JP3247715B2 - 素子冷却試験装置 - Google Patents
素子冷却試験装置Info
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- JP3247715B2 JP3247715B2 JP04412892A JP4412892A JP3247715B2 JP 3247715 B2 JP3247715 B2 JP 3247715B2 JP 04412892 A JP04412892 A JP 04412892A JP 4412892 A JP4412892 A JP 4412892A JP 3247715 B2 JP3247715 B2 JP 3247715B2
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- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、素子冷却試験装置に関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】素子冷却試験装置の従来技術には様々な
ものが提案されてきている。一般に試料ステージは真空
容器内に配設された極低温冷凍機のコールドヘツド上に
形成される。そして、この試料を例えば１０Ｋ程度の極
低温領域まで冷却して各種物性等の試験を行う。
ものが提案されてきている。一般に試料ステージは真空
容器内に配設された極低温冷凍機のコールドヘツド上に
形成される。そして、この試料を例えば１０Ｋ程度の極
低温領域まで冷却して各種物性等の試験を行う。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ここで、試料を操作す
るマニピユレータは真空容器が固定される架台上に配設
されている。一方、試料を冷却するための極低温冷凍機
のシリンダ内ではピストンが運動しているため、シリン
ダと連続しているコールドヘツド、試料ステージ及び試
料は振動してしまう。従つて、試料とマニピユレータと
の間には相対運動が生じ、マニピユレータのプローバ針
等により試料を不用意に傷付けたり、試料の状態を正確
に検出できないといつた不具合を有している。
るマニピユレータは真空容器が固定される架台上に配設
されている。一方、試料を冷却するための極低温冷凍機
のシリンダ内ではピストンが運動しているため、シリン
ダと連続しているコールドヘツド、試料ステージ及び試
料は振動してしまう。従つて、試料とマニピユレータと
の間には相対運動が生じ、マニピユレータのプローバ針
等により試料を不用意に傷付けたり、試料の状態を正確
に検出できないといつた不具合を有している。
【０００４】一方、実公昭６１−４５８７２号公報に開
示された従来技術では、極低温冷凍機に代えて液体窒素
等の寒剤にて試料を冷却するようになつている。このた
め、極低温冷凍機のような振動源がなくなるためマニピ
ユレータにより試料を正確に操作できるが、この素子冷
却試験装置では試料の冷却温度の限界はせいぜい７７Ｋ
程度と高くなつてしまう。
示された従来技術では、極低温冷凍機に代えて液体窒素
等の寒剤にて試料を冷却するようになつている。このた
め、極低温冷凍機のような振動源がなくなるためマニピ
ユレータにより試料を正確に操作できるが、この素子冷
却試験装置では試料の冷却温度の限界はせいぜい７７Ｋ
程度と高くなつてしまう。
【０００５】そこで、本発明では、極低温領域において
マニピユレータにより試料を正確に検出できるようにす
ることを、その技術的課題とする。
マニピユレータにより試料を正確に検出できるようにす
ることを、その技術的課題とする。
【０００６】
【０００７】
【課題を解決するための手段】前述した本発明の技術的
課題を解決するために講じた本発明の技術的手段は、真
空容器と、真空容器内に配設される極低温冷凍機のコー
ルドヘツド及びシリンダと、コールドヘツド上に配設さ
れる試料ステージと、シリンダ外周上に移動可能に配設
され、試料ステージ上の試料を操作できるマニピユレー
タとから素子冷却試験装置を構成したことである。
課題を解決するために講じた本発明の技術的手段は、真
空容器と、真空容器内に配設される極低温冷凍機のコー
ルドヘツド及びシリンダと、コールドヘツド上に配設さ
れる試料ステージと、シリンダ外周上に移動可能に配設
され、試料ステージ上の試料を操作できるマニピユレー
タとから素子冷却試験装置を構成したことである。
【０００８】
【作用】上述した本発明の技術的手段によれば、シリン
ダ上に移動可能に配設されたマニピユレータにより試料
ステージ上の試料を問題なく検出できる。
ダ上に移動可能に配設されたマニピユレータにより試料
ステージ上の試料を問題なく検出できる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の技術的手段を具体化した実施
例について添付図面に基づいて説明する。
例について添付図面に基づいて説明する。
【００１０】図１乃至図２において、素子冷却試験装置
１０における極低温冷凍機（例えば逆スターリングサイ
クル・ＧＭサイクル冷凍機等）１１のコールドヘツド１
２は真空容器１３内に配設されている。尚、コールドヘ
ツド１２と極低温冷凍機１１のシリンダ１４は連続して
おり、コールドヘツド上には試料ステージ１５が形成さ
れている。また、極低温冷凍機１１の一部と真空容器１
３の下端はフランジ１６を介して図示しない架台に固設
されている。真空容器１３の上端にはＯリング等の真空
シール材を介して上蓋１７が配設されると共に、上蓋１
７には覗き窓１８等が形成されている。
１０における極低温冷凍機（例えば逆スターリングサイ
クル・ＧＭサイクル冷凍機等）１１のコールドヘツド１
２は真空容器１３内に配設されている。尚、コールドヘ
ツド１２と極低温冷凍機１１のシリンダ１４は連続して
おり、コールドヘツド上には試料ステージ１５が形成さ
れている。また、極低温冷凍機１１の一部と真空容器１
３の下端はフランジ１６を介して図示しない架台に固設
されている。真空容器１３の上端にはＯリング等の真空
シール材を介して上蓋１７が配設されると共に、上蓋１
７には覗き窓１８等が形成されている。
【００１１】シリンダ１４の外周上において、シリンダ
１４を挟持するような形でステージ固定部材１８，１９
が上下方向，回転方向に移動可能に配設されている。ま
た、ステージ固定部材１８，１９からシリンダ１４への
熱侵入量を低減するため、シリンダ１４とステージ固定
部材１８，１９との間には複数のシヤフト（例えば断熱
材料で作成されることが望ましい）２０が配設されてい
る。このステージ固定部材１８，１９には一体にプロー
バステージ２１が配設されており、更にプローバステー
ジ２１上の任意の位置にはマニピユレータ２２が例えば
マグネツト等により固定される。
１４を挟持するような形でステージ固定部材１８，１９
が上下方向，回転方向に移動可能に配設されている。ま
た、ステージ固定部材１８，１９からシリンダ１４への
熱侵入量を低減するため、シリンダ１４とステージ固定
部材１８，１９との間には複数のシヤフト（例えば断熱
材料で作成されることが望ましい）２０が配設されてい
る。このステージ固定部材１８，１９には一体にプロー
バステージ２１が配設されており、更にプローバステー
ジ２１上の任意の位置にはマニピユレータ２２が例えば
マグネツト等により固定される。
【００１２】マニピユレータ２２は支持部材２３により
支持されたプローバ針２４を有し、つまみ２５，２６，
２７によりプローバ針２４の位置をＸ，Ｙ，Ｚ方向に任
意に移動させることができ、試料ステージ１５上の試料
２８を検出できる。例えば、コールドヘツド１２の冷凍
出力により冷却された試料２８の電気発生変化（微小電
流）等を、試料２８にコンタクトさせたプローバ針２４
により検出する。
支持されたプローバ針２４を有し、つまみ２５，２６，
２７によりプローバ針２４の位置をＸ，Ｙ，Ｚ方向に任
意に移動させることができ、試料ステージ１５上の試料
２８を検出できる。例えば、コールドヘツド１２の冷凍
出力により冷却された試料２８の電気発生変化（微小電
流）等を、試料２８にコンタクトさせたプローバ針２４
により検出する。
【００１３】
【発明の効果】上述したように本発明の素子冷却試験装
置では、試料ステージとの相対運動量が０であるシリン
ダ上にマニピユレータを配設したことで、極低温冷凍機
の運転中においてもマニピユレータにより試料を正確に
検出できる。
置では、試料ステージとの相対運動量が０であるシリン
ダ上にマニピユレータを配設したことで、極低温冷凍機
の運転中においてもマニピユレータにより試料を正確に
検出できる。
【図１】本発明実施例の素子冷却試験装置の構成図を示
す。
す。
【図２】図１における要部断面図を示す。
１０ 素子冷却試験装置、 １１ 極低温冷凍機、 １２ コールドヘツド、 １３ 真空容器、 １４ シリンダ、 １５ 試料ステージ、 ２２ マニピユレータ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−68547（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−104349（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01L 7/00 B01L 11/00 - 11/02 G01N 25/00
Claims (1)
- 【請求項１】 真空容器と、 該真空容器内に配設される極低温冷凍機のコールドヘツ
ド及びシリンダと、 該コールドヘツド上に配設される試料ステージと、 前記シリンダ外周上に移動可能に配設され、前記試料ス
テージ上の試料を操作できるマニピユレータとから成る
素子冷却試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04412892A JP3247715B2 (ja) | 1992-02-29 | 1992-02-29 | 素子冷却試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04412892A JP3247715B2 (ja) | 1992-02-29 | 1992-02-29 | 素子冷却試験装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05245395A JPH05245395A (ja) | 1993-09-24 |
| JP3247715B2 true JP3247715B2 (ja) | 2002-01-21 |
Family
ID=12682981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04412892A Expired - Fee Related JP3247715B2 (ja) | 1992-02-29 | 1992-02-29 | 素子冷却試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3247715B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8307665B2 (en) | 2006-04-06 | 2012-11-13 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Sample cooling apparatus |
| JP4803518B2 (ja) * | 2006-04-06 | 2011-10-26 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 試料冷却装置 |
| TW201011298A (en) * | 2008-09-04 | 2010-03-16 | Star Techn Inc | Low tempeature probe apparatus |
| JP5715444B2 (ja) * | 2011-02-28 | 2015-05-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置装置 |
| CN105536907A (zh) * | 2016-01-21 | 2016-05-04 | 安徽万瑞冷电科技有限公司 | 低温恒温池实验平台 |
-
1992
- 1992-02-29 JP JP04412892A patent/JP3247715B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05245395A (ja) | 1993-09-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |