JP3313232B2 - 研削研磨用砥石 - Google Patents
研削研磨用砥石Info
- Publication number
- JP3313232B2 JP3313232B2 JP04494394A JP4494394A JP3313232B2 JP 3313232 B2 JP3313232 B2 JP 3313232B2 JP 04494394 A JP04494394 A JP 04494394A JP 4494394 A JP4494394 A JP 4494394A JP 3313232 B2 JP3313232 B2 JP 3313232B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- polishing
- grindstone
- soluble
- grinding wheel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本願の請求項１に係る発明は、光
学部品・機械部品・セラミックス・金属等の加工に適し
た研削研磨用砥石に関する。
学部品・機械部品・セラミックス・金属等の加工に適し
た研削研磨用砥石に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、本願の請求項１に係る発明に対応
する従来技術としては、特開昭５３−６３６９２号公報
に記載されたレジンボンド砥石からなる研削研磨用砥石
が知られている。上記従来の研削研磨用砥石は、研削研
磨液に可溶な粒子（塩化ナトリウム、塩化カリウム、塩
化カルシウム、炭酸ナトリウム、臭化ナトリウム、臭化
カリウム等）を内部に含有して形成されており、上記可
溶性粒子を１００〜３２５メッシュ粒径とし、この可溶
性粒子をそのまま砥粒含有部に１０〜３０ｖｏｌ％添加
した熱硬化性樹脂を結合材としたレジンボンドのダイヤ
モンド砥石または立方晶窒化ホウ素砥石である。
する従来技術としては、特開昭５３−６３６９２号公報
に記載されたレジンボンド砥石からなる研削研磨用砥石
が知られている。上記従来の研削研磨用砥石は、研削研
磨液に可溶な粒子（塩化ナトリウム、塩化カリウム、塩
化カルシウム、炭酸ナトリウム、臭化ナトリウム、臭化
カリウム等）を内部に含有して形成されており、上記可
溶性粒子を１００〜３２５メッシュ粒径とし、この可溶
性粒子をそのまま砥粒含有部に１０〜３０ｖｏｌ％添加
した熱硬化性樹脂を結合材としたレジンボンドのダイヤ
モンド砥石または立方晶窒化ホウ素砥石である。
【０００３】図５は、上記従来の研削研磨用砥石の製造
方法を示すブロック図である。この製造方法では、ま
ず、所望の粒度に粉砕した可溶性粒子を熱硬化性樹脂に
必要量加えて結合材とする。次に、この結合材に所望の
集中度になるように砥粒を混合する。そして、この混合
物質を所定の温度、圧力条件で焼成することによりペレ
ット状の研削研磨用砥石を製作している。
方法を示すブロック図である。この製造方法では、ま
ず、所望の粒度に粉砕した可溶性粒子を熱硬化性樹脂に
必要量加えて結合材とする。次に、この結合材に所望の
集中度になるように砥粒を混合する。そして、この混合
物質を所定の温度、圧力条件で焼成することによりペレ
ット状の研削研磨用砥石を製作している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の研削研磨用
砥石は、熱硬化性樹脂と砥粒と可溶性粉末（粒子）との
混合物を成形・焼成することによって作製されるので、
各構成物を成形した後の間隙が焼成後も残留し、その製
作上砥石構造中に連通気孔が生成される。この連通気孔
は、砥石の性能上チップポケットとして作用し、目詰ま
り防止に大きく寄与している。しかし、上述従来例の砥
石では、砥石使用時にこの連通気孔に研削研磨液が浸透
すると、砥石構造内に配置された可溶性粒子に接触し溶
解させてしまう。これにより砥石構造内にはチップポケ
ットが増大する。また、従来の研削研磨用砥石は、可溶
性粒子自体が砥石の強度を担う構成要素の一部となって
いるため、可溶性粒子が溶出してしまった部分（空間）
が生じることにより砥石強度が低下することになる。そ
のため、加工の際に砥石に加工圧力が加わると砥石が変
形しやすくなり、その結果、被加工物の加工形状に歪を
生じさせることになる。また、この歪を生じさせないた
めに加工圧力を低くすることを余儀なくされるので、結
果として加工時間の増大を引き起こすことになるという
問題点があった。
砥石は、熱硬化性樹脂と砥粒と可溶性粉末（粒子）との
混合物を成形・焼成することによって作製されるので、
各構成物を成形した後の間隙が焼成後も残留し、その製
作上砥石構造中に連通気孔が生成される。この連通気孔
は、砥石の性能上チップポケットとして作用し、目詰ま
り防止に大きく寄与している。しかし、上述従来例の砥
石では、砥石使用時にこの連通気孔に研削研磨液が浸透
すると、砥石構造内に配置された可溶性粒子に接触し溶
解させてしまう。これにより砥石構造内にはチップポケ
ットが増大する。また、従来の研削研磨用砥石は、可溶
性粒子自体が砥石の強度を担う構成要素の一部となって
いるため、可溶性粒子が溶出してしまった部分（空間）
が生じることにより砥石強度が低下することになる。そ
のため、加工の際に砥石に加工圧力が加わると砥石が変
形しやすくなり、その結果、被加工物の加工形状に歪を
生じさせることになる。また、この歪を生じさせないた
めに加工圧力を低くすることを余儀なくされるので、結
果として加工時間の増大を引き起こすことになるという
問題点があった。
【０００５】本願の請求項１に係る発明は、上記従来技
術の問題点に鑑みてなされたもので、研削研磨用砥石の
内部に研削研磨液に可溶な粒子を膜材がポリイミド樹脂
からなるマイクロカプセルに封入して配置し、砥石の内
部から可溶性粒子が溶出するのを防止し、砥石の構造の
変化や強度の低下を生じさせない研削研磨用砥石を提供
することを目的とする。
術の問題点に鑑みてなされたもので、研削研磨用砥石の
内部に研削研磨液に可溶な粒子を膜材がポリイミド樹脂
からなるマイクロカプセルに封入して配置し、砥石の内
部から可溶性粒子が溶出するのを防止し、砥石の構造の
変化や強度の低下を生じさせない研削研磨用砥石を提供
することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本願の請求項１に係る発明は、研削研磨用砥石の内
部に研削研磨液に可溶な粒子を含有させた研削研磨用砥
石において、砥粒と、膜材がポリイミド樹脂からなるマ
イクロカプセルに封入した可溶性粒子とを合成樹脂の結
合材内に分散して混合して構成した。
に、本願の請求項１に係る発明は、研削研磨用砥石の内
部に研削研磨液に可溶な粒子を含有させた研削研磨用砥
石において、砥粒と、膜材がポリイミド樹脂からなるマ
イクロカプセルに封入した可溶性粒子とを合成樹脂の結
合材内に分散して混合して構成した。
【０００７】
【作用】前記請求項１に係る発明にあっては、可溶性粒
子が、膜材がポリイミド樹脂からなるマイクロカプセル
にて完全に密封されているので、研削研磨加工時に研削
研磨液が砥石中に浸透しても可溶性粒子と接触すること
がなく、砥石の内部構造中に気孔を生成することがな
い。また、マイクロカプセルは砥石表面にて被加工物と
接触するとマイクロカプセルの膜材が摩擦により除去あ
るいは破られて、マイクロカプセル内の可溶性粒子が研
削研磨液に触れて溶解するので、砥石表面にのみチップ
ポケットを配置させることが可能となる。さらに、可溶
性粒子を封入したマイクロカプセル作製後に固体物とマ
イクロカプセルとの間に摩擦を発生させるような工程が
ないことにより、マイクロカプセルの膜材が外力により
可溶性粒子から剥離するのを防止でき、砥石中において
可溶性粒子が研削研磨液に接触する確率を減じることが
できる。
子が、膜材がポリイミド樹脂からなるマイクロカプセル
にて完全に密封されているので、研削研磨加工時に研削
研磨液が砥石中に浸透しても可溶性粒子と接触すること
がなく、砥石の内部構造中に気孔を生成することがな
い。また、マイクロカプセルは砥石表面にて被加工物と
接触するとマイクロカプセルの膜材が摩擦により除去あ
るいは破られて、マイクロカプセル内の可溶性粒子が研
削研磨液に触れて溶解するので、砥石表面にのみチップ
ポケットを配置させることが可能となる。さらに、可溶
性粒子を封入したマイクロカプセル作製後に固体物とマ
イクロカプセルとの間に摩擦を発生させるような工程が
ないことにより、マイクロカプセルの膜材が外力により
可溶性粒子から剥離するのを防止でき、砥石中において
可溶性粒子が研削研磨液に接触する確率を減じることが
できる。
【０００８】
【実施例１】本願の請求項１に係る発明の実施例を以下
に説明する。図１は本発明の研削研磨用砥石の製造方法
における製造工程の実施例１を示す説明図、図２は上記
製造方法により製造した研削研磨用砥石の実施例１を示
す断面図である。本実施例では研削抵抗の減少や目詰ま
りの防止を目的としたチップポケットを生成するため
に、研削研磨液に可溶性の物質を砥石内に配置させた研
削研磨用砥石とその製造方法について説明する。
に説明する。図１は本発明の研削研磨用砥石の製造方法
における製造工程の実施例１を示す説明図、図２は上記
製造方法により製造した研削研磨用砥石の実施例１を示
す断面図である。本実施例では研削抵抗の減少や目詰ま
りの防止を目的としたチップポケットを生成するため
に、研削研磨液に可溶性の物質を砥石内に配置させた研
削研磨用砥石とその製造方法について説明する。
【０００９】まず、図２を用いて本実施例の研削研磨用
砥石１０を説明する。研削研磨用砥石１０は、結合材と
してのフェノール樹脂５内に、研削液に可溶な物質であ
る塩化ナトリウム粒子（粒径約１００μｍ）１と、砥粒
である合成ダイヤモンド粒（粒径約５μｍ）４を分散配
置して形成され、塩化ナトリウム粒子１はポリイミド樹
脂２を膜材としたマイクロカプセル３内に封入されてい
る。
砥石１０を説明する。研削研磨用砥石１０は、結合材と
してのフェノール樹脂５内に、研削液に可溶な物質であ
る塩化ナトリウム粒子（粒径約１００μｍ）１と、砥粒
である合成ダイヤモンド粒（粒径約５μｍ）４を分散配
置して形成され、塩化ナトリウム粒子１はポリイミド樹
脂２を膜材としたマイクロカプセル３内に封入されてい
る。
【００１０】次に、前記研削研磨用砥石１０の製造方法
を図１、２に基づいて説明する。砥石１０の結合材とな
るフェノール樹脂５の粉体とその溶媒となるメチルアル
コールとを重量比１：２となるように秤量し、混合・溶
解させて樹脂溶液を得る。また、チップポケットを生成
させるための可溶性物質として選択した塩化ナトリウム
粒子（粒径約１００μｍ）１をポリイミド樹脂２を膜材
としたマイクロカプセル３に封入する。マイクロカプセ
ル３はＷｕｒｓｔｅｒ法（気中懸濁被覆法）、スプレー
ドライ法（噴霧乾燥法）等の周知の方法にて製造され
る。そして、砥粒となる合成ダイヤモンド粒４（粒径約
５μｍ）を集中度が２５になるように秤量し、またマイ
クロカプセル３を集中度が１０になるように秤量し、前
記樹脂溶液に添加する。そして、樹脂溶液中に合成ダイ
ヤモンド粒４とマイクロカプセル３とが均一に分散する
ように混合する。次に、この混合体を所望の形状の成形
型に注入し、真空脱泡により混合体中の気泡を除いた
後、５０℃の乾燥炉中で乾燥させてフェノール樹脂５の
溶媒であるメチルアルコールを蒸発除去させる。そし
て、ここで得られた成形体を乾燥炉で１８０℃・１２時
間の条件で焼成し、研削研磨用砥石１０を得る。
を図１、２に基づいて説明する。砥石１０の結合材とな
るフェノール樹脂５の粉体とその溶媒となるメチルアル
コールとを重量比１：２となるように秤量し、混合・溶
解させて樹脂溶液を得る。また、チップポケットを生成
させるための可溶性物質として選択した塩化ナトリウム
粒子（粒径約１００μｍ）１をポリイミド樹脂２を膜材
としたマイクロカプセル３に封入する。マイクロカプセ
ル３はＷｕｒｓｔｅｒ法（気中懸濁被覆法）、スプレー
ドライ法（噴霧乾燥法）等の周知の方法にて製造され
る。そして、砥粒となる合成ダイヤモンド粒４（粒径約
５μｍ）を集中度が２５になるように秤量し、またマイ
クロカプセル３を集中度が１０になるように秤量し、前
記樹脂溶液に添加する。そして、樹脂溶液中に合成ダイ
ヤモンド粒４とマイクロカプセル３とが均一に分散する
ように混合する。次に、この混合体を所望の形状の成形
型に注入し、真空脱泡により混合体中の気泡を除いた
後、５０℃の乾燥炉中で乾燥させてフェノール樹脂５の
溶媒であるメチルアルコールを蒸発除去させる。そし
て、ここで得られた成形体を乾燥炉で１８０℃・１２時
間の条件で焼成し、研削研磨用砥石１０を得る。
【００１１】次に、本実施例の研削研磨砥石１０とその
製造方法の作用を図３を用いて説明する。本実施例の研
削研磨用砥石１０にあっては、自らが溶出してチップポ
ケットを生成させる塩化ナトリウム粒子１は砥石１０内
においてポリイミド樹脂２を膜材としたマイクロカプセ
ル３内に密封されているので、砥石１０内に浸透する研
削液６に直接触れることがないため、塩化ナトリウム粒
子１は研削液６に溶解せず、砥石１０内部においてチッ
プポケット８を生成することがない。これにより、可溶
性粒子である塩化ナトリウムが砥石１０の強度を担う構
成要素の一部となっているにもかかわらず、砥石１０の
強度が低下することがない。また、マイクロカプセル３
は砥石１０の表面に現れて被加工物７と接触すると、膜
材であるポリイミド樹脂２が被加工物７との摩擦により
除去され、塩化ナトリウム粒子１が表面に現れる。表面
に現れた塩化ナトリウム粒子１は研削液６と接触し、研
削液６中に溶解する。この塩化ナトリウム粒子１の溶出
した痕跡がチップポケット８となって砥石１０の表面に
形成され、加工により生じる研削屑の逃げ場となり目詰
まりを防止する。また、本実施例の研削研磨砥石１０の
製造方法にあっては、研削液６に可溶な塩化ナトリウム
粒子１を研削液６に不溶なポリイミド樹脂２により被覆
してマイクロカプセル化した状態で、砥石１０内に分散
配置しているので、マイクロカプセル３と被加工物７と
が接触する砥石１０の表面においてのみチップポケット
を生じさせることができ、目詰まり防止を実現させるだ
けでなく、砥石１０内部においてチップポケット８を生
じさせないことにより砥石強度の維持された砥石を作製
することができる。
製造方法の作用を図３を用いて説明する。本実施例の研
削研磨用砥石１０にあっては、自らが溶出してチップポ
ケットを生成させる塩化ナトリウム粒子１は砥石１０内
においてポリイミド樹脂２を膜材としたマイクロカプセ
ル３内に密封されているので、砥石１０内に浸透する研
削液６に直接触れることがないため、塩化ナトリウム粒
子１は研削液６に溶解せず、砥石１０内部においてチッ
プポケット８を生成することがない。これにより、可溶
性粒子である塩化ナトリウムが砥石１０の強度を担う構
成要素の一部となっているにもかかわらず、砥石１０の
強度が低下することがない。また、マイクロカプセル３
は砥石１０の表面に現れて被加工物７と接触すると、膜
材であるポリイミド樹脂２が被加工物７との摩擦により
除去され、塩化ナトリウム粒子１が表面に現れる。表面
に現れた塩化ナトリウム粒子１は研削液６と接触し、研
削液６中に溶解する。この塩化ナトリウム粒子１の溶出
した痕跡がチップポケット８となって砥石１０の表面に
形成され、加工により生じる研削屑の逃げ場となり目詰
まりを防止する。また、本実施例の研削研磨砥石１０の
製造方法にあっては、研削液６に可溶な塩化ナトリウム
粒子１を研削液６に不溶なポリイミド樹脂２により被覆
してマイクロカプセル化した状態で、砥石１０内に分散
配置しているので、マイクロカプセル３と被加工物７と
が接触する砥石１０の表面においてのみチップポケット
を生じさせることができ、目詰まり防止を実現させるだ
けでなく、砥石１０内部においてチップポケット８を生
じさせないことにより砥石強度の維持された砥石を作製
することができる。
【００１２】本実施例によれば、研削研磨用砥石１０の
製造に際し、予め自らが溶出することによってチップポ
ケット８を生成する可溶性粒子である塩化ナトリウム粒
子１を研削液６に不溶なポリイミド樹脂２でマイクロカ
プセル化して密封してから砥石１０中に配置させるの
で、砥石１０中の可溶性粒子の溶出による砥石１０の強
度の低下を防ぐことができる。これにより、目詰まりが
防止されるだけでなく、より面精度の高い加工面を得る
ことができる。
製造に際し、予め自らが溶出することによってチップポ
ケット８を生成する可溶性粒子である塩化ナトリウム粒
子１を研削液６に不溶なポリイミド樹脂２でマイクロカ
プセル化して密封してから砥石１０中に配置させるの
で、砥石１０中の可溶性粒子の溶出による砥石１０の強
度の低下を防ぐことができる。これにより、目詰まりが
防止されるだけでなく、より面精度の高い加工面を得る
ことができる。
【００１３】本実施例では可溶性物質に塩化ナトリウム
を用いた場合を例示したが、塩化カリウム・塩化カルシ
ウム・炭酸ナトリウム、臭化ナトリウム・臭化カリウム
等の水溶性の中性塩を用いることができ、かかる場合に
あっても、上記実施例と同様な作用、効果を奏すること
ができる。
を用いた場合を例示したが、塩化カリウム・塩化カルシ
ウム・炭酸ナトリウム、臭化ナトリウム・臭化カリウム
等の水溶性の中性塩を用いることができ、かかる場合に
あっても、上記実施例と同様な作用、効果を奏すること
ができる。
【００１４】
【実施例２】本願の請求項１に係る発明の別の実施例を
以下に説明する。図４は本発明の研削研磨用砥石の製造
方法における製造工程の実施例２を示す説明図である。
本実施例では化学的な研削能力向上とチップポケットの
生成を目的とした可溶性物質を砥石内に配置させた研削
研磨用砥石とその製造方法について説明する。
以下に説明する。図４は本発明の研削研磨用砥石の製造
方法における製造工程の実施例２を示す説明図である。
本実施例では化学的な研削能力向上とチップポケットの
生成を目的とした可溶性物質を砥石内に配置させた研削
研磨用砥石とその製造方法について説明する。
【００１５】本実施例の砥石は、結合材としてのフェノ
ール樹脂内に、研磨液に可溶な物質である硝酸セリウム
アンモニウム粒子（粒径約５０μｍ）と、砥粒である酸
化セリウム粉体（粒径約１μｍ）を分散配置して形成さ
れ、硝酸セリウムアンモウニム粒子は、ポリイミド樹脂
を膜材としたマイクロカプセル内に封入されている。
ール樹脂内に、研磨液に可溶な物質である硝酸セリウム
アンモニウム粒子（粒径約５０μｍ）と、砥粒である酸
化セリウム粉体（粒径約１μｍ）を分散配置して形成さ
れ、硝酸セリウムアンモウニム粒子は、ポリイミド樹脂
を膜材としたマイクロカプセル内に封入されている。
【００１６】次に、砥石の製造方法を図４に基づいて説
明する。砥石の結合材となるフェノール樹脂の粉体とそ
の溶媒となるメチルアルコールとを重量比が１：２にな
るように秤量し、混合・溶解させて樹脂溶液を得る。ま
た、化学的な研削能力向上とチップポケットの生成のた
めの可溶性物質として選択した硝酸セリウムアンモニウ
ム粒子（粒径約５０μｍ）をポリイミド樹脂を膜材とし
たマイクロカプセルに封入する。砥粒となる酸化セリウ
ム粉体（粒径約１μｍ）を成形品（砥石）の４５ｖｏｌ
％になるように秤量し、またマイクロカプセルを３５ｖ
ｏｌ％になるように秤量し、前記樹脂溶液に添加する。
そして、樹脂溶液中に酸化セリウム粉体とマイクロカプ
セルとが均一に分散するように混合する。次にこの混合
体を所望の形状の成形型に注入し、真空脱泡により混合
体中の気泡を除いた後、５０℃の乾燥炉中で乾燥させて
フェノール樹脂の溶媒であるメチルアルコールを蒸発除
去させる。そして、ここで得られた成形体を乾燥炉で１
８０℃・１２時間の条件で焼成し、研削研磨用砥石を得
る。
明する。砥石の結合材となるフェノール樹脂の粉体とそ
の溶媒となるメチルアルコールとを重量比が１：２にな
るように秤量し、混合・溶解させて樹脂溶液を得る。ま
た、化学的な研削能力向上とチップポケットの生成のた
めの可溶性物質として選択した硝酸セリウムアンモニウ
ム粒子（粒径約５０μｍ）をポリイミド樹脂を膜材とし
たマイクロカプセルに封入する。砥粒となる酸化セリウ
ム粉体（粒径約１μｍ）を成形品（砥石）の４５ｖｏｌ
％になるように秤量し、またマイクロカプセルを３５ｖ
ｏｌ％になるように秤量し、前記樹脂溶液に添加する。
そして、樹脂溶液中に酸化セリウム粉体とマイクロカプ
セルとが均一に分散するように混合する。次にこの混合
体を所望の形状の成形型に注入し、真空脱泡により混合
体中の気泡を除いた後、５０℃の乾燥炉中で乾燥させて
フェノール樹脂の溶媒であるメチルアルコールを蒸発除
去させる。そして、ここで得られた成形体を乾燥炉で１
８０℃・１２時間の条件で焼成し、研削研磨用砥石を得
る。
【００１７】本実施例の研削研磨用砥石とその製造方法
によれば、実施例１と同様に砥石内部の可溶性粒子の溶
出による砥石強度の低下を防ぎつつ、砥石表面に目詰ま
りを有効に防止するチップポケットを生成させることが
できるのはもちろんのこと、被加工物に酸の作用を与え
て加工効率を向上させる硝酸セリウムアンモニウムの可
溶性物質が砥石と被加工物である硝材との界面でのみ研
磨液に溶解することになるので、高濃度の可溶性物質溶
液が被加工物に作用することになり、可溶性物質の化学
作用能力を充分に生かすことができ、特に耐酸性の低い
ガラスの加工効率を向上し得るという利点がある。
によれば、実施例１と同様に砥石内部の可溶性粒子の溶
出による砥石強度の低下を防ぎつつ、砥石表面に目詰ま
りを有効に防止するチップポケットを生成させることが
できるのはもちろんのこと、被加工物に酸の作用を与え
て加工効率を向上させる硝酸セリウムアンモニウムの可
溶性物質が砥石と被加工物である硝材との界面でのみ研
磨液に溶解することになるので、高濃度の可溶性物質溶
液が被加工物に作用することになり、可溶性物質の化学
作用能力を充分に生かすことができ、特に耐酸性の低い
ガラスの加工効率を向上し得るという利点がある。
【００１８】本実施例では可溶性物質に硝酸セリウムア
ンモニウムを用いた場合を挙げたが、クエン酸、フタル
酸、ピコリン酸、ＥＤＴＡ・２Ｎａ等の水溶性の酸を用
いることができ、かかる場合にあっても上記実施例２と
同様な作用、効果を奏することができる。
ンモニウムを用いた場合を挙げたが、クエン酸、フタル
酸、ピコリン酸、ＥＤＴＡ・２Ｎａ等の水溶性の酸を用
いることができ、かかる場合にあっても上記実施例２と
同様な作用、効果を奏することができる。
【００１９】
【実施例３】本願の請求項１に係る発明のさらに別の実
施例を以下に説明する。本実施例の研削研磨用砥石とそ
の製造方法は、可溶性物質に水酸化ナトリウムを用いた
点を除き、前記実施例２と同様である。
施例を以下に説明する。本実施例の研削研磨用砥石とそ
の製造方法は、可溶性物質に水酸化ナトリウムを用いた
点を除き、前記実施例２と同様である。
【００２０】第１実施例と同様の効果が得られるのはも
ちろんのこと、被加工物にアルカリの作用を与えて加工
効率を向上させる水酸化ナトリウムの可溶性物質が砥石
と被加工物であるガラスとの界面でのみ研磨液に溶解す
ることになるので、高濃度の可溶性物質溶液が被加工物
に作用することになり、可溶性物質の化学的作用能力を
生かすことができ、特に耐アルカリ性の低いガラスの加
工効率を向上し得るという利点がある。
ちろんのこと、被加工物にアルカリの作用を与えて加工
効率を向上させる水酸化ナトリウムの可溶性物質が砥石
と被加工物であるガラスとの界面でのみ研磨液に溶解す
ることになるので、高濃度の可溶性物質溶液が被加工物
に作用することになり、可溶性物質の化学的作用能力を
生かすことができ、特に耐アルカリ性の低いガラスの加
工効率を向上し得るという利点がある。
【００２１】本実施例では可溶性物質に水酸化ナトリウ
ムを用いた場合を挙げたが、水酸化カリウム等の水溶性
のアルカリを用いることができ、かかる場合にあっても
上記実施例３と同様な作用、効果を得ることができる。
ムを用いた場合を挙げたが、水酸化カリウム等の水溶性
のアルカリを用いることができ、かかる場合にあっても
上記実施例３と同様な作用、効果を得ることができる。
【００２２】上述の実施例１、２、３では、砥粒に合成
ダイヤモンド、酸化セリウムおよび結合材にフェノール
樹脂を用いたが、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウ
ム、ＣＢＮ、ＳｉＣ、べんがら等の砥粒およびエポキシ
系、ポリイミド樹脂等の合成樹脂を用いてもよい。そし
て、砥粒、結合材、可溶性物質は任意の組み合わせを取
ることができる。また、可溶性粒子をマイクロカプセル
化する方法は、可溶性粒子の物性、粒径等により可溶性
粒子を研削研磨液から確実に隔離・保護できる方法を気
中懸濁法、噴霧乾燥法、噴霧凝固法、液中乾燥法等の周
知の手段より選択することができる。
ダイヤモンド、酸化セリウムおよび結合材にフェノール
樹脂を用いたが、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウ
ム、ＣＢＮ、ＳｉＣ、べんがら等の砥粒およびエポキシ
系、ポリイミド樹脂等の合成樹脂を用いてもよい。そし
て、砥粒、結合材、可溶性物質は任意の組み合わせを取
ることができる。また、可溶性粒子をマイクロカプセル
化する方法は、可溶性粒子の物性、粒径等により可溶性
粒子を研削研磨液から確実に隔離・保護できる方法を気
中懸濁法、噴霧乾燥法、噴霧凝固法、液中乾燥法等の周
知の手段より選択することができる。
【００２３】
【発明の効果】研削研磨液に可溶な粒子を膜材がポリイ
ミド樹脂からなるマイクロカプセルに封入した上で可溶
性粒子を研削研磨用砥石内に配置したので、この砥石を
用いて研削研磨するときに、この研削研磨用砥石を作製
する工程での焼成時に生成された連通気孔内に浸透する
研削研磨液によって可溶性粒子が砥石内部で研削研磨液
に溶解することはない。このため、可溶性粒子を砥石中
に配置しても砥石の強度が維持され、被加工物の面精度
を低下させることがない。さらに、マイクロカプセル
は、被加工物の加工中に砥石表面が徐々に摩耗、滅失し
て、砥石内部のマイクロカプセルが砥石の表面に露出し
たときに初めて膜材が被加工物との接触により除去ある
いは破られることになり、この時点でマイクロカプセル
内の可溶性粒子が研削研磨液に溶解して砥石の表面にチ
ップポケットが生成されるので、砥石表面の目詰まりを
防止でき、研削研磨抵抗を低減させることができる。
ミド樹脂からなるマイクロカプセルに封入した上で可溶
性粒子を研削研磨用砥石内に配置したので、この砥石を
用いて研削研磨するときに、この研削研磨用砥石を作製
する工程での焼成時に生成された連通気孔内に浸透する
研削研磨液によって可溶性粒子が砥石内部で研削研磨液
に溶解することはない。このため、可溶性粒子を砥石中
に配置しても砥石の強度が維持され、被加工物の面精度
を低下させることがない。さらに、マイクロカプセル
は、被加工物の加工中に砥石表面が徐々に摩耗、滅失し
て、砥石内部のマイクロカプセルが砥石の表面に露出し
たときに初めて膜材が被加工物との接触により除去ある
いは破られることになり、この時点でマイクロカプセル
内の可溶性粒子が研削研磨液に溶解して砥石の表面にチ
ップポケットが生成されるので、砥石表面の目詰まりを
防止でき、研削研磨抵抗を低減させることができる。
【図１】本発明の実施例の製造工程を示す説明図であ
る。
る。
【図２】本発明の実施例１の研削研磨用砥石を示す断面
図である。
図である。
【図３】本発明の実施例１の研削研磨用砥石の作用を説
明するための断面図である。
明するための断面図である。
【図４】本発明の実施例２の製造工程を示す説明図であ
る。
る。
【図５】従来の研削研磨用砥石の製造工程を示す説明図
である。
である。
１ 塩化ナトリウム粒子 ２ ポリイミド樹脂 ３ マイクロカプセル ４ 合成ダイヤモンド粒 ５ フェノール樹脂 ６ 研削液 ７ 被加工物 ８ チップポケット １０ 研削研磨用砥石
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24D 3/34 B24D 3/02 310 B24D 3/28
Claims (1)
- 【請求項１】 研削研磨用砥石の内部に研削研磨液に可
溶な粒子を含有させた研削研磨用砥石において、砥粒
と、膜材がポリイミド樹脂からなるマイクロカプセルに
封入した可溶性粒子とを合成樹脂の結合材内に分散して
構成したことを特徴とする研削研磨用砥石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04494394A JP3313232B2 (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | 研削研磨用砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04494394A JP3313232B2 (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | 研削研磨用砥石 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07227765A JPH07227765A (ja) | 1995-08-29 |
| JP3313232B2 true JP3313232B2 (ja) | 2002-08-12 |
Family
ID=12705573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04494394A Expired - Fee Related JP3313232B2 (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | 研削研磨用砥石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3313232B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5876266A (en) * | 1997-07-15 | 1999-03-02 | International Business Machines Corporation | Polishing pad with controlled release of desired micro-encapsulated polishing agents |
| JP2001105329A (ja) * | 1999-08-02 | 2001-04-17 | Ebara Corp | 研磨用砥石 |
| JP2001138244A (ja) | 1999-08-17 | 2001-05-22 | Mitsubishi Materials Corp | レジンボンド砥石 |
| KR100446248B1 (ko) * | 2001-12-17 | 2004-08-30 | 최창호 | 연마 미립자를 함유하는 고분자 연마 패드 |
| CN110788743B (zh) * | 2019-09-23 | 2021-11-09 | 湖南科技大学 | 一种磁场可控的缓释磁性物质稠化液流抛光垫及抛光方法 |
-
1994
- 1994-02-17 JP JP04494394A patent/JP3313232B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07227765A (ja) | 1995-08-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6336905B2 (ja) | ||
| JP2002538284A5 (ja) | ||
| JP3313232B2 (ja) | 研削研磨用砥石 | |
| JPS6384875A (ja) | 複合ダイヤモンド研摩成形体の製造方法 | |
| CN109809822B (zh) | 一种高强高韧碳化硅陶瓷载盘、制造方法及应用 | |
| US3899307A (en) | Resin bonded diamond wheels with copper and silicon carbide fillers | |
| JP2680739B2 (ja) | レジンボンド超砥粒砥石 | |
| CN102816530A (zh) | 一种化学机械抛光液 | |
| JP2001062601A (ja) | 硬質工具 | |
| JPH07156068A (ja) | 研削研磨用砥石の製造方法 | |
| JP2005319556A (ja) | 気孔発生型レジノイド砥石 | |
| JP3250746B2 (ja) | 研削研磨用砥石の製造方法および研削研磨用砥石 | |
| JP2641438B2 (ja) | 多孔質部を有するメタル砥石の遠心焼成法 | |
| JPH0360970A (ja) | 研磨用定盤 | |
| JPS60118469A (ja) | メタルボンド砥石の製造方法 | |
| JP3231402B2 (ja) | 研削研磨用砥石 | |
| JP2680740B2 (ja) | レジンボンド超砥粒砥石の製造方法 | |
| JPS6354488A (ja) | 切断および研削砥石とその製造法 | |
| JPS58155012A (ja) | チツプソ−の刃部とその製造法 | |
| JPS6312747B2 (ja) | ||
| JP2000263449A (ja) | 気孔発生型レジノイド砥石 | |
| JPH04122571A (ja) | セラミックスの精密研磨方法 | |
| JPS62287035A (ja) | フアインセラミツクス切断用銅−鉄族金属基ダイヤモンド工具 | |
| JPS62114879A (ja) | 粒塊状砥石片を砥粒とする砥石の製造法 | |
| JPH04322972A (ja) | ダイヤモンド砥粒の結合剤材料 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020514 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080531 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090531 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100531 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |