JP3246975B2 - 圧電型振動センサ - Google Patents
圧電型振動センサInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、片持ち梁型の圧電型振
動センサに関し、特に２方向の振動を測定する圧電型振
動センサに関する。
動センサに関し、特に２方向の振動を測定する圧電型振
動センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】ビーム状の検知部を有し、その長手方向
の一端を剛に固定した片持ち梁型の圧電型振動センサ
は、形状が単純で、比較的低コストで製造できるといっ
た点から、各種振動計測装置やＯＡ機器等に多く利用さ
れている。
の一端を剛に固定した片持ち梁型の圧電型振動センサ
は、形状が単純で、比較的低コストで製造できるといっ
た点から、各種振動計測装置やＯＡ機器等に多く利用さ
れている。
【０００３】図３に、片持ち梁型の圧電型振動センサの
一従来例を示す。この圧電型振動センサ１は、台座２と
検知部３とから概略構成される。検知部３は、振動モー
ドを制御する振動板４と、この振動板４の両面に、極性
が反転するように設けられた圧電体５、５と、各圧電体
５、５の上面にそれぞれ設けられた電極６とからなる。
この検知部３は、その一端が剛に台座２に固定され、各
圧電体５、５の表面に設けられた電極６、６より出力を
取り出す構成とされている。
一従来例を示す。この圧電型振動センサ１は、台座２と
検知部３とから概略構成される。検知部３は、振動モー
ドを制御する振動板４と、この振動板４の両面に、極性
が反転するように設けられた圧電体５、５と、各圧電体
５、５の上面にそれぞれ設けられた電極６とからなる。
この検知部３は、その一端が剛に台座２に固定され、各
圧電体５、５の表面に設けられた電極６、６より出力を
取り出す構成とされている。
【０００４】また図４は、他の従来例を示している。こ
の例の圧電型振動センサ１にあっては、その検知部３
が、振動板４と、この振動板４の片面に設けられた圧電
体５と、この圧電体５の両面に設けられた電極６とから
構成されている。
の例の圧電型振動センサ１にあっては、その検知部３
が、振動板４と、この振動板４の片面に設けられた圧電
体５と、この圧電体５の両面に設けられた電極６とから
構成されている。
【０００５】これらの圧電型振動センサ１は、両者と
も、振動板４の面に垂直な方向の振動を受けることによ
って該振動板４がたわみ、その表面に設けられた圧電体
５による圧電性から、出力を取り出すことができるとい
うものである。
も、振動板４の面に垂直な方向の振動を受けることによ
って該振動板４がたわみ、その表面に設けられた圧電体
５による圧電性から、出力を取り出すことができるとい
うものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前述した圧
電型振動センサにあっては、測定する振動の方向が１つ
の方向に限られていた。そのため、互いに直交する２方
向（二次元平面の振動）を測定するには、２つのセンサ
を用意し、互いに直交するように配置しなければならな
かった。よって、コストが嵩み、また大きなスペースを
必要とするなどの問題があった。
電型振動センサにあっては、測定する振動の方向が１つ
の方向に限られていた。そのため、互いに直交する２方
向（二次元平面の振動）を測定するには、２つのセンサ
を用意し、互いに直交するように配置しなければならな
かった。よって、コストが嵩み、また大きなスペースを
必要とするなどの問題があった。
【０００７】また、圧電体は、圧電性の他に焦電性をも
示すものであるから、この検知部に急激な温度変化が加
わった場合、焦電性による出力を生じ、誤動作の原因と
なり、正確な測定を行うことが困難であるといった問題
もあった。
示すものであるから、この検知部に急激な温度変化が加
わった場合、焦電性による出力を生じ、誤動作の原因と
なり、正確な測定を行うことが困難であるといった問題
もあった。
【０００８】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、一つのセンサで互いに直交する２方向
の振動を測定することができる圧電型振動センサを提供
することを目的としている。またさらに、焦電による誤
動作を無くして正確な測定を行える圧電型振動センサを
提供することを目的としている。
たものであって、一つのセンサで互いに直交する２方向
の振動を測定することができる圧電型振動センサを提供
することを目的としている。またさらに、焦電による誤
動作を無くして正確な測定を行える圧電型振動センサを
提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明の請求項１に記載の圧電型振動センサは、
振動モードを制御する振動ロッドの長手方向の一端を剛
に固定し、かつこの振動ロッドの長手方向に直交する断
面形状を、点対称でかつ９０°回転時にも同一形状をな
す形状とし、この振動ロッドの側面には、互いに直交す
るようにして２つの圧電体を設け、各圧電体の両面にそ
れぞれ電極を配したことを特徴としている。
めに、本発明の請求項１に記載の圧電型振動センサは、
振動モードを制御する振動ロッドの長手方向の一端を剛
に固定し、かつこの振動ロッドの長手方向に直交する断
面形状を、点対称でかつ９０°回転時にも同一形状をな
す形状とし、この振動ロッドの側面には、互いに直交す
るようにして２つの圧電体を設け、各圧電体の両面にそ
れぞれ電極を配したことを特徴としている。
【００１０】請求項２に記載の圧電型振動センサは、振
動モードを制御する振動ロッドの長手方向の一端を剛に
固定し、かつこの振動ロッドの長手方向に直交する断面
形状を、点対称でかつ９０°回転時にも同一形状をなす
形状とし、この振動ロッドの側面には、互いに平行状態
で対向する１対の圧電体を、相互に直交するように２組
設け、各圧電体の両面にそれぞれ電極を配したことを特
徴としている。
動モードを制御する振動ロッドの長手方向の一端を剛に
固定し、かつこの振動ロッドの長手方向に直交する断面
形状を、点対称でかつ９０°回転時にも同一形状をなす
形状とし、この振動ロッドの側面には、互いに平行状態
で対向する１対の圧電体を、相互に直交するように２組
設け、各圧電体の両面にそれぞれ電極を配したことを特
徴としている。
【００１１】
【作用】請求項１の圧電型振動センサによれば、振動ロ
ッドの断面形状が点対称でかつ９０°回転時にも同一形
状をなす形状とされ、振動ロッドの側面に、互いに直交
するように２枚の圧電体が設けられているので、平面２
方向の振動をそれぞれの圧電体が受けて、各圧電体の両
面に配された電極間の電荷量または電位差から出力を得
ることから、それぞれの方向の振動を測定することがで
きる。
ッドの断面形状が点対称でかつ９０°回転時にも同一形
状をなす形状とされ、振動ロッドの側面に、互いに直交
するように２枚の圧電体が設けられているので、平面２
方向の振動をそれぞれの圧電体が受けて、各圧電体の両
面に配された電極間の電荷量または電位差から出力を得
ることから、それぞれの方向の振動を測定することがで
きる。
【００１２】また、請求項２の圧電型振動センサによれ
ば、振動ロッドの側面に、互いに平行状態で対向する１
対の圧電体が、相互に直交するように２組設けられてい
るので、平面２方向の振動をそれぞれ測定することがで
きる。またこの時、対向する１対の圧電体の同極性面に
配された２組の電極のうち、１組を電気的に短絡させ、
もうう１組の電極間の電荷量または電位差から出力を得
るので、焦電による誤動作を防止することができる。
ば、振動ロッドの側面に、互いに平行状態で対向する１
対の圧電体が、相互に直交するように２組設けられてい
るので、平面２方向の振動をそれぞれ測定することがで
きる。またこの時、対向する１対の圧電体の同極性面に
配された２組の電極のうち、１組を電気的に短絡させ、
もうう１組の電極間の電荷量または電位差から出力を得
るので、焦電による誤動作を防止することができる。
【００１３】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を説
明する。図１は、請求項１に記載の圧電型振動センサの
一実施例を示すもので、図１（ａ）はこの圧電型振動セ
ンサの構成を示す斜視図、図１（ｂ）および図１（ｃ）
は配線図である。
明する。図１は、請求項１に記載の圧電型振動センサの
一実施例を示すもので、図１（ａ）はこの圧電型振動セ
ンサの構成を示す斜視図、図１（ｂ）および図１（ｃ）
は配線図である。
【００１４】本実施例の圧電型振動センサ１１は、台座
１２と検知部１３とから、概略構成されている。台座１
２は、例えば金属あるいは繊維強化樹脂など、充分な剛
性を持つ材料よりなる。
１２と検知部１３とから、概略構成されている。台座１
２は、例えば金属あるいは繊維強化樹脂など、充分な剛
性を持つ材料よりなる。
【００１５】検知部１３は、長手方向の一端が前記台座
１２に剛に固定された振動ロッド１４と、この振動ロッ
ド１４の側面に設けられた第１および第２の圧電体１
５、１６と、各圧電体１５、１６の両面に配された電極
１７ａ、１７ｂ、１８ａ、１８ｂとを主体として、概略
構成されている。
１２に剛に固定された振動ロッド１４と、この振動ロッ
ド１４の側面に設けられた第１および第２の圧電体１
５、１６と、各圧電体１５、１６の両面に配された電極
１７ａ、１７ｂ、１８ａ、１８ｂとを主体として、概略
構成されている。
【００１６】振動ロッド１４は、真ちゅうなどの材料か
らなる直方体形状を有し、その長手方向に直交する断面
が正方形とされている。この断面の形状は、互いに直交
する２方向で同一の振動モードを与え、かつ感度や周波
数特性を同じにするために、点対称でかつ９０°回転時
にも同一形状をなす形状とされ、先に述べた正方形の他
に、例えば真円形や正八角形などであってもよい。
らなる直方体形状を有し、その長手方向に直交する断面
が正方形とされている。この断面の形状は、互いに直交
する２方向で同一の振動モードを与え、かつ感度や周波
数特性を同じにするために、点対称でかつ９０°回転時
にも同一形状をなす形状とされ、先に述べた正方形の他
に、例えば真円形や正八角形などであってもよい。
【００１７】圧電体は、振動ロッド１４の隣接する２つ
の側面上に、互いに直交するように、２枚（第１圧電体
１５および第２圧電体１６）設けられている。これらの
圧電体１５、１６には、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデ
ン）などからなる板状の圧電体が用いられ、第１圧電体
１５と第２圧電体１６とは、２方向の測定感度を等しく
するために、合同形状とされることが望ましい。
の側面上に、互いに直交するように、２枚（第１圧電体
１５および第２圧電体１６）設けられている。これらの
圧電体１５、１６には、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデ
ン）などからなる板状の圧電体が用いられ、第１圧電体
１５と第２圧電体１６とは、２方向の測定感度を等しく
するために、合同形状とされることが望ましい。
【００１８】電極は、これら第１および第２の圧電体１
５、１６の両面に設けられてなり、具体的には、第１圧
電体１５の外表面に配された第１外側電極１７ａと、振
動ロッド１４側に配された第１内側電極１７ｂと、第２
圧電体１６の外表面に配された第２外側電極１８ａと、
振動ロッド１４側に配された第２内側電極１８ｂとの４
枚が設けられるが、前記振動ロッド１４が導電性材料か
らなる場合には、第１および第２の内側電極１７ｂ、１
８ｂはこの振動ロッド１４で代用することも可能であ
る。これらの電極１７ａ、１７ｂ、１８ａ、１８ｂに
は、ニッケル／銅蒸着電極や、銅箔、すず箔などが用い
られる。各圧電体１５、１６の外表面に配された第１外
側電極１７ａと第２外側電極１８ａは、図１（ｂ）、
（ｃ）に示すように、それぞれ出力端子１９、出力端子
２０に接続される。
５、１６の両面に設けられてなり、具体的には、第１圧
電体１５の外表面に配された第１外側電極１７ａと、振
動ロッド１４側に配された第１内側電極１７ｂと、第２
圧電体１６の外表面に配された第２外側電極１８ａと、
振動ロッド１４側に配された第２内側電極１８ｂとの４
枚が設けられるが、前記振動ロッド１４が導電性材料か
らなる場合には、第１および第２の内側電極１７ｂ、１
８ｂはこの振動ロッド１４で代用することも可能であ
る。これらの電極１７ａ、１７ｂ、１８ａ、１８ｂに
は、ニッケル／銅蒸着電極や、銅箔、すず箔などが用い
られる。各圧電体１５、１６の外表面に配された第１外
側電極１７ａと第２外側電極１８ａは、図１（ｂ）、
（ｃ）に示すように、それぞれ出力端子１９、出力端子
２０に接続される。
【００１９】このようにしてなる圧電型振動センサ１１
によれば、振動ロッド１４の断面形状が点対称でかつ９
０°回転時にも同一形状をなす形状とされ、振動ロッド
１４の側面に、互いに直交するように２枚の圧電体１
５、１６が設けられているので、平面２方向の振動をそ
れぞれの圧電体１５、１６が受け、各圧電体１５、１６
の両面に配された電極１７ａ，１７ｂ、１８ａ，１８ｂ
間の電荷量または電位差から出力を得ることから、それ
ぞれの方向の振動を測定することができる。そのため、
従来のように２つのセンサを使用する必要が無くなり、
センサの小型化および低コスト化を図ることができる。
によれば、振動ロッド１４の断面形状が点対称でかつ９
０°回転時にも同一形状をなす形状とされ、振動ロッド
１４の側面に、互いに直交するように２枚の圧電体１
５、１６が設けられているので、平面２方向の振動をそ
れぞれの圧電体１５、１６が受け、各圧電体１５、１６
の両面に配された電極１７ａ，１７ｂ、１８ａ，１８ｂ
間の電荷量または電位差から出力を得ることから、それ
ぞれの方向の振動を測定することができる。そのため、
従来のように２つのセンサを使用する必要が無くなり、
センサの小型化および低コスト化を図ることができる。
【００２０】また、共振点が高くなるため、測定可能な
周波数領域が拡がる利点もある。
周波数領域が拡がる利点もある。
【００２１】次に、請求項２に記載の圧電型振動センサ
の一実施例について、図２を参照しつつ説明する。図２
（ａ）は、この圧電型振動センサの構造を示す斜視図、
図２（ｂ）および図２（ｃ）は、配線図である。
の一実施例について、図２を参照しつつ説明する。図２
（ａ）は、この圧電型振動センサの構造を示す斜視図、
図２（ｂ）および図２（ｃ）は、配線図である。
【００２２】この例の圧電型振動センサ２１において
は、振動ロッド２４の表面に、該表面を周方向に均等に
４分割するようにして互いに直交して、すなわち４つの
側面に沿って、それぞれ圧電体が設けられている。換言
すれば、互いに対向する一対の圧電体（第１圧電体２５
と第２圧電体２６、第３圧電体２７と第４圧電体２８）
が、相互に直交するように２組設けられている。第１圧
電体２５と第２圧電体２６、また第３圧電体２７と第４
圧電体２８は、それぞれ振動ロッド２４側に向く極性が
互いに等しくなるように設けられる。
は、振動ロッド２４の表面に、該表面を周方向に均等に
４分割するようにして互いに直交して、すなわち４つの
側面に沿って、それぞれ圧電体が設けられている。換言
すれば、互いに対向する一対の圧電体（第１圧電体２５
と第２圧電体２６、第３圧電体２７と第４圧電体２８）
が、相互に直交するように２組設けられている。第１圧
電体２５と第２圧電体２６、また第３圧電体２７と第４
圧電体２８は、それぞれ振動ロッド２４側に向く極性が
互いに等しくなるように設けられる。
【００２３】各圧電体２５、２６、２７、２８の両面に
は、それぞれ電極が配されている。すなわち、第１圧電
体２５の外表面に配された第１外側電極２９ａと、振動
ロッド２４側に配された第１内側電極２９ｂと、第２圧
電体２６の外表面に配された第２外側電極３０ａと、振
動ロッド２４側に配された第２内側電極３０ｂと、第３
圧電体２７の外表面に配された第３外側電極３１ａと、
振動ロッド２４側に配された第３内側電極３１ｂと、第
４圧電体２８の外表面に配された第４外側電極３２ａ
と、振動ロッド２４側に配された第４内側電極３２ｂと
である。
は、それぞれ電極が配されている。すなわち、第１圧電
体２５の外表面に配された第１外側電極２９ａと、振動
ロッド２４側に配された第１内側電極２９ｂと、第２圧
電体２６の外表面に配された第２外側電極３０ａと、振
動ロッド２４側に配された第２内側電極３０ｂと、第３
圧電体２７の外表面に配された第３外側電極３１ａと、
振動ロッド２４側に配された第３内側電極３１ｂと、第
４圧電体２８の外表面に配された第４外側電極３２ａ
と、振動ロッド２４側に配された第４内側電極３２ｂと
である。
【００２４】第１内側電極２９ｂと第２内側電極３０
ｂ、第３内側電極３１ｂと第４内側電極３２ｂとは、そ
れぞれ短絡され、第１外側電極２９ａ、および第３外側
電極３１ａは、それぞれ出力端子３３、出力端子３４に
接続されている。あるいは、第１外側電極２９ａと第２
外側電極３０ａ、第３外側電極３１ａと第４外側電極３
２ａとがそれぞれ短絡され、第１内側電極２９ｂおよび
第３内側電極３１ｂが、それぞれ出力端子３３、出力端
子３４に接続されてもよい。
ｂ、第３内側電極３１ｂと第４内側電極３２ｂとは、そ
れぞれ短絡され、第１外側電極２９ａ、および第３外側
電極３１ａは、それぞれ出力端子３３、出力端子３４に
接続されている。あるいは、第１外側電極２９ａと第２
外側電極３０ａ、第３外側電極３１ａと第４外側電極３
２ａとがそれぞれ短絡され、第１内側電極２９ｂおよび
第３内側電極３１ｂが、それぞれ出力端子３３、出力端
子３４に接続されてもよい。
【００２５】このように、本実施例の圧電型振動センサ
２１によれば、振動ロッド２４の側面に、互いに平行状
態で対向する１対の圧電体が、相互に直交するように２
組設けられているので、１つのセンサで平面２方向の振
動をそれぞれ測定することができる。またこの時、対向
する１対の圧電体の同極性面に配された電極間の電荷量
または電位差から出力を得るので、焦電による誤動作を
防止して、正確な測定を行うことができる。
２１によれば、振動ロッド２４の側面に、互いに平行状
態で対向する１対の圧電体が、相互に直交するように２
組設けられているので、１つのセンサで平面２方向の振
動をそれぞれ測定することができる。またこの時、対向
する１対の圧電体の同極性面に配された電極間の電荷量
または電位差から出力を得るので、焦電による誤動作を
防止して、正確な測定を行うことができる。
【００２６】以下、具体的な実施例を示して、本発明の
効果を明らかにする。 （実施例１）図１に示した構造の圧電型振動センサを作
製した。振動ロッドには、真ちゅう製の直方体状（縦１
ｍｍ、横１ｍｍ、長さ１ｃｍ）のものを使用した。圧電
体には、ＰＶＤＦ製の板状（幅１ｍｍ、長さ１ｃｍ、厚
さ１１０μｍ）のものを２枚使用した。電極は、第１お
よび第２外側電極を、ニッケル／銅蒸着電極とし、第１
および第２内側電極は、真ちゅう製の振動ロッドで代用
した。
効果を明らかにする。 （実施例１）図１に示した構造の圧電型振動センサを作
製した。振動ロッドには、真ちゅう製の直方体状（縦１
ｍｍ、横１ｍｍ、長さ１ｃｍ）のものを使用した。圧電
体には、ＰＶＤＦ製の板状（幅１ｍｍ、長さ１ｃｍ、厚
さ１１０μｍ）のものを２枚使用した。電極は、第１お
よび第２外側電極を、ニッケル／銅蒸着電極とし、第１
および第２内側電極は、真ちゅう製の振動ロッドで代用
した。
【００２７】（比較例１）図３に示した構造の圧電型振
動センサを作製した。振動板には、真ちゅう製の板状
（幅１ｍｍ、長さ１ｃｍ、厚さ０.２ｍｍ）のものを使
用した。圧電体、電極には、それぞれ実施例１と同様の
ものを使用した。
動センサを作製した。振動板には、真ちゅう製の板状
（幅１ｍｍ、長さ１ｃｍ、厚さ０.２ｍｍ）のものを使
用した。圧電体、電極には、それぞれ実施例１と同様の
ものを使用した。
【００２８】（比較例２）図４に示した構造を有する圧
電型振動センサを作製した。振動板、圧電体、電極に
は、比較例１と同様のものを使用した。ただし、圧電体
の使用枚数は１枚とした。
電型振動センサを作製した。振動板、圧電体、電極に
は、比較例１と同様のものを使用した。ただし、圧電体
の使用枚数は１枚とした。
【００２９】（振動測定）実施例１のセンサは１個用意
し、比較例１および２のセンサは各２個ずつ用意して、
それぞれ互いに直交するように固定した。こうして用意
した実施例１および比較例１、２のセンサに、それぞれ
直交する８０Ｈｚ、１ｇの振動を加え、出力を測定し
た。出力は、実施例１の第１圧電体の一方向の出力を基
準とした。結果を、表１に示す。
し、比較例１および２のセンサは各２個ずつ用意して、
それぞれ互いに直交するように固定した。こうして用意
した実施例１および比較例１、２のセンサに、それぞれ
直交する８０Ｈｚ、１ｇの振動を加え、出力を測定し
た。出力は、実施例１の第１圧電体の一方向の出力を基
準とした。結果を、表１に示す。
【００３０】（周波数領域の測定）加速度を１ｇ一定と
し、周波数を変化させて、実施例１および比較例１、２
のセンサの出力を測定し、８０Ｈｚを基準に±１０％以
内の領域を求めた。結果を表２に示す。
し、周波数を変化させて、実施例１および比較例１、２
のセンサの出力を測定し、８０Ｈｚを基準に±１０％以
内の領域を求めた。結果を表２に示す。
【００３１】
【表１】
【００３２】
【表２】
【００３３】表１の結果より、実施例において、一つの
圧電型振動センサで２方向の振動をそれぞれ同時に測定
することができることが明らかとなった。また表２の結
果より、測定できる周波数領域が、比較例に比べ実施例
において、大幅に拡がっていることが確認された。
圧電型振動センサで２方向の振動をそれぞれ同時に測定
することができることが明らかとなった。また表２の結
果より、測定できる周波数領域が、比較例に比べ実施例
において、大幅に拡がっていることが確認された。
【００３４】（実施例２）図２に示した構造の圧電型振
動センサを作製した。振動ロッドには、真ちゅう製の直
方体状（縦１ｍｍ、横１ｍｍ、長さ１ｃｍ）のものを使
用した。圧電体には、ＰＶＤＦ製の板状（幅０.９ｍ
ｍ、長さ９ｍｍ、厚さ１１０μｍ）のものを４枚使用し
た。電極は、ニッケル／銅蒸着電極とした。圧電体は、
いずれも、引っ張り応力を受けた時＋の電荷を発生する
面を、振動ロッド側に向けて配置した。
動センサを作製した。振動ロッドには、真ちゅう製の直
方体状（縦１ｍｍ、横１ｍｍ、長さ１ｃｍ）のものを使
用した。圧電体には、ＰＶＤＦ製の板状（幅０.９ｍ
ｍ、長さ９ｍｍ、厚さ１１０μｍ）のものを４枚使用し
た。電極は、ニッケル／銅蒸着電極とした。圧電体は、
いずれも、引っ張り応力を受けた時＋の電荷を発生する
面を、振動ロッド側に向けて配置した。
【００３５】（比較例３）図１に示した構造の圧電型振
動センサを作製した。振動ロッド、圧電体、電極には、
実施例２と同様のものを使用した。ただし、圧電体の使
用枚数は２枚とした。
動センサを作製した。振動ロッド、圧電体、電極には、
実施例２と同様のものを使用した。ただし、圧電体の使
用枚数は２枚とした。
【００３６】（振動測定）実施例２および比較例３のセ
ンサに、８０Ｈｚ、１ｇの正弦振動を２方向にそれぞれ
順次加え、２方向の出力を測定した。出力は、実施例２
の第１圧電体の一方向の出力を基準とした。結果を、表
３に示す。
ンサに、８０Ｈｚ、１ｇの正弦振動を２方向にそれぞれ
順次加え、２方向の出力を測定した。出力は、実施例２
の第１圧電体の一方向の出力を基準とした。結果を、表
３に示す。
【００３７】
【表３】
【００３８】（焦電出力の測定）実施例２および比較例
３のセンサを、室温から６０℃の温水中に浸漬し、その
時の焦電出力を測定した。各センサは、防水のためビニ
ール袋内に密閉した状態で測定を行った。出力は、前記
振動測定試験における実施例２の第１圧電体の一方向の
出力を基準とした。結果を表４に示す。
３のセンサを、室温から６０℃の温水中に浸漬し、その
時の焦電出力を測定した。各センサは、防水のためビニ
ール袋内に密閉した状態で測定を行った。出力は、前記
振動測定試験における実施例２の第１圧電体の一方向の
出力を基準とした。結果を表４に示す。
【００３９】
【表４】
【００４０】表３の結果より、実施例２および比較例３
は、ともに１つの圧電型振動センサで、２方向の振動を
測定できることが確認された。さらに表４の結果より、
対向する２組の圧電体を設けた実施例２の圧電型振動セ
ンサにおいて、焦電出力が低く、そのために誤動作を防
止できることが明らかとなった。
は、ともに１つの圧電型振動センサで、２方向の振動を
測定できることが確認された。さらに表４の結果より、
対向する２組の圧電体を設けた実施例２の圧電型振動セ
ンサにおいて、焦電出力が低く、そのために誤動作を防
止できることが明らかとなった。
【００４１】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の圧電型
振動センサによれば、１つのセンサで平面２方向の振動
をそれぞれ測定することができる。そのため、センサの
小型化および低コスト化を図ることができる。
振動センサによれば、１つのセンサで平面２方向の振動
をそれぞれ測定することができる。そのため、センサの
小型化および低コスト化を図ることができる。
【００４２】請求項２の圧電型振動センサによれば、１
つのセンサで平面２方向の振動をそれぞれ測定すること
ができるうえに、焦電による誤動作を防止して正確な測
定を行うことができる。
つのセンサで平面２方向の振動をそれぞれ測定すること
ができるうえに、焦電による誤動作を防止して正確な測
定を行うことができる。
【図１】請求項１の圧電型振動センサの一実施例を示す
斜視図および配線図である。
斜視図および配線図である。
【図２】請求項２の圧電型振動センサの一実施例を示す
斜視図および配線図である。
斜視図および配線図である。
【図３】従来の圧電型振動センサの一例を示す斜視図お
よび配線図である。
よび配線図である。
【図４】従来の圧電型振動センサの他の例を示す斜視図
および配線図である。
および配線図である。
１１ 圧電型振動センサ １４ 振動ロッド １５、１６ 圧電体 １７ａ，１７ｂ、１８ａ，１８ｂ 電極 ２１ 圧電型振動センサ ２４ 振動ロッド ２５、２６、２７、２８ 圧電体 ２９ａ，２９ｂ、３０ａ，３０ｂ、３１ａ，３１ｂ、３
２ａ，３２ｂ 電極
２ａ，３２ｂ 電極
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−188079（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−88573（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−364466（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−213069（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−213070（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−282459（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−282460（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01P 15/09 G01P 15/18
Claims (2)
- 【請求項１】 振動モードを制御する振動ロッドの長手
方向の一端を剛に固定し、かつこの振動ロッドの長手方
向に直交する断面形状を、点対称でかつ９０°回転時に
も同一形状をなす形状とし、この振動ロッドの側面に
は、互いに直交するように２つの圧電体を設け、各圧電
体の両面にそれぞれ電極を配したことを特徴とする圧電
型振動センサ。 - 【請求項２】 振動モードを制御する振動ロッドの長手
方向の一端を剛に固定し、かつこの振動ロッドの長手方
向に直交する断面形状を、点対称でかつ９０°回転時に
も同一形状をなす形状とし、この振動ロッドの側面に
は、互いに平行状態で対向する１対の圧電体を、相互に
直交するように２組設け、各圧電体の両面にそれぞれ電
極を配したことを特徴とする圧電型振動センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03910393A JP3246975B2 (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 圧電型振動センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03910393A JP3246975B2 (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 圧電型振動センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06249870A JPH06249870A (ja) | 1994-09-09 |
| JP3246975B2 true JP3246975B2 (ja) | 2002-01-15 |
Family
ID=12543739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03910393A Expired - Fee Related JP3246975B2 (ja) | 1993-02-26 | 1993-02-26 | 圧電型振動センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3246975B2 (ja) |
-
1993
- 1993-02-26 JP JP03910393A patent/JP3246975B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06249870A (ja) | 1994-09-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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