JP3301213B2 - 薬液交換時期判定方法 - Google Patents
薬液交換時期判定方法Info
- Publication number
- JP3301213B2 JP3301213B2 JP10062994A JP10062994A JP3301213B2 JP 3301213 B2 JP3301213 B2 JP 3301213B2 JP 10062994 A JP10062994 A JP 10062994A JP 10062994 A JP10062994 A JP 10062994A JP 3301213 B2 JP3301213 B2 JP 3301213B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- processing
- chemical solution
- chemical
- treatments
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、順次に二つの薬液によ
る処理を行なう場合の薬液の交換時期判定方法に関する
ものである。
る処理を行なう場合の薬液の交換時期判定方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば半導体製造装置等の自動装
置において、レジスト剥離装置が使用されている。レジ
スト剥離装置は、二つの剥離槽内に、順次に被処理物を
浸漬することにより、２段階にて処理を行なうようにな
っている。
置において、レジスト剥離装置が使用されている。レジ
スト剥離装置は、二つの剥離槽内に、順次に被処理物を
浸漬することにより、２段階にて処理を行なうようにな
っている。
【０００３】このように２種類の薬液による処理を行な
う場合、図３に示すように、被処理物を第一槽１内に浸
漬して、第一の薬液２により処理を行なった後、該被処
理物を第二槽３内に浸漬して、第二の薬液４により処理
を行なうようにしている。
う場合、図３に示すように、被処理物を第一槽１内に浸
漬して、第一の薬液２により処理を行なった後、該被処
理物を第二槽３内に浸漬して、第二の薬液４により処理
を行なうようにしている。
【０００４】ここで、各薬液２，４は、処理を繰返し行
なうことにより劣化するので、薬液２，４の交換が行な
われる。例えば、第一の薬液２については、１０バッチ
で、また第二の薬液４については、４０バッチで、交換
されるようになっている。
なうことにより劣化するので、薬液２，４の交換が行な
われる。例えば、第一の薬液２については、１０バッチ
で、また第二の薬液４については、４０バッチで、交換
されるようになっている。
【０００５】この場合、交換処理は、図４に示すフロー
チャートに従って、行なわれる。その際、各槽１，３に
おける処理の回数をカウントしておく。処理が開始され
ると、先づ第一槽１での処理を行なった後、該第一槽１
での処理回数を判定する。
チャートに従って、行なわれる。その際、各槽１，３に
おける処理の回数をカウントしておく。処理が開始され
ると、先づ第一槽１での処理を行なった後、該第一槽１
での処理回数を判定する。
【０００６】ここで、処理回数が１０回以上であるとき
は、交換表示アラームにより警告を行なった後、また処
理回数が１０回未満であるときは、直接に第二槽３での
処理を行ない、再び第二槽３での処理回数を判定する。
は、交換表示アラームにより警告を行なった後、また処
理回数が１０回未満であるときは、直接に第二槽３での
処理を行ない、再び第二槽３での処理回数を判定する。
【０００７】ここで、処理回数が４０回以上であるとき
は、交換表示アラームにより警告を行ない、また処理回
数が４０回未満であるときは、そのままで処理が終了す
ることになる。
は、交換表示アラームにより警告を行ない、また処理回
数が４０回未満であるときは、そのままで処理が終了す
ることになる。
【０００８】かくして、上述した交換表示アラームによ
る警告が行なわれた場合には、当該処理槽１または３の
薬液が交換される。これにより、第一槽１及び第二槽３
における薬液の交換は、図５に示すように、行なわれる
ことになる。
る警告が行なわれた場合には、当該処理槽１または３の
薬液が交換される。これにより、第一槽１及び第二槽３
における薬液の交換は、図５に示すように、行なわれる
ことになる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな薬液交換時期判定方法においては、第二の薬液４が
比較的新しい場合には、第一の薬液２が１０バッチを越
えたとしても、第二槽３における第二の薬液４による処
理が終了したときに、レジスト残り等は発生しない。従
って、この場合、第一の薬液２を交換しなくても、処理
が確実に行なわれ得ることになる。かくして、一律に１
０バッチで第一の薬液２を交換することは、コストが高
くなってしまうと共に、省資源の点からも好ましくな
い。
うな薬液交換時期判定方法においては、第二の薬液４が
比較的新しい場合には、第一の薬液２が１０バッチを越
えたとしても、第二槽３における第二の薬液４による処
理が終了したときに、レジスト残り等は発生しない。従
って、この場合、第一の薬液２を交換しなくても、処理
が確実に行なわれ得ることになる。かくして、一律に１
０バッチで第一の薬液２を交換することは、コストが高
くなってしまうと共に、省資源の点からも好ましくな
い。
【００１０】本発明は、以上の点に鑑み、コストが低減
され得ると共に、省資源の点で有利である、薬液交換時
期判定方法を提供することを目的としている。
され得ると共に、省資源の点で有利である、薬液交換時
期判定方法を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明によ
れば、第一槽にて第一の薬液により処理を行なった後、
第二層にて第二の薬液による処理を行なう処理工程に
て、各槽における処理回数をカウントしておき、各槽で
の処理が終了した後、処理回数を判定して、それぞれ対
応する交換回数以上の場合には交換時期であると判定す
る、薬液交換時期判定方法において、第一槽での処理が
終了した後に、第二槽での処理回数が所定回数未満の場
合には第一の回数で、また所定回数以上の場合には該第
一の回数より少ない第二の回数で、第一槽での処理回数
を判定するようにしたことを特徴とする、薬液交換時期
判定方法により、達成される。
れば、第一槽にて第一の薬液により処理を行なった後、
第二層にて第二の薬液による処理を行なう処理工程に
て、各槽における処理回数をカウントしておき、各槽で
の処理が終了した後、処理回数を判定して、それぞれ対
応する交換回数以上の場合には交換時期であると判定す
る、薬液交換時期判定方法において、第一槽での処理が
終了した後に、第二槽での処理回数が所定回数未満の場
合には第一の回数で、また所定回数以上の場合には該第
一の回数より少ない第二の回数で、第一槽での処理回数
を判定するようにしたことを特徴とする、薬液交換時期
判定方法により、達成される。
【００１２】
【作用】上記構成によれば、第二槽での処理回数が所定
回数未満の場合には、第二槽内の第二の薬液が比較的新
しいので、第一槽の第一の薬液の交換時期を第二の回数
から第一の回数まで延ばすことにより、第一の薬液の寿
命が長くなる。これにより、第一の薬液の交換回数が少
なくて済むことになる。
回数未満の場合には、第二槽内の第二の薬液が比較的新
しいので、第一槽の第一の薬液の交換時期を第二の回数
から第一の回数まで延ばすことにより、第一の薬液の寿
命が長くなる。これにより、第一の薬液の交換回数が少
なくて済むことになる。
【００１３】
【実施例】以下、図面に示した実施例に基づいて、本発
明を詳細に説明する。図１は、本発明による薬液交換時
期判定方法の一実施例のフローチャートを示している。
この場合、薬液処理工程は、図３に示した従来の薬液処
理装置によって行なわれる。即ち、被処理物を第一槽１
内に浸漬して、第一の薬液２により処理を行なった後、
該被処理物を第二槽３内に浸漬して、第二の薬液４によ
り処理を行なうと共に、各槽１，３における処理の回数
をカウントしておく。
明を詳細に説明する。図１は、本発明による薬液交換時
期判定方法の一実施例のフローチャートを示している。
この場合、薬液処理工程は、図３に示した従来の薬液処
理装置によって行なわれる。即ち、被処理物を第一槽１
内に浸漬して、第一の薬液２により処理を行なった後、
該被処理物を第二槽３内に浸漬して、第二の薬液４によ
り処理を行なうと共に、各槽１，３における処理の回数
をカウントしておく。
【００１４】図１において、処理が開始されると、先づ
第一槽１での処理を行なった後、該第二槽３での処理回
数を判定する。
第一槽１での処理を行なった後、該第二槽３での処理回
数を判定する。
【００１５】ここで、処理回数が３０回以上であるとき
は、Ｎ1＝１０とし、また処理回数が３０回未満である
ときは、Ｎ1＝１５として、第一槽１での処理回数を判
定する。
は、Ｎ1＝１０とし、また処理回数が３０回未満である
ときは、Ｎ1＝１５として、第一槽１での処理回数を判
定する。
【００１６】処理回数がＮ1回以上であるときは、交換
表示アラームにより警告を行なった後、また処理回数が
Ｎ1回未満であるときは、直接に第二槽３での処理を行
ない、再び第二槽３での処理回数を判定する。
表示アラームにより警告を行なった後、また処理回数が
Ｎ1回未満であるときは、直接に第二槽３での処理を行
ない、再び第二槽３での処理回数を判定する。
【００１７】ここで、処理回数が４０回以上であるとき
は、交換表示アラームにより警告を行ない、また処理回
数が４０回未満であるときは、そのままで処理が終了す
ることになる。
は、交換表示アラームにより警告を行ない、また処理回
数が４０回未満であるときは、そのままで処理が終了す
ることになる。
【００１８】かくして、上述した交換表示アラームによ
る警告が行なわれた場合には、当該処理槽１または３の
薬液が交換される。これにより、第一槽１及び第二槽３
における薬液の交換は、図２に示すように、行なわれる
ことになる。
る警告が行なわれた場合には、当該処理槽１または３の
薬液が交換される。これにより、第一槽１及び第二槽３
における薬液の交換は、図２に示すように、行なわれる
ことになる。
【００１９】これにより、第二槽３の薬液４が４０バッ
チで一回交換される間に、第一槽１の薬液２は、従来は
図５に示すように１０バッチ毎に４回交換されていたの
に対して、上記実施例においては、最初の２回は１５バ
ッチ毎に交換され、最後に１０バッチで交換されること
になり、３回の交換で済むことになる。かくして、従来
の４回交換に対して、３回交換でよいことから、一回分
の第一の薬液３が節約され得ることになると共に、交換
作業も一回少なくて済む。これにより、コストが低減さ
れ得ると共に、省資源に寄与することになる。
チで一回交換される間に、第一槽１の薬液２は、従来は
図５に示すように１０バッチ毎に４回交換されていたの
に対して、上記実施例においては、最初の２回は１５バ
ッチ毎に交換され、最後に１０バッチで交換されること
になり、３回の交換で済むことになる。かくして、従来
の４回交換に対して、３回交換でよいことから、一回分
の第一の薬液３が節約され得ることになると共に、交換
作業も一回少なくて済む。これにより、コストが低減さ
れ得ると共に、省資源に寄与することになる。
【００２０】尚、上記実施例においては、レジスト剥離
工程における２段階の剥離液処理の場合について説明し
たが、これに限らず、例えば洗浄工程等の複数の薬液処
理槽を有する自動機に対して、本発明を適用し得ること
は明らかである。
工程における２段階の剥離液処理の場合について説明し
たが、これに限らず、例えば洗浄工程等の複数の薬液処
理槽を有する自動機に対して、本発明を適用し得ること
は明らかである。
【００２１】また、上記実施例においては、各薬液２，
４の交換時期は、交換表示アラームによる警告を行なう
ことにより、告知され得るようになっているが、これに
限らず、他の警告手段を使用することも可能であり、さ
らに自動交換装置によって第一槽１及び第二槽３の各薬
液２，４を自動交換するようにしてもよい。
４の交換時期は、交換表示アラームによる警告を行なう
ことにより、告知され得るようになっているが、これに
限らず、他の警告手段を使用することも可能であり、さ
らに自動交換装置によって第一槽１及び第二槽３の各薬
液２，４を自動交換するようにしてもよい。
【００２２】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、第
二槽での処理回数が所定回数未満の場合には、第二槽内
の第二の薬液が比較的新しいので、第一槽の第一の薬液
の交換時期を第二の回数から第一の回数まで延ばすこと
により、第一の薬液の寿命が長くなる。これにより、第
一の薬液の交換回数が少なくて済むことになる。従っ
て、第一の薬液の使用量が低減されると共に、交換作業
の回数が削減される。これにより、コストが低減され得
ると共に、省資源の点で有利となる。かくして、本発明
によれば、コストが低減され得ると共に、省資源の点で
有利である、極めて優れた薬液交換時期判定方法が提供
され得ることになる。
二槽での処理回数が所定回数未満の場合には、第二槽内
の第二の薬液が比較的新しいので、第一槽の第一の薬液
の交換時期を第二の回数から第一の回数まで延ばすこと
により、第一の薬液の寿命が長くなる。これにより、第
一の薬液の交換回数が少なくて済むことになる。従っ
て、第一の薬液の使用量が低減されると共に、交換作業
の回数が削減される。これにより、コストが低減され得
ると共に、省資源の点で有利となる。かくして、本発明
によれば、コストが低減され得ると共に、省資源の点で
有利である、極めて優れた薬液交換時期判定方法が提供
され得ることになる。
【図１】本発明による薬液交換時期判定方法の一実施例
を示すフローチャートである。
を示すフローチャートである。
【図２】図１の方法による第一槽及び第二槽の薬液交換
タイミングを示すタイムチャートである。
タイミングを示すタイムチャートである。
【図３】二槽による薬液処理工程を示す概略図である。
【図４】従来の薬液交換時期判定方法の一例を示すフロ
ーチャートである。
ーチャートである。
【図５】図４の方法による第一槽及び第二槽の薬液交換
タイミングを示すタイムチャートである。
タイミングを示すタイムチャートである。
１ 第一槽 ２ 第一の薬液 ３ 第二槽 ４ 第二の薬液
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/027 G03F 7/42
Claims (1)
- 【請求項１】 第一槽にて第一の薬液により処理を行な
った後、第二層にて第二の薬液による処理を行なう処理
工程にて、各槽における処理回数をカウントしておき、
各槽での処理が終了した後、処理回数を判定して、それ
ぞれ対応する交換回数以上の場合には交換時期であると
判定する、薬液交換時期判定方法において、 第一槽での処理が終了した後に、第二槽での処理回数が
所定回数未満の場合には第一の回数で、また所定回数以
上の場合には該第一の回数より少ない第二の回数で、第
一槽での処理回数を判定するようにしたことを特徴とす
る、薬液交換時期判定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10062994A JP3301213B2 (ja) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | 薬液交換時期判定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10062994A JP3301213B2 (ja) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | 薬液交換時期判定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07283129A JPH07283129A (ja) | 1995-10-27 |
| JP3301213B2 true JP3301213B2 (ja) | 2002-07-15 |
Family
ID=14279137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10062994A Expired - Lifetime JP3301213B2 (ja) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | 薬液交換時期判定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3301213B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5910401B2 (ja) * | 2012-08-03 | 2016-04-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理液供給装置の運転方法、処理液供給装置及び記憶媒体 |
-
1994
- 1994-04-13 JP JP10062994A patent/JP3301213B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07283129A (ja) | 1995-10-27 |
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