JP3244234B2 - 狭帯域レーザ装置のスペクトル異常検出装置 - Google Patents
狭帯域レーザ装置のスペクトル異常検出装置Info
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- JP3244234B2 JP3244234B2 JP30726992A JP30726992A JP3244234B2 JP 3244234 B2 JP3244234 B2 JP 3244234B2 JP 30726992 A JP30726992 A JP 30726992A JP 30726992 A JP30726992 A JP 30726992A JP 3244234 B2 JP3244234 B2 JP 3244234B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は縮小投影露光装置（ス
テッパ）用の光源として用いられる狭帯域エキシマレー
ザ装置のスペクトル異常検出装置に関する。
テッパ）用の光源として用いられる狭帯域エキシマレー
ザ装置のスペクトル異常検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置製造用のステッパの光源とし
てエキシマレーザの利用が注目されている。これは、エ
キシマレーザの波長が短いことから解像力の限界０．３
５μｍ以下に延ばせる可能性があること、同じ解像度な
ら従来用いていた水銀ランプのｇ線やｉ線に比較して焦
点深度が深いこと、レンズの開口数（ＮＡ）が小さくて
すみ、露光領域を大きくできること、大きなパワーが得
られること等の多くの優れた利点が期待できるからであ
る。
てエキシマレーザの利用が注目されている。これは、エ
キシマレーザの波長が短いことから解像力の限界０．３
５μｍ以下に延ばせる可能性があること、同じ解像度な
ら従来用いていた水銀ランプのｇ線やｉ線に比較して焦
点深度が深いこと、レンズの開口数（ＮＡ）が小さくて
すみ、露光領域を大きくできること、大きなパワーが得
られること等の多くの優れた利点が期待できるからであ
る。
【０００３】エキシマレーザをステッパの光源として用
いる場合は、エキシマレーザの出力光を狭帯域化する必
要があり、この狭帯域化された出力レーザ光の波長を高
精度に安定化する必要がある。
いる場合は、エキシマレーザの出力光を狭帯域化する必
要があり、この狭帯域化された出力レーザ光の波長を高
精度に安定化する必要がある。
【０００４】そこで、従来、エキシマレーザ出力光の波
長線幅や波長を検出するために、回折格子を用いた分光
器やモニタエタロンが用いられている。すなわち、これ
らモニタエタロン等で検出した波長をレーザ共振器中に
配設されている狭帯域化素子（エタロンやグレーティン
グ）にフィードバックし、選択波長のフィードバック制
御を行うことで発振波長の安定化を図っている。
長線幅や波長を検出するために、回折格子を用いた分光
器やモニタエタロンが用いられている。すなわち、これ
らモニタエタロン等で検出した波長をレーザ共振器中に
配設されている狭帯域化素子（エタロンやグレーティン
グ）にフィードバックし、選択波長のフィードバック制
御を行うことで発振波長の安定化を図っている。
【０００５】これと共に、上記モニタエタロンによっ
て、発生する干渉縞の半値全幅から出力レーザ光のスペ
クトルの半値全幅を検出し、この検出した半値全幅が所
定値より大きくなると、波長異常と判断し、その旨を表
示したりその旨の信号をステッパ側へ出力するようにし
ていた。
て、発生する干渉縞の半値全幅から出力レーザ光のスペ
クトルの半値全幅を検出し、この検出した半値全幅が所
定値より大きくなると、波長異常と判断し、その旨を表
示したりその旨の信号をステッパ側へ出力するようにし
ていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このように従来は、出
力レーザ光のスペクトルの半値全幅とステッパのレンズ
を透過したウェハ上での解像度とが相関があるものとし
て、スペクトルの半値全幅に基づいて波長異常を検出す
るようにしていたが、この方法では下記のような場合、
波長異常を検出できずに露光動作を行ってしまい、不良
品を製造するという不具合がある。
力レーザ光のスペクトルの半値全幅とステッパのレンズ
を透過したウェハ上での解像度とが相関があるものとし
て、スペクトルの半値全幅に基づいて波長異常を検出す
るようにしていたが、この方法では下記のような場合、
波長異常を検出できずに露光動作を行ってしまい、不良
品を製造するという不具合がある。
【０００７】すなわち、図８(a)のように自然発振が寄
生発振している場合や、図８(b)のようにスペクトル波
形がすそ野を引いている場合は、半値全幅FWHMがいくら
狭くてもウェハ上での解像度は著しく低下してしまう。
従って、上記従来技術では、スペクトルが異常であるに
もかかわらず波長異常が検出されず、そのまま露光動作
が行われる事になる。
生発振している場合や、図８(b)のようにスペクトル波
形がすそ野を引いている場合は、半値全幅FWHMがいくら
狭くてもウェハ上での解像度は著しく低下してしまう。
従って、上記従来技術では、スペクトルが異常であるに
もかかわらず波長異常が検出されず、そのまま露光動作
が行われる事になる。
【０００８】この発明はこのような実情に鑑みてなされ
たもので、スペクトル異常を高精度かつ確実に検出する
狭帯域レーザ装置のスペクトル異常検出装置を提供する
ことを目的とする。
たもので、スペクトル異常を高精度かつ確実に検出する
狭帯域レーザ装置のスペクトル異常検出装置を提供する
ことを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段及び作用】この発明では、
出力レーザ光のスペクトル波形を計測するスペクトル波
形計測手段と、このスペクトル波形計測手段の計測出力
に基づき出力レーザ光のスペクトル純度を演算するスペ
クトル純度演算手段と、該演算したスペクトル純度を所
定の設定値と比較することによりスペクトル異常を検出
するスペクトル異常検出手段とを具えるようにしてい
る。
出力レーザ光のスペクトル波形を計測するスペクトル波
形計測手段と、このスペクトル波形計測手段の計測出力
に基づき出力レーザ光のスペクトル純度を演算するスペ
クトル純度演算手段と、該演算したスペクトル純度を所
定の設定値と比較することによりスペクトル異常を検出
するスペクトル異常検出手段とを具えるようにしてい
る。
【００１０】かかる発明によれば、出力レーザ光のスペ
クトル純度を測定し、該スペクトル純度が所定の設定値
より小さいときにスペクトル異常を検出する様にしてい
る。またこの発明では、出力レーザ光のスペクトル波形
を計測するスペクトル波形計測手段と、このスペクトル
波形計測手段の計測出力に基づき出力レーザ光のスペク
トル純度と波長幅との対応関係を求め、この対応関係か
ら所定のスペクトル純度における波長幅を求め、該求め
た波長幅を所定の設定値と比較することによりスペクト
ル異常を検出するスペクトル異常検出手段とを具える様
にしている。かかる発明では、所定のスペクトル純度に
おける波長幅Δλを求め、該求めた波長幅が所定の設定
値より小さいときにスペクトル異常を検出するようにし
ている。
クトル純度を測定し、該スペクトル純度が所定の設定値
より小さいときにスペクトル異常を検出する様にしてい
る。またこの発明では、出力レーザ光のスペクトル波形
を計測するスペクトル波形計測手段と、このスペクトル
波形計測手段の計測出力に基づき出力レーザ光のスペク
トル純度と波長幅との対応関係を求め、この対応関係か
ら所定のスペクトル純度における波長幅を求め、該求め
た波長幅を所定の設定値と比較することによりスペクト
ル異常を検出するスペクトル異常検出手段とを具える様
にしている。かかる発明では、所定のスペクトル純度に
おける波長幅Δλを求め、該求めた波長幅が所定の設定
値より小さいときにスペクトル異常を検出するようにし
ている。
【００１１】またこの発明では、出力レーザ光のスペク
トル波形を計測するスペクトル波形計測手段と、このス
ペクトル波形計測手段の計測出力に基づき発生する干渉
縞のコントラストを演算し、該演算したコントラストを
所定の設定値と比較することによりスペクトル異常を検
出するスペクトル異常検出手段とを具えるようにしてい
る。
トル波形を計測するスペクトル波形計測手段と、このス
ペクトル波形計測手段の計測出力に基づき発生する干渉
縞のコントラストを演算し、該演算したコントラストを
所定の設定値と比較することによりスペクトル異常を検
出するスペクトル異常検出手段とを具えるようにしてい
る。
【００１２】かかる発明によれば、干渉縞のコントラス
トを所定の設定値と比較することによりスペクトル異常
を検出するようにしている。
トを所定の設定値と比較することによりスペクトル異常
を検出するようにしている。
【００１３】
【実施例】以下この発明を添付図面に示す実施例に従っ
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００１４】図１は、この発明のー実施例を示すもの
で、この場合エキシマレーザ１０の共振器は、リアミラ
ーや波長選択素子やビームエキスパンダなどで構成され
る狭帯域化ユニット１とレーザチャンバ２とで構成され
ている。３はフロントミラー、Ｗはウィンドウである。
狭帯域化されたレーザ光Ｌaはフロントミラー３から
出射しその一部がビームスプリッタ４によって反射さ
れ、スペクトル波形検出装置５に入射される。ビームス
プリッタ４を透過したレーザ光Ｌbは出射口シャッタ６
などを介してステッパ７に入力される。
で、この場合エキシマレーザ１０の共振器は、リアミラ
ーや波長選択素子やビームエキスパンダなどで構成され
る狭帯域化ユニット１とレーザチャンバ２とで構成され
ている。３はフロントミラー、Ｗはウィンドウである。
狭帯域化されたレーザ光Ｌaはフロントミラー３から
出射しその一部がビームスプリッタ４によって反射さ
れ、スペクトル波形検出装置５に入射される。ビームス
プリッタ４を透過したレーザ光Ｌbは出射口シャッタ６
などを介してステッパ７に入力される。
【００１５】スペクトル波形検出装置５はレーザ光のス
ペクトルを検出するもので、図２にスペクトル波形検出
装置としてグレーティングを使用したツェルニターナ型
分光器の例を示す。
ペクトルを検出するもので、図２にスペクトル波形検出
装置としてグレーティングを使用したツェルニターナ型
分光器の例を示す。
【００１６】図２において、前記ビームスプリッタ４に
よってサンプリングしたレーザ光は拡散板２０に入射し
て散乱され、この散乱光は集光レンズ２１によって集光
される。集光レンズ２１の焦点面は分光器２２の入射ス
リット２３の多少手前側に位置させるようしており、集
光されたレーザ光で入射スリット２３が照明される。入
射スリット２３を透過した光は凹面ミラー２４に入射し
て反射されることにより平行光に変換される。この平行
光はグレーティング２５に入射して回折される。この回
折光は凹面ミラー２６に入射して反射される。反射され
た回折光は凹面ミラー２６の焦点面に配置されたライン
センサなどのイメージセンサ（ラインセンサ）２７に結
像される。このイメージセンサ上の結像位置とレーザ光
の波長は比例関係にあるので、各結像位置（チャンネ
ル）に対する光の強度分布を検出することにより、サン
プル光のスペクトル波形を計測することができる。
よってサンプリングしたレーザ光は拡散板２０に入射し
て散乱され、この散乱光は集光レンズ２１によって集光
される。集光レンズ２１の焦点面は分光器２２の入射ス
リット２３の多少手前側に位置させるようしており、集
光されたレーザ光で入射スリット２３が照明される。入
射スリット２３を透過した光は凹面ミラー２４に入射し
て反射されることにより平行光に変換される。この平行
光はグレーティング２５に入射して回折される。この回
折光は凹面ミラー２６に入射して反射される。反射され
た回折光は凹面ミラー２６の焦点面に配置されたライン
センサなどのイメージセンサ（ラインセンサ）２７に結
像される。このイメージセンサ上の結像位置とレーザ光
の波長は比例関係にあるので、各結像位置（チャンネ
ル）に対する光の強度分布を検出することにより、サン
プル光のスペクトル波形を計測することができる。
【００１７】図３は、スペクトル波形検出装置としてモ
ニタエタロンを使用した場合の構成を示すもので、この
場合は前記ビームスプリッタ４によってサンプリングし
たレーザ光を拡散板３０に入射させて散乱させる。散乱
光はモニタエタロン３１に入射され、ここで所定の波長
の光が選択されてモニタエタロン３１を透過する。この
透過光は集光レンズ３２によって集光され、この集光レ
ンズの焦点面上に干渉縞を発生させる。前記焦点面上に
はラインセンサなどのイメージセンサ２７が配置されて
おり、前記干渉縞をイメージセンサ上の位置に対するレ
ーザ光の強度分布として検出する。この場合干渉縞の半
径の２乗と波長とは比例関係にある。なお、２８は遮光
板であり、レンズ３２とイメージセンサ２７の間に遮光
板２８を配設することにより迷光を防ぐことができ、高
精度に干渉縞を検出することができる。
ニタエタロンを使用した場合の構成を示すもので、この
場合は前記ビームスプリッタ４によってサンプリングし
たレーザ光を拡散板３０に入射させて散乱させる。散乱
光はモニタエタロン３１に入射され、ここで所定の波長
の光が選択されてモニタエタロン３１を透過する。この
透過光は集光レンズ３２によって集光され、この集光レ
ンズの焦点面上に干渉縞を発生させる。前記焦点面上に
はラインセンサなどのイメージセンサ２７が配置されて
おり、前記干渉縞をイメージセンサ上の位置に対するレ
ーザ光の強度分布として検出する。この場合干渉縞の半
径の２乗と波長とは比例関係にある。なお、２８は遮光
板であり、レンズ３２とイメージセンサ２７の間に遮光
板２８を配設することにより迷光を防ぐことができ、高
精度に干渉縞を検出することができる。
【００１８】上記スペクトル波形検出装置５によって検
出されたスペクトル波形は波長コントローラ８に入力さ
れる。
出されたスペクトル波形は波長コントローラ８に入力さ
れる。
【００１９】波長コントローラ８は、上記入力されたサ
ンプル光のスペクトル波形から波長λrを計算し、該計
算した波長λrと設定波長λcとの偏差にしたがってドラ
イバ９を駆動制御する事により狭帯域化ユニット１内に
ある波長選択素子の選択波長が前記設定波長λcになる
よう制御する。
ンプル光のスペクトル波形から波長λrを計算し、該計
算した波長λrと設定波長λcとの偏差にしたがってドラ
イバ９を駆動制御する事により狭帯域化ユニット１内に
ある波長選択素子の選択波長が前記設定波長λcになる
よう制御する。
【００２０】これと共に、波長コントローラ８は、前記
設定波長λcと検出波長λrとの偏差が所定範囲より大き
い場合は波長異常信号をステッパに出力するとともに、
出射口シャッタ６に閉信号を出力してシャッタ６を閉じ
るように制御する。このシャッタ閉制御の後、波長コン
トローラ８はレーザ発振を実際に実行させながら波長制
御を行い、発振波長が前記所定範囲に入ったら波長正常
信号をステッパ７に出力して出射口シャッタ６を開にす
るように制御する。
設定波長λcと検出波長λrとの偏差が所定範囲より大き
い場合は波長異常信号をステッパに出力するとともに、
出射口シャッタ６に閉信号を出力してシャッタ６を閉じ
るように制御する。このシャッタ閉制御の後、波長コン
トローラ８はレーザ発振を実際に実行させながら波長制
御を行い、発振波長が前記所定範囲に入ったら波長正常
信号をステッパ７に出力して出射口シャッタ６を開にす
るように制御する。
【００２１】また、波長コントローラ８は上記スペクト
ル波形検出装置５によって検出されたスペクトル波形か
らスペクトル純度Ｊを下式（１）にしたがって計算す
る。
ル波形検出装置５によって検出されたスペクトル波形か
らスペクトル純度Ｊを下式（１）にしたがって計算す
る。
【００２２】Ｊ＝Ｓb／Ｓa …（１） なお、上記（１）式においてＳbは所定の波長幅Δλcに
おけるスペクトル波形のエネルギーで図４のハッチング
を施した部分に対応し、Ｓaはスペクトル全体のエネル
ギーで図４における（ハッチングを施した部分＋空白部
分）に対応している。
おけるスペクトル波形のエネルギーで図４のハッチング
を施した部分に対応し、Ｓaはスペクトル全体のエネル
ギーで図４における（ハッチングを施した部分＋空白部
分）に対応している。
【００２３】図５は、図８の（ａ）に示した寄生発振を
含む波形（グラフＵ）、図８（ｂ）に示したすそ野を有
する波形（グラフＶ）、図４に示した綺麗な理想に近い
波形（グラフＷ）について、スペクトル純度Ｊと前記波
長幅Δλとの関係を示すものである。ここで、波長幅Δ
λを６pmとしたときの各スペクトルのスペクトル純度Ｊ
を求めると、図８の（ａ）に示した寄生発振を含む波形
の場合は５５％であり、図８（ｂ）に示したすそ野を有
する波形の場合は７２％であり、図４に示すような綺麗
な波形では９５％である。
含む波形（グラフＵ）、図８（ｂ）に示したすそ野を有
する波形（グラフＶ）、図４に示した綺麗な理想に近い
波形（グラフＷ）について、スペクトル純度Ｊと前記波
長幅Δλとの関係を示すものである。ここで、波長幅Δ
λを６pmとしたときの各スペクトルのスペクトル純度Ｊ
を求めると、図８の（ａ）に示した寄生発振を含む波形
の場合は５５％であり、図８（ｂ）に示したすそ野を有
する波形の場合は７２％であり、図４に示すような綺麗
な波形では９５％である。
【００２４】このように、寄生発振を含む波形（グラフ
Ｕ）やすそ野を有する波形（グラフＶ）の場合は綺麗な
理想に近い波形（グラフＷ）に比べてスペクトル純度Ｊ
が著しく悪くなる。したがって、この出力レーザ光のス
ペクトル純度Ｊを測定し、このスペクトル純度Ｊを所定
の設定値に対して大きいか小さいかを見ることによりス
ペクトル異常を検出することができる。
Ｕ）やすそ野を有する波形（グラフＶ）の場合は綺麗な
理想に近い波形（グラフＷ）に比べてスペクトル純度Ｊ
が著しく悪くなる。したがって、この出力レーザ光のス
ペクトル純度Ｊを測定し、このスペクトル純度Ｊを所定
の設定値に対して大きいか小さいかを見ることによりス
ペクトル異常を検出することができる。
【００２５】波長コントローラ８は、前記（１）式に従
って所定の波長幅Δλcにおけるスペクトル純度Ｊを測
定し、該測定したスペクトル純度Ｊを所定の設定値Ｊc
と比較し、Ｊ＜Ｊcである場合には、スペクトル異常信
号をステッパ７に出力するとともに、出射口シャッタ６
に閉信号を出力してシャッタ６を閉じるように制御し、
さらにレーザを緊急停止させる。
って所定の波長幅Δλcにおけるスペクトル純度Ｊを測
定し、該測定したスペクトル純度Ｊを所定の設定値Ｊc
と比較し、Ｊ＜Ｊcである場合には、スペクトル異常信
号をステッパ７に出力するとともに、出射口シャッタ６
に閉信号を出力してシャッタ６を閉じるように制御し、
さらにレーザを緊急停止させる。
【００２６】以下、図６のフローチャートに従って上記
スペクトル純度に基づくスペクトル異常処理を詳述す
る。
スペクトル純度に基づくスペクトル異常処理を詳述す
る。
【００２７】まず、波長コントローラ８はスペクトル波
形検出装置５内のラインセンサの出力から各位置（チャ
ネル）に対する光の強度分布を計測する（ステップ１０
１）。そして、これら計測した各位置に対する光強度分
布から観測されたスペクトル波形を求める（ステップ１
０２）。
形検出装置５内のラインセンサの出力から各位置（チャ
ネル）に対する光の強度分布を計測する（ステップ１０
１）。そして、これら計測した各位置に対する光強度分
布から観測されたスペクトル波形を求める（ステップ１
０２）。
【００２８】次に、コントローラ８はスペクトル波形検
出装置５の装置関数によって観測データをデコンボリュ
ーション処理することにより観測データに逆補正をか
け、真のスペクトル波形を求める（ステップ１０３）。
出装置５の装置関数によって観測データをデコンボリュ
ーション処理することにより観測データに逆補正をか
け、真のスペクトル波形を求める（ステップ１０３）。
【００２９】次に、これらデコンボリューション後のス
ペクトル波形から予め設定した所定の波長範囲Δλcで
のスペクトル純度Ｊを前記（１）式に従って算出する
（ステップ１０４）。
ペクトル波形から予め設定した所定の波長範囲Δλcで
のスペクトル純度Ｊを前記（１）式に従って算出する
（ステップ１０４）。
【００３０】そしてこれら求めたスペクトル純度Ｊを所
定の設定値Ｊcと比較し（ステップ１０５）、ＪがＪcよ
り小さいときにスペクトル異常信号をステッパ７に出力
するとともに、出射口シャッタ６に閉信号を出力してシ
ャッタ６を閉じるように制御し、さらにレーザを緊急停
止させる（ステップ１０６）。
定の設定値Ｊcと比較し（ステップ１０５）、ＪがＪcよ
り小さいときにスペクトル異常信号をステッパ７に出力
するとともに、出射口シャッタ６に閉信号を出力してシ
ャッタ６を閉じるように制御し、さらにレーザを緊急停
止させる（ステップ１０６）。
【００３１】次に、波長コントローラ８におけるスペク
トル異常検出方式の他の例について先の図５を参照して
説明する。
トル異常検出方式の他の例について先の図５を参照して
説明する。
【００３２】この第２の検出方式では、まず前記スペク
トル波形計測手段５の計測出力に基づき図５に示すよう
な出力レーザ光のスペクトル純度Ｊと波長幅Δλとの対
応関係を求める。そしてこの場合は先の第１の方式とは
逆に、所定のスペクトル純度例えば８０％における波長
幅Δλを求める。図５の例では、寄生発振を含む波形
（グラフＵ）の場合はグラフ上でＪ＝８０％との交点が
できず、すそ野を有する波形（グラフＶ）の場合は波長
幅Δλは１０、１pm程度の値になり、理想に近い波形
（グラフＷ）の場合は波長幅Δλは２．５pm程度の値に
なる。そしてこのようにして求めた波長幅Δλを所定の
設定値と比較し、該波長幅が前記設定値より大きいとき
や交点が発生しないときにスペクトル異常を検出するよ
うにする。
トル波形計測手段５の計測出力に基づき図５に示すよう
な出力レーザ光のスペクトル純度Ｊと波長幅Δλとの対
応関係を求める。そしてこの場合は先の第１の方式とは
逆に、所定のスペクトル純度例えば８０％における波長
幅Δλを求める。図５の例では、寄生発振を含む波形
（グラフＵ）の場合はグラフ上でＪ＝８０％との交点が
できず、すそ野を有する波形（グラフＶ）の場合は波長
幅Δλは１０、１pm程度の値になり、理想に近い波形
（グラフＷ）の場合は波長幅Δλは２．５pm程度の値に
なる。そしてこのようにして求めた波長幅Δλを所定の
設定値と比較し、該波長幅が前記設定値より大きいとき
や交点が発生しないときにスペクトル異常を検出するよ
うにする。
【００３３】更に、図７に従ってスペクトル異常検出方
式の第３の例について説明する。
式の第３の例について説明する。
【００３４】図７（ａ）（ｂ）（ｃ）は、それぞれ、図
８の（ａ）に示した寄生発振を含む波形、図８（ｂ）に
示したすそ野を有する波形、図４に示した綺麗な理想に
近い波形について、モニタエタロンの干渉縞の波形を示
したものである。
８の（ａ）に示した寄生発振を含む波形、図８（ｂ）に
示したすそ野を有する波形、図４に示した綺麗な理想に
近い波形について、モニタエタロンの干渉縞の波形を示
したものである。
【００３５】ここで、モニタエタロンの干渉縞は各次数
の干渉縞が重なり合う。このため、図７（ａ）（ｂ）に
示すように、寄生発振を含む波形やすそ野を有する波形
の場合は、干渉縞の最小値Ｉminが、理想的な波形に比
べて高くなる。そこで、干渉縞の最大値Ｉmaxと最小値
Ｉminを求め、これら最大値Ｉmaxと最小値Ｉminを用い
て下式に従ってコントラストＣを求め、該演算したコン
トラストＣを所定の設定値と比較することによりスペク
トル異常を検出することができる。
の干渉縞が重なり合う。このため、図７（ａ）（ｂ）に
示すように、寄生発振を含む波形やすそ野を有する波形
の場合は、干渉縞の最小値Ｉminが、理想的な波形に比
べて高くなる。そこで、干渉縞の最大値Ｉmaxと最小値
Ｉminを求め、これら最大値Ｉmaxと最小値Ｉminを用い
て下式に従ってコントラストＣを求め、該演算したコン
トラストＣを所定の設定値と比較することによりスペク
トル異常を検出することができる。
【００３６】Ｃ＝(Ｉmax−Ｉmin)／(Ｉmax＋Ｉmin) なお、上記実施例では、スペクトル異常信号と波長異常
信号を別々にステッパに送信するようにしているが、ス
ペクトルおよび波長が異常となった場合とも波長異常信
号として送信するようにしてもよい。
信号を別々にステッパに送信するようにしているが、ス
ペクトルおよび波長が異常となった場合とも波長異常信
号として送信するようにしてもよい。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
出力レーザ光のスペクトル純度又はそれに相当する値を
求め、該値を所定の設定値と比較する事に基づきスペク
トル異常を検出するようにしたので、スペクトル異常を
高精度かつ確実に検出することができるようになり、こ
れによりステッパ側での歩留まりを向上させることがで
きる。
出力レーザ光のスペクトル純度又はそれに相当する値を
求め、該値を所定の設定値と比較する事に基づきスペク
トル異常を検出するようにしたので、スペクトル異常を
高精度かつ確実に検出することができるようになり、こ
れによりステッパ側での歩留まりを向上させることがで
きる。
【図１】この発明の実施例を示すブロック図。
【図２】スペクトル波形検出装置の第１例を示す図。
【図３】スペクトル波形検出装置の第２例を示す図。
【図４】スペクトル純度を説明するための図。
【図５】各種スペクトルについてスペクトル純度と波長
幅の関係を示す図。
幅の関係を示す図。
【図６】スペクトル異常検出の為の処理手順を示す図。
【図７】コントラストによるスペクトル異常検出の為の
処理を説明するための図。
処理を説明するための図。
【図８】寄生発振を含むスペクトル波形およびすそ野を
引いているスペクトル波形を示す図。
引いているスペクトル波形を示す図。
１…狭帯域化ユニット ２…レーザチャンバ ３…フロントミラー ４…ビームスプリッタ ５…スペクトル波形検出装置 ６…出射口シャッタ ７…ステッパ ８…波長コントローラ ９…ドライバ １０…エキシマレーザ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−54786（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−29758（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−173677（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−54816（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−77576（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01J 1/02 G01J 1/42 G01J 3/28 G01J 3/36 H01S 3/00 B23K 26/02
Claims (2)
- 【請求項１】出力レーザ光のスペクトル波形を計測する
スペクトル波形計測手段と、 このスペクトル波形計測手段の計測出力をスペクトル波
形計測手段の装置関数でデコンボリューション処理し、
該デコンボリューション処理により得られた波形におけ
るスペクトル全体のエネルギーＳaと所定の波長幅Δλc
内のエネルギーＳbとから出力レーザ光のスペクトル純
度Ｊ＝Ｓb／Ｓaを演算するスペクトル純度演算手段と、 該演算したスペクトル純度を所定の設定値と比較するこ
とによりスペクトル異常を検出するスペクトル異常検出
手段と、 を具えることを特徴とする狭帯域レーザ装置のスペクト
ル異常検出装置。 - 【請求項２】出力レーザ光のスペクトル波形を計測する
スペクトル波形計測手段と、 このスペクトル波形計測手段の計測出力をスペクトル波
形計測手段の装置関数でデコンボリューション処理し、
該デコンボリューション処理により得られた波形に基づ
き出力レーザ光のスペクトル純度と波長幅との対応関係
を求め、この対応関係から所定のスペクトル純度Ｊにお
ける波長幅Δλを求め、該求めた波長幅Δλを所定の設
定値λcと比較することによりスペクトル異常を検出す
るスペクトル異常検出手段と、 を具えることを特徴とする狭帯域レーザ装置のスペクト
ル異常検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30726992A JP3244234B2 (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 狭帯域レーザ装置のスペクトル異常検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30726992A JP3244234B2 (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 狭帯域レーザ装置のスペクトル異常検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06160187A JPH06160187A (ja) | 1994-06-07 |
| JP3244234B2 true JP3244234B2 (ja) | 2002-01-07 |
Family
ID=17967088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30726992A Expired - Lifetime JP3244234B2 (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 狭帯域レーザ装置のスペクトル異常検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3244234B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1258059B1 (en) * | 2000-02-09 | 2008-04-23 | Cymer, Inc. | Bandwidth control technique for a laser |
| WO2006112971A2 (en) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Corning Incorporated | Mode-matching system for tunable external cavity laser |
| US7653095B2 (en) | 2005-06-30 | 2010-01-26 | Cymer, Inc. | Active bandwidth control for a laser |
| KR101016685B1 (ko) * | 2009-08-27 | 2011-02-25 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 연결 유닛과 이를 포함하는 레이저 발진 장치 |
-
1992
- 1992-11-17 JP JP30726992A patent/JP3244234B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06160187A (ja) | 1994-06-07 |
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