JP3309047B2 - 誘電体磁器組成物 - Google Patents
誘電体磁器組成物Info
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- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
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- Ceramic Capacitors (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、誘電体共振器、マ
イクロ波導波路、マイクロ波コンデンサ、マイクロ波Ｉ
Ｃ基板、ＩＣパッケージ、誘電体アンテナ等の電気通信
分野またはマイクロ波透過窓等の核融合関係設備分野に
おいて好適に利用され、しかも大型形状品にも適用でき
る誘電体磁器組成物に関する。
イクロ波導波路、マイクロ波コンデンサ、マイクロ波Ｉ
Ｃ基板、ＩＣパッケージ、誘電体アンテナ等の電気通信
分野またはマイクロ波透過窓等の核融合関係設備分野に
おいて好適に利用され、しかも大型形状品にも適用でき
る誘電体磁器組成物に関する。
【０００２】
【従来技術】近年、通信網の急激な発展に伴って、通信
に使用する周波数が拡大すると同時に、マイクロ波領域
やミリ波領域にまで及びつつある。一方、誘電体磁器
は、コンデンサなどの他に、誘電体共振器や集積回路基
板、誘電体アンテナ、各種高周波回路のインピーダンス
整合等に応用されており、これらについてもマイクロ波
やミリ波に対しても適応可能なものが望まれている。例
えば、フィルタやガンまたはＦＥＴマイクロ波発振器の
周波数安定化のために必要となり、その需要が増大して
いる。
に使用する周波数が拡大すると同時に、マイクロ波領域
やミリ波領域にまで及びつつある。一方、誘電体磁器
は、コンデンサなどの他に、誘電体共振器や集積回路基
板、誘電体アンテナ、各種高周波回路のインピーダンス
整合等に応用されており、これらについてもマイクロ波
やミリ波に対しても適応可能なものが望まれている。例
えば、フィルタやガンまたはＦＥＴマイクロ波発振器の
周波数安定化のために必要となり、その需要が増大して
いる。
【０００３】マイクロ波回路素子の大きさは、電磁波の
波長が基準となっており、誘電体を用いたマイクロ波立
体回路内を電磁波が伝搬するときのその波長は、真空中
の波長をλ0 、比誘電率をεとするとλ0 ／ε1/2 とな
る。
波長が基準となっており、誘電体を用いたマイクロ波立
体回路内を電磁波が伝搬するときのその波長は、真空中
の波長をλ0 、比誘電率をεとするとλ0 ／ε1/2 とな
る。
【０００４】そこで、セラミックスとして最も一般的に
使用されているアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）質焼結体は、機
械的強度が高く、低コストであるため上述したような電
気通信分野での利用が大いに期待されている。また、移
動体通信の普及によって通信端末及び基地局の需要も急
速に増大している。
使用されているアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）質焼結体は、機
械的強度が高く、低コストであるため上述したような電
気通信分野での利用が大いに期待されている。また、移
動体通信の普及によって通信端末及び基地局の需要も急
速に増大している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、アルミ
ナ磁器は、共振周波数の温度係数（以下、τｆと記す）
が約−５５ｐｐｍ／℃と大きいため使用用途が極めて制
限されるという問題があった。このτｆを制御する方法
としては、τｆが正の成分と負の成分を適宜組み合わせ
ることにより調整することが可能であるが、誘電損失が
大きくなるなど、高周波における低損失を維持しつつ、
τｆを小さくすることは困難であった。
ナ磁器は、共振周波数の温度係数（以下、τｆと記す）
が約−５５ｐｐｍ／℃と大きいため使用用途が極めて制
限されるという問題があった。このτｆを制御する方法
としては、τｆが正の成分と負の成分を適宜組み合わせ
ることにより調整することが可能であるが、誘電損失が
大きくなるなど、高周波における低損失を維持しつつ、
τｆを小さくすることは困難であった。
【０００６】また、誘電損失については、サファイア
（Ａｌ2 Ｏ3 ）などの単結晶は非常に低い誘電損失であ
るが、アルミナ質焼結体に比較して非常に高いことか
ら、安価に製造される低損失の磁器が望まれていた。
（Ａｌ2 Ｏ3 ）などの単結晶は非常に低い誘電損失であ
るが、アルミナ質焼結体に比較して非常に高いことか
ら、安価に製造される低損失の磁器が望まれていた。
【０００７】さらに、移動体通信の基地局の共振器のよ
うに、大電力を使用するところでは、放熱のため大型か
つ低誘電損失で熱放散性に優れた磁器が望まれている
が、高純度アルミナ磁器は、熱伝導率が３０Ｗ／ｍ・Ｋ
前後と通常の誘電体材料より１ケタ大きく熱放散性に優
れるが、大型形状品では均一に焼結させることが難し
く、誘電損失が増大するなどの問題がった。
うに、大電力を使用するところでは、放熱のため大型か
つ低誘電損失で熱放散性に優れた磁器が望まれている
が、高純度アルミナ磁器は、熱伝導率が３０Ｗ／ｍ・Ｋ
前後と通常の誘電体材料より１ケタ大きく熱放散性に優
れるが、大型形状品では均一に焼結させることが難し
く、誘電損失が増大するなどの問題がった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、まず、ア
ルミナのτｆの絶対値を低下させるためには、アルミナ
と逆の温度係数を持つ化合物を添加する必要があること
を前提に種々検討した結果、アルミナへの添加物とし
て、ＢａＯとＴａ2 Ｏ5 とを特定の範囲で組み合わせて
添加した結果、誘電損失を高めることなく、τｆの絶対
値を低減できること、さらに大型形状品であっても低誘
電損失の磁器を容易できることを見いだし、本発明に至
った。
ルミナのτｆの絶対値を低下させるためには、アルミナ
と逆の温度係数を持つ化合物を添加する必要があること
を前提に種々検討した結果、アルミナへの添加物とし
て、ＢａＯとＴａ2 Ｏ5 とを特定の範囲で組み合わせて
添加した結果、誘電損失を高めることなく、τｆの絶対
値を低減できること、さらに大型形状品であっても低誘
電損失の磁器を容易できることを見いだし、本発明に至
った。
【０００９】即ち、本発明の誘電体磁器組成物は、Ａｌ
2 Ｏ3 、ＢａＯおよびＴａ2 Ｏ5 を主成分とし、各成分
のモル比による組成比が、図１のＡｌ2 Ｏ3 −ＢａＯ−
Ｔａ2 Ｏ5 ３成分組成図における の点による線分Ａ−Ｂ−Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ｆ−Ｇ−Ｋ−Ａで
囲まれた範囲内にあり、しかも、結晶相として、少なく
ともα−Ａｌ2 Ｏ3 と、ＢａＴａ2 Ｏ6 およびＢａＡｌ
12Ｏ19の少なくとも１種を含み、測定周波数８ＧＨｚに
おける誘電損失が１×１０-3以下、共振周波数の２５〜
８５℃における温度係数の絶対値｜τｆ｜が３０ｐｐｍ
以下の優れた誘電特性を有するものである。
2 Ｏ3 、ＢａＯおよびＴａ2 Ｏ5 を主成分とし、各成分
のモル比による組成比が、図１のＡｌ2 Ｏ3 −ＢａＯ−
Ｔａ2 Ｏ5 ３成分組成図における の点による線分Ａ−Ｂ−Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ｆ−Ｇ−Ｋ−Ａで
囲まれた範囲内にあり、しかも、結晶相として、少なく
ともα−Ａｌ2 Ｏ3 と、ＢａＴａ2 Ｏ6 およびＢａＡｌ
12Ｏ19の少なくとも１種を含み、測定周波数８ＧＨｚに
おける誘電損失が１×１０-3以下、共振周波数の２５〜
８５℃における温度係数の絶対値｜τｆ｜が３０ｐｐｍ
以下の優れた誘電特性を有するものである。
【００１０】本発明によれば、Ａｌ2 Ｏ3 に対して、Ｂ
ａＯとＴａ2 Ｏ5 の複合添加により生成されるＢａＴａ
2 Ｏ6 により温度係数τｆを正側に移行させることがで
きる。その結果、測定周波数８ＧＨｚにおいて誘電損失
が１×１０-3以下を維持しつつ、τｆの絶対値を３０ｐ
ｐｍ／℃以下に制御することが可能となり、また、大型
形状品でも優れた誘電特性を維持し、熱伝導性が３０Ｗ
／ｍ・Ｋ前後の磁器を得ることができ、これにより高周
波領域の電気通信分野での広範囲の利用ができるように
なった。
ａＯとＴａ2 Ｏ5 の複合添加により生成されるＢａＴａ
2 Ｏ6 により温度係数τｆを正側に移行させることがで
きる。その結果、測定周波数８ＧＨｚにおいて誘電損失
が１×１０-3以下を維持しつつ、τｆの絶対値を３０ｐ
ｐｍ／℃以下に制御することが可能となり、また、大型
形状品でも優れた誘電特性を維持し、熱伝導性が３０Ｗ
／ｍ・Ｋ前後の磁器を得ることができ、これにより高周
波領域の電気通信分野での広範囲の利用ができるように
なった。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の誘電体磁器組成物は、Ａ
ｌ2 Ｏ3 、ＢａＯおよびＴａ2 Ｏ5 を主成分とするもの
であって、これらの成分モル比が、図１のＡｌ2 Ｏ3 −
ＢａＯ−Ｔａ2 Ｏ5 ３成分組成図における線分Ａ−Ｂ−
Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ｆ−Ｇ−Ｋ−Ａで囲まれた範囲内にあるも
のである。なお、点Ａ〜点Ｋは以下の通りである。
ｌ2 Ｏ3 、ＢａＯおよびＴａ2 Ｏ5 を主成分とするもの
であって、これらの成分モル比が、図１のＡｌ2 Ｏ3 −
ＢａＯ−Ｔａ2 Ｏ5 ３成分組成図における線分Ａ−Ｂ−
Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ｆ−Ｇ−Ｋ−Ａで囲まれた範囲内にあるも
のである。なお、点Ａ〜点Ｋは以下の通りである。
【００１２】 この組成範囲を上記のように限定したのは、線分Ａ−Ｂ
よりもＴａ2 Ｏ5 が少ないと、τｆが負に大きくなり、
線分Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ｆ−ＧよりＡｌ2 Ｏ3 が少ないと、τ
ｆは正に大きくなるか、あるいは誘電損失が１×１０-3
を越えてしまう。また、線分Ｇ−Ｋ−ＡよりＢａＯが少
ないとτｆが負に大きくなってしまう。
よりもＴａ2 Ｏ5 が少ないと、τｆが負に大きくなり、
線分Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ｆ−ＧよりＡｌ2 Ｏ3 が少ないと、τ
ｆは正に大きくなるか、あるいは誘電損失が１×１０-3
を越えてしまう。また、線分Ｇ−Ｋ−ＡよりＢａＯが少
ないとτｆが負に大きくなってしまう。
【００１３】また、かかる組成物によれば、結晶相とし
て、結晶相として少なくともα−Ａｌ2 Ｏ3 と、ＢａＴ
ａ2 Ｏ6 およびＢａＡｌ12Ｏ19のうちの少なくとも１種
を含み、特にこれらが主結晶相を構成することが重要で
ある。アルミナ含有量が範囲内であっても、Ｔａ2 Ｏ5
とＢａＯとの比率が上記組成範囲を逸脱すると、ＢａＯ
・６Ａｌ2 Ｏ3 またはＡｌＴａＯ4 、ＢａＡｌ12Ｏ19が
過剰に析出し、誘電損失が１×１０-3を越えてしまう
か、共振周波数の温度係数の絶対値が３０ｐｐｍ／℃を
越えてしまう。
て、結晶相として少なくともα−Ａｌ2 Ｏ3 と、ＢａＴ
ａ2 Ｏ6 およびＢａＡｌ12Ｏ19のうちの少なくとも１種
を含み、特にこれらが主結晶相を構成することが重要で
ある。アルミナ含有量が範囲内であっても、Ｔａ2 Ｏ5
とＢａＯとの比率が上記組成範囲を逸脱すると、ＢａＯ
・６Ａｌ2 Ｏ3 またはＡｌＴａＯ4 、ＢａＡｌ12Ｏ19が
過剰に析出し、誘電損失が１×１０-3を越えてしまう
か、共振周波数の温度係数の絶対値が３０ｐｐｍ／℃を
越えてしまう。
【００１４】これらの中でも、図１において、線分Ａ−
Ｂ−Ｈ−Ｉ−Ｅ−Ｊ−Ｋ−Ａにより囲まれた範囲内で
は、誘電率９〜１１、測定周波数８ＧＨｚにおける誘電
損失が６×１０-4以下、共振周波数の２５〜８５℃にお
ける温度係数の絶対値｜τｆ｜が３０ｐｐｍ以下が達成
される。なお、点Ｈ、Ｉ、Ｊは以下の通りである。 このように、上記組成と上記結晶相の構成により、測定
周波数８ＧＨｚにおける誘電損失が１×１０-3以下、共
振周波数の２５〜８５℃における温度係数の絶対値｜τ
ｆ｜が３０ｐｐｍ以下の優れた高周波特性が発揮され
る。
Ｂ−Ｈ−Ｉ−Ｅ−Ｊ−Ｋ−Ａにより囲まれた範囲内で
は、誘電率９〜１１、測定周波数８ＧＨｚにおける誘電
損失が６×１０-4以下、共振周波数の２５〜８５℃にお
ける温度係数の絶対値｜τｆ｜が３０ｐｐｍ以下が達成
される。なお、点Ｈ、Ｉ、Ｊは以下の通りである。 このように、上記組成と上記結晶相の構成により、測定
周波数８ＧＨｚにおける誘電損失が１×１０-3以下、共
振周波数の２５〜８５℃における温度係数の絶対値｜τ
ｆ｜が３０ｐｐｍ以下の優れた高周波特性が発揮され
る。
【００１５】本発明の誘電体磁器組成物は、Ａｌ
2 Ｏ3 、ＢａＯおよびＴａ2 Ｏ5 、あるいは焼成により
前記酸化物を形成しえる炭酸塩、硝酸塩などの塩を用い
て、前記図１の組成範囲になるように秤量混合した後、
これを所望の成形手段、例えば、ドクターブレード法な
どのシート成形法、金型プレス法、冷間静水圧プレス
法、押出し成形法、圧延法等により任意の形状に成形す
る。
2 Ｏ3 、ＢａＯおよびＴａ2 Ｏ5 、あるいは焼成により
前記酸化物を形成しえる炭酸塩、硝酸塩などの塩を用い
て、前記図１の組成範囲になるように秤量混合した後、
これを所望の成形手段、例えば、ドクターブレード法な
どのシート成形法、金型プレス法、冷間静水圧プレス
法、押出し成形法、圧延法等により任意の形状に成形す
る。
【００１６】その後、この成形体を、大気中などの酸化
性雰囲気中で１４００〜１７００℃の温度で焼成するこ
とにより相対密度９８％以上に緻密化することができ
る。この時、本発明の組成物は、焼結体形状の厚みが２
０ｍｍ以上の大型品であっても、１４００〜１７００℃
の温度で１〜５時間焼成することにより、焼結体内部ま
で十分に緻密化することができるために、大型形状品に
よる誘電損失が増大することがなく、小型品と同様の特
性が発揮される。
性雰囲気中で１４００〜１７００℃の温度で焼成するこ
とにより相対密度９８％以上に緻密化することができ
る。この時、本発明の組成物は、焼結体形状の厚みが２
０ｍｍ以上の大型品であっても、１４００〜１７００℃
の温度で１〜５時間焼成することにより、焼結体内部ま
で十分に緻密化することができるために、大型形状品に
よる誘電損失が増大することがなく、小型品と同様の特
性が発揮される。
【００１７】なお、本発明の磁器組成物においては、上
記Ａｌ2 Ｏ3 、ＢａＯ、Ｔａ2 Ｏ5の成分以外に、例え
ば、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｆｅ、Ｃａ、Ｎａ、Ｇａなどの元素が
不可避不純物あるいは製造工程中において混入する場合
があるが、これらの成分は、酸化物換算で全量中０．２
重量％以下であれば、とりわけ本発明の効果に影響を及
ぼすことはない。
記Ａｌ2 Ｏ3 、ＢａＯ、Ｔａ2 Ｏ5の成分以外に、例え
ば、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｆｅ、Ｃａ、Ｎａ、Ｇａなどの元素が
不可避不純物あるいは製造工程中において混入する場合
があるが、これらの成分は、酸化物換算で全量中０．２
重量％以下であれば、とりわけ本発明の効果に影響を及
ぼすことはない。
【００１８】
実施例１ 純度９９．９％のＡｌ2 Ｏ3 粉末、ＢａＣＯ3 粉末およ
びＴａ2 Ｏ5 粉末を表１、表２の組成となるように秤量
し、この混合粉末を、純度９９．９％のアルミナボー
ル、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）と共に５００ｍ
ｌポリポットに投入し、２４時間回転ミルにて混合し
た。混合後のスラリーを８０℃大気中にて乾燥し８０メ
ッシュを通し評価粉末を得た。
びＴａ2 Ｏ5 粉末を表１、表２の組成となるように秤量
し、この混合粉末を、純度９９．９％のアルミナボー
ル、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）と共に５００ｍ
ｌポリポットに投入し、２４時間回転ミルにて混合し
た。混合後のスラリーを８０℃大気中にて乾燥し８０メ
ッシュを通し評価粉末を得た。
【００１９】この粉末を金型プレスにて１０００ｋｇ／
ｃｍ2 で直径２０ｍｍ、厚み１０ｍｍに成形した。そし
て、成形体は大気中、１５５０〜１６００℃で２時間保
持して焼成した。
ｃｍ2 で直径２０ｍｍ、厚み１０ｍｍに成形した。そし
て、成形体は大気中、１５５０〜１６００℃で２時間保
持して焼成した。
【００２０】得られた焼結体を直径１５ｍｍ、厚み７．
５ｍｍに加工研磨した。そして、測定周波数８ＧＨｚで
の測定によって、誘電率（εｒ）、誘電損失（ｔａｎ
δ）、および２５〜８５℃における共振周波数の温度係
数（τｆ）を測定した。また、波長λ＝１．５４１８Å
のＣｕＫα線によるＸ線回折により試料の結晶相を同定
した。これらの測定結果は、表１、表２に示した。
５ｍｍに加工研磨した。そして、測定周波数８ＧＨｚで
の測定によって、誘電率（εｒ）、誘電損失（ｔａｎ
δ）、および２５〜８５℃における共振周波数の温度係
数（τｆ）を測定した。また、波長λ＝１．５４１８Å
のＣｕＫα線によるＸ線回折により試料の結晶相を同定
した。これらの測定結果は、表１、表２に示した。
【００２１】
【表１】
【００２２】
【表２】
【００２３】表１、表２の結果によれば、本発明におけ
る組成範囲を逸脱する試料Ｎo.２２〜３４は、いずれも
τｆの絶対値が３０ｐｐｍ／℃を越えるか、あるいは誘
電損失が１×１０-3を越えるものであった。
る組成範囲を逸脱する試料Ｎo.２２〜３４は、いずれも
τｆの絶対値が３０ｐｐｍ／℃を越えるか、あるいは誘
電損失が１×１０-3を越えるものであった。
【００２４】これに対して、本発明における組成範囲の
試料は、いずれも結晶相としてα−Ａｌ2 Ｏ3 と、Ｂａ
Ｔａ2 Ｏ6 が析出しており、誘電率９〜１１、測定周波
数８ＧＨｚにおける誘電損失が１×１０-3以下、共振周
波数の２５〜８５℃における温度係数の絶対値｜τｆ｜
が３０ｐｐｍ以下の優れた特性を示した。
試料は、いずれも結晶相としてα−Ａｌ2 Ｏ3 と、Ｂａ
Ｔａ2 Ｏ6 が析出しており、誘電率９〜１１、測定周波
数８ＧＨｚにおける誘電損失が１×１０-3以下、共振周
波数の２５〜８５℃における温度係数の絶対値｜τｆ｜
が３０ｐｐｍ以下の優れた特性を示した。
【００２５】とりわけ、図１の３元図において、線分Ａ
−Ｂ−Ｈ−Ｉ−Ｅ−Ｊ−Ｋ−Ａにより囲まれた範囲内で
は、誘電率９〜１１．９、測定周波数８ＧＨｚにおける
誘電損失が６×１０-4以下、共振周波数の２５〜８５℃
における温度係数の絶対値｜τｆ｜が３０ｐｐｍ以下の
優れた特性を示した。
−Ｂ−Ｈ−Ｉ−Ｅ−Ｊ−Ｋ−Ａにより囲まれた範囲内で
は、誘電率９〜１１．９、測定周波数８ＧＨｚにおける
誘電損失が６×１０-4以下、共振周波数の２５〜８５℃
における温度係数の絶対値｜τｆ｜が３０ｐｐｍ以下の
優れた特性を示した。
【００２６】実施例２ 実施例１と同様にして表３の組成に秤量した粉末を金型
プレスにて１０００ｋｇ／ｃｍ2 で直径６０ｍｍ、厚み
３０ｍｍに成形した。そして、成形体は大気中、１５５
０℃で２時間保持して焼成した。
プレスにて１０００ｋｇ／ｃｍ2 で直径６０ｍｍ、厚み
３０ｍｍに成形した。そして、成形体は大気中、１５５
０℃で２時間保持して焼成した。
【００２７】得られた焼結体を直径５０ｍｍｍｍ、厚み
２５ｍｍに加工研磨した。そして、測定周波数８ＧＨｚ
での測定によって、誘電率（εｒ）、誘電損失（ｔａｎ
δ）、Ｑ×ｆ値（Ｑ：１／ｔａｎδ，ｆ：測定周波数）
および２５〜８５℃における共振周波数の温度係数（τ
ｆ）を測定した。また、波長λ＝１．５４１８ÅのＣｕ
Ｋα線によるＸ線回折により試料の結晶相を同定した。
これらの測定結果は、表３に示した。なお、参考として
直径１５ｍｍ、厚み７．５ｍｍ形状の焼結体を１５５０
℃で２時間焼成して作製し、同様に特性を評価し合わせ
て記載した。なお、表３において、大型品は２．５ＧＨ
ｚ、小型品は７．５ＧＨｚの共振周波数で測定した結果
である。
２５ｍｍに加工研磨した。そして、測定周波数８ＧＨｚ
での測定によって、誘電率（εｒ）、誘電損失（ｔａｎ
δ）、Ｑ×ｆ値（Ｑ：１／ｔａｎδ，ｆ：測定周波数）
および２５〜８５℃における共振周波数の温度係数（τ
ｆ）を測定した。また、波長λ＝１．５４１８ÅのＣｕ
Ｋα線によるＸ線回折により試料の結晶相を同定した。
これらの測定結果は、表３に示した。なお、参考として
直径１５ｍｍ、厚み７．５ｍｍ形状の焼結体を１５５０
℃で２時間焼成して作製し、同様に特性を評価し合わせ
て記載した。なお、表３において、大型品は２．５ＧＨ
ｚ、小型品は７．５ＧＨｚの共振周波数で測定した結果
である。
【００２８】
【表３】
【００２９】表３の結果から明らかなように、焼結体の
サイズによらず、ほとんど同等の誘電特性を発揮するこ
とができ、本発明の組成系が焼結性に優れたものである
ことが理解される。なお、表３の焼結体は、いずれも結
晶相としては、α−Ａｌ2 Ｏ3 と、ＢａＴａ2 Ｏ6 から
なるものであった。
サイズによらず、ほとんど同等の誘電特性を発揮するこ
とができ、本発明の組成系が焼結性に優れたものである
ことが理解される。なお、表３の焼結体は、いずれも結
晶相としては、α−Ａｌ2 Ｏ3 と、ＢａＴａ2 Ｏ6 から
なるものであった。
【００３０】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明の誘電体磁
器組成物は、Ａｌ2 Ｏ3 に対して、ＢａＯおよびＴａ2
Ｏ5 を所定の関係を満足するように配合することによ
り、低い誘電損失を維持したまま、共振周波数の温度係
数の絶対値を低減することができ、これにより、マイク
ロ波やミリ波に適応した誘電体共振器、マイクロ波導波
路、マイクロ波コンデンサ、マイクロ波ＩＣ基板、ＩＣ
パッケージ、誘電体アンテナ等への応用が可能となっ
た。
器組成物は、Ａｌ2 Ｏ3 に対して、ＢａＯおよびＴａ2
Ｏ5 を所定の関係を満足するように配合することによ
り、低い誘電損失を維持したまま、共振周波数の温度係
数の絶対値を低減することができ、これにより、マイク
ロ波やミリ波に適応した誘電体共振器、マイクロ波導波
路、マイクロ波コンデンサ、マイクロ波ＩＣ基板、ＩＣ
パッケージ、誘電体アンテナ等への応用が可能となっ
た。
【図１】本発明の誘電体磁器組成物のＡｌ2 Ｏ3 、Ｂａ
Ｏ、Ｔａ2 Ｏ5 の含有量を表す三成分系組成図である。
Ｏ、Ｔａ2 Ｏ5 の含有量を表す三成分系組成図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平９−52760（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−52762（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−76206（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C04B 35/111,35/117 H01B 3/12 H01G 4/12
Claims (1)
- 【請求項１】Ａｌ2 Ｏ3 、ＢａＯおよびＴａ2 Ｏ5 を主
成分とし、各成分のモル比による組成比が、図１のＡｌ
2 Ｏ3 −ＢａＯ−Ｔａ2 Ｏ5 ３成分組成図における線分
Ａ−Ｂ−Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ｆ−Ｇ−Ｋ−Ａで囲まれた範囲内
にある組成物であって、結晶相として少なくともα−Ａ
ｌ2 Ｏ3 と、ＢａＴａ2 Ｏ6 およびＢａＡｌ12Ｏ19の少
なくとも１種を含み、測定周波数８ＧＨｚにおける誘電
損失が１×１０-3以下、共振周波数の２５〜８５℃にお
ける温度係数の絶対値｜τｆ｜が３０ｐｐｍ以下である
ことを特徴とする誘電体磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13843596A JP3309047B2 (ja) | 1995-08-11 | 1996-05-31 | 誘電体磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20575095 | 1995-08-11 | ||
| JP7-205750 | 1995-08-11 | ||
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