JP3264693B2 - センサマトリクスからなる装置 - Google Patents

センサマトリクスからなる装置

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JP3264693B2
JP3264693B2 JP14148792A JP14148792A JP3264693B2 JP 3264693 B2 JP3264693 B2 JP 3264693B2 JP 14148792 A JP14148792 A JP 14148792A JP 14148792 A JP14148792 A JP 14148792A JP 3264693 B2 JP3264693 B2 JP 3264693B2
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コンラッド ノーバート
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、行と列のマトリクスに
配置された光感知又はＸ線感知のセンサ（Ｓ 1,1 ，…，
Ｓ2048,2048 ）からなり、そのセンサは入射放射線の量
に応じて電荷を発生し夫々は電気スイッチ（３）を有
し、活性化されたセンサ行のセンサの電荷が関連した読
取ライン（８，９，…，１０）を介して同時にドレーン
されるよう各センサ行に対してスイッチングライン（３
３1 ，…，３３2048）を介してスイッチ（３）が活性化
されうる装置に係る。
【０００２】
【従来の技術】かかる装置は欧州特許明細書第０２８９
６０号及びドイツ特許出願第４００２４３１号から公知
である。これらの公知の装置では、光又はＸ線を照射さ
れた際マトリクスのセンサに蓄積された電荷は行ごとに
順次に読出される。これは一度に１つのセンサ行だけが
この行と関連した読取ラインを介して活性化されるよう
になされる。この行の各センサからの電荷は関連した読
取ラインを介して除去され、その後更に処理される。従
ってセンサ行の電荷は順次に読出される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】医学Ｘ線診断では、単
一映像を記録するばかりでなく、１秒ごとに６０映像ま
での急速映像シーケンスをも記録するかかる方法を用い
ることは望ましい。映像シーケンスはセンサマトリクス
により連続又はパルス化照射モードで記録される。かか
る映像シーケンスの各個々の映像を記録する為、センサ
マトリクスはその初めの状態に設定されるべきである。
即ち、センサマトリクスは最終記録のトレースのない状
態にあるべきである。この問題は、センサの電荷が（急
速）読取処理中完全にドレーンされないので急速映像シ
ーケンスで特に発生する。その結果、個々のセンサ素子
はその大きさが先行する記録の照射強度に依存する残留
電荷を含む、これらの電荷は続く映像中センサに発生し
た電荷に加算される。時間についてこれは順次の映像の
クロストークに外ならないと考えられる。
【０００４】本発明の目的はこの問題を軽減するよう前
文に述べたタイプの装置を改良することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明により、この目的
は、前に読取られたセンサ行から残留電荷をドレーンす
るため、少なくとも１つの読出センサ行を活性化し、リ
セットクロック信号の所定の数のクロックパルスの後毎
回読出センサ行の更なるセンサ行を活性化し、各活性化
されたセンサ行をその活性化の後所定の数のクロックパ
ルスで非活性化するリセット装置が設けられることこと
で達成される。
【０００６】このリセット装置により上記の略述された
問題は大きく削減されうる。この為に、リセット装置は
個々又は全てのセンサ行を読取った後、前に読取られた
センサ行の残留電荷をドレーンするよう構成される。こ
の為に少なくとも１つのこれらの読出センサ行は先ず関
連した読取ラインを介して活性化される。その結果、こ
れらのセンサ行のセンサの電気スイッチはターンオンさ
れ、先行する読取動作の後センサに依然残っている残留
電荷は関連した読取ラインを介してドレーンされる。続
いて、リセット装置は関連した読取ラインを介して前に
読取られたセンサ行の少なくとも１つの更なる行を活性
化する。この処理は全ての前に読取られたセンサ行が活
性化されるまで続く。しかし、各センサ行はその活性化
の後リセットクロック信号の所定の数のパルスを非活性
化され、即ち各センサ行はこの数のクロックパルス期間
に対してだけ活性化されたままである。
【０００７】残留電荷をドレーンする為マトリクスの全
てのセンサの周期活性化が順次の回路装置、特に増幅器
で扱われえない読取ラインの非常に大きい電荷又は電流
を生じる。即ち、大きい電流がこれらの回路素子を破壊
するので、センサ行は次々に活性化される。しかし、本
発明による装置では、単に特定の数のセンサ行だけが同
時に活性化され、これにより各活性化時点で、マトリク
スのセンサの全ての電荷の一部だけが読取ラインを介し
てドレーンされる。如何に多くのセンサ行が一度に活性
化されるかはセンサマトリクス及び下記の回路素子の構
造に依存し、行の数は続く回路素子への損傷を防ぐより
選定される。
【０００８】各個々のセンサ行が活性化されるリセット
クロックのパルスの数の期間はセンサの残留電荷の満足
部分がドレーンされるように選定される。例えば、略９
９％の残留電荷がドレーンされるように選択されてよ
い。この値に対して、上記の時間積分は大きく減少し、
リセット装置は満足な急速映像シーケンスを可能にする
異なるセンサ行の活性化に対して比較的短時間を要す
る。
【０００９】本発明の実施例では、リセット装置はシフ
トレジスタ装置からなり、マトリクスの各スイッチング
ラインはシフトレジスタ装置の１つの出力に毎回結合さ
れ、パルスはシフトレジスタ装置の入力側に印加され、
リセットクロック信号のクロックリズムでシフトレジス
タ装置でトラバースし、時間的にずれたその出力に現わ
れる。
【００１０】かかるシフトレジスタ装置はセンサ行が同
じ長さの時間に対して毎回順次に活性化されるのを単に
可能にする。シフトレジスタ装置の入力側に印加される
パルスはこの長さを有し、リセットクロック信号のリズ
ムでシフトレジスタ装置を介してシフトされる。その結
果、このパルスは毎回リセットクロック信号の少なくと
も１つの期間だけ時間的にずらされたシフトレジスタ装
置の出力に現われ、これによりセンサ行は時間系列で活
性化される。
【００１１】最も簡単な場合、更なる実施例では、マト
リクスの各列の全てのセンサは関連した共通読取ライン
を有し、リセット装置は全てのセンサの行に対して残留
電荷をドレーンする。この様に、リセット装置は各セン
サを個別に活性化しうる。これは残留電荷のドレーンに
対してばかりでなく、映像中センサに蓄積された電荷を
ドレーンするのに対して、即ち、記録された映像の実際
の読出に対してなされうる。従って、リセット装置は２
つの機能を実行しえ、これによりリセット装置は通常の
読出装置からなる装置と比べて全部でほとんど追加費用
を生じない。
【００１２】適切に、リセット装置は初めに１つのセン
サ行を活性化し、所定数のクロックパルスの後、毎回更
なる１つのセンサ行を活性化するように構成されうる。
この構成により、一度に１つのセンサ行だけが活性化さ
れ、これによりかかる活性時点で、毎回単に１つのセン
サ素子の電荷が異なる読取ラインを介してドレーンされ
る。これは、この変形例において、リセットモードでド
レーンされうる最大電荷が１つのセンサに蓄積されうる
量に等しいので最も完全な構成である。
【００１３】このために、本発明の更なる実施例では、
リセットクロック信号の周波数はセンサ行がセンサの読
取周期中順次に活性化される周期周波数より高いことも
可能である。これはリセット装置が比較的短かい時間で
リセット動作を実行しうる利点を有する。一度に１つの
センサ行だけを活性化する代わりに、リセット装置は初
めにｎセンサ行を活性化し、次に所定数のクロックパル
スの後、毎回ｎの更なるセンサ行を活性化することが可
能である。ここでｎは１より大きい整数である。
【００１４】この場合、複数のセンサ行、即ちｎセンサ
行はリセット処理の始め、及びその後で同時に活性化さ
れる。かかる活性時点でドレーンされた電荷の量はより
大きいが、リセット処理は短かい時間でなされうる。こ
れを達成する為、本発明の更なる実施例では、シフトレ
ジスタ装置はｎ個のレジスタからなり、シフトレジスタ
装置の入力側に供給されたパルスはｎ個のシフトレジス
タの各々の入力側に印加され、リセットクロック信号の
クロックリズムでｎ個のシフトレジスタの夫々をトラバ
ースし、マトリクスのスイッチングラインの各々はシフ
トレジスタの出力に結合される。
【００１５】シフトレジスタ装置に供給されたパルスは
ｎ個のシフトレジスタの各々の入力側に印加され、リセ
ットクロック信号のリズムでこれらのシフトレジスタを
通ってシフトされる。従って、シフトレジスタは各１つ
のセンサ行を同時に活性化する。これは、ｎ個のシフト
レジスタの場合、ｎ個のセンサ行が同時に活性化される
ことを意味する。
【００１６】かかる装置において、ｎ個のシフトレジス
タは同時に所定の時点で複数のセンサ行を活性化し、セ
ンサ行が更なる実施例の場合の如くリセットクロック信
号の周波数がセンサの読取周期中順次に活性化される周
期周波数に等しくなりうる利点を有する。かかる実施例
の利点はリセットクロック信号が読取処理に対するクロ
ック信号として変更されない形式で用いられうることで
あり、これは更に全体として装置を簡素化する。
【００１７】
【実施例】本発明による装置の２つの実施例を例として
図面を参照して詳細に説明する。図１は本例で等しい数
の行列で配置された２０４８×２０４８のセンサからな
るセンサマトリクスを概略的に示す。図１に例示として
単にいくつかのこれらのセンサを示す。例えば図１の第
１の行ではセンサＳ1,1 ，Ｓ1,2 及びＳ1,2048だけが示
される。図１の第１の列では、センサＳ1,1 ，Ｓ2,1 及
びＳ2048,1だけが図示される。
【００１８】各センサは同じ様に構成される。適切な半
導体が用いられる時、センサ自体は必要ならＸ線感知で
よい。しかし、Ｘ線診断での使用には、その上に配置さ
れたリン層上にＸ線を入射される際、光を受ける感光フ
ォトダイオードを用いることも可能である。図１に示す
マトリクスのセンサの構成を例としてセンサＳ1,1 に対
し説明する。
【００１９】センサは図１に示す如く放射線に晒される
フォトダイオード１からなる。蓄積キャパシタンス２は
フォトダイオード１と平行に配置される。フォトダイオ
ード１の陽極と蓄積キャパシタンス２の１つの電極はこ
れらの電極を負の直流電圧でバイアスするよう直流電源
４に接続される。フォトダイオード１の陰極と蓄積キャ
パシタンス２の他の電極は共に電気スイッチとして働く
電界効果トランジスタ３のソース端子に接続される。こ
れらのセンサは例えば薄フィルム技術で製造されうる。
【００２０】放射線が種々のセンサ素子のフォトダイオ
ード１に入射される時、フォトダイオードは伝導性にな
り、直流電源４によりバイアスが与えられる結果、セン
サの蓄積キャパシタンス２は充電され、電荷はセンサの
関連するフォトダイオードに入射する放射の強度に依存
する。従って、特定の時間の後キャパシタンス２に蓄積
された電荷は放射線強度の尺度である。この電荷はスイ
ッチングトランジスタ３を介して各センサ素子に対して
個々に読出されうる。
【００２１】この為にセンサマトリクスの各列に対する
スイッチングラインが先ず設けられる。図１に示す例で
は、第１の行に対してスイッチングライン３３1 、第２
の行に対してスイッチングライン３３2 、第２０４８の
行に対してスイッチングライン３３2048が設けられる。
これらのスイッチングラインはセンサの電界効果トラン
ジスタ３のゲート端子に接続される。従ってスイッチン
グラインは関連したセンサ行のセンサを活性化する。ス
イッチングラインはセンサ読取モード及び休止モードの
両方で用いられる装置３０により活性化される。この装
置を図２乃至図５を参照して詳細に説明する。
【００２２】図１に部分的に示されるマトリクスの各列
に対して、各読取ライン８，９及び１０が設けられる。
これらの読取ラインは関連した列の電界効果トランジス
タのドレーン端子に全て接続される。３つのラインだけ
が示される読取ラインの夫々では、増幅器１１，１２又
は１３が配置される。映像情報を表わし、読取ラインを
介して抽出された電荷はこれらの増幅器で増幅され、次
にアナログマルチプレクサ１４の直列信号に変換され、
その信号は更なる処理の為マルチプレクサの出力１５に
取り出される。
【００２３】図２は図１の装置３０で用いられるリセッ
ト装置３０ａの第１の例を示すブロック系統図である。
図２の装置３０ａはリセット装置としてだけでなく、読
取処理の為の制御装置としても又役立つように構成され
る。図２では、センサマトリクスは参照番号Ｓ1,1 ，
…，Ｓ2048,2048 を有するブロックとして示される。こ
のセンサマトリクスは２０４８のスイッチングラインか
らなり、それを介してマトリクスの２０４８の行は個々
に活性化されうる。図２は、例として、これらのスイッ
チングラインのほんの幾つかを示す。スイッチングライ
ンは参照番号３３1 ，３３2 ，…，３３2048で示され
る。
【００２４】図２に示すリセット装置３０ａは１度に１
つのセンサ行だけを活性化するよう構成される。この
為、装置は次々に配置され、各々６４の出力を有するシ
フトレジスタ３３からなる。全体で２０４８センサ行が
あるので、３２のシフトレジスタ３３は、次々に配置さ
れる。図２のパルス信号Ａ31はシフトレジスタ３３から
なるシフトレジスタチェーンの入力側に印加されうる。
この信号はリセット装置により実行さるべきリセット処
理に対するパルスを与える。このパルスはレジスタチェ
ーン３３を介してシフトされ、順次にレジスタの出力に
現われ、これによりスイッチングライン３３1乃至３３
2048はパルスの期間に対して順次に活性化される。シフ
ト処理に対して、スイッチングクロック信号が必要とさ
れ、この信号は各シフトレジスタ３３に印加され、図２
に参照番号Ｔ32で示される。
【００２５】図２に示す回路の動作を図３を参照して詳
細に説明する。図２に示すリセット装置３１ａはリセッ
ト装置としてのみならず、センサマトリクスの読取処理
に対する制御装置としても用いられる。この為クロック
信号Ｔ32は図３に示す第１の時間間隔で読取クロック信
号として用いられる。図３では、例えばクロック信号Ｔ
32及びレジスタ３３からなるレジスタチェーンにより制
御されるセンサ行２０４７及び２０４８用読取処理を示
す。かかる読取処理の終りに、これらの２つの行は、勿
論１乃至２０４６行の順次の読出しの後に読出される。
【００２６】図３に示す第２の時間間隔では、クロック
信号Ｔ32の周波数は増加する。信号Ａ31のパルスはレジ
スタ３３からなるレジスタチェーンの入力側に印加さ
れ、そのパルスはレジスタチェーンを介してシフトさ
れ、次にレジスタの出力に現われる。図３に示す状態に
おいて、幅Ｎのこのパルスは先ず第１のレジスタ３３の
第１の出力に現われ、これにより第１の行のスイッチン
グライン３３1 が活性化される。次に、Ｔ32の次のパル
スの時、第２のセンサライン３３2 は活性化される。こ
れは単にわずかな行を図３に示す次の行に対して、最後
にセンサ行２０４８の最終スイッチングライン３３2048
が活性化されるまで続く。これらの活性化動作の各々は
信号Ａ31のパルスのパルス幅Ｎに従って進められ、即ち
各スイッチングラインは信号Ａ31のパルスで決められた
時間に対してだけ活性化される。本リセット装置におい
て、一度にたった１つのセンサ行だけが活性化され、そ
の結果、図１に示す装置の読取ラインを介して伝送され
る最大電荷は１つのセンサ素子に蓄積されえ、次の増幅
器が過負荷されないことを確実にする電荷であるリセッ
ト処理の時間を最小にする為、信号Ｔ32N はこの処理中
増加した周波数のリセットクロック信号として印加され
る。
【００２７】図３は又第２の時間間隔に続く読取処理の
始めを示し、そこでは上記リセット処理が実行され、そ
の読取処理中クロック信号Ｔ32は再び低周波数を有す
る。信号Ａ31で与えられたパルスはレジスタ３３からな
るレジスタチェーンを通って再びシフトされ、これによ
り１乃至２０４８行は順次に活性化され、次の行が非活
性化されるまで活性化されない。これはセンサからの映
像情報を読取る処理に対して必要であり、その理由は個
々のセンサ行に蓄積された電荷は明らかに電荷を個々の
センサに割当てられるのを可能にするよう別々に更に処
理さるべきであるからである。
【００２８】図４は図１に示すマトリクスでの装置３０
用に用いられうるリセット装置３０ｂの第２の例を示
す。一度にただ１つの代りに、１６のセンサ行がこの第
２の例ではリセット処理用に同時に活性化される。図４
に示す装置３０ｂは又クロック信号Ｔ32が印加される３
２のシフトレジスタ３３からなる。それは更にスイッチ
ング信号Ｓ35により制御されるスイッチ３４からなる。
これらのスイッチ３４は、第１のスイッチ位置にシフト
レジスタ３３が直列に配置され、入力信号Ａ31a がこれ
らのシフトレジスタの第１の入力側に印加されるように
して制御されうる。スイッチ３４の第２のスイッチ位置
では、レジスタはもはや直列に配置されないが、スイッ
チング信号Ａ31b はシフトレジスタ３３の夫々の入力側
に印加される。シフトレジスタ３３が直列に配置される
第１のスイッチ位置は読取処理に対応し、第２のスイッ
チ位置はリセット処理に対応する。
【００２９】これを図４に示す装置に現われるいくつか
の信号波形を示すタイムチャートである図５を参照して
詳細に説明する。図５はシフトクロック信号として、又
読取モードでの読取クロック信号として用いられるクロ
ック信号Ｔ32を示す。図５に示す如く、この信号Ｔ32は
リセットクロック信号として及び読取クロック信号とし
て同じ周波数を有する。即ち読取モード及びリセットモ
ードの両方で変形してない形式で用いられる。
【００３０】図５の第１の時間間隔は又読取処理が終了
するセンサ行２０４７及び２０４８に対する読取処理を
示す。かかる読取処理中、図４に示す装置のスイッチ３
４はそれらの第１のスイッチ位置を占め、これによりシ
フトレジスタ３３は直列に配置される。図５の第２の時
間間隔において、スイッチ３４は図５での第２の時間間
隔に示される信号Ａ31b のパルスがシフトレジスタ３３
の夫々の入力側に印加されるようそれらの第２のスイッ
チ位置にセットされる。その結果、このパルスは信号Ｔ
32の次のクロックパルス時に３２のシフトレジスタ３３
の夫々の出力に現われる。図５の例では、これはスイッ
チライン３３、及び３３1985に対して示される。信号Ｔ
32の次のクロックパルス時に、該パルスは又例としてス
イッチングライン３３2 及び３３1986に対して図５に示
す３２のシフトレジスタ３３の夫々の出力に現われる。
これは、シフトレジスタの最終出力が活性化される迄、
即ち図５に示す状態では終りから２番目周期でのスイッ
チングライン３３63及び最後にスイッチングライン３３
64及び３３2048まで続けられる。
【００３１】この場合、各個々のスイッチングライン又
はシフトレジスタ３３の各個々の出力もクロック信号Ｔ
32の所定数のクロックパルスに対して活性化されたまま
であり、期間は信号Ａ31b のパルスの幅に依存する。リ
セット処理がスイッチングライン３３64，３３1028等乃
至３３2048の活性化により終了した後、読取処理は再び
実行され、それは図４の装置３０ｂによりなされる。こ
の為、スイッチ３４は再びそれらの第１の位置に切換え
られ、これによりレジスタ３３は再び直列に配置され
る。信号Ａ31a に現われるパルスは次にシフトレジスタ
３３を通って順次にシフトされ、パルスの幅は、前に活
性化された行が非活性化されるまで等しい行が活性化さ
れないような幅である。
【００３２】図２に示す装置と図４に示す装置の両方に
対して、信号Ａ31及びＡ31b のパルスの幅は読取処理の
完了時、センサに更に蓄積された電荷の適切な部分がリ
セット処理中に読出されるように選択される。この為、
パルスは例えば略９９％の残留電荷がセンサから読取ラ
インを介してドレーンされるような寸法とされる。リセ
ット処理の長さは急速映像シーケンスの記録を大きく損
なわないよう非常に小さい。
【図面の簡単な説明】
【図１】センサマトリクスの概略図を示す図である。
【図２】図１に示すマトリクスに対するリセット装置の
第１の例のブロック系統図である。
【図３】図２に示す装置に現われる信号波形を示すタイ
ムチャートである。
【図４】図１に示すマトリクスに対するリセット装置の
第２の例を示す図である。
【図５】図４に示す装置に現われる信号波形を示すタイ
ムチャートである。
【符号の説明】
１ フォトダイオード ２ 蓄積キャパシタンス ３ 電界効果トランジスタ ４ 直流電源 ８，９，１０ 読取ライン １１，１２，１３ 増幅器 １４ アナログマルチプレクサ １５ 出力 ３０ 装置 ３０ａ リセット装置 ３３ レジスタ ３３1 ，…，３３2048 スイッチングライン ３４ スイッチ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (73)特許権者 590000248 Ｇｒｏｅｎｅｗｏｕｄｓｅｗｅｇ １, 5621 ＢＡ Ｅｉｎｄｈｏｖｅｎ， Ｔ ｈｅ Ｎｅｔｈｅｒｌａｎｄｓ (72)発明者 ウルリッヒ シーベル ドイツ連邦共和国 5100 アーヘン シ ョローセパルクストル 43番地 (72)発明者 ヘルフライド ヴィゾレック ドイツ連邦共和国 5100 アーヘン マ ーストリヒター ストル 18番地 (56)参考文献 特開 平１−183257（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−134393（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−76689（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−136721（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−10715（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−85187（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−127759（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−14591（ＪＰ，Ａ) 特公 昭46−13772（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01T 1/24 A61B 6/03 320 G01T 1/00

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 行と列のマトリクスに配置された光感知
    又はＸ線感知のセンサ（Ｓ1,1 ，…，Ｓ2048,2048 ）か
    らなり、各センサは入射放射線の量に応じて電荷を発生
    し且つ１つの電気スイッチ（３）を有し、活性化された
    センサ行のセンサの電荷が関連した読取ライン（８，
    ９，…，１０）を介して同時にドレーンされるよう各セ
    ンサ行に対してスイッチングライン（３３1 ，…，３３
    2048）を介して電気的スイッチ（３）が活性化されうる
    装置であって、前に読取られたセンサ行から残留電荷を
    ドレーンするために、リセットクロック信号（Ｔ32）の
    所定の数のクロックパルスの後に、毎回、読出センサ行
    の更なるセンサ行を活性化し、且つ、各活性化されたセ
    ンサ行をその活性化の後に所定の数のクロックパルスで
    非活性化する、少なくとも１つの読出センサ行を活性化
    するリセット装置（３０ａ，３０ｂ）が設けられること
    を特徴とする装置。
  2. 【請求項２】 リセット装置（３０ａ，３０ｂ）はシフ
    トレジスタ装置からなり、マトリクスの各スイッチング
    ライン（３３1 ，３３2048）はシフトレジスタ装置の１
    つの出力に毎回結合され、パルス（Ａ31，Ａ31b ）はシ
    フトレジスタ装置の入力側に印加され、リセットクロッ
    ク信号（Ｔ32）のクロックリズムでシフトレジスタ装置
    でトラバースし、時間的にずれたシフトレジスタ装置の
    出力に現われることを特徴とする請求項１記載の装置。
  3. 【請求項３】 マトリクスの各列の全てのセンサ（Ｓ
    1,1 ，…，Ｓ2048,204 8 ）は関連した共通読取ライン
    （３３1 ，…，３３2048）を有し、リセット装置（３０
    ａ，３０ｂ）は全てのセンサの行に対して残留電荷をド
    レーンすることを特徴とする請求項１又は２記載の装
    置。
  4. 【請求項４】 リセット装置は初めに１つのセンサ行を
    活性化し、続いて、所定の数のクロックパルスの後、毎
    回１つの更なるセンサ行を活性化することを特徴とする
    請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の装置。
  5. 【請求項５】 リセットクロック信号（Ｔ32）の周波数
    はセンサ行がセンサの読取周期中順次に活性化される周
    期周波数より高いことを特徴とする請求項４記載の装
    置。
  6. 【請求項６】 リセット装置は初めにｎのセンサ行を活
    性化し、次に所定数のクロックパルスの後、毎回ｎの更
    なるセンサ行を活性化し、ここでｎは１より大きい整数
    であることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか
    一項記載の装置。
  7. 【請求項７】 シフトレジスタ装置はｎ個のレジスタ
    （３３）からなり、シフトレジスタ装置の入力側に供給
    されたパルスはｎ個のシフトレジスタ（３３）の各々の
    入力側に印加され、リセットクロック信号（Ｔ32）のク
    ロックリズムでｎ個のシフトレジスタ（３３）の夫々を
    トラバースし、マトリクスのスイッチングライン（３３
    1 ，…，３３2048）の各々はシフトレジスタ（３３）の
    出力に結合されることを特徴とする請求項２又は６記載
    の装置。
  8. 【請求項８】 リセット装置（３０ａ，３０ｂ）は、読
    出しモード又は、リセットモードのいずれかで、センサ
    行を活性化していることを特徴とする請求項１乃至７の
    うちいずれか一項記載の装置。
  9. 【請求項９】 リセットクロック信号（Ｔ32）の周波数
    はセンサ行がセンサの読取周期中順次に活性化される周
    期周波数に等しいことを特徴とする請求項８に記載の装
    置。
  10. 【請求項１０】 請求項１乃至９のうちいずれか一項記
    載の装置で使用のＸ線検査装置。
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