JP3259322B2 - 音波トランスデューサ - Google Patents
音波トランスデューサInfo
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
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- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
体までの距離等を検出する超音波センサ等に用いて好適
な音波トランスデューサに関する。
検知)や距離測定、形状計測等に用いられる超音波セン
サには、音圧による機械的振動と電気的信号とを相互に
変換する音波トランスデューサが設けられ、該音波トラ
ンスデューサによって物体に超音波を発射しつつ、該物
体からの反射波を受信することにより、物体の有無等を
非接触で検出するようになっている。
として、金属材料からなる台座と、該台座上に設けら
れ、圧電体の両面に電極が形成された振動子と、該振動
子を覆うように設けられた金属製のホーンとから構成さ
れたものが知られている。
来技術による音波トランスデューサは、金属製のホーン
を備えているから、該金属製ホーンにより、振動子で発
生させた超音波の指向性を高めて、感度を向上させるこ
とができる。しかし、このホーンは、金属材料を用いて
所定角度で開口する形状に形成されているから、精密な
形状を保持したまま小型化するのが困難なばかりか、小
型化した場合には量産性が大幅に低下し、製造コストが
増大するという問題がある。
は、圧電素子等からなる振動子自体をいくら小型化して
も、金属製ホーンのために音波トランスデューサ全体を
小型化することができず、取付けの自由度や使い勝手が
低いという問題がある。特に、物体表面を多点検出する
場合等に用いられる1次元アレイ型,2次元アレイ型の
音波トランスデューサにあっては、複数の振動子を直線
状,平面状に配設して構成されているから、それぞれの
振動子に対して金属製のホーンを設けると、全体寸法が
大型化してしまい、取付けの自由度等が大幅に低下する
という問題がある。
ホーンを省き、シリコン材料からなる台座上に振動子を
設けた音波トランスデューサも知られており、この場合
には、フォトリソグラフィ等の半導体微細加工技術を用
いて音波トランスデューサの小型化を図ることができ
る。しかし、この音波トランスデューサを小型化する
と、振動子も小さくなって該振動子から発射する超音波
の送波出力が弱くなるから、超音波の到達距離が短くな
り、性能が大幅に低下するという問題がある。また、小
型化のためにホーンを省いているから、超音波の指向性
が低く、検出精度、信頼性が低いという問題がある。
されたもので、精密な形状を保持したまま全体寸法を小
型化できる上に、超音波の指向性を高めて感度を向上で
きるようにした音波トランスデューサを提供することを
目的とする。
ために請求項1の発明が採用する構成は、一端側から他
端側に向けて順次縮径する開口部が設けられたシリコン
製の台座と、前記開口部を施蓋するように該台座の他端
側に設けられた平板状の基板部と、該基板部の他端側に
設けられた第1の電極と、該第1の電極の他端側に設け
られた圧電体と、該圧電体の他端側に設けられた第2の
電極と、該第2の電極の他端側に位置して前記台座に設
けられ、一端側から他端側に向けて順次拡径する開口部
が形成されたシリコン製のホーンとからなる。また、請
求項2の発明では、台座とホーンとは接合手段を用いて
一体に接合している。
ン材料から形成されているから、半導体微細加工技術を
用いて音波トランスデューサの全体寸法を小型化するこ
とができる。そして、このシリコン製のホーンにより、
圧電体の振動によって生じた音波の指向性を高めること
ができる。また、請求項2の発明では、シリコン材料か
らなる台座とホーンとは、例えば陽極接合等の接合手段
を用いてこれらを一体に接合することができる。
基づいて説明する。
0μm程度の厚さ寸法h1 を有する角筒状に形成された
台座を示し、該台座1の中央部には、一端面1Aから他
端面1Bに向けて順次縮径するテーパ状の開口部2が軸
方向に形成されている。また、該台座1の一端面1A等
には、後述する振動子4への電圧信号を供給する発振回
路や振動子4からの電圧信号を処理する受信回路(いず
れも図示せず)等がパターン形成されている。ここで、
前記開口部2は、シリコンの異方性エッチング技術を用
いることにより、シリコンの物性により定まる約55°
の角度α1 で傾斜するテーパ状に形成されている。そし
て、該開口部2は、振動子4の振動を容易にするもので
ある。
た二酸化珪素からなる基板部を示し、該基板部3は、図
2にも示す如く、例えばCVD法,熱酸化法等の手段を
用いて台座1の他端面1B側に0.5〜1μm程度の二
酸化珪素を成膜し、不要部分をエッチングすることによ
り、方形な薄板状の皮膜として形成され、その両端側に
は後述する各電極5,7の各リード部5A,7Aに対応
するリード部3A,3Aが一体形成され、各リード部5
A,7Aと台座1とを電気的に絶縁している。そして、
該基板部3は、薄板状に形成されているため可撓性を有
し、振動子4と共に振動するようになっている。
3の他端側に設けられた振動子を示し、該振動子4は、
基板部3の他端側に蒸着あるいはスパッタ等の手段を用
いて設けられ、アルミニウム等の金属材料からリード部
5Aを有する略方形状に形成された第1の電極5と、該
第1の電極5の他端側にCVD法あるいはスパッタ等の
手段を用いて設けられ、酸化亜鉛(ZnO)等の圧電材
料から方形な薄膜状に形成された圧電体6と、該圧電体
6の他端側に位置して前記第1の電極と同様に蒸着等の
手段を用いて設けられ、アルミニウム等の金属材料から
リード部7Aを有する略方形状に形成された第2の電極
7とから構成されている。ここで、前記各電極5,7は
例えば約0.3〜0.5μm程度の厚さ寸法をもって前
記圧電体6よりも若干小さく形成され、また、前記圧電
体6は約2〜20μm程度の厚さ寸法を有するように形
成されている。
介して電圧信号が印加されると軸方向(図1中の上下方
向)に振動し、この電圧信号に応じた超音波を発生する
と共に、外部の物体で反射された反射波を受信すると軸
方向に振動し、この反射波に応じた電圧信号を出力する
ものである。
他端面1B上に固着され、図3にも示す如くシリコン材
料から約300〜500μm程度の厚さ寸法h2 を有す
る略角筒状に形成されたホーンを示し、該ホーン8は、
図4に示す如く、その一端面8Aが台座1の他端面1B
に当接し、陽極接合技術等の手段を用いて該台座1上に
直接的に固着されている。また、該ホーン8には、台座
1の開口部2に対応してホーン8の中央部に位置し、一
端面8Aから他端面8Bに向けて順次拡径する開口部9
が形成され、該開口部9の一端9A側には外側に向けて
伸長する角形状の収容穴10が一体形成されている。そ
して、該収容穴10内には振動子4が収容され、これに
より該振動子4は、台座1とホーン8との間でその周辺
が挟持されている。
の開口部2とほぼ同様に、シリコンの異方性エッチング
技術等の手段により、約55°の角度α2 をもって傾斜
するテーパ状に形成されている。そして、前記ホーン8
は、振動子4で生じた超音波を高い指向性をもって外部
に送り出すと共に、外部の物体で反射された反射波を集
音して振動子4に伝達するものである。
述の如き構成を有するもので、次に、その製造方法につ
いて図5ないし図10を参照しつつ説明する。
リコン材料から厚さ寸法h1 を有する角柱状に形成され
た台座部材11の表面に、CVD法,熱酸化法等の手段
を用いて膜厚0.5〜1μmをもった方形な薄板状の基
板部3を一体形成した後、図2,図4に示す如く、各リ
ード部3Aを残すようにして外周側をエッチングにより
切除し、ホーン8と台座1とを接合する接合面を確保す
る。
は、前記基板部形成工程で形成された基板部3の表面
に、蒸着,スパッタ等の手段を用いて0.3〜0.5μ
m程度の厚さを有するアルミニウム製の第1の電極5を
形成する。
第1の電極5の表面に、CVD法あるいはスパッタ等の
手段を用いて約2〜20μm程度の厚さを有する酸化亜
鉛(ZnO)等の圧電材料からなる方形な薄膜状の圧電
体6を形成する。
は、圧電体6の表面に、前記第1の電極形成工程とほぼ
同様にして、蒸着,スパッタ等の手段を用いて0.3〜
0.5μm程度の厚さを有するアルミニウム製の第2の
電極7を形成する。これにより、圧電体6の両面に電極
5,7が形成され、振動子4が完成する。
リコンの異方性エッチング技術を用いて、台座部材11
の中央部に基板部3に向けて順次縮径するテーパ状の開
口部2を形成し、これにより台座1を形成する。ここ
で、該開口部2が傾斜する角度α1 は、シリコンの物性
により定まる値で、約55°となる。
コンの異方性エッチング技術により別工程で形成された
ホーン8と振動子4を設けた台座1とを、陽極接合技術
を用いて接合し、音波トランスデューサを完成させる。
このようにして製造されるもので、各電極5,7を介し
て振動子4に電圧信号を加えると、該振動子4は、各開
口部2,9内を基板部3と共に軸方向に微小振動し、こ
の電圧信号に応じた超音波を発生させる。そして、この
超音波は、ホーン8により指向性を高められつつ外部の
物体に向けて発射(送波)され、この物体にあたって反
射し、ホーン8により集音されて振動子4に伝達され
る。これにより、該振動子4は微小振動し、この反射波
に応じた電圧信号を各電極5,7を介して外部に出力す
る。
ーン8とをシリコン材料からシリコンの異方性エッチン
グ技術を用いてそれぞれ形成し、両者を陽極接合等の接
合手段を用いて接合する構成としたから、音波トランス
デューサ全体を確実に小型化でき、精密な形状に形成す
ることができる。特に、シリコンの異方性エッチング技
術を用いて台座1およびホーン8を形成する構成とした
から、各開口部2,9の各角度α1 ,α2 をシリコンの
物性に基づいて一義的に定めることができ、該各開口部
2,9を精密に形成することができる。
動子4からの超音波の指向性を効果的に高めて、検出感
度や性能等を大幅に向上することができ、取付けの自由
度や使い勝手を向上することができる。特に、1次元ア
レイ型,2次元アレイ型の音波トランスデューサを形成
する場合には、小さい面積中に多数の振動子を設けるこ
とができるから、物体表面の粗さや形状等の計測精度を
大幅に向上することができる。
ているから、該台座1に発振回路,受信回路,温度補償
回路等の回路を容易にパターン形成することができ、回
路の集積化を図ることができる。さらに、シリコン材料
は微細加工が容易で量産性に優れているから、製造コス
トを大幅に低減することができる。
動子4を設けた音波トランスデューサを例示したが、本
発明はこれに限らず、例えば図11に示す変形例の如
く、台座1上に複数の振動子4,4,…を直線状,平面
状に配設し、1次元アレイ型,2次元アレイ型の音波ト
ランスデューサとして構成してもよい。この場合には、
ホーン8,台座1に各振動子4に対応する開口部2,9
をそれぞれ形成すればよい。
等を角筒状に形成するものとして述べたが、本発明はこ
れに限らず、例えばイオンビームエッチング技術等の手
段を用いて、円筒状等の他の形状に形成してもよい。
亜鉛等の圧電材料から形成するものとして述べたが、こ
れに限らず、例えばPZT、チタン酸鉛等の他の無機質
圧電材料の薄膜やセラミックバルクの薄片、ポリフッ化
ビニリデン(PVDF)等の有機質圧電材料を用いて形
成してもよい。また、第2の電極7の他面側に保護層を
設けてもよい。
CVD法,熱酸化法等の手段により、シリコン製の台座
1の表面を一部酸化して、二酸化珪素の皮膜として形成
するものとして述べたが、これに替えて、例えばCVD
法により台座1に窒素を付加し、窒化物の膜として形成
してもよく、あるいは、この窒化物膜,二酸化珪素膜,
シリコン膜を任意の組合わせで積層化した多層膜として
形成してもよい。
れば、一端側から他端側に向けて順次縮径する開口部が
設けられたシリコン製の台座と、前記開口部を施蓋する
ように該台座の他端側に設けられた平板状の基板部と、
該基板部の他端側に設けられた第1の電極と、該第1の
電極の他端側に設けられた圧電体と、該圧電体の他端側
に設けられた第2の電極と、該第2の電極の他端側に位
置して前記台座に設けられ、一端側から他端側に向けて
順次拡径する開口部が形成されたシリコン製のホーンと
から構成したから、半導体微細加工技術を用いて音波ト
ランスデューサ全体を確実に小型化することができる。
この結果、シリコン製のホーンによって圧電体で発生さ
せた音波の指向性を効果的に高めることができ、検出感
度や性能等を向上することができ、取付けの自由度や使
い勝手を高めることができる。
イ型,2次元アレイ型の音波トランスデューサの場合に
は、物体表面の粗さや形状等の計測精度を向上すること
ができる。また、台座をシリコン材料から形成する構成
としたから、該台座に発振回路,受信回路,温度補償回
路等の回路を容易にパターン形成することができ、回路
の集積化を図ることができる。さらに、シリコン材料は
微細加工が容易で量産性に優れているから、製造コスト
を低減することができる。また、請求項2の発明によれ
ば、シリコン材料からなる台座とホーンとは、例えば陽
極接合等の接合手段を用いてこれらを一体に接合するこ
とができる。
示す縦断面図である。
た状態で示す平面図である。
断面図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 一端側から他端側に向けて順次縮径する
開口部が設けられたシリコン製の台座と、前記開口部を
施蓋するように該台座の他端側に設けられた平板状の基
板部と、該基板部の他端側に設けられた第1の電極と、
該第1の電極の他端側に設けられた圧電体と、該圧電体
の他端側に設けられた第2の電極と、該第2の電極の他
端側に位置して前記台座に設けられ、一端側から他端側
に向けて順次拡径する開口部が形成されたシリコン製の
ホーンとから構成してなる音波トランスデューサ。 - 【請求項2】 前記台座とホーンとは接合手段を用いて
一体に接合してなる請求項1に記載の音波トランスデュ
ーサ。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP11692592A JP3259322B2 (ja) | 1992-04-09 | 1992-04-09 | 音波トランスデューサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11692592A JP3259322B2 (ja) | 1992-04-09 | 1992-04-09 | 音波トランスデューサ |
Publications (2)
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JPH05292598A JPH05292598A (ja) | 1993-11-05 |
JP3259322B2 true JP3259322B2 (ja) | 2002-02-25 |
Family
ID=14699080
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11692592A Expired - Lifetime JP3259322B2 (ja) | 1992-04-09 | 1992-04-09 | 音波トランスデューサ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3259322B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
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JP4552883B2 (ja) * | 2006-04-19 | 2010-09-29 | 株式会社デンソー | 振動検出方法 |
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WO2018047585A1 (ja) * | 2016-09-07 | 2018-03-15 | 株式会社アルバック | デバイス及びデバイスの製造方法並びにアレイ型の超音波プローブの製造方法 |
-
1992
- 1992-04-09 JP JP11692592A patent/JP3259322B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
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JPH05292598A (ja) | 1993-11-05 |
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