JP3238970U - 改良型圧力検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】圧力を検出させる際の精度を向上させる改良型圧力検出装置を提供する。【解決手段】改良型圧力検出装置１は、マイクロコントローラ１２と、微小電気機械システム圧力検出集積回路１４と、集積回路端温度係数サーミスタ１６と、を含み、マイクロコントローラは、集積回路端温度係数サーミスタによって微小電気機械システム圧力検出集積回路の集積回路端温度を検出し、微小電気機械システム圧力検出集積回路は、マイクロコントローラに圧力検出信号１８を送り、マイクロコントローラは、集積回路端温度に基づき、温度圧力方程式を用いて圧力検出信号を校正する。【選択図】図１

Description

本考案は圧力検出装置に関し、特に改良型圧力検出装置に関する。

関連技術である圧力検出装置は、設備の管路内の液体や気体に対して圧力検出を行い、これにより、各種工程段階の圧力変化を直接表示して、関係するパラメータや条件を制御し、生産作業の信頼性や安全性を維持するのに用いるものである。そのため、関連技術である圧力検出装置は現在では一般的な測定機器となっており、各種の技術分野や設備において広く使用されている。

関連技術である圧力検出装置は、関連技術である微小電気機械システム圧力検出集積回路を用いて圧力検出を行う。しかし、関連技術である微小電気機械システム圧力検出集積回路は、製造工程の温度循環などの要因により温度の影響を受けやすく、製造工程の温度変化中における精確な圧力値を正しく示すことができない。例えば、空気について言えば、理想気体の状態方程式（Ｉｄｅａｌ Ｇａｓ Ｌａｗ）、ＰＶ＝ｎＲＴは、圧力と温度の正相関の変化を表し、液体について言えば、製造工程の温度循環が蒸発温度に近いとき、検出される液体は気－液二相の間にあり、いずれも食い違う圧力値を提供してしまうため、この問題の解決が求められている。

上述の問題を解決するために、本考案は改良型圧力検出装置を提供することを目的としている。

本考案の上述の目的を達成するために、本考案の改良型圧力検出装置は、マイクロコントローラと、マイクロコントローラに電気的に接続される微小電気機械システム圧力検出集積回路と、マイクロコントローラに電気的に接続される集積回路端温度係数サーミスタと、を含み、そのうち、マイクロコントローラは、集積回路端温度係数サーミスタによって微小電気機械システム圧力検出集積回路の集積回路端温度を検出するように構成され、微小電気機械システム圧力検出集積回路は、マイクロコントローラに圧力検出信号を送るように構成され、マイクロコントローラは、集積回路端温度に基づき、温度圧力方程式を用いて圧力検出信号を校正するように構成される。

本考案は、微小電気機械システム圧力検出集積回路を用いて圧力を検出する際の精度を向上させる効果がある。

本考案が所定の目的を達成するために採用する技術・手段や効果をより明解にできるよう、以下の本考案に関する詳細な説明及び図面を参照されたい。これにより、本考案の目的、特徴及び特長についての具体的で深い理解が得られるはずである。但し、添付図面はもっぱら参考及び説明のために提供するものであり、本考案を制限するためのものではない。

本考案の改良型圧力検出装置の具体的な第１実施例のブロック図である。 本考案の改良型圧力検出装置の具体的な第２実施例のブロック図である。 本考案の改良型圧力検出装置の立体分解概念図である。 本考案の改良型圧力検出装置の立体組立概念図である。 本考案の改良型圧力検出装置の側断面概念図である。 本考案の１つの実施例におけるデジタル化後の圧力検出増幅信号と温度の関係図である。 本考案の１つの実施例におけるデジタル化後の圧力検出増幅信号と温度のタイミング図である。 本考案の１つの実施例におけるデジタル化して線形化した圧力検出増幅信号、線形化後の集積回路端温度係数サーミスタのデジタル値、及び温度の関係図である。 本考案の１つの実施例におけるデジタル化後の圧力検出増幅信号と集積回路端温度係数サーミスタのデジタル値の関係図である。 本考案のもう１つの実施例におけるデジタル化して線形化した圧力検出増幅信号、線形化後の集積回路端温度係数サーミスタのデジタル値、及び温度の関係図である。 本考案のもう１つの実施例におけるデジタル化後の圧力検出増幅信号と集積回路端温度係数サーミスタのデジタル値の関係図である。

本開示中、本考案の具体的な実施例に対する徹底的な理解のため、特定の詳細を多く提供するが、当業者は、それらの１つ以上の特定の詳細なしに本考案が実施され得ることを理解すべきである。なお、周知されている詳細については、本考案の主な技術的特徴が不明瞭になるのを避けるため、表示や説明をしない場合がある。本考案の技術内容及び詳細な説明に関して、図に基づき以下の通り説明する。

図１を参照されたい。それは、本考案の改良型圧力検出装置１の具体的な第１実施例のブロック図である。本考案の改良型圧力検出装置１は、マイクロコントローラ１２と、微小電気機械システム（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍ、一般的にＭＥＭＳと略称される）圧力検出集積回路（ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ、一般的にＩＣと略称される）１４と、集積回路端温度係数サーミスタ（ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ ｔｈｅｒｍｉｓｔｏｒ）１６と、を含み、マイクロコントローラ１２は、微小電気機械システム圧力検出集積回路１４及び集積回路端温度係数サーミスタ１６と電気的に接続されている。本考案に記載の圧力検出装置は、圧力伝送器と呼ぶこともできる。

集積回路端温度係数サーミスタ１６は、負温度係数（ｎｅｇａｔｉｖｅ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ、一般的にＮＴＣと略称される）サーミスタ若しくは正温度係数（ｐｏｓｉｔｉｖｅ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ、一般的にＰＴＣと略称される）サーミスタであるか、又は負温度係数サーミスタと正温度係数サーミスタの組み合わせである。マイクロコントローラ１２は、集積回路端温度係数サーミスタ１６によって微小電気機械システム圧力検出集積回路１４の集積回路端温度を検出するように構成され、微小電気機械システム圧力検出集積回路１４は、圧力検出部材（図１に図示しない）により設備（図１に図示しない）の管路（図１に図示しない）内の被測定媒体（例えば液体又は気体）に対する圧力検出を行って圧力検出信号１８を生成し、圧力検出信号１８をマイクロコントローラ１２に送るように構成されている。次に、マイクロコントローラ１２が集積回路端温度を得て、且つ圧力検出信号１８を受信した後において、マイクロコントローラ１２は、集積回路端温度に基づき、温度圧力方程式を用いて圧力検出信号１８を校正するように構成されている。詳細は後述する。また、本明細書が述べる校正は、補償と呼ぶこともできる。

図２を参照されたい。それは、本考案の改良型圧力検出装置１の具体的な第２実施例のブロック図である。図２に記載の構成要素と図１に記載の構成要素の同じものについては、要素を簡潔にするため、ここでは繰り返し説明しない。改良型圧力検出装置１は、温度係数補助サーミスタ２０、演算増幅器２２、キー群２４、発光ダイオードディスプレイ２６及び出力インターフェース２８をさらに含み、マイクロコントローラ１２は、温度係数補助サーミスタ２０、演算増幅器２２、キー群２４、発光ダイオードディスプレイ２６及び出力インターフェース２８と電気的に接続され、且つ演算増幅器２２はさらに微小電気機械システム圧力検出集積回路１４と電気的に接続されている。改良型圧力検出装置１は、４～２０ｍＡ信号伝送方式及びＮＰＮ／ＰＮＰ接続方式を採用し、且つ出力インターフェース２８は、ＩＯ－Ｌｉｎｋの出力インターフェースである。また、本考案は、複数の出力インターフェース２８を含むこともできる。

温度係数補助サーミスタ２０は、負温度係数サーミスタ若しくは正温度係数サーミスタであるか、又は負温度係数サーミスタと正温度係数サーミスタの組み合わせである。図２に示す具体的な第２実施例において、微小電気機械システム圧力検出集積回路１４は、圧力検出信号１８を演算増幅器２２に送るように構成され、次に演算増幅器２２は、圧力検出信号１８を増幅することにより圧力検出増幅信号３６を得るように構成され、次に演算増幅器２２は、圧力検出増幅信号３６をマイクロコントローラ１２に送るように構成され、マイクロコントローラ１２が集積回路端温度を得て、且つ圧力検出増幅信号３６を受信した後において、マイクロコントローラ１２は、集積回路端温度に基づき、温度圧力方程式を用いて圧力検出増幅信号３６を校正するように構成されている。詳細は後述する。また、本考案のもう１つの具体的な実施例において、集積回路端温度係数サーミスタ１６及び温度係数補助サーミスタ２０は、どちらも負温度係数サーミスタ又は正温度係数サーミスタであってもよいし、そのうちの一方が負温度係数サーミスタで、もう一方が正温度係数サーミスタであってもよい。

図３は本考案の改良型圧力検出装置１の立体分解概念図であり、図４は本考案の改良型圧力検出装置１の立体組立概念図であり、図５は本考案の改良型圧力検出装置１の側断面概念図である。図３、図４及び図５に記載の構成要素と図２に記載の構成要素の同じものについては、要素を簡潔にするため、ここでは繰り返し説明しない。図３、図４及び図５を合わせて参照されたい。改良型圧力検出装置１は設備４において使用されており、改良型圧力検出装置１は、上オイルチャンバ３８、下オイルチャンバ３２、膜３４、管継手１１０及び固定ホルダプレート３をさらに含み、設備４及び固定ホルダプレート３は接続穴３０を定義しており、設備４は管路４０を含んでいる。

図５に示す通り、下オイルチャンバ３２は上オイルチャンバ３８に接続されており、膜３４は下オイルチャンバ３２内に設置されている。微小電気機械システム圧力検出集積回路１４及び集積回路端温度係数サーミスタ１６は上オイルチャンバ３８に設置され、例えば、図５に示す第１位置４２に設置される。温度係数補助サーミスタ２０は下オイルチャンバ３２に設置され、例えば、図５に示す第２位置４４に設置される。図３、図４及び図５に示す通り、固定ホルダプレート３は設備４に固定して設置されている。管継手１１０は接続穴３０を通じて設備４の管路４０に接続されており、改良型圧力検出装置１に管路４０内の被測定媒体（例えば液体又は気体）に対する圧力検出を行わせる。

図６を参照されたい。それは、本考案の１つの実施例におけるデジタル化後の圧力検出増幅信号３６と温度の関係図であり、そのうち、圧力検出増幅信号３６は、マイクロコントローラ１２によりデジタル値に変換して得たデジタル化後の圧力検出増幅信号３６であり、図６のデジタル化後の圧力検出増幅信号３６はまだマイクロコントローラ１２に校正されていない。図６中、縦軸はデジタル値であり、横軸は温度（単位は摂氏度）であり、図６の実線曲線（遅延現象、ｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓを有する）は元のデジタル化後の圧力検出増幅信号３６であり、図６の点線はデジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６（方程式：ｙ＝－２．２１８３ｘ＋２３６２．５を有する）である。図６から、デジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６と温度は負の相関であることが分かる。即ち、温度が高くなるほど、デジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６は低くなっており、温度が低くなるほど、デジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６は高くなっている。しかし、ほぼ一定の圧力源を検出することについて言えば、圧力検出増幅信号３６もほぼ一定に維持して温度の影響を受けないようにしなければならず、本考案の目的は、こうした温度の影響を受ける問題を校正することにある。

図７を参照されたい。それは、本考案の１つの実施例におけるデジタル化後の圧力検出増幅信号３６と温度のタイミング図であり、そのうち、圧力検出増幅信号３６は、マイクロコントローラ１２によりデジタル値に変換して得たデジタル化後の圧力検出増幅信号３６であり、図７のデジタル化後の圧力検出増幅信号３６はまだマイクロコントローラ１２に校正されていない。図７中、左辺縦軸はデジタル値であり、右辺縦軸は温度（単位は摂氏度）であり、横軸は時間（単位は分）であり、曲線７０１はデジタル化後の圧力検出増幅信号３６を表しており、曲線７０２は温度を表している。図７から、デジタル化後の圧力検出増幅信号３６（曲線７０１）と温度（曲線７０２）は負の相関であることが分かる。

図８を参照されたい。それは、本考案の１つの実施例におけるデジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６、線形化後の集積回路端温度係数サーミスタ１６のデジタル値、及び温度の関係図であり、そのうち、圧力検出増幅信号３６は、マイクロコントローラ１２によりデジタル値に変換し且つ線形化して得た、デジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６であり、図８のデジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６はまだマイクロコントローラ１２に校正されておらず、マイクロコントローラ１２は、温度変化を受けて変化した集積回路端温度係数サーミスタ１６の抵抗値を検出し、抵抗値をデジタル化且つ線形化して、線形化後の集積回路端温度係数サーミスタ１６のデジタル値を得るものであり、集積回路端温度係数サーミスタ１６は負温度係数サーミスタである。図８中、縦軸はデジタル値であり、横軸は温度（単位は摂氏度）である。図８の直線８０１はデジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６を表しており、図８の直線８０１は方程式：ｙ＝－２．２１８３ｘ＋２３６２．５を有する。図８の直線８０２は線形化後の集積回路端温度係数サーミスタ１６のデジタル値を表しており、図８の直線８０２は方程式：ｙ＝－３２．６８ｘ＋２９３２．７を有する。

図８から、デジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６（直線８０１、方程式：ｙ＝－２．２１８３ｘ＋２３６２．５を有する）と温度は負の相関であり、線形化後の集積回路端温度係数サーミスタ１６のデジタル値（直線８０２、方程式：ｙ＝－３２．６８ｘ＋２９３２．７を有する）と温度も負の相関であることが分かる。よって、温度が上昇した場合、マイクロコントローラ１２が線形化後の集積回路端温度係数サーミスタ１６のデジタル値の低下を検知し、これにより、マイクロコントローラ１２が温度上昇をわかるが、デジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６と温度は負の相関であるため、デジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６は低下する（但し、これは正確ではない）ので、マイクロコントローラ１２はデジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６の数値を高めることによって正確な圧力をわからなければならない。温度が低下した場合、マイクロコントローラ１２が線形化後の集積回路端温度係数サーミスタ１６のデジタル値の上昇を検知し、これにより、マイクロコントローラ１２が温度低下をわかるが、デジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６と温度は負の相関であるため、デジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６は上昇する（但し、これは正確ではない）ので、マイクロコントローラ１２はデジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６の数値を下げることによって正確な圧力をわからなければならない。

図９を参照されたい。それは、本考案の１つの実施例におけるデジタル化後の圧力検出増幅信号３６と集積回路端温度係数サーミスタ１６のデジタル値の関係図であり、そのうち、圧力検出増幅信号３６は、マイクロコントローラ１２によりデジタル値に変換し且つデジタル化して得た圧力検出増幅信号３６であり、図９のデジタル化後の圧力検出増幅信号３６はまだマイクロコントローラ１２に校正されておらず、マイクロコントローラ１２は、温度変化を受けて変化した集積回路端温度係数サーミスタ１６の抵抗値を検出し、抵抗値をデジタル化して、集積回路端温度係数サーミスタ１６のデジタル値を得るものであり、集積回路端温度係数サーミスタ１６は負温度係数サーミスタである。図９中、縦軸はデジタル化後の圧力検出増幅信号３６のデジタル値であり、横軸は集積回路端温度係数サーミスタ１６のデジタル値であり、図９の実線曲線（遅延現象、ｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓを有する）はデジタル化後の圧力検出増幅信号３６であり、図９の点線はデジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６と線形化後の集積回路端温度係数サーミスタ１６のデジタル値の関係を表している（温度圧力方程式：ｙ＝０．０６７９ｘ＋２１６３．４を有する）。

図９及び温度圧力方程式（ｙ＝０．０６７９ｘ＋２１６３．４）から分かるように、集積回路端温度係数サーミスタ１６のデジタル値（図９の横軸）が１単位減少した場合には（集積回路端温度係数サーミスタ１６は負温度係数サーミスタであるため、１単位減少することは温度上昇を表す）、デジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６を誤って０．０６７９単位減少させてしまうため、マイクロコントローラ１２はデジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６を０．０６７９単位増加させることによって正確な圧力をわかる必要がある。図９及び温度圧力方程式（ｙ＝０．０６７９ｘ＋２１６３．４）から分かるように、集積回路端温度係数サーミスタ１６のデジタル値（図９の横軸）が１単位増加した場合には（集積回路端温度係数サーミスタ１６は負温度係数サーミスタであるため、１単位増加することは温度低下を表す）、デジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６を誤って０．０６７９単位増加させてしまうため、マイクロコントローラ１２はデジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６を０．０６７９単位減少させることによって正確な圧力をわかる必要がある。

図１０を参照されたい。それは本考案のもう１つの実施例におけるデジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６、線形化後の集積回路端温度係数サーミスタ１６のデジタル値、及び温度の関係図である。図１０と図８の違いは、図１０の集積回路端温度係数サーミスタ１６が正温度係数サーミスタであることのみであるため、図１０の内容の説明は省略する。

図１１を参照されたい。本考案のもう１つの実施例におけるデジタル化後の圧力検出増幅信号３６と集積回路端温度係数サーミスタ１６のデジタル値の関係図である。図１１と図９の違いは、図１１の集積回路端温度係数サーミスタ１６が正温度係数サーミスタであることのみであるため、図１１の内容の説明は省略する。そのうち、図１１の点線は温度圧力方程式：ｙ＝－０．０６７９ｘ＋２４７５．７を有する。

上記の図６～図１１の内容は、デジタル化後／線形化後の信号（例えばデジタル化後の圧力検出増幅信号３６、集積回路端温度係数サーミスタ１６のデジタル値、デジタル化して線形化した圧力検出増幅信号３６、線形化後の集積回路端温度係数サーミスタ１６のデジタル値）を説明したものであるが、上記の図６～図１１の内容は、元の圧力検出増幅信号３６及び集積回路端温度係数サーミスタ１６にも適用可能であり、これにより、上述のマイクロコントローラ１２が集積回路端温度に基づき、温度圧力方程式を用いて圧力検出増幅信号３６を校正するように構成されることを達成してもよい。また、圧力検出増幅信号３６と圧力検出信号１８の関係は増幅の関係に過ぎないため、上述のマイクロコントローラ１２が集積回路端温度に基づき、温度圧力方程式を用いて圧力検出信号１８を校正するように構成される内容の説明は省略する。また、上述の方程式の数値及び温度圧力方程式の数値は本考案の実施例に過ぎず、異なる条件やパラメータ、応用、設計の下では、方程式の数値及び温度圧力方程式の数値が異なるであろうことを理解されたい。

再び図２及び図５を参照されたい。管路４０内の被測定媒体は第１層と呼ぶことができ、第１温度を有する。膜３４は第２層と呼ぶことができ、第２温度を有する。下オイルチャンバ３２は第３層と呼ぶことができ、第３温度を有する。上オイルチャンバ３８は第４層と呼ぶことができ、第４温度を有する。温度係数補助サーミスタ２０（第２位置４４に設置）は第１温度を検出することができ、集積回路端温度係数サーミスタ１６（第１位置４２に設置）は第４温度を検出することができる。第１層、第２層、第３層及び第４層の間における媒体の熱伝導の影響のため、第４温度＝第１温度－Ｋ２＊第２温度－Ｋ３＊第３温度という方程式を得ることができる。そのうち、Ｋ２及びＫ３は構造重み係数でよいが、本考案は定数に限定されない。本考案は、管路４０内の被測定媒体の温度、膜３４の温度差、注油媒体（上オイルチャンバ３８及び下オイルチャンバ３２に注油して圧力検出の媒体とする）の温度差及び微小電気機械システム圧力検出集積回路１４の温度を利用し、検出した圧力値に対する補償・校正を行なうことにより、圧力検出の精度を高めることができる。

本考案は、微小電気機械システム圧力検出集積回路１４を用いて圧力を検出する際の精度を向上させる効果がある。また、本考案は温度の検出に低コストの負温度係数サーミスタか又は正温度係数サーミスタを採用しており、温度の検出に高規格のサーモセンサや温度検出器を採用していないため、本考案は高規格のサーモセンサや温度検出器の高いコストを回避することができる。改良型圧力検出装置１は、集積回路端温度係数サーミスタ１６と温度係数補助サーミスタ２０の温度差の総和を利用し、上オイルチャンバ３８、下オイルチャンバ３２及び膜３４の重み係数演算と組み合わせることにより、温度補償機構となるよう構成される。

上述は本考案の好ましい実施例に過ぎず、本考案の実施範囲を限定するものではない。本考案の請求項に基づく同等変化や修飾などはいずれも本考案の意図する実用新案登録請求の保護範囲に属するものとする。本考案は他の様々な実施例も可能であり、当業者は、本考案の精神及びその実質から逸脱しない状況の下で、本考案に基づき各種の変更や変形を行うことができるが、それらの対応する変更や変形はいずれも本考案の請求項の保護範囲に属するものとする。

１ 改良型圧力検出装置
３ 固定ホルダプレート
４ 設備
１２ マイクロコントローラ
１４ 微小電気機械システム圧力検出集積回路
１６ 集積回路端温度係数サーミスタ
１８ 圧力検出信号
２０ 温度係数補助サーミスタ
２２ 演算増幅器
２４ キー群
２６ 発光ダイオードディスプレイ
２８ 出力インターフェース
３０ 接続穴
３２ 下オイルチャンバ
３４ 膜
３６ 圧力検出増幅信号
３８ 上オイルチャンバ
４０ 管路
４２ 第１位置
４４ 第２位置
１１０ 管継手
７０１ 曲線
７０２ 曲線
８０１ 直線
８０２ 直線

Claims (7)

1. マイクロコントローラと、
   前記マイクロコントローラに電気的に接続された、微小電気機械システム圧力検出集積回路と、
   前記マイクロコントローラに電気的に接続された、集積回路端温度係数サーミスタと、を含み、
   前記マイクロコントローラは、前記集積回路端温度係数サーミスタによって前記微小電気機械システム圧力検出集積回路の集積回路端温度を検出するように構成され、前記微小電気機械システム圧力検出集積回路は、前記マイクロコントローラに圧力検出信号を送るように構成され、前記マイクロコントローラは、前記集積回路端温度に基づき、温度圧力方程式を用いて前記圧力検出信号を校正するように構成される、改良型圧力検出装置。
2. 前記集積回路端温度係数サーミスタは、負温度係数サーミスタ若しくは正温度係数サーミスタであるか、又は負温度係数サーミスタと正温度係数サーミスタの組み合わせである、請求項１に記載の改良型圧力検出装置。
3. 前記マイクロコントローラ及び前記微小電気機械システム圧力検出集積回路に電気的に接続された、演算増幅器をさらに含む、請求項１に記載の改良型圧力検出装置。
4. 前記マイクロコントローラに電気的に接続された、キー群をさらに含む、請求項１に記載の改良型圧力検出装置。
5. 前記マイクロコントローラに電気的に接続された、発光ダイオードディスプレイをさらに含む、請求項１に記載の改良型圧力検出装置。
6. 前記マイクロコントローラに電気的に接続された、出力インターフェースをさらに含む、請求項１に記載の改良型圧力検出装置。
7. 前記微小電気機械システム圧力検出集積回路及び前記集積回路端温度係数サーミスタが設置された、上オイルチャンバと、
   前記上オイルチャンバに接続された、下オイルチャンバと、
   前記下オイルチャンバ内に設置された、膜と、
   前記下オイルチャンバに設置された、温度係数補助サーミスタと、をさらに含み、
   前記改良型圧力検出装置は、前記集積回路端温度係数サーミスタと前記温度係数補助サーミスタの温度差の総和を利用し、前記上オイルチャンバ、前記下オイルチャンバ及び前記膜の重み係数演算と組み合わせることにより、温度補償機構となるよう構成される、請求項２に記載の改良型圧力検出装置。
   

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