JP3243030B2 - 走査結像レンズおよび光走査装置 - Google Patents
走査結像レンズおよび光走査装置Info
- Publication number
- JP3243030B2 JP3243030B2 JP00838093A JP838093A JP3243030B2 JP 3243030 B2 JP3243030 B2 JP 3243030B2 JP 00838093 A JP00838093 A JP 00838093A JP 838093 A JP838093 A JP 838093A JP 3243030 B2 JP3243030 B2 JP 3243030B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- scanning
- scanned
- optical
- group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は走査結像レンズおよ
び、この走査結像レンズを用いる光走査装置に関する。
び、この走査結像レンズを用いる光走査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光源装置から放射される光束を光偏向器
により等角速度的に偏向させ、偏向された光束を走査結
像レンズにより被走査面上に光スポットとして集光させ
て光走査を行う光走査装置は従来から広く知られてい
る。
により等角速度的に偏向させ、偏向された光束を走査結
像レンズにより被走査面上に光スポットとして集光させ
て光走査を行う光走査装置は従来から広く知られてい
る。
【０００３】走査結像レンズに入射する光束は光偏向器
により等角速度的に偏向されているから、被走査面の光
走査を等速的に行うためには、走査結像レンズが光スポ
ットの移動速度を等速化する機能を持たねばならない。
この機能を「ｆθ機能」と呼んでいる。
により等角速度的に偏向されているから、被走査面の光
走査を等速的に行うためには、走査結像レンズが光スポ
ットの移動速度を等速化する機能を持たねばならない。
この機能を「ｆθ機能」と呼んでいる。
【０００４】上記の如き光走査装置において、光源装置
から被走査面に到る光路を光学系の光軸に沿って直線的
に展開した仮想的な直線光路を想定し、この直線光路上
で主走査方向に平行的に対応する方向を「主走査対応方
向」、副走査方向に平行的に対応する方向を「副走査対
応方向」と呼ぶ。
から被走査面に到る光路を光学系の光軸に沿って直線的
に展開した仮想的な直線光路を想定し、この直線光路上
で主走査方向に平行的に対応する方向を「主走査対応方
向」、副走査方向に平行的に対応する方向を「副走査対
応方向」と呼ぶ。
【０００５】上記のような光走査装置において光偏向器
は、回転多面鏡等、等速回転する偏向反射面により光束
を反射させて光束の偏向を行うものが一般的であるが、
偏向反射面に所謂「面倒れ」があると、光スポットの集
光位置が被走査面上で副走査方向に変動して「走査線の
ピッチむら」を生じる。これを防止するために、光源装
置からの光束を主走査対応方向に長い線像に結像させ、
線像の結像位置近傍に偏向反射面を配して光束を偏向さ
せ、走査結像レンズが、副走査対応方向に関して、偏向
の起点と被走査面とを「幾何光学的な共役関係」とする
機能（以下、面倒れ補正機能と呼ぶ）を持つようにする
ことが広く知られている。
は、回転多面鏡等、等速回転する偏向反射面により光束
を反射させて光束の偏向を行うものが一般的であるが、
偏向反射面に所謂「面倒れ」があると、光スポットの集
光位置が被走査面上で副走査方向に変動して「走査線の
ピッチむら」を生じる。これを防止するために、光源装
置からの光束を主走査対応方向に長い線像に結像させ、
線像の結像位置近傍に偏向反射面を配して光束を偏向さ
せ、走査結像レンズが、副走査対応方向に関して、偏向
の起点と被走査面とを「幾何光学的な共役関係」とする
機能（以下、面倒れ補正機能と呼ぶ）を持つようにする
ことが広く知られている。
【０００６】また、高密度の光走査では主走査線上を移
動する光スポットの径が像高によって大きく変動しない
ことが必須であるが、このためには主・副走査方向の像
面湾曲が良好に補正されていなければならない。
動する光スポットの径が像高によって大きく変動しない
ことが必須であるが、このためには主・副走査方向の像
面湾曲が良好に補正されていなければならない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この発明は上述した事
情に鑑みてなされたものであって、優れたｆθ特性を実
現し易く、光スポット径の変動を極めて小さくすること
の可能な走査結像レンズと、この走査結像レンズを用い
た光走査装置の提供を目的とする。
情に鑑みてなされたものであって、優れたｆθ特性を実
現し易く、光スポット径の変動を極めて小さくすること
の可能な走査結像レンズと、この走査結像レンズを用い
た光走査装置の提供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明の走査結像レン
ズは「主走査対応方向に長い線像に結像され、上記線像
の結像位置の近傍に偏向反射面を持つ光偏向器により等
角速度的に偏向された光束を被走査面上に光スポットと
して集光させ、被走査面の等速的な光走査を行う」ため
の結像光学系であって、主走査対応方向に関して「ｆθ
機能」を持ち、副走査対応方向に関して「光偏向器によ
る偏向の起点と被走査面とを幾何光学的な共役関係とす
る機能」を持つ。なお「偏向の起点」は、光スポットの
像高が０のときの「走査結像レンズの光軸と偏向反射面
との交点」を言い、線像は設計上は偏向の起点に結像さ
れる。
ズは「主走査対応方向に長い線像に結像され、上記線像
の結像位置の近傍に偏向反射面を持つ光偏向器により等
角速度的に偏向された光束を被走査面上に光スポットと
して集光させ、被走査面の等速的な光走査を行う」ため
の結像光学系であって、主走査対応方向に関して「ｆθ
機能」を持ち、副走査対応方向に関して「光偏向器によ
る偏向の起点と被走査面とを幾何光学的な共役関係とす
る機能」を持つ。なお「偏向の起点」は、光スポットの
像高が０のときの「走査結像レンズの光軸と偏向反射面
との交点」を言い、線像は設計上は偏向の起点に結像さ
れる。
【０００９】さて、走査結像レンズは、図１に示すよう
に、光偏向器３による偏向の起点から被走査面９側へ向
かって順次、第１群５，第２群６，第３群７、第４群８
を配してなる。第１群５は、負の屈折力を持つレンズで
ある。第２群６は、偏向の起点側に凹面を向けた球面単
レンズの正メニスカスレンズである。第３群７は、副走
査対応方向（図面に直交する方向）の曲率が主走査対応
方向の曲率よりも強い、正の屈折力のトーリック面を有
し、副走査対応方向により強い正の屈折力を持つアナモ
フィックなレンズである。第４群８は、副走査対応方向
にのみ正の屈折力を有するシリンダレンズである。
に、光偏向器３による偏向の起点から被走査面９側へ向
かって順次、第１群５，第２群６，第３群７、第４群８
を配してなる。第１群５は、負の屈折力を持つレンズで
ある。第２群６は、偏向の起点側に凹面を向けた球面単
レンズの正メニスカスレンズである。第３群７は、副走
査対応方向（図面に直交する方向）の曲率が主走査対応
方向の曲率よりも強い、正の屈折力のトーリック面を有
し、副走査対応方向により強い正の屈折力を持つアナモ
フィックなレンズである。第４群８は、副走査対応方向
にのみ正の屈折力を有するシリンダレンズである。
【００１０】第４群の、副走査対応方向における焦点距
離をｆS4、被走査面側レンズ面から被走査面に到る光軸
上距離をＤbfとするとき、これらは条件 （１） １．５＜ｆS4／Ｄbf＜３ を満足する。
離をｆS4、被走査面側レンズ面から被走査面に到る光軸
上距離をＤbfとするとき、これらは条件 （１） １．５＜ｆS4／Ｄbf＜３ を満足する。
【００１１】第１群５と第３群のレンズ形態の組合せと
しては、第１群５を「偏向の起点側のレンズ面が凹球面
で、被走査面側のレンズ面が副走査対応方向にのみ屈折
力を持つ凹シリンダ面であるアナモフィックなレンズ」
とし、第３群７を「偏向の起点側のレンズ面が平面で、
被走査面側のレンズ面がトーリック面であるレンズ」と
しても良いし（請求項２）、第１群５を「偏向の起点側
のレンズ面が凹球面で、被走査面側のレンズ面が平面で
ある平凹球面レンズ」とし、第３群７を「偏向の起点側
のレンズ面が副走査対応方向にのみ屈折力を持つ凹シリ
ンダ面で、被走査面側のレンズ面がトーリック面である
レンズ」としてもよい（請求項３）。
しては、第１群５を「偏向の起点側のレンズ面が凹球面
で、被走査面側のレンズ面が副走査対応方向にのみ屈折
力を持つ凹シリンダ面であるアナモフィックなレンズ」
とし、第３群７を「偏向の起点側のレンズ面が平面で、
被走査面側のレンズ面がトーリック面であるレンズ」と
しても良いし（請求項２）、第１群５を「偏向の起点側
のレンズ面が凹球面で、被走査面側のレンズ面が平面で
ある平凹球面レンズ」とし、第３群７を「偏向の起点側
のレンズ面が副走査対応方向にのみ屈折力を持つ凹シリ
ンダ面で、被走査面側のレンズ面がトーリック面である
レンズ」としてもよい（請求項３）。
【００１２】この発明の光走査装置は、図１に示すよう
に「光源装置１から放射される平行光束を線像結像光学
系２により主走査対応方向に長い線像として結像させ、
線像の結像位置の近傍に偏向反射面４を持つ光偏向器３
により等角速度的に偏向させ、偏向された光束を走査結
像レンズにより被走査面９上に光スポットとして集光さ
せて光走査を行う装置」であって、走査結像レンズとし
て上記請求項１または２または３記載の走査結像レンズ
を用いることを特徴とする（請求項４）。
に「光源装置１から放射される平行光束を線像結像光学
系２により主走査対応方向に長い線像として結像させ、
線像の結像位置の近傍に偏向反射面４を持つ光偏向器３
により等角速度的に偏向させ、偏向された光束を走査結
像レンズにより被走査面９上に光スポットとして集光さ
せて光走査を行う装置」であって、走査結像レンズとし
て上記請求項１または２または３記載の走査結像レンズ
を用いることを特徴とする（請求項４）。
【００１３】上記線像結像光学系２としてはシリンダレ
ンズ等、光偏向器としては図示の回転多面鏡３の他、回
転２面鏡や回転単面鏡等を用いることができる。
ンズ等、光偏向器としては図示の回転多面鏡３の他、回
転２面鏡や回転単面鏡等を用いることができる。
【００１４】
【作用】この発明の走査結像レンズは４群４枚構成であ
り、特に、副走査対応方向にのみ正の屈折力を持つ第４
群のシリンダレンズが、条件（１）からも明らかなよう
に、被走査面に近い配置である。
り、特に、副走査対応方向にのみ正の屈折力を持つ第４
群のシリンダレンズが、条件（１）からも明らかなよう
に、被走査面に近い配置である。
【００１５】ｆθ特性は、第１〜第３群の主走査対応方
向における屈折力により実現されるが、第３群が「副走
査対応方向の曲率が主走査対応方向の曲率よりも強い、
正の屈折力のトーリック面」を有し、このトーリック面
の主・副走査対応方向の曲率を独立して調整できるため
ｆθ特性の補正が容易であり、主・副走査方向の像面湾
曲も良好な補正が可能である。
向における屈折力により実現されるが、第３群が「副走
査対応方向の曲率が主走査対応方向の曲率よりも強い、
正の屈折力のトーリック面」を有し、このトーリック面
の主・副走査対応方向の曲率を独立して調整できるため
ｆθ特性の補正が容易であり、主・副走査方向の像面湾
曲も良好な補正が可能である。
【００１６】条件（１）は、光スポット径および結像性
能を安定化するとともに、副走査方向の像面湾曲を良好
に保つための条件であり、下限を超えて小さくなると有
効主走査領域の両端領域で光スポット径が小さくなり、
結像性能も悪化する。また条件（１）の上限を超えると
副走査方向の像面湾曲が悪化し、他のレンズ面で補正す
ることができない。
能を安定化するとともに、副走査方向の像面湾曲を良好
に保つための条件であり、下限を超えて小さくなると有
効主走査領域の両端領域で光スポット径が小さくなり、
結像性能も悪化する。また条件（１）の上限を超えると
副走査方向の像面湾曲が悪化し、他のレンズ面で補正す
ることができない。
【００１７】
【実施例】以下、具体的な実施例を２例挙げる。
【００１８】図１に示すように各実施例において、光偏
向器３の側から数えて第ｉ番目のレンズ面の曲率半径を
主走査対応方向に就きＲix、副走査対応方向に就きＲiy
（ｉ＝１〜８）、第ｉ番目と第ｉ＋１番目のレンズ面の
光軸上の面間隔をＤi（ｉ＝１〜７）とし、光偏向器の
偏向の起点から第１番目のレンズ面までの光軸上の距離
をＤ0（ｉ＝０）、第４群の被走査面側レンズ面から被
走査面に到る光軸上距離（＝Ｄbf）をＤ8（ｉ＝８）と
する。
向器３の側から数えて第ｉ番目のレンズ面の曲率半径を
主走査対応方向に就きＲix、副走査対応方向に就きＲiy
（ｉ＝１〜８）、第ｉ番目と第ｉ＋１番目のレンズ面の
光軸上の面間隔をＤi（ｉ＝１〜７）とし、光偏向器の
偏向の起点から第１番目のレンズ面までの光軸上の距離
をＤ0（ｉ＝０）、第４群の被走査面側レンズ面から被
走査面に到る光軸上距離（＝Ｄbf）をＤ8（ｉ＝８）と
する。
【００１９】また光偏向器３側から数えて第ｊ番目のレ
ンズの波長７８０ｎｍの光に対する屈折率をＮj（ｊ＝
１〜４）とする。ｆｍは主走査対応方向における全系の
焦点距離であり１００に規格化する。ｆｓは副走査対応
方向における全系の焦点距離である。２θは有効偏向角
（単位：度）を表す。
ンズの波長７８０ｎｍの光に対する屈折率をＮj（ｊ＝
１〜４）とする。ｆｍは主走査対応方向における全系の
焦点距離であり１００に規格化する。ｆｓは副走査対応
方向における全系の焦点距離である。２θは有効偏向角
（単位：度）を表す。
【００２０】全実施例を通じて光偏向器は図１に示した
偏向反射面を６面持つ回転多面鏡であり、内接円半径は
３２．５ｍｍである。偏向反射面４への入射光束と走査
結像レンズ光軸とのなす角は６０度、光源装置の光源で
ある半導体レーザーの発振波長は７８０ｎｍで、ｆｍの
実際の大きさは５５０．００２ｍｍである。
偏向反射面を６面持つ回転多面鏡であり、内接円半径は
３２．５ｍｍである。偏向反射面４への入射光束と走査
結像レンズ光軸とのなす角は６０度、光源装置の光源で
ある半導体レーザーの発振波長は７８０ｎｍで、ｆｍの
実際の大きさは５５０．００２ｍｍである。
【００２１】実施例１ ｆｍ＝１００，ｆｓ＝−２８．１６５，２θ＝５０．０ ｉ Ｒix Ｒiy Ｄi ｊ Ｎj ０ １７．０３６ １ −２０．４１８ −２０．４１８ １．６６５ １ １．５５８６６ ２ ∞ ２２．９０９ １．８１３ ３ −６１．４５４ −６１．４５４ ３．５９６ ２ １．５１１１８ ４ −３０．０ −３０．０ ０．１８２ ５ ∞ ∞ ６．６７６ ３ １．８２４８５ ６ −３８．２７３ −１４．６６１ １０４．６９１ ７ ∞ １８．７２７ ０．９０９ ４ １．５１１１８ ８ ∞ ∞ １７．５６７ 条件式のパラメータの値：ｆS4／Ｄbf＝２．０８６ 。
【００２２】実施例２ ｆｍ＝１００，ｆｓ＝−２２．７ ，２θ＝５０．０ ｉ Ｒix Ｒiy Ｄi ｊ Ｎj ０ １７．０３６ １ −２０．４１８ −２０．４１８ １．６６５ １ １．５５８６６ ２ ∞ ∞ １．８１３ ３ −６１．４５４ −６１．４５４ ３．５９６ ２ １．５１１１８ ４ −３０．０ −３０．０ ０．１８２ ５ ∞ −７５．１０９ ６．６７６ ３ １．８２４８５ ６ −３８．２７３ −１４．８８４ １０４．６９１ ７ ∞ １８．１８２ ０．９０９ ４ １．５１１１８ ８ ∞ ∞ １７．５６７ 条件式のパラメータの値：ｆS4／Ｄbf＝２．０２５ 。
【００２３】図２および図３にそれぞれ、実施例１およ
び２に関する像面湾曲とｆθ特性の図を示す。図４およ
び図５にはそれぞれ、実施例１および２に関する主走査
方向および副走査方向の光スポット径（１／ｅ2）を有
効主走査領域全域に対して示す。これらの図において、
破線は主走査方向に関するものを表し、実線は副走査方
向に関するものを表す。実施例１，２とも、像面湾曲・
ｆθ特性が良好で、光スポット径の変動は極めて小さ
い。上記実施例１，２の走査結像レンズを用い、図１に
示す光走査装置を実現すれば請求項４記載の光走査装置
の実施例となる。
び２に関する像面湾曲とｆθ特性の図を示す。図４およ
び図５にはそれぞれ、実施例１および２に関する主走査
方向および副走査方向の光スポット径（１／ｅ2）を有
効主走査領域全域に対して示す。これらの図において、
破線は主走査方向に関するものを表し、実線は副走査方
向に関するものを表す。実施例１，２とも、像面湾曲・
ｆθ特性が良好で、光スポット径の変動は極めて小さ
い。上記実施例１，２の走査結像レンズを用い、図１に
示す光走査装置を実現すれば請求項４記載の光走査装置
の実施例となる。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば新規な
走査結像レンズおよび、この走査結像レンズを用いた光
走査装置を提供できる。この発明の走査結像レンズは上
記の如き構成となっているから、面倒れ補正機能を有
し、優れたｆθ機能を実現し易く、光スポット径の変動
を極めて小さくできる。従って、上記走査結像レンズを
用いる光走査装置は、極めて良好な光走査を実現でき、
極めて高密度の光走査を実現することができる。
走査結像レンズおよび、この走査結像レンズを用いた光
走査装置を提供できる。この発明の走査結像レンズは上
記の如き構成となっているから、面倒れ補正機能を有
し、優れたｆθ機能を実現し易く、光スポット径の変動
を極めて小さくできる。従って、上記走査結像レンズを
用いる光走査装置は、極めて良好な光走査を実現でき、
極めて高密度の光走査を実現することができる。
【図１】この発明の光走査装置と走査結像レンズを説明
する図である。
する図である。
【図２】実施例１に関する像面湾曲とｆθ特性を示す図
である。
である。
【図３】実施例２に関する像面湾曲とｆθ特性を示す図
である。
である。
【図４】実施例１に関する光スポット径の変動特性を示
す図である。
す図である。
【図５】実施例２に関する光スポット径の変動特性を示
す図である。
す図である。
１ 光源装置 ２ 線像結像光学系 ３ 光
偏向器 ４ 偏向反射面 ５ 第１群 ６
第２群 ７ 第３群 ８ 第４群 ９ 被走査面
偏向器 ４ 偏向反射面 ５ 第１群 ６
第２群 ７ 第３群 ８ 第４群 ９ 被走査面
Claims (4)
- 【請求項１】主走査対応方向に長い線像に結像され、上
記線像の結像位置の近傍に偏向反射面を持つ光偏向器に
より等角速度的に偏向された光束を被走査面上に光スポ
ットとして集光させ、被走査面の等速的な光走査を行う
ための結像光学系であって、 主走査対応方向に関してｆθ機能を持つと共に、副走査
対応方向に関して光偏向器による偏向の起点と被走査面
とを幾何光学的な共役関係とする機能を持ち、 上記偏向の起点から被走査面側へ向かって順次、第１〜
第４群を配してなり、 第１群は、負の屈折力を持つレンズであり、 第２群は、偏向の起点側に凹面を向けた球面単レンズの
正メニスカスレンズであり、 第３群は、副走査対応方向の曲率が主走査対応方向の曲
率よりも強い、正の屈折力のトーリック面を有し、副走
査対応方向により強い正の屈折力を持つアナモフィック
なレンズであり、 第４群は、副走査対応方向にのみ正の屈折力を有するシ
リンダレンズであり、 第４群の、副走査対応方向における焦点距離をｆS4、被
走査面側レンズ面から被走査面に到る光軸上距離をＤbf
とするとき、これらが条件 （１） １．５＜ｆS4／Ｄbf＜３ を満足することを特徴とする４群４枚構成の走査結像レ
ンズ。 - 【請求項２】請求項１記載の走査結像レンズにおいて、 第１群は、偏向の起点側のレンズ面が凹球面で、被走査
面側のレンズ面が副走査対応方向にのみ屈折力を持つ凹
シリンダ面であるアナモフィックなレンズであり、 第３群は、偏向の起点側のレンズ面が平面で、被走査面
側のレンズ面がトーリック面であることを特徴とする走
査結像レンズ。 - 【請求項３】請求項１記載の走査結像レンズにおいて、 第１群は、偏向の起点側のレンズ面が凹球面で、被走査
面側のレンズ面が平面である平凹球面レンズであり、 第３群は、偏向の起点側のレンズ面が副走査対応方向に
のみ屈折力を持つ凹シリンダ面で、被走査面側のレンズ
面がトーリック面であることを特徴とする走査結像レン
ズ。 - 【請求項４】光源装置から放射される平行光束を、線像
結像光学系により主走査対応方向に長い線像として結像
させ、上記線像の結像位置の近傍に偏向反射面を持つ光
偏向器により等角速度的に偏向させ、偏向された光束を
走査結像レンズにより被走査面上に光スポットとして集
光させて光走査を行う装置であって、 走査結像レンズとして、請求項１または２または３記載
の走査結像レンズを用いることを特徴とする光走査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00838093A JP3243030B2 (ja) | 1993-01-21 | 1993-01-21 | 走査結像レンズおよび光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00838093A JP3243030B2 (ja) | 1993-01-21 | 1993-01-21 | 走査結像レンズおよび光走査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06222261A JPH06222261A (ja) | 1994-08-12 |
| JP3243030B2 true JP3243030B2 (ja) | 2002-01-07 |
Family
ID=11691623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00838093A Expired - Fee Related JP3243030B2 (ja) | 1993-01-21 | 1993-01-21 | 走査結像レンズおよび光走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3243030B2 (ja) |
-
1993
- 1993-01-21 JP JP00838093A patent/JP3243030B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06222261A (ja) | 1994-08-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5475522A (en) | Optical scanner | |
| JPH0338572B2 (ja) | ||
| US5353047A (en) | Beam scanning optical system | |
| JP2718735B2 (ja) | 光走査装置におけるｆθレンズ系 | |
| JP3061829B2 (ja) | 光走査装置におけるｆθレンズ系 | |
| US4962982A (en) | Light beam scanning device and light beam scanning lens | |
| JPH08190062A (ja) | 走査レンズ及び光走査装置 | |
| JPH10148755A (ja) | 走査光学装置及び走査光学装置用の走査光学レンズ | |
| JP3243030B2 (ja) | 走査結像レンズおよび光走査装置 | |
| JP2738857B2 (ja) | 光走査装置におけるｆθレンズ系 | |
| JP2986949B2 (ja) | 光走査装置における結像レンズ系 | |
| JP3034648B2 (ja) | 光走査光学系および光走査装置 | |
| JP2695208B2 (ja) | 光走査装置におけるｆθレンズ系 | |
| JP3364525B2 (ja) | 走査結像レンズおよび光走査装置 | |
| JP3441008B2 (ja) | 走査結像レンズおよび光走査装置 | |
| JP2635604B2 (ja) | 光走査装置 | |
| JP2775434B2 (ja) | 走査光学系 | |
| JP3330649B2 (ja) | アナモフィックなｆθレンズおよび光走査装置 | |
| JP3658439B2 (ja) | 走査結像レンズおよび光走査装置 | |
| JP2860176B2 (ja) | ｆθレンズ | |
| JP3293662B2 (ja) | テレセントリックなｆθレンズおよび光走査装置 | |
| JP2927846B2 (ja) | 光走査装置におけるｆθレンズ系 | |
| JP2856491B2 (ja) | 光走査装置のｆθレンズ | |
| JP2774546B2 (ja) | 光走査装置におけるｆθレンズ系 | |
| JP2856475B2 (ja) | 光走査装置のｆθレンズ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101019 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |