JP5511804B2 - プロセス圧力測定用の改善されたアイソレーション・システム - Google Patents

プロセス圧力測定用の改善されたアイソレーション・システム Download PDF

Info

Publication number
JP5511804B2
JP5511804B2 JP2011513574A JP2011513574A JP5511804B2 JP 5511804 B2 JP5511804 B2 JP 5511804B2 JP 2011513574 A JP2011513574 A JP 2011513574A JP 2011513574 A JP2011513574 A JP 2011513574A JP 5511804 B2 JP5511804 B2 JP 5511804B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
process fluid
base member
fluid pressure
diaphragm
isolation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2011513574A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2011524015A (ja
Inventor
ブローデン,デヴィッド・エイ
Original Assignee
ローズマウント インコーポレイテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ローズマウント インコーポレイテッド filed Critical ローズマウント インコーポレイテッド
Publication of JP2011524015A publication Critical patent/JP2011524015A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5511804B2 publication Critical patent/JP5511804B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007Fluidic connecting means
    • G01L19/0046Fluidic connecting means using isolation membranes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0627Protection against aggressive medium in general
    • G01L19/0645Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection

Description

背景
工業用プロセス圧力トランスミッタを用いて、工業用プロセス流体、たとえばスラリー、液体、化学物質中の蒸気又はガス、パルプ、石油、ガス、薬剤、食品、及び/又は他の流体処理プラントの圧力を測定する。工業用プロセス流体圧力トランスミッタは、多くの場合プロセス流体付近に、又はフィールド・アプリケーション内に配置される。多くの場合、これらのフィールド・アプリケーションは過酷で変動する環境状態にさらされ、そのようなトランスミッタの設計者に課題を与える。
多くのプロセス流体圧力トランスミッタの感知エレメントは、多くの場合静電容量ベースのセンサであり、可撓性の感知ダイヤフラムと、2以上の静電容量の電極とを含む。絶縁性の封入液は、多くの場合静電容量プレートとダイヤフラムとの間で用いられる。一般的に、アイソレーション・ダイヤフラムは、プロセス流体と連係し、時として粗かったり、腐食性であったり、汚れていたり、汚染されていたり、又は極度に上昇した温度であったりする可能性のあるプロセス流体が、センサ部品と接触することを防止する。一般的に、プロセス流体は、アイソレーション・ダイヤフラムに抵抗するように作用し、アイソレーション・ダイヤフラムに撓みを生じさせ、ダイヤフラムの後ろの封入液を動かすかあるいは押しのけ、それに応じて封入液はその後、圧力センサの感知ダイヤフラムを動かすかあるいは押しのける。圧力センサは、電気特性、たとえば静電容量を有し、これは印加圧力によって変化し、電気特性は、プロセス流体圧力トランスミッタ内部の測定回路によって測定されるかあるいは判定され、プロセス流体圧力に関連する出力信号が生成される。この出力信号は、既知の工業規格の通信プロトコルに従ってさらにフォーマットされ、プロセス通信ループを介して他のフィールド装置又はコントローラに送信される。
プロセス流体圧力トランスミッタの最新技術が進歩するに従い、感知技術及び正確さが改善されてきた。しかし、そのような装置の製造者には、依然としてより厳しい精度及び正確さを備える装置を提供することが求められている。したがって、改善された正確さ及び精度を備えるプロセス流体圧力トランスミッタを提供することは、工業用プロセス測定及び制御技術の利益となるであろう。
プロセス流体圧力トランスミッタは、圧力センサと、トランスミッタ電子機器と、アイソレーション・システムとを含む。圧力センサは、圧力によって変化する電気的特性を有する。トランスミッタ電子機器は、圧力センサに結合され、電気的特性を感知して圧力の出力を計算する。アイソレーション・システムは、ベース部材と、アイソレーション・ダイヤフラムと、封入液とを含む。アイソレーション・ダイヤフラムは、ベース部材に装着され、圧力センサとプロセス流体との間に介在する。封入液は、アイソレーション・ダイヤフラムと圧力センサとの間に配設される。ベース部材及びアイソレーション・ダイヤフラムは、アイソレーション・ダイヤフラムの熱膨張係数が、ベース部材の熱膨張係数よりも大きくなるような異なる材料から構成される。
本発明の実施形態が特に適用可能であるプロセス流体圧力トランスミッタの線図である。 アイソレーション・システムの一部の線図である。 温度上昇に対するアイソレーション・システムの反応を図示する。 従来技術の、アイソレータ体積対アイソレーション・ダイヤフラム圧力のグラフである。 本発明の一実施形態の、アイソレータ体積対アイソレーション・ダイヤフラム圧力のグラフである。 本発明の実施形態を実践することができるプロセス流体の圧力の測定システムの線図である。 図4のセクション線A−Aで切られた断面図であり、アイソレーション・ダイヤフラム及びベース部材を図示する。
詳細な説明
本発明のいくつかの態様及び実施形態は、全体として、アイソレータ・システム設計の技術に支障を来たしてきた問題を一意的に認識することに起因する。具体的には、高温の工業用流体、たとえば、スチームを測定する工業用プロセス流体圧力トランスミッタは、多くの場合「安定状態」下及び過渡状態下の両方でより高い誤差を呈する。これらの測定誤差は、シングル・ダイヤフラム・アイソレータを用いて、ゲージ圧力、又は絶対圧力を測定するプロセス流体圧力測定トランスミッタによく見られる。加えて、これらの測定誤差は、リモート・シール(ダイヤフラム組立体)・システム、そして差圧測定システムにも存在する。
シングル・アイソレータ・ゲージ圧力又は絶対圧力トランスミッタで非常に高温のプロセス流体を測定する場合、電子機器及び温度補償式センサは、多くの場合可撓性の金属プロセス流体アイソレーション・ダイヤフラムから離れて設置される。このことは、通常の工業用電子機器が耐えることができる程度を実質的に上回るプロセス流体温度(すなわち、華氏185度)で測定する場合に、特に当てはまる。これらの設備では、高温のプロセスが、アイソレーション流体(たとえばシリコーン油又はDC200)及びアイソレータ・ダイヤフラムを、非常に急速に加熱する。封入液が膨張し、アイソレータ・ダイヤフラムを拡張させて、アイソレータ・ダイヤフラムが背圧(容積のばねとして作用する)を生じさせる。圧力センサは、この状態を誤差として測定する。この温度により誘発された誤差は、熱過渡システムの「周囲」の温度補正する測定システムでは完全には補償されない。
プロセス流体圧力トランスミッタの構成に依存して、上記の誤差は、システムが熱的安定状態に達した場合であっても存続する可能性がある。このことは、絶対圧力又はゲージ圧力の測定トランスミッタのケースに、シングル・アイソレータのリモート・シールが取り付けられている場合、往々にして発生する。高温のプロセスからの熱的アイソレーション(毛管の有無にかかわらず)を目的として、リモート・シールを付加することは、実質的な測定誤差を招く場合がある。
上述の誤差は、主にゼロベースの測定誤差である。しかし、スパン(スロープ)もまた影響を受ける可能性がある。誤差が主にゼロベースであるため、より低い圧力測定は最も脆弱である。これらの誤差はまた、油又は封入液の体積及びダイヤフラムの剛性によって増大する。アイソレーション・ダイヤフラム剛性は、直径が小さくなるに従って増大するため、より小さなアイソレーション・ダイヤフラムは、より大きな誤差を生じる傾向にある。この誤差に対処するために、高温のリモート・シールについては、多くの場合大きなアイソレーション・ダイヤフラムが用いられる。
図1Aは、本発明の実施形態が特に適用可能であるプロセス流体圧力トランスミッタの線図である。トランスミッタ10は、ねじ山が形成された入口を受けてプロセス流体を運び込むように構成されたプロセス流体ポート12を含む。また、トランスミッタ10はアイソレーション・システム14を含み、これは図1Bにより詳細に図示されている。アイソレーション・システム14は、ポート12に存在するプロセス流体と直接接触するように構成され、図1Aに仮想線で図示される圧力センサ16に圧力を伝える封入液、たとえばシリコーン油、又はMidland, MichiganのDow Corning Cororationより入手可能なDC200に圧力を与える。圧力センサ16は、トランスミッタ電子機器18によって感知される電気信号又は特性を生成する。また、トランスミッタ電子機器18は、センサ信号に基づいてプロセス流体圧力を演算して、ワイヤ20として概略的に図示されるプロセス通信ループを経由して、演算されたプロセス流体圧力を送信するようにさらに構成される。
プロセス流体圧力トランスミッタ10は、入口が1つのプロセス流体圧力トランスミッタ、たとえばゲージ圧力又は絶対圧力トランスミッタの一例である。他の代表的なプロセス流体圧力トランスミッタで、本発明の実施形態が特に有用なものは、差圧トランスミッタを含む。本質的に、アイソレーション・システムを用い、封入液を用いて圧力センサからプロセス流体を物理的に隔離するときはいつでも、本発明の実施形態を実践することができる。このように、リモート・シールの用途であっても、本発明の実施形態を実践することができる。
図1Bは、アイソレーション・システム14の線図である。アイソレーション・システム14は、支持ベース部材30を含み、これは好ましくは円筒形であり、約3/4インチの直径を有する。支持ベース部材30の構造向けの一般的な材料は、タイプ316ステンレス鋼である。アイソレータ・ダイヤフラム32は、好ましくは円形であり、周縁34の周辺で支持ベース部材30に溶接される。アイソレータ・ダイヤフラム32は、一般的に少なくとも1つの回旋部36を含み、一般的には厚さおよそ1000分の1インチ(0.001”)である。さらに、アイソレータ・ダイヤフラム32は、一般的に支持ベース部材30と同じ材料で形成される。したがって、一般的に、アイソレータ・ダイヤフラム32もまた、タイプ316ステンレス鋼で構成される。図1Bに図示されるように、プロセス流体は、アイソレータ・ダイヤフラム32の外表面に対して当接し、アイソレーション・ダイヤフラム32の後ろ及び通路40内部で、封入液38に圧力が伝えられる。通路40は、圧力センサ16まで延び、ここで封入液38の圧力がセンサ16によって測定される。
図2は、上昇温度に対するアイソレータ・システムの反応を図示する。具体的には、温度が上がると、支持ベース部材及びアイソレータ・ダイヤフラムの両方の直径が、各自の熱膨張係数に従って増大する。加えて、アイソレータ・ダイヤフラムに近接した封入液もまた、薄い金属ダイヤフラムを通したコンダクタンスを介して、上昇した温度にさらされ、膨張する。したがって、温度が上がると、ダイヤフラムは、図の実線50から図の仮想線52に移動する。理解できるように、ダイヤフラムが高温のプロセス流体にさらされると、封入液が膨張してダイヤフラムを拡張させる。これによって背圧の増大が生じ、アイソレータ剛性グラフ(図3A)に示されるように、第1の温度から、上昇した第2の温度まで移動する。温度が上がり続けた場合、ダイヤフラムに半径方向の張力が強まり、背圧を増大させる。最終的に、ダイヤフラムは、変形限度を超えると永久的に変形する可能性がある。温度上昇時のアイソレーション・ダイヤフラム剛性が事実上同じなのは、アイソレータが、アイソレータとほぼ同じ熱膨張率のベース部材材料上に装着されているためである。
本発明の実施形態は、概略的に、封入液のいくらかの熱膨張が、アイソレータ・ダイヤフラムの張力の減少によって平衡されるシステムを作り出す。本システムが実施されることができる1つの方法は、アイソレーション・ダイヤフラム及び支持/ベース部材の選択を、支持/ベース部材よりも、その周縁が取り付けられるアイソレータ・ダイヤフラムのほうが高い熱膨張係数を有するようにすることである。このように、温度が上がると、アイソレーション・ダイヤフラムは、取り付けられるベース部材に対して相対的に成長する。この熱的に誘発された成長は、アイソレーション・ダイヤフラムの張力の減少を生じさせて、封入液の熱膨張を相殺する。
図3Aは、従来技術の、アイソレータ体積対アイソレーション・ダイヤフラム圧力のグラフである。温度が標準状態から上昇状態に変化するに従い、アイソレーション流体の体積が変化する。加えて、アイソレーション・ダイヤフラムの剛性は固定されたままである。したがって、圧力誤差60が生じる。
図3Bは、本発明の実施形態の、アイソレータ体積対アイソレーション・ダイヤフラム圧力のグラフである。見て分かるように、図3Aとは対照的に、温度が標準温度から上昇温度に変化するに従い、アイソレーション・ダイヤフラムの剛性が実線から仮想線に変化する。加えて、アイソレーション流体の体積が変化するに従い、アイソレーション・ダイヤフラム両側の圧力は同じままで留まるため、熱的に誘発された圧力誤差がない。したがって、適正に設計された場合、アイソレーション・ダイヤフラムは、上昇温度によってベース部材よりも早く膨張する。このことは、膨張する封入液によって強められた張力を効果的に緩和する。適正な設計によって、正味の効果は、あらゆる熱的に誘発されたアイソレーション・システム誤差を実質的に低減させるか又は取り除くことができるものになると考えられる。
本発明の1つの実施形態では、特定の材料例が提供される。理解できるように、ベース部材材料、アイソレーション・ダイヤフラム材料、及びアイソレーション・ダイヤフラムのサイズならびに構造の選択は、多様にすることができる。本ケースでは、アイソレーション・ダイヤフラムは、タイプ316ステンレス鋼製である。この材料は、17×10−6/℃の割合で膨張する。しかし、ベース部材材料は、タイプ400シリーズのステンレス鋼であるように選択される。ベース部材材料は、11×10−6/℃で膨張する。高温誤差は、現状の10倍まで低減させることができる。本例は6×10−6/℃の差のみを示しているが、他の用途では、熱膨張係数の間でより著しい差が必要とされる場合がある。
図4は、本発明の実施形態を実践することができるプロセス流体圧力測定システムの線図である。システム100は、各自の毛管線108、110を通して一対のリモート・シール104、106に結合された、差圧プロセス流体圧力トランスミッタ102を含む。各リモート・シール104、106は、フランジ112を介してプロセス流体容器、たとえばパイプ又はタンクに装着されるように構成される。加えて、各リモート・シールは、プロセス流体に接触するように構成されたアイソレーション・ダイヤフラム114を含む。差圧プロセス流体圧力トランスミッタ102は、リモート・シール104、106のそれぞれによって観察された圧力間の圧力差を測定し、プロセス通信ループを経由してプロセス変数出力、たとえばタンク内の流体レベルを提供するように構成される。理解できるように、リモート・シール104、106がタンク上の異なる垂直レベルに装着される場合、圧力差は、流体力学の圧力の差に関連し、従ってタンク内のプロセス流体のレベルとなる。
図5は、図4のセクション線A−Aに沿って切られた断面図であり、アイソレーション・ダイヤフラム及びベース部材を図示している。リモート・シール104は、アイソレーション・ダイヤフラム112を取り囲むベース部材110を含む。好ましくは、ベース部材110及びアイソレーション・ダイヤフラム112の両方が円形である。さらに、ダイヤフラム112の周縁は、好ましくはベース部材110に溶接されている。封入液114は、アイソレーション・ダイヤフラム112の後ろに配設され、毛管108を通して、トランスミッタ102の差圧センサに圧力を伝える。本発明の実施形態では、アイソレーション・ダイヤフラム及びベース部材110は、異なる材料から構成され、ダイヤフラム112がベース部材110よりも高い温度で膨張するようにされる。
本発明の実施形態は、アイソレーション・アセンブリの熱的に誘発された誤差を低減させるか又は取り除くことによって、さらなる正確さを提供する。しかし、本発明の実施形態はまた、より高い温度のプロセスが測定されることも可能にする(封入液が高温に対応することを前提とする)。このように、プロセス流体の温度により、信頼できる程度に監視できなかったプロセス流体圧力は、現在ではより良好に監視及び制御され得る。
本発明の実施形態は、ダイヤフラム(感知又はアイソレーション)の近くで加熱された油が、システムに望ましくないように影響する可能性がある場合にはいつでも有用である。本発明の実施形態は、全システムあるいはその一部を加熱する周囲温度の上昇が見られる場合に、システムの他の部分、たとえば毛管から膨張する流体を、少なくとも部分的に受け入れるための膨張を可能にしている。システムの残りの部分は、多くの場合アイソレータの冷えている時の高さよりも多くの封入液を保持する。
別例として、316シリーズステンレス鋼で形成された直径.75”のアイソレーション・ダイヤフラムを、400シリーズステンレス鋼で形成されたベース部材とともに用いることができる。DC200封入液は、初期レベル0.008インチまで充填されることができる。このことは、およそ0.00062立方インチの初期アイソレータ体積をもたらす。摂氏100度の温度上昇により、およそ0.0000672立方インチの体積増加を生じる。実際には、管内には油があり、センサシステムもまたアイソレータ内に膨張する必要があるが、これは油が逃げることができる唯一の場所であるためである。上記パラメータのすべてを考慮すると、計算から示されるのは、アイソレータとベース部材との間の膨張差に起因するアイソレータ体積増加は、およそ0.00175立方インチであるということである。したがって、本発明の実施形態は、センサ及び/又は毛管内部の油のかなり大幅な膨張を受け入れることができる。
好ましい実施形態を参照して本発明を説明してきたが、当業者においては、本発明の本質及び範囲から逸脱することなく、形状及び詳細に変更がなされてもよいことが認識されよう。たとえば、本開示の大半がシングル・アイソレーション・ダイヤフラムの絶対又はゲージプロセス流体圧力トランスミッタに向けられているが、本発明の実施形態は、リモート・シール、そして差圧プロセス流体圧力トランスミッタに適用可能である。

Claims (7)

  1. 圧力によって変化する電気的特性を有する圧力センサと、
    前記圧力センサに結合され、電気的特性を感知して圧力出力を計算するトランスミッタ電子機器と、
    毛管線を通じて前記圧力センサに圧力を伝えるリモート・シールとしてのアイソレーション・システムと、
    を含み、
    前記アイソレーション・システムが、
    円形のベース部材と、
    周縁部で前記ベース部材に装着され、前記圧力センサとプロセス流体との間に介在する円形のアイソレーション・ダイヤフラムと、
    前記アイソレーション・ダイヤフラムと前記圧力センサとの間に配設される封入液と、
    を含み、
    前記アイソレーション・ダイヤフラムが、前記周縁部から内側に隣接して、前記ベース部材に向かって隆起する1つの回旋部を有し、
    前記ベース部材が、前記アイソレーション・ダイヤフラムの前記回旋部を受けるように適合された窪みを有し、
    前記ベース部材及び前記アイソレーション・ダイヤフラムが、異なる材料から構成され、前記アイソレーション・ダイヤフラムの熱膨張係数が、前記ベース部材の熱膨張係数よりも大きい
    プロセス流体圧力トランスミッタ。
  2. 前記熱膨張係数の差が、およそ6×10−6/℃である、請求項1記載のプロセス流体圧力トランスミッタ。
  3. 前記アイソレーション・ダイヤフラムが、タイプ316ステンレス鋼から構成される、請求項1記載のプロセス流体圧力トランスミッタ。
  4. 前記ベース部材が、タイプ400ステンレス鋼から構成される、請求項3記載のプロセス流体圧力トランスミッタ。
  5. 前記封入液がDC200である、請求項1記載のプロセス流体圧力トランスミッタ。
  6. 前記プロセス流体圧力トランスミッタが、絶対プロセス流体圧力トランスミッタである、請求項1記載のプロセス流体圧力トランスミッタ。
  7. 前記プロセス流体圧力トランスミッタが、ゲージプロセス流体圧力トランスミッタである、請求項1記載のプロセス流体圧力トランスミッタ。
JP2011513574A 2008-06-12 2009-06-03 プロセス圧力測定用の改善されたアイソレーション・システム Active JP5511804B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/137,648 US8042401B2 (en) 2008-06-12 2008-06-12 Isolation system for process pressure measurement
US12/137,648 2008-06-12
PCT/US2009/046060 WO2009152004A1 (en) 2008-06-12 2009-06-03 Improved isolation system for process pressure measurement

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011524015A JP2011524015A (ja) 2011-08-25
JP5511804B2 true JP5511804B2 (ja) 2014-06-04

Family

ID=40977885

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011513574A Active JP5511804B2 (ja) 2008-06-12 2009-06-03 プロセス圧力測定用の改善されたアイソレーション・システム

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8042401B2 (ja)
EP (1) EP2304404B1 (ja)
JP (1) JP5511804B2 (ja)
CN (2) CN102057265A (ja)
WO (1) WO2009152004A1 (ja)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ITMI20060152A1 (it) * 2006-01-30 2007-07-31 Abb Service Srl Trasmettitore per il controllo di processi industriali
JP4986165B2 (ja) * 2008-04-28 2012-07-25 国立大学法人 東京大学 変位変換装置
US9274018B2 (en) * 2012-09-28 2016-03-01 Rosemount Inc. Remote seal process pressure measuring system
US9157824B2 (en) * 2012-09-28 2015-10-13 Rosemount Inc. High pressure fluid coupling
US9513183B2 (en) * 2014-06-30 2016-12-06 Rosemount Inc. Process isolation diaphragm assembly for metal process seal
US9772246B2 (en) * 2014-09-30 2017-09-26 Rosemount Inc. Fill fluid thermal management
US9759627B2 (en) * 2014-12-19 2017-09-12 General Electric Company Pressure transmitter panel having drain/vent valves oriented to face forward
US10209154B2 (en) 2015-03-30 2019-02-19 Rosemount Inc. In-line process fluid pressure transmitter for high pressure applications
CN105352651A (zh) * 2015-12-04 2016-02-24 中国原子能科学研究院 一种耐高温耐腐蚀防结晶的压力压差变送器隔离模块
US10060814B2 (en) * 2016-03-15 2018-08-28 Rosemount Inc. Fluid filled elongate pressure sensor
US10094726B2 (en) * 2017-02-01 2018-10-09 Honeywell International Inc. Membrane isolated, gel-filled force sensor
CN107367350B (zh) * 2017-08-17 2023-11-03 青岛科奥仪表制造有限公司 一种多功能安全压力表
JP6852631B2 (ja) * 2017-09-14 2021-03-31 オムロンヘルスケア株式会社 圧力測定装置、及び圧力測定方法
CN107976279A (zh) * 2017-12-15 2018-05-01 北京创昱科技有限公司 一种真空测量装置
WO2019222598A1 (en) 2018-05-17 2019-11-21 Rosemount Inc. Measuring element and measuring device comprising the same
CN111141441B (zh) * 2018-11-05 2021-09-07 安徽恩蔓智能科技有限公司 一种压力变送器
WO2020173786A1 (en) * 2019-02-27 2020-09-03 Kistler Holding Ag Sensor
US11262771B2 (en) * 2019-09-23 2022-03-01 Rosemount Inc. High pressure capsule and header for process fluid pressure transmitter

Family Cites Families (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3388597A (en) * 1965-10-05 1968-06-18 Whittaker Corp Measuring and computing device and method
US3722373A (en) * 1969-06-23 1973-03-27 Sybron Corp Differential pressure responsive device of welded construction
JPS5833556Y2 (ja) * 1976-12-13 1983-07-27 横河電機株式会社 温度補償機能を具備した受圧カプセル
JPS53133767U (ja) * 1977-03-30 1978-10-23
GB1603823A (en) * 1977-05-02 1981-12-02 Kent Ltd G Differential pressure sensing device
JPS5829862B2 (ja) * 1977-05-14 1983-06-25 富士電機株式会社 圧力測定装置
JPS5921497B2 (ja) * 1978-11-02 1984-05-21 富士電機株式会社 圧力測定装置
JPS5666841U (ja) * 1979-10-26 1981-06-03
US4382247A (en) 1980-03-06 1983-05-03 Robert Bosch Gmbh Pressure sensor
JPH043244Y2 (ja) * 1985-11-29 1992-02-03
US4833922A (en) * 1987-06-01 1989-05-30 Rosemount Inc. Modular transmitter
JPH02231539A (ja) * 1989-03-03 1990-09-13 Fuji Electric Co Ltd 差圧検出装置
US5157972A (en) * 1991-03-29 1992-10-27 Rosemount Inc. Pressure sensor with high modules support
US5287746A (en) * 1992-04-14 1994-02-22 Rosemount Inc. Modular transmitter with flame arresting header
US5438876A (en) * 1993-08-05 1995-08-08 The Foxboro Company Modular diaphragm pressure sensor with peripheral mounted electrical terminals
US5731522A (en) * 1997-03-14 1998-03-24 Rosemount Inc. Transmitter with isolation assembly for pressure sensor
JPH1194671A (ja) * 1997-09-16 1999-04-09 Yokogawa Electric Corp 圧力センサ
US6038961A (en) * 1998-03-02 2000-03-21 Rosemount Inc. Flush mount remote seal
US6561038B2 (en) * 2000-01-06 2003-05-13 Rosemount Inc. Sensor with fluid isolation barrier
DE60112266T2 (de) * 2000-03-08 2006-06-08 Rosemount Inc., Eden Prairie Bidirektionaler differenzdruck- durchflusssensor
DE10031120A1 (de) * 2000-06-30 2002-01-17 Grieshaber Vega Kg Druckmittler
US6782754B1 (en) 2000-07-07 2004-08-31 Rosemount, Inc. Pressure transmitter for clean environments
JP2003042868A (ja) * 2001-08-03 2003-02-13 Yokogawa Electric Corp 圧力測定装置
US6807865B2 (en) 2002-02-04 2004-10-26 Dwyer Instruments, Inc. Pressure sensor with a radially tensioned metal diaphragm
US6675655B2 (en) * 2002-03-21 2004-01-13 Rosemount Inc. Pressure transmitter with process coupling
US6843133B2 (en) * 2002-06-18 2005-01-18 Rosemount, Inc. Capacitive pressure transmitter
US6782751B2 (en) * 2002-09-13 2004-08-31 Ctes, L.C. Pipe inspection systems and methods
JP2004132726A (ja) * 2002-10-08 2004-04-30 Denso Corp 圧力センサ
US6843139B2 (en) * 2003-03-12 2005-01-18 Rosemount Inc. Flow instrument with multisensors
US7357032B2 (en) * 2003-05-06 2008-04-15 Vega Greishaber Kg Pressure transmitter
US6883380B2 (en) * 2003-05-16 2005-04-26 Rosemount Inc Pressure sensor capsule
US7080558B2 (en) * 2003-10-06 2006-07-25 Rosemount Inc. Process seal for process control transmitter
US7117745B2 (en) * 2004-02-09 2006-10-10 Rosemount Inc. Process seal for process control transmitter
JP2005265784A (ja) 2004-03-22 2005-09-29 Noritake Co Ltd 金属ダイヤフラム式センサ
US7036381B2 (en) * 2004-06-25 2006-05-02 Rosemount Inc. High temperature pressure transmitter assembly
US7258021B2 (en) * 2004-06-25 2007-08-21 Rosemount Inc. Process transmitter isolation assembly
US7373831B2 (en) * 2004-06-25 2008-05-20 Rosemount Inc. High temperature pressure transmitter assembly
US7401522B2 (en) * 2005-05-26 2008-07-22 Rosemount Inc. Pressure sensor using compressible sensor body
US7430917B2 (en) * 2006-04-10 2008-10-07 Rosemount Inc. Process transmitter with self sealing fill fluid system
JP5034394B2 (ja) * 2006-09-13 2012-09-26 株式会社デンソー 圧力センサ
US7591184B2 (en) * 2007-03-16 2009-09-22 Rosemount Inc. Industrial pressure sensor having enhanced dielectric fill fluid
US7377176B1 (en) * 2007-03-16 2008-05-27 Rosemount Inc. Nano-particle modified fill fluid for pressure transmitters
US7454975B2 (en) * 2007-04-06 2008-11-25 Rosemount Inc. Expansion chamber for use with a pressure transmitter
US7437939B1 (en) * 2007-04-13 2008-10-21 Rosemount Inc. Pressure and mechanical sensors using titanium-based superelastic alloy
DE102007039297B3 (de) * 2007-08-20 2009-02-05 Vega Grieshaber Kg Druckmesseinrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
CN104655357B (zh) 2018-04-10
EP2304404B1 (en) 2019-05-01
EP2304404A1 (en) 2011-04-06
JP2011524015A (ja) 2011-08-25
WO2009152004A1 (en) 2009-12-17
US20090308170A1 (en) 2009-12-17
US8042401B2 (en) 2011-10-25
CN104655357A (zh) 2015-05-27
CN102057265A (zh) 2011-05-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5511804B2 (ja) プロセス圧力測定用の改善されたアイソレーション・システム
JP4964131B2 (ja) 圧力送信機アセンブリ
AU2016389707C1 (en) Non-intrusive process fluid temperature calculation system
RU2693732C1 (ru) Передатчик давления с защитой от избыточного давления
US10627302B2 (en) Pressure sensor module for high working pressure applications
AU2014328696B2 (en) Multivariable process fluid transmitter for high pressure applications
JP2010523975A (ja) 圧力送信機用の膨張チャンバ
JP2011503576A (ja) 圧力センサ
EP3619512A1 (en) Overpressure protection system
CN107884116B (zh) 温度补偿绝对压力传感器
RU2649042C1 (ru) Коррозионностойкий модуль давления для измерительного преобразователя давления технологической текучей среды
EP3903082A1 (en) Remote seal system with improved temperature compensation
JP3238970U (ja) 改良型圧力検出装置
JPH04248430A (ja) リモートシール型差圧・圧力発信器
CN217111278U (zh) 聚合物流体传感器
Cashwell Process measurements on problem-fluids

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110121

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20121009

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121016

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130115

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130806

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20131202

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20140129

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140304

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140325

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5511804

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250