JP2004533615A - 電気活性湾曲へリックスまたは二重ヘリックスを使用したセンサ - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
本発明は、電気活性デバイスを使用したセンサ、つまり構造の端部の相対変位を感知するようになされた電気活性構造を使用した装置に関する。
【背景技術】
【0002】
電気活性材料は、印加される電気条件に応答して変形する材料であり、あるいは逆に、印加される変形に応答して変化する電気特性を有している。最も良く知られ、かつ、最も広く開発されているタイプの電気活性材料は圧電材料であるが、他のタイプの電気活性材料には、電歪材料およびピエゾ抵抗材料がある。電気活性特性を利用した多くの装置が知られている。
【0003】
単純な圧電加速度センサは、圧電材料の固まりからなっているが、その圧電効果が小さく、10−10m/V程度であるため、センサの感度が極めて小さく、また、出力される電気信号のレベルも極めて小さい。信号レベルが小さいと雑音の影響を受けやすいため、これは、この種のセンサの主な欠点の1つである。雑音を最小化し、かつ、検出器回路によって検出される発生信号の信号対雑音比が十分に小さいことを保証するためには、通常、専用の電荷増幅器および専用のケーブル布線が必要であり、そのため、多くの製造者は、近代の超小型機械加工技術を使用して、加速度センサおよびエレクトロニクスを単一シリコン・デバイス中に統合しており、自動車用エア・バッグなどの適用例にこのようなデバイスが広く使用されている。圧電材料の固まりの変位が小さいため、機械アクチュエータには、通常、基本的なカンチレバーが必要であるが、そのために全体としてのセンサの感度が制限されている。
【0004】
より大きい変位を達成し、かつ、変位センサとしての応用を拡大するべく、より複雑な電気活性構造が開発されているが、このような電気活性構造は、以下の問題を抱えている。
【0005】
知られている電気活性構造は、湾曲構造、例えばバイモル湾曲構造である。湾曲構造の場合、電気活性構造は複数の層からなっており、そのうちの少なくとも1つは、電気活性材料の層である。層は相互結合によって拘束されているため、湾曲を層に対して直角に湾曲させることによって機械的に活性化されると、例えば1つの層が伸長し、他の層が収縮して層と層の間の長さが差動変化して変形する。したがって、構造の端部の相対変位に応じて電圧が出力される。しかし、湾曲の相対変位は、線形経路空間に追従していない。構造が湾曲し、曲率の程度が増加すると、端部の相対変位は、曲線空間に追従する。また、変位が比較的大きい場合、構造の長さを長くする必要があり、そのために不便なものになっている。例えば、バイモル湾曲構造を使用して0.1mm程度の変位を達成するためには、通常、約5cmの長さの構造が必要である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
センサに使用する場合、電気活性デバイスは、感度を改善するべく、比較的コンプライアンスが小さい、線形空間である比較的大きい変位に耐えることができるようにすることが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の第1の態様によれば、検出器回路に電気接続された電気活性デバイスを備えたセンサが提供される。電気活性デバイスは、湾曲した短軸に沿って延びた電気活性構造を備えており、構造の端部の相対変位によって機械的に活性化されると、短軸の周りの構造のねじれに付随して電気信号を生成するようになされている。検出器回路は、生成された電気信号を検出するようになされている。
【0008】
デバイスは、湾曲した短軸に沿って延びているため、デバイスの端部間の相対変位に付随して、短軸の周りに構造のねじれが生じる。電気活性デバイスには、湾曲した対象をねじれさせることにより、局部曲線に対して直角をなす変位が生じ、逆に、湾曲した対象の端部の変位によって、その長さに沿ったねじれが生じる、という物理的原理が使用されている。この変位は、構造の短軸の初期配向に対する配向の変化と等価である。
【0009】
このデバイスには、活性化されるとねじれが生じる電気活性構造が使用されている。湾曲した短軸に沿った構造の任意の所与の微小セクションを考慮すると、その微小セクションに隣接するセクションは、短軸が湾曲している結果として、所与のセクションに対して一定の角度で展開しているため、その所与のセクションのねじれが隣接するセクションを回転させ、ひいてはそれらを所与のセクションの局部曲線に対して直角をなす逆方向に相対変位させる様子を視覚化することは容易である。したがって、所与のセクションをねじれさせることにより、それに付随して、隣接するセクションが曲線の平面に対して直角をなす方向に相対変位する。ねじりの程度は、所与のセクションの曲率の程度および相対変位の大きさに比例している。短軸が長軸の周りの正則曲線、例えば円または螺旋の弧に沿って展開している場合、構造の長軸に平行の方向における端部の相対変位により、各セクションは同じ方向に変位する。したがって、本発明による電気活性デバイスは、線形空間である変位を感知することができる。
【0010】
短軸に沿った構造の各セクションが総合変位に寄与しているため、変位の感知可能な範囲は、短軸に沿った構造の長さに比例している。したがって、デバイスを適切に設計することによって、詳細には短軸に沿った構造の長さを選択することによって、また、ねじれ−磁界応答の大きさを制御する構造のタイプを選択することによって、所望する任意の程度の変位を感知するようにセンサを配列することができる。湾曲した短軸に沿って展開した構造により、比較的コンパクトな装置を製造することができる。
【0011】
また、印加される力すなわち変位がデバイスのすべてのセクションで共有されるため、デバイスのコンプライアンスが小さく、それによりデバイスの感度が高くなっている。センサとしてのこの電気活性デバイスの主な利点は、その感度が優れていることである。このデバイスは、機械的に迎合的であるため、比較的大きい応答信号が生成され、かつ、良好な信号対雑音比が提供される。さらに、所与の適用に整合させるべく、デバイスの幾何学パラメータを変更することによって、このコンプライアンスの正確な値を工学的に作り出すことができる。
【0012】
一般的には、短軸がそれに沿って展開する曲線は、任意の形状の曲線にすることができる。
【0013】
1つの可能性として、短軸がそれに沿って延びる曲線を、例えば円または螺旋の弧として平らにすることができる。その場合、活性化による変位は、その曲線の平面に対して直角をなす方向に生じる。相対変位が生じる方向におけるデバイスの厚さは、単に電気活性構造の厚さであり、したがって比較的薄いデバイスを製造することができる。
【0014】
もう1つの可能性として、短軸がそれに沿って延びる曲線を螺旋にすることができる。その場合、構造の螺旋巻きの各々が、その周りに螺旋が形成される幾何学長軸に沿った方向の変位に寄与している。したがって、螺旋巻き数に比例した程度の大きい変位が達成され、それにより、比較的コンパクトなデバイスにしては比較的大きい変位が生成される。
【0015】
電気活性構造は、短軸の周りの構造のねじれに付随して短軸の周りに湾曲することによって機械的に活性化されるようになされた部分と共に配列されることが好ましい。それにより、電気活性部分を活性化によって湾曲する任意の構造にすることができる。活性化によって湾曲する電気活性構造を使用することにより、その構造のすべての電気活性材料が活性化される構造を選択することができ、それによりデバイスの効率が向上するため、活性化によって湾曲する電気活性構造を使用することは有利である。また、活性化によって湾曲する電気活性構造を使用することにより、設計が単純化される。好ましい構造は、知られている、少なくとも1つの電気活性材料層を備えた複数の層からなる湾曲構造であり、好ましくは、2つの層を有するバイモル湾曲構造である。このような構造については、線状湾曲構造に適用されているため、良く知られ、かつ、理解されており、製造がとりわけ容易である。本発明による部分に湾曲構造を適用する場合、同じ利点が得られるが、活性化させることによって湾曲が提供される他の任意の構造を使用することも可能である。
【0016】
電気活性構造は、短軸の周りに湾曲する、連続する電気活性部材を備え、この連続する部材の有限部分に前記電気活性部分が隣接していることが好ましい。
【0017】
この構造は、製造がとりわけ容易であり、例えば、連続する変形可能な電気活性部材を巻きつけて形にすることができる。
【0018】
この連続する電気活性部材は、短軸の周りに螺旋状に湾曲していることが好ましい。
【0019】
短軸の周りに螺旋状に湾曲した、連続する電気活性部材を使用することにより、多くの利点が達成される。第1の利点は、正則構造を短軸の長さに沿って容易に提供することができ、延いては同一程度のねじれを短軸の長さ全体に沿って提供することができることである。第2の利点は、螺旋の製造が容易であり、例えば、連続する変形可能な部材を巻きつけて形にすることができ、あるいは管状電気活性部材を螺旋状に切り取ることができることである。第3の利点は、短軸の周りの部材の螺旋巻きを、緊密に一体実装することができるため、デバイスをコンパクトにすることができることである。
【0020】
しかしながら、電気活性構造は、別法として、短軸の周りのねじれに付随して短軸の周りの湾曲を提供する、異なる形状を有する連続する電気活性部材を備えることもできる。例えば、電気活性構造は、短軸の周りにねじった平らな部材の形状を有する連続する部材を備えることができる。また、電気活性構造は、連続する電気活性部材を備える代わりに、一体結合された複数の電気活性部分を備えることもできる。
【0021】
本発明をより深く理解するために、以下、本発明の実施例について、添付の図面を参照して、非制限の実施例によって説明する。
【実施例】
【0022】
本発明によれば、電気活性デバイスは、様々なセンサに使用されている。分かり易くするために、最初に電気活性デバイスについて説明し、次に様々なセンサについて説明する。
【0023】
以下の説明においては、電気活性デバイスは、仮想の短軸および長軸を参照して説明されているが、それでもなお、デバイスを視覚化し、定義するには有用である。
【0024】
図1は、本発明による第1の電気活性デバイス1を示したものである。デバイス1は、短軸3の周りに螺旋状に湾曲した連続する電気活性部材2からなる構造を備えており、したがって構造は短軸3に沿って延びている。短軸3は湾曲し、短軸3の平面に対して直角をなす、つまり図1の用紙の平面から外側に向かう幾何学長軸4の周りの円の弧である曲線の中を展開している。小曲線3が平面状であるため、長軸4に平行のデバイスの厚さは、単なる電気活性部材2の螺旋構造の厚さに過ぎない。
【0025】
図2は、本発明による第2の電気活性デバイス11を示したものである。デバイス2は、短軸13の周りに螺旋状に湾曲した連続する電気活性部材12からなる構造を備えており、したがって構造は短軸13に沿って延びている。短軸13は湾曲し、幾何学長軸14の周りの螺旋である曲線を成して延びている。図2には、単なる説明用として3巻きの螺旋に沿って展開した短軸を備えた電気活性デバイス11が示されているが、任意の巻き数が可能である。
【0026】
図3は、図1に示す第1のデバイス1の連続する部材2または図2に示す第2のデバイス11の連続する部材12いずれかの一部20を示したものである。部分20の構造は、第1のデバイス1および第2のデバイス2のいずれに対しても同じであり、電気活性部分20は、連続する部材2または12の有限部分であり、したがって電気活性部材2または12は、図3に示すように、短軸3または13に沿って連続的に配置された複数の隣接部分20と見なすことができる。したがって部分20は、図3に示すように、短軸3または13の周りの螺旋曲線部分に沿って延びている。
【0027】
図3は、電気活性部分20の構造を示したものである。活性化に応じて一様な特性を提供するためには、この構造は、短軸3または13の長さ全体に沿って一様であることが好ましい。これに代えて、短軸3または13の長さに沿って、連続する部材2または20の構造もしくは短軸3または13の周りの連続する部材2または20の曲線の形状のいずれかに何らかの変化を持たせるべく、デバイス1または11を設計することもできる。
【0028】
電気活性部分20は、部分20の長さに沿って展開した2つの電気活性材料層21、22を備えたバイモル湾曲構造を有している。電気活性材料層21、22は、いずれも短軸3または13に面している。短軸3または13の周りの曲線の性質により、連続する部材2または12の電気活性部分20に何らかのひずみが存在する可能性があるとしても、電気活性層21または22は、部分20の幅に渡って、短軸3または13に平行に展開していることが好ましい。これに代えて、電気活性部分20に沿った一方の縁が反対側の縁より短軸3または13により近接するよう、層21または22を部分20の幅に渡って、短軸3または13に対して一定の角度で展開させることもできる。
【0029】
電気活性層21または22の材料は、圧電材料であることが好ましい。圧電材料には適切な任意の材料、例えばジルコン酸チタン酸鉛(PZT)などの圧電セラミック、あるいはポリフッ化ビニリデン(PVDF)などの圧電重合体を使用することができるが、電気活性層21、22の材料には、他の任意のタイプの電気活性材料、例えば、材料の変形あるいはひずみによって電気抵抗が変化するピエゾ抵抗材料、あるいは電界の印加を制限する電歪材料を使用することも可能である。
【0030】
電気活性部分20は、さらに、圧電材料層21、22に平行に延びた電極23〜25を備えている。外側の電極23、24は、電気活性部分20の反対側に、電気活性層21、22の外側に設けられている。中央電極25は、電気活性層21と22の間に設けられている。電極23〜25は、ポーリング電圧を印加し、かつ、電気活性部分20を湾曲モードで動作させるために使用される。
【0031】
部分20を湾曲させることによって機械的に活性化させると、電極23〜25に電圧が生じ、逆に、電気的に活性化させると、活性化電圧が電極23〜25に印加される。電気活性層21および22は、中央電極25によって形成された界面で一体結合されているため、その拘束により、部分20が湾曲すると、その湾曲に付随して電気活性層21および22の長さが差動変化する。電気活性層21または22のいずれか一方が伸長し、電気活性層21および22のもう一方が収縮する。
【0032】
活性化電圧およびポーリング電圧の相対方向および大きさは、知られている、湾曲構造を有する線形電気活性デバイスの場合と同じ方法で選択することができる。例えば、中央電極25を接地し、かつ、外側の電極23、24の両方に同じ極性のポーリング電圧を印加することにより、電気活性層21および22を磁極化するだけの十分な大きさのポーリング電圧を、電気活性層21および22の両端間に逆方向に印加することができる。その場合、電気活性部分20が機械的に活性化されると、活性化電圧が電気活性層21および22の両端間に同じ方向に生じ、外側の2つの電極23および24に、中央電極25に対して逆極性の電圧が生成される。
【0033】
活性化されると、活性化電圧の極性に応じて、電気活性部分20が短軸3または13の周りに、短軸3、13に向かって、あるいは短軸3、13から遠ざかる方向に湾曲する。機械的に活性化されると、電極23〜25に生じた活性化電圧が回路26に供給される。電気的に活性化されると、活性化電圧は、電極23〜25に電気接続された外部端子27を介して、知られている、湾曲構造を有する線状圧電デバイスに対して知られている方法で、回路26から印加される。
【0034】
電極23〜25への電気接続は、湾曲構造を有する既知の線状デバイスに対して知られている方法と同じ方法で実施することができ、原理的には、部分20がその一部を形成しているデバイスの長さに沿った任意のポイントで接続することができるが、端部で接続されることが好ましい。好ましい技法は、湾曲構造を有する線状デバイスに対して知られているように、デバイスの幅全体に渡って、デバイスの端部の異なる横方向位置に展開したフィンガ(図示せず)を電極に設けることである。
【0035】
他の湾曲構造、例えば、1層の電気活性材料層および1層の不活性層を備えたユニモル湾曲構造、あるいは複数の電気活性材料層を備えたマルチモル湾曲構造を部分20に等しく適用することができることは理解されよう。
【0036】
図3に示す湾曲構造は、単純である点および製造が容易である点で好ましいが、実際には、連続する部材2または12は、活性化されると短軸3または13の周りに湾曲する任意の構造にすることができることは理解されよう。例えば、連続する部材は、本出願と同時に出願される、エレメントが、部材の長さに沿って展開した、活性化に応じて幅を横切って湾曲する2対の電極を有する、「Electro−Active Elements and Devices」という名称の出願に記載されているタイプの電気活性エレメントであっても良い。
【0037】
活性化されると、連続する部材2または12の電気活性部分20が短軸3または13の周りに湾曲する。連続する電気活性部材2または12が短軸3または13の周りに湾曲、詳細には螺旋状に湾曲すると、このような湾曲に付随して、連続する部材2または12が短軸3または13の周りにねじられる。これは、湾曲締付けまたは湾曲緩めによって、部材2または12の構造が短軸3または13に沿ってねじれるため、連続する部材2または12の回転として視覚化することができる。連続する部材2または12のねじりは、短軸3または13の長さ全体に沿って生じ、図1に示す第1のデバイス1の5および6の番号が振られた構造の端部、および図2に示す第2のデバイス11の15および16の番号が振られた構造の端部を相対回転させる。
【0038】
連続する部材2または12は、このようなねじれを生成するべく、例えば、あたかも平らな部材を短軸の周りにねじれさせることによって形成されたような形状を持たせることにより、螺旋以外の曲線で短軸3または13の周りに湾曲させることができることは理解されよう。また、短軸の周りのねじれを生成するべく、連続する部材以外の他の構造を適用することができることについても理解されよう。例えば、隣接する部分が個々の部分の湾曲によって短軸の周りにねじれ、それにより構造が全体としてねじられるよう、短軸に沿って連続的に配置され、かつ、一体結合された複数の電気活性部分を電気活性構造に持たせることができる。これに代えて、電気活性構造を、本出願と同時に出願される、せん断モードで活性化される電気活性エレメントを備えることができる複数の電気活性ねじりアクチュエータを備えた、「Piezoelectric Devices」という名称の出願に記載されているタイプのデバイスにすることもできる。
【0039】
図1に示す第1のデバイス1を考察すると、連続する部材2の短軸3の周りのねじりには、デバイスの端部5および6の、短軸3の曲線に対して直角をなす、つまり長軸4に平行の相対変位が付随している。端部5および6の相対変位は、連続する部材2の短軸3の曲線と相俟った短軸3の周りのねじりによるものである。湾曲した対象のねじれによって、その対象の端部の、その対象の局部曲線に直角をなす相対変位がもたらされることは当然の結果である。
【0040】
同様に、図2に示す第2のデバイス11が活性化されると、連続する部材12が短軸13の周りにねじられ、デバイスの端部15および16の、長軸14に平行の変位が付随する。この場合も、この相対変位は、連続する部材12の短軸13の曲線と相俟った短軸13の周りの回転によるものである。この場合、短軸13に沿った構造の任意の所与の微小セクションによってもたらされる相対変位が、そのセクションの端部の、短軸13の局部曲線に対して直角をなす相対変位をもたらしている。デバイス11の端部15、16の総合変位は、すべてのセクションの変位の合計であり、長軸14に平行の総合相対変位をもたらしている。
【0041】
したがって、第1のデバイス1および第2のデバイス11のいずれの場合においても、デバイスの構造端部5および6の端部の相対変位には、その長さに沿った構造のねじれが付随しており、構造のねじりには、電極23〜25上に電気信号を生成させる個々の部分20の機械的活性化が付随している。
【0042】
部材2または12の正確な構造および寸法、および電気活性構造の形態は、所望する応答を生成するべく、自由に変更することができる。適切な部材2または12は、直径4mmの小螺旋として短軸3または13の周りに巻かれた厚さ0.5mmのテープを有している。これが、小曲線が直径30mmの円の約3/4の周りに展開している第1のデバイス1を形成している場合、観察される変位は、約±6mmである。同様に、小曲線が直径30mmの20巻き螺旋の周りに展開している第2のデバイス11の形成にこの構造が使用された場合、約±120mmの変位が生成される。
【0043】
一般的に、本発明によるデバイスの構造がそれに沿って延びている短軸は、任意の曲線に追従し、それによって得られる構造の端部の変位は、その曲線に沿った構造の個々のセクションによってもたらされる変位の合計である。しかし、デバイスのすべてのセクションによって共通の方向に相対変位がもたらされ、また、設計および製造が単純化されるため、第1のデバイス1および第2のデバイス11の短軸の曲線などの正則曲線であることが好ましい。
【0044】
第1のデバイス1および第2のデバイス11は、端部5と6の間、あるいは端部15と16の間に機械変位を生成するべく電気的に活性化させることができ、あるいは機械的に活性化させることも可能である。後者の場合、端部5および6、あるいは端部15および16の相対変位によって、電極23〜25の両端間に電圧が生ずる。電気的に活性化させる場合、電気活性デバイス1の端部5および6または電気活性デバイス11の端部15および16は、さらに、機械的に活性化された場合に、端部5および6または端部15および16が、デバイス1または11を変形させるエレメントに結合されるのと同様に、相対的に変位するエレメントに結合される。
【0045】
次に、電気活性デバイス1および11の製造について説明する。
【0046】
好ましい製造方法は、最初に、線状短軸に沿って延びた電気活性構造を形成し、次に、電気活性構造が展開している短軸が湾曲するよう、線状電気活性構造を湾曲させることである。
【0047】
線状短軸に沿った電気活性構造として、連続する部材2または12を形成するための2つの好ましい技法が有る。
【0048】
第1の好ましい技法は、最初に、連続する部材2または12を線状部材として形成し、次に、その線状部材を変形させて線状短軸の周りに湾曲させることである。連続する部材2または12の湾曲構造については、それ自体知られており、連続する部材2または12は、湾曲構造を有するデバイスを製造するための知られている任意の技法を適用して形成することができる。例えば、連続する部材12は、最初に、可塑化された材料の層21および22を共有押出し成形することによって製造することができ、あるいは層21および22を共有カレンダーがけすることによって製造することができる。これに代えて、連続する部材2または12は、薄層21および22の積層によって製造することができる。これらのより薄い層は、セラミック粉末の高せん断混合、共有押出し成形およびカレンダーがけが後続する重合体および溶媒混合機などの適切な任意の手段を使用して製造することができる。これに代えて、テープ・キャスティングすなわちセラミックの分野で知られているSolutechプロセスと呼ばれるプロセスなどの技法を使用することもできる。
【0049】
電極は、連続する部材2または12の製造における必須部分として、例えば共有押出し成形あるいは共有カレンダーがけによって形成される。また、活性化層23〜25であり、あるいは電極23〜25へのアクセスを可能にする端子電極である電極は、印刷、焼成銀ペーストを通した無電解めっき、または他の適切な任意の技法によって加えられる。
【0050】
第2の好ましい技法は、最初に、連続する部材を、電気活性層21および22と電極23〜25の多層湾曲構造を備えたシリンダまたは他のチューブとして製造し、次に、短軸を構成することになるシリンダまたはチューブの軸の周りを螺旋状に展開した連続する部材2または12を残すべく、螺旋状の線に沿って部材を切断することである。
【0051】
続いて、線状構造を湾曲させることにより、構造がそれに沿って延びる短軸が湾曲する。
【0052】
部材および構造を変形させるためには、最初に形成される部材に十分な柔軟性が存在していなければならない。適切に変形させることができる電気活性材料については知られており、通常、変形性を改善する成分重合体が含まれている。このような材料を整形した後、成分重合体が、通常、最大600℃で燃焼され、続いてもっと高い温度、典型的には1000℃〜1200℃でさらに焼結させることによって材料が高密度化される。この場合、電気活性構造は、焼結時に生じる、典型的には約12〜25%の線形収縮を許容するべく、最初に大き目の寸法で形成される。
【0053】
線状部材および構造の湾曲化は、巻型の周りで実施される。続いて、物理的に、あるいは、例えば融解、燃焼または溶解による破壊によって巻型が除去される。
【0054】
次に、上で説明したタイプの電気活性デバイスを使用した多数のセンサについて説明する。電気活性デバイスの電気活性構造は、構造の端部の相対変位による機械的活性化に応じて電気信号を生成するようになされている。センサには、さらに、電気活性デバイスに接続された、生成された電気信号すなわち相対変位を検出するための検出器回路が含まれている。電気活性デバイスは、感知すべきシステムによって相対変位するようになされており、したがって運動が電気信号に変換されるため、運動または他の特性を測定することができる。
【0055】
センサを示した図では、電気活性デバイスは、図2に示す第2のデバイス11のように、螺旋状に湾曲した短軸に沿って展開した構造を有するものとして示されているが、これは単に説明用に過ぎず、電気活性デバイスは、上で説明した任意のタイプの構造を有することができる。
【0056】
上で説明した電気活性デバイスを使用したセンサの最も単純な形態は、可動対象の変位を測定するための変位センサである。変位センサの場合、可動対象は、電気活性デバイスの構造の一方の端部が、固定されたもう一方の端部に対して変位するようになされている。このような変位センサの場合、電気活性デバイスは、その機械的剛性が十分に小さくなるように設計されているため、測定するシステムの変位に電気活性デバイスが重大な影響を及ぼすことはない。このような適用例では、上で説明したタイプの電気活性デバイスを使用することによる利点は、電気活性デバイスによって大きな変位能力が提供されること、および電気活性デバイスのコンプライアンスが比較的小さいことである。
【0057】
図4は、検出器回路42に電気接続された電気活性デバイス41を備えたこのような変位センサ40を示したものである。電気活性デバイス41の一方の端部43は、変位をセンスする対象44に結合されている。電気活性デバイス41のもう一方の端部45は、支持部46に結合されており、対象44は、この支持部46に対して移動可能である。対象44がAの方向に移動すると、電気活性デバイス41の端部43および45が相対変位し、それにより電気活性デバイス41が機械的に活性化され、電気信号が生成される。検出器回路42は、生成された電気信号を検出している。電気信号は電圧であり、したがって検出器回路42は電圧検出器であり、高入力インピーダンスを有するようになされている。
【0058】
図5は、変位センサのもう1つの形態である液面センサ50を示したものである。以下の説明を除き、液面センサ50は変位センサ40と同一であり、したがってその説明は省略する。電気活性デバイス41の自由端43は、フロート52および錘53を備えたエレメント51に結合されている。使用に際しては、フロート52がそのレベルを測定すべき液体54中に浮遊している。液体54のレベルが変化するとフロート52が変位し、その変位がセンサ50によって測定される。錘53は、フロートを液体54中の正規のレベルに浮遊させるべく、フロートを下向きに安定させるためのものである。
【0059】
液面センサ50には様々な改変が可能であることは理解されよう。例えば、フロート54をガイド上に配置することにより、フロート54の運動を導くことができる。また、機械的な制限を設けることにより、フロート54による電気活性デバイス41の構造の端部の最大相対変位を超えた運動を制限することも可能である。
【0060】
電気活性デバイスは、力センサとして使用することもできる。その場合も、電気活性デバイスは、一方が印加される力を受け取るためのものであり、固定されたもう一方が支持部である、2つの相対可動エレメントの間に結合される。力センサは、印加される力の大きさに対応する量だけ電気活性デバイスの端部が相対変位するよう、印加される力を機械的に阻止するようになされている。この機械的な阻止は、測定する力の大きさに応じて、適切な剛性を備えた電気活性デバイスを選択することによって達成される。これに代えて、他の機械構造、例えばばねなどの弾性バイアス手段を電気活性デバイスに並列に設けることも可能である。本発明による電気活性デバイスをこのような力センサとして使用することによる利点は、電気活性デバイスの比較的小さいコンプライアンスにより、力センサの感度が著しく改善されることである。また、電気活性デバイスの特性が線形であるため、分解能が高く、かつ、レンジの広い線形センサが提供される。力センサは、例えば重量すなわち質量の測定に使用することができる。
【0061】
図6は、このような力センサの一形態である圧力センサ60を示したものである。圧力センサ60は、圧力チャンバ62を画定している支持部61を備えている。ピストン63には、圧力チャンバ62内の一方の端部64が設けられている。ピストン63は、軸受65によって支持部61に取り付けられており、圧力チャンバ62に沿った往復運動が可能である。圧力センサ60は、さらに電気活性デバイス66を備えており、その第1の端部67はピストン63に結合され、第2の端部68は支持部61に結合されている。電気活性デバイス66は、検出器回路69に電気結合されている。検出器回路69は、電気活性デバイス66が生成する電気信号を検出し、変位および電気活性デバイス66に印加される力の測値を提供している。使用に際しては、その圧力を測定すべき液体が圧力チャンバ62内に導入される。圧力チャンバ62内に導入された液体の圧力に応じた力がピストン63に印加され、それにより電気活性デバイス66の端部67および68が相対変位し、検出器回路69によって検出される電気信号が生成される。
【0062】
図7は、力センサのもう1つの形態である圧力センサ70を示したものである。圧力センサ70は、圧力チャンバ72を画定している支持部71を備えている。ピストン73の形態は、フレキシブル・ダイヤフラムの形態を取っており、その円周の周りは、圧力チャンバ72の一端を形成している支持部71に結合されている。圧力センサ70は、さらに電気活性デバイス76を備えており、その第1の端部77はピストン73に結合され、第2の端部78は支持部71に結合されている。電気活性デバイス76は、検出器回路79に電気結合されている。検出器回路79は、電気活性デバイス76が生成する電気信号を検出し、変位および電気活性デバイス76に印加される力の測値を提供している。使用に際しては、その圧力を測定すべき液体が圧力チャンバ72内に導入される。圧力チャンバ72内に導入された液体の圧力に応じた力がピストン73に印加され、それにより電気活性デバイス76の端部77および78が相対変位し、検出器回路79によって検出される電気信号が生成される。
【0063】
速度センサは、複数の圧力センサ、例えば図6および7に示す圧力センサ60または70をピトー管内に配列することによって製造することができる。測定される2つの圧力の差が液体の速度である。他のタイプの圧力センサを備えたピトー管を使用したこのような構造は、それ自体、従来の構造である。
【0064】
また、電気活性デバイスを使用して音響を検出することができるため、センサはマイクロホンを構成している。その場合、電気活性デバイスの一端は、入射する音波によって動作するようになされた音響検出エレメントに結合される。音響検出エレメントの設計は、従来のマイクロホンの設計と同じであり、音波の周波数および大きさに依存して検出される。
【0065】
このようなマイクロホンの構造は、電磁コイルを電気活性デバイスに置き換えることにより、知られている、電磁コイルを使用したマイクロホンの構造と同じ構造にすることができる。電磁コイルを使用した場合と比較すると、本発明によるマイクロホンには多くの利点が有る。生成される電気信号のレベルが大きいため、電気活性デバイスを使用することにより、マイクロホンのダイナミック・レンジを大きくし、周波数領域を広くし、また、感度を高くすることができる。詳細には、電気活性デバイスの周波数応答により、このようなマイクロホンに、全可聴周波数領域およびいくつかの副可聴周波数をカバーする周波数応答を持たせることができる。また、低レベルの周波数応答の達成が可能であることは、マイクロホンを非接触変位計として使用することができることを意味している。もう1つの利点は、マイクロホンを機械的に設計することができるため、電磁マイクロホンでは困難な空気インピーダンスとの良好なインピーダンス整合がもたらされることである。電気活性デバイスのこの特性および大きなひずみが、マイクロホンによる、従来のマイクロホンによって生成される電気信号よりはるかに大きい電気信号の生成を可能にしている。信号の振幅が非常に大きいため、信号対雑音比が改善されている。さらに他の利点は、電気活性デバイスの重量が、対応する電磁コイル構造と比較して著しく軽減されていることである。
【0066】
図8は、一例として、このようなマイクロホン80を示したもので、電気活性デバイス81は、その一端82で、音響検出エレメントを形成しているコーン83に結合されている。電気活性デバイス81のもう一方の端部84は、支持部84に結合されている。また、コーン83は、支持部84によって、コーン83の円周の周りに配置されたフレキシブル・シール85を介して支持されている。電気活性デバイス81を除くと、マイクロホン80の構造は従来の構造である。使用に際しては、コーン83に入射する音波によってコーン83が振動運動し、それにより電気活性デバイス81の端部82および84が振動変位する。電気活性デバイス81は、検出器回路86に結合されている。検出器回路86は、電気活性デバイス81によって出力される、音響に対応する電気信号を検出している。検出器回路86は、音響信号に対応する電気信号を検出するための従来の回路を有している。
【0067】
また、電気活性デバイスを使用して、その一方の端部を質量に結合することにより、加速度センサを形成することができる。電気活性デバイスのもう一方の端部が変位すると、質量の慣性によってその運動が制限されるため、生成される出力信号は、電気活性デバイスのもう一方の端部の加速度を表している。したがって電気活性デバイスを使用して、そのもう一方の端部、すなわち該もう一方の端部に結合されているエレメントの加速度を検出することができる。
【0068】
本発明による加速度センサにより、単純な圧電性結晶から形成された、既知の加速度センサと比較して多くの利点が提供される。最も重要なことは、本発明による加速度センサが、はるかに多くの感応検出を可能にしていることである。また、電気活性デバイスにより、著しく大きい信号振幅が生成され、それにより信号対雑音比が改善され、延いては低雑音電気信号を維持するために必要な信号調整が改善される。さらに、電気活性デバイスを使用することにより、加速度センサを直流に近い低周波数で動作させることができる。
【0069】
生成される電気信号により、加速度の測値が提供される。知られている加速度センサの場合と同様、検出器回路は、速度および変位の測値を得るべく、この信号を積分するようになされており、したがってこのセンサは、速度センサまたは変位センサを構成している。したがって加速度センサを使用して、多くの適用のための位置センサを製造することができる。直交方向の加速度を検出するべく、複数のこのようなセンサを配列することにより、二次元または三次元位置センサを製造することができ、それによりコンピュータ・システムの入力装置として二次元または三次元「マウス」としての潜在的な使用が提供される。これは、ボールなどの露出部品を必要とせず、また、表面の摩耗がないため、従来の「マウス」に勝る著しい利点である。同様に、仮想現実感システムの入力装置として三次元「マウス」を使用することも可能である。
【0070】
図9は、一方の端部92で質量93に結合され、もう一方の端部94で支持部95に結合された電気活性デバイス91を備えたこのような加速度センサ90を示したものである。質量93および支持部95は相対移動が可能であり、したがって支持部95が変位すると、質量93の慣性によってその運動が制限される。したがって生成される出力信号は、支持部95の加速度を表している。電気活性デバイス91は、生成される電気信号を検出するための検出器回路96に電気接続されている。
【0071】
本発明によるすべてのセンサの検出器回路は、高インピーダンス電圧検出器である。別法としては、検出器回路に積分電流検出器回路を使用することもできる。検出器回路に積分電流検出器回路を使用することにより、以下に示すように、センサの性能が交流から直流まで拡張される。上で説明したタイプの電気活性デバイスは、モデレート・コンデンサ(通常、数百ナノ・ファラド)と並列の抵抗が極めて大きいその電気的性質により、本質的にAC結合されている。電気活性材料の抵抗から抵抗が引き出され、また、電気活性材料の両端間に配置された電極から容量が引き出される。電気活性デバイスの電荷の運動を長い時間期間に渡って測定する積分電流検出回路を使用することにより、センサの性能を直流まで拡張することができる。
【0072】
図10は、一例として、積分電流検出器回路100を示したものである。図10は、コンデンサ103と並列の抵抗102としての電気活性デバイス101の実効回路を示したものである。電気活性デバイス101は、検出器回路100の端子104の両端間に電気接続されている。検出器回路100は、低インピーダンス抵抗すなわち電荷が移動することによって誘導される磁界による電流を測定するSQUID(Superconducting QUantum Interference Device)などの専用センサである低抵抗センシング・エレメント105を備えている。電気活性デバイス101が変位すると、それによって生成された電荷が低抵抗センシング・エレメント105を通過する。検出器回路100は、さらに、電荷の低抵抗センシング・エレメント105の通過を集積すなわちカウントするようになされた回路106を備えている。回路106には、微小電流を測定するだけの十分な感度を有していることを条件として、アナログまたはディジタルのいずれであっても良い計測エレクトロニクスが含まれている。
【0073】
また、電気活性デバイスを使用して、回転エレメントの回転を検出することもでき、したがってセンサは回転エンコーダを構成している。一例として、図11は、軸112の周りに回転することができ、それにより回転軸を画定している回転エレメント111を備えたこのような回転エンコーダ110を示したものである。回転エレメント111の円周113には、複数の歯114が形成されている。したがって歯114は、半径が変化する円周を提供している。半径が変化する、歯114以外の任意のフィーチャ(造作)を使用することができる。
【0074】
回転エンコーダ110は、さらに、検出器回路120に電気接続された、上で説明したタイプの電気活性デバイス115を備えている。電気活性デバイス115は、その一方の端部116で、回転エレメント111の円周と係合する部材117に結合されている。電気活性デバイス115のもう一方の端部118は、軸112の周りの回転エレメント111の回転軸に対して固定されたサポート119に結合されている。部材117が回転エレメント111の円周と係合すると、回転エレメント111は、部材117を通り越して歯114の通路を回転させるため、部材117が変位する。部材117のこの変位により、電気活性デバイス115の端部116および118が相対変位し、検出器回路120によって検出される電気信号が生成される。したがって検出器回路120は、従来の回転エンコーダと同様の方法で回転エレメントの回転を検出している。
【0075】
歯114には、回転軸の周りに逆方向に、詳細には個々の歯114の両側に異なる傾斜を持たせることにより、異なる輪郭が設けられている。そのために、電気活性デバイス115によって生成される電気信号の形状は、回転エレメント111の回転方向によって異なっており、それにより検出器回路120は、出力信号の形状から回転方向を検出することができる。
【0076】
知られている従来の回転エンコーダの場合と同様の方法で、例えば、回転エレメント111の絶対回転位置を決定するべく、フィーチャの間隔すなわち幅を変化させることによって、回転エレメント111上のフィーチャを他の様々な形状にすることができることは理解されよう。
【0077】
また、上で説明した図1〜3に示すようなタイプの電気活性デバイスは、電気活性デバイスが(a)デバイスを機械的に変位させるための活性化電気信号の印加による電気活性デバイスの電気的活性化、およびそれとは別に(b)機械的活性化による電気信号の生成を提供するよう、電気活性構造の構成を修正することによってジャイロスコープとして使用することもできる。使用に際しては、センサが交番電気信号によって電気的に活性化され、それによって生じる電気活性デバイスの変位が検出される。電気活性デバイスが定常状態にある場合、活性化電気信号と生成される電気信号は一致しているが、電気活性デバイスの外部加速度が変化すると、外部加速度と電気活性デバイスの相対配向に応じて、電気活性デバイスの機械的変位が変化する。電気活性デバイスの機械的変位は、デバイスの配向の変化に従って変化し、それに応じて出力電気信号が変化する。活性化電気信号と生成される信号の差によって、従来のジャイロスコープと同様の方法でセンサの配向の変化の測度が提供される。したがってシステムの配向の変化を検出しているため、このセンサはジャイロスコープを構成しており、安定制御システムでの使用に適している。直交方向に配向された複数の電気活性デバイスを提供することにより、多次元ジャイロスコープを構築することができる。
【0078】
図12は、独立した(a)電気活性化および(b)機械的変位の検出を提供するための電気活性デバイスの一部124の構造を示したものである。この構造は、短軸3または13の長さ全体に沿って一様であることが好ましく、図3に示す電気活性部分20の構造の代替構造である。部分124は、図1に示す第1のデバイス1の連続する部材2の一部であるか、あるいは図2に示す第2のデバイス11の連続する部材12の一部のいずれかであり、したがって部分124は、図12に示すように、短軸3または13の周りの螺旋状曲線部分に沿って延びている。
【0079】
電気活性部分124の第1の部分121では、電気活性部分124は、図3に示す電気活性部分20のバイモル湾曲構造と同じバイモル湾曲構造を有しており、したがってその説明は省略するが、使用に際しての部分124のこの第1の部分121の活性化方法は異なっている。詳細には、この部分121は、機械的な活性化に代わって、回路123からの所定の周波数の交番電気信号の印加によって電気的に活性化される。この活性化電気信号により、部分124が短軸3または13の周りに湾曲し、それに付随して電気活性デバイスの構造が短軸3または13の周りにねじられ、構造の端部が相対変位する。
【0080】
また、電気活性部分124の第2の部分122は、第1の部分121が電気的に活性化された場合に生成される機械的変位を独立して検出することができる。第2の部分122も、第1の部分121と同様、図3に示す電気活性部分20と同じ構造を有している。第1の部分121および第2の部分122の層は、互いに平行に展開している。第2の部分122は、第1の部分121の機械的変位によって機械的に活性化され、それにより実際の機械的変位に対応する電気信号が生成される。第2の部分121の電極は、生成される電気信号を検出する検出器回路として作用している回路123に電気接続されている。また、回路123は、知られているジャイロスコープと同じ方法で電気活性デバイスの配向の変化の測度を引き出すべく、生成される電気信号と第1の部分121の電極に印加される活性化電気信号を比較している。したがって部分124の構造を使用する場合、電気活性デバイスはジャイロスコープを形成することになる。
【図面の簡単な説明】
【0081】
【図1】第1の電気活性デバイスの平面図である。
【図2】第2の電気活性デバイスの側面図である。
【図3】図1に示す第1のデバイスまたは図2に示す第2のデバイスのいずれかの一部の斜視図である。
【図4】変位センサの側面図である。
【図5】液面センサの側面図である。
【図6】第1の圧力センサの横断面図である。
【図7】第2の圧力センサの横断面図である。
【図8】マイクロホンの横断面図である。
【図9】加速度センサの側面図である。
【図10】積分電流検出器回路である検出器回路の回路図である。
【図11】回転エンコーダの形態のセンサの側面図である。
【図12】第1のデバイスまたは第2のデバイスのジャイロスコープとしての動作を可能にする代替構造を有する、図1に示す第1のデバイスまたは図2に示す第2のデバイスのいずれかの一部の斜視図である。
Claims (26)
- 検出器回路に電気接続された電気活性デバイスを備えたセンサであって、前記電気活性デバイスが、湾曲した短軸に沿って延びた電気活性構造を備え、かつ、前記構造の端部の相対変位によって機械的に活性化されると、前記短軸の周りの構造のねじれに付随して電気信号を生成するように配置され、前記検出器回路が、生成された電気信号を検出するように配置されたセンサ。
- 前記電気活性デバイスの前記構造の前記端部が、その相対変位を検出すべき相対可動エレメントに結合された、請求項1に記載のセンサ。
- 前記エレメントの1つがフロートである、請求項2に記載のセンサ。
- 前記エレメントの1つが、液体圧力の印加によって動作するように配置されたピストンであり、したがって前記センサが圧力センサである、請求項2に記載のセンサ。
- 前記ピストンが剛直部材である、請求項4に記載のセンサ。
- 前記ピストンがフレキシブル・ダイヤフラムである、請求項4に記載のセンサ。
- 前記エレメントの1つが、入射する音波によって動作するよう配置された音響検出エレメントであり、したがって前記センサがマイクロホンを構成している、請求項2に記載のセンサ。
- 他のエレメントが前記エレメントの前記1つを支持している、請求項2から7までのいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記エレメントの1つが質量であり、したがって前記センサが、他のエレメントの加速度を検出するための加速度センサを構成している、請求項2に記載のセンサ。
- 前記検出器回路が、電圧としての前記電気信号を検出するように配置された、前記請求項のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記検出器回路が積分電流検出器回路である、請求項1から9までのいずれか一項に記載のセンサ。
- 回転軸の周りの円周に、半径が変化するフィーチャを有する回転エレメントをさらに備え、前記フィーチャを検出するべく前記電気活性デバイスの一方の端部が前記円周と係合する部材に結合され、それにより前記センサが回転エンコーダを構成している、請求項1に記載のセンサ。
- 前記フィーチャが、異なる輪郭を前記回転軸の周りに逆方向に有する、請求項12に記載のセンサ。
- 前記電気活性デバイスの前記構造が、交番電気信号を印加することによって、前記第1に言及した電気信号の生成とは独立して電気的に活性化させることができ、前記センサが、前記電気活性デバイスに電気接続された、前記活性化電気信号を供給するための交番信号源をさらに備え、それにより前記センサがジャイロスコープを構成している、請求項1に記載のセンサ。
- 検出器回路に電気接続された電気活性デバイスを備えたセンサであって、前記電気活性デバイスが、湾曲した短軸に沿って展開した電気活性構造を備え、かつ、前記構造の端部の相対変位によって活性化されると、前記短軸の周りの構造のねじれが付随するように配置され、前記電気活性構造が、前記短軸に沿って連続して配置された電気活性部分を備え、かつ、電気信号を生成するべく、前記短軸の周りの前記電気活性構造の前記ねじれに付随して前記短軸の周りに湾曲させることによって機械的に活性化するように配置され、前記検出器回路が、生成された電気信号を検出するように配置されたセンサ。
- 前記電気活性構造が、前記短軸に沿って連続して配置された、活性化されると前記短軸の周りに湾曲するように配置された電気活性部分を備えた、請求項1から14までのいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記電気活性構造が、前記短軸の周りに湾曲した連続する電気活性部材を備え、前記電気活性部分が、前記連続する部材の隣接有限部分である、前記請求項のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記連続する電気活性部材が、前記短軸の周りに螺旋状に湾曲している、請求項17に記載のセンサ。
- 前記連続する電気活性部分が、少なくとも1つの電気活性材料層を含む複数の層の湾曲構造を有する、請求項16から18までのいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記電気活性部分が、2層の電気活性材料層のバイモル湾曲構造または3層以上の電気活性材料層のマルチモル湾曲構造を有する、請求項19に記載のセンサ。
- 前記電気活性構造が、前記電気活性構造の機械的活性化に応じて、その両端間に電気信号を生じさせるための電極を備えた、前記請求項のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記短軸が螺旋状曲線中を展開した、前記請求項のいずれか一項に記載のセンサまたは電気計器。
- 前記短軸が平面状曲線中を展開した、前記請求項のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記電気活性構造が圧電材料を含む、前記請求項のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記圧電材料が、圧電セラミックまたは圧電重合体である、請求項24に記載のセンサまたは電気計器。
- 前記圧電材料が、ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)またはポリフッ化ビニリデン(PVDF)である、請求項25に記載のセンサまたは電気計器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GBGB0115074.7A GB0115074D0 (en) | 2001-06-20 | 2001-06-20 | Sensors using an electro-active device |
PCT/GB2002/002781 WO2002103294A1 (en) | 2001-06-20 | 2002-06-19 | Sensor using electro active curved helix or double helix |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004533615A true JP2004533615A (ja) | 2004-11-04 |
JP4159463B2 JP4159463B2 (ja) | 2008-10-01 |
Family
ID=9917000
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003505567A Expired - Lifetime JP4159463B2 (ja) | 2001-06-20 | 2002-06-19 | 電気活性湾曲へリックスまたは二重ヘリックスを使用したセンサ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7069795B2 (ja) |
JP (1) | JP4159463B2 (ja) |
CN (1) | CN1302259C (ja) |
GB (2) | GB0115074D0 (ja) |
WO (1) | WO2002103294A1 (ja) |
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TWI752106B (zh) * | 2016-10-28 | 2022-01-11 | 日商帝人股份有限公司 | 用於壓電元件之構造體、編織狀壓電元件、使用編織狀壓電元件之布帛狀壓電元件及使用該些之裝置 |
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- 2001-06-20 GB GBGB0115074.7A patent/GB0115074D0/en not_active Ceased
-
2002
- 2002-06-19 US US10/480,675 patent/US7069795B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-06-19 WO PCT/GB2002/002781 patent/WO2002103294A1/en active Application Filing
- 2002-06-19 GB GB0329117A patent/GB2393572B/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-06-19 CN CNB028162706A patent/CN1302259C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-06-19 JP JP2003505567A patent/JP4159463B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20040237676A1 (en) | 2004-12-02 |
GB0329117D0 (en) | 2004-01-21 |
WO2002103294A1 (en) | 2002-12-27 |
CN1302259C (zh) | 2007-02-28 |
CN1545612A (zh) | 2004-11-10 |
GB2393572A (en) | 2004-03-31 |
GB0115074D0 (en) | 2001-08-15 |
US7069795B2 (en) | 2006-07-04 |
GB2393572B (en) | 2004-12-15 |
JP4159463B2 (ja) | 2008-10-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A601 | Written request for extension of time |
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A602 | Written permission of extension of time |
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|
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110725 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110725 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130725 Year of fee payment: 5 |
|
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R250 | Receipt of annual fees |
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