CN2257637Y - 真空石英加热器 - Google Patents

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Abstract

一种集成电路生产工艺中使用的真空石英加热器由石英套管、电炉丝、电极片、钨丝及电源线组成，在石英套管两端出口处各加有一电极片并抽成真空，两电极片一端分别与电源线连接，另一端与钨丝焊接，钨丝的另一端与电炉丝的两端焊接在一起。本实用新型既耐腐蚀又使用安全、方便、可靠，且防止了加热过程中引起的金属离子污染，是集成电路工艺中一种良好的加热升温装置。

Description

真空石英加热器
本实用新型涉及集成电路生产工艺中使用的化学腐蚀和清洗器皿中的加热器，特别是一种真空石英加热器。
现有集成电路基片化学腐蚀和清洗器皿的加热器通常是把加热丝直接穿在石英套管中，与电源线连接，石英管两端敞开，加热丝暴露在外，直接与空气接触。在集成电路生产工艺的腐蚀和清洗中，常需要温度升高到110℃-180℃，但在硫酸、盐酸、硝酸或磷酸等化学气氛中，加热器的加热丝尤其是接头处常常受到腐蚀，以致烧毁，寿命短，使加热终止，并且在加热过程中，极易挥发出金属氧化物粉末或金属粉尘，常常污染腐蚀液、剥离液或清洗液，造成集成电路基片的杂质污染，带进金属离子，影响到电路或器件的稳定性、可靠性，成品率下降。
本实用新型的目的在于克服上述加热器的不足，提供一种使加热丝既耐腐蚀，又能防止金属离子沾污的真空石英加热器，提高集成电路的可靠性和成品率。
本实用新型的目的通过如下措施达到：它包括石英套管、穿在石英套管中加热用的电炉丝和电源线，其特点在于：在石英套管两端出口处各加一个电极片并抽成真空，两电极片一端分别与电源线连接，另一端与钨丝焊接，钨丝的另一端与加热丝的两端焊接在一起。当接通电源时，电炉丝通过电极片和钨丝受热、发红，起到加热作用。
下面结合附图及实施例对本实用新型进一步详细说明。
图1为本实用新型采用U形管状石英套管的结构示意图；
图2为本实用新型采用W形管状石英套管的结构示意图；
图3为本实用新型用在石英杯中的使用示意图。
参见附图1，本实用新型由石英套管1、穿在其中间的加热丝6、电源线3、电极片4及钨丝5组成，石英套管1的两端口处插入电极片4，电极片4由石英玻璃2封住，该石英玻璃2外圈再与石英套管1烧结，并经机械泵抽真空，7是抽真空的堵头，其真空度为10-1-10-2乇。石英套管1的直径为8-10mm，壁厚2-4mm，其形状可以是U形管状如附图1所示和W形管如附图2所示，还可以是S形管状。在石英套管1的两端口处各有一根电源线3，分别与电极片4焊接，电极片4的另一端与钨丝5的一端焊接在一起，钨丝5的另一端与电炉丝6两端焊接，电炉丝6的功率任意选择，如800W、1000W、1200W均可，电极片4的材料可以是钽片或铂片。
真空石英加热器可与石英杯配合使用。把真空石英加热器烧结在石英杯的底部，组成了良好的真空石英加热腐蚀杯，如图3所示，8为石英杯、9为石英盖杯子、10为测温热偶孔、11为石英棒架、12为石英真空加热器、3为电源线。
本实用新型由于将石英套管封闭并抽真空，让电炉丝与外界空气隔绝，这样能使电炉丝耐腐蚀，使用方便、灵活，延长了电炉丝的寿命，而且由于电炉丝是套在石英管里，加热时没有明火，因此安全，特别是在有有机溶剂的场合，使用更可靠。对集成电路生产工艺而言，更重要的是防止了加热过程中引起的金属离子污染。把本实用新型与石英器皿配合使用，净化了集成电路、半导体器件生产中的化学清洗和腐蚀加热处理的过程，是集成电路工艺中一种良好的加热升温装置，也可以在其它行业的加热升温处理过程中使用。

Claims (4)

1.一种真空石英加热器，包括石英套管、穿在石英套管中加热用的电炉丝和电源，其特征在于：在石英套管两端出口处各有一个电极片并抽成真空，两电极片一端分别与电源线连接，另一端与钨丝焊接，钨丝的另一端与电炉丝的两端焊接在一起。
2.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于：石英套管的直径为8-10mm，壁厚2-4mm，其形状是U形管、W形管和S形管。
3.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于：用石英玻璃密封的电极片4的材料是钽片或铂片。
4.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于：石英套管内的真空度为10-1-10-2乇。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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