JP3292307B2 - IC test equipment - Google Patents

IC test equipment

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JP3292307B2
JP3292307B2 JP03053192A JP3053192A JP3292307B2 JP 3292307 B2 JP3292307 B2 JP 3292307B2 JP 03053192 A JP03053192 A JP 03053192A JP 3053192 A JP3053192 A JP 3053192A JP 3292307 B2 JP3292307 B2 JP 3292307B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明はメモリのようなICを
試験するIC試験装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC testing apparatus for testing an IC such as a memory.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4に従来のIC試験装置に用いる論理
比較器の部分の概要を示す。図中1は被試験ICを示
す。この被試験IC1にはパターン発生器2から試験パ
ターン信号が与えられる。被試験IC1は試験パターン
信号を一時記憶し、読み出指令により読出動作を行な
い、その読出出力をアナログ比較部4を通じて論理比較
器3に入力する。
2. Description of the Related Art FIG. 4 shows an outline of a logical comparator used in a conventional IC test apparatus. In the figure, reference numeral 1 denotes an IC under test. This IC under test 1 is supplied with a test pattern signal from the pattern generator 2. The IC under test 1 temporarily stores the test pattern signal, performs a read operation in response to a read command, and inputs the read output to the logical comparator 3 through the analog comparator 4.

【0003】アナログ比較部4ではH論理の基準電圧H
・REFが与えられたアナログ比較器4Hと、L論理の
基準電圧をL・REFが与えられたアナログ比較器4L
とによって構成され、被試験ICから読出される論理信
号の論理レベルが正規のH論理レベル及びL論理レベル
を持っているか否かを判定する。この判定結果はストロ
ーブパルスSTRBによって打抜かれて出力される。
In the analog comparing section 4, a reference voltage H of H logic is used.
An analog comparator 4H to which REF is applied and an analog comparator 4L to which L · REF is applied
And determines whether or not the logic level of the logic signal read from the IC under test has the normal H logic level and L logic level. This determination result is punched out by the strobe pulse STRB and output.

【0004】つまりアナログ比較器4Hと4Lは被試験
IC1が正規のレベルを持つH論理及びL論理を出力し
ている状態ではL論理を出力する。論理比較器3はゲー
トG1 〜G7 とオアゲートOR1 〜OR3 とによって構
成される。ゲートG1 は期待値パターン信号がH期待値
のとき判定結果を出力する論理比較器として動作する。
ゲートG2 は期待値パターン信号がZ期待値(被試験I
C1がH論理とL論理の中間の電位を出力している状態
のとき判定結果を出力する論理比較器として動作する。
ゲートG3 は期待値パターン信号がL期待値のとき判定
結果を出力する論理比較器として動作する。
That is, the analog comparators 4H and 4L output L logic when the IC under test 1 outputs H logic and L logic having regular levels. Logical comparator 3 is constituted by the gate G 1 ~G 7 and the OR gate OR 1 ~OR 3. The gate G 1 is the expected value pattern signal operates as a logic comparator for outputting a determination result when the H expected.
The gate G 2 outputs the expected value pattern signal whose Z expected value (I under test I).
When C1 outputs a potential intermediate between H logic and L logic, it operates as a logic comparator that outputs a determination result.
The gate G 3 are operated as a logical comparator for outputting a determination result when the expected value pattern signal is L expectations.

【0005】3AはゲートG1 とG3 の出力をオアゲー
トOR1 で取出すことにより期待値がH期待値又はL期
待値のとき不良検出信号H・L・FAILを出力する出
力端子、3BはゲートG2 から期待値がZ期待値のとき
不良検出信号Z・FAILを出力する出力端子、3Cは
ゲートG1 〜G3 の全てをオアゲートOR2 で論理和を
とって全ての期待値の状態の不良検出信号FMFを出力
する出力端子を示す。
[0005] 3A is output the expected value by taking the output of gate G 1 and G 3 in the OR gate OR 1 outputs a defect detection signal H · L · FAIL at H expected values or L expectation, 3B gate output the expected value from the G 2 outputs a defect detection signal Z · FAIL when Z expectation, 3C is the state of all the expected values taking the logical sum of all of the gate G 1 ~G 3 OR gate OR 2 The output terminal for outputting the failure detection signal FMF is shown.

【0006】従来はこの出力端子3Cに加えて出力端子
3Dが設けられる。この出力端子3DはゲートG4 〜G
6 の判定結果をオアゲートOR3 で取出した不良検出信
号FMCの出力端子を示す。この出力端子3Dに出力さ
れる信号FMCによりフェイル発生時の被試験IC1の
出力の論理の内容を知ることができる。つまり図5に示
すように被試験IC1が正常(パス)のとき信号FMF
は、L論理、信号FMCは不定となる。また不良(フェ
イル)のとき、信号FMCはH論理、信号FMCは図6
のように定義される。図6において、期待値パターン信
号EXPH及びEXPLが共に「0」、「0」のとき、
(この場合、期待値はドントケアと称す)出力信号FM
C、及び被試験IC1の出力は不定である。
Conventionally, an output terminal 3D is provided in addition to the output terminal 3C. The output terminal 3D gate G 4 ~G
An output terminal of the failure detection signal FMC obtained by taking out the determination result of 6 by the OR gate OR 3 is shown. From the signal FMC output to the output terminal 3D, it is possible to know the contents of the logic of the output of the IC under test 1 when a failure occurs. That is, as shown in FIG. 5, when the IC under test 1 is normal (pass), the signal FMF is output.
Is L logic, and the signal FMC is undefined. In the case of a failure (fail), the signal FMC is at H logic, and the signal FMC is shown in FIG.
Is defined as In FIG. 6, when the expected value pattern signals EXPH and EXPL are both “0” and “0”,
(In this case, the expected value is called don't care.) Output signal FM
The output of C and the IC under test 1 is undefined.

【0007】期待値がL、つまり期待値パターン信号E
XPHが「0」、EXPLが「1」出力信号FMCが0
のとき被試験IC1の出力はH論理となる。出力信号F
MC「1」であれば被試験IC1の出力は高インピーダ
ンス状態Z(H論理とL論理の中間値)となる。期待値
がH論理のとき、つまり期待値パターン信号EXPHが
「1」EXPLの「0」のとき、出力信号FMCが
「0」であれば被試験IC1の出力はL論理、FMCが
「1」であれば被試験IC1の出力は高インピーダンス
Zとなる。
The expected value is L, that is, the expected value pattern signal E
XPH is "0", EXPL is "1". Output signal FMC is 0.
At this time, the output of the IC under test 1 becomes H logic. Output signal F
If MC is “1”, the output of the IC under test 1 is in the high impedance state Z (an intermediate value between H logic and L logic). When the expected value is H logic, that is, when the expected value pattern signal EXPH is “1” and EXPL is “0”, if the output signal FMC is “0”, the output of the IC under test 1 is L logic and FMC is “1”. In this case, the output of the IC under test 1 has a high impedance Z.

【0008】期待値がZ、つまり期待値パターン信号E
XPHが「1」、EXPLが「1」のとき、出力信号F
MCが「0」であれば被試験IC1の出力はH、FMC
が「1」であれば被試験IC1の出力はLとなる。
The expected value is Z, that is, the expected value pattern signal E
When XPH is “1” and EXPL is “1”, the output signal F
If MC is “0”, the output of IC under test 1 is H, FMC
Is “1”, the output of the IC under test 1 becomes L.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
は出力信号FMFが0か1かによって被試験IC1がパ
スかフェイルかを判定し、更に出力信号FMCの論理値
によって被試験IC1の出力状態を判定できるようにし
ているが、被試験IC1の出力状態を判定するには従来
は期待値パターン信号EXPH及びEXPLを照合しな
いと被試験IC1の出力の状態、つまりH論理でフェイ
ルしたのかL論理でフェイルしたのかを判定することが
できなかった。
As described above, conventionally, it is determined whether the IC under test 1 is pass or fail based on whether the output signal FMF is 0 or 1, and the output of the IC under test 1 is further determined based on the logical value of the output signal FMC. Although the state can be determined, in order to determine the output state of the IC under test 1, conventionally, the output state of the IC under test 1 must be collated with the expected value pattern signals EXPH and EXPL, that is, whether the output of the IC under test 1 has failed due to H logic. It was not possible to determine whether or not the logic failed.

【0010】この発明の目的は期待値パターン信号を照
合することなく、フェイルしたときの被試験ICの出力
の状態を知ることができるIC試験装置を提供しようと
するものである。
An object of the present invention is to provide an IC test apparatus capable of knowing the output state of an IC under test when a failure occurs without collating an expected value pattern signal.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】この発明では被試験IC
の出力を正規のH論理レベル及びL論理レベルを持つか
否かを判定するアナログ比較器と、このアナログ比較器
の出力を期待値パターン信号と比較し、不一致を検出し
て被試験ICのフェイルを検出する論理比較器とを具備
して構成されるIC試験装置において、論理比較器の判
定結果によって開閉制御される一対のゲートを設け、こ
の一対のゲートにアナログ比較器の比較出力を与え、こ
れら一対のゲートの出力により、フェイルの発生と、そ
のフェイル発生時の被試験ICの論理状態を判定できる
IC試験装置を提供する。
According to the present invention, an IC under test is provided.
An analog comparator which determines whether the output of the IC has the normal H logic level and L logic level, compares the output of the analog comparator with an expected value pattern signal, detects a mismatch, and fails the IC under test. In a IC test apparatus comprising a logical comparator for detecting a logical comparator, a pair of gates that are controlled to open and close according to the determination result of the logical comparator is provided, and a comparison output of the analog comparator is given to the pair of gates. An IC test apparatus capable of determining the occurrence of a failure and the logic state of the IC under test at the time of the occurrence of the failure by the outputs of the pair of gates is provided.

【0012】この発明によれば論理比較器が被試験IC
の出力を期待値と比較し、不一致(フェイル)が検出さ
れる毎に一対のゲートを開に制御する。この一対のゲー
トの他方の入力端子には一対のアナログ比較器の出力が
別々に与えられる。従ってフェイル発生時にアナログ比
較器の出力の状態が一対のゲートを通じて取出されるか
ら、この一対のゲートから出力される信号によってフェ
イルの発生と被試験ICの出力の論理状態を知ることが
できる。
According to the present invention, the logic comparator is an IC under test.
Is compared with an expected value, and each time a mismatch is detected, a pair of gates is controlled to open. The outputs of the pair of analog comparators are separately provided to the other input terminals of the pair of gates. Therefore, when a failure occurs, the state of the output of the analog comparator is taken out through a pair of gates. Therefore, it is possible to know the occurrence of a failure and the logic state of the output of the IC under test by the signals output from the pair of gates.

【0013】[0013]

【実施例】図1にこの発明の一実施例を示す。図中図4
と対応する部分には同一符号を付して示す。この発明で
はアナログ比較部4と論理比較器3とを具備して構成さ
れるIC試験装置において、論理比較器3を3個のゲー
トG1 、G2 、G3 と、2個のオアゲートOR1 、OR
2 とによって構成すると共に、論理比較結果を論理和し
て取出すオアゲートOR2 の出力信号FMFを一対のゲ
ート5A、5Bに与える。出力信号FMFはこの例では
フェイルが発生するとH論理となる。従って一対のゲー
ト5A、5Bとしてアンドゲートを用いることにより、
論理判定結果にフェイルが発生する毎に信号FMFによ
りこれら一対のゲート5Aと5Bは開に制御される。
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. Figure 4 in the figure
The parts corresponding to are denoted by the same reference numerals. In the IC testing device constituted by including an analog comparator unit 4 and the logical comparator 3 in the present invention, a logic comparator 3 three gates G 1, G 2, G 3 , 2 pieces of OR gates OR 1 , OR
Together constituted by two, it provides an output signal FMF of the OR gate OR 2 taking out logically OR logical comparison pair of gates 5A, in 5B. In this example, the output signal FMF becomes H logic when a failure occurs. Therefore, by using an AND gate as the pair of gates 5A and 5B,
Each time a failure occurs in the logical determination result, the pair of gates 5A and 5B is controlled to be open by the signal FMF.

【0014】一方ゲート5Aと5Bの各他方の入力端子
にはアナログ比較部4の比較結果を入力する。つまりゲ
ート5Aの他方の入力端子にH論理用アナログ比較器4
Aの出力を与える。またゲート5Bの他方の入力端子に
はアナログ比較器4Bの出力を与える。アナログ比較器
4Aには正規のH論理レベルを規定する比較電圧H・R
EFが与えられる。被試験IC1の出力信号DOUT (図
2A)がこの比較電圧H・REFより低い電圧範囲にあ
るときはこのアナログ比較器4Aの出力信号SHは図2
Bに示すようにH論理を出力し、DOUT がH・REFよ
り高くなると出力信号SHはL論理に反転する。
On the other hand, the comparison result of the analog comparison section 4 is input to the other input terminals of the gates 5A and 5B. That is, the analog comparator 4 for H logic is connected to the other input terminal of the gate 5A.
Give the output of A. The output of the analog comparator 4B is given to the other input terminal of the gate 5B. The analog comparator 4A has a comparison voltage HR that defines a normal H logic level.
EF is given. When the output signal D OUT (FIG. 2A) of the IC under test 1 is in a voltage range lower than the comparison voltage H.REF, the output signal SH of the analog comparator 4A is
As shown in B, H logic is output, and when D OUT becomes higher than H · REF, the output signal SH is inverted to L logic.

【0015】アナログ比較器4Bには正規のL論理レベ
ルを規定する比較電圧L・REFが与えられる。被試験
IC1の出力信号DOUT がこの比較電圧より低い領域で
はアナログ比較器4Bの出力信号SLは図2Cに示すよ
うにL論理を維持するが、D OUT が比較電圧L・REF
より高い電圧に高上るとアナログ比較器4Bの出力信号
SLはH論理に反転する。
The analog comparator 4B has a regular L logic level.
And a comparison voltage L.REF that defines the Test
Output signal D of IC1OUTIs lower than this comparison voltage
Is the output signal SL of the analog comparator 4B as shown in FIG. 2C.
Maintain the L logic OUTIs the comparison voltage L · REF
When the voltage rises to a higher voltage, the output signal of the analog comparator 4B
SL is inverted to H logic.

【0016】従って一対のゲート5Aと5Bの何れか一
方からH論理が出力されたとき、論理比較にフェイルが
発生したことが解る。然も被試験IC1の出力信号D
OUT の論理を判定することができる。つまりゲート5A
からH論理が出力された場合にはアナログ比較器4Aが
H論理を出力している状態でフェイルが発生したことに
なるから、被試験IC1はL論理を出力している状態で
フェイルが発生したことが解る。
Accordingly, when H logic is output from one of the pair of gates 5A and 5B, it can be understood that a failure has occurred in the logic comparison. Of course, the output signal D of the IC under test 1
OUT logic can be determined. That is, the gate 5A
When H logic is output from the IC, a failure occurs while the analog comparator 4A is outputting H logic, so that the IC under test 1 generates a failure while outputting L logic. I understand.

【0017】またゲート5BからH論理が出力された場
合にはアナログ比較器4BがH論理を出力している状態
でフェイルが発生したことになるから、被試験IC1は
H論理を出力している状態でフェイルが発生したと判定
することができる。一方ゲート5A、5Bの双方からH
論理が出力された場合にはアナログ比較器4A、4Bの
双方がH論理を出力している状態でフェイルが発生した
ことが解る。つまり図2Aに示すように被試験IC1の
出力信号DOUT がH論理とL論理の間の領域Z(高イン
ピーダンス)を横切っている状態でフェイルが発生した
ことが解る。
When the logic "H" is output from the gate 5B, a failure has occurred while the analog comparator 4B is outputting the logic "H". Therefore, the IC 1 under test outputs the logic "H". In this state, it can be determined that a failure has occurred. On the other hand, both gates 5A and 5B
When the logic is output, it is understood that a failure has occurred while both of the analog comparators 4A and 4B are outputting the H logic. That is, as shown in FIG. 2A, it can be understood that a failure has occurred while the output signal D OUT of the IC under test crosses the area Z (high impedance) between the H logic and the L logic.

【0018】図3にゲート5Aと5Bの出力H・RES
ULTとL・RESULTの論理と被試験IC1の出力
信号DOUT の論理の関係を示す。H・RESULTとL
・RESULTが共に「0」論理のときパス(正常)を
意味している。
FIG. 3 shows the outputs H.RES of the gates 5A and 5B.
The relationship between the logic of ULT and L · RESULT and the logic of the output signal D OUT of the IC under test 1 is shown. H ・ RESULT and L
When both RESULTs are “0” logic, it means pass (normal).

【0019】[0019]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
ゲート5Aと5Bの2ビットのデータによりフェイルの
発生と、そのときの被試験IC1の論理状態を判定する
ことができる。よってこの2ビットのデータをメモリに
取込んでおくことによりフェイルの発生原因を解析する
に都合がよく、フェイル発生原因の究明を短時間に行な
うことができる利点が得られる。
As described above, according to the present invention, the occurrence of a failure and the logic state of the IC under test 1 can be determined based on the 2-bit data of the gates 5A and 5B. Therefore, by storing the 2-bit data in the memory, it is convenient to analyze the cause of the occurrence of the failure, and the advantage that the cause of the occurrence of the failure can be determined in a short time is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施例を示す接続図。FIG. 1 is a connection diagram showing one embodiment of the present invention.

【図2】アナログ比較器の動作を説明するための波形
図。
FIG. 2 is a waveform chart for explaining the operation of the analog comparator.

【図3】この発明の動作を説明するための図。FIG. 3 is a diagram for explaining the operation of the present invention.

【図4】従来の技術を説明するための接続図。FIG. 4 is a connection diagram for explaining a conventional technique.

【図5】従来の技術の動作を説明するための図。FIG. 5 is a diagram for explaining the operation of the conventional technique.

【図6】図5と同様の図。FIG. 6 is a view similar to FIG. 5;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 被試験IC 2 パターン発生器 3 論理比較器 4A、4B アナログ比較器 5A、5B ゲート REFERENCE SIGNS LIST 1 IC under test 2 Pattern generator 3 Logical comparator 4A, 4B Analog comparator 5A, 5B Gate

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 被試験ICが出力する信号が正規のH論
理レベルを持つか否か及び正規のL論理レベルを持つか
否かを判定するアナログ比較器と、このアナログ比較器
の比較出力と期待値パターンとを論理比較し、不一致を
検出してフェイルと判定する論理比較器とを具備したI
C試験装置において、 上記論理比較器がフェイルと判定する毎に開の状態に
御される一対のゲートを設け、この一対のゲートのそれ
ぞれに上記アナログ比較器の比較出力を与え、この一対
のゲートの出力によりフェイルの発生と、そのフェイル
発生時の被試験ICの出力の論理値とを判定できるよう
に構成したIC試験装置。
An analog comparator for determining whether a signal output from an IC under test has a regular H logic level and a regular L logic level, and a comparison output of the analog comparator. A logical comparator for logically comparing an expected value pattern and detecting a mismatch to determine a failure.
In C the test apparatus, a pair of gates the logical comparator is braking <br/> control to the open state for each determined as fail provided that the pair of gate
Gives a comparison output of the analog comparator, respectively, and occurrence of fail by the output of the pair of gate, IC testing device configured to be able determine the logical value of the output of the IC at the time of failure occurrence.
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