JP2770551B2 - Solder appearance inspection device - Google Patents

Solder appearance inspection device

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JP2770551B2
JP2770551B2 JP12022190A JP12022190A JP2770551B2 JP 2770551 B2 JP2770551 B2 JP 2770551B2 JP 12022190 A JP12022190 A JP 12022190A JP 12022190 A JP12022190 A JP 12022190A JP 2770551 B2 JP2770551 B2 JP 2770551B2
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solder
light
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laser spot
longitudinal direction
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弘明 伊東
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明の半田の外観検査装置に関し、詳しくはレーザ
スポット光の掃引照射により、電子部品の電極部を基板
に接着する半田の縦断方向の形状を計測するための手段
に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION (Industrial application field) The present invention relates to a solder appearance inspection apparatus, and more particularly to a shape of a solder in a longitudinal direction for bonding an electrode part of an electronic component to a substrate by sweeping irradiation of a laser spot light. And means for measuring

(従来の技術) レーザ光による半田の外観検査手段に関しては、従
来、種々のものが提案されている(例えば特開昭63−17
7042、177045号公報)。
(Prior Art) Various types of means for inspecting the appearance of solder by laser light have been conventionally proposed (for example, see Japanese Patent Application Laid-Open No.
7042, 177045).

(発明が解決しようとする課題) ところで、電子部品を基板に接着する半田の形状のう
ち、殊に重要なのは半田のピーク位置を通る縦断方向の
形状であり、したがって半田形状を計測するにあたって
は、半田のピーク位置を迅速正確に検出しなければなら
ない。
(Problems to be Solved by the Invention) Among the shapes of the solder for bonding the electronic component to the substrate, particularly important is the shape in the longitudinal direction passing through the peak position of the solder. The peak position of the solder must be quickly and accurately detected.

そこで本発明は、このような技術課題を解決するため
の半田の外観検査装置を提供することを目的とする。
Therefore, an object of the present invention is to provide a solder appearance inspection apparatus for solving such a technical problem.

(課題を解決するための手段) このために本発明は、基板に電子部品の電極部を接着
する半田に向って、上方からレーザスポット光を掃引照
射するレーザ照射手段と、 上記レーザ照射手段により、半田の横断方向に掃引照
射されたレーザスポット光の反射光を受光することによ
り、この横断方向における半田のピーク位置を検出する
受光手段と、 上記のようにして検出されたピーク位置を通る半田の
縦断方向に掃引照射されたレーザスポット光の反射光を
受光することにより、この縦断方向に沿った半田の高さ
を検出する受光手段とから半田の外観検査装置を構成し
ている。
(Means for Solving the Problems) For this purpose, the present invention provides a laser irradiating means for sweeping and irradiating a laser spot light from above toward a solder for bonding an electrode part of an electronic component to a substrate; A light-receiving means for detecting a peak position of the solder in the transverse direction by receiving reflected light of the laser spot light swept in the transverse direction of the solder; and a solder passing through the peak position detected as described above. And a light-receiving means for detecting the height of the solder along the longitudinal direction by receiving the reflected light of the laser spot light swept and irradiated in the longitudinal direction to constitute a solder appearance inspection apparatus.

(作用) 上記構成において、先ず半田の横断方向にレーザスポ
ット光を掃引照射し、その反射光を受光手段に受光する
ことにより、この半田のピーク位置を検出する。
(Operation) In the above configuration, first, a laser spot light is swept in the transverse direction of the solder, and the reflected light is received by the light receiving means, thereby detecting the peak position of the solder.

次いで、このピーク位置を通る半田の縦断方向にレー
ザスポット光を掃引照射し、その反射光を受光手段に受
光することにより、この縦断方向に沿った半田の高さを
検出する。
Next, the laser spot light is swept and irradiated in the longitudinal direction of the solder passing through the peak position, and the reflected light is received by the light receiving means to detect the height of the solder along the longitudinal direction.

(実施例1) 次に、図面を参照しながら本発明の実施例を説明す
る。
Embodiment 1 Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は半田の外観検査装置の斜視図であって、1は
基板であり、その上面に電子部品(以下「チップ」とい
う)2が搭載されている。3はチップ2のモールド体2a
から側方へ多数本延出する電極部としてのリード、4は
リード3を基板1に接着する半田であり、一般に半田フ
ィレットと呼ばれている。
FIG. 1 is a perspective view of a solder appearance inspection apparatus, in which 1 is a substrate on which an electronic component (hereinafter referred to as “chip”) 2 is mounted. 3 is a mold 2a of the chip 2
A number of leads 4 extending from the side to the side as electrode portions are solder for bonding the leads 3 to the substrate 1, and are generally called solder fillets.

5はレーザ照射手段であって、これから照射されたレ
ーザスポット光は、ミラー6に反射されて半田4に照射
され、その反射光は第1の受光手段71や、第2の受光手
段72に入射する。その際、ミラー6を2方向に回転させ
ることにより、レーザ光をXY方向に掃引照射する。81,8
2は集光素子、91,92はPSDのような受光素子である。
Reference numeral 5 denotes a laser irradiating means. The laser spot light emitted from the laser irradiating means 5 is reflected by a mirror 6 and irradiates the solder 4, and the reflected light is incident on a first light receiving means 71 or a second light receiving means 72. I do. At this time, by rotating the mirror 6 in two directions, the laser beam is swept and irradiated in the XY direction. 81,8
2 is a light condensing element, and 91 and 92 are light receiving elements such as PSD.

第1の受光手段71は、半田4の延出方向(リード3の
先端面に直交するY方向)における斜上方にあって、半
田4の横断方向(X方向)に掃引照射されたレーザスポ
ット光を受光することにより、この横断方向における半
田4のピーク位置を検出する。また第2の受光手段72
は、半田4の側方における斜上方であって、上記のよう
にして検出されたピーク位置を通る半田4の縦断方向
(Y方向)に掃引照射されたレーザスポット光の反射光
を受光することにより、半田4の縦断方向に沿った高さ
を検出する。10は基板1に形成された回路パターンのラ
ンド、Qは基板1の適所に形成された位置基準マークで
あり、このマークQに対する各ランド10の座標位置は既
知である。
The first light receiving means 71 is located obliquely above the solder 4 in the direction in which the solder 4 extends (the Y direction perpendicular to the tip end surface of the lead 3), and is irradiated with the laser spot light swept in the transverse direction (X direction) of the solder 4. , The peak position of the solder 4 in the transverse direction is detected. Also, the second light receiving means 72
Is to receive the reflected light of the laser spot light that is swept and irradiated in the longitudinal direction (Y direction) of the solder 4 that is obliquely above the side of the solder 4 and passes through the peak position detected as described above. Thus, the height of the solder 4 along the longitudinal direction is detected. Reference numeral 10 denotes a land of the circuit pattern formed on the substrate 1, and Q denotes a position reference mark formed at an appropriate position on the substrate 1, and the coordinate position of each land 10 with respect to the mark Q is known.

本装置は上記のような構成より成り、次に半田の外観
検査方法を説明する。
The present apparatus is configured as described above. Next, a method for inspecting the appearance of solder will be described.

第2図及び第3図において、まず半田4の側方にスタ
ート点Aを設定し、ここからリード3を横着るX方向に
レーザスポット光を掃引照射し、その反射光を第1の受
光素子91に受光して、この横断方向におけるリード3の
ピーク位置Bを検出する。このスタート点Aは、上述し
たように基板1の位置基準マークQに対して既知の位置
である各ランド10の側方に設定される。
2 and 3, first, a start point A is set on the side of the solder 4, from which the laser spot light is swept and irradiated in the X direction in which the lead 3 is placed, and the reflected light is transmitted to the first light receiving element. The light is received at 91 and the peak position B of the lead 3 in the transverse direction is detected. The start point A is set on the side of each land 10 which is a known position with respect to the position reference mark Q of the substrate 1 as described above.

第3図において、電子部品2を基板1に搭載した際の
実装誤差のために、リード3はランド10に対して上方に
位置ずれしている。また第5図に示すように、半田4は
右側に片寄って盛り上っている。したがってリード3の
センターラインN1と、半田4のピーク位置Bを通る縦断
ラインN2は、距離e偏位している。
In FIG. 3, the lead 3 is displaced upward with respect to the land 10 due to a mounting error when the electronic component 2 is mounted on the substrate 1. Further, as shown in FIG. 5, the solder 4 swells toward the right side. Therefore, the center line N1 of the lead 3 and the vertical line N2 passing through the peak position B of the solder 4 are displaced by a distance e.

次いで第4図に示すように、上記ピーク位置Bを通る
縦断方向、すなわち縦断ラインN2に沿って、レーザスポ
ット光を掃引照射し、その反射光を第2の受光手段72の
受光素子92に受光して、半田4の縦断ラインN2に沿った
高さを検出する。第4図において、nは受光素子92の受
光点を結ぶラインであり、このラインnから半田4の縦
断方向の形状の良否を判断する。
Next, as shown in FIG. 4, the laser spot light is swept and irradiated along the longitudinal direction passing through the peak position B, that is, along the longitudinal line N2, and the reflected light is received by the light receiving element 92 of the second light receiving means 72. Then, the height of the solder 4 along the vertical line N2 is detected. In FIG. 4, n is a line connecting the light receiving points of the light receiving elements 92. From this line n, the quality of the shape of the solder 4 in the longitudinal direction is determined.

以上のように本手段によれば、半田4のピーク位置B
を通る縦断方向に沿った形状を検出できるので、半田4
の形状の良否を的確に判断できる。
As described above, according to this means, the peak position B of the solder 4
Since the shape along the longitudinal direction passing through can be detected, the solder 4
The quality of the shape can be accurately determined.

なお第3図において、リード3のセンターラインN1に
沿ってレーザスポット光を照射することにより、半田フ
ィレット4の形状の良否を判断することが考えられる
が、このラインN1は、ピーク位置Bを通る縦断ラインN2
からずれていることから、このラインN1に沿って高さを
検出すると、半田4の形状が良好であっても、不良と誤
って判断される虞れがあり、したがって本手段のよう
に、上記縦断ラインN2に沿って検査することが望まし
い。
In FIG. 3, it is conceivable to judge the shape of the solder fillet 4 by irradiating a laser spot light along the center line N1 of the lead 3, but this line N1 passes through the peak position B. Longitudinal line N2
Therefore, if the height is detected along the line N1, even if the shape of the solder 4 is good, it may be erroneously determined that the solder 4 is defective. It is desirable to inspect along the vertical line N2.

(実施例2) 第6図は、半田4のピーク位置Bを検出するための他
の方法を示すものである。上記のようにX方向にレーザ
スポット光を照射して、その反射光を受光素子91により
受光した場合、半田4の横断形状は、ピーク位置Bを頂
点とする山形状であることから、このピーク位置Bにお
いては、レーザスポット光はその大部分が受光素子92へ
向って反射されるが、このピーク位置Bから離れた斜面
上の点C,Dにおいては、レーザスポット光のかなりの部
分は、破線矢印で示すように側方へ反射されることか
ら、受光素子91へは一部の反射光しか入射しない。換言
すれば、レーザスポット光の反射光は、ピーク位置Bに
おいて、受光素子91へ向って最も強く反射される。した
がって受光素子91に最も強い反射光が入射した点を検出
することにより、ピーク位置Bを検出できる。そしてピ
ーク位置Bを検出したならば、上記の場合と同様に縦断
方向にレーザスポット光を照射し、縦断方向に沿った高
さを検出する。なおこの受光素子91としては、PSDに限
らず、ホトセンサーのような光の強弱を判断できるもの
であればよい。
Embodiment 2 FIG. 6 shows another method for detecting the peak position B of the solder 4. As described above, when the laser spot light is irradiated in the X direction and the reflected light is received by the light receiving element 91, the cross-sectional shape of the solder 4 is a mountain shape having the peak position B as an apex. At the position B, most of the laser spot light is reflected toward the light receiving element 92, but at points C and D on the slope away from the peak position B, a considerable portion of the laser spot light is: Since the light is reflected sideways as indicated by the broken arrow, only a part of the reflected light enters the light receiving element 91. In other words, the reflected light of the laser spot light is most strongly reflected toward the light receiving element 91 at the peak position B. Therefore, the peak position B can be detected by detecting the point where the strongest reflected light is incident on the light receiving element 91. Then, when the peak position B is detected, the laser spot light is irradiated in the longitudinal direction as in the above case, and the height along the longitudinal direction is detected. The light receiving element 91 is not limited to the PSD, but may be any device that can determine the intensity of light, such as a photo sensor.

(発明の効果) 以上説明したように本発明によれば、半田のピーク位
置を検出し、次いでこのピーク位置を通る縦断方向にレ
ーザスポット光を照射することにより、この縦断方向に
沿った半田の形状を計測するようにしているので、半田
の形状の良否を正確に判断することができる。
(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, by detecting the peak position of the solder and then irradiating the laser spot light in the longitudinal direction passing through the peak position, the solder along the longitudinal direction is formed. Since the shape is measured, the quality of the shape of the solder can be accurately determined.

【図面の簡単な説明】 図は本発明の実施例を示すものであって、第1図は外観
検査装置の斜視図、第2図、第3図、第4図は検査中の
要部斜視図,平面図,斜視図、第5図は部分正面図、第
6図は他の実施例の要部平面図である。 1……基板 2……電子部品 3……電極部 4……半田 5……レーザ照射手段 71,72……受光手段
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a perspective view of an appearance inspection apparatus, and FIG. 2, FIG. 3, and FIG. FIG. 5, a plan view, a perspective view, FIG. 5 is a partial front view, and FIG. 6 is a plan view of a main part of another embodiment. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Board 2 ... Electronic component 3 ... Electrode part 4 ... Solder 5 ... Laser irradiation means 71, 72 ... Light receiving means

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01B 11/00 - 11/30 G01N 21/84 - 21/91 H05K 3/34──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G01B 11/00-11/30 G01N 21/84-21/91 H05K 3/34

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】基板に電子部品の電極部を接着する半田に
向って、上方からレーザスポット光を掃引照射するレー
ザ照射手段と、 上記レーザ照射手段により、半田の横断方向に掃引照射
されたレーザスポット光の反射光を受光することによ
り、この横断方向における半田のピーク位置を検出する
受光手段と、 上記のようにして検出されたピーク位置を通る半田の縦
断方向に掃引照射されたレーザスポット光の反射光を受
光することにより、この縦断方向に沿った半田の高さを
検出する受光手段とを備えていることを特徴とする半田
の外観検査装置。
1. A laser irradiating means for sweeping and irradiating a laser spot light from above toward solder for bonding an electrode part of an electronic component to a substrate; A light receiving means for detecting the peak position of the solder in the transverse direction by receiving the reflected light of the spot light; and a laser spot light swept and irradiated in the longitudinal direction of the solder passing through the peak position detected as described above. A light receiving means for detecting the height of the solder along the longitudinal direction by receiving the reflected light of the solder.
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