JP3277369B2 - 恒温槽 - Google Patents
恒温槽Info
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- JP3277369B2 JP3277369B2 JP11218199A JP11218199A JP3277369B2 JP 3277369 B2 JP3277369 B2 JP 3277369B2 JP 11218199 A JP11218199 A JP 11218199A JP 11218199 A JP11218199 A JP 11218199A JP 3277369 B2 JP3277369 B2 JP 3277369B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- quartz glass
- heating element
- heated
- constant temperature
- Prior art date
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は恒温槽、特に、半導
体の製造工程におけるシリコンウェーハの洗浄などに使
用される高純度の石英ガラス製の容器を用いた恒温槽に
関するものである。
体の製造工程におけるシリコンウェーハの洗浄などに使
用される高純度の石英ガラス製の容器を用いた恒温槽に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】石英ガラスは、二酸化珪素の単一酸化物
からなるガラスであり、二酸化珪素はＳｉ−Ｏ結合が強
固で、かつ共有性とイオン性がほぼ半々であるという代
表的な網目形状酸化物であるため、物性として耐熱性、
化学的安定性に優れている。また製法上、高純度が得ら
れやすいという特徴があるため、通常のガラスと比較し
て高価ではあるがその利用価値は大きい。
からなるガラスであり、二酸化珪素はＳｉ−Ｏ結合が強
固で、かつ共有性とイオン性がほぼ半々であるという代
表的な網目形状酸化物であるため、物性として耐熱性、
化学的安定性に優れている。また製法上、高純度が得ら
れやすいという特徴があるため、通常のガラスと比較し
て高価ではあるがその利用価値は大きい。
【０００３】また近年、石英ガラスの需要は年々増加し
ており、特にその高純度、耐薬品性という特性を利用す
る半導体産業での需要が大きく伸びており、また、石英
ガラスは高温時においても優れた電気絶縁性を有する。
そのため、石英ガラス製の容器に面状発熱体の発熱エレ
メントを直接接触させた恒温槽が使用されている。
ており、特にその高純度、耐薬品性という特性を利用す
る半導体産業での需要が大きく伸びており、また、石英
ガラスは高温時においても優れた電気絶縁性を有する。
そのため、石英ガラス製の容器に面状発熱体の発熱エレ
メントを直接接触させた恒温槽が使用されている。
【０００４】図２は上記従来の恒温槽を示し、１は石英
ガラス製の容器、２は上記容器１内に入れられた被加熱
液体、３は上記容器１の外側表面１ａに直接接触して設
けた面状の発熱エレメント、４は上記発熱エレメント３
の外側を被覆した絶縁材である。
ガラス製の容器、２は上記容器１内に入れられた被加熱
液体、３は上記容器１の外側表面１ａに直接接触して設
けた面状の発熱エレメント、４は上記発熱エレメント３
の外側を被覆した絶縁材である。
【０００５】上記従来の恒温槽においては、石英ガラス
の電気絶縁性により上記容器１と上記発熱エレメント３
との間に絶縁材を不要としたので、発熱エレメント３か
ら上記容器１への熱伝導を妨げるものがなくなり、上記
発熱エレメント３からの熱を効率良く被加熱液体２に伝
えることができ、従って熱効率のよい恒温槽を提供する
ことができる。
の電気絶縁性により上記容器１と上記発熱エレメント３
との間に絶縁材を不要としたので、発熱エレメント３か
ら上記容器１への熱伝導を妨げるものがなくなり、上記
発熱エレメント３からの熱を効率良く被加熱液体２に伝
えることができ、従って熱効率のよい恒温槽を提供する
ことができる。
【０００６】また、上記石英ガラスには、良質の珪石を
原料とする不透明石英ガラスと、水晶を原料とする透明
石英ガラスと、四塩化珪素等から合成する合成石英ガラ
スの大きく分けて３つの種類があるが、不透明石英ガラ
スは不純物含有量が１００ｐｐｍと多いので、半導体用
の恒温槽として用いられるのは主に透明石英ガラスと合
成石英ガラスであり、これらは共に波長３μｍ〜４μｍ
の遠赤外線領域においても透明なので、恒温槽に取り付
けられた面状発熱体から放出される赤外線を殆どロスす
る事なく槽内の被加熱物に伝える事ができる。
原料とする不透明石英ガラスと、水晶を原料とする透明
石英ガラスと、四塩化珪素等から合成する合成石英ガラ
スの大きく分けて３つの種類があるが、不透明石英ガラ
スは不純物含有量が１００ｐｐｍと多いので、半導体用
の恒温槽として用いられるのは主に透明石英ガラスと合
成石英ガラスであり、これらは共に波長３μｍ〜４μｍ
の遠赤外線領域においても透明なので、恒温槽に取り付
けられた面状発熱体から放出される赤外線を殆どロスす
る事なく槽内の被加熱物に伝える事ができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、リン酸水
溶液などのように高温になると石英ガラスを浸食する物
性を持つものを加熱する場合には、発熱エレメント付近
の水溶液が加熱されて高温になり、この高温水溶液によ
って槽が浸食されて薄くなる。また、石英ガラスの熱伝
導率は温度と共に上昇する性質を持っているので、熱伝
導が更に良好となるので浸食の速度が速まり、槽に孔が
あくなどの欠点があった。
溶液などのように高温になると石英ガラスを浸食する物
性を持つものを加熱する場合には、発熱エレメント付近
の水溶液が加熱されて高温になり、この高温水溶液によ
って槽が浸食されて薄くなる。また、石英ガラスの熱伝
導率は温度と共に上昇する性質を持っているので、熱伝
導が更に良好となるので浸食の速度が速まり、槽に孔が
あくなどの欠点があった。
【０００８】本発明は上記のような欠点を除くようにし
たものである。
たものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の恒温槽は、高温
になると石英ガラスを侵食する物性を有する被加熱物を
入れる石英ガラス製の容器と、この容器の外側全表面と
内側全表面の少なくとも一方または双方に形成せしめた
すりガラス層と、上記容器を外部から加熱する面状発熱
体とよりなることを特徴とする
になると石英ガラスを侵食する物性を有する被加熱物を
入れる石英ガラス製の容器と、この容器の外側全表面と
内側全表面の少なくとも一方または双方に形成せしめた
すりガラス層と、上記容器を外部から加熱する面状発熱
体とよりなることを特徴とする
【００１０】
【発明の実施の形態】以下図面によって本発明の実施例
を説明する。
を説明する。
【００１１】図１は本発明の恒温槽を示し、本発明にお
いては、石英ガラス製の容器１の外側表面１ａと内側表
面１ｂに、サンドブラスト処理やフッ化水素等の薬品な
どを用いた腐蝕処理により、すりガラス層５を形成せし
める。
いては、石英ガラス製の容器１の外側表面１ａと内側表
面１ｂに、サンドブラスト処理やフッ化水素等の薬品な
どを用いた腐蝕処理により、すりガラス層５を形成せし
める。
【００１２】本発明の恒温槽は上記のような構成である
から、上記発熱エレメント３から被加熱液体２側に放射
された赤外線は、まず、上記容器１の外側表面１ａのす
りガラス層５で多方面に拡散し、その拡散された上記赤
外線は、更に上記内側表面１ｂのすりガラス層５により
更に多方向に拡散し、この拡散した赤外線が上記被加熱
液体２を照射するようになり、これにより上記発熱エレ
メント３から放射された赤外線が直接的には被加熱液体
２を照射しないので、上記発熱エレメント３付近の被加
熱液体２が局部的に加熱されないようになる。
から、上記発熱エレメント３から被加熱液体２側に放射
された赤外線は、まず、上記容器１の外側表面１ａのす
りガラス層５で多方面に拡散し、その拡散された上記赤
外線は、更に上記内側表面１ｂのすりガラス層５により
更に多方向に拡散し、この拡散した赤外線が上記被加熱
液体２を照射するようになり、これにより上記発熱エレ
メント３から放射された赤外線が直接的には被加熱液体
２を照射しないので、上記発熱エレメント３付近の被加
熱液体２が局部的に加熱されないようになる。
【００１３】また、すりガラス層を形成したことによっ
て容器１の表面積を、すりガラス層を形成しない場合の
表面積のおよそ１．４倍程度にすることができるので、
発熱エレメント３から放射した熱を被加熱液体２に効率
よく伝える事ができるようになる。
て容器１の表面積を、すりガラス層を形成しない場合の
表面積のおよそ１．４倍程度にすることができるので、
発熱エレメント３から放射した熱を被加熱液体２に効率
よく伝える事ができるようになる。
【００１４】なお、すりガラス層５は上記石英ガラス製
の容器１の外側表面１ａ又は内側表面１ｂのみに設けて
も良い。
の容器１の外側表面１ａ又は内側表面１ｂのみに設けて
も良い。
【００１５】
【発明の効果】上記のように、本発明の恒温槽によれ
ば、高温で浸食性のある液体を加熱した場合でも容器が
破損することがなく、長寿命の恒温槽を得ることができ
るという大きな利益がある。
ば、高温で浸食性のある液体を加熱した場合でも容器が
破損することがなく、長寿命の恒温槽を得ることができ
るという大きな利益がある。
【図１】本発明の恒温槽の要部の拡大縦断側面図であ
る。
る。
【図２】従来の恒温槽の要部の拡大縦断側面図である。
１ 容器 １ａ 外側表面 １ｂ 内側表面 ２ 被加熱液体 ３ 発熱エレメント ４ 絶縁材 ５ すりガラス層
Claims (1)
- 【請求項１】 高温になると石英ガラスを侵食する物性
を有する被加熱物を入れる石英ガラス製の容器と、この
容器の外側全表面と内側全表面の少なくとも一方または
双方に形成せしめたすりガラス層と、上記容器を外部か
ら加熱する面状発熱体とよりなることを特徴とする恒温
槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11218199A JP3277369B2 (ja) | 1999-04-20 | 1999-04-20 | 恒温槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11218199A JP3277369B2 (ja) | 1999-04-20 | 1999-04-20 | 恒温槽 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000306876A JP2000306876A (ja) | 2000-11-02 |
| JP3277369B2 true JP3277369B2 (ja) | 2002-04-22 |
Family
ID=14580293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11218199A Expired - Fee Related JP3277369B2 (ja) | 1999-04-20 | 1999-04-20 | 恒温槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3277369B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106163366B (zh) | 2015-01-26 | 2019-04-09 | 奥林巴斯株式会社 | 泄漏检测器以及内窥镜清洗消毒机 |
-
1999
- 1999-04-20 JP JP11218199A patent/JP3277369B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000306876A (ja) | 2000-11-02 |
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Legal Events
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