JP3263971B2 - 静電アクチュエーター - Google Patents
静電アクチュエーターInfo
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- JP3263971B2 JP3263971B2 JP12215592A JP12215592A JP3263971B2 JP 3263971 B2 JP3263971 B2 JP 3263971B2 JP 12215592 A JP12215592 A JP 12215592A JP 12215592 A JP12215592 A JP 12215592A JP 3263971 B2 JP3263971 B2 JP 3263971B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- electrostatic actuator
- counter electrode
- actuator according
- high dielectric
- Prior art date
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14314—Structure of ink jet print heads with electrostatically actuated membrane
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- Micromachines (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、対向電極に電荷を帯電
させる事によりクーロン力を発生させ振動板を変位させ
る静電アクチュエーターの出力向上構造に関する。
させる事によりクーロン力を発生させ振動板を変位させ
る静電アクチュエーターの出力向上構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】静電アクチュエーターはクーロン力によ
り振動板に対向電極を形成するだけで振動板を駆動で
き、電圧駆動により消費電力が少ない為、マイクロマシ
ニングの分野で注目されているが、従来の静電アクチュ
エーターでは、電極間の空気の誘電率が低いことにより
大きな出力が得られず、出力を向上しょうとすると対向
電極間距離を数十ミクロンから数ミクロン以下にする
か、高電圧を電極間に加える必要があった。
り振動板に対向電極を形成するだけで振動板を駆動で
き、電圧駆動により消費電力が少ない為、マイクロマシ
ニングの分野で注目されているが、従来の静電アクチュ
エーターでは、電極間の空気の誘電率が低いことにより
大きな出力が得られず、出力を向上しょうとすると対向
電極間距離を数十ミクロンから数ミクロン以下にする
か、高電圧を電極間に加える必要があった。
【０００３】
【発明が解決しょうとする課題】しかしながら従来の構
造では出力向上の為、アクチュエーターの対向電極間距
離を数ミクロン以下に狭くすると振動板の変位量が得ら
れないという課題があった。高電圧を加えると空気の絶
縁破壊により電極間で放電が起こり電極が電蝕したり、
熔けた電極の金属が電極間で短絡するなどの課題があっ
た。またなにより高電圧で駆動するには昇圧回路が必要
であり、昇圧により電力を消費したり、感電防止の為の
保護回路などが必要であった。そこで通常のコンデンサ
ーと同じように高誘電率物質を電極間に充填することに
より低電圧で電荷を蓄えることにより出力を向上しよう
としても、気体の誘電率は気体の種類に関わらずほぼ同
じ値を示すため出力の向上は望めず、誘電率の高い液体
や個体ではほとんど体積変化を示さない為、振動板間に
そのような物質を挿入しても変位が生じず機械的な仕事
を取り出すことができなかった。
造では出力向上の為、アクチュエーターの対向電極間距
離を数ミクロン以下に狭くすると振動板の変位量が得ら
れないという課題があった。高電圧を加えると空気の絶
縁破壊により電極間で放電が起こり電極が電蝕したり、
熔けた電極の金属が電極間で短絡するなどの課題があっ
た。またなにより高電圧で駆動するには昇圧回路が必要
であり、昇圧により電力を消費したり、感電防止の為の
保護回路などが必要であった。そこで通常のコンデンサ
ーと同じように高誘電率物質を電極間に充填することに
より低電圧で電荷を蓄えることにより出力を向上しよう
としても、気体の誘電率は気体の種類に関わらずほぼ同
じ値を示すため出力の向上は望めず、誘電率の高い液体
や個体ではほとんど体積変化を示さない為、振動板間に
そのような物質を挿入しても変位が生じず機械的な仕事
を取り出すことができなかった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１の静電アクチュ
エーターは、振動板と、該振動板と空隙を介して平行に
配置された対向電極とにそれぞれ電荷を帯電させること
によりクーロン力を発生し、該振動板を変位させる静電
アクチュエーターにおいて、該振動板と該対向電極との
間に高誘電率物質と自由空間とを配置して、この高誘電
率物質とこの自由空間の相互作用により該振動板を変位
させるときのクーロン力を高めることと、該振動板の変
位による体積変化を起き易くすることを両立させたこと
を特徴とする。請求項２の静電アクチュエーターは、請
求項１に記載の静電アクチュエーターにおいて、前記高
誘電率物質が高誘電率流体であり、前記自由空間が気泡
であることを特徴とする。請求項３の静電アクチュエー
ターは、請求項２に記載の静電アクチュエーターにおい
て、前記気泡は弾性材料で覆われてなることを特徴とす
る。請求項４の静電アクチュエーターは、請求項１に記
載の静電アクチュエーターにおいて、該振動板と該対向
電極との間に高誘電率の多孔質感光性樹脂を充填するこ
とにより、該振動板と該対向電極との間に高誘電率物質
と自由空間とを配置するようにしたことを特徴とする。
請求項５の静電アクチュエーターは、請求項４に記載の
静電アクチュエーターにおいて、前記多孔質感光性樹脂
中に多数のスリットを設けたことを特徴とする。
エーターは、振動板と、該振動板と空隙を介して平行に
配置された対向電極とにそれぞれ電荷を帯電させること
によりクーロン力を発生し、該振動板を変位させる静電
アクチュエーターにおいて、該振動板と該対向電極との
間に高誘電率物質と自由空間とを配置して、この高誘電
率物質とこの自由空間の相互作用により該振動板を変位
させるときのクーロン力を高めることと、該振動板の変
位による体積変化を起き易くすることを両立させたこと
を特徴とする。請求項２の静電アクチュエーターは、請
求項１に記載の静電アクチュエーターにおいて、前記高
誘電率物質が高誘電率流体であり、前記自由空間が気泡
であることを特徴とする。請求項３の静電アクチュエー
ターは、請求項２に記載の静電アクチュエーターにおい
て、前記気泡は弾性材料で覆われてなることを特徴とす
る。請求項４の静電アクチュエーターは、請求項１に記
載の静電アクチュエーターにおいて、該振動板と該対向
電極との間に高誘電率の多孔質感光性樹脂を充填するこ
とにより、該振動板と該対向電極との間に高誘電率物質
と自由空間とを配置するようにしたことを特徴とする。
請求項５の静電アクチュエーターは、請求項４に記載の
静電アクチュエーターにおいて、前記多孔質感光性樹脂
中に多数のスリットを設けたことを特徴とする。
【０００５】例えば並行平板から電極が成る静電アクチ
ュエーターの発生圧力は Ｐ＝ｅ（Ｖ／ｄ）2 ただし Ｐ：圧力（Ｎ／ｍ2 ） Ｖ：電圧（Ｖ） ｄ：電極間距離（ｍ） ｅ：誘電率 となるから例えば比誘電率４２．５のグリセリンでは空
気に比べて出力が４２．５倍に比誘電率３５のニトロベ
ンゼンでは３５倍になることがわかる。しかしながら、
これらの液体の圧縮率は０．２から０．４５（ＧＰａ）
-1でありほとんど体積は変化しないので振動板は変位し
ない。また比誘電率２０のニトリルゴムの圧縮率もほぼ
同じである。そこで気泡を液中に混入したり高誘電率弾
性材料を多孔質とすることにより体積変化を可能として
いる。
ュエーターの発生圧力は Ｐ＝ｅ（Ｖ／ｄ）2 ただし Ｐ：圧力（Ｎ／ｍ2 ） Ｖ：電圧（Ｖ） ｄ：電極間距離（ｍ） ｅ：誘電率 となるから例えば比誘電率４２．５のグリセリンでは空
気に比べて出力が４２．５倍に比誘電率３５のニトロベ
ンゼンでは３５倍になることがわかる。しかしながら、
これらの液体の圧縮率は０．２から０．４５（ＧＰａ）
-1でありほとんど体積は変化しないので振動板は変位し
ない。また比誘電率２０のニトリルゴムの圧縮率もほぼ
同じである。そこで気泡を液中に混入したり高誘電率弾
性材料を多孔質とすることにより体積変化を可能として
いる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に従って説明す
る。
る。
【０００７】（実施例１）図１に本発明の第１の実施例
における静電アクチュエーターの断面図を示す。
における静電アクチュエーターの断面図を示す。
【０００８】振動板３は対向電極４との間隔を正確に得
る目的で平坦度が高く、反りや歪みの生じ難いシリコン
の単結晶基板をエッチングして作られている。シリコン
基板１に陽極を接続し、パイレックスガラス（コーニン
グ社の登録商標）から成る電極基板２に陰極を接続し摂
氏３００度の温度にまでシリコン基板１と電極基板２を
加熱した後、５００Ｖ〜７００Ｖの電圧を加え陽極接合
している。陽極接合時にはパイレックスガラス（コーニ
ング社の登録商標）に含まれるＮａイオンが電界により
移動するので、シリコン基板１と電極基板２の界面に強
い静電引力が働き密着する。やがてシリコンとパイレッ
クスガラス（コーニング社の登録商標）表面に付着する
ＯＨ基が水素結合し、電界と熱によって脱水縮合しＳｉ
−Ｏ−Ｓｉ結合する為極めて強固に結合する。電極基板
２にはエッチングにより一段掘り下げられた高さ数ミク
ロン程度の空隙５及び圧力解放用の通路６が設けられて
おり対向電極４が形成されている。通路６は対向電極４
の引き出し孔を兼ねており、陽極接合時対向電極４が接
合面から突出することによる接合不良を防止している。
通路６の出口はシール７で封止されており大気中の塵埃
が対向電極４に付着することを防ぐ。シール７は通路６
への流れ込みや、高誘電率流体１１の流れだしを防止す
る目的で速硬化型のエポキシ樹脂を用いている。またシ
リコン基盤１の表面は対向電極４からの放電を防ぐ為、
シリコンの熱酸化膜ＳｉＯ2 により絶縁膜１０が生成し
てある。薄膜状態でのＳｉＯ2 の絶縁破壊電圧は５００
ｋＶ／ｍｍの為、０．１〜０．２ミクロン程度の厚さに
形成することにより、絶縁破壊による対向電極４の損傷
を防止することができる。対向電極４と振動板３の間の
空隙５には高誘電率流体であるところのグリセリンやニ
トロベンゼンなどの誘電率の高い高誘電率流体１１がシ
ール７を施す際に真空吸引により封入されている。又電
極４の表面に絶縁膜を形成すれば誘電率９０の水を使用
することも可能である。高誘電率流体１１中には、体積
変化を吸収する目的で数ミクロンの微小な気泡１２を充
填時混入している。対向電極４と振動板３との距離が数
ミクロンと極小な為、表面張力により気泡１２は電極と
振動板間に挟まれ偏在することはない。気泡１２が多数
混入した場合全体としての誘電率が小さくなるので出力
が低下する。故に気泡１２の混入量は必要な変位量を満
たす範囲で最小としなければならない。シリコン基板１
への端子９の接続は絶縁膜１０をフッ酸により処理した
後、金薄膜１４をスパッタし端子９をボンディグしてい
る。
る目的で平坦度が高く、反りや歪みの生じ難いシリコン
の単結晶基板をエッチングして作られている。シリコン
基板１に陽極を接続し、パイレックスガラス（コーニン
グ社の登録商標）から成る電極基板２に陰極を接続し摂
氏３００度の温度にまでシリコン基板１と電極基板２を
加熱した後、５００Ｖ〜７００Ｖの電圧を加え陽極接合
している。陽極接合時にはパイレックスガラス（コーニ
ング社の登録商標）に含まれるＮａイオンが電界により
移動するので、シリコン基板１と電極基板２の界面に強
い静電引力が働き密着する。やがてシリコンとパイレッ
クスガラス（コーニング社の登録商標）表面に付着する
ＯＨ基が水素結合し、電界と熱によって脱水縮合しＳｉ
−Ｏ−Ｓｉ結合する為極めて強固に結合する。電極基板
２にはエッチングにより一段掘り下げられた高さ数ミク
ロン程度の空隙５及び圧力解放用の通路６が設けられて
おり対向電極４が形成されている。通路６は対向電極４
の引き出し孔を兼ねており、陽極接合時対向電極４が接
合面から突出することによる接合不良を防止している。
通路６の出口はシール７で封止されており大気中の塵埃
が対向電極４に付着することを防ぐ。シール７は通路６
への流れ込みや、高誘電率流体１１の流れだしを防止す
る目的で速硬化型のエポキシ樹脂を用いている。またシ
リコン基盤１の表面は対向電極４からの放電を防ぐ為、
シリコンの熱酸化膜ＳｉＯ2 により絶縁膜１０が生成し
てある。薄膜状態でのＳｉＯ2 の絶縁破壊電圧は５００
ｋＶ／ｍｍの為、０．１〜０．２ミクロン程度の厚さに
形成することにより、絶縁破壊による対向電極４の損傷
を防止することができる。対向電極４と振動板３の間の
空隙５には高誘電率流体であるところのグリセリンやニ
トロベンゼンなどの誘電率の高い高誘電率流体１１がシ
ール７を施す際に真空吸引により封入されている。又電
極４の表面に絶縁膜を形成すれば誘電率９０の水を使用
することも可能である。高誘電率流体１１中には、体積
変化を吸収する目的で数ミクロンの微小な気泡１２を充
填時混入している。対向電極４と振動板３との距離が数
ミクロンと極小な為、表面張力により気泡１２は電極と
振動板間に挟まれ偏在することはない。気泡１２が多数
混入した場合全体としての誘電率が小さくなるので出力
が低下する。故に気泡１２の混入量は必要な変位量を満
たす範囲で最小としなければならない。シリコン基板１
への端子９の接続は絶縁膜１０をフッ酸により処理した
後、金薄膜１４をスパッタし端子９をボンディグしてい
る。
【０００９】シリコン基盤１と対向電極４に電源８から
交流を加えることにより振動板３を上下に駆動すること
ができ、電極間距離を１ミクロンとし１５０Ｖの電圧を
加えると比誘電率３５のニトロベンゼンの場合では約３
５気圧の圧力を発生できる。
交流を加えることにより振動板３を上下に駆動すること
ができ、電極間距離を１ミクロンとし１５０Ｖの電圧を
加えると比誘電率３５のニトロベンゼンの場合では約３
５気圧の圧力を発生できる。
【００１０】（実施例２）図２に本発明の第２の実施例
における静電アクチュエーターの断面図を示す。
における静電アクチュエーターの断面図を示す。
【００１１】電極間には実施例１の高誘電率流体１１に
微小な中空粒子１３を混入することにより体積変化を中
空粒子１３により吸収している。
微小な中空粒子１３を混入することにより体積変化を中
空粒子１３により吸収している。
【００１２】中空粒子１３はアクリル−スチレン樹脂と
水のエマルジョンから樹脂を架橋後水を蒸発させること
により０．３ミクロンの外径に対し０．２ミクロンの内
径からなる空洞を有している。この中空粒子の殻は微小
な穴を多数有しており、気体は透過するが液体は透過し
ない特性を有している。実施例１の気泡１２に対し気体
が樹脂で封入されている為、温度変化により高誘電率流
体１１へ気泡１２の溶解度が変化することがないので、
品質のバラツキが少なく耐環境性に優れている。又、外
径０．３ミクロンと極めて微小な為ブラウン運動によ
り、高誘電率流体１１中に均一に分散するので均質な特
性が得られる。
水のエマルジョンから樹脂を架橋後水を蒸発させること
により０．３ミクロンの外径に対し０．２ミクロンの内
径からなる空洞を有している。この中空粒子の殻は微小
な穴を多数有しており、気体は透過するが液体は透過し
ない特性を有している。実施例１の気泡１２に対し気体
が樹脂で封入されている為、温度変化により高誘電率流
体１１へ気泡１２の溶解度が変化することがないので、
品質のバラツキが少なく耐環境性に優れている。又、外
径０．３ミクロンと極めて微小な為ブラウン運動によ
り、高誘電率流体１１中に均一に分散するので均質な特
性が得られる。
【００１３】（実施例３）図３に本発明の第３の実施例
における静電アクチュエーターの断面図を示す。弾性率
が低く高誘電率を有するポジ、又はネガ型の感光性樹脂
１５を電極基板２に形成された対向電極４上に数ミクロ
ンの厚さにスピンコートした後、溶媒を急激に気化させ
ることにより多孔質としている。多孔質とした感光性樹
脂１５をフォトマスクにより露光し対向電極４と同形状
に現像し、振動板３が感光性樹脂１５と密着するように
シリコン基板１を電極基板２に接着する。固体であると
ころの感光性樹脂１５を使用することにより液体である
ところの実施例１、２の高誘電率流体１１に比べ漏れな
どの信頼性が改善できる。
における静電アクチュエーターの断面図を示す。弾性率
が低く高誘電率を有するポジ、又はネガ型の感光性樹脂
１５を電極基板２に形成された対向電極４上に数ミクロ
ンの厚さにスピンコートした後、溶媒を急激に気化させ
ることにより多孔質としている。多孔質とした感光性樹
脂１５をフォトマスクにより露光し対向電極４と同形状
に現像し、振動板３が感光性樹脂１５と密着するように
シリコン基板１を電極基板２に接着する。固体であると
ころの感光性樹脂１５を使用することにより液体である
ところの実施例１、２の高誘電率流体１１に比べ漏れな
どの信頼性が改善できる。
【００１４】（実施例４）図４に本発明の第４の実施例
における静電アクチュエーターの断面図を示す。
における静電アクチュエーターの断面図を示す。
【００１５】実施例３の感光性樹脂１５を数ミクロン幅
のマスクパターンで露光することにより、多数のスリッ
ト１６を感光性樹脂１５に設けている。スリット１６の
幅と間隔を変えることにより多孔質の場合よりも振動板
３の変位量を大きく変化させることが可能である。
のマスクパターンで露光することにより、多数のスリッ
ト１６を感光性樹脂１５に設けている。スリット１６の
幅と間隔を変えることにより多孔質の場合よりも振動板
３の変位量を大きく変化させることが可能である。
【００１６】（実施例５）図５に本発明の第５の実施例
における静電アクチュエーターの断面図を示す。
における静電アクチュエーターの断面図を示す。
【００１７】実施例３の感光性樹脂１５は固体であり数
ミクロンの厚さに均質な膜厚で成膜できる為、高価なシ
リコン基板を使わずとも金属を電極基板２上にメッキす
ることにより振動板３を対向電極４と数ミクロンの間隔
で作製することが可能である。感光性樹脂１５の孔は数
ミクロン以下の為、メッキが孔の中に入らず孔を塞ぐ様
に成長する。対向電極４の表面には、スパッタによりＳ
ｉＯ2 の絶縁膜１０が成膜してあり短絡を防いでいる。
電気抵抗の低い金属を使える為、シリコンより電荷の移
動が早いので応答性が向上する。又、多段に積層するこ
とにより出力や変位量を向上することが容易にできる。
ミクロンの厚さに均質な膜厚で成膜できる為、高価なシ
リコン基板を使わずとも金属を電極基板２上にメッキす
ることにより振動板３を対向電極４と数ミクロンの間隔
で作製することが可能である。感光性樹脂１５の孔は数
ミクロン以下の為、メッキが孔の中に入らず孔を塞ぐ様
に成長する。対向電極４の表面には、スパッタによりＳ
ｉＯ2 の絶縁膜１０が成膜してあり短絡を防いでいる。
電気抵抗の低い金属を使える為、シリコンより電荷の移
動が早いので応答性が向上する。又、多段に積層するこ
とにより出力や変位量を向上することが容易にできる。
【００１８】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、対向電極
間に様々な流体や弾性体を封入しても変位可能となり低
電圧、あるいはより高出力駆動が可能となる。
間に様々な流体や弾性体を封入しても変位可能となり低
電圧、あるいはより高出力駆動が可能となる。
【図１】 本発明の第１の実施例における断面を示す図
である。
である。
【図２】 本発明の第２の実施例における断面を示す図
である。
である。
【図３】 本発明の第３の実施例における断面を示す図
である。
である。
【図４】 本発明の第４の実施例における断面を示す図
である。
である。
【図５】 本発明の第５の実施例における断面を示す図
である。
である。
１ シリコン基盤 ２ 電極基盤 ３ 振動板 ４ 対向電極 ５ 空隙 ６ 通路 ７ シール ８ 電源 ９ 端子 １０ 絶縁膜 １１ 高誘電率流体 １２ 気泡 １３ 中空粒子 １４ 金薄膜 １５ 感光性樹脂 １６ スリット
Claims (5)
- 【請求項１】 振動板と、該振動板と空隙を介して平行
に配置された対向電極とにそれぞれ電荷を帯電させるこ
とによりクーロン力を発生し、該振動板を変位させる静
電アクチュエーターにおいて、該振動板と該対向電極と
の間に高誘電率物質と自由空間とを配置して、この高誘
電率物質とこの自由空間の相互作用により該振動板を変
位させるときのクーロン力を高めることと、該振動板の
変位による体積変化を起き易くすることを両立させたこ
とを特徴とする静電アクチュエーター。 - 【請求項２】 請求項１に記載の静電アクチュエーター
において、前記高誘電率物質が高誘電率流体であり、前
記自由空間が気泡であることを特徴とする静電アクチュ
エーター。 - 【請求項３】 請求項２に記載の静電アクチュエーター
において、前記気泡は弾性材料で覆われてなることを特
徴とする静電アクチュエーター。 - 【請求項４】 請求項１に記載の静電アクチュエーター
において、該振動板と該対向電極との間に高誘電率の多
孔質感光性樹脂を充填することにより、該振動板と該対
向電極との間に高誘電率物質と自由空間とを配置するよ
うにしたことを特徴とする静電アクチュエーター。 - 【請求項５】 請求項４に記載の静電アクチュエーター
において、前記多孔質感光性樹脂中に多数のスリットを
設けたことを特徴とする静電アクチュエーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12215592A JP3263971B2 (ja) | 1992-05-14 | 1992-05-14 | 静電アクチュエーター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12215592A JP3263971B2 (ja) | 1992-05-14 | 1992-05-14 | 静電アクチュエーター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05328749A JPH05328749A (ja) | 1993-12-10 |
| JP3263971B2 true JP3263971B2 (ja) | 2002-03-11 |
Family
ID=14828965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12215592A Expired - Fee Related JP3263971B2 (ja) | 1992-05-14 | 1992-05-14 | 静電アクチュエーター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3263971B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3567464B2 (ja) | 1997-10-14 | 2004-09-22 | セイコーエプソン株式会社 | 静電アクチュエータ及びそれを搭載した装置 |
| US6406130B1 (en) * | 2001-02-20 | 2002-06-18 | Xerox Corporation | Fluid ejection systems and methods with secondary dielectric fluid |
| KR100452112B1 (ko) * | 2001-07-18 | 2004-10-12 | 한국과학기술원 | 정전 구동기 |
| JP2006352984A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Tdk Corp | 圧電薄膜振動子およびその製造方法、並びにそれを用いた駆動装置および圧電モータ |
| JP5281322B2 (ja) * | 2007-06-21 | 2013-09-04 | パナソニック株式会社 | 電気的伸縮機構及びアクチュエータ |
| JP5432479B2 (ja) * | 2007-06-21 | 2014-03-05 | パナソニック株式会社 | 電気的伸縮機構及びアクチュエータ |
| US10682903B1 (en) * | 2018-12-18 | 2020-06-16 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Active seals for vehicles |
-
1992
- 1992-05-14 JP JP12215592A patent/JP3263971B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05328749A (ja) | 1993-12-10 |
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