JP3310828B2 - 搬送用ラックピニオンの潤滑装置 - Google Patents
搬送用ラックピニオンの潤滑装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプラズマＣＶＤ装置の基
板の各成膜室間の搬送装置に関する。
板の各成膜室間の搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】プラズマＣＶＤ装置ではガラス基板に異
る複数の膜を重ねて付着させる。したがって、大気中か
ら真空中へ運び入れるための予備排気室、各成膜室を順
に移動する必要がある。それで各室間を移動する搬送台
車に前記ガラス基板をのせ前記各室間に設けられたゲー
ト弁を開いて出し入れする。
る複数の膜を重ねて付着させる。したがって、大気中か
ら真空中へ運び入れるための予備排気室、各成膜室を順
に移動する必要がある。それで各室間を移動する搬送台
車に前記ガラス基板をのせ前記各室間に設けられたゲー
ト弁を開いて出し入れする。
【０００３】従来例を図５によって説明する。図５は従
来例のプラズマＣＶＤ装置の台車搬送機構の模式図であ
る。図において搬送台車０１が図示しない軸受を介して
ガイド０３に取付けられたつば付ガイドローラ０３ａに
よって矢印アの方向に移動可能に支持されている。０１
ａは搬送台車０１の側面に取付けられたラックでモータ
０４の軸に取付けられた駆動用ピニオン０２と噛み合っ
ている。
来例のプラズマＣＶＤ装置の台車搬送機構の模式図であ
る。図において搬送台車０１が図示しない軸受を介して
ガイド０３に取付けられたつば付ガイドローラ０３ａに
よって矢印アの方向に移動可能に支持されている。０１
ａは搬送台車０１の側面に取付けられたラックでモータ
０４の軸に取付けられた駆動用ピニオン０２と噛み合っ
ている。
【０００４】前記従来例の作用を説明する。モータ０４
の軸の回転を変化させることにより搬送台車０１を矢印
アの方向に前進後進停止させることができる。駆動用ピ
ニオン０２はラック０１ａの方向に複数配置されている
ので順次ラック０１ａに噛み合い搬送台車０１を移動さ
せる。プラズマＣＶＤ装置の成膜室は不純物のガスを嫌
うので１０-6ｔｏｒｒ以下の真空に排気した後原料ガス
を導入する。
の軸の回転を変化させることにより搬送台車０１を矢印
アの方向に前進後進停止させることができる。駆動用ピ
ニオン０２はラック０１ａの方向に複数配置されている
ので順次ラック０１ａに噛み合い搬送台車０１を移動さ
せる。プラズマＣＶＤ装置の成膜室は不純物のガスを嫌
うので１０-6ｔｏｒｒ以下の真空に排気した後原料ガス
を導入する。
【０００５】したがってピニオン０２の潤滑には通常の
グリースは使用できない。真空用の特に蒸気圧の低いグ
リース（弗素化ポリエーテルを基油に使用したもの）を
使用することが考えられるが、潤滑部を密封する構造が
とれないので流れ出したり飛散したりして機器を汚染す
るので好ましくない。そこでピニオン０２は潤滑性のあ
る樹脂材料ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン樹
脂）を使用しラックにはステンレス鋼を使用していた。
グリースは使用できない。真空用の特に蒸気圧の低いグ
リース（弗素化ポリエーテルを基油に使用したもの）を
使用することが考えられるが、潤滑部を密封する構造が
とれないので流れ出したり飛散したりして機器を汚染す
るので好ましくない。そこでピニオン０２は潤滑性のあ
る樹脂材料ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン樹
脂）を使用しラックにはステンレス鋼を使用していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】プラズマＣＶＤ装置で
生産効率を高めるために搬送台車の搬送速度を速くする
と、駆動するピニオンの歯にかかる荷重が大きくなる。
そのためＰＥＥＫ材料でできたピニオンでは強度が不足
するので、強度が樹脂より大きい金属材料で駆動用ピニ
オンを製作することが必要になる。よく知られているよ
うに真空中では金属は焼付を起しやすいために潤滑が必
要である。
生産効率を高めるために搬送台車の搬送速度を速くする
と、駆動するピニオンの歯にかかる荷重が大きくなる。
そのためＰＥＥＫ材料でできたピニオンでは強度が不足
するので、強度が樹脂より大きい金属材料で駆動用ピニ
オンを製作することが必要になる。よく知られているよ
うに真空中では金属は焼付を起しやすいために潤滑が必
要である。
【０００７】一般的に真空中の固体潤滑剤として使われ
るものは二硫化モリブデンであり、材料の表面にバイン
ダ成分とともに塗布した後焼成して潤滑皮膜を形成す
る。前記のようにして形成された皮膜は当初はラックと
ピニオンの焼付を有効に防止するが、運転の経過にとも
なって潤滑皮膜が摩耗し、やがてその効力を失う。そこ
で摩耗していく潤滑成分を補ってやることが必要にな
る。
るものは二硫化モリブデンであり、材料の表面にバイン
ダ成分とともに塗布した後焼成して潤滑皮膜を形成す
る。前記のようにして形成された皮膜は当初はラックと
ピニオンの焼付を有効に防止するが、運転の経過にとも
なって潤滑皮膜が摩耗し、やがてその効力を失う。そこ
で摩耗していく潤滑成分を補ってやることが必要にな
る。
【０００８】本発明の目的は前記必要に応じて搬送用ラ
ックピニオンに潤滑剤の補給装置を提供するにある。
ックピニオンに潤滑剤の補給装置を提供するにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】第１発明の搬送用ラック
ピニオンの潤滑装置は雰囲気が真空にもなる空間を移動
する搬送台車にラックが取付けられこれに噛み合う駆動
用ピニオンによって駆動される搬送装置において、前記
ラックに噛み合い且回転に対しブレーキをかけ得る固体
潤滑剤を含有する樹脂製の潤滑用ピニオンを有してなる
ことを特徴としている。
ピニオンの潤滑装置は雰囲気が真空にもなる空間を移動
する搬送台車にラックが取付けられこれに噛み合う駆動
用ピニオンによって駆動される搬送装置において、前記
ラックに噛み合い且回転に対しブレーキをかけ得る固体
潤滑剤を含有する樹脂製の潤滑用ピニオンを有してなる
ことを特徴としている。
【００１０】第２発明の搬送用ラックピニオンの潤滑装
置は雰囲気が真空にもなる空間を移動する搬送台車１に
ラック１ａが取付けられ之に噛み合う駆動用ピニオン２
によって駆動される搬送装置において、前記駆動用ピニ
オン２と噛み合い且回転に対しブレーキをかけ得る固体
潤滑剤を有する樹脂製の潤滑用ピニオン５を有してなる
ことを特徴としている。
置は雰囲気が真空にもなる空間を移動する搬送台車１に
ラック１ａが取付けられ之に噛み合う駆動用ピニオン２
によって駆動される搬送装置において、前記駆動用ピニ
オン２と噛み合い且回転に対しブレーキをかけ得る固体
潤滑剤を有する樹脂製の潤滑用ピニオン５を有してなる
ことを特徴としている。
【００１１】
【作用】固体潤滑剤を含有する樹脂でできた潤滑用ピニ
オンにブレーキをかけてラック又は駆動用ピニオンと噛
み合せ駆動すると、前記潤滑用ピニオンからその含有す
る固体潤滑剤が前記ラックへ塗りつけられ、その固体潤
滑剤はラック表面に留り駆動用ピニオンとの噛み合いの
際潤滑作用をする。塗りつけられる固体潤滑剤の量は、
ピニオンのブレーキを大きくすることにより増加するこ
とができる。潤滑用ピニオンを回転可能に支持する方法
によっては、摩擦力のみで十分ブレーキがかかり得るの
で、そのときはブレーキをかける機構を必要としない。
オンにブレーキをかけてラック又は駆動用ピニオンと噛
み合せ駆動すると、前記潤滑用ピニオンからその含有す
る固体潤滑剤が前記ラックへ塗りつけられ、その固体潤
滑剤はラック表面に留り駆動用ピニオンとの噛み合いの
際潤滑作用をする。塗りつけられる固体潤滑剤の量は、
ピニオンのブレーキを大きくすることにより増加するこ
とができる。潤滑用ピニオンを回転可能に支持する方法
によっては、摩擦力のみで十分ブレーキがかかり得るの
で、そのときはブレーキをかける機構を必要としない。
【００１２】
【実施例】第１発明に係る搬送用ラックピニオンの潤滑
装置の第１実施例を図１，２によって説明する。図１は
本発明に係る第１実施例のプラズマＣＶＤ装置の搬送機
構の模式図、図２は本発明に係る第１実施例の潤滑用ピ
ニオン支持構造の詳細図である。図において搬送台車１
が図示しない軸受を介してガイド３に取付けられたつば
付ガイドローラ３ａによって矢印アの方向に移動可能に
支えられている。１ａは搬送台車１の側面に矢印アの方
向に取付けられたラックでステンレス鋼（ＳＵＳ４４
０）の焼入れ、焼戻し材製である。
装置の第１実施例を図１，２によって説明する。図１は
本発明に係る第１実施例のプラズマＣＶＤ装置の搬送機
構の模式図、図２は本発明に係る第１実施例の潤滑用ピ
ニオン支持構造の詳細図である。図において搬送台車１
が図示しない軸受を介してガイド３に取付けられたつば
付ガイドローラ３ａによって矢印アの方向に移動可能に
支えられている。１ａは搬送台車１の側面に矢印アの方
向に取付けられたラックでステンレス鋼（ＳＵＳ４４
０）の焼入れ、焼戻し材製である。
【００１３】２は駆動用ピニオンでステンレス鋼（ＳＵ
Ｓ４４０）の焼入れ焼戻し材製で、モータ４の軸に取付
けられラック１ａに噛み合っている。５は潤滑用ピニオ
ンでラック１ａに噛み合い固体潤滑剤二硫化モリブデン
を含有したＰＥＥＫ樹脂で作られ、図２に示すように固
定軸６に軸受７を介して回転可能に取付けられている。
潤滑用ピニオン５の上部にはブレーキワッシャ８がスプ
リングワッシャ９を介してナット１０で押し当てられて
居り、ナット１０を締めこむことにより潤滑用ピニオン
５の側面に押しつけブレーキをかけることができる。
Ｓ４４０）の焼入れ焼戻し材製で、モータ４の軸に取付
けられラック１ａに噛み合っている。５は潤滑用ピニオ
ンでラック１ａに噛み合い固体潤滑剤二硫化モリブデン
を含有したＰＥＥＫ樹脂で作られ、図２に示すように固
定軸６に軸受７を介して回転可能に取付けられている。
潤滑用ピニオン５の上部にはブレーキワッシャ８がスプ
リングワッシャ９を介してナット１０で押し当てられて
居り、ナット１０を締めこむことにより潤滑用ピニオン
５の側面に押しつけブレーキをかけることができる。
【００１４】前記第１実施例の作用を説明する。モータ
４によって駆動用ピニオン２が回されてラック１ａを矢
印アの方向に駆動する。駆動用ピニオン２はステンレス
鋼（ＳＵＳ４４０）製であるから樹脂製のものより大き
な力に耐えうる。ラック１ａは潤滑用ピニオン５をその
側面に接するブレーキワッシャ８の摩擦に抗して駆動す
る。ナット１０の締め込みで前記摩擦の力は大きくでき
る。潤滑用ピニオン５の材料中に含有される固体潤滑剤
二硫化モリブデンがラック１ａの歯面に塗りつけられ、
前記塗りつけられた二硫化モリブデンはラック１ａと駆
動用ピニオン２との潤滑作用をはたすことができる。
４によって駆動用ピニオン２が回されてラック１ａを矢
印アの方向に駆動する。駆動用ピニオン２はステンレス
鋼（ＳＵＳ４４０）製であるから樹脂製のものより大き
な力に耐えうる。ラック１ａは潤滑用ピニオン５をその
側面に接するブレーキワッシャ８の摩擦に抗して駆動す
る。ナット１０の締め込みで前記摩擦の力は大きくでき
る。潤滑用ピニオン５の材料中に含有される固体潤滑剤
二硫化モリブデンがラック１ａの歯面に塗りつけられ、
前記塗りつけられた二硫化モリブデンはラック１ａと駆
動用ピニオン２との潤滑作用をはたすことができる。
【００１５】前記潤滑用ピニオンの材質は前記樹脂ＰＥ
ＥＫの他に弗素樹脂やポリイミド、ポリアミド、ポリオ
キシベンゾイル等が使用可能であり、又固体潤滑剤とし
てはグラファイトも使用可能である。
ＥＫの他に弗素樹脂やポリイミド、ポリアミド、ポリオ
キシベンゾイル等が使用可能であり、又固体潤滑剤とし
てはグラファイトも使用可能である。
【００１６】第１発明に係る第２実施例を図３によって
説明する。図３は本発明に係る第２実施例の潤滑用ピニ
オン５の取付部詳細図である。第２実施例の潤滑用ピニ
オンの取付部以外は前記第１実施例と同じであるから説
明を省く。潤滑用ピニオン５は、二硫化モリブデンを含
有するＰＥＥＫ樹脂製で固定軸６にすき間嵌めされ、ラ
ック１ａにかみ合っている。潤滑用ピニオン５の上部に
軸６にキー止めされたおもり１１がのせられている。
説明する。図３は本発明に係る第２実施例の潤滑用ピニ
オン５の取付部詳細図である。第２実施例の潤滑用ピニ
オンの取付部以外は前記第１実施例と同じであるから説
明を省く。潤滑用ピニオン５は、二硫化モリブデンを含
有するＰＥＥＫ樹脂製で固定軸６にすき間嵌めされ、ラ
ック１ａにかみ合っている。潤滑用ピニオン５の上部に
軸６にキー止めされたおもり１１がのせられている。
【００１７】前記第１発明第２実施例の作用を説明す
る。駆動用ピニオン２に駆動されてラック１ａが移動す
るとこれにより潤滑用ピニオン５が回わされ、このとき
固定軸６と潤滑用ピニオン５との間及び潤滑用ピニオン
５とおもり１１との接触面における摩擦がブレーキとな
って荷重がかかり、潤滑用ピニオン５の含有する二硫化
モリブデンがラック１ａの歯面に塗りつけられ潤滑剤と
なる。
る。駆動用ピニオン２に駆動されてラック１ａが移動す
るとこれにより潤滑用ピニオン５が回わされ、このとき
固定軸６と潤滑用ピニオン５との間及び潤滑用ピニオン
５とおもり１１との接触面における摩擦がブレーキとな
って荷重がかかり、潤滑用ピニオン５の含有する二硫化
モリブデンがラック１ａの歯面に塗りつけられ潤滑剤と
なる。
【００１８】次に第２発明に係る搬送用ラックピニオン
の潤滑装置をその模式図（図４）を参照して説明する。
図において搬送台車１、駆動用ピニオン２、ガイド３、
ガイドローラ３ａ，モータ４及び潤滑用ピニオン５等は
図１〜３に示す第１発明のものと同一のものを使用して
いる。
の潤滑装置をその模式図（図４）を参照して説明する。
図において搬送台車１、駆動用ピニオン２、ガイド３、
ガイドローラ３ａ，モータ４及び潤滑用ピニオン５等は
図１〜３に示す第１発明のものと同一のものを使用して
いる。
【００１９】但しその構成において第１発明では潤滑用
ピニオン５はラック１ａと直接噛み合っているが、第２
発明では該潤滑用ピニオン５は図４に示すように前記駆
動用ピニオン２と噛み合っている点が相違している。し
かしその他の点ではその構成は全く同じである。
ピニオン５はラック１ａと直接噛み合っているが、第２
発明では該潤滑用ピニオン５は図４に示すように前記駆
動用ピニオン２と噛み合っている点が相違している。し
かしその他の点ではその構成は全く同じである。
【００２０】次に第２発明の作用について図４によって
説明する。駆動用ピニオン２で潤滑用ピニオン５が回さ
れると、その接触面における摩擦でブレーキのかかった
潤滑用ピニオン５により駆動用ピニオン２の歯面に潤滑
用ピニオン５の含有する二硫化モルブデンが塗りつけら
れ、潤滑剤として作用するようになる点が第１発明と相
違している。
説明する。駆動用ピニオン２で潤滑用ピニオン５が回さ
れると、その接触面における摩擦でブレーキのかかった
潤滑用ピニオン５により駆動用ピニオン２の歯面に潤滑
用ピニオン５の含有する二硫化モルブデンが塗りつけら
れ、潤滑剤として作用するようになる点が第１発明と相
違している。
【００２１】
【発明の効果】搬送台車ラックと駆動用ピニオンを金属
材料としても潤滑用ピニオンからラックへ又は前記駆動
用ピニオンへと付着した固体潤滑剤が潤滑効果を発揮し
て焼付や異常摩耗を起さず円滑な動作を行わせることが
できる。そのため樹脂で駆動用ピニオンを製作した場合
と比較して大きな駆動力に耐えることができ、搬送台車
の加速減速を大きくすることができるため、搬送時間が
短縮され、プラズマＣＶＤ装置の生産力が高まる。
材料としても潤滑用ピニオンからラックへ又は前記駆動
用ピニオンへと付着した固体潤滑剤が潤滑効果を発揮し
て焼付や異常摩耗を起さず円滑な動作を行わせることが
できる。そのため樹脂で駆動用ピニオンを製作した場合
と比較して大きな駆動力に耐えることができ、搬送台車
の加速減速を大きくすることができるため、搬送時間が
短縮され、プラズマＣＶＤ装置の生産力が高まる。
【図１】第１発明に係る第１実施例のプラズマＣＶＤ装
置の台車搬送機構の模式図、
置の台車搬送機構の模式図、
【図２】第１発明に係る第１実施例の潤滑用ピニオン取
付部詳細図、
付部詳細図、
【図３】第１発明に係る第２実施例の潤滑用ピニオン取
付部詳細図、
付部詳細図、
【図４】第２発明の図１応当図、
【図５】従来例のプラズマＣＶＤ装置の台車搬送機構の
模式図。
模式図。
０１，１…搬送台車、０２…駆動用ピニオン、２…駆動
用ピニオン、０３，３…ガイド、０３ａ，３ａ…つば付
ガイドローラ、０４，４…駆動用モータ、５…潤滑用ピ
ニオン、６…固定軸、７…軸受、８…ブレーキワッシ
ャ、９…スプリングワッシャ、１０…ナット、１１…お
もり。
用ピニオン、０３，３…ガイド、０３ａ，３ａ…つば付
ガイドローラ、０４，４…駆動用モータ、５…潤滑用ピ
ニオン、６…固定軸、７…軸受、８…ブレーキワッシ
ャ、９…スプリングワッシャ、１０…ナット、１１…お
もり。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−332470（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−172212（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−52452（ＪＰ，Ｕ) 実開 平５−96600（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−40545（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭53−16755（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16H 19/00 - 31/00 B65G 35/06 F16H 55/17 F16N 17/06
Claims (2)
- 【請求項１】 雰囲気が真空にもなる空間を移動する搬
送台車（１）にラック（１ａ）が取付けられ之に噛み合
う駆動用ピニオン（２）によって駆動される搬送装置に
おいて、前記ラックと噛み合い且回転に対しブレーキを
かけ得る固体潤滑剤を含有する樹脂製の潤滑用ピニオン
（５）を有してなることを特徴とする搬送用ラックピニ
オンの潤滑装置。 - 【請求項２】 雰囲気が真空にもなる空間を移動する搬
送台車（１）にラック（１ａ）が取付けられ之に噛み合
う駆動用ピニオン（２）によって駆動される搬送装置に
おいて、前記駆動用ピニオン（２）と噛み合い且回転に
対しブレーキをかけ得る固体潤滑剤を有する樹脂製の潤
滑用ピニオン（５）を有してなることを特徴とする搬送
用ラックピニオンの潤滑装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18622895A JP3310828B2 (ja) | 1995-01-11 | 1995-06-28 | 搬送用ラックピニオンの潤滑装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7-18324 | 1995-01-11 | ||
| JP1832495 | 1995-01-11 | ||
| JP18622895A JP3310828B2 (ja) | 1995-01-11 | 1995-06-28 | 搬送用ラックピニオンの潤滑装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08247246A JPH08247246A (ja) | 1996-09-24 |
| JP3310828B2 true JP3310828B2 (ja) | 2002-08-05 |
Family
ID=26354998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18622895A Expired - Fee Related JP3310828B2 (ja) | 1995-01-11 | 1995-06-28 | 搬送用ラックピニオンの潤滑装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3310828B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106573734A (zh) * | 2014-08-19 | 2017-04-19 | 村田机械株式会社 | 台车的输送装置 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2794188B1 (fr) * | 1999-05-28 | 2001-08-10 | Hydroperfect Internat | Pompe hydraulique a engrenage |
| JP4841969B2 (ja) * | 2006-02-27 | 2011-12-21 | アスモ株式会社 | 搬送装置および搬送方法 |
| DE202011106379U1 (de) * | 2011-10-07 | 2011-11-16 | Schunk Gmbh & Co. Kg Spann- Und Greiftechnik | Greif- oder Spannvorrichtung |
| CN102913730B (zh) * | 2012-10-26 | 2015-04-15 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种齿条自动注油装置 |
| CN103727195A (zh) * | 2013-12-07 | 2014-04-16 | 四川成焊宝玛焊接装备工程有限公司 | 用于滑移机构的驱动装置 |
| JP2016056003A (ja) * | 2014-09-10 | 2016-04-21 | 株式会社椿本チエイン | 組立搬送装置 |
| CN109095102B (zh) * | 2018-08-31 | 2020-09-18 | 常德高迈新能源科技有限公司 | 一种用于汽车总装生产的汽车底盘输送装置 |
| CN114719169B (zh) * | 2022-03-22 | 2023-12-08 | 陕西法士特齿轮有限责任公司 | 一种变速箱副箱主轴齿轮压板自动喷涂二硫化钼润滑脂机构 |
-
1995
- 1995-06-28 JP JP18622895A patent/JP3310828B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106573734A (zh) * | 2014-08-19 | 2017-04-19 | 村田机械株式会社 | 台车的输送装置 |
| CN106573734B (zh) * | 2014-08-19 | 2019-11-15 | 村田机械株式会社 | 台车的输送装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08247246A (ja) | 1996-09-24 |
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