JP3223924B2 - Logic comparator for IC test equipment - Google Patents

Logic comparator for IC test equipment

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JP3223924B2
JP3223924B2 JP02678692A JP2678692A JP3223924B2 JP 3223924 B2 JP3223924 B2 JP 3223924B2 JP 02678692 A JP02678692 A JP 02678692A JP 2678692 A JP2678692 A JP 2678692A JP 3223924 B2 JP3223924 B2 JP 3223924B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は例えばメモリのような
ICを試験する場合に用いるIC試験用論理比較器に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC test logical comparator used for testing an IC such as a memory.

【0002】[0002]

【従来の技術】IC試験装置では被試験ICに試験パタ
ーン信号を与えると共に、その応答出力信号を論理比較
器に与え、論理比較器において応答出力信号と期待値パ
ターン信号とを比較し、不一致が検出される毎に不良解
析メモリに不良を表わす例えばH論理のデータを書き込
み、不良解析データとして保存している。
2. Description of the Related Art In an IC test apparatus, a test pattern signal is supplied to an IC under test, and a response output signal is supplied to a logical comparator. The logical comparator compares the response output signal with an expected value pattern signal. Each time it is detected, data of, for example, H logic indicating a failure is written in the failure analysis memory and stored as failure analysis data.

【0003】従来より論理比較器にはノーマルコンパレ
ート方式と、倍速コンパレート方式とが存在する。ノー
マルコンパレート方式は1テストサイクル内で1回の論
理比較動作を行なう回路構造とされ、倍速コンパレート
方式は1テストサイクル内で2回の論理比較動作を行な
う回路構造とされる。倍速コンパレート方式を採ること
により1テストサイクル内に2回の論理比較を行なうこ
とができるから、短時間に多点の論理比較結果を得るこ
とができ、試験に要する時間を短かくすることができる
利点が得られる。
Conventionally, there are a normal comparator system and a double speed comparator system for logical comparators. The normal comparator system has a circuit structure for performing one logical comparison operation in one test cycle, and the double speed comparator system has a circuit structure for performing two logical comparison operations in one test cycle. By adopting the double-speed comparator method, two logical comparisons can be performed within one test cycle, so that a multipoint logical comparison result can be obtained in a short time and the time required for the test can be shortened. The possible benefits are obtained.

【0004】図6に従来の倍速コンパレート方式を採る
論理比較器の回路構造を示す。図中1は被試験ICを示
す。この被試験IC1にはパターン発生器2から試験パ
ターン信号が与えられ、その応答出力信号が論理比較器
3に取込まれる。論理比較器3にはパターン発生器2か
らデコーダを通じて期待値パターン信号EXPH1、E
XPL1及びEXPH2、EXPL2が与えられて論理
比較が行なわれる。
FIG. 6 shows a circuit structure of a conventional logic comparator employing a double speed comparator system. In the figure, reference numeral 1 denotes an IC under test. A test pattern signal is supplied from the pattern generator 2 to the IC under test 1, and a response output signal thereof is taken into the logical comparator 3. The expected value pattern signals EXPH1 and EXPH are output from the pattern generator 2 to the logical comparator 3 through the decoder.
XPL1 and EXPH2, EXPL2 are applied to perform logical comparison.

【0005】論理比較器3はブロック3Aと3Bとによ
って構成される。ブロック3Aと3Bはそれぞれ単体で
はノーマルコンパレート方式で動作する論理比較器とし
て動作し、2つのブロック3Aと3Bが協動することに
よって倍速コンパレート方式の論理比較動作が実行され
る。ブロック3Aと3Bの前段にアナログコンパレータ
4H,4Lが設けられる。このアナログコンパレータ4
H,4Lは被試験IC1が出力する論理信号のH論理レ
ベルとL論理レベルが正規の電圧範囲に入っているか否
かを比較判定するために設けられている。つまりアナロ
グコンパレータ4Hには比較電圧HREFが与えられ、
図7Aに示す被試験IC1が出力する論理信号DOUT
電圧がこの比較電圧HREF以上に達するとL論理を出
力する。またアナログコンパレータ4Lには比較電圧L
REFが与えられ被試験IC1が出力する論理信号の電
圧がこの比較電圧HREF以下に下がるとL論理を出力
する。結局これらアナログコンパレータ4Hと4Lは被
試験IC1が正規のレベルを持つ論理信号を出力してい
るとき、L論理を出力する。従ってアナログコンパレー
タ4HをH論理用アナログコンパレータ、4LをL論理
用アナログコンパレータと称することにする。
The logical comparator 3 is composed of blocks 3A and 3B. Each of the blocks 3A and 3B independently operates as a logical comparator operating in a normal comparator system, and the two blocks 3A and 3B cooperate to execute a logical comparison operation in a double speed comparator system. Analog comparators 4H and 4L are provided before the blocks 3A and 3B. This analog comparator 4
H and 4L are provided to compare and determine whether the H logic level and the L logic level of the logic signal output from the IC under test 1 fall within a normal voltage range. That is, the comparison voltage HREF is given to the analog comparator 4H,
When the voltage of the logic signal D OUT output from the IC under test 1 shown in FIG. 7A reaches the comparison voltage HREF or more, the logic L is output. The comparison voltage L is applied to the analog comparator 4L.
When REF is supplied and the voltage of the logic signal output from the IC under test 1 falls below the comparison voltage HREF, the logic L is output. Eventually, these analog comparators 4H and 4L output L logic when the IC under test 1 outputs a logic signal having a regular level. Therefore, the analog comparator 4H is referred to as an H logic analog comparator and the analog comparator 4L is referred to as an L logic analog comparator.

【0006】H論理用アナログコンパレータ4H及びL
論理用アナログコンパレータ4Lの比較出力はブロック
3Aと3Bに入力される。ブロック3Aと3Bは同一構
造であるからここではブロック3Aの構造についてのみ
説明する。H論理用及びL論理用アナログコンパレータ
4Hと4Lの各出力はストローブ回路5H,5Lに与え
られストローブパルスSTRB1でサンプリングされて
第1ラッチ回路6H及び第2ラッチ回路6Lに取込まれ
る。これら第1及び第2ラッチ回路6H,6Lはそれぞ
れD型フリップフロップによって構成され、正相出力端
子Q1 にストローブ回路5Hと5Lでサンプリングした
論理値を出力する。
The H logic analog comparators 4H and 4H
The comparison output of the logic analog comparator 4L is input to the blocks 3A and 3B. Since the blocks 3A and 3B have the same structure, only the structure of the block 3A will be described here. The outputs of the H logic and L logic analog comparators 4H and 4L are supplied to the strobe circuits 5H and 5L, sampled by the strobe pulse STRB1, and taken into the first latch circuit 6H and the second latch circuit 6L. These first and second latch circuits 6H, 6L is constituted by D-type flip-flop, and outputs a logic value sampled in strobe 5H and 5L in the positive phase output terminal Q 1.

【0007】第1及び第2ラッチ回路6Hと6Lに取込
まれた被試験IC1の論理データはゲートHとLの各一
方の入力端子に与えられる。ゲートHとLの各他方の入
力端子には図8に示す期待値信号EXPH1,EXPL
1,EXPH2,EXPL2が与えられる。期待値信号
EXPH1〜EXPL2はゲートHとLを開閉制御する
信号として与えられる。つまりストローブパルスSTR
B1がL論理であるべきタイミングで与えられる場合は
期待値はLであるからゲートLを開に制御する。またス
トローブパルスSTRB1がH論理レベルであるべきタ
イミングで与えられる場合は、ゲートHを開に制御す
る。これらゲートH及びLが開に制御されたとき、第1
及び第2ラッチ回路6H又は6LからL論理が与えられ
る正常と判定される。これに対しゲートH及びLに第1
及び第2ラッチ回路6H及び6LからH論理が入力され
るとゲートH又はLはH論理を出力し、これがオアゲー
トOR1 を通じて出力されることにより不良と判定さ
れ、不良解析メモリ7Aに記録される。
[0007] The logic data of the IC under test 1 taken into the first and second latch circuits 6H and 6L is applied to one input terminal of each of the gates H and L. The other input terminals of the gates H and L are connected to expected value signals EXPH1, EXPL shown in FIG.
1, EXPH2, EXPL2. Expected value signals EXPH1-EXPL2 are provided as signals for controlling the opening and closing of gates H and L. That is, the strobe pulse STR
When B1 is given at a timing that should be L logic, the expected value is L, so that the gate L is controlled to open. When the strobe pulse STRB1 is given at the timing when it should be at the H logic level, the gate H is controlled to be open. When these gates H and L are controlled to open, the first
It is determined that L logic is given from the second latch circuit 6H or 6L. On the other hand, the gates H and L
And second the H logic from the latch circuits 6H and 6L are input gate H or L outputs logic H, which is judged as defective by being output through the OR gate OR 1, is recorded in the failure analysis memory 7A .

【0008】一方ラッチ回路6Hと6Lの各反転出力端
子Q2 に出力される逆相出力信号をオアゲートOR3
取出し、このオアゲートOR3 の出力をゲートZに与え
る。ゲートZに与える期待値信号は被試験IC1が出力
する信号DOUT が、H論理とL論理の中間を横切ってい
るタイミングでストローブパルスSTRB1を与え、そ
のストローブパルスSTRB1によってサンプリング
し、ラッチして論理値をゲートZで取出す。
On the other hand taken out phase output signal outputted to the latch circuit 6H and the inverted output terminal Q 2 of 6L OR gate OR 3, provides an output of the OR gate OR 3 in gate Z. The expected value signal to be given to the gate Z is obtained by applying a strobe pulse STRB1 at a timing when the signal D OUT output from the IC under test crosses the middle of the H logic and the L logic, sampling by the strobe pulse STRB1, latching the logic, The value is taken at gate Z.

【0009】ブロック3AではストローブパルスSTR
B1でのみ比較動作が行なわれ、1テストサイクル内で
1ポイントしか論理比較動作を行なうことができない。
このため従来は同一構造のブロック3Bを付設し、ブロ
ック3B側にストローブパルスSTRB2を与え、図7
Dに示すようにストローブパルスSTRB1とSTRB
2によって1テストサイクル中に出力される出力信号D
OUT の例えば前半と後半の論理が予定した期待値と一致
しているか否かを判定している。
In block 3A, the strobe pulse STR
The comparison operation is performed only in B1, and only one point can be compared in one test cycle.
For this reason, conventionally, a block 3B having the same structure is additionally provided, and a strobe pulse STRB2 is applied to the block 3B side.
D, the strobe pulses STRB1 and STRB
2 during one test cycle.
For example, it is determined whether the logic of the first half and the second half of OUT matches the expected value.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】従来の倍速コンパレー
ト方式を採る論理比較器はブロック3Aに加えてブロッ
ク3Bを必要とし、回路規模が大きくなる欠点がある。
特にIC試験装置では論理比較器3は被試験IC1の端
子の数だけは用意しなければならない。被試験IC1の
端子数は多いもので数100ピンに及ぶものがある。こ
のためにIC試験装置としてはその多ピンのICを試験
できるように作らなければならないから回路規模が大き
い論理比較器3を多数用意しなければならないことはコ
ストの上昇と、小形化の障害は無論のこと、部品数の増
加に伴なって故障の発生率が上昇し信頼性の低下が持た
らされる。
The logical comparator employing the conventional double speed comparator system requires the block 3B in addition to the block 3A, and has a disadvantage that the circuit scale becomes large.
In particular, in the IC test apparatus, the logical comparators 3 must be prepared by the number of terminals of the IC 1 under test. The number of terminals of the IC under test 1 is as large as several hundreds of pins. For this reason, the IC test apparatus must be made so as to be able to test the multi-pin IC. Therefore, it is necessary to prepare a large number of logical comparators 3 having a large circuit scale. Needless to say, with the increase in the number of parts, the occurrence rate of failures increases, and the reliability decreases.

【0011】この発明の目的は倍速コンパレート方式を
採りながら回路規模が小さく、従ってコストの上昇を抑
えることができ、部品数が少ないため、故障の発生率も
低減させることができるIC試験装置用論理比較器を提
供しようとするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an IC testing apparatus which employs a double-speed comparator system, has a small circuit scale, can suppress an increase in cost, and has a small number of parts, so that a failure rate can be reduced. It is intended to provide a logical comparator.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】この発明ではH論理用ア
ナログコンパレータとL論理用アナログコンパレータの
出力を別々にストローブ回路を通じて二つのラッチ回路
にラッチさせる。二つのラッチ回路は正相ラッチ出力と
逆相ラッチ出力とを出力し、この正相ラッチ出力と、逆
相ラッチ出力とをそれぞれ別々にゲート手段で期待値信
号と比較する。各ゲート手段の全ての出力をオアゲート
して取出すときノーマルモードで動作させることができ
る。また各正相ラッチ出力と逆相ラッチ出力をそれぞれ
ゲート手段で期待値と比較した結果を別々に取出す切替
手段を設けることにより、倍速コンパレート方式で動作
させることができる。
In the present invention, the outputs of the analog comparator for H logic and the analog comparator for L logic are separately latched by two latch circuits through a strobe circuit. The two latch circuits output a positive-phase latch output and a negative-phase latch output, and each of the positive-phase latch output and the negative-phase latch output is separately compared with an expected value signal by gate means. When all the outputs of the respective gate means are OR gated and taken out, they can be operated in the normal mode. Further, by providing switching means for separately taking out the result of comparing each positive-phase latch output and the negative-phase latch output with the expected value by the gate means, it is possible to operate in a double-speed comparator system.

【0013】従ってこの発明によれば従来の一つのブロ
ック分の回路規模でノーマルモードと倍速コンパレート
方式で動作することができるIC試験装置用論理比較器
を提供することができる。
Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a logic comparator for an IC test apparatus which can operate in a normal mode and a double-speed comparator system with a conventional circuit scale of one block.

【0014】[0014]

【実施例】図1はこの発明によるIC試験装置用論理比
較器の構成を示す。図6と対応する部分には同一符号を
付してます。アナログコンパレータ4Hと4Lの後段に
ストローブ回路5Hと5Lを設ける構造は従来の技術で
説明した内容と同じであるが、この発明ではストローブ
回路5Hと5Lにそれぞれ別々にストローブパルスST
RB1とSTRB2を与える。これらストローブパルス
STRB1とSTRB2によってサンプリングしたサン
プルは第1及び第2ラッチ回路6Hと6Lにそれぞれ取
込まれる。
FIG. 1 shows the configuration of a logical comparator for an IC test apparatus according to the present invention. Parts corresponding to those in FIG. 6 are denoted by the same reference numerals. The structure in which the strobe circuits 5H and 5L are provided at the subsequent stage of the analog comparators 4H and 4L is the same as that described in the prior art, but in the present invention, the strobe circuits 5H and 5L are separately provided with the strobe pulse ST.
Give RB1 and STRB2. Samples sampled by the strobe pulses STRB1 and STRB2 are taken into the first and second latch circuits 6H and 6L, respectively.

【0015】第1及び第2ラッチ回路6Hと6Lはそれ
ぞれD型フリップフロップによって構成することができ
る。D型フリップフロップの正相出力端子Q1 と逆相出
力端子Q2 にそれぞれアンドゲートから成る第1ゲート
群9Hと第2ゲート群9Lとをそれぞれ接続する。各ゲ
ート群9H及び第2ゲート群9Lの各他方の入力端子に
は期待値パターン信号EXPH,EXPHI及びEXP
L,EXPLIを与える。
Each of the first and second latch circuits 6H and 6L can be constituted by a D-type flip-flop. D-type flip-flop of the positive-phase output terminal Q 1, the negative-phase output terminal Q 2 respectively and the first gate group 9H consisting AND gate and a second gate group 9L respectively connected. Expectation value pattern signals EXPH, EXPH1 and EXPH are connected to the other input terminals of each of the gate groups 9H and the second gate group 9L.
L, EXPLI.

【0016】第1ゲート群9Hの出力を論理和ゲートO
1 で論理和して取出す。また第2ゲート群9Lの出力
を論理和ゲートOR2 で論理和して取出す論値和回路O
1とOR2 から出力される信号を切替手段8で更に論
理和して取出すことによりノーマルモードで動作させる
ことができる。また切替手段8において、ゲート8Aを
閉に制御し、ゲート8Bを開に制御することにより論理
和ゲートOR1 とOR 2 で取出した信号を不良解析メモ
リ7Aと7Bを別々に記憶することができ、倍速コンパ
レート方式で動作させることができる。
The output of the first gate group 9H is connected to an OR gate O
R1And ORed out. The output of the second gate group 9L
OR gate ORTwoOR circuit O
R1And ORTwoThe signal output from the switch is further discussed by the switching means 8.
Operate in normal mode by taking out logically
be able to. In the switching means 8, the gate 8A is
Logic by controlling closed and controlling gate 8B open
Sum gate OR1And OR TwoFailure analysis memo for the signal extracted by
7A and 7B can be stored separately,
It can be operated in a rate manner.

【0017】つまりノーマルモードでは図2に示すよう
にストローブパルスSTRB1とSTRB2を同一タイ
ミング位置に合せ、ストローブ回路5Hと5Lに与え
る。図2の例ではH論理とL論理の間に存在する高イン
ピーダンス領域Zの位置にストローブパルスSTRB1
とSTRB2を設定した場合を示す。H論理用アナログ
コンパレータ4HはZ領域ではH論理を出力している。
またL論理用アナログコンパレータ4LもZ領域でH論
理を出力している。従って二つの第1及び第2のラッチ
回路6Hと6Lは共にH論理を取込む。
That is, in the normal mode, as shown in FIG. 2, the strobe pulses STRB1 and STRB2 are adjusted to the same timing position and applied to the strobe circuits 5H and 5L. In the example of FIG. 2, the strobe pulse STRB1 is located at the position of the high impedance region Z existing between the H logic and the L logic.
And STRB2 are set. The H logic analog comparator 4H outputs H logic in the Z region.
The L logic analog comparator 4L also outputs H logic in the Z region. Accordingly, the two first and second latch circuits 6H and 6L both take H logic.

【0018】ここでノーマルモード時の期待値パターン
は図3に示すようにゲート/Hと/Lを開いて出力にL
論理が出力されたとき正常と判定する。従って上述した
ように二つの第1及び第2ラッチ回路6Hと6LにH論
理を取込んでいるから、その逆相出力端子Q2 にはL論
理が出力される。この結果第1ゲート群9Hと第2ゲー
ト群9Lの双方のゲート回路/Hと/Lが期待値パター
ン信号によって開かれてもゲート回路/Hと/Lは第1
及び第2ラッチ回路6Hと6LからL論理が与えられる
ため不良解析メモリ7AにはL論理が与えられ正常であ
ることが記憶される。
Here, the expected value pattern in the normal mode is such that the gates / H and / L are opened and the output is L as shown in FIG.
When the logic is output, it is determined to be normal. Thus because crowded preparative H logic of the two first and second latch circuits 6H and 6L, as described above, the reverse phase output terminal Q 2 L logic is output. As a result a first gate group 9H gate circuit / H of both the second gate group 9 L / L and a gate circuit / H be opened by the expected value pattern signal / L is first
Further, since L logic is given from the second latch circuits 6H and 6L, L logic is given to the failure analysis memory 7A and it is stored that the circuit is normal.

【0019】図2においてストローブパルスSTRB1
とSTRB2をZ領域より前半部分(信号DOUT がL論
理の領域)に設定し、このとき期待値パターン信号をH
とした場合には図3に示すようにゲート回路Hが開かれ
る。このときラッチ回路6HはH論理用アナログコンパ
レータ4HからH論理を持込んでいるから、ゲート回路
HはH論理を出力する。つまりこの場合は期待値と被試
験IC1の出力とが不一致であることを表わしている。
In FIG. 2, the strobe pulse STRB1 is
And STRB2 are set in the first half of the Z area (the area where the signal D OUT is at L logic).
In this case, the gate circuit H is opened as shown in FIG. At this time, since the latch circuit 6H carries the H logic from the H logic analog comparator 4H, the gate circuit H outputs the H logic. In other words, this case indicates that the expected value and the output of the IC under test 1 do not match.

【0020】期待値パターン信号をHとしたまま、スト
ローブパルスSTRB1とSTRB2をZ領域より後半
部(信号DOUT がH論理になっている領域)に移すと、
ラッチ回路6Hは図2Bから明らかなようにL論理を読
込むこととなる。この結果ゲート回路Hは、L論理を出
力し、被試験IC1の応答出力信号と期待値パターン信
号とが一致したことを表わす。
When the strobe pulses STRB1 and STRB2 are moved to the latter half of the Z region (the region where the signal D OUT is at the H logic) while the expected value pattern signal remains at H,
The latch circuit 6H reads the L logic as is apparent from FIG. 2B. As a result, the gate circuit H outputs L logic, indicating that the response output signal of the IC under test 1 matches the expected value pattern signal.

【0021】期待値パターンXはドントケアである。こ
の場合はゲート回路H,/H,L,/Lは何れも何れも
開かれない。よってストローブパルスSTRB1とST
RB2は常にL論理を出力し、不良信号は発信しない。
図4に倍速コンパレータ方式の動作を示す。この例では
高インピーダンスZの状態を判定する機能を省略し、信
号DOUT がH論理かL論理かのみを判定するように構成
している。倍速コンパレート方式の場合、ストローブパ
ルスSTRB1とSTRB2は異なるタイミング位置に
設定される。図示の例ではストローブパルスSTRB1
を前半部分に、ストローブパルスSTRB2を後半部分
に設定した場合を示す。
The expected value pattern X is don't care. In this case, none of the gate circuits H, / H, L, / L are opened. Therefore, the strobe pulses STRB1 and STRB1
RB2 always outputs L logic and does not transmit a fault signal.
FIG. 4 shows the operation of the double speed comparator system. In this example, the function of determining the state of high impedance Z is omitted, and only the signal D OUT is determined to be H logic or L logic. In the case of the double speed comparator system, the strobe pulses STRB1 and STRB2 are set at different timing positions. In the illustrated example, the strobe pulse STRB1
In the first half and the strobe pulse STRB2 in the second half.

【0022】また切替手段8はゲート8Aを閉じ、ゲー
ト8Bを開の状態に制御する。図4の信号DOUT とスト
ローブパルスタイミング位置の関係において図5に示す
期待値パターンとしてLHが与えられると、ゲート回路
/Hと/Lが開に制御されて第1及び第2ラッチ回路6
Hと6Lの逆相出力端子Q2 の論理を出力する。このと
き逆相出力端子Q2 は第1及び第2ラッチ回路6H,6
L共にL論理を出力しているから不良解析メモリ7Aと
7BにはL論理が与えられ正常であることが記憶され
る。
The switching means 8 controls the gate 8A to close and the gate 8B to open. When LH is given as the expected value pattern shown in FIG. 5 in the relationship between the signal D OUT in FIG. 4 and the strobe pulse timing position, the gate circuits / H and / L are controlled to be open, and the first and second latch circuits 6 are controlled.
And outputs the negative-phase output logic of the terminal Q 2 of H and 6L. At this time, the negative-phase output terminal Q 2 is connected to the first and second latch circuits 6H and 6H.
Since both L outputs L logic, L logic is given to the failure analysis memories 7A and 7B, and it is stored that they are normal.

【0023】期待値パターンの前半と後半の論理でLH
以外の場合、例えばHXの場合は、図5より明らかなよ
うにゲート回路Hだけが開かれる。ゲート回路Hにはス
トローブパルスSTRB1によって打抜かれたH論理が
ラッチ回路6Hの正相出力端子Q1 から与えられている
から、不良解析メモリ7AにはH論理が与えられ、信号
OUT と期待値パターンとが不一致であることを表わす
H論理が記憶される。期待値パターンがLH以外の場合
は論理和ゲートOR1 又はOR2 の何れか一方からH論
理が出力され不一致であることが判定される。
The logic of the first half and the second half of the expected value pattern is LH
In other cases, for example, in the case of HX , only the gate circuit H is opened as is clear from FIG. Since H logic punched by strobe pulses STRB1 to the gate circuit H is applied from the positive phase output terminal to Q 1 latch circuits 6H, the failure analysis memory 7A given logical H, the signal D OUT expectation H logic indicating that the pattern does not match is stored. When the expected value pattern is other than LH, H logic is output from one of the OR gates OR 1 and OR 2 and it is determined that they do not match.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
従来の約半分の回路規模で倍速コンパレータ方式で動作
する論理比較器を構成することができる。この結果IC
試験装置の回路規模を小さくすることができ、またコス
トダウンも期待できる利点が得られる。
As described above, according to the present invention, it is possible to configure a logical comparator which operates in a double speed comparator system with a circuit size about half that of the prior art. As a result, IC
Advantages can be obtained in that the circuit scale of the test apparatus can be reduced and cost reduction can be expected.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施例を説明するための接続図。FIG. 1 is a connection diagram for explaining an embodiment of the present invention.

【図2】この発明による論理比較器のノーマルモードに
おける動作を説明するための波形図。
FIG. 2 is a waveform chart for explaining the operation of the logical comparator according to the present invention in a normal mode.

【図3】ノーマルモードにおける期待値パターンとゲー
ト手段の開閉制御信号の関係を説明するための図。
FIG. 3 is a diagram for explaining a relationship between an expected value pattern and a gate control signal in a normal mode;

【図4】この発明による論理比較器の倍速コンパレート
方式の動作を説明するための波形図。
FIG. 4 is a waveform chart for explaining the operation of the logical comparator according to the present invention in the double speed comparator system.

【図5】倍速コンパレート方式の場合の期待値パターン
とゲート手段の開閉制御信号の関係を説明するための
図。
FIG. 5 is a diagram for explaining the relationship between an expected value pattern and a gate control signal for opening and closing in the case of a double-speed comparator system.

【図6】従来の技術を説明するための接続図。FIG. 6 is a connection diagram for explaining a conventional technique.

【図7】従来技術の動作を説明するための波形図。FIG. 7 is a waveform chart for explaining the operation of the related art.

【図8】従来の技術における期待値パターンと期待値パ
ターン信号の関係を説明するための図。
FIG. 8 is a diagram for explaining a relationship between an expected value pattern and an expected value pattern signal in the related art.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 被試験IC 2 パターン発生器 3 論理比較器 4H,4L アナログコンパレータ 5H,5L ストローブ回路 6H 第1ラッチ回路 6L 第2ラッチ回路 7A,7B 不良解析メモリ 8 切替手段 9H 第1ゲート群 9L 第2ゲート群 REFERENCE SIGNS LIST 1 IC under test 2 Pattern generator 3 Logic comparator 4H, 4L Analog comparator 5H, 5L Strobe circuit 6H First latch circuit 6L Second latch circuit 7A, 7B Failure analysis memory 8 Switching means 9H First gate group 9L Second gate group

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 A.被試験ICから出力される論理信号
のH論理レベルと、L論理レベルが規程の電圧値になっ
ているか否かを判定するH論理用アナログコンパレータ
及びL論理用アナログコンパレータと、 B.これらH論理用アナログコンパレータ及びL論理用
アナログコンパレータから出力される各比較結果を所望
のタイミングでラッチし、上記H論理レベルの比較結果
及び比較結果の逆の論理を出力する第1ラッチ回路及び
L論理レベルの比較結果及びこの比較結果の逆の論理を
出力する第2ラッチ回路と、 C.第1ラッチ回路のラッチ出力がそれぞれ一方の入力
端子に与えられ、他方の入力端子にH論理に対応する期
待値が与えられる第1ゲート群と、 D.上記第2ラッチ回路のラッチ出力がそれぞれ一方の
入力端子に与えられ、他方の入力端子にL論理に対応す
る期待値が与えられる第2ゲート群と、 E.第1ゲート群と第2ゲート群の各ゲート出力の全て
を論理和してノーマルモードの論理比較結果を出力する
状態と、第1ゲート群及び第2ゲート群の各出力を別々
に出力する倍速モードの論理比較結果を出力する状態に
切替る切替回路と、によって構成したIC試験装置用論
理比較器。
1. A. First Embodiment B. an H-logic analog comparator and an L-logic analog comparator that determine whether the H logic level and the L logic level of the logic signal output from the IC under test are the prescribed voltage values; A first latch circuit that latches each comparison result output from the H logic analog comparator and the L logic analog comparator at a desired timing, and outputs a comparison result of the H logic level and a logic opposite to the comparison result, and a first latch circuit L B. a second latch circuit that outputs a comparison result of the logic level and a logic opposite to the comparison result; D. a first gate group in which a latch output of the first latch circuit is applied to one input terminal and an expected value corresponding to H logic is applied to the other input terminal; B. a second gate group in which a latch output of the second latch circuit is applied to one input terminal and an expected value corresponding to L logic is applied to the other input terminal; A state in which all the gate outputs of the first gate group and the second gate group are ORed to output a logical comparison result in the normal mode, and a double speed in which the outputs of the first gate group and the second gate group are separately output. A logic circuit for an IC test apparatus, comprising: a switching circuit configured to switch to a mode for outputting a logical comparison result of a mode.
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