JP3300973B2 - パルス管冷凍機の駆動方法 - Google Patents
パルス管冷凍機の駆動方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クライオポンプ、
エレクトロニクス、超電導素子等の極低温冷凍や、窒素
液化機などに用いられるパルス管冷凍機、さらに詳しく
は、既知のオリフィスパルス管冷凍機またはダブルイン
レット型パルス管冷凍機にあって、その圧縮機における
高圧側と低圧側のヘリウム等によるガス状冷媒を、パル
ス管側へ送出したり、当該パルス管側から圧縮機側へ逆
送することの繰り返しによる従来の駆動方法を改善し
て、そのコールドヘッドに、より極低温の到達温度が得
られるようにしたパルス管冷凍機の新規なる駆動方法に
関するものである。
エレクトロニクス、超電導素子等の極低温冷凍や、窒素
液化機などに用いられるパルス管冷凍機、さらに詳しく
は、既知のオリフィスパルス管冷凍機またはダブルイン
レット型パルス管冷凍機にあって、その圧縮機における
高圧側と低圧側のヘリウム等によるガス状冷媒を、パル
ス管側へ送出したり、当該パルス管側から圧縮機側へ逆
送することの繰り返しによる従来の駆動方法を改善し
て、そのコールドヘッドに、より極低温の到達温度が得
られるようにしたパルス管冷凍機の新規なる駆動方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】上記した既知のオリフィスパルス管冷凍
機１Ａは、図１１に明示されている通り、圧縮機２の高
圧側２ａと低圧側２ｂとが、夫々高圧側バルブ３ａと低
圧側バルブ３ｂを介して、連結管４により蓄冷器５の高
温端部５ａに連結されている。そして、もちろん高圧側
バルブ３ａと低圧側バルブ３ｂとは、夫々各別のバルブ
として設けられたり、図示されていないロータリーバル
ブを用いたりして、これまた図示されていない電磁弁の
採択によって、これをパーソナルコンピュータにより、
適時開閉自在なるよう制御するようにしている。
機１Ａは、図１１に明示されている通り、圧縮機２の高
圧側２ａと低圧側２ｂとが、夫々高圧側バルブ３ａと低
圧側バルブ３ｂを介して、連結管４により蓄冷器５の高
温端部５ａに連結されている。そして、もちろん高圧側
バルブ３ａと低圧側バルブ３ｂとは、夫々各別のバルブ
として設けられたり、図示されていないロータリーバル
ブを用いたりして、これまた図示されていない電磁弁の
採択によって、これをパーソナルコンピュータにより、
適時開閉自在なるよう制御するようにしている。
【０００３】さらに、オリフィスパルス管冷凍機１Ａ
は、既知の如く上記蓄冷器５が、コールドヘッド６（低
温端熱交換器、寒冷取り出し部）を介して、パルス管７
の寒冷端部７ａに連結され、さらに、当該パルス管７に
対する冷却部８（冷熱用熱交換器）が設けられている高
温端部７ｂからは、オリフィス弁９を介してバッファ１
０（貯蔵容器）が連結されている。そして、これまた既
知の如く連結管４には、図示しない放熱用熱交換器が設
けられることもあり、蓄冷器５には蓄冷材５ｂが内装さ
れ、図中１１は断熱用の真空槽を示している。
は、既知の如く上記蓄冷器５が、コールドヘッド６（低
温端熱交換器、寒冷取り出し部）を介して、パルス管７
の寒冷端部７ａに連結され、さらに、当該パルス管７に
対する冷却部８（冷熱用熱交換器）が設けられている高
温端部７ｂからは、オリフィス弁９を介してバッファ１
０（貯蔵容器）が連結されている。そして、これまた既
知の如く連結管４には、図示しない放熱用熱交換器が設
けられることもあり、蓄冷器５には蓄冷材５ｂが内装さ
れ、図中１１は断熱用の真空槽を示している。
【０００４】そして、さらに前掲ダブルインレット型パ
ルス管冷凍機１Ｂは、図２に明示され、かつ既知の通り
上記オリフィスパルス管冷凍機１Ａにあって、直列に連
結の蓄冷器５、コールドヘッド６、パルス管７に対し
て、並列にバイパス弁１２（ダブルインレット（ニール
ドバルブ））を連結したもので、これにより蓄冷器５に
流入するガス状冷媒の一部を、バイパス弁１２によっ
て、パルス管７の高温端部７ｂとオリフィス弁９との間
に導入し、パルス管７内におけるガスピストンの高温端
部７ｂ側の動きを制御することによって、コールドヘッ
ド６における到達温度の低温化を可能としたものであ
る。
ルス管冷凍機１Ｂは、図２に明示され、かつ既知の通り
上記オリフィスパルス管冷凍機１Ａにあって、直列に連
結の蓄冷器５、コールドヘッド６、パルス管７に対し
て、並列にバイパス弁１２（ダブルインレット（ニール
ドバルブ））を連結したもので、これにより蓄冷器５に
流入するガス状冷媒の一部を、バイパス弁１２によっ
て、パルス管７の高温端部７ｂとオリフィス弁９との間
に導入し、パルス管７内におけるガスピストンの高温端
部７ｂ側の動きを制御することによって、コールドヘッ
ド６における到達温度の低温化を可能としたものであ
る。
【０００５】そして、上記のオリフィスパルス管冷凍機
１Ａ、ダブルインレット型パルス管冷凍機１Ｂは、前記
の圧縮機２を稼動すると共に、高圧側バルブ３ａと低圧
側バルブ３ｂとを図１０で示す如く、１つの周期Ｔの間
にあって、交互に開閉させ、これを繰り返すことで駆動
するようにしている。すなわち、低圧側バルブ３ｂが閉
弁した状態で、高圧側バルブ３ａを開弁することになる
第１駆動時間ｔ1 の経過後、直ちに、高圧側バルブ３ａ
を閉弁状態にすると共に低圧側バルブ３ｂを開弁する第
２駆動時間ｔ2 の経過によって、当該駆動の周期Ｔが完
結するようにしており、通常ｔ1 ＝ｔ2 とし、Ｔ＝ｔ1
＋ｔ2なる駆動方法が、これまで長く採択されて来てい
る。
１Ａ、ダブルインレット型パルス管冷凍機１Ｂは、前記
の圧縮機２を稼動すると共に、高圧側バルブ３ａと低圧
側バルブ３ｂとを図１０で示す如く、１つの周期Ｔの間
にあって、交互に開閉させ、これを繰り返すことで駆動
するようにしている。すなわち、低圧側バルブ３ｂが閉
弁した状態で、高圧側バルブ３ａを開弁することになる
第１駆動時間ｔ1 の経過後、直ちに、高圧側バルブ３ａ
を閉弁状態にすると共に低圧側バルブ３ｂを開弁する第
２駆動時間ｔ2 の経過によって、当該駆動の周期Ｔが完
結するようにしており、通常ｔ1 ＝ｔ2 とし、Ｔ＝ｔ1
＋ｔ2なる駆動方法が、これまで長く採択されて来てい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この種の極低温冷凍装
置としては、西暦１９６３年のＧＭパルス管冷凍機の考
案以来、今日に至るまで幾多の構造的な改良が加えられ
て実用化の段階を迎えるに至っており、ベーシックパル
ス管冷凍機から、上記の如くオリフィスパルス管冷凍
機、ダブルインレット型パルス管冷凍機へと進歩して来
ているが、そのコールドヘッドにおける到達温度の低温
化と、所定到達温度におけるコールドヘッドによる冷凍
能力の点で、まだ満足すべき結果が得られていない。
置としては、西暦１９６３年のＧＭパルス管冷凍機の考
案以来、今日に至るまで幾多の構造的な改良が加えられ
て実用化の段階を迎えるに至っており、ベーシックパル
ス管冷凍機から、上記の如くオリフィスパルス管冷凍
機、ダブルインレット型パルス管冷凍機へと進歩して来
ているが、そのコールドヘッドにおける到達温度の低温
化と、所定到達温度におけるコールドヘッドによる冷凍
能力の点で、まだ満足すべき結果が得られていない。
【０００７】本発明は上記の如く構造上の改良にのみ、
その努力が傾注されている点に鑑み、請求項１では、前
記したＴ＝ｔ1 ＋ｔ2 なる駆動方法の改善を意図した結
果、上記のパルス管冷凍機における高圧側バルブ３ａと
低圧側バルブ３ｂにあって、その高圧側から低圧側へガ
ス状冷媒が送流された際、ここで生ずる圧力損失が、可
成り大きなものとなっていることに着目し得たのであ
る。
その努力が傾注されている点に鑑み、請求項１では、前
記したＴ＝ｔ1 ＋ｔ2 なる駆動方法の改善を意図した結
果、上記のパルス管冷凍機における高圧側バルブ３ａと
低圧側バルブ３ｂにあって、その高圧側から低圧側へガ
ス状冷媒が送流された際、ここで生ずる圧力損失が、可
成り大きなものとなっていることに着目し得たのであ
る。
【０００８】すなわち、前記従来の駆動方法によるとき
は、図１０と図１１によって理解される通り、前記第１
駆動時間ｔ1 にあっては、高圧側バルブ３ａのみが開弁
し、圧縮機２の高圧側２ａにおける高圧なガス状冷媒Ｇ
1 が、図１１（Ａ）の如く、圧縮機２の低圧側２ｂの圧
力とほぼ同圧の低圧状態ＬＧとなっているパルス管７内
へ向け送出される（圧縮工程）ことから、高圧側バルブ
３ａの両端における圧力差が大となり、従って、ここ
で、大きな圧力損失が生ずるのである。
は、図１０と図１１によって理解される通り、前記第１
駆動時間ｔ1 にあっては、高圧側バルブ３ａのみが開弁
し、圧縮機２の高圧側２ａにおける高圧なガス状冷媒Ｇ
1 が、図１１（Ａ）の如く、圧縮機２の低圧側２ｂの圧
力とほぼ同圧の低圧状態ＬＧとなっているパルス管７内
へ向け送出される（圧縮工程）ことから、高圧側バルブ
３ａの両端における圧力差が大となり、従って、ここ
で、大きな圧力損失が生ずるのである。
【０００９】さらに、前記の第２駆動時間ｔ2 にあって
は、高圧側バルブ３ａが閉弁と同時に、低圧側バルブ３
ｂが開弁することになり、この際のパルス管７内は図１
１（Ａ）の前記低圧状態ＬＧが、第１駆動時間ｔ1 の完
了までに昇圧して、圧縮機２の高圧側２ａにおける圧力
とほぼ等しい高圧状態ＨＧとなっている。このため、図
１１（Ｂ）の如く低圧側バルブ３ｂには、圧縮機２の低
圧側２ｂへ向け、大きな圧力差によって、パルス管７の
ガス状冷媒Ｇ2 が送入（膨張工程）され、この結果、や
はり、低圧側バルブ３ｂにあっても大きな圧力損失が発
生することになる。
は、高圧側バルブ３ａが閉弁と同時に、低圧側バルブ３
ｂが開弁することになり、この際のパルス管７内は図１
１（Ａ）の前記低圧状態ＬＧが、第１駆動時間ｔ1 の完
了までに昇圧して、圧縮機２の高圧側２ａにおける圧力
とほぼ等しい高圧状態ＨＧとなっている。このため、図
１１（Ｂ）の如く低圧側バルブ３ｂには、圧縮機２の低
圧側２ｂへ向け、大きな圧力差によって、パルス管７の
ガス状冷媒Ｇ2 が送入（膨張工程）され、この結果、や
はり、低圧側バルブ３ｂにあっても大きな圧力損失が発
生することになる。
【００１０】本発明は上記の如き圧力損失を低下させる
ことに着目し、請求項１にあっては、前記従来の駆動方
法であるＴ＝ｔ1 ＋ｔ2 において、第１駆動時間ｔ1 と
第２駆動時間ｔ2 との間である第１工程間と、第２駆動
時間ｔ2 と次の第１駆動時間ｔ1 との間である第２工程
間との一方または双方にあって、高圧側バルブ３ａも低
圧側バルブ３ｂをも閉弁状態に保持するようにした待ち
時間なるものを設定することで、当該バルブにおける圧
力損失を大幅に低減し、これにより、削減することので
きたエネルギによって、コールドヘッドの到達温度を低
温化すると共に、冷凍能力の向上を実現可能にしようと
するのが、その目的である。
ことに着目し、請求項１にあっては、前記従来の駆動方
法であるＴ＝ｔ1 ＋ｔ2 において、第１駆動時間ｔ1 と
第２駆動時間ｔ2 との間である第１工程間と、第２駆動
時間ｔ2 と次の第１駆動時間ｔ1 との間である第２工程
間との一方または双方にあって、高圧側バルブ３ａも低
圧側バルブ３ｂをも閉弁状態に保持するようにした待ち
時間なるものを設定することで、当該バルブにおける圧
力損失を大幅に低減し、これにより、削減することので
きたエネルギによって、コールドヘッドの到達温度を低
温化すると共に、冷凍能力の向上を実現可能にしようと
するのが、その目的である。
【００１１】そして、請求項２にあっては、上記の請求
項１において、第１工程間と第２工程間に略同一の待ち
時間をもたせると共に、当該各待ち時間が、駆動におけ
る周期Ｔの１／１２〜１／４となるようにすることで、
望ましい到達温度の低温化と冷凍能力の向上が確保され
ることを明示している。
項１において、第１工程間と第２工程間に略同一の待ち
時間をもたせると共に、当該各待ち時間が、駆動におけ
る周期Ｔの１／１２〜１／４となるようにすることで、
望ましい到達温度の低温化と冷凍能力の向上が確保され
ることを明示している。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するため、請求項１では圧縮機の高圧側と低圧側が、
夫々高圧側バルブと低圧側バルブを介して連結管により
蓄冷器の高温端部に連結され、当該蓄冷器がコールドヘ
ッドを介してパルス管の寒冷端部に連結されると共に、
当該パルス管の冷却部が設けられた高温端部からオリフ
ィス弁を介してバッファに連結されたオリフィスパルス
管冷凍機、または当該オリフィスパルス管冷凍機におけ
る連結された上記蓄冷器、コールドヘッド、パルス管に
バイパス弁を並列に連結したダブルインレット型パルス
管冷凍機につき、これを所定の周期により駆動するに際
し、低圧側バブルが閉弁状態で、開弁状態にある高圧側
バルブより、圧縮機の高圧側であるガス状冷媒が、前記
連結管からパルス管内へ送出される圧縮工程と、高圧側
バルブが閉弁状態で、開弁状態にある低圧側バルブよ
り、パルス管内におけるガス状冷媒が、前記連結管を介
して圧縮機の低圧側へ送入される膨張工程との第１工程
間と、当該膨張工程と次の圧縮工程との第２工程間との
一方または双方にあって、前記の高圧側バルブと低圧側
バルブとの双方を閉弁状態に保持する待ち時間が設定さ
れるようにしたことを特徴とするパルス管冷凍機の駆動
方法を提供しようとしている。
成するため、請求項１では圧縮機の高圧側と低圧側が、
夫々高圧側バルブと低圧側バルブを介して連結管により
蓄冷器の高温端部に連結され、当該蓄冷器がコールドヘ
ッドを介してパルス管の寒冷端部に連結されると共に、
当該パルス管の冷却部が設けられた高温端部からオリフ
ィス弁を介してバッファに連結されたオリフィスパルス
管冷凍機、または当該オリフィスパルス管冷凍機におけ
る連結された上記蓄冷器、コールドヘッド、パルス管に
バイパス弁を並列に連結したダブルインレット型パルス
管冷凍機につき、これを所定の周期により駆動するに際
し、低圧側バブルが閉弁状態で、開弁状態にある高圧側
バルブより、圧縮機の高圧側であるガス状冷媒が、前記
連結管からパルス管内へ送出される圧縮工程と、高圧側
バルブが閉弁状態で、開弁状態にある低圧側バルブよ
り、パルス管内におけるガス状冷媒が、前記連結管を介
して圧縮機の低圧側へ送入される膨張工程との第１工程
間と、当該膨張工程と次の圧縮工程との第２工程間との
一方または双方にあって、前記の高圧側バルブと低圧側
バルブとの双方を閉弁状態に保持する待ち時間が設定さ
れるようにしたことを特徴とするパルス管冷凍機の駆動
方法を提供しようとしている。
【００１３】そして、請求項２にあっては、上記請求項
１において、圧縮工程と膨張工程との第１工程間と膨張
工程と次の圧縮工程との第２工程間における夫々第１の
待ち時間と第２の待ち時間とが、何れも駆動に際しての
所定の周期に対して、１／１２〜１／４の比率となるよ
う設定されていることを、その内容としている。
１において、圧縮工程と膨張工程との第１工程間と膨張
工程と次の圧縮工程との第２工程間における夫々第１の
待ち時間と第２の待ち時間とが、何れも駆動に際しての
所定の周期に対して、１／１２〜１／４の比率となるよ
う設定されていることを、その内容としている。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明は上記の目的を達成するた
め、既に説示した通りの図１（Ａ）と図２に示す夫々オ
リフィスパルス管冷凍機１Ａ、ダブルインレット型パル
ス管冷凍機１Ｂにつき、これを駆動するための方法に関
し、その最も望ましい実施形態が、図１（Ｂ）による所
定の周期Ｔをもつ駆動工程図表により開示されている。
すなわち、ここで例示の１周期でも、前説と同じく第１
駆動時間ｔ1 からの始動となるが、先ず、ここでは既知
の通り低圧側バルブ３ｂが閉弁状態で、開弁状態とした
高圧側バルブ３ａから、圧縮機２の高圧側２ａであるヘ
リウム等のガス状冷媒Ｇ1 が、前説の連結管４よりパル
ス管７側へ向けて送出される圧縮工程が行なわれ、この
ことでパルス管７は図３（Ａ）に示されているように、
同図３（Ｄ）につき後述する通り中圧状態ＭＧとなって
いた内圧が、高圧状態ＨＧに昇圧するのである。
め、既に説示した通りの図１（Ａ）と図２に示す夫々オ
リフィスパルス管冷凍機１Ａ、ダブルインレット型パル
ス管冷凍機１Ｂにつき、これを駆動するための方法に関
し、その最も望ましい実施形態が、図１（Ｂ）による所
定の周期Ｔをもつ駆動工程図表により開示されている。
すなわち、ここで例示の１周期でも、前説と同じく第１
駆動時間ｔ1 からの始動となるが、先ず、ここでは既知
の通り低圧側バルブ３ｂが閉弁状態で、開弁状態とした
高圧側バルブ３ａから、圧縮機２の高圧側２ａであるヘ
リウム等のガス状冷媒Ｇ1 が、前説の連結管４よりパル
ス管７側へ向けて送出される圧縮工程が行なわれ、この
ことでパルス管７は図３（Ａ）に示されているように、
同図３（Ｄ）につき後述する通り中圧状態ＭＧとなって
いた内圧が、高圧状態ＨＧに昇圧するのである。
【００１５】次に、本発明の図３に示す実施例にあって
は、従来例における第２駆動時間ｔ2 の如く、高圧側バ
ルブ３ａが閉弁状態となり、開弁状態とした低圧側バル
ブ３ｂより、パルス管７側からガス状冷媒Ｇ2 が、前記
の連結管４を介して圧縮機２の低圧側２ｂへ送入される
膨張等による膨張工程へ、直ちに移行してしまうのでは
なく、ｔ1 とｔ2 の間である第１工程間にあって、第１
の待ち時間ｗ1 を、図１（Ｂ）のように設定するのであ
る。
は、従来例における第２駆動時間ｔ2 の如く、高圧側バ
ルブ３ａが閉弁状態となり、開弁状態とした低圧側バル
ブ３ｂより、パルス管７側からガス状冷媒Ｇ2 が、前記
の連結管４を介して圧縮機２の低圧側２ｂへ送入される
膨張等による膨張工程へ、直ちに移行してしまうのでは
なく、ｔ1 とｔ2 の間である第１工程間にあって、第１
の待ち時間ｗ1 を、図１（Ｂ）のように設定するのであ
る。
【００１６】ここで、第１の待ち時間ｗ1とは、第１駆
動時間ｔ1の経過後、高圧側バルブ３ａと低圧側バルブ
３ｂとを、共に閉弁状態に保持する時間帯の設定を示し
ている。これによって、図３（Ａ）の如く高圧状態とな
っているパルス管７のガス状冷媒Ｇ3 が、この待ち時間
ｗ1において、圧縮機２の高圧側２ａと低圧側２ｂにお
けるガス状冷媒のほぼ平均値である中圧状態ＭＧにある
バッファ１０へ、ニードルバルブ等によるオリフィス弁
９を介して流入することとなる。この結果、パルス管７
の内圧は高圧状態ＨＧから、バッファ１０とほぼ同じ中
圧状態ＭＧまで、図３（Ｂ）に示す如く降圧することに
なる。
動時間ｔ1の経過後、高圧側バルブ３ａと低圧側バルブ
３ｂとを、共に閉弁状態に保持する時間帯の設定を示し
ている。これによって、図３（Ａ）の如く高圧状態とな
っているパルス管７のガス状冷媒Ｇ3 が、この待ち時間
ｗ1において、圧縮機２の高圧側２ａと低圧側２ｂにお
けるガス状冷媒のほぼ平均値である中圧状態ＭＧにある
バッファ１０へ、ニードルバルブ等によるオリフィス弁
９を介して流入することとなる。この結果、パルス管７
の内圧は高圧状態ＨＧから、バッファ１０とほぼ同じ中
圧状態ＭＧまで、図３（Ｂ）に示す如く降圧することに
なる。
【００１７】従って、次に第２駆動時間ｔ2 における膨
張工程へ移行するため、高圧側バルブ３ａは閉弁状態の
ままで、低圧側バルブ３ｂを開弁状態とした際、低圧側
バルブ３ｂのパルス管７側におけるガス状冷媒Ｇ2 は、
中圧状態ＭＧであることから、圧縮機２の低圧側２ｂに
おける低圧との圧力差が、前記従来例の場合に比しほぼ
１／２となり、このため低圧側バルブ３ｂにおける圧力
損失は大幅に軽減され、この軽減されたエネルギが、コ
ールドヘッド６の到達温度を低下させる役割を果たし得
ることとなる。
張工程へ移行するため、高圧側バルブ３ａは閉弁状態の
ままで、低圧側バルブ３ｂを開弁状態とした際、低圧側
バルブ３ｂのパルス管７側におけるガス状冷媒Ｇ2 は、
中圧状態ＭＧであることから、圧縮機２の低圧側２ｂに
おける低圧との圧力差が、前記従来例の場合に比しほぼ
１／２となり、このため低圧側バルブ３ｂにおける圧力
損失は大幅に軽減され、この軽減されたエネルギが、コ
ールドヘッド６の到達温度を低下させる役割を果たし得
ることとなる。
【００１８】さらに、上記第２駆動時間ｔ2 の経過後、
本実施例では、これまた低圧側バルブ３ｂと高圧側バル
ブ３ａを共に閉弁状態とする第２の待ち時間ｗ2 へ移行
し、これにより駆動の周期Ｔ＝ｔ1 ＋ｗ1 ＋ｔ2 ＋ｗ2
を完結することになる。この待ち時間ｗ2 にあっては、
パルス管７内が低圧状態ＬＧとなっていることから、バ
ッファ１０の中圧状態ＭＧにあるガス状冷媒Ｇ4 がオリ
フィス弁９を介して、パルス管７内へ流入し、これによ
り当該パルス管７は中圧状態ＭＧとなり、この結果次の
周期における圧縮工程（図３（Ａ）に相当）にあって高
圧側バルブ３ａだけが開弁状態となった際、圧縮機２の
高圧側２ａと、パルス管７内の中圧状態ＭＧとの圧力差
が、これまた従来の駆動方法に比しほぼ１／２となり、
この場合にも高圧側バルブ３ａによる圧力損失を半減で
き、これによりコールドヘッド６の到達温度を低温化す
ることができる。
本実施例では、これまた低圧側バルブ３ｂと高圧側バル
ブ３ａを共に閉弁状態とする第２の待ち時間ｗ2 へ移行
し、これにより駆動の周期Ｔ＝ｔ1 ＋ｗ1 ＋ｔ2 ＋ｗ2
を完結することになる。この待ち時間ｗ2 にあっては、
パルス管７内が低圧状態ＬＧとなっていることから、バ
ッファ１０の中圧状態ＭＧにあるガス状冷媒Ｇ4 がオリ
フィス弁９を介して、パルス管７内へ流入し、これによ
り当該パルス管７は中圧状態ＭＧとなり、この結果次の
周期における圧縮工程（図３（Ａ）に相当）にあって高
圧側バルブ３ａだけが開弁状態となった際、圧縮機２の
高圧側２ａと、パルス管７内の中圧状態ＭＧとの圧力差
が、これまた従来の駆動方法に比しほぼ１／２となり、
この場合にも高圧側バルブ３ａによる圧力損失を半減で
き、これによりコールドヘッド６の到達温度を低温化す
ることができる。
【００１９】ここで、上記の駆動方法によって、オリフ
ィスパルス管冷凍機１Ａを稼動させた結果、そのコール
ドヘッド６における到達温度が、どのように低下したか
につき、その実験結果を示した図８により以下説明す
る。図８は、第１駆動時間ｔ1 と第２駆動時間ｔ2 につ
き、ｔ1 ＝ｔ2 と設定し、第１、第２の待ち時間ｗ1 、
ｗ2 についてもｗ1 ＝ｗ2 となし、この各ｗ1 、ｗ2 の
周期Ｔに対する比率をパラメータとして、コールドヘッ
ド６に冷却するものがないとき、すなわち熱的負荷のか
かっていないときにおける到達温度（Ｋ）を示したもの
である。従って同図から明らかな通り、横軸である上記
の比率が０であるときが、前記従来のＴ＝ｔ1 ＋ｔ2 に
よる駆動方法によるとき到達温度を示していることにな
る。
ィスパルス管冷凍機１Ａを稼動させた結果、そのコール
ドヘッド６における到達温度が、どのように低下したか
につき、その実験結果を示した図８により以下説明す
る。図８は、第１駆動時間ｔ1 と第２駆動時間ｔ2 につ
き、ｔ1 ＝ｔ2 と設定し、第１、第２の待ち時間ｗ1 、
ｗ2 についてもｗ1 ＝ｗ2 となし、この各ｗ1 、ｗ2 の
周期Ｔに対する比率をパラメータとして、コールドヘッ
ド６に冷却するものがないとき、すなわち熱的負荷のか
かっていないときにおける到達温度（Ｋ）を示したもの
である。従って同図から明らかな通り、横軸である上記
の比率が０であるときが、前記従来のＴ＝ｔ1 ＋ｔ2 に
よる駆動方法によるとき到達温度を示していることにな
る。
【００２０】上記の図８により理解される如く、待ち時
間ｗ1 、ｗ2 の時間を少しでも保有させた周期により駆
動を行うことで、可成り急勾配な到達温度の降下が見ら
れ、特に、当該第１の待ち時間ｗ1 との比率ｗ1 ／Ｔ
と、第２の待ち時間ｗ2 との比率ｗ2 ／Ｔとの双方につ
き、これを夫々１／６〜１／４としたとき、最も低温化
された到達温度となることが確認できた。
間ｗ1 、ｗ2 の時間を少しでも保有させた周期により駆
動を行うことで、可成り急勾配な到達温度の降下が見ら
れ、特に、当該第１の待ち時間ｗ1 との比率ｗ1 ／Ｔ
と、第２の待ち時間ｗ2 との比率ｗ2 ／Ｔとの双方につ
き、これを夫々１／６〜１／４としたとき、最も低温化
された到達温度となることが確認できた。
【００２１】もちろん、待ち時間ｗ1 、ｗ2 につき、最
適値を選定しようとするときは、各種のファクタを考慮
しなくてはならず、当該ファクタとしては、パルス管の
容量、蓄冷器の容量、ニードルバルブの開口面積、バッ
ファの容量、第１駆動時間ｔ1 と第２駆動時間ｔ2 との
比、駆動周波数、高圧側バルブと低圧側バルブの立ち上
り（開弁）時間と立ち下り（閉弁）時間、蓄冷器内のガ
ス状冷媒に対する抵抗、連結管等配管の抵抗、圧縮機
（コンプレッサ）の出力と効率等が考えられる。
適値を選定しようとするときは、各種のファクタを考慮
しなくてはならず、当該ファクタとしては、パルス管の
容量、蓄冷器の容量、ニードルバルブの開口面積、バッ
ファの容量、第１駆動時間ｔ1 と第２駆動時間ｔ2 との
比、駆動周波数、高圧側バルブと低圧側バルブの立ち上
り（開弁）時間と立ち下り（閉弁）時間、蓄冷器内のガ
ス状冷媒に対する抵抗、連結管等配管の抵抗、圧縮機
（コンプレッサ）の出力と効率等が考えられる。
【００２２】次に、上記図８につき説示の駆動方法によ
って、コールドヘッド６に熱的な負荷をかけた場合にお
ける冷却能力（Ｗ）についての実験結果を、図９により
以下説示する。ここで、当該冷却能力は、到達温度８０
Ｋの場合にあって、各待ち時間ｗ1 、ｗ2 の周期Ｔに対
する比率をパラメータとして示されており、もちろん当
該比率が０であるときの冷却能力値が、前記従来の駆動
方法によるとき冷却能力を示していることになる。従っ
て、本発明によるときは、その冷却能力につき、前記の
比率を大きくして行くことで、可成りの勾配により、こ
れを改善し得ることが確認され、ｗ1 とｗ2 のＴに対す
る比率が夫々１／１２〜１／４であるとき、可成りの冷
却能力に達し、なかでも１／６程度となったときには、
最大の冷却能力が発揮された。尚、実際上は、或程度以
上の到達温度低温化が要求されることになるから、到達
温度の４％程度、すなわち４５Ｋであれば１．８Ｋ、１
０Ｋであれば０．４Ｋ位の低温化が得られないと、利用
価値が極めて低いものとなってしまうと考えられる。従
って、待ち時間ｗ1 、ｗ2 のＴに対する比率は、上記の
要求に応じ得る範囲で低比率化したり、高比率化して行
くことができる。
って、コールドヘッド６に熱的な負荷をかけた場合にお
ける冷却能力（Ｗ）についての実験結果を、図９により
以下説示する。ここで、当該冷却能力は、到達温度８０
Ｋの場合にあって、各待ち時間ｗ1 、ｗ2 の周期Ｔに対
する比率をパラメータとして示されており、もちろん当
該比率が０であるときの冷却能力値が、前記従来の駆動
方法によるとき冷却能力を示していることになる。従っ
て、本発明によるときは、その冷却能力につき、前記の
比率を大きくして行くことで、可成りの勾配により、こ
れを改善し得ることが確認され、ｗ1 とｗ2 のＴに対す
る比率が夫々１／１２〜１／４であるとき、可成りの冷
却能力に達し、なかでも１／６程度となったときには、
最大の冷却能力が発揮された。尚、実際上は、或程度以
上の到達温度低温化が要求されることになるから、到達
温度の４％程度、すなわち４５Ｋであれば１．８Ｋ、１
０Ｋであれば０．４Ｋ位の低温化が得られないと、利用
価値が極めて低いものとなってしまうと考えられる。従
って、待ち時間ｗ1 、ｗ2 のＴに対する比率は、上記の
要求に応じ得る範囲で低比率化したり、高比率化して行
くことができる。
【００２３】以上の説示は、第１、第２の待ち時間ｗ
1 、ｗ2 を、第１、第２駆動時間ｔ1、ｔ2 に対して交
互に採択するようにした駆動方法であり、これが最も望
ましいのであるが、もちろん第１の待ち時間ｗ1 と第２
の待ち時間ｗ2 のうち、その一方だけを周期Ｔ内に設定
するようにしても、前記従来の駆動方法に比し可成りの
程度、コールドヘッド６の到達温度につき、その低温化
を図ることができるのであり、以下当該方法の実施態様
につき、図４と図５そして図６、図７を参照して説示す
る。
1 、ｗ2 を、第１、第２駆動時間ｔ1、ｔ2 に対して交
互に採択するようにした駆動方法であり、これが最も望
ましいのであるが、もちろん第１の待ち時間ｗ1 と第２
の待ち時間ｗ2 のうち、その一方だけを周期Ｔ内に設定
するようにしても、前記従来の駆動方法に比し可成りの
程度、コールドヘッド６の到達温度につき、その低温化
を図ることができるのであり、以下当該方法の実施態様
につき、図４と図５そして図６、図７を参照して説示す
る。
【００２４】図４の駆動周期Ｔは、第１駆動時間ｔ1 と
第２駆動時間ｔ2 との間、すなわち第１工程間に第１の
待ち時間ｗ1 だけ、高圧側バルブ３ａと低圧側バルブ３
ｂの双方を閉弁状態とすることで構成されている。従っ
て、この場合には図１についての説示により理解される
通り、第１駆動時間ｔ1 にあって高圧側バルブ３ａが開
弁、低圧側バルブ３ｂが閉弁となることから、高圧側２
ａのガス状冷媒Ｇ1 が高圧側バルブ３ａを通って、低圧
状態ＬＧのパルス管７に流れ、これにより高圧状態ＨＧ
となり、この際中圧状態ＭＧのバッファ１０内における
圧力は少し上昇するが中圧状態ＭＧであり、従って、高
圧側バルブ３ａにおける圧力差は大である。
第２駆動時間ｔ2 との間、すなわち第１工程間に第１の
待ち時間ｗ1 だけ、高圧側バルブ３ａと低圧側バルブ３
ｂの双方を閉弁状態とすることで構成されている。従っ
て、この場合には図１についての説示により理解される
通り、第１駆動時間ｔ1 にあって高圧側バルブ３ａが開
弁、低圧側バルブ３ｂが閉弁となることから、高圧側２
ａのガス状冷媒Ｇ1 が高圧側バルブ３ａを通って、低圧
状態ＬＧのパルス管７に流れ、これにより高圧状態ＨＧ
となり、この際中圧状態ＭＧのバッファ１０内における
圧力は少し上昇するが中圧状態ＭＧであり、従って、高
圧側バルブ３ａにおける圧力差は大である。
【００２５】次に第１の待ち時間ｗ1 へ移行するから、
高圧状態ＨＧのパルス管７からオリフィス弁９を介し、
バッファ１０へガス状冷媒Ｇ3 が流れることで、パルス
管７内が中圧状態ＭＧとなる。さらに、第２駆動時間ｔ
2 では高圧側バルブ３ａが閉弁して、低圧側バルブ３ｂ
が開弁となるから、中圧状態ＭＧのパルス管７から低圧
側バルブ３ｂの低圧側２ｂへガス状冷媒Ｇ2 が流れ、パ
ルス管７内が低圧状態となり、この際バッファ１０の内
圧は少し下がるが中圧状態ＭＧとなる。従って、低圧側
バルブ３ｂにおける圧力差は、中圧状態ＭＧと低圧との
差となるので、従来の駆動方法よりも、この膨張工程に
あって、低圧側バルブ３ｂによる圧力損失が低減され、
これに対応した到達温度の低下と冷却能力の向上を期待
し得ることになる。
高圧状態ＨＧのパルス管７からオリフィス弁９を介し、
バッファ１０へガス状冷媒Ｇ3 が流れることで、パルス
管７内が中圧状態ＭＧとなる。さらに、第２駆動時間ｔ
2 では高圧側バルブ３ａが閉弁して、低圧側バルブ３ｂ
が開弁となるから、中圧状態ＭＧのパルス管７から低圧
側バルブ３ｂの低圧側２ｂへガス状冷媒Ｇ2 が流れ、パ
ルス管７内が低圧状態となり、この際バッファ１０の内
圧は少し下がるが中圧状態ＭＧとなる。従って、低圧側
バルブ３ｂにおける圧力差は、中圧状態ＭＧと低圧との
差となるので、従来の駆動方法よりも、この膨張工程に
あって、低圧側バルブ３ｂによる圧力損失が低減され、
これに対応した到達温度の低下と冷却能力の向上を期待
し得ることになる。
【００２６】次に、図６に示された周期Ｔによって駆動
される場合には、第１駆動時間ｔ1に次いで第２駆動時
間ｔ2 へ移行され、さらに、これと次の第１駆動時間と
の間にあって第２の待ち時間ｗ2 が保有されることにな
る。従って、第１駆動時間ｔ1 にあっては、高圧側バル
ブ３ａが開弁、低圧側バルブ３ｂが閉弁となって、その
際中圧状態ＭＧとなっているパルス管７に、ガス状冷媒
Ｇ1 が流入することで高圧状態ＨＧに変化し、バッファ
１０の内圧は少し上昇するが中圧状態ＭＧを保持する。
この結果、当該圧縮工程にあっては、低圧側バルブ３ｂ
における圧力差が高圧と中圧状態ＭＧとの差となり、従
って、その圧力損失は従来法に比し半減し、これに相応
した到達温度と冷却能力に対する利益が受けられること
になる。
される場合には、第１駆動時間ｔ1に次いで第２駆動時
間ｔ2 へ移行され、さらに、これと次の第１駆動時間と
の間にあって第２の待ち時間ｗ2 が保有されることにな
る。従って、第１駆動時間ｔ1 にあっては、高圧側バル
ブ３ａが開弁、低圧側バルブ３ｂが閉弁となって、その
際中圧状態ＭＧとなっているパルス管７に、ガス状冷媒
Ｇ1 が流入することで高圧状態ＨＧに変化し、バッファ
１０の内圧は少し上昇するが中圧状態ＭＧを保持する。
この結果、当該圧縮工程にあっては、低圧側バルブ３ｂ
における圧力差が高圧と中圧状態ＭＧとの差となり、従
って、その圧力損失は従来法に比し半減し、これに相応
した到達温度と冷却能力に対する利益が受けられること
になる。
【００２７】そして、第２駆動時間ｔ2 では高圧側バル
ブ３ａが閉弁し、低圧側バルブ３ｂが開弁することで、
高圧状態ＨＧのガス状冷媒Ｇ2 がパルス管７より低圧側
２ｂへ流れ、パルス管７内は低圧状態ＬＧとなり、バッ
ファ１０内は少し降圧となるが中圧状態ＭＧで、ここで
は、低圧側バルブ３ｂに高圧状態ＨＧと低圧との大きな
差圧が加えられるので、その圧力損失は従来の場合と同
じになる。
ブ３ａが閉弁し、低圧側バルブ３ｂが開弁することで、
高圧状態ＨＧのガス状冷媒Ｇ2 がパルス管７より低圧側
２ｂへ流れ、パルス管７内は低圧状態ＬＧとなり、バッ
ファ１０内は少し降圧となるが中圧状態ＭＧで、ここで
は、低圧側バルブ３ｂに高圧状態ＨＧと低圧との大きな
差圧が加えられるので、その圧力損失は従来の場合と同
じになる。
【００２８】さらに、待ち時間ｗ2 が到来すると、高圧
側バルブ３ａと低圧側バルブ３ｂとが閉弁状態となり、
中圧状態ＭＧであるバッファ１０からオリフィス弁９を
通って、低圧状態ＬＧのパルス管７内にガス状冷媒Ｇ4
が流入し、これによりパルス管７内が中圧状態ＭＧとな
り、バッファ１０の圧力は少し降下することが中圧状態
ＭＧである。この結果、パルス管７は中圧状態ＭＧ下に
あって、上記の第１駆動時間ｔ1 の時間域へ移行するこ
とになり、前説した通り高圧側バルブ３ａにおける圧力
差が半減されることになる。
側バルブ３ａと低圧側バルブ３ｂとが閉弁状態となり、
中圧状態ＭＧであるバッファ１０からオリフィス弁９を
通って、低圧状態ＬＧのパルス管７内にガス状冷媒Ｇ4
が流入し、これによりパルス管７内が中圧状態ＭＧとな
り、バッファ１０の圧力は少し降下することが中圧状態
ＭＧである。この結果、パルス管７は中圧状態ＭＧ下に
あって、上記の第１駆動時間ｔ1 の時間域へ移行するこ
とになり、前説した通り高圧側バルブ３ａにおける圧力
差が半減されることになる。
【００２９】
【発明の効果】本発明は以上のようにして実施すること
ができるものであるから、請求項１によるときは、待ち
時間を適切に設定することで、オリフィスパルス管冷凍
機やダブルインレット型パルス管冷凍機を駆動する際、
パルス管内を中圧状態に保持させることができ、このこ
とにより、高圧側バルブや低圧側バルブの双方または一
方につき、その圧力差を低減でき、これにより当該バル
ブによる圧力損失を従来の駆動方法に対し、大幅に削減
できることになる。この結果、ここで消費しなかった圧
力損失相当のエネルギを、コールドヘッドの到達温度低
温化と、冷却能力の向上に活用することが可能となる。
従って、極低温冷凍装置の構成は、そのままでも、これ
を駆動する方法の改善により、この種装置につき高い性
能を安価にして容易に発揮させることができる。
ができるものであるから、請求項１によるときは、待ち
時間を適切に設定することで、オリフィスパルス管冷凍
機やダブルインレット型パルス管冷凍機を駆動する際、
パルス管内を中圧状態に保持させることができ、このこ
とにより、高圧側バルブや低圧側バルブの双方または一
方につき、その圧力差を低減でき、これにより当該バル
ブによる圧力損失を従来の駆動方法に対し、大幅に削減
できることになる。この結果、ここで消費しなかった圧
力損失相当のエネルギを、コールドヘッドの到達温度低
温化と、冷却能力の向上に活用することが可能となる。
従って、極低温冷凍装置の構成は、そのままでも、これ
を駆動する方法の改善により、この種装置につき高い性
能を安価にして容易に発揮させることができる。
【００３０】次に請求項２にあっては、上記の請求項１
における断続的な２回の待ち時間と、これまた断続的な
２回の圧縮工程と膨張工程とを、すべて相等しい時間域
となるようにし、かつ、上記各回の待ち時間について、
駆動の周期に対する比率を１／１２〜１／４となるよう
時間設定することで、コールドヘッドの到達温度と冷却
能力にかかる最も望ましい改善の結果が得られることを
確認できた。
における断続的な２回の待ち時間と、これまた断続的な
２回の圧縮工程と膨張工程とを、すべて相等しい時間域
となるようにし、かつ、上記各回の待ち時間について、
駆動の周期に対する比率を１／１２〜１／４となるよう
時間設定することで、コールドヘッドの到達温度と冷却
能力にかかる最も望ましい改善の結果が得られることを
確認できた。
【図１】（Ａ）はオリフィスパルス管冷凍機の構成図
で、（Ｂ）はこれを駆動する本発明の方法につき、周期
の内容を示した駆動工程図表である。
で、（Ｂ）はこれを駆動する本発明の方法につき、周期
の内容を示した駆動工程図表である。
【図２】ダブルインレット型パルス管冷凍機の構成図で
ある。
ある。
【図３】図１（Ｂ）の駆動工程図表による駆動方法の実
施に際し、オリフィスパルス管冷凍機におけるパルス管
内圧の経時変化を示した構成説明図で、（Ａ）は第１駆
動時間、（Ｂ）は第１の待ち時間、（Ｃ）は第２駆動時
間、（Ｄ）は第２の待ち時間の各変化状態である。
施に際し、オリフィスパルス管冷凍機におけるパルス管
内圧の経時変化を示した構成説明図で、（Ａ）は第１駆
動時間、（Ｂ）は第１の待ち時間、（Ｃ）は第２駆動時
間、（Ｄ）は第２の待ち時間の各変化状態である。
【図４】本発明に係る駆動方法の他種例による周期の内
容を示した駆動工程図表を示す。
容を示した駆動工程図表を示す。
【図５】図４の駆動工程図表による駆動方法の実施に際
し、オリフィスパルス管冷凍機におけるパルス管内圧の
経時変化を示した構成説明図で、（Ａ）は第１駆動時
間、（Ｂ）は第１の待ち時間、（Ｃ）は第２駆動時間の
各変化状態である。
し、オリフィスパルス管冷凍機におけるパルス管内圧の
経時変化を示した構成説明図で、（Ａ）は第１駆動時
間、（Ｂ）は第１の待ち時間、（Ｃ）は第２駆動時間の
各変化状態である。
【図６】本発明に係る駆動方法の異種例による周期の内
容を示した駆動工程図表を示す。
容を示した駆動工程図表を示す。
【図７】図６の駆動工程図表による駆動方法の実施に際
し、オリフィスパルス管冷凍機におけるパルス管内圧の
経時変化を示した構成説明図で、（Ａ）は第１駆動時
間、（Ｂ）は第２駆動時間、（Ｃ）は第２の待ち時間の
各変化状態である。
し、オリフィスパルス管冷凍機におけるパルス管内圧の
経時変化を示した構成説明図で、（Ａ）は第１駆動時
間、（Ｂ）は第２駆動時間、（Ｃ）は第２の待ち時間の
各変化状態である。
【図８】図１（Ｂ）による駆動方法の実施に基づき測知
したコールドヘッド無負荷時の到達温度につき、第１、
第２の各待ち時間の駆動に係る周期に対しての比率をパ
ラメータとして示した図表である。
したコールドヘッド無負荷時の到達温度につき、第１、
第２の各待ち時間の駆動に係る周期に対しての比率をパ
ラメータとして示した図表である。
【図９】図１（Ｂ）による駆動方法の実施に基づき測知
したコールドヘッド負荷時の冷却能力につき、到達温度
８０Ｋにあって、第１、第２の各待ち時間の駆動に係る
周期に対しての比率をパラメータとして示した図表であ
る。
したコールドヘッド負荷時の冷却能力につき、到達温度
８０Ｋにあって、第１、第２の各待ち時間の駆動に係る
周期に対しての比率をパラメータとして示した図表であ
る。
【図１０】オリフィスパルス管冷凍機の従来駆動方法の
周期内容を示した駆動工程図表である。
周期内容を示した駆動工程図表である。
【図１１】図１０の駆動工程表による従来駆動方法の実
施に際し、オリフィスパルス管冷凍機におけるパルス管
内圧の経時変化を示した構成説明図で、（Ａ）は第１駆
動時間、（Ｂ）は第２駆動時間の各変化状態である。
施に際し、オリフィスパルス管冷凍機におけるパルス管
内圧の経時変化を示した構成説明図で、（Ａ）は第１駆
動時間、（Ｂ）は第２駆動時間の各変化状態である。
１Ａ オリフィスパルス管冷凍機 １Ｂ ダブルインレット型パルス管冷凍機 ２ 圧縮機 ２ａ 高圧側 ２ｂ 低圧側 ３ａ 高圧側バルブ ３ｂ 低圧側バルブ ４ 連結管 ５ 蓄冷器 ５ａ 降温端部 ６ コールドヘッド ７ パルス管 ７ａ 寒冷端部 ７ｂ 高温端部 ８ 冷却部 ９ オリフィス弁 １０ バッファ １２ バイパス弁 Ｇ1 ガス状冷却 Ｇ2 ガス状冷却 Ｇ3 ガス状冷却 Ｇ4 ガス状冷却 ｗ1 待ち時間 ｗ2 待ち時間 Ｔ 周期
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−132404（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−322340（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−18621（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F25B 9/00 311
Claims (2)
- 【請求項１】 圧縮機の高圧側と低圧側が、夫々高圧側
バルブと低圧側バルブを介して連結管により蓄冷器の高
温端部に連結され、当該蓄冷器がコールドヘッドを介し
てパルス管の寒冷端部に連結されると共に、当該パルス
管の冷却部が設けられた高温端部からオリフィス弁を介
してバッファに連結されたオリフィスパルス管冷凍機、
または当該オリフィスパルス管冷凍機における連結され
た上記蓄冷器、コールドヘッド、パルス管にバイパス弁
を並列に連結したダブルインレット型パルス管冷凍機に
つき、これを所定の周期により駆動するに際し、低圧側
バブルが閉弁状態で、開弁状態にある高圧側バルブよ
り、圧縮機の高圧側であるガス状冷媒が、前記連結管か
らパルス管内へ送出される圧縮工程と、高圧側バルブが
閉弁状態で、開弁状態にある低圧側バルブより、パルス
管内におけるガス状冷媒が、前記連結管を介して圧縮機
の低圧側へ送入される膨張工程との第１工程間と、当該
膨張工程と次の圧縮工程との第２工程間との一方または
双方にあって、前記の高圧側バルブと低圧側バルブとの
双方を閉弁状態に保持する待ち時間が設定されるように
したことを特徴とするパルス管冷凍機の駆動方法。 - 【請求項２】 圧縮工程と膨張工程との第１工程間と膨
張工程と次の圧縮工程との第２工程間における夫々第１
の待ち時間と第２の待ち時間とが、何れも駆動に際して
の所定の周期に対して、１／１２〜１／４の比率となる
よう設定されている請求項１に記載のパルス管冷凍機の
駆動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30874696A JP3300973B2 (ja) | 1996-11-05 | 1996-11-05 | パルス管冷凍機の駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30874696A JP3300973B2 (ja) | 1996-11-05 | 1996-11-05 | パルス管冷凍機の駆動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10141791A JPH10141791A (ja) | 1998-05-29 |
| JP3300973B2 true JP3300973B2 (ja) | 2002-07-08 |
Family
ID=17984797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30874696A Expired - Fee Related JP3300973B2 (ja) | 1996-11-05 | 1996-11-05 | パルス管冷凍機の駆動方法 |
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|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011094835A (ja) * | 2009-10-27 | 2011-05-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | パルスチューブ冷凍機 |
| CN104697231B (zh) * | 2015-02-10 | 2017-03-01 | 浙江大学 | 一种级数可调的多级级联型脉管制冷机 |
-
1996
- 1996-11-05 JP JP30874696A patent/JP3300973B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH10141791A (ja) | 1998-05-29 |
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