JP3244849B2 - 層流素子装置 - Google Patents

層流素子装置

Info

Publication number
JP3244849B2
JP3244849B2 JP06124793A JP6124793A JP3244849B2 JP 3244849 B2 JP3244849 B2 JP 3244849B2 JP 06124793 A JP06124793 A JP 06124793A JP 6124793 A JP6124793 A JP 6124793A JP 3244849 B2 JP3244849 B2 JP 3244849B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laminar flow
flow element
flow
filter
fluid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP06124793A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0611369A (ja
Inventor
イョウズマ ビブレン
Original Assignee
ブロンクホルスト ハイテク ビーブィ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ブロンクホルスト ハイテク ビーブィ filed Critical ブロンクホルスト ハイテク ビーブィ
Publication of JPH0611369A publication Critical patent/JPH0611369A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3244849B2 publication Critical patent/JP3244849B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/12—Cleaning arrangements; Filters
    • G01F15/125—Filters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
    • G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
    • G01F1/40—Details of construction of the flow constriction devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F5/00—Measuring a proportion of the volume flow
    • G01F5/005—Measuring a proportion of the volume flow by measuring pressure or differential pressure, created by the use of flow constriction

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Extrusion Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Filtration Of Liquid (AREA)
  • Water Treatment By Sorption (AREA)
  • Details Of Flowmeters (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
  • Treatment Of Liquids With Adsorbents In General (AREA)
  • Networks Using Active Elements (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、組込み乱流フィルタを
有する層流素子装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】かかる装置は、例えば、欧州特許出願第
８２２０１０５９. １（出願公開：００７５３４３）に
記載されている。流体流動通路内の圧力差と流動部分
は、流体の流れの一部から採られた測定ベースで決定さ
れる。この流れの一部、すなわち測定流は流体の主流か
ら分流された細い管状の測定通路を流れる層流である。
層流は文字通り層状の流れである。層状の流れはレイノ
ルズ数が２３００以下の流速で安定している。レイノル
ズ数Ｒは、流動速度と動粘性との間の関係を示す値であ
り、Ｒ＝ρｖd/μで定義される。ここでρは流体密度、
ｖは流速、ｄは流体が流れる管の直経、μは粘性であ
る。測定流で得られた測定値が確実に主流中に生じる値
を表示するためには両者の流れの特性の間に一定の関係
がなくてはならない。即ち、主流も又層流でなくてはな
らない。後者の層流は、流れの中にいわゆる層流素子を
導入することによつて得られる。流体は層流素子内の通
路を強制的に流動され、該通路の寸法は流れのレイノル
ズ数が２３００以下でかつ層流となるように設定されて
いる。測定用通路は主流に平行に設けられる。流れが層
流である限り、ポアズイユの法則に従って、流れの速度
は圧力降下に比例し、粘性に反比例し、主流と測定流の
流れの比が決定される。
【０００３】上記特許公報には内部に流入及び流出する
開口部と複数の溝、即ち通路を有する積層板で構成され
る層流素子が詳細に記載されている。
【０００４】この特許公報に記載された装置の場合は、
流入する流れ、即ち層流素子に向かう流れは、通常層流
ではなく、乱流を生ずる。乱流を含む流れが層流素子に
入る場合、流入する流れが既に完全に又は殆ど層流に達
した状態に比べて好ましくない。このことは、毎分測定
される流量において特に著しいことを表わす。すなわ
ち、乱流が存在すると、たとえ流入流が層流の層流素子
を使用しても単位時間毎に測定すべき流体量は少ないも
のとなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この問題を解決すべ
く、例えば、層流素子の上流に前方乱流フィルタを配置
する研究が行なわれた。しかし、殆どこの問題を解決す
るにはいたらなかった。
【０００６】本発明の装置によって上記問題の解決につ
いて大きな進展が見られる。
【０００７】本発明は流体の流動を層流に変換できる層
流素子装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を達成するための手段】本発明による装置は上記
の点で大きな進展をもたらすもので、この目的に対し
て、流入流体は、流体流動が層流になる部分に流入した
後、流入する前に配置された乱流フィルタとその背部に
位置する付属沈降室との少なくとも１つの組合せを通過
することが特徴である。したがって、装置は測定素子と
乱流フィルタを組込部品として含む。乱流フィルタ内で
流動は、多分その大部分が層流になる。フィルタの後方
の沈降室内で、流れは層流状態を継続するから、そのま
ま層流状態で層流素子に達する。注意すべきことは、こ
の組込みフィルタと沈降室は、センサが層流素子の位置
に配置される空間、又はセンサが流動素子と組合せて使
用される空間として利用されることである。
【０００９】本発明の装置の好ましい設計では、層流素
子が層流部分内に配置され、この装置は上面を積み重ね
た小型の少なくとも１組の板部品を含み、各板部品は１
つが流入開口部で他の１つは流出開口部である少なくと
も２つの開口部を備え、この板部品の（第１）部品内に
は１つの開口部から他の開口部に向かって通じる大部分
が平行の溝を備え、これらの板部品は互いに上面が積み
重ねて上記の溝が通路を形成しかつこの溝を通る流体が
層流となり、上記の開口部が流入開口部と流出開口部を
形成するような寸法に形成される。要するに上記欧州特
許出願第８２２０１５９. １号に記載された装置は、乱
流フィルタと流入開口部と層流素子間に設けられた沈降
室との組合せを、流体の流動方向からみて、沈降用開口
部を後方にして（第２）板部品を積重ね、これらの第２
板部品も、第１板部品と同様に、同じ側面上に、大部分
が流入開口部から沈降開口部に通じる平行な溝を形成
し、これらの板部品を積重ねると、流体が殆ど層流にな
ることが特徴である。
【００１０】
【作用】したがって、組込乱流フィルタを有する装置の
フィルタは層流測定素子の構造の基礎となる原理と同じ
原理で動作する。
【００１１】本発明による装置を使用することによって
得られる改良は、乱流フィルタを組込まない装置に比較
して格段の相違がある。発生する圧力差と流動間の関係
及びセンサの温度差と流動間の関係が線形である区域は
かなり広くなり、この結果、毎分毎に測定される流体の
量もかなり増加する。具体的には１００リットル／分か
ら３００リットル／分に増加する。
【００１２】本発明の原理によって動作する装置は、特
定の使用目的により変わる要求にしたがって種々の設計
と形状にすることができる。例えば、それぞれ乱流フィ
ルタを付属沈降室に直列に接続するか又は同じ沈降室内
に現われる複数のフィルタに接続することによって、よ
り多数のフィルタを組込むことができる。他の配置の例
では、沈降室を流れの方向からみて測定が行なわれる場
所の後方に配置し、具体的には層流計の後方、乱流フィ
ルタの後方に配置して、いわゆる流体の逆流動を防止す
る。
【００１３】実際の試験によれば、厚さ約２００ミクロ
ンメートルのステンレス鋼又はニッケルの小型板約１５
０個を組込んだ装置によって非常に良好な作用が得られ
た。
【００１４】板部品の溝は種々の方法で形成され、例え
ばエッチング法又は板材料の扁平表面上に電気分解で生
長させる方法で形成できる。これらの溝は一般に等間隔
に形成されるが、他の溝、即ち通路は異なる形状にする
ことも可能である。
【００１５】本発明によって流量計と共に組込まれる乱
流フィルタは、上記の溝／通路のほかに、焼結（プラス
チック）材料のごとくの多孔性材料又はセラミック材料
で作ることができる。また織物材料で作ることも可能で
ある。
【００１６】
【実施例】流体流動中の圧力差又は流動部分を測定する
層流素子を図１に略示する。
【００１７】この図面はどのようにして四枚の板部品、
流動板２と３及び閉鎖板１と４を組込んで層流素子を構
成するかを示す。板部品２と３は共に開口部５Ａ及び５
Ｂそして６Ａ及び６Ｂがそれぞれ設けられる。溝７は一
側面（図面では前面）の両開口部の間を連通するように
形成されている。閉鎖板１と４はそれぞれ１個の開口部
８と９を有する。流動素子は板部品１と４を、予め形成
されている中心孔１０を利用するなどして相互の上面を
連結することによって組込まれる。したがって、この流
動素子は１組の板部品で構成される。閉鎖板１と４はこ
の前面と後面に装着され、これらの板部品には溝は設け
られていない。これらの板部品は相対して閉鎖されるか
ら、流動板２と３の溝７は隣接板によって常に閉鎖さ
れ、流体が流動する通路が形成される。流体は流入開口
部８からこの素子に流入する。流れはこの素子の他端の
後方閉鎖板４に衝突するため、流れは溝／通路７を通し
て流れ始め、流出開口部５Ａと６Ｂから流出し、流れは
最後に流出開口部９を経て素子から流出する。流れがこ
の素子を通る状態を矢印で示し、１１は到来流動、小さ
い矢印１２は素子内の流動方向、１３は流出流動を示
す。
【００１８】上記のような層流素子の流動抵抗がどのよ
うに積重板部品の数によって変化するか、即ち抵抗が変
化するかは公知である。
【００１９】また上記のような測定素子の原理が素子の
設計に応用されるか、又このような素子の回路網が電気
回路網との類推で使用されるかも公知である。
【００２０】図２は本発明の測定装置の構造用ブロック
として使用される板部品の設計の一例の正面図を示す。
図１と同様に、この板部品は多数の積重ねと両端の閉鎖
板の使用によって１組に結合される。
【００２１】流体は１３を経て測定装置に流入し、次に
乱流フィルタとして作用する板部品の組込みフィルタ１
４の通路を経て沈降室１５に流入する。フィルタ１４は
層流素子として作用するから流体は沈降室から層流とし
て層流素子１６に到達する。流体はここから公知のよう
に流出開口部１７を経て測定装置から外部に流出する。
１８は板部品を結合保持する連結部品である。孔１９は
板部品を積重ね、これを積重ね状態に保持するの使用さ
れる。
【００２２】図３は図２の板部品と直角に測定装置を通
る断面図で、この装置は図２の板部品を積重ねて作ら
れ、同じ参照番号を使用する。
【００２３】流れがこの層流素子を通過した際、最初、
後方に乱流フィルタを有する第２沈降室を通すことが有
利で、これは流動を減衰させて、いわゆる「逆流」を防
止するためである。
【００２４】図４に示す装置の設計では、到来流動は乱
流フィルタ２１を経て沈降室２２に達し、ここから層流
として層流素子２３を通って外部に流出する。
【００２５】図５のグラフは、特定のガスに対する測定
すべき圧力差又は流動部分Ｐと、流体流動Ｓとの関係を
示し、これはポアズイュの法則に従う。ＰとＳとの関係
が線形である範囲は層流の議論ができる範囲である。
【００２６】Ｐ測定が層流素子を組込んだフィルタなし
に行なわれれば、流体のＰとＳとの間の関係（曲線ｆ１
参照）は流動の大きさＳ１までは線形であり、Ｐの圧力
差又は流動部分もこれにしたがう（ある設計例では流体
が窒素（Ｎ2)のとき、Ｓ１は１００リットル／メートル
であった）。
【００２７】本発明の組込みフィルタを使用すると、Ｐ
とＳとの関係は非常に広い範囲、即ちＳ２（図５）（上
記Ｎ2の場合はＳ２＝３００リットル／メートル）まで
線形を維持する。
【００２８】図６は２つの流体ｆ１とｆ２に対するＴ
（温度）とＳとの関係を示す。曲線ｆ１とｆ２はフィル
タを使用しなかった場合を、また曲線ｆ１′とｆ２′は
フィルタを使用した場合を示す。これらは全て本発明に
よるフィルタの使用による、いわゆる換算係数に対する
影響を示す。この換算係数は同じＴに対して異なる流体
に対応する流動部分の関係に関連する。例えば、本発明
の装置を窒素を使用して較正し、アルゴン流動を測定す
れば、特定のＴは窒素に対して１００リットル／分、ア
ルゴンに対しては１５０リットル／分に対応することが
わかり、したがって換算係数は１. ５になる。
【００２９】本発明の応用の影響は、非常に大きいＴと
Ｐまでの範囲で換算係数が一定であることである。換言
すれば、ＴとＳとの関係を示す２つの曲線は広い範囲に
わたって直線である。
【００３０】
【発明の効果】以上のように、本発明では乱流を十分に
層流に変換できる層流素子装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】公知の層流素子の略示図である。
【図２】本発明による測定装置に対する構成素子として
使用できる板部品の正面図である。
【図３】この装置の断面図である。
【図４】本発明による装置の特別の実施例を示す断面図
である。
【図５】公知の装置を本発明の装置と比較してセンサで
測定すべき圧力差又は流動部分と流動との関係を示すグ
ラフである。
【図６】公知の装置と本発明の装置とを比較して温度差
と流動との間の関連を示すグラフである。
【符号の説明】
１，４ 閉鎖板 ２，３ 流動板 ８，９ 開口部 １０ 中心孔 １４ フィルタ １６ 層流素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭51−69657（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−213779（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−111914（ＪＰ，Ａ) 米国特許5080131（ＵＳ，Ａ) 米国特許3349619（ＵＳ，Ａ) 英国特許出願公開2123564（ＧＢ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01F 1/34 - 1/50

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 流体の流れについての流量又は圧力差を
    測定するための装置であって、流体の流れを案内する本
    体を有し、該本体は本体内に向ける第一の方向に流体を
    案内する流入開口部が形成され、上記本体内には流体の
    流れを受けて層流を形成する乱流フィルタ（１４）が設
    けられ、該乱流フィルタの下流側に層流を受けこれを維
    持するための沈降室（１５）と層流を維持するために沈
    降室の下流に設けられた層流素子（１６）とが設けら
    れ、上記乱流フィルタ（１４）、沈降室（１５）そして
    層流素子（１６）は、上記流入開口部にて上記第一の方
    向に、少なくとも一つの端板と互いに積層された一組の
    板部品とにより構成され、該板部品のそれぞれは、その
    両面の一方に、平行な複数の溝が形成されていて、上記
    乱流フィルタと層流素子を隣接せる二つの板部品の間で
    流路が形成されるように積層されており、上記一組の板
    部品と上記端板が組み込まれて、流入開口部での第一の
    方向に対して直角な方向に流れが強制されるようになっ
    ていることを特徴とする層流素子装置。
  2. 【請求項２】 付属沈降室に１個以上の乱流フィルタを
    含むこととする請求項１に記載の層流素子装置。
  3. 【請求項３】 板部品は厚さが約２００ミクロンメート
    ルで、板部品の数は約１５０であることとする請求項１
    又は請求項２に記載の層流素子装置。
  4. 【請求項４】 板部品がステンレス鋼で作られたことと
    する請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の層
    流素子装置。
  5. 【請求項５】 板部品がニッケルで作られたこととする
    請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の層流素
    子装置。
  6. 【請求項６】 板部品の溝が滑らかな表面上に板材料を
    電気分解で成長させることによって形成されたこととす
    る請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載の層流
    素子装置。
  7. 【請求項７】 乱流フィルタもまた、フィルタと要素と
    の間で沈降室を有する層流要素の下流に配置されている
    こととする請求項１ないし請求項６のいずれか１つに記
    載の層流素子装置。
  8. 【請求項８】 乱流フィルタと沈降室との１つ又は２つ
    以上の組合せが、層流要素に対して上流及び下流に配置
    されたこととする請求項１ないし請求項７のいずれか１
    つに記載の層流素子装置。
  9. 【請求項９】 幾つかの平行に動作する乱流フィルタ
    が、層流要素の上流及び下流の少なくとも一方に配置さ
    れ、この通路が１つ又は２つ以上の共通の沈降室に開放
    したこととする請求項１ないし請求項８のいずれか１つ
    に記載の層流素子装置。
  10. 【請求項１０】 フィルタ及び沈降室を経て流体が層流
    要素に流動する流入通路が端部で閉鎖されたこととする
    請求項１ないし請求項９のいずれか１つに記載の層流素
    子装置。
  11. 【請求項１１】 乱流フィルタの大部分の平行の通路は
    種々の形状にできていることとする請求項１ないし請求
    項１０のいずれか１つに記載の層流素子装置。
JP06124793A 1992-03-06 1993-02-26 層流素子装置 Expired - Lifetime JP3244849B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL9200414 1992-03-06
NL9200414A NL9200414A (nl) 1992-03-06 1992-03-06 Laminair stromingselement met geintegreerd turbulentiefilter.

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0611369A JPH0611369A (ja) 1994-01-21
JP3244849B2 true JP3244849B2 (ja) 2002-01-07

Family

ID=19860523

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP06124793A Expired - Lifetime JP3244849B2 (ja) 1992-03-06 1993-02-26 層流素子装置

Country Status (8)

Country Link
US (1) US5357793A (ja)
EP (1) EP0558834B1 (ja)
JP (1) JP3244849B2 (ja)
AT (1) ATE136365T1 (ja)
DE (1) DE69209641T2 (ja)
DK (1) DK0558834T3 (ja)
ES (1) ES2087438T3 (ja)
NL (1) NL9200414A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10883865B2 (en) 2018-09-19 2021-01-05 Swagelok Company Flow restricting fluid component
US10890474B2 (en) 2018-09-18 2021-01-12 Swagelok Company Fluid monitoring module arrangements

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5728942A (en) * 1995-11-28 1998-03-17 Boger; Henry W. Fluid pressure measuring system for control valves
US5750892A (en) * 1996-09-27 1998-05-12 Teledyne Industries, Inc. Laminar flow element with inboard sensor taps and coaxial laminar flow guides
US7614568B2 (en) * 2000-08-24 2009-11-10 Microlin, Llc Device employing gas generating cell for facilitating controlled release of fluid into ambient environment
US6601460B1 (en) 1998-06-10 2003-08-05 Peter Albert Materna Flowmeter based on pressure drop across parallel geometry using boundary layer flow including Reynolds numbers above the laminar range
US6770052B2 (en) * 2000-10-10 2004-08-03 Meridian Medical Technologies, Inc. Wet/dry automatic injector assembly
US7431045B2 (en) * 2002-08-28 2008-10-07 Horiba Stec, Co., Ltd. Flow restrictor
US8376312B2 (en) 2003-08-28 2013-02-19 Horiba, Ltd. Flow restrictor
DE102004019519B4 (de) * 2004-04-22 2011-06-16 Abb Ag Durchflussmessgerät
DE102004019521B4 (de) * 2004-04-22 2011-05-12 Abb Ag Durchflussmessgerät
JP2006135067A (ja) * 2004-11-05 2006-05-25 Toshiba Corp 半導体装置およびその製造方法
US7690400B2 (en) * 2005-02-28 2010-04-06 Flowserve Management Company Noise reducing fluid passageways for fluid control devices
ITBO20060400A1 (it) * 2006-05-24 2007-11-25 Omt Off Mecc Tartarini Regolatore di pressione per gas perfezionato.
US8113390B2 (en) 2007-04-18 2012-02-14 Microlin, Llc Gas generation dispenser apparatus and method for on-demand fluid delivery
KR101012045B1 (ko) * 2007-07-23 2011-01-31 코바렌트 마테리얼 가부시키가이샤 감압 장치 및 이것에 이용하는 무기 재료질 다공체
US7454984B1 (en) * 2007-08-31 2008-11-25 Delphi Technologies, Inc. Flow meter for measuring a flow rate of a flow of a fluid
US8656772B2 (en) 2010-03-22 2014-02-25 Honeywell International Inc. Flow sensor with pressure output signal
US8113046B2 (en) 2010-03-22 2012-02-14 Honeywell International Inc. Sensor assembly with hydrophobic filter
US8397586B2 (en) 2010-03-22 2013-03-19 Honeywell International Inc. Flow sensor assembly with porous insert
US8756990B2 (en) 2010-04-09 2014-06-24 Honeywell International Inc. Molded flow restrictor
US9003877B2 (en) 2010-06-15 2015-04-14 Honeywell International Inc. Flow sensor assembly
US8418549B2 (en) 2011-01-31 2013-04-16 Honeywell International Inc. Flow sensor assembly with integral bypass channel
EP2455724B1 (de) 2010-11-18 2016-09-21 Axetris AG Flusssensor
US8695417B2 (en) 2011-01-31 2014-04-15 Honeywell International Inc. Flow sensor with enhanced flow range capability
EP2714102B1 (en) 2011-06-03 2018-10-10 Microlin, LLC Device for delivery of volatile liquids to gaseous environment
US9052217B2 (en) 2012-11-09 2015-06-09 Honeywell International Inc. Variable scale sensor
US9952079B2 (en) 2015-07-15 2018-04-24 Honeywell International Inc. Flow sensor
ES2714366T3 (es) * 2015-12-21 2019-05-28 Fydec Holding Sa Dispositivo de dosificación de cantidades mínimas, en particular para aplicaciones farmacéuticas, así como el proceso de dosificación de cantidades mínimas de polvo
KR101681865B1 (ko) * 2016-03-30 2016-12-01 박정훈 프리 프랙션 필터 장치 및 그 제어 방법
DE102019110073A1 (de) * 2019-04-16 2020-10-22 Burkert S.A.S. Strömungswiderstandseinsatz und Durchflussmess- oder Durchflussregeleinrichtung
CA3051376C (en) 2019-08-06 2020-04-28 Surface Solutions Inc. Methane monitoring and conversion apparatus and methods
CN114472363B (zh) * 2022-02-15 2023-06-02 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） 一种半导体设备用气浴系统

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB767047A (en) * 1954-07-06 1957-01-30 Bryans Aeroquipment Ltd Improvements in flow-meters
US3349619A (en) * 1959-07-29 1967-10-31 Meriam Instr Company Laminar flow element and flow meter
US3792609A (en) * 1971-05-10 1974-02-19 Tylan Corp Flow splitter
US3856049A (en) * 1971-09-23 1974-12-24 Leslie Co Multiple stage restrictor
US3827568A (en) * 1973-01-12 1974-08-06 California Inst Of Techn Full flow fluid filter
US3851526A (en) * 1973-04-09 1974-12-03 Tylan Corp Fluid flowmeter
NL167243C (nl) * 1974-11-06 1981-11-16 Philips Nv Massadebietmeter voor een gasvormig medium zoals lucht.
US4079754A (en) * 1977-01-14 1978-03-21 Sargent Industries, Inc. Apparatus for eliminating noise in the flow of fluids
NL8104354A (nl) * 1981-09-22 1983-04-18 Wijbren Jouwsma Laminair stromingselement.
GB2123564A (en) * 1982-03-29 1984-02-01 Furness Controls Ltd Fluid flow measurement
US4517089A (en) * 1982-09-29 1985-05-14 Hydrotreat, Inc. Method and apparatus for constructing filter element
US4709863A (en) * 1985-10-04 1987-12-01 Morehouse Industries, Inc. Media mill screen assembly
GB8720357D0 (en) * 1987-08-28 1987-10-07 Thorn Emi Flow Measurement Ltd Fluid metering system
US5080131A (en) * 1989-09-26 1992-01-14 Lintec Co., Ltd. Mass flow controller
US5249626A (en) * 1992-06-11 1993-10-05 Lynn Gibbins Bottom hole well strainer

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10890474B2 (en) 2018-09-18 2021-01-12 Swagelok Company Fluid monitoring module arrangements
US11781894B2 (en) 2018-09-18 2023-10-10 Swagelok Company Fluid monitoring module arrangements
US10883865B2 (en) 2018-09-19 2021-01-05 Swagelok Company Flow restricting fluid component

Also Published As

Publication number Publication date
EP0558834B1 (en) 1996-04-03
DE69209641T2 (de) 1996-09-26
NL9200414A (nl) 1993-10-01
JPH0611369A (ja) 1994-01-21
DE69209641D1 (de) 1996-05-09
EP0558834A1 (en) 1993-09-08
ATE136365T1 (de) 1996-04-15
DK0558834T3 (da) 1996-07-29
US5357793A (en) 1994-10-25
ES2087438T3 (es) 1996-07-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3244849B2 (ja) 層流素子装置
US5576498A (en) Laminar flow element for a flowmeter
US3851526A (en) Fluid flowmeter
US6886401B2 (en) Thermal flow sensor having sensor and bypass passages
WO1995008065A1 (en) Wide range laminar flow element
USRE31570E (en) Fluid flowmeter
JP3706300B2 (ja) 流量測定装置
US5295394A (en) Bypass unit for a flowmeter sensor
WO1994005977A1 (en) Wide-range laminar flowmeter
US20050081620A1 (en) Thermal flowmeter
US20140251003A1 (en) Gas meter
SE433657B (sv) Anordning vid slidventiler
KR20210095568A (ko) 차압식 유량계
GB1593680A (en) Fluidic flowmeters
BRPI0409188B1 (pt) dispositivo de medição de fluxo
US3220256A (en) Linear flow meter
JP6533878B1 (ja) 流量計
GB2043917A (en) Apparatus for determining the differential pressure and rate in a conduit
JPH04157325A (ja) 熱式空気流量計
JP4364334B2 (ja) マスフローメータの流量検出機構
DE3914569A1 (de) Durchflussmesser mit eingeschlossenem wirbelpaar
Eriksson et al. An investigation of the spatial resolution requirements for two-point correlation measurements using LDV
JPH0222648Y2 (ja)
JP2535089Y2 (ja) 層流素子
DE102006053646B4 (de) Strömungssensor

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081026

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091026

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101026

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101026

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111026

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111026

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121026

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121026

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131026

Year of fee payment: 12

EXPY Cancellation because of completion of term