JP3294744B2 - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
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- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 37
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
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Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電磁波による放電
を利用したオゾン発生装置に関する。
を利用したオゾン発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のオゾン発生装置としては、金属容
器内にガラス等の誘電体にて覆われた電極を配設し、金
属容器と電極間に電圧を印加して、これらの間に発生す
る放電をグロー放電とする無声放電を利用したオゾン発
生装置が用いられている。
器内にガラス等の誘電体にて覆われた電極を配設し、金
属容器と電極間に電圧を印加して、これらの間に発生す
る放電をグロー放電とする無声放電を利用したオゾン発
生装置が用いられている。
【０００３】図２はこの無声放電を利用したオゾン発生
装置の一例を示すもので、金属容器１５内には、ガラス
等の誘電体２６にて覆われた電極２５が、金属容器１５
に対して絶縁物１８により電気的に絶縁されて配置され
る。金属容器１５および電極２５には、これらの間で放
電を行わせるために、高電圧発生装置３５が接続され
る。また、金属容器１５には酸素を供給するための酸素
蓄積槽５３および金属容器１５内のオゾンを排気するた
めの排気装置５７が接続される。
装置の一例を示すもので、金属容器１５内には、ガラス
等の誘電体２６にて覆われた電極２５が、金属容器１５
に対して絶縁物１８により電気的に絶縁されて配置され
る。金属容器１５および電極２５には、これらの間で放
電を行わせるために、高電圧発生装置３５が接続され
る。また、金属容器１５には酸素を供給するための酸素
蓄積槽５３および金属容器１５内のオゾンを排気するた
めの排気装置５７が接続される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のオゾン発生装置では、放電を発生させるために、高
電圧発生装置３５が必要となる。また、無声放電を行う
ためのガラス等の誘電体２６が放電の熱により著しく損
傷するため、不経済となる。さらに、無声放電を発生さ
せるために、電極２５をガラス等の誘電体２６により覆
うため、装置自体も複雑となる。そこで、本発明は電磁
波を利用し、なおかつ電磁波のエネルギーを局部的に集
中させて、その強度を増加させることにより、効率良く
オゾンを発生させることができ、しかも放電の熱による
電極の損傷も少なく、装置自体も簡素化できるオゾン発
生装置を提供することを目的とする。
来のオゾン発生装置では、放電を発生させるために、高
電圧発生装置３５が必要となる。また、無声放電を行う
ためのガラス等の誘電体２６が放電の熱により著しく損
傷するため、不経済となる。さらに、無声放電を発生さ
せるために、電極２５をガラス等の誘電体２６により覆
うため、装置自体も複雑となる。そこで、本発明は電磁
波を利用し、なおかつ電磁波のエネルギーを局部的に集
中させて、その強度を増加させることにより、効率良く
オゾンを発生させることができ、しかも放電の熱による
電極の損傷も少なく、装置自体も簡素化できるオゾン発
生装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明では、円
筒空洞共振器と、この円筒空洞共振器内に酸素を供給す
る酸素蓄積槽と、前記円筒空洞共振器の軸方向の両端部
に、対向してそれぞれ配設された円筒電極と、前記円筒
空洞共振器に接続された電磁波発生器とを備え、前記電
磁波発生器により前記円筒空洞共振器内に電磁波を入力
し、前記円筒電極間にグロー放電を発生させて、前記円
筒空洞共振器内の酸素をオゾンにする。これにより、電
磁波発生器から円筒空洞共振器に入力された電磁波によ
って、円筒電極間の電界が高められて、円筒電極間にグ
ロー放電が発生するので、このグロー放電により、酸素
蓄積槽から円筒空洞共振器内に供給された酸素がオゾン
となる。
筒空洞共振器と、この円筒空洞共振器内に酸素を供給す
る酸素蓄積槽と、前記円筒空洞共振器の軸方向の両端部
に、対向してそれぞれ配設された円筒電極と、前記円筒
空洞共振器に接続された電磁波発生器とを備え、前記電
磁波発生器により前記円筒空洞共振器内に電磁波を入力
し、前記円筒電極間にグロー放電を発生させて、前記円
筒空洞共振器内の酸素をオゾンにする。これにより、電
磁波発生器から円筒空洞共振器に入力された電磁波によ
って、円筒電極間の電界が高められて、円筒電極間にグ
ロー放電が発生するので、このグロー放電により、酸素
蓄積槽から円筒空洞共振器内に供給された酸素がオゾン
となる。
【０００６】請求項２の発明では、請求項１記載の発明
において、円筒空洞共振器内の電磁波モードをＴＭ010
モードとする。これにより、円筒電極間にグロー放電を
容易に発生させることができるので、酸素を容易にオゾ
ンにすることが可能となる。
において、円筒空洞共振器内の電磁波モードをＴＭ010
モードとする。これにより、円筒電極間にグロー放電を
容易に発生させることができるので、酸素を容易にオゾ
ンにすることが可能となる。
【０００７】請求項３の発明では、請求項１または２記
載の発明において、円筒空洞共振器の材質を銅とする。
これにより、電磁波の共振の鋭さＱが大きく取れ、電磁
波エネルギー入力の速やかなスイッチングが可能とな
り、グロー放電の発生および消滅が自動的に、かつ速や
かに行われるので、効率良く酸素をオゾンに変えること
が可能となる。
載の発明において、円筒空洞共振器の材質を銅とする。
これにより、電磁波の共振の鋭さＱが大きく取れ、電磁
波エネルギー入力の速やかなスイッチングが可能とな
り、グロー放電の発生および消滅が自動的に、かつ速や
かに行われるので、効率良く酸素をオゾンに変えること
が可能となる。
【０００８】請求項４の発明では、請求項１，２または
３記載の発明において、円筒空洞共振器１１を接地す
る。これにより、動作中に誤って円筒空洞共振器に触れ
たとしても、感電の恐れがない。
３記載の発明において、円筒空洞共振器１１を接地す
る。これにより、動作中に誤って円筒空洞共振器に触れ
たとしても、感電の恐れがない。
【０００９】請求項５の発明では、請求項１，２，３ま
たは４記載の発明において、円筒電極の材質をタングス
テンまたはモリブデンを含む金属とする。これにより、
円筒電極のグロー放電の熱による損傷が少なくなるの
で、安定した放電が可能となり、高性能なオゾン発生装
置となる。
たは４記載の発明において、円筒電極の材質をタングス
テンまたはモリブデンを含む金属とする。これにより、
円筒電極のグロー放電の熱による損傷が少なくなるの
で、安定した放電が可能となり、高性能なオゾン発生装
置となる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の実施例を図１に基づいて
詳細に説明する。図１において、金属製の接地された円
筒空洞共振器１１の軸方向の両端部には、金属製の円筒
電極２１，２２が対向して配設される。なお、円筒空洞
共振器１１の材質としては、銅を使用することが好まし
く、円筒電極２１，２２の材質としては、タングステン
またはモリブデンを含む金属を使用することが好まし
い。円筒空洞共振器１１内に電磁波を入力する電磁波発
生器３１は、同軸ケーブル４１によって、円筒電極２１
に接続される。この場合、円筒空洞共振器１１内の電磁
波モードはＴＭ010 であることが望ましい。酸素蓄積槽
５１は円筒電極２２に接続されており、円筒電極２２の
中空部を介して、円筒空洞共振器１１内に酸素を供給す
る。排気装置５５は円筒電極２１に接続されており、円
筒空洞共振器１１内で発生したオゾンを円筒電極２１の
中空部を介して取り出す。
詳細に説明する。図１において、金属製の接地された円
筒空洞共振器１１の軸方向の両端部には、金属製の円筒
電極２１，２２が対向して配設される。なお、円筒空洞
共振器１１の材質としては、銅を使用することが好まし
く、円筒電極２１，２２の材質としては、タングステン
またはモリブデンを含む金属を使用することが好まし
い。円筒空洞共振器１１内に電磁波を入力する電磁波発
生器３１は、同軸ケーブル４１によって、円筒電極２１
に接続される。この場合、円筒空洞共振器１１内の電磁
波モードはＴＭ010 であることが望ましい。酸素蓄積槽
５１は円筒電極２２に接続されており、円筒電極２２の
中空部を介して、円筒空洞共振器１１内に酸素を供給す
る。排気装置５５は円筒電極２１に接続されており、円
筒空洞共振器１１内で発生したオゾンを円筒電極２１の
中空部を介して取り出す。
【００１１】かかるオゾン発生装置において、オゾンを
発生させるには、酸素蓄積槽５１から円筒電極２２の中
空部を介して、円筒空洞共振器１１内に酸素を供給す
る。次に、電磁波発生器３１から電磁波を同軸ケーブル
４１を介して円筒空洞共振器１１内に、円筒空洞共振器
１１内の電磁波モードがＴＭ010 モードとなるように入
力すると、円筒電極２１，２２間の電界が高められる。
この結果、円筒電極２１，２２間にグロー放電が発生
し、円筒空洞共振器１１内の酸素がオゾンになる。この
オゾンは、排気装置５５によって、円筒電極２１の中空
部を介して、円筒空洞共振器１１の外部へ取り出され
る。
発生させるには、酸素蓄積槽５１から円筒電極２２の中
空部を介して、円筒空洞共振器１１内に酸素を供給す
る。次に、電磁波発生器３１から電磁波を同軸ケーブル
４１を介して円筒空洞共振器１１内に、円筒空洞共振器
１１内の電磁波モードがＴＭ010 モードとなるように入
力すると、円筒電極２１，２２間の電界が高められる。
この結果、円筒電極２１，２２間にグロー放電が発生
し、円筒空洞共振器１１内の酸素がオゾンになる。この
オゾンは、排気装置５５によって、円筒電極２１の中空
部を介して、円筒空洞共振器１１の外部へ取り出され
る。
【００１２】
【発明の効果】請求項１の発明のオゾン発生装置におい
ては、電磁波発生器３１から同軸ケーブル４１を介して
入力された電磁波により、円筒電極２１，２２間の電界
が高められて、円筒電極２１，２２間にグロー放電が発
生し、このグロー放電により、酸素蓄積槽５１から円筒
空洞共振器１１内に供給された酸素をオゾンとし、この
オゾンを排気装置５５により取り出すことができるの
で、容易にオゾンを発生させることができ、しかも放電
の熱による円筒電極２１，２２の損傷も少なく、装置自
体も簡素化できる。
ては、電磁波発生器３１から同軸ケーブル４１を介して
入力された電磁波により、円筒電極２１，２２間の電界
が高められて、円筒電極２１，２２間にグロー放電が発
生し、このグロー放電により、酸素蓄積槽５１から円筒
空洞共振器１１内に供給された酸素をオゾンとし、この
オゾンを排気装置５５により取り出すことができるの
で、容易にオゾンを発生させることができ、しかも放電
の熱による円筒電極２１，２２の損傷も少なく、装置自
体も簡素化できる。
【００１３】請求項２の発明のオゾン発生装置において
は、円筒空洞共振器１１内の電磁波モードをＴＭ010 モ
ードとするので、むやみに電磁波発生器３１の出力を上
げなくても、容易にグロー放電を発生させることができ
るので、酸素を容易にオゾンに変えることが可能とな
る。
は、円筒空洞共振器１１内の電磁波モードをＴＭ010 モ
ードとするので、むやみに電磁波発生器３１の出力を上
げなくても、容易にグロー放電を発生させることができ
るので、酸素を容易にオゾンに変えることが可能とな
る。
【００１４】請求項３の発明のオゾン発生装置において
は、円筒空洞共振器１１の材質を銅とするので、円筒空
洞共振器１１の電磁波の共振の鋭さＱが大きく取れ、電
磁波エネルギー入力の速やかなスイッチングが可能とな
り、グロー放電の発生および消滅が自動的にかつ速やか
に行われるので、放電状態を制御するための制御回路を
必要とせず、またオゾン発生に必要な効率的な放電状態
を維持することが可能となるので、効率良く酸素をオゾ
ンに変えることが可能となる。
は、円筒空洞共振器１１の材質を銅とするので、円筒空
洞共振器１１の電磁波の共振の鋭さＱが大きく取れ、電
磁波エネルギー入力の速やかなスイッチングが可能とな
り、グロー放電の発生および消滅が自動的にかつ速やか
に行われるので、放電状態を制御するための制御回路を
必要とせず、またオゾン発生に必要な効率的な放電状態
を維持することが可能となるので、効率良く酸素をオゾ
ンに変えることが可能となる。
【００１５】請求項４の発明のオゾン発生装置におい
て、円筒空洞共振器１１を接地することによって、動作
中に誤って円筒空洞共振器１１に触れたとしても、感電
の恐れがない。
て、円筒空洞共振器１１を接地することによって、動作
中に誤って円筒空洞共振器１１に触れたとしても、感電
の恐れがない。
【００１６】請求項５の発明のオゾン発生装置において
は、円筒電極２１，２２の材質をタングステンまたはモ
リブデンを含む金属とするので、グロー放電の熱による
損傷が少なくなるので、安定した放電が可能となり、高
性能なオゾン発生装置となる。
は、円筒電極２１，２２の材質をタングステンまたはモ
リブデンを含む金属とするので、グロー放電の熱による
損傷が少なくなるので、安定した放電が可能となり、高
性能なオゾン発生装置となる。
【図１】本発明のオゾン発生装置の一実施例を示す図で
ある。
ある。
【図２】従来のオゾン発生装置の一例を示す図である。
１１ 円筒空洞共振器 ２１ 円筒電極 ２２ 円筒電極 ３１ 電磁波発生器 ４１ 同軸ケーブル ５１ 酸素蓄積槽 ５５ 排気装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C01B 13/11 B01J 19/12
Claims (5)
- 【請求項１】 円筒空洞共振器と、 この円筒空洞共振器内に酸素を供給する酸素蓄積槽と、 前記円筒空洞共振器の軸方向の両端部に、対向してそれ
ぞれ配設された円筒電極と、 前記円筒空洞共振器に接続された電磁波発生器とを備
え、 前記電磁波発生器により前記円筒空洞共振器内に電磁波
を入力し、前記円筒電極間にグロー放電を発生させて、
前記円筒空洞共振器内の酸素をオゾンにする、ことを特
徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項２】 前記円筒空洞共振器内の電磁波モードが
ＴＭ010 モードである請求項１記載のオゾン発生装置。 - 【請求項３】 前記円筒空洞共振器の材質が銅である請
求項１または２記載のオゾン発生装置。 - 【請求項４】 前記円筒空洞共振器を接地した請求項
１，２または３記載のオゾン発生装置。 - 【請求項５】 前記円筒電極の材質がタングステンまた
はモリブデンを含む金属である請求項１，２，３または
４記載のオゾン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27211395A JP3294744B2 (ja) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27211395A JP3294744B2 (ja) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | オゾン発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0986905A JPH0986905A (ja) | 1997-03-31 |
| JP3294744B2 true JP3294744B2 (ja) | 2002-06-24 |
Family
ID=17509272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27211395A Expired - Fee Related JP3294744B2 (ja) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3294744B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100497458B1 (ko) * | 2003-02-17 | 2005-06-29 | 노병대 | 마이크로파를 이용한 프라즈마에 의한 오존 발생장치 |
-
1995
- 1995-09-27 JP JP27211395A patent/JP3294744B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0986905A (ja) | 1997-03-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |