JP3303988B2 - ホログラム記録方法 - Google Patents
ホログラム記録方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ホログラム記録方法に
関し、特に、振動や光源のレーザーの出力変動等によっ
て生じる干渉縞の乱れを低減したホログラム記録方法に
関するものである。
関し、特に、振動や光源のレーザーの出力変動等によっ
て生じる干渉縞の乱れを低減したホログラム記録方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知の通り、ホログラムの製造は、光源
からのレーザー光と物体からのレーザー光の２光束の干
渉によって生じる干渉縞をホログラム記録材料に記録す
ることによって行っている。この際、可干渉性の低下の
原因となる振動やレーザーの出力変動等の外乱によって
生じる２つの可干渉光の光路長差の変化を補正するため
に、図５に示すような光学系が使用されている。この光
学系では、図６（Ａ）、（Ｂ）に正面図を示すように、
所望のホログラムを記録する乾板１を固定保持する乾板
ホルダー２とは異なる位置に並列して、補正用ホログラ
ム３を固定保持する補正用ホログラムホルダー４を置
き、この補正用ホログラム３にビームスプリッター９、
ピエゾミラー７、ミラーＭを経て乾板１に入射する参照
光又は物体光１０の一部と、ビームスプリッター９、ミ
ラーＭを経て乾板１の他方の面に入射する物体光又は参
照光１１の一部を入射させ、一方の光１０の透過光（０
次光）と他方の光１１の１つの回折光とを光電素子６上
で干渉させて干渉縞５を形成させ、干渉縞５の動きを光
電素子６により検知し、干渉縞５が移動しないように光
電素子６からの信号をフリンジロッカー（制御回路）８
を介してピエゾミラー７に帰還してピエゾミラー７の位
置を微調節することにより、可干渉性の低下の原因とな
る振動やレーザーの出力変動等の外乱により生ずる２つ
の可干渉光１０、１１の光路長差の変化を補正して、高
画質のホログラム記録を行っている。
からのレーザー光と物体からのレーザー光の２光束の干
渉によって生じる干渉縞をホログラム記録材料に記録す
ることによって行っている。この際、可干渉性の低下の
原因となる振動やレーザーの出力変動等の外乱によって
生じる２つの可干渉光の光路長差の変化を補正するため
に、図５に示すような光学系が使用されている。この光
学系では、図６（Ａ）、（Ｂ）に正面図を示すように、
所望のホログラムを記録する乾板１を固定保持する乾板
ホルダー２とは異なる位置に並列して、補正用ホログラ
ム３を固定保持する補正用ホログラムホルダー４を置
き、この補正用ホログラム３にビームスプリッター９、
ピエゾミラー７、ミラーＭを経て乾板１に入射する参照
光又は物体光１０の一部と、ビームスプリッター９、ミ
ラーＭを経て乾板１の他方の面に入射する物体光又は参
照光１１の一部を入射させ、一方の光１０の透過光（０
次光）と他方の光１１の１つの回折光とを光電素子６上
で干渉させて干渉縞５を形成させ、干渉縞５の動きを光
電素子６により検知し、干渉縞５が移動しないように光
電素子６からの信号をフリンジロッカー（制御回路）８
を介してピエゾミラー７に帰還してピエゾミラー７の位
置を微調節することにより、可干渉性の低下の原因とな
る振動やレーザーの出力変動等の外乱により生ずる２つ
の可干渉光１０、１１の光路長差の変化を補正して、高
画質のホログラム記録を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来行われ
てきた上記の方法では、確かに可干渉性の低下の原因と
なる振動やレーザーの出力変動等の外乱によって生ずる
２つの可干渉光の光路長差の変化を補正する効果はある
が、補正用ホログラムホルダー４と乾板ホルダー２との
間の微妙な振動のずれを補正することはできず、これが
得られるホログラムの画像低下の原因となっていた。
てきた上記の方法では、確かに可干渉性の低下の原因と
なる振動やレーザーの出力変動等の外乱によって生ずる
２つの可干渉光の光路長差の変化を補正する効果はある
が、補正用ホログラムホルダー４と乾板ホルダー２との
間の微妙な振動のずれを補正することはできず、これが
得られるホログラムの画像低下の原因となっていた。
【０００４】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、ホログラム記録光路の一部に
配置した補正用ホログラムにより発生した干渉縞を利用
して、可干渉性の低下の原因の外乱を補償することによ
り、高画質のホログラム記録を行う方法において、その
補償作用をより確実にすることである。
ものであり、その目的は、ホログラム記録光路の一部に
配置した補正用ホログラムにより発生した干渉縞を利用
して、可干渉性の低下の原因の外乱を補償することによ
り、高画質のホログラム記録を行う方法において、その
補償作用をより確実にすることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明のホログラム記録方法は、基板上に設けたホログラム
記録材料に対して２つの可干渉性の光束を入射して干渉
縞を形成するホログラム記録方法において、ホログラム
記録材料の所望の領域に本体ホログラムを記録する前
に、本体ホログラム記録領域をマスクした状態でそのホ
ログラム記録材料の別の領域に補正用ホログラムを記録
し、その後、前記マスクを取り除き、本体ホログラム記
録用の２つの光束のそれぞれ一部が補正用ホログラムに
入射するように前記ホログラム記録材料に２つの光束を
入射させながら、補正用ホログラムからの１つの回折光
と別の回折光又は透過光との干渉縞を形成させ、該干渉
縞の移動を補償するように記録光学系を調節することを
特徴とする方法である。
明のホログラム記録方法は、基板上に設けたホログラム
記録材料に対して２つの可干渉性の光束を入射して干渉
縞を形成するホログラム記録方法において、ホログラム
記録材料の所望の領域に本体ホログラムを記録する前
に、本体ホログラム記録領域をマスクした状態でそのホ
ログラム記録材料の別の領域に補正用ホログラムを記録
し、その後、前記マスクを取り除き、本体ホログラム記
録用の２つの光束のそれぞれ一部が補正用ホログラムに
入射するように前記ホログラム記録材料に２つの光束を
入射させながら、補正用ホログラムからの１つの回折光
と別の回折光又は透過光との干渉縞を形成させ、該干渉
縞の移動を補償するように記録光学系を調節することを
特徴とする方法である。
【０００６】この場合、ホログラム記録材料として現像
処理のいらないフォトポリマーを用いるのが望ましい。
処理のいらないフォトポリマーを用いるのが望ましい。
【０００７】
【作用】本発明においては、同一ホログラム記録材料の
本体ホログラム記録領域と別の領域に、本体ホログラム
を記録する前に、本体ホログラム記録領域をマスクした
状態で補正用ホログラムを記録し、その後、このマスク
を取り除いて、記録した補正用ホログラムによる干渉縞
を用いて、可干渉性の低下の原因となる振動やレーザー
の出力変動等の外乱を補償するので、従来の方法で問題
となっていた、補正用ホログラムホルダーと所望のホロ
グラムを記録する乾板ホルダーとの間の微妙な振動のず
れが発生せず、良好な分解能のホログラムを安定して記
録することができる。
本体ホログラム記録領域と別の領域に、本体ホログラム
を記録する前に、本体ホログラム記録領域をマスクした
状態で補正用ホログラムを記録し、その後、このマスク
を取り除いて、記録した補正用ホログラムによる干渉縞
を用いて、可干渉性の低下の原因となる振動やレーザー
の出力変動等の外乱を補償するので、従来の方法で問題
となっていた、補正用ホログラムホルダーと所望のホロ
グラムを記録する乾板ホルダーとの間の微妙な振動のず
れが発生せず、良好な分解能のホログラムを安定して記
録することができる。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照にして本発明のホログラム
記録方法の実施例について説明する。図１に、本発明の
ホログラム記録方法を実施するのに使用するホログラム
記録光学系を示す。図５の従来の配置と異なるのは、乾
板ホルダーと別体の補正用ホログラムホルダーを用いな
い点にある。すなわち、図示しないレーザーからの光は
ビームスプリッター１９により２つに分けられ、一方の
光２０は、ピエゾミラー１７、ミラーＭを経て、ホログ
ラム記録乾板１２を固定保持するホルダー１４の一方の
面に入射し、他方の光２１は、ミラーＭを経て、ホルダ
ー１４の他方の面に入射するようになっている。また、
後述する補正用ホログラム１３を直進透過した光２０と
そのホログラム１３によって回折された１つの回折光と
が干渉して形成された干渉縞１５の動きを検知する光電
素子１６、光電素子１６からの信号を受けてピエゾミラ
ー１７に帰還するフリンジロッカー１８も、従来の配置
と同様に設けられている。
記録方法の実施例について説明する。図１に、本発明の
ホログラム記録方法を実施するのに使用するホログラム
記録光学系を示す。図５の従来の配置と異なるのは、乾
板ホルダーと別体の補正用ホログラムホルダーを用いな
い点にある。すなわち、図示しないレーザーからの光は
ビームスプリッター１９により２つに分けられ、一方の
光２０は、ピエゾミラー１７、ミラーＭを経て、ホログ
ラム記録乾板１２を固定保持するホルダー１４の一方の
面に入射し、他方の光２１は、ミラーＭを経て、ホルダ
ー１４の他方の面に入射するようになっている。また、
後述する補正用ホログラム１３を直進透過した光２０と
そのホログラム１３によって回折された１つの回折光と
が干渉して形成された干渉縞１５の動きを検知する光電
素子１６、光電素子１６からの信号を受けてピエゾミラ
ー１７に帰還するフリンジロッカー１８も、従来の配置
と同様に設けられている。
【０００９】ところで、２つの可干渉光２０、２１の光
路長差の変化を補正するための補正用のホログラム１３
は、本発明においては、図２に正面図を示すように、ホ
ルダー１４に固定保持されているホログラム記録乾板１
２の一部Ｂに、本体領域Ａへのホログラム記録に先立っ
て記録される。そのために、図３に示すようなマスク２
２をホログラム記録乾板１２上にのせて、補正用ホログ
ラムと所望のホログラムを撮影する領域Ｂ、Ａ以外の感
度をなくすように、紫外線や可視光を所定量照射する。
次に、図４に示すように、この乾板１２をホルダー１４
に固定し（同図（ａ））、所望のホログラム記録領域Ａ
をマスク２３により遮光した状態（同図（ｂ））で、図
１の光学系を用いて領域Ｂに補正用ホログラム１３を記
録する。乾板１２として、例えばフォトポリマーのよう
なリアルタイムで記録できるものを用いると、領域Ｂに
は即時に補正用ホログラム１３が形成される。次いで、
マスク２３を外し、図２（ｃ）の状態で、図１の光学系
を用いて所望の高画質の本体ホログラム２４を撮影す
る。その際、この補正用ホログラム１３を用いて、一方
の光２０の直進光と他方の光２１の１つの回折光とによ
り作られる干渉縞１５の動きを光電素子１６により検知
し、光電素子１６と連動するピエゾミラー１７を干渉縞
１５が移動しないように変動させる制御装置（一般に、
フリンジロッカーと呼ばれる。）１８を用いて、光電素
子１６の検知信号をピエゾミラー１７にフィードバック
させて、光路長の変化を補正する。光路長を補正する制
御装置（フリンジロッカー）１８としては、本発明にお
いては、ＳＴＡＢＩＬＯＣＫ−ＩＩ（ＭＥＣＣＡ ＥＬ
ＥＣＴＲＩＣ社製）を用いた。このフリンジロッカー１
８においては、それを構成する光電素子１６上に３つの
ピンホールが配置されており、この３つのピンホールの
光量が変化しないように、ピエゾミラー１７を前後に微
調節することにより、光路長の変化を補正するものであ
る。
路長差の変化を補正するための補正用のホログラム１３
は、本発明においては、図２に正面図を示すように、ホ
ルダー１４に固定保持されているホログラム記録乾板１
２の一部Ｂに、本体領域Ａへのホログラム記録に先立っ
て記録される。そのために、図３に示すようなマスク２
２をホログラム記録乾板１２上にのせて、補正用ホログ
ラムと所望のホログラムを撮影する領域Ｂ、Ａ以外の感
度をなくすように、紫外線や可視光を所定量照射する。
次に、図４に示すように、この乾板１２をホルダー１４
に固定し（同図（ａ））、所望のホログラム記録領域Ａ
をマスク２３により遮光した状態（同図（ｂ））で、図
１の光学系を用いて領域Ｂに補正用ホログラム１３を記
録する。乾板１２として、例えばフォトポリマーのよう
なリアルタイムで記録できるものを用いると、領域Ｂに
は即時に補正用ホログラム１３が形成される。次いで、
マスク２３を外し、図２（ｃ）の状態で、図１の光学系
を用いて所望の高画質の本体ホログラム２４を撮影す
る。その際、この補正用ホログラム１３を用いて、一方
の光２０の直進光と他方の光２１の１つの回折光とによ
り作られる干渉縞１５の動きを光電素子１６により検知
し、光電素子１６と連動するピエゾミラー１７を干渉縞
１５が移動しないように変動させる制御装置（一般に、
フリンジロッカーと呼ばれる。）１８を用いて、光電素
子１６の検知信号をピエゾミラー１７にフィードバック
させて、光路長の変化を補正する。光路長を補正する制
御装置（フリンジロッカー）１８としては、本発明にお
いては、ＳＴＡＢＩＬＯＣＫ−ＩＩ（ＭＥＣＣＡ ＥＬ
ＥＣＴＲＩＣ社製）を用いた。このフリンジロッカー１
８においては、それを構成する光電素子１６上に３つの
ピンホールが配置されており、この３つのピンホールの
光量が変化しないように、ピエゾミラー１７を前後に微
調節することにより、光路長の変化を補正するものであ
る。
【００１０】上記の本発明による方法により記録したホ
ログラムは、従来のものに比べて干渉縞が正確に刻まれ
ているため、像等を投影した場合、歪みやボケがない良
好な像が観測できる。例えば、図５のような従来の光学
系でホログラムミラーを撮影し、それに文字等を投影し
た場合、エッジ部に若干のボケが観測されることがあっ
たが、これに対して、図１の本発明の光学系を用いてホ
ログラムミラーを撮影し、それに文字等を投影した場
合、エッジ部にボケは観測されなかった。このボケを定
量化するために、日本テレビジョン学会の解像度チャー
トを投影し、従来の場合と本発明の場合の解像度を測定
した。各々２０サンプルにつき、解像度を測定し、平均
を求めたところ、従来の記録方法では、解像度が１２０
０ＴＶ本ぐらいであるのに対して、本発明の記録方法で
は、１５００ＴＶ本以上であり、明らかに解像度が向上
していることがわかった。
ログラムは、従来のものに比べて干渉縞が正確に刻まれ
ているため、像等を投影した場合、歪みやボケがない良
好な像が観測できる。例えば、図５のような従来の光学
系でホログラムミラーを撮影し、それに文字等を投影し
た場合、エッジ部に若干のボケが観測されることがあっ
たが、これに対して、図１の本発明の光学系を用いてホ
ログラムミラーを撮影し、それに文字等を投影した場
合、エッジ部にボケは観測されなかった。このボケを定
量化するために、日本テレビジョン学会の解像度チャー
トを投影し、従来の場合と本発明の場合の解像度を測定
した。各々２０サンプルにつき、解像度を測定し、平均
を求めたところ、従来の記録方法では、解像度が１２０
０ＴＶ本ぐらいであるのに対して、本発明の記録方法で
は、１５００ＴＶ本以上であり、明らかに解像度が向上
していることがわかった。
【００１１】実施例１ 図１〜図３の光学系を用いてホログラムミラーを記録し
た。ホログラム記録乾板１２として、オムニデックス−
３５２（ＤｕＰｏｎｔ社製フォトピポリマー）を３００
ｍｍ×４００ｍｍのガラス基板上に貼り付けたものを用
い、補正用ホログラム領域Ｂと所望のホログラム記録領
域Ａを黒紙２２で覆い、紫外線を照射することにより、
周囲の領域の感度をなくした。補正用ホログラム１３
は、所望の記録領域Ａを黒紙２３でマスクした状態で、
フリンジロッカー１８による帰還を用いないで、Ａｒレ
ーザーの５１４．５ｎｍの波長を用いて図１の光学系に
より記録した。次に、光電素子１６、フリンジロッカー
１８、ピエゾミラー１７を接続し、光路長補正装置を最
適の位置に調整し、マスク２３を取り除き、光路長変化
を補正しながら領域Ａに所望のホログラム２４を記録し
た。
た。ホログラム記録乾板１２として、オムニデックス−
３５２（ＤｕＰｏｎｔ社製フォトピポリマー）を３００
ｍｍ×４００ｍｍのガラス基板上に貼り付けたものを用
い、補正用ホログラム領域Ｂと所望のホログラム記録領
域Ａを黒紙２２で覆い、紫外線を照射することにより、
周囲の領域の感度をなくした。補正用ホログラム１３
は、所望の記録領域Ａを黒紙２３でマスクした状態で、
フリンジロッカー１８による帰還を用いないで、Ａｒレ
ーザーの５１４．５ｎｍの波長を用いて図１の光学系に
より記録した。次に、光電素子１６、フリンジロッカー
１８、ピエゾミラー１７を接続し、光路長補正装置を最
適の位置に調整し、マスク２３を取り除き、光路長変化
を補正しながら領域Ａに所望のホログラム２４を記録し
た。
【００１２】比較例１ 光路長変化を補正しない以外は、実施例１と全くと同様
にホログラムを記録した。
にホログラムを記録した。
【００１３】比較例２ 図５のような補正用ホログラム３がホログラム記録乾板
１から離れている光学系を用いてホログラムを記録し
た。
１から離れている光学系を用いてホログラムを記録し
た。
【００１４】上記のようにして記録された３種類のホロ
グラムミラーについて、各々３０個撮影を行い、そのホ
ログラムミラーによる解像度を比較した。その結果、最
も解像度が良かったものは実施例１で、次いで比較例
２、比較例１の順となった。
グラムミラーについて、各々３０個撮影を行い、そのホ
ログラムミラーによる解像度を比較した。その結果、最
も解像度が良かったものは実施例１で、次いで比較例
２、比較例１の順となった。
【００１５】なお、本発明の記録方法においては、用い
るホログラム記録乾板には、特に限定がなく、何れの記
録材料も使用できるが、補正用ホログラムを実時間で記
録、顕像化できるフォトポリマーが特に適している。
るホログラム記録乾板には、特に限定がなく、何れの記
録材料も使用できるが、補正用ホログラムを実時間で記
録、顕像化できるフォトポリマーが特に適している。
【００１６】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のホログラム記録方法によると、同一ホログラム記録材
料の本体ホログラム記録領域と別の領域に、本体ホログ
ラムを記録する前に、本体ホログラム記録領域をマスク
した状態で補正用ホログラムを記録し、その後、このマ
スクを取り除いて、記録した補正用ホログラムによる干
渉縞を用いて、可干渉性の低下の原因となる振動やレー
ザーの出力変動等の外乱を補償するので、従来の方法で
問題となっていた、補正用ホログラムホルダーと所望の
ホログラムを記録する乾板ホルダーとの間の微妙な振動
のずれが発生せず、良好な分解能のホログラムを安定し
て記録することができる。
のホログラム記録方法によると、同一ホログラム記録材
料の本体ホログラム記録領域と別の領域に、本体ホログ
ラムを記録する前に、本体ホログラム記録領域をマスク
した状態で補正用ホログラムを記録し、その後、このマ
スクを取り除いて、記録した補正用ホログラムによる干
渉縞を用いて、可干渉性の低下の原因となる振動やレー
ザーの出力変動等の外乱を補償するので、従来の方法で
問題となっていた、補正用ホログラムホルダーと所望の
ホログラムを記録する乾板ホルダーとの間の微妙な振動
のずれが発生せず、良好な分解能のホログラムを安定し
て記録することができる。
【００１７】このホログラム記録方法は、高解像度が要
求されるホログラフィック光学素子の記録に適してお
り、例えば、バーコード読み取り用のホログラムスキャ
ナー、レーザービームプリンター用のホログラムスキャ
ナー、ホログラムミラー、ヘッドアップディスプレー用
コンバイナー等の記録時に適用可能である。
求されるホログラフィック光学素子の記録に適してお
り、例えば、バーコード読み取り用のホログラムスキャ
ナー、レーザービームプリンター用のホログラムスキャ
ナー、ホログラムミラー、ヘッドアップディスプレー用
コンバイナー等の記録時に適用可能である。
【図１】本発明のホログラム記録方法を実施するのに使
用するホログラム記録光学系を示す図である。
用するホログラム記録光学系を示す図である。
【図２】図１のホログラム記録乾板を固定保持するホル
ダーの正面図である。
ダーの正面図である。
【図３】本発明の記録方法において用いるマスクの形状
の１例を示す図である。
の１例を示す図である。
【図４】本発明の記録方法の順番を説明するための図で
ある。
ある。
【図５】従来のホログラム記録光学系を示す図である。
【図６】図５の乾板ホルダーと補正用ホログラムホルダ
ーの正面図である。
ーの正面図である。
１２…ホログラム記録乾板 １３…補正用ホログラム １４…ホルダー １５…干渉縞 １６…光電素子 １７…ピエゾミラー １８…フリンジロッカー １９…ビームスプリッター ２０…一方の光 ２１…他方の光 ２２…マスク ２３…マスク ２４…本体ホログラム Ｍ …ミラー Ｂ …補正用ホログラム記録領域 Ａ …本体ホログラム記録領域
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上に設けたホログラム記録材料に対
して２つの可干渉性の光束を入射して干渉縞を形成する
ホログラム記録方法において、ホログラム記録材料の所
望の領域に本体ホログラムを記録する前に、本体ホログ
ラム記録領域をマスクした状態でそのホログラム記録材
料の別の領域に補正用ホログラムを記録し、その後、前
記マスクを取り除き、本体ホログラム記録用の２つの光
束のそれぞれ一部が補正用ホログラムに入射するように
前記ホログラム記録材料に２つの光束を入射させなが
ら、補正用ホログラムからの１つの回折光と別の回折光
又は透過光との干渉縞を形成させ、該干渉縞の移動を補
償するように記録光学系を調節することを特徴とするホ
ログラム記録方法。 - 【請求項２】 前記ホログラム記録材料としてフォトポ
リマーを用いることを特徴とする請求項１記載のホログ
ラム記録方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22396592A JP3303988B2 (ja) | 1992-08-24 | 1992-08-24 | ホログラム記録方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22396592A JP3303988B2 (ja) | 1992-08-24 | 1992-08-24 | ホログラム記録方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0667589A JPH0667589A (ja) | 1994-03-11 |
| JP3303988B2 true JP3303988B2 (ja) | 2002-07-22 |
Family
ID=16806467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22396592A Expired - Fee Related JP3303988B2 (ja) | 1992-08-24 | 1992-08-24 | ホログラム記録方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3303988B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100322747B1 (ko) * | 2000-02-25 | 2002-02-07 | 윤종용 | 스트레오 영상 기록 장치 |
| JP4531472B2 (ja) * | 2004-07-29 | 2010-08-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | ホログラム作成装置および方法 |
| JP4533835B2 (ja) * | 2005-11-16 | 2010-09-01 | 日本放送協会 | デジタルデータ記録波面補正方法および装置 |
| JP4560055B2 (ja) * | 2007-01-18 | 2010-10-13 | 日本放送協会 | デジタルデータ記録波面補正装置及びデジタルデータ記録波面補正方法 |
| JP4941163B2 (ja) * | 2007-08-06 | 2012-05-30 | パルステック工業株式会社 | ホログラム記録装置及びホログラム記録装置のレーザ光の光路長調整方法 |
| JP5534404B2 (ja) * | 2009-12-14 | 2014-07-02 | 大日本印刷株式会社 | ホログラムの製造方法 |
-
1992
- 1992-08-24 JP JP22396592A patent/JP3303988B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH0667589A (ja) | 1994-03-11 |
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