを測定して設定される。上述のように回路
パターン12の上面は平滑であり、しかもソルダーレジ
スト13により覆われているのでその平面性はきわめて
良好であり、従って回路パターン12の上面を高さの基
準とすれば、クリーム半田3の高さの測定結果の信頼性
はきわて高く、的確な良否判定を行える。なお、M(M
AX)は上限値Hを超える位置に設定されたクリーム半
田3の最大限界高さであり、C−aの判定式を満足する
場合でも、クリーム半田3の一部がこれを超えたら不良
と判定される。In Ba, S.D. L is a reference for height, and as shown in FIG. 2, a circuit pattern 12 covered with a solder resist 13 on the side of the electrode 2 by a laser beam B.
Is set by measuring the height of the upper surface of the. As described above, since the upper surface of the circuit pattern 12 is smooth and covered with the solder resist 13, the planarity thereof is extremely good. The reliability of the measurement result at the height of 3 is extremely high, and accurate pass / fail judgment can be made. Note that M (M
AX) is the maximum limit height of the cream solder 3 set at a position exceeding the upper limit H. Even if the determination formula of Ca is satisfied, if a part of the cream solder 3 exceeds this, it is determined to be defective. Is done.
【0022】図5のA−bにおいて、クリーム半田3は
電極2に少量しか塗布されておらず、高さが低く形成さ
れている。この場合B−bに示すように、LはL1だけ
となり、このためB−cに示すように、LはLmin より
小さくなるので不良品と判定される。In FIG. 5A-b, only a small amount of the cream solder 3 is applied to the electrode 2 and the height thereof is low. In this case, as shown in Bb, L is only L1, and therefore, as shown in Bc, L is smaller than Lmin.
【0023】図5のA−cにおいて、クリーム半田3は
電極2に多量に塗布されて高くなっている。この場合、
B−cに示すようにL1,L2,L3の和Lは小さくな
り、このためC−cに示すように、LはLmin より小さ
くなるので不良品と判定される。In FIG. 5A-c, a large amount of the cream solder 3 is applied to the electrode 2 and is high. in this case,
As shown by Bc, the sum L of L1, L2, and L3 becomes small, and therefore, as shown by Cc, L becomes smaller than Lmin.
【0024】このレーザ光Bでのクリーム半田3の長手
方向の高さ分布の検査により、不良と判定されたクリー
ム半田3を有する基板1は除去され、全てのクリーム半
田3が良品と判定された基板1だけについて、次に述べ
るようにクリーム半田3の幅方向の高さ分布の検査が行
われる。Inspection of the height distribution of the cream solder 3 in the longitudinal direction by the laser beam B removes the substrate 1 having the cream solder 3 determined to be defective, and all the cream solder 3 are determined to be non-defective. An inspection of the height distribution of the cream solder 3 in the width direction is performed on only the substrate 1 as described below.
【0025】次に、このクリーム半田3の幅方向の高さ
分布の検査を図6を参照して説明する。図6はクリーム
半田3の良否判定の説明図である。図6のA欄は3つの
電極2にクリーム半田3が塗布された基板1の断面図を
示しており、B欄はそのクリーム半田3の良否の判定図
を示し、C欄はその良否の判定式を示している。また、
図6のa欄は良品のクリーム半田3、同図のb欄はにじ
みによる不良品のクリーム半田3を示している。Next, the inspection of the height distribution in the width direction of the cream solder 3 will be described with reference to FIG. FIG. 6 is an explanatory diagram of the quality judgment of the cream solder 3. 6A is a cross-sectional view of the substrate 1 in which the cream solder 3 is applied to the three electrodes 2, FIG. 6B is a diagram showing the determination of the quality of the cream solder 3, and FIG. 6C is the determination of the quality of the cream solder 3. The equation is shown. Also,
6A shows a good cream solder 3 and FIG. 6B shows a bad cream solder 3 due to bleeding.
【0026】レーザ光Bを図4矢印Y方向にスキャンニ
ングさせて、B−aに示されるクリーム半田3の幅方向
の高さ分布を入手する。そして高さの基準S.Lにおけ
るクリーム半田3の幅D1,D2,D3を測定し、これ
らのD1,D2,D3が、予め設定された下限値Dmin
と上限値Dmax の範囲内にあるか否かにより良否を判定
する。本例ではC−aに示すようにDmin <D1<Dma
x ,Dmin <D2<Dmax ,Dmin <D3<Dmax であ
り、良品と判定される。The laser beam B is scanned in the Y direction of FIG. 4 to obtain the height distribution of the cream solder 3 in the width direction shown by Ba. And the height standard S.M. The widths D1, D2, and D3 of the cream solder 3 in L are measured, and these D1, D2, and D3 are set to a predetermined lower limit value Dmin.
Pass / fail is determined based on whether it is within the range of the upper limit value Dmax. In this example, as shown by Ca, Dmin <D1 <Dma
x, Dmin <D2 <Dmax, and Dmin <D3 <Dmax, and are determined to be non-defective.
【0027】図6のA−bにおいて、中央のクリーム半
田3は電極2に多量に塗布されて、電極2の外縁部にに
じみ出しており、B−bに示すように中央のクリーム半
田3の高さ基準面における幅D2は長くなっている。こ
のためC−bに示すように、D2はDmax より大きく不
良品と判定される。In FIG. 6Ab, a large amount of the cream solder 3 at the center is applied to the electrode 2 and oozes to the outer edge of the electrode 2, and as shown at Bb, the cream solder 3 at the center is removed. The width D2 on the height reference plane is longer. For this reason, as indicated by Cb, D2 is larger than Dmax and is determined to be defective.
【0028】レーザ光Bでのクリーム半田3の幅方向の
高さ分布の検査により、不良と判定されたクリーム半田
3が形成された基板1は除去され、カメラ11による平
面形状の検査と、レーザ光BによるX方向およびY方向
のクリーム半田3の高さの検査に、全てのクリーム半田
3が良品と判定された基板1だけが、リフローなどの後
工程に送られる。The board 1 on which the cream solder 3 determined to be defective is formed by inspection of the height distribution of the cream solder 3 in the width direction with the laser beam B is removed, and the planar shape inspection by the camera 11 and the laser In the inspection of the height of the cream solder 3 in the X direction and the Y direction by the light B, only the substrate 1 in which all the cream solders 3 are determined to be good is sent to a post-process such as reflow.
【0029】本手段は、このように回路パターン12の
上面を高さの基準として、クリーム半田3の高さを測定
するがこの場合、回路パターン12の上面は平滑面であ
ってしかもソルダーレジスト13に覆われて保護されて
いるので、平面性が比較的良好であり、高さの基準とし
ての信頼性が高い。従って回路パターン12の上面の高
さをクリーム半田3の高さの基準とすることにより、従
来のように平面性に乏しい粗面の半田コーティング部1
4に覆われた基板1の電極2の上面を高さの基準にした
ものに比較して、信頼性の高い測定結果を得ることがで
き、これに基づいて、クリーム半田3の塗布量の良否判
定を的確に行うことができる。This means measures the height of the cream solder 3 using the upper surface of the circuit pattern 12 as a reference for the height as described above. In this case, the upper surface of the circuit pattern 12 is smooth and the solder resist 13 is used. , The flatness is relatively good, and the reliability as a height standard is high. Accordingly, by using the height of the upper surface of the circuit pattern 12 as a reference for the height of the cream solder 3, the rough solder coating portion 1 having poor flatness as in the prior art.
4. A highly reliable measurement result can be obtained as compared with the case where the upper surface of the electrode 2 of the substrate 1 covered by the solder 4 is used as a reference for the height. The judgment can be made accurately.
【0030】また、実施例では、このカメラ11での平
面形状の検査により、不良と判定されたクリーム半田3
が形成された基板1は除去され、全てのクリーム半田3
が良品と判定された基板1だけについて、その後レーザ
光Bによるクリーム半田3の高さの検査を行うようにし
ているので、検査に時間がかかるレーザ光Bによる検査
の前に、予めカメラ11での検査により不良なクリーム
半田3の基板1を除去して、検査時間の短縮ができると
ともに、このクリーム半田3の外観検査の検査精度を向
上できる。In the embodiment, the cream solder 3 determined to be defective by the inspection of the planar shape by the camera 11 is used.
Is removed, and all the cream solder 3 is removed.
The inspection of the height of the cream solder 3 by the laser beam B is performed only on the substrate 1 which has been determined as a non-defective product. By removing the substrate 1 of the defective cream solder 3 by the inspection, the inspection time can be shortened, and the inspection accuracy of the appearance inspection of the cream solder 3 can be improved.
【0031】[0031]
【発明の効果】以上説明したように本発明では、回路パ
ターンの上面を高さの基準として、クリーム半田の高さ
や幅を測定するので、従来のように平面性に乏しい粗面
の半田コーティング部に覆われた基板の電極の上面を高
さの基準にしたものに比較して、クリーム半田の高さの
測定精度を向上させることができる。As described above, in the present invention, the height and width of the cream solder are measured using the upper surface of the circuit pattern as a reference for the height, so that the rough solder coating portion having poor flatness as in the prior art is used. The accuracy of measuring the height of the cream solder can be improved as compared with the case where the upper surface of the electrode of the substrate covered with the solder is used as a reference for the height.
【図1】本発明に係るクリーム半田の測定装置の正面図FIG. 1 is a front view of a cream solder measuring apparatus according to the present invention.
【図2】本発明に係るクリーム半田が塗布された基板の
断面図FIG. 2 is a cross-sectional view of a substrate coated with cream solder according to the present invention.
【図3】本発明に係るクリーム半田の平面形状の良否を
判定するための説明図FIG. 3 is an explanatory diagram for judging the quality of the planar shape of the cream solder according to the present invention.
【図4】本発明に係るクリーム半田が塗布された基板の
平面図FIG. 4 is a plan view of a substrate to which the cream solder according to the present invention has been applied;
【図5】本発明に係るクリーム半田の長さ方向の高さ分
布の良否を判定するための説明図FIG. 5 is an explanatory diagram for determining the quality of the height distribution in the length direction of the cream solder according to the present invention.
【図6】本発明に係るクリーム半田の幅方向の高さ分布
の良否を判定するための説明図FIG. 6 is an explanatory diagram for judging the quality of the height distribution in the width direction of the cream solder according to the present invention.
1 基板 2 電極 3 クリーム半田 6 発光部 7 受光部 12 回路パターン 13 ソルダーレジスト 14 半田コーティング部 B レーザ光 Reference Signs List 1 substrate 2 electrode 3 cream solder 6 light emitting part 7 light receiving part 12 circuit pattern 13 solder resist 14 solder coating part B laser light
Claims (1)
グ部に塗布されたクリーム半田に発光部からレーザ光を
照射し、その反射光を受光部に受光してこのクリーム半
田の高さを測定し、測定された高さに基づいてクリーム
半田の塗布量の良否を検査するにあたり、上記電極の側
部のソルダーレジストにより覆われた回路パターンにレ
ーザ光を照射してその上面の高さを測定し、この上面の
高さを上記クリーム半田の高さの基準とすることを特徴
とするクリーム半田の高さ測定方法。1. A laser beam is emitted from a light emitting portion to a cream solder applied to a solder coating portion formed on an electrode of a substrate, and the reflected light is received by a light receiving portion to measure the height of the cream solder. Then, in inspecting the quality of the applied amount of cream solder based on the measured height, the circuit pattern covered with the solder resist on the side of the electrode is irradiated with laser light to measure the height of the upper surface thereof. A method for measuring the height of the cream solder, wherein the height of the upper surface is used as a reference for the height of the cream solder.
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