JP3276107B2 - 三次元形状測定装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、小物体の三次元形
状を非接触で測定する三次元形状測定装置に関し、特
に、歯科用補綴物を製作する際に用いる石膏製の印象歯
型等の不定形で表面反射率が一定でない小物体の三次元
形状を測定する三次元形状測定装置に関する。

【０００２】

【発明が解決しようとする課題】歯科用補綴物を製作す
る際に、形状の基準として用いる印象歯型等の三次元形
状を非接触で測定する装置としては、被測定物である印
象歯型にレーザ光を照射するレーザ投光系と印象歯型か
らの反射光を受光する光位置検出素子（以下ＰＳＤと称
す）を含むレーザ受光系等を組み合わせて、三角測量原
理を用いて測定するものがある。

【０００３】一般的に、この三角測量式レーザ測定装置
ではＰＳＤを用いることが多いが、このＰＳＤは積分型
素子であることから、受光する反射光は測定に必要な１
次反射だけでなく、測定に不必要な２次反射をも受光
し、受光面に入射する反射光は全て受光して信号を出力
する。従って、測定精度を悪化させる大きな要因の一つ
となっている。

【０００４】一方、図１に示されるように、印象歯型１
０は、一般に石膏に顔料を加えた材料で形成されてい
て、反射率が比較的高く、セラミッククラウン用の支台
歯１１の場合は、ショルダー部１１ｃ（段付き部）を備
えた略円錐台のような形状をしていることから、ショル
ダー部１１ｃと急傾斜面となっている立壁部１１ｂ（軸
角部）とが成す局所的な凹部において、２次反射が生じ
やすいものとなっている。

【０００５】この２次反射による測定精度の悪化を解決
すべく、受光系に複数のＰＳＤを配置した複眼構成と
し、さらに、レーザ光の投光軸に対して対称的に両側に
それぞれ例えば２個のＰＳＤを配置した片側２眼構成に
よる差動原理に基づいて、２次反射による測定誤差をリ
アルタイムで除去するという信号処理による手法が考え
られる。

【０００６】しかしながら、上述の片側２眼構成を採用
した場合、２眼の受光角度の差に起因する受光スポット
の形状差及び受光反射強度差、２眼の光学系の特性ばら
つきに起因する受光光量差及び受光素子の電流出力特性
差、被測定物の凹部形状によって一方の受光系に死角が
生じた場合の受光光量差、２次反射ジオメトリの違いに
起因する２次反射発生位置の相違及び２次反射のスポッ
ト形状差、２次反射強度差等数多くの要因が複雑に影響
を及ぼして、片側２眼のＰＳＤ間に出力差が生じ、その
結果、差動原理を応用した補正では誤差を十分に除去で
きないという問題がある。

【０００７】また、上述の２次反射による測定精度の悪
化を解決すべく、特開平３−１６３３０１号公報に示さ
れているように、受光系をレーザ光の投光軸に対して相
対的な位置に複数配設して、それぞれの受光系の位置に
おいて得られる被測定物からの受光スポットの位置情報
に基づいて、所望の受光系を選択し被測定物の測定を行
うという手法がある。

【０００８】すなわち、図１に示されるように、レーザ
光の投光軸３０まわりに受光系を所定角度、例えば９０
°回転して、この回転前と回転後の両方の位置４，４´
での受光光量の大きさを比べ、最適な位置にある受光系
を選択して測定するというものである。

【０００９】しかしながら、この手法では、被測定物が
図１に示されるような印象歯型１０、すなわち、補綴修
復対象の支台歯１１に隣り合う隣接歯１２、１３をも備
えた３連歯型のような場合、支台歯１１よりも高くてか
つ近接する隣接歯１２、１３により受光系を９０°回転
させた位置４´では、死角が生じる場合があり、本来受
光したい１次反射光３１ａ´は隣接歯１２の側面に当た
って受光されず、除去したい２次反射光３２´のみが受
光されるという問題がある。

【００１０】上記の如き問題点に鑑み、本発明は、印象
歯型等の不定形な被測定物の三次元形状を非接触にて測
定する際に生じる２次反射等の影響を取り除いて高精度
な測定が行える三次元形状測定装置を提供することを目
的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明に係る三次元形状
測定装置は、請求項１に記載されているように、被測定
物にレーザ光を投光するレーザ光源を含む投光系と、被
測定物により反射される反射光を受光する受光素子を含
む受光系と、前記受光素子の出力により得られる所定基
準位置から被測定物表面までのレーザ光の光軸方向にお
ける距離及び被測定物とレーザ光源との間の相対的な位
置情報に基づいて被測定物の三次元形状を演算する三次
元形状演算手段と、を備えて被測定物の三次元形状を特
定する三次元形状測定装置であって、前記三次元形状演
算手段により得られた三次元形状情報をレーザ光の反射
において生じる受光誤差に基づき補正する誤差補正手段
と、前記誤差補正手段により補正された三次元形状情報
を出力する出力手段とを有し、前記誤差補正手段は、レ
ーザ光の受光位置と受光強さの比率分布から２次反射に
よる影響量を演算し、当該影響量から得られる誤差推定
情報に基づいて予め三次元形状演算手段で演算した誤差
を含む三次元形状情報を補正する構成となっている。

【００１２】

【００１３】またさらに、請求項２に記載されているよ
うに、前記誤差推定情報は、被測定物の表面反射率Ｒ、
被測定物の表面とレーザ光の投光軸とのなす角度θ、及
びレーザ光の走査方向における被測定物上でのレーザ光
照射位置Ｙをパラメータとする関数ｆ（Ｒ，θ，Ｙ）を
用いて演算により規定した演算推定情報である構成とな
っている。

【００１４】また、請求項３に記載されているように、
前記誤差推定情報は、被測定物の表面反射率Ｒ、被測定
物の表面とレーザ光の投光軸とのなす角度θ、投光され
るレーザ光の光路長さＬ、及びレーザ光の走査方向にお
ける被測定物上でのレーザ光照射位置Ｙをパラメータと
する関数ｆ（Ｒ，θ，Ｌ，Ｙ）を用いて演算により規定
した演算推定情報である構成となっている。

【００１５】さらに、請求項４に記載されているよう
に、前記角度θは、三次元形状演算手段により得られか
つ前記誤差補正手段により補正される前の三次元形状情
報に基づいて算出する構成となっている。

【００１６】さらにまた、請求項５に記載されているよ
うに、前記誤差推定情報は、予め実験的に把握された誤
差の傾向に基づいて規定した実験推定情報である構成と
なっている。

【００１７】

【発明の効果】本発明の請求項１に係る三次元形状測定
装置によれば、誤差補正手段がレーザ光の受光位置と受
光強さの比率分布から２次反射による影響量を演算する
と共に、この影響量の値から得られる誤差推定情報に基
づいて、予め三次元形状演算手段により得られた三次元
形状情報に含まれるレーザ光の２次反射光による形状の
測定誤差を取り除くように三次元形状情報を補正し、出
力手段がこの補正した三次元形状情報を最終的な測定結
果として出力することから、２次反射による影響を取り
除いた高精度な形状の測定が行なえるという優れた効果
がもたらされ、加えて、予めシミュレーション等を行な
って得られた誤差の傾向を補正情報として用いることが
でき、特に、同様の傾向をもつ被測定物の形状を測定す
る際に有効であるという優れた効果がもたらされる。

【００１８】

【００１９】本発明の請求項２に係る三次元形状測定装
置によれば、被測定物の表面反射特性及び幾何学的なパ
ラメータを用いた関数により誤差を推定して補正を加え
ることができることから、特別の測定手段等を設けるこ
となく、単に演算処理を行なう簡単なシステムで誤差を
除去できる、すなわちシステムの簡略化が達成できると
いう優れた効果がもたらされる。

【００２０】本発明の請求項３に係る三次元形状測定装
置によれば、上記請求項３に係る効果に併せて、レーザ
光の投光距離の増加に伴なう減衰をも考慮して誤差補正
を行うことができることから、測定誤差をより高精度に
推定することができ、これにより、より高精度な三次元
形状の測定が行なえるという優れた効果がもたらされ
る。

【００２１】本発明の請求項４に係る三次元形状測定装
置によれば、誤差推定情報として用いる関数のパラメー
タである被測定物の表面とレーザ光の投光軸とのなす角
度θを三次元形状演算手段により得られた情報に基づい
て演算により求めることができることから、別個に角度
θを測定するような手段を設ける必要がなく、システム
の簡略化が達成できるという優れた効果がもたらされ
る。

【００２２】本発明の請求項５に係る三次元形状測定装
置によれば、誤差推定情報として、予め実験的に把握さ
れた誤差の傾向に基づいて規定した実験推定情報を用い
ることから、誤差の傾向が実験的に容易に求められる被
測定物の形状を測定する際に有効であるという優れた効
果がもたらされる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。

【００２４】図２は、本発明に係る三次元形状測定装置
の一部をなす距離測定手段としてのレーザセンサヘッド
１と被測定物としての印象歯型１０との位置関係を示す
斜視図である。

【００２５】このレーザセンサヘッド１には、被測定物
１０にレーザ光を投光するためのレーザ投光器（レーザ
光源）２、レーザ投光器２から出たレーザ光を集光する
投光系光学レンズ３等からなるレーザ投光系と、被測定
物１０の表面から反射される反射光を集光する受光系光
学レンズ５ａ，５ｂ、集光された反射光３１ａ，３１ｂ
を受光してその受光面における受光位置情報を出力する
受光素子としてのＰＳＤ受光器４ａ，４ｂ等からなるレ
ーザ受光系等を備えている。

【００２６】また、レーザ投光器２から出射さるレーザ
光は、座標軸のＺ軸方向において下向きに投光され、そ
の下方に位置する被測定物すなわち印象歯型１０は、そ
の支台歯１１、両隣接歯１２、１３からなる３つの歯型
がＸ軸と平行な方向に並ぶように配置される。

【００２７】さらに、この３連歯（支台歯１１、両隣接
歯１２，１３）の配列方向（Ｘ軸方向）に対して垂直な
方向において、それぞれの受光器４ａ，４ｂがレーザ光
の投光軸３０に対して対称な位置に位置するように配置
され、レーザスポット７の位置における１次反射光３１
ａ，３１ｂを少なくとも一方の受光器４ａ，４ｂが受光
できるように構成されている。

【００２８】ここで、印象歯型１０について説明する
と、支台歯１１の他に両隣接歯１２，１３をも含めた構
成となっているのは、補綴修復物が支台歯１１の形状に
適合して嵌め込まれることを必要とするだけでなく、隣
り合う隣接歯１２、１３に対しても干渉することなく、
かつ適性な隙間を確保する必要があることから、少なく
とも隣接歯の最大豊隆部（最も支台歯側に膨らんだ部
分）の位置関係が重要な測定対象の一つになっているた
めである。

【００２９】また、この印象歯型１０において、図１に
示されるように、支台歯１１のショルダ部１１ｃのショ
ルダ部照射スポット７ｃに所定の径をなすレーザ光３０
が照射されると、拡散反射によってショルダ部１１ｃに
近い立壁部（軸角）１１ｂの立壁部スポット７ｂ部分に
おいて２次反射が強く生じ、受光器（ＰＳＤ）４ａは、
１次反射光３１ａと２次反射光３２の区別なく両反射光
３１ａ，３２を受光してしまうことになる。この関係を
図３において詳細に示す。

【００３０】すなわち、図３に示されるように、投光器
２からＺ軸方向下向きに出たレーザ光３０が、支台歯１
１のショルダ部１１ｃ上面に照射されると、ショルダ部
照射スポット７ｃにおいて１次反射が生じ、反射光３１
ａは直接光学レンズ５ａを通って受光器（ＰＳＤ）４ａ
に入射する。一方、反射光３１ｂは支台歯１１の立壁部
（軸角）１１ｂに当たり、この立壁部スポット７ｂにお
いて２次反射が生じ、この２次反射による反射光３２は
光学レンズ５ａを通って受光器（ＰＳＤ）４ａに入射す
る。

【００３１】このように、支台歯１１においては、凹部
を形成するショルダ部１１ｃと立壁部１１ｂとの結合領
域近傍において、２次反射を生じやすい。

【００３２】また、図４に示されるように、投光器２か
らＺ軸方向下向きに出たレーザ光３０が、支台歯１１の
立壁部１１ｂに照射されると、立壁部スポット７ｄにお
いて１次反射が生じ、反射光３１ａは直接光学レンズ５
ａを通って受光器４ａに入射する。一方、反射光３１ｂ
は支台歯１１のショルダ部１１ｃの上面に当たり、この
ショルダ部スポット７ｅにおいて２次反射が生じ、この
２次反射による反射光３２は光学レンズ５ａを通って受
光器４ａに入射する。すなわち、図３に示す場合と同様
に、受光器４ａは、１次反射光３１ａと２次反射光３２
との区別なく、両反射光３１ａ，３２を受光することに
なる。

【００３３】図５は、上述のような２次反射による反射
光をも含めて受光した場合の形状測定結果の一例を示す
ものである。

【００３４】比較的反射率の高い石膏材料により形成さ
れた印象歯型１０の形状を測定した場合、一般に、図５
（ａ）に示されるように、支台歯１１の立壁部１１ｂ
は、実際の形状に比べて痩せ細った急峻な傾斜面２０ｂ
として測定され、又、支台歯１１のショルダ部１１ｃ
は、実際の形状に比べて盛り上がった凸形状２０ｃとし
て測定される傾向にある。

【００３５】また、支台歯１１の立壁部１１ｂの傾斜角
θがより小さく、すなわち、より急峻な形状の場合、図
５（ｂ）に示されるように、上述の傾向はより顕著にな
る。

【００３６】以上の傾向は、一般的特性として確認する
ことができ、２次反射光が形状の測定に影響を及ぼすそ
の影響量は、ある程度シミュレート（推定）することが
できる。

【００３７】図６は、上述のシミュレートにより得られ
た誤差推定情報に基づいて、誤差補正を行い最終的な形
状を特定する本発明に係る三次元形状測定装置の一例を
示すブロック図である。

【００３８】本図に示されるように、本装置は、被測定
物に対してレーザ光を照射するレーザ投光系及び被測定
物からの反射光を受光する受光系を含んで所定基準位置
（例えばレーザ光源）から被測定物表面までの距離を測
定する距離測定手段としての光学系４１、この光学系４
１と被測定物との間に、三次元座標空間内における相対
移動を自動的かつ連続的に行なわせる多軸移動手段４
２、この多軸移動手段４２の位置決め制御を行なう位置
決め制御手段４３、光学系４１により得られる情報に基
づいてＺ軸方向の距離を算出する距離算出手段４４、こ
の距離算出手段４４により得られる距離情報及び位置決
め制御手段４３により得られるＸＹ平面での座標情報等
に基づいて被測定物の三次元形状を演算して特定する三
次元形状演算手段４５、２次反射等の影響による測定誤
差を考慮して予め得られた誤差推定情報に基づき、三次
元形状演算手段４５により得られた情報を誤差を取り除
くように補正する誤差補正手段４６、この誤差補正手段
４６により補正された情報を最終的な三次元形状の測定
情報として出力する出力手段４７等により構成されてい
る。

【００３９】ここで、誤差補正に用いられる誤差推定情
報について、以下に説明する。

【００４０】図７は、支台歯１１の急峻な立壁部（軸
角）１１ｂの下端部近傍に位置するショルダ部１１ｃ上
にレーザ光３０が照射された場合の２次反射光３２の影
響推定モデルを示したものである。

【００４１】ここで、支台歯１１のショルダ部１１ｃに
照射されたレーザ光３０は、石膏材料の場合ほぼ理想拡
散反射に近い反射特性になるため、各方向に反射する強
さの比率を求めることができる。拡散反射する１次反射
光のうち立壁部（軸角）１１ｂに当たる反射光３１ｂ
は、レーザ光の投光軸３０と立壁部１１ｂの成す角度
θ、及びレーザ光３０の照射位置ｙが与えられれば個々
に幾何学的に求めることができる。また、立壁部１１ｂ
の表面で反射されて受光器４ａに向かうそれぞれの２次
反射光３２の強さの比率ｄ_１／Ｄ、ｄ_２／Ｄ、ｄ_３／
Ｄ、ｄ_４／Ｄ、ｄ_５／Ｄも反射率Ｒが与えられれば、同
様にして求めることができる。

【００４２】この結果、図８に示すように、１次反射光
３１ａと２次反射光３２について、受光器４ａでの受光
点（受光位置）と受光強さの比率分布を求めることがで
きる。そして、ＰＳＤ受光器４ａは積分型受光器である
ため、受光パワー強度の中心Ｄｃに相当する値を出力す
るので、２次反射による影響量（偏位量）δを求めるこ
とができる。

【００４３】これにより、例えば、図５（ａ）に示され
るような、立壁部１１ｂの実際の形状と測定により得ら
れた立壁部２０ｂの測定形状との差、及びショルダ部１
１ｃの実際の形状と測定により得られたショルダ部２０
ｃの測定形状との差に近似した位置Ｙに関する誤差推定
情報としての誤差関数曲線を得ることができる。この誤
差関数曲線の主要パラメータは、被測定物表面でのレー
ザ光の反射特性を示す表面反射率Ｒと、支台歯の立壁部
１１ｂすなわち被測定物の表面（傾斜面）とレーザ光３
０の投光軸との成す角度（傾斜角）θである。

【００４４】尚、レーザ光３０は、投光距離の増加に伴
って減衰する性質をもっているため、レーザ光の光路長
さＬをも上述誤差関数曲線のパラメータとして加えれ
ば、より高精度に誤差補正を行なうことができる。

【００４５】上述の位置ｙに関する誤差関数曲線では、
例えばショルダ部１１ｃ上の影響量で見ると、幾何学的
パラータである傾斜角θが小さくなるほど影響ピーク値
が大きくなり、また、そのピーク発生位置が立壁部（軸
角）１１ｂ側に接近する傾向になり、さらに、反射特性
パラメータである表面反射率Ｒが大きくなるほど全体的
に影響量が増加するという傾向が得られ、これらの傾向
は図５に示される傾向と同様のものである。

【００４６】従って、上述の如き誤差関数曲線を用いれ
ば、測定値に含まれる誤差を十分近似することができる
ことになる。

【００４７】ここで、幾何学的パラメータである傾斜面
の傾斜角θを求める方法としては、図６に示す三次元形
状演算手段４５（ここで得られる形状は誤差を含んだ形
状である。）の中で、図９に示すように、△ｙ／△ｚな
る演算を行なうことで求めることができる。

【００４８】また、反射特性パラメータである表面反射
率Ｒは，測定される被測定物の表面色、例えば、印象歯
型１０は石膏材料により形成されるため、その石膏材料
のメーカの色仕様によって決定することができる。

【００４９】さらに、２次反射による誤差の影響量はＹ
軸に向く面に対して行なうため、例えば、図６に示す三
次元形状演算手段４５の中で、図９に示すように、△ｙ
／△ｚなる演算を行ない、その値に基づいて図１０に示
すようなフィルタ関数Ｋを発生させる等の手段により、
適合性を調整することが可能である。

【００５０】以上のように、被測定物に照射されるレー
ザ光３０の投光軸と被測定物の表面（傾斜面）との成す
角度θと、被測定物の表面反射率Ｒをパラメータとし
て、２次反射による影響量をレーザ光３０の走査方向す
なわちＹ軸上の座標位置Ｙの関数ｆ（Ｒ，θ，Ｙ）とし
て、あるいは、レーザ光の光路長さＬをもパラメータに
含めた関数ｆ（Ｒ，θ，Ｌ，Ｙ）として演算推定し、こ
の演算推定情報に基づいて、測定された（誤差を含ん
だ）三次元形状情報を補正し、この補正された三次元形
状情報を最終的な測定結果として出力手段４７から出力
することができる。

【００５１】一方、誤差推定情報としては、上述の如く
演算に基づくものの他に、２次反射の影響量を予め実験
的に把握し、この実験的に把握された２次反射の傾向に
基づいて作成された実験推定情報（実験推定テーブル）
を用いることも可能であり、この実験推定情報に基づい
て、同様に測定された（誤差を含んだ）三次元形状情報
を補正し、この補正された三次元形状情報を最終的な測
定結果として出力手段４７から出力することができる。

【００５２】このような誤差推定情報に基づいて測定誤
差を取り除くように補正することにより、２次反射の影
響を有効に取り除くことができ、これにより、高精度な
三次元形状の測定結果が得られることになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】被測定物である印象歯型にレーザ光を照射した
状態を説明する斜視図である。

【図２】本発明に係る三次元形状測定装置の一部を示す
斜視図である。

【図３】被測定物にレーザ光を照射した際に生じる２次
反射の発生状態を示す説明図である。

【図４】被測定物にレーザ光を照射した際に生じる２次
反射の発生状態を示す説明図である。

【図５】（ａ），（ｂ）は被測定物の形状を測定した際
に生じる誤差を説明するための説明図である。

【図６】本発明に係る三次元形状測定装置の誤差補正シ
ステムを示すブロック図である。

【図７】被測定物にレーザ光を照射した際に生じる２次
反射のシミュレーション結果を示す説明図である。

【図８】ＰＳＤ受光器の受光面における受光強さの分布
状況を示す説明図である。

【図９】誤差推定情報として用いる誤差関数の幾何学的
パラメータである角度θの演算手法を示す説明図であ
る。

【図１０】誤差補正の際に適用するフィルタ関数の一例
を示す図である。

【符号の説明】

１ レーザセンサヘッド ２ レーザ投光器 ３ 投光系光学レンズ ４ａ，４ｂ ＰＳＤ受光器 ５ａ，５ｂ 受光系光学レンズ ６ 内蔵電子回路 ７ レーザスポット １０ 印象歯型（被測定物） １１ 支台歯 １１ａ 咬合面 １１ｂ 立壁部（被測定物表面） １１ｃ ショルダ部（被測定物表面） １１ｄ マージン １２，１３ 隣接歯 ３０ レーザ光 ３１ａ，３１ｂ １次反射光 ３２ ２次反射光 ４１ 光学系 ４２ 多軸移動手段 ４３ 位置決め制御手段 ４４ 距離算出手段 ４５ 三次元形状演算手段 ４６ 誤差補正手段 ４７ 出力手段 σ ２次反射による影響量

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平９−42941（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−309101（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−163301（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−178437（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−1518（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−180804（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−233312（ＪＰ，Ａ) 特表 平６−503723（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) A61C 19/04 A61C 5/10 A61C 9/00

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定物にレーザ光を投光するレーザ光
   源を含む投光系と、被測定物により反射される反射光を
   受光する受光素子を含む受光系と、 前記受光素子の出力により得られる所定基準位置から被
   測定物表面までのレーザ光の光軸方向における距離及び
   被測定物とレーザ光源との間の相対的な位置情報に基づ
   いて被測定物の三次元形状を演算する三次元形状演算手
   段と、 を備えて被測定物の三次元形状を特定する三次元形状測
   定装置であって、 前記三次元形状演算手段により得られた三次元形状情報
   をレーザ光の反射において生じる受光誤差に基づき補正
   する誤差補正手段と、 前記誤差補正手段により補正された三次元形状情報を出
   力する出力手段とを有し、前記誤差補正手段は、レーザ光の受光位置と受光強さの
   比率分布から２次反射による影響量を演算し、当該影響
   量から得られる誤差推定情報に基づいて予め三次元形状
   演算手段で演算した誤差を含む三次元形状情報を補正す
   る ことを特徴とする三次元形状測定装置。
2. 【請求項２】 前記誤差推定情報は、被測定物の表面反
   射率Ｒ、被測定物の表面とレーザ光の投光軸とのなす角
   度θ、及びレーザ光の走査方向における被測定物上での
   レーザ光照射位置Ｙをパラメータとする関数ｆ（Ｒ，
   θ，Ｙ）を用いて演算により規定した演算推定情報であ
   ることを特徴とする請求項１記載の三次元形状測定装
   置。
3. 【請求項３】 前記誤差推定情報は、被測定物の表面反
   射率Ｒ、被測定物の表面とレーザ光の投光軸とのなす角
   度θ、投光されるレーザ光の光路長さＬ、及びレーザ光
   の走査方向における被測定物上でのレーザ光照射位置Ｙ
   をパラメータとする関数ｆ（Ｒ，θ，Ｌ，Ｙ）を用いて
   演算により規定した演算推定情報であることを特徴とす
   る請求項１記載の三次元形状測定装置。
4. 【請求項４】 前記角度θは、三次元形状演算手段によ
   り得られかつ前記誤差補正手段により補正される前の三
   次元形状情報に基づいて算出することを特徴とする請求
   項２又３記載の三次元形状測定装置。
5. 【請求項５】 前記誤差推定情報は、予め実験的に把握
   された誤差の傾向に基づいて規定した実験推定情報であ
   ることを特徴とする請求項１記載の三次元形状測定装
   置。