JP3305605B2 - Multilayer ceramic capacitors - Google Patents

Multilayer ceramic capacitors

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JP3305605B2
JP3305605B2 JP34392396A JP34392396A JP3305605B2 JP 3305605 B2 JP3305605 B2 JP 3305605B2 JP 34392396 A JP34392396 A JP 34392396A JP 34392396 A JP34392396 A JP 34392396A JP 3305605 B2 JP3305605 B2 JP 3305605B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、積層セラミックコ
ンデンサに関し、特に、外部電極と電気的に接続される
部分を除き、内部電極の外周部が内部電極を構成する金
属の酸化物によって電気的に絶縁された積層セラミック
コンデンサに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a monolithic ceramic capacitor, and more particularly to a multilayer ceramic capacitor in which an outer peripheral portion of an internal electrode is electrically connected to a metal oxide constituting the internal electrode except for a portion electrically connected to an external electrode. The present invention relates to an insulated multilayer ceramic capacitor.

【0002】[0002]

【従来技術】従来、積層セラミックコンデンサとして
は、誘電体層と、1種類の内部電極層とを交互に積層
し、内部電極層の一部分を交互に積層体表面の異なる場
所に露出させ、露出部分に端子電極を形成した構造とな
っていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a multilayer ceramic capacitor, a dielectric layer and one kind of internal electrode layer are alternately laminated, and a part of the internal electrode layer is alternately exposed at different places on the surface of the laminated body. In which a terminal electrode is formed.

【0003】このような積層セラミックコンデンサの一
般的な製造方法は、例えば、誘電体セラミック粉末を有
機バインダーに分散させたセラミックスラリーをシート
状に成形してセラミックグリーンシートを作製し、スク
リーン印刷法などにより、このセラミックグリーンシー
トの上に導電ペーストで内部電極パターンを印刷する。
そして、この内部電極パターンが印刷されたセラミック
グリーンシートを積層し、さらにその両側に内部電極パ
ターンが印刷されていないセラミックグリーンシートを
複数枚積み重ねる。
A general manufacturing method of such a multilayer ceramic capacitor is, for example, a method of forming a ceramic green sheet by forming a ceramic slurry in which dielectric ceramic powder is dispersed in an organic binder into a sheet, and screen printing. Thus, an internal electrode pattern is printed with a conductive paste on the ceramic green sheet.
Then, the ceramic green sheets on which the internal electrode patterns are printed are stacked, and a plurality of ceramic green sheets on which the internal electrode patterns are not printed are stacked on both sides thereof.

【0004】こうして得られた積層体を内部電極が端面
に露出するようにしてチップ状に切断し、これを焼成す
る。そして、この焼結された積層体を研磨することで、
その端面に内部電極を露出させ、この端面に導電ペース
トを塗布し、これを焼き付けて外部電極を形成すること
により、積層チップコンデンサが作製されていた。
[0004] The laminate thus obtained is cut into chips in such a manner that the internal electrodes are exposed at the end faces, and the chips are fired. And by polishing this sintered laminate,
A multilayer chip capacitor has been manufactured by exposing an internal electrode to the end face, applying a conductive paste to the end face, and baking the paste to form an external electrode.

【0005】また、他の積層セラミックコンデンサの製
造方法として、セラミックの積層体を焼成する前に、そ
の端部に予め導電ペーストを焼き付けるという製造方法
もある。さらに、積層体を得る方法も、セラミックグリ
ーンシートを使用する、いわゆるシート法の他に、セラ
ミックペーストと導電ペーストとを交互に印刷してい
く、いわゆる印刷法も採用されている。
[0005] As another method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor, there is a manufacturing method in which a conductive paste is preliminarily baked on an end portion of the ceramic laminate before firing. Further, as a method for obtaining a laminate, a so-called printing method in which ceramic paste and a conductive paste are alternately printed, in addition to a so-called sheet method using ceramic green sheets, is also adopted.

【0006】このような積層コンデンサは、近年におい
ては小型化と共に大容量化が要求されている。この要求
に応えるため誘電体セラミック層を薄層化することによ
り高積層化を可能にしている。しかし、積層数が多くな
ると、内部電極の厚みにより、積層体内部でセラミック
層を介して内部電極が重なり合っている部分と、それ以
外のマージン部分との積層厚みの差が大きくなる。大き
な容量を得るためにサイドマージンを狭めた場合には内
部電極の上下に位置するセラミックス同士の接着が損な
われ、デラミネーションと呼ばれる層剥離が生じがちで
あった。
[0006] In recent years, such multilayer capacitors have been required to have a large capacity as well as a small size. In order to meet this demand, the dielectric ceramic layers are made thinner to enable a higher lamination. However, when the number of laminations increases, the difference in lamination thickness between the portion where the internal electrodes overlap via the ceramic layer inside the laminate and the other margin portion increases due to the thickness of the internal electrodes. When the side margin is narrowed in order to obtain a large capacity, the adhesion between the ceramics located above and below the internal electrode is impaired, and delamination tends to occur.

【0007】この問題点を解決する手段として、特開平
3−82005号公報には、内部電極の側端部が酸化さ
れた積層セラミックコンデンサが提案されている。この
積層セラミックコンデンサの断面図を図5に示す。これ
によれば、内部電極1の側端部が酸化されて酸化物2が
形成されているため、内部電極1と誘電体層の結合が強
く、デラミネーションが抑制され、高容量コンデンサが
得られる。尚、符号6は外部電極であり、符号8はエン
ドマージン領域である。
As means for solving this problem, Japanese Patent Laid-Open Publication No. Hei 3-82005 proposes a multilayer ceramic capacitor in which the side edges of internal electrodes are oxidized. FIG. 5 shows a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor. According to this, since the oxide 2 is formed by oxidizing the side end of the internal electrode 1, the coupling between the internal electrode 1 and the dielectric layer is strong, delamination is suppressed, and a high-capacitance capacitor is obtained. . Reference numeral 6 denotes an external electrode, and reference numeral 8 denotes an end margin area.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】積層セラミックコンデ
ンサでは、内部電極の一端は外部電極と接続されてお
り、他端は外部電極と絶縁されているが、上記特開平3
−82005号公報に開示された積層セラミックコンデ
ンサでは、内部電極1の他端が外部電極6と接続しない
ように、内部電極形成面積を印刷パターンによって制御
し、いわゆるエンドマージン領域8を形成していたた
め、印刷精度による短絡及びデラミネーションを防止す
るために、大きなエンドマージン領域8を形成する必要
があり、従って有効電極面積を大きくするには限界があ
った。
In a multilayer ceramic capacitor, one end of an internal electrode is connected to an external electrode and the other end is insulated from the external electrode.
In the multilayer ceramic capacitor disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. -82005, the so-called end margin area 8 is formed by controlling the internal electrode formation area by a printing pattern so that the other end of the internal electrode 1 is not connected to the external electrode 6. In order to prevent short circuit and delamination due to printing accuracy, it is necessary to form a large end margin region 8, and thus there is a limit in increasing the effective electrode area.

【0009】また、この技術を用いて誘電体層を薄層
化、高積層化した場合、内部電極1が重なり合っている
部分とそれ以外のエンドマージン領域8との積層厚みの
差が大きくなり、未だ厚み差によるひずみが大きいとい
う問題があった。
When the dielectric layer is made thinner and more highly laminated using this technique, the difference in the laminated thickness between the portion where the internal electrode 1 overlaps and the other end margin region 8 becomes large, There is still a problem that distortion due to the thickness difference is large.

【0010】本発明は、有効電極面積を大きくして静電
容量を向上できるとともに、誘電体層を薄層化、高積層
化しても、マージン部がないために厚み差によるひずみ
が発生しない積層セラミックコンデンサを提供すること
を目的とする。
According to the present invention, the effective electrode area can be increased to improve the capacitance, and even if the dielectric layer is made thinner and more laminated, there is no margin portion so that distortion due to thickness difference does not occur. It is an object to provide a ceramic capacitor.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記問題
について鋭意検討した結果、積層セラミックコンデンサ
の内部電極を、異なる金属を主成分とする2種類の内部
電極層ペーストを用いて全面に形成し、内部電極層の外
部電極に接する部分を一層おきに内部電極を構成する金
属の酸化物によって電気的に絶縁すると、有効電極面積
を大きくすることができると同時に、全面に内部電極が
形成されるためにコンデンサの場所による厚み差が生じ
ないことを知見し、本発明に至った。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have conducted intensive studies on the above problems, and as a result, the internal electrodes of the multilayer ceramic capacitor were entirely formed using two types of internal electrode layer pastes containing different metals as main components. By forming and electrically insulating every other part of the internal electrode layer which is in contact with the external electrode with a metal oxide constituting the internal electrode, the effective electrode area can be increased and at the same time the internal electrode is formed on the entire surface. Therefore, the inventors have found that there is no thickness difference depending on the location of the capacitor, and have reached the present invention.

【0012】即ち、本発明の積層セラミックコンデンサ
は、誘電体層と内部電極層とが交互に積層されたコンデ
ンサ本体の両端部に、前記内部電極層の一端部と電気的
に接続する外部電極をそれぞれ設けてなる積層セラミッ
クコンデンサであって、前記内部電極層が、前記外部電
極と電気的に接続される側に形成された貴金属を主成分
とする貴金属部と、その他の卑金属を主成分とする卑金
属部とから構成されるとともに、前記内部電極層の全外
周部が前記コンデンサ本体の外面に露出しており、か
つ、前記外部電極と電気的に接続される部分を除き前記
内部電極層の外周部が酸化されていることを特徴とす
る。さらに、貴金属部がパラジウムを主成分とし、卑金
属部がニッケルを主成分とすることが望ましい。
That is, in the multilayer ceramic capacitor of the present invention, external electrodes electrically connected to one end of the internal electrode layer are provided at both ends of a capacitor body in which dielectric layers and internal electrode layers are alternately stacked. The multilayer ceramic capacitor provided respectively, wherein the internal electrode layer is mainly composed of a noble metal portion mainly formed of a noble metal formed on a side electrically connected to the external electrode, and another base metal. And a base metal portion, and the entire outer peripheral portion of the internal electrode layer is exposed on the outer surface of the capacitor body, and the outer peripheral portion of the internal electrode layer except for a portion electrically connected to the external electrode. The part is oxidized. Further, it is desirable that the noble metal portion contains palladium as a main component and the base metal portion contains nickel as a main component.

【0013】[0013]

【作用】本発明の積層セラミックコンデンサは、内部電
極層が誘電体層の全面に形成され、かつ、外部電極と電
気的に接続される内部電極層の一端部分を除き、内部電
極層の外周部が酸化され、酸化物が形成されているた
め、外部と電気的に絶縁できるとともに、内部電極の他
端と外部電極との間の絶縁するための距離を最小にする
ことができ、これにより有効電極面積を大きくすること
ができ、静電容量を大きくすることができる。
According to the multilayer ceramic capacitor of the present invention, the internal electrode layer is formed on the entire surface of the dielectric layer, and the outer peripheral portion of the internal electrode layer is removed except for one end of the internal electrode layer electrically connected to the external electrode. Is oxidized and an oxide is formed, so that it can be electrically insulated from the outside and the distance for insulation between the other end of the internal electrode and the external electrode can be minimized. The electrode area can be increased, and the capacitance can be increased.

【0014】即ち、上記した特開平3−82005号公
報に開示された積層セラミックコンデンサでは、内部電
極の他端が外部電極と接続しないように、内部電極形成
面積を印刷パターンによって制御していたため、大きな
エンドマージン領域を形成せざるを得なかったが、本発
明では、内部電極層を形成するための印刷パターンを制
御することなく、内部電極層の端部を酸化することによ
り外部電極と絶縁できるため、有効電極面積を大きくす
ることができるのである。
That is, in the multilayer ceramic capacitor disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 3-82005, the area for forming the internal electrodes is controlled by the printing pattern so that the other end of the internal electrodes is not connected to the external electrodes. Although a large end margin area had to be formed, in the present invention, it is possible to insulate the external electrode by oxidizing the end of the internal electrode layer without controlling the printing pattern for forming the internal electrode layer. Therefore, the effective electrode area can be increased.

【0015】また、誘電体層の間に形成される内部電極
層の面積は、誘電体層と同じ面積であるため、コンデン
サの場所による厚み差が生じることはない。これによ
り、厚み差に起因する内部応力からデラミネーションが
発生することを防止できる。
Further, since the area of the internal electrode layer formed between the dielectric layers is the same as the area of the dielectric layer, there is no difference in thickness depending on the location of the capacitor. Thereby, it is possible to prevent the occurrence of delamination due to the internal stress caused by the thickness difference.

【0016】さらに、内部電極層が、外部電極と電気的
に接続される側に形成されたパラジウムを主成分とする
領域と、その他のニッケルを主成分とする領域から構成
することにより、コンデンサ本体を作製する際におい
て、内部電極層の一端部に、外部電極と電気的に接続で
きるようにパラジウム主成分の領域が形成され、その他
の部分にニッケルを主成分とする領域が形成される。
Further, the internal electrode layer is composed of a region mainly composed of palladium formed on the side electrically connected to the external electrode and another region mainly composed of nickel, so that the capacitor main body is formed. In manufacturing the semiconductor device, a region mainly composed of palladium is formed at one end of the internal electrode layer so as to be electrically connected to an external electrode, and a region mainly composed of nickel is formed in other portions.

【0017】従って、コンデンサ本体を酸化処理するこ
とにより、ニッケルを主成分とする領域の外周部が酸化
され、酸化ニッケルが形成され、コンデンサ本体に外部
電極を形成した時、内部電極層の一端部と外部電極とが
電気的に接続されるとともに、内部電極層の他端部と外
部電極とが絶縁され、さらに、内部電極層の側面部が酸
化されるために外部と絶縁されることになる。
Therefore, by oxidizing the capacitor body, the outer peripheral portion of the region containing nickel as a main component is oxidized to form nickel oxide. When the external electrode is formed on the capacitor body, one end of the internal electrode layer is formed. And the external electrode are electrically connected, the other end of the internal electrode layer is insulated from the external electrode, and the side surface of the internal electrode layer is oxidized to be insulated from the outside. .

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】図1は、本発明の積層セラミック
コンデンサの一例を示すもので、この図1によれば、積
層セラミックコンデンサは、誘電体層11と内部電極層
13とが交互に積層されたコンデンサ本体15の両端
に、内部電極層13の一端部と電気的に接続する外部電
極16をそれぞれ設けてなるものである。
FIG. 1 shows an example of a multilayer ceramic capacitor according to the present invention. According to FIG. 1, a multilayer ceramic capacitor has a dielectric layer 11 and an internal electrode layer 13 alternately laminated. External electrodes 16 electrically connected to one end of the internal electrode layer 13 are provided at both ends of the capacitor body 15 thus formed.

【0019】そして、図2に示すように、コンデンサ本
体15の内部電極層13の全外周部が外面に露出してお
り、外部電極16と電気的に接続される部分を除き、内
部電極層13の外周部が酸化されているものである。
As shown in FIG. 2, the entire outer peripheral portion of the internal electrode layer 13 of the capacitor body 15 is exposed to the outer surface, and except for a portion electrically connected to the external electrode 16, Is oxidized at its outer periphery.

【0020】即ち、内部電極層13の外周部は、外部電
極16側の端部を除いて、酸化され酸化物17が形成さ
れている。
That is, the outer periphery of the internal electrode layer 13 is oxidized to form the oxide 17 except for the end on the side of the external electrode 16.

【0021】また、内部電極層13が、外部電極16と
電気的に接続される側に形成された貴金属を主成分とす
る貴金属部21と、その他の卑金属を主成分とする卑金
属部23とから構成されている。貴金属としてはAu、
Ag、Pd,Pt等があり、卑金属としては、Ni、C
o、Fe、Cu等があるが、安価という理由から、貴金
属としてはパラジウムが、卑金属としてニッケルが望ま
しい。
The internal electrode layer 13 is composed of a noble metal portion 21 mainly composed of a noble metal formed on the side electrically connected to the external electrode 16 and a base metal portion 23 mainly composed of another base metal. It is configured. Au as a noble metal,
Ag, Pd, Pt, etc., and Ni, C
Although there are o, Fe, Cu and the like, palladium is preferred as the noble metal and nickel is preferred as the base metal because of its low cost.

【0022】内部電極層は金属を主成分とするものであ
れば良く、金属の他に金属の酸化物やガラス等を含有し
ていても良いが、金属のみからなる場合が最も望まし
い。
The internal electrode layer may be a layer containing a metal as a main component, and may contain a metal oxide, glass or the like in addition to the metal.

【0023】本発明の積層セラミックコンデンサは、例
えば、先ず、誘電体層となるグリーンシートを作製する
ことにより得られる。グリーンシートは、例えば、チタ
ン酸バリウムを主成分とし、酸化イットリウム、炭酸マ
ンガン及び酸化マグネシウムを加えた誘電体粉末に、水
及び分散剤を加え、ボールミルにて混合粉砕した後、有
機バインダーを混合し、得られたスラリーを所定厚みの
テープ状に成形することにより得られる。
The multilayer ceramic capacitor of the present invention is obtained, for example, by first preparing a green sheet to be a dielectric layer. The green sheet contains, for example, barium titanate as a main component, yttrium oxide, a dielectric powder to which manganese carbonate and magnesium oxide are added, water and a dispersant, and after mixing and grinding in a ball mill, an organic binder is mixed. The obtained slurry is formed into a tape having a predetermined thickness.

【0024】誘電体層の材料としては、チタン酸バリウ
ムを主成分とし、この主成分100モル部に対して、酸
化マグネシウムを0.5〜8モル部、炭酸マンガンを
0.05〜0.5モル部、酸化イットリウムを0.3〜
4モル部添加含有したものを用いることが誘電率などの
特性を向上するという点から望ましい。
As a material of the dielectric layer, barium titanate is a main component, and 0.5 to 8 mol parts of magnesium oxide and 0.05 to 0.5 mol part of manganese carbonate are per 100 mol parts of the main component. Molar parts, yttrium oxide 0.3 ~
It is desirable to use those containing 4 mol parts in terms of improving properties such as dielectric constant.

【0025】導体ペーストは、例えば、ニッケル粉末に
有機可塑剤を加えたペースト、及びパラジウム粉末に有
機可塑剤を加えたペーストを作製する。
As the conductor paste, for example, a paste in which an organic plasticizer is added to nickel powder and a paste in which an organic plasticizer is added to palladium powder are prepared.

【0026】そして、図3に示すように、上記誘電体層
のグリーンシート31の上面に、例えば、スクリーン印
刷法によりニッケルの導体ペースト及びパラジウムの導
体ペーストを塗布し、ニッケル内部電極領域33とパラ
ジウム内部電極領域35が交互に並ぶように、導体ペー
ストを塗布したグリーンシート31を積層する。
Then, as shown in FIG. 3, a nickel conductive paste and a palladium conductive paste are applied on the upper surface of the green sheet 31 of the dielectric layer by, for example, a screen printing method to form a nickel internal electrode region 33 and a palladium conductive paste. The green sheets 31 coated with the conductive paste are laminated so that the internal electrode regions 35 are alternately arranged.

【0027】そして、得られた積層成形体を所定寸法に
切断したのち、例えば、酸素分圧3×10-8〜3×10
-3Pa、温度1150〜1300℃で0.5〜3時間焼
成し、この後、大気中において温度800〜1150℃
で30分〜5時間熱処理することにより焼結体表面に露
出したニッケルを酸化させ、コンデンサ本体を作製す
る。このコンデンサ本体を図4に示す。
After cutting the obtained laminated molded body to a predetermined size, for example, the oxygen partial pressure is 3 × 10 −8 to 3 × 10 −8.
-3 Pa, firing at a temperature of 1150-1300 ° C for 0.5-3 hours, and thereafter, a temperature of 800-1150 ° C in the air.
For 30 minutes to 5 hours to oxidize the nickel exposed on the surface of the sintered body to produce a capacitor body. This capacitor body is shown in FIG.

【0028】次に、銅粉末に有機可塑剤を加えたペース
トを作製し、このペーストを、前記内部電極層と交互に
電気的に接続するようにコンデンサ本体の両端に焼き付
けて積層セラミックコンデンサを作製する。
Next, a paste in which an organic plasticizer is added to copper powder is prepared, and the paste is baked on both ends of the capacitor body so as to be alternately electrically connected to the internal electrode layers, thereby preparing a multilayer ceramic capacitor. I do.

【0029】尚、上記例では、ニッケルとパラジウムの
組み合わせからなる内部電極を形成したが、本発明は上
記例に限定されるものではない。さらに、例えばスパッ
タ法等の薄膜形成手法を用いて、外部電極を前記内部電
極層と交互に電気的に接続するように焼結体に形成すれ
ば有効電極面積を更に大きくすることができる。
In the above example, the internal electrode made of a combination of nickel and palladium is formed, but the present invention is not limited to the above example. Furthermore, the effective electrode area can be further increased by forming the external electrodes on the sintered body so as to be electrically connected alternately with the internal electrode layers by using a thin film forming technique such as a sputtering method.

【0030】[0030]

【実施例】先ず、チタン酸バリウムを主成分とし、この
主成分100モル部に対して、酸化イットリウムを1モ
ル部、酸化マグネシウムを2モル部、酸化マンガンを
0.1モル部添加した誘電体粉末に、水及び分散剤を加
え、ZrO2 ボールを用いたボールミルにて混合粉砕し
た後、有機バインダーを混合し、得られたスラリーを厚
み8μmのテープ状に成形した。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, a dielectric material containing barium titanate as a main component, 1 mole portion of yttrium oxide, 2 mole portions of magnesium oxide and 0.1 mole portion of manganese oxide was added to 100 mole portions of the main component. Water and a dispersant were added to the powder, mixed and pulverized with a ball mill using ZrO 2 balls, and then an organic binder was mixed. The resulting slurry was formed into a tape having a thickness of 8 μm.

【0031】一方、内部電極として、ニッケル粉末に有
機可塑剤を加えたペースト、及びパラジウム粉末に有機
可塑剤を加えたペーストを用意し、各々上記テープ上に
図3に示すようにニッケルとパラジウムが交互に並ぶよ
うにスクリーン印刷法にて形成し、テープを積層した。
On the other hand, a paste in which an organic plasticizer was added to nickel powder and a paste in which an organic plasticizer was added to palladium powder were prepared as internal electrodes, and nickel and palladium were respectively coated on the tape as shown in FIG. The tapes were formed by screen printing so that they were alternately arranged.

【0032】従来の図6に示すような一般的なコンデン
サを作製するため、内部電極としてニッケルを用い、ス
クリーン印刷によりエンド及びサイドマージン領域を形
成した成形体を用意するとともに、図5に示したような
コンデンサを作製するため、内部電極としてニッケルを
使用し、スクリーン印刷によりエンドマージン部のみを
形成した成形体も用意した。尚、図6において符号1は
内部電極、符号6は外部電極、符号8はエンドマージン
領域、符号9はサイドマージン領域である。
In order to manufacture a conventional general capacitor as shown in FIG. 6, a molded body in which nickel and nickel are used as internal electrodes and end and side margin regions are formed by screen printing is prepared. In order to manufacture such a capacitor, a molded body using nickel as an internal electrode and only forming an end margin portion by screen printing was prepared. In FIG. 6, reference numeral 1 denotes an internal electrode, reference numeral 6 denotes an external electrode, reference numeral 8 denotes an end margin area, and reference numeral 9 denotes a side margin area.

【0033】得られた成形体を切断したのち、酸素分圧
1×10-6Pa、温度1260℃で2時間焼成し、次
に、酸素分圧1×101 Pa、温度1000℃で1時間
熱処理を行った。この後、焼結体に、スパッタ法を用い
て金からなる外部電極を形成し、誘電体層厚み9μm、
有効誘電体層数110層、外形寸法1.6mm×0.8
mm×0.8mm、有効電極面積1.19(1.56×
0.76)mm2 の積層コンデンサを得た。
After cutting the obtained compact, it is fired at an oxygen partial pressure of 1 × 10 −6 Pa and a temperature of 1260 ° C. for 2 hours, and then at an oxygen partial pressure of 1 × 10 1 Pa and a temperature of 1000 ° C. for 1 hour. Heat treatment was performed. Thereafter, an external electrode made of gold was formed on the sintered body by using a sputtering method, and the dielectric layer thickness was 9 μm.
Effective dielectric layer number 110 layers, external dimensions 1.6 mm x 0.8
mm × 0.8 mm, effective electrode area 1.19 (1.56 ×
0.76) mm 2 was obtained.

【0034】次にこれらの試料を、LCRメーター42
84Aを用いて周波数1.0kHz、入力信号レベル
1.0Vrmsにて+25℃における静電容量を測定し
た。
Next, these samples were transferred to an LCR meter 42
The capacitance at + 25 ° C. was measured using 84A at a frequency of 1.0 kHz and an input signal level of 1.0 Vrms.

【0035】この結果、従来の一般的な図6のコンデン
サの場合、静電容量は560nFであり、図5に示した
ようなコンデンサの場合700nFであったのに対し
て、内部電極としてニッケルとパラジウムを交互に並ぶ
ように形成し、内部電極層の外部電極に接する部分を一
層おきに内部電極を構成する金属の酸化物によって電気
的に絶縁した本発明の場合、静電容量は800nFであ
った。これにより静電容量の大きい積層セラミックコン
デンサを作製できることがわかる。
As a result, the capacitance of the conventional general capacitor of FIG. 6 was 560 nF, and the capacitance of the capacitor as shown in FIG. 5 was 700 nF. In the case of the present invention in which palladium is formed alternately and the portions of the internal electrode layer that are in contact with the external electrodes are electrically insulated by a metal oxide constituting the internal electrodes every other layer, the capacitance is 800 nF. Was. This shows that a multilayer ceramic capacitor having a large capacitance can be manufactured.

【0036】[0036]

【発明の効果】本発明の積層セラミックコンデンサは、
内部電極層が誘電体層の全面に形成され、かつ、外部電
極と電気的に接続される内部電極層の一端部分を除き、
内部電極層の外周部が酸化され、酸化物が形成されてい
るため、外部と絶縁することができるとともに、内部電
極層の他端と外部電極との間の絶縁するための距離を最
小にすることができ、有効電極面積を大きくすることが
でき、静電容量を大きくすることができる。
The multilayer ceramic capacitor of the present invention has the following features.
An internal electrode layer is formed on the entire surface of the dielectric layer, and except for one end of the internal electrode layer electrically connected to an external electrode,
Since the outer peripheral portion of the internal electrode layer is oxidized and an oxide is formed, it can be insulated from the outside and minimize the distance for insulation between the other end of the internal electrode layer and the external electrode. As a result, the effective electrode area can be increased, and the capacitance can be increased.

【0037】また、誘電体層の間に形成される内部電極
層の面積は、誘電体層と同じ面積であるため、コンデン
サの場所による厚み差が生じることはない。これによ
り、厚み差に起因する内部応力からデラミネーションが
発生することを防止できる。
Further, since the area of the internal electrode layer formed between the dielectric layers is the same as that of the dielectric layer, there is no difference in thickness depending on the location of the capacitor. Thereby, it is possible to prevent the occurrence of delamination due to the internal stress caused by the thickness difference.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の積層セラミックコンデンサを示す断面
図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a multilayer ceramic capacitor of the present invention.

【図2】図1の横断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of FIG.

【図3】グリーシートにニッケル内部電極ペーストとパ
ラジウム内部電極ペーストを塗布し、積層する状態を示
す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory view showing a state in which a nickel internal electrode paste and a palladium internal electrode paste are applied to a green sheet and laminated.

【図4】コンデンサ本体を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a capacitor body.

【図5】従来の内部電極の側端部を酸化して形成された
積層セラミックコンデンサの断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view of a conventional multilayer ceramic capacitor formed by oxidizing a side end of an internal electrode.

【図6】従来の一般的な積層セラミックコンデンサの断
面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view of a conventional general multilayer ceramic capacitor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11・・・誘電体層 13・・・内部電極層 15・・・コンデンサ本体 16・・・外部電極 17・・・酸化物 21・・・貴金属部 23・・・卑金属部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Dielectric layer 13 ... Internal electrode layer 15 ... Capacitor main body 16 ... External electrode 17 ... Oxide 21 ... Noble metal part 23 ... Base metal part

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01G 4/00 - 4/42 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) H01G 4/00-4/42

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】誘電体層と内部電極層とが交互に積層され
たコンデンサ本体の両端部に、前記内部電極層の一端部
と電気的に接続する外部電極をそれぞれ設けてなる積層
セラミックコンデンサであって、前記内部電極層が、前
記外部電極と電気的に接続される側に形成された貴金属
を主成分とする貴金属部と、その他の卑金属を主成分と
する卑金属部とから構成されるとともに、前記内部電極
層の全外周部が前記コンデンサ本体の外面に露出してお
り、かつ、前記外部電極と電気的に接続される部分を除
き前記内部電極層の外周部が酸化されていることを特徴
とする積層セラミックコンデンサ。
1. A multilayer ceramic capacitor comprising a capacitor body in which dielectric layers and internal electrode layers are alternately stacked, and external electrodes electrically connected to one end of the internal electrode layer are provided at both ends of the capacitor body. The internal electrode layer includes a noble metal portion mainly composed of a noble metal formed on the side electrically connected to the external electrode, and a base metal portion mainly containing other base metal. The entire outer peripheral portion of the internal electrode layer is exposed on the outer surface of the capacitor body, and the outer peripheral portion of the internal electrode layer is oxidized except for a portion electrically connected to the external electrode. Characteristic multilayer ceramic capacitor.
【請求項2】貴金属部がパラジウムを主成分とし、卑金
属部がニッケルを主成分とする請求項1に記載の積層セ
ラミックコンデンサ。
2. The multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein the noble metal portion contains palladium as a main component and the base metal portion contains nickel as a main component.
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