JP3234526B2 - Plasma display panel and method of manufacturing phosphor for plasma display - Google Patents
Plasma display panel and method of manufacturing phosphor for plasma displayInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、表示デバイスなど
に用いるプラズマディスプレイパネル及びその蛍光体の
製造方法に関するものである。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a plasma display panel used for a display device or the like and a method for manufacturing a phosphor thereof.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、ハイビジョンをはじめとする高品
位で大画面のテレビに対する期待が高まっている中で、
CRT,液晶ディスプレイ(以下、LCDと記載す
る),プラズマディスプレイパネル(Plasma Display P
anel,以下PDPと記載する)といった各ディスプレイ
の分野において、これに適したディスプレイの開発が進
められている。2. Description of the Related Art In recent years, expectations for high-definition and large-screen televisions such as high-definition televisions have been increasing.
CRT, liquid crystal display (hereinafter abbreviated as LCD), plasma display panel (Plasma Display P)
Anel, hereafter referred to as PDP), the development of a display suitable for this is being promoted.
【0003】従来からテレビのディスプレイとして広く
用いられているCRTは、解像度・画質の点で優れてい
るが、画面の大きさに伴って奥行き及び重量が大きくな
る点で40インチ以上の大画面には不向きである。ま
た、LCDは、消費電力が少なく、駆動電圧も低いとい
う優れた性能を有しているが、大画面を作製するのに技
術上の困難性があり、視野角にも限界がある。Conventionally, CRTs, which have been widely used as television displays, are excellent in resolution and image quality, but have a large screen of 40 inches or more in that the depth and weight increase with the screen size. Is not suitable. In addition, LCDs have excellent performance such as low power consumption and low driving voltage, but have technical difficulties in producing a large screen and have a limited viewing angle.
【0004】これに対して、PDPは、小さい奥行きで
も大画面を実現することが可能であって、既に40イン
チクラスの製品も開発されている。PDPは、大別して
直流型(DC型)と交流型(AC型)とに分けられる
が、現在では大型化に適したAC型が主流となってい
る。図7は、従来の一般的な交流面放電型PDPの概略
断面図である。図7において、フロントカバープレート
101上に表示電極102が配設され、その上を鉛ガラ
ス[PbO−B2O3−SiO2ガラス]からなる誘電体
ガラス層103で覆われている。On the other hand, a PDP can realize a large screen even with a small depth, and a 40-inch class product has already been developed. PDPs are roughly classified into a direct current type (DC type) and an alternating current type (AC type). At present, the AC type suitable for upsizing is mainly used. FIG. 7 is a schematic sectional view of a conventional general AC surface discharge type PDP. 7, appears electrodes 102 on the front cover plate 101 is disposed is covered over its lead glass dielectric glass layer 103 consisting of [PbO-B 2 O 3 -SiO 2 glass.
【0005】また、バックプレート105上には、アド
レス電極106と隔壁107と、赤または緑または青の
蛍光体粒子150からなる蛍光体層108とが配設さ
れ、誘電体ガラス層103,バックプレート105,隔
壁107に囲まれた放電空間109内には、ヘリウム
(He)とキセノン(Xe)あるいはネオン(Ne)と
キセノン(Xe)からなる放電ガスが封入されている。On the back plate 105, an address electrode 106, a partition wall 107, and a phosphor layer 108 made of red, green or blue phosphor particles 150 are provided. A discharge gas 109 made of helium (He) and xenon (Xe) or neon (Ne) and xenon (Xe) is sealed in a discharge space 109 surrounded by the partition 105 and the partition 107.
【0006】このようなPDPにおける発光原理は、基
本的に蛍光灯と同様であって、表示電極102の放電に
伴って放電ガスから紫外線(波長147nm及び173
nm)が放出され、この紫外線を受けて蛍光体層108
の蛍光体粒子(赤,緑,青)が励起発光される。The principle of light emission in such a PDP is basically the same as that of a fluorescent lamp, and the discharge gas discharges ultraviolet light (wavelengths of 147 nm and 173 nm) when the display electrode 102 is discharged.
nm), and the phosphor layer 108 receives the ultraviolet rays.
Phosphor particles (red, green, blue) are excited and emit light.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】PDPにおいては、放
電エネルギの紫外線への変換する効率や蛍光体における
変換効率が低いので、蛍光灯のように高い輝度を得るこ
とは困難であって、輝度を向上させることが課題となっ
ている。現在、40〜42インチクラスのテレビ用のP
DPにおいては、NTSCの画素レベル(画素数640
×480個,セルピッチ0.43mm×1.29mm,
1セルの面積0.55mm2)の場合、150〜250
cd/m2程度の画面輝度が得られている(機能材料1
996年2月号Vol.16,No.2 ページ7参
照)。In a PDP, since the efficiency of converting discharge energy to ultraviolet light and the conversion efficiency of a phosphor are low, it is difficult to obtain a high brightness like a fluorescent lamp. Improvement is an issue. Currently, P for 40-42 inch class TV
In DP, the NTSC pixel level (640 pixels)
× 480 cells, cell pitch 0.43mm × 1.29mm,
When the area of one cell is 0.55 mm 2 ), 150 to 250
A screen luminance of about cd / m 2 is obtained (functional material 1
February 996, Vol. 16, No. 2 See page 7).
【0008】これに対して、近年期待されているフルス
ペックの42インチクラスのハイビジョンテレビでは、
画素数が1920×1125で、セルピッチは0.15
mm×0.48mmとなる。この場合、1セルの面積は
0.072mm2であって、NTSCの場合と比べて1
/7〜1/8となるため、42インチのハイビジョンテ
レビ用のPDPを、従来通りのセル構成で作成した場
合、画面の輝度は30〜40cd/m2程度に低下する
ことが予想され、このような背景のもとで、更にPDP
の輝度を向上させる技術が望まれている。On the other hand, a full-spec 42-inch high-definition television which is expected in recent years,
The number of pixels is 1920 × 1125 and the cell pitch is 0.15
mm × 0.48 mm. In this case, the area of one cell is 0.072 mm 2 , which is 1 compared with the case of NTSC.
Therefore, when a 42-inch PDP for a high-definition television is created with a conventional cell configuration, the brightness of the screen is expected to decrease to about 30 to 40 cd / m 2. Against this background, PDP
There is a demand for a technique for improving the brightness of the image.
【0009】次に、PDPにおいては、寿命の問題もあ
る。PDPの寿命を決定する要因としては、狭い放電空
間内にプラズマを閉じ込め紫外線を発生させるため、蛍
光体層が劣下して輝度が低下すること、並びに、誘電体
ガラス層がガス放電によってスパッタされて劣化するこ
との2点が考えられる。Next, the PDP has a problem of life. Factors that determine the life of the PDP include the fact that the plasma is confined in a narrow discharge space and ultraviolet rays are generated, so that the phosphor layer deteriorates and the brightness decreases, and that the dielectric glass layer is sputtered by gas discharge. And deterioration.
【0010】誘電体ガラス層の劣化を防止するために、
図7に示すように、誘電体ガラス層103の表面に酸化
マグネシウム[MgO]からなる保護層104を真空蒸
着法によって形成する技術が知られている。一方、蛍光
体層の形成方法に関して、例えば特開平7−45189
号公報には、蛍光体粒子に結着剤としてのシリカ(酸化
硅素:SiO2)を混合して塗布して蛍光体層を形成す
ることにより蛍光体粒子の脱落を防止する技術が開示さ
れているが、蛍光体層の長寿命化に対する技術はあまり
知られておらず、今後ハイビジョンのような細かい画素
を形成した場合、従来よりも狭い空間にプラズマをとじ
込めることになるため、蛍光体層の寿命が更に大きな課
題となることが予想される。In order to prevent the deterioration of the dielectric glass layer,
As shown in FIG. 7, a technique for forming a protective layer 104 made of magnesium oxide [MgO] on the surface of a dielectric glass layer 103 by a vacuum evaporation method is known. On the other hand, regarding a method for forming a phosphor layer, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-45189.
Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. H11-157, discloses a technique for preventing phosphor particles from falling off by forming a phosphor layer by mixing and applying silica (silicon oxide: SiO 2 ) as a binder to the phosphor particles. However, the technology for extending the life of the phosphor layer is not well known, and if fine pixels such as HDTV are formed in the future, plasma will be trapped in a narrower space than in the past. It is expected that the service life of the device will be a bigger issue.
【0011】本発明は、このような課題を鑑みてなされ
たものであって、PDPの蛍光体層の寿命並びに発光効
率を向上させることを目的としている。The present invention has been made in view of such problems, and has as its object to improve the lifetime and luminous efficiency of a phosphor layer of a PDP.
【0012】[0012]
【0013】[0013]
【0014】上記目的を達成するため、本発明のPDP
は、蛍光体層を構成する蛍光体粒子の表面に、突状物
を、紫外線が通過できる隙間を隔てて島状に配した。In order to achieve the above object, the PDP of the present invention
In the above, the projections were arranged in the form of islands on the surfaces of the phosphor particles constituting the phosphor layer with a gap through which ultraviolet rays could pass.
【0015】この突状物は、平均粒径20nm〜100
nmの粒状物質や有機金属化合物の加水分解反応によっ
て生成した金属酸化物で形成することができる。これに
よって、蛍光体粒子表面に配設された粒状物質が、プラ
ズマ中のイオンから蛍光体粒子を保護し、蛍光体層の耐
久性を向上させる。一方、紫外線は、粒状物質どうしの
隙間を多重反射しながら内部の蛍光体粒子に到達する。The protrusion has an average particle size of 20 nm to 100 nm.
It can be formed of a particulate material having a thickness of nm and a metal oxide generated by a hydrolysis reaction of an organometallic compound. Thus, the particulate matter disposed on the surface of the phosphor particles protects the phosphor particles from ions in the plasma, and improves the durability of the phosphor layer. On the other hand, the ultraviolet rays reach the internal phosphor particles while multiple-reflecting the gaps between the particulate matter.
【0016】突状物の性質としては、イオンの衝突に耐
えるものであれば良く、屈折率は特に限定されない。こ
こで、隙間が狭すぎると、イオンの衝突を防止する効果
はあるものの紫外線が通過できなくなる。また、隙間が
広すぎると、紫外線は通過できるがイオンの衝突に対す
る保護ができない。従って、島と島の平均間隔は10n
m〜100nmの範囲とすることが好ましい。The properties of the protruding object may be any as long as it can withstand ion collisions, and the refractive index is not particularly limited. Here, if the gap is too narrow, ultraviolet rays cannot pass though it has an effect of preventing collision of ions. On the other hand, if the gap is too wide, ultraviolet rays can pass through, but protection against ion collision cannot be achieved. Therefore, the average distance between islands is 10n
It is preferable to set the range of m to 100 nm.
【0017】粒状物質の材料としては、SiO2,Al2
O3,MgO,ZrO2,TiO2,In2O3,SnO2な
どを挙げることができる。用いる有機金属化合物として
は、Si,Al,Mg,Zr,Ti,In,Snなどの
金属キレートやアルコキシドを挙げることができる。As the material of the particulate material, SiO 2 , Al 2
O 3 , MgO, ZrO 2 , TiO 2 , In 2 O 3 , SnO 2 and the like can be mentioned. Examples of the organometallic compound used include metal chelates and alkoxides such as Si, Al, Mg, Zr, Ti, In, and Sn.
【0018】[0018]
【発明の実施の形態】〔参考例〕 (PDPの全体的な構成及び製法) 図1は、本参考例に係る交流面放電型PDPの概略断面
図である。図1ではセルが1つだけ示されているが、
赤,緑,青の各色を発光するセルが多数配列されてPD
Pが構成されている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference Example (Overall Configuration and Manufacturing Method of PDP) FIG. 1 is a schematic sectional view of an AC surface discharge type PDP according to this reference example . Although only one cell is shown in FIG. 1,
Many cells that emit red, green, and blue light are arranged in a PD
P is configured.
【0019】このPDPは、前面ガラス基板11上に放
電電極12と誘電体ガラス層13が配された前面パネル
と、背面ガラス基板15上にアドレス電極16,隔壁1
7,蛍光体層18が配された背面パネルとを張り合わ
せ、前面パネルと背面パネルの間に形成される放電空間
19内に放電ガスが封入された構成となっており、以下
に示すように作製される。This PDP comprises a front panel in which a discharge electrode 12 and a dielectric glass layer 13 are disposed on a front glass substrate 11, an address electrode 16 and a partition wall 1 on a rear glass substrate 15.
7. A back panel on which the phosphor layer 18 is arranged is bonded to each other, and a discharge gas is sealed in a discharge space 19 formed between the front panel and the back panel. Is done.
【0020】前面パネルの作製: 前面パネルは、前面ガラス基板11上に放電電極12を
形成し、その上を鉛系の誘電体ガラス層13で覆い、更
に誘電体ガラス層13の表面上に保護層14を形成する
ことによって作製する。本参考例では、放電電極12は
銀電極であって、銀電極用のペーストをスクリーン印刷
した後に焼成する方法で形成する。また、鉛系の誘電体
ガラス層13の組成は、酸化鉛[PbO]75重量%,
酸化硼素[B2O3]15重量%,酸化硅素[SiO2]
10重量%であって、スクリーン印刷法と焼成によって
形成する。Production of Front Panel: The front panel has a discharge electrode 12 formed on a front glass substrate 11, which is covered with a lead-based dielectric glass layer 13, and is further protected on the surface of the dielectric glass layer 13. It is manufactured by forming the layer 14. In the present reference example , the discharge electrode 12 is a silver electrode, and is formed by a method of screen-printing a paste for a silver electrode and then firing the paste. The composition of the lead-based dielectric glass layer 13 is 75% by weight of lead oxide [PbO],
15% by weight of boron oxide [B 2 O 3 ], silicon oxide [SiO 2 ]
10% by weight, formed by screen printing and baking.
【0021】保護層14は、アルカリ土類の酸化物(本
参考例ではMgO)からなり、結晶が(100)面また
は(110)面に配向された緻密な膜構造となってい
る。このような緻密な保護層は、CVD法、或はイオン
ビームを照射しながらMgOを蒸着する方法を用いて形
成する。具体的な保護層の形成方法については後述す
る。The protective layer 14 is made of an alkaline earth oxide (this
In the reference example, it is made of MgO), and has a dense film structure in which crystals are oriented in the (100) plane or the (110) plane. Such a dense protective layer is formed by a CVD method or a method of depositing MgO while irradiating an ion beam. A specific method for forming the protective layer will be described later.
【0022】背面パネルの作製:背面ガラス基板15上
に、銀電極用のペーストをスクリーン印刷しその後焼成
する方法によってアドレス電極16を形成し、ガラス製
の隔壁17を所定のピッチで形成する。そして、隔壁1
7に挟まれた各空間内に、赤色蛍光体,緑色蛍光体,青
色蛍光体の中の1つを配設することによって蛍光体層1
8を形成する。蛍光体層18の形成方法については後で
詳述するが、一般的にPDPに用いられている蛍光体粒
子に被覆処理を施した被覆蛍光体粒子40を、スクリー
ン印刷法で塗布して形成する。Fabrication of rear panel: Address electrodes 16 are formed on rear glass substrate 15 by screen printing a paste for silver electrodes and then firing, and partition walls 17 made of glass are formed at a predetermined pitch. And the partition 1
7, one of a red phosphor, a green phosphor, and a blue phosphor is disposed in each space between the phosphor layers 1.
8 is formed. The method of forming the phosphor layer 18 will be described later in detail, but the phosphor layer 40 is generally formed by applying a coating process to phosphor particles generally used in a PDP by screen printing. .
【0023】パネル張り合わせによるPDPの作製:次
に、このように作製した前面パネルと背面パネルとを封
着用ガラスを用いて張り合せると共に、隔壁17で仕切
られた放電空間19内を高真空(8×10-7Torr)
に排気した後、放電ガス(He−Xe系,Ne−Xe
系)を所定の圧力で封入することによってPDPを作製
する。Production of PDP by Panel Lamination: Next, the front panel and the rear panel produced in this way are laminated using sealing glass, and the inside of the discharge space 19 partitioned by the partition 17 is subjected to high vacuum (8). × 10 -7 Torr)
And discharge gas (He-Xe system, Ne-Xe
A PDP is produced by enclosing the system at a predetermined pressure.
【0024】(保護層の形成について)図2は、保護層
14を形成するのに用いるCVD装置の概略図である。
このCVD装置は、熱CVDを行うものであって、CV
D装置本体25の中には、ガラス基板27(図1におけ
る放電電極12及び誘電体ガラス層13を形成した前面
ガラス基板11)を加熱するヒータ部26が設けられ、
CVD装置本体25内は排気装置29で減圧にすること
ができるようになっている。(Regarding Formation of Protective Layer) FIG. 2 is a schematic view of a CVD apparatus used for forming the protective layer 14.
This CVD apparatus performs thermal CVD, and has a CV
A heater unit 26 for heating a glass substrate 27 (the front glass substrate 11 on which the discharge electrodes 12 and the dielectric glass layer 13 in FIG. 1 are formed) is provided in the D device main body 25,
The inside of the CVD device main body 25 can be reduced in pressure by an exhaust device 29.
【0025】Arガスボンベ21a,21bは、キャリ
ヤであるアルゴン[Ar]ガスを、気化器(バブラー)
22,23を経由してCVD装置本体25に供給するも
のである。気化器22は、MgOの原料(ソース)とな
る金属キレートを加熱して貯え、Arガスボンベ21a
からArガスを吹き込むことによって、このキレートを
蒸発させてCVD装置本体25に送り込むことができる
ようになっている。The Ar gas cylinders 21a and 21b convert argon [Ar] gas as a carrier into a vaporizer (bubbler).
It is supplied to the CVD apparatus main body 25 via the 22, 22. The vaporizer 22 heats and stores the metal chelate serving as the raw material (source) of MgO, and stores the metal chelate in the Ar gas cylinder 21a.
This chelate can be evaporated and blown into the CVD apparatus main body 25 by blowing Ar gas from.
【0026】キレートの具体例としては、Magnesium Di
pivaloyl Methane[Mg(C11H19O2)2]、Magnesiu
m Acetylacetone[Mg(C5H7O2)2]、Magnesium T
rifluoroacetylacetone[Mg(C5H5F3O2)2]を挙
げることができる。気化器23は、MgOの原料(ソー
ス)となるCyclopentadienyl Magnesium[Mg(C
5H5)2]を加熱して貯え、Arガスボンベ21bから
Arガスを吹き込むことによって、このシクロペンタジ
エニル化合物を蒸発させてCVD装置本体25に送り込
むことができるようになっている。Specific examples of chelates include Magnesium Di
pivaloyl Methane [Mg (C 11 H 19 O 2) 2], Magnesiu
m Acetylacetone [Mg (C 5 H 7 O 2) 2], Magnesium T
rifluoroacetylacetone [Mg (C 5 H 5 F 3 O 2) 2] can be exemplified. The vaporizer 23 is provided with Cyclopentadienyl Magnesium [Mg (C
5 H 5 ) 2 ] is heated and stored, and Ar gas is blown from an Ar gas cylinder 21 b to evaporate the cyclopentadienyl compound and send it to the CVD apparatus main body 25.
【0027】酸素ボンベ24は、反応ガスである酸素
[O2]をCVD装置本体25に供給するものである。
このCVD装置を用いて、ヒータ部26の上に、誘電体
ガラス層を上にしてガラス基板27を置き、所定の温度
(350〜400℃)に加熱すると共に、反応容器内を
排気装置29で減圧にする(数十Torr程度)。The oxygen cylinder 24 supplies oxygen [O 2 ] as a reaction gas to the main body 25 of the CVD apparatus.
Using this CVD apparatus, a glass substrate 27 is placed on the heater section 26 with the dielectric glass layer facing upward, heated to a predetermined temperature (350 to 400 ° C.), and the inside of the reaction vessel is exhausted by an exhaust device 29. Reduce the pressure (about several tens Torr).
【0028】そして、気化器22または気化器23で、
ソースとなるキレートまたはシクロペンタジエニル化合
物を、所定の気化温度に加熱しながら、Arガスボンベ
21aまたは21bからArガスを送り込む。また、こ
れと同時に、酸素ボンベ24から酸素を流す。これによ
って、CVD装置本体25内に送り込まれるキレートも
しくはシクロペンタジエニル化合物が、酸素と反応し、
ガラス基板27の誘電体ガラス層の表面上に、MgO層
が形成される。Then, in the vaporizer 22 or the vaporizer 23,
While heating the chelate or cyclopentadienyl compound as a source to a predetermined vaporization temperature, Ar gas is fed from the Ar gas cylinder 21a or 21b. At the same time, oxygen is supplied from the oxygen cylinder 24. Thereby, the chelate or cyclopentadienyl compound fed into the CVD apparatus main body 25 reacts with oxygen,
An MgO layer is formed on the surface of the dielectric glass layer of the glass substrate 27.
【0029】このようにCVD法によって保護層を形成
すれば、MgOの結晶が緩やかに成長するようコントロ
ールされ、(100)面配向の緻密なMgOからなる保
護層を形成することができる。次に、イオンビームを照
射しながらMgOを蒸着させて保護層を形成する方法に
ついて説明する。When the protective layer is formed by the CVD method as described above, the MgO crystal is controlled to grow slowly, and a protective layer made of dense (100) -oriented MgO can be formed. Next, a method of forming a protective layer by depositing MgO while irradiating an ion beam will be described.
【0030】図3は、保護層を形成するのに用いるイオ
ンビーム照射装置の概略図である。この装置において、
真空チャンバー35内には、誘電体ガラス層が形成され
たガラス基板31が装着されており、MgOを蒸発させ
る電子銃32が設けられている。イオンガン33は、電
子銃32で蒸発させたMgOにイオンビームを照射する
ものである。FIG. 3 is a schematic view of an ion beam irradiation apparatus used for forming a protective layer. In this device,
A glass substrate 31 on which a dielectric glass layer is formed is mounted in the vacuum chamber 35, and an electron gun 32 for evaporating MgO is provided. The ion gun 33 irradiates the MgO evaporated by the electron gun 32 with an ion beam.
【0031】この装置を用いて、次のようにイオンビー
ムを照射しながらMgOの蒸着を行う。先ず、誘電体ガ
ラス層が形成されたガラス基板31を真空チャンバー3
5内にセットし、MgOの結晶を電子銃32の中に入れ
る。真空チャンバー35内を真空にして、基板31を加
熱する(150℃)。そして、電子銃32でMgOを蒸
発させると共に、イオンガン33を用いてアルゴンのイ
オンビームを基板31に向けて照射することによって、
MgOの保護層を形成する。Using this apparatus, MgO is deposited while irradiating an ion beam as follows. First, the glass substrate 31 on which the dielectric glass layer is formed is placed in the vacuum chamber 3.
5 and put the MgO crystal into the electron gun 32. The inside of the vacuum chamber 35 is evacuated to heat the substrate 31 (150 ° C.). Then, while evaporating the MgO with the electron gun 32 and irradiating the substrate 31 with an ion beam of argon using the ion gun 33,
A protective layer of MgO is formed.
【0032】このように、イオンビームを照射しながら
蒸着する方法でMgOの保護層を形成することによっ
て、MgOの結晶は緩やかに成長し配向性がコントロー
ルされ、(110)面配向の緻密なMgOからなる保護
層を形成することができる。このように形成された(1
00)面あるいは(110)面に配向された緻密な膜構
造のMgO層は、従来の蒸着法により形成された(11
1)面配向のMgO層と比べて、耐スパッタ性が優れて
いる。As described above, by forming the protective layer of MgO by the method of vapor deposition while irradiating with the ion beam, the MgO crystal grows slowly, the orientation is controlled, and the dense MgO having the (110) plane orientation is formed. Can be formed. (1)
The MgO layer having a dense film structure oriented to the (00) plane or the (110) plane was formed by a conventional vapor deposition method.
1) Sputter resistance is superior to that of a plane-oriented MgO layer.
【0033】(蛍光体層の形成について) 図4は、本参考例にかかる被覆蛍光体粒子40を示す概
略断面図であって、蛍光体粒子41の表面に均一なコー
ティング層42が形成され、コーティング層42の膜厚
は、上記数1式を満たすように設定されている。蛍光体
粒子41としては、PDPの分野で一般的に用いられい
るものを用いることができるが、ここでは、以下のもの
を用いるものとする。(Formation of Phosphor Layer) FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing the coated phosphor particles 40 according to the present reference example , in which a uniform coating layer 42 is formed on the surface of the phosphor particles 41. The thickness of the coating layer 42 is set so as to satisfy the above equation (1). As the phosphor particles 41, those generally used in the field of PDP can be used, but here, the following are used.
【0034】 青色蛍光体: BaMgAl10O17:Eu2+ 緑色蛍光体: Zn2SiO4:Mn 赤色蛍光体: (YxGd1-x)BO3:Eu3+ コーティング層42の材料としては、屈折率が蛍光体の
屈折率よりも小さいこと及び紫外線を透過できることが
必要であり、具体的にはSiO2、SiF2、Si(O・
F)2、MgF2、CaF2等の酸化物、酸フッ化物、フ
ッ化物を挙げることができる(電子技術総合研究所彙報
第44巻 第1,2号 1980年参照)。この中で
も、SiO2やSi(O・F)2は、化学的に安定であっ
て好ましい。Blue phosphor: BaMgAl 10 O 17 : Eu 2+ Green phosphor: Zn 2 SiO 4 : Mn Red phosphor: (Y x Gd 1 -x ) BO 3 : Eu 3+ It is necessary that the refractive index is smaller than the refractive index of the phosphor and that it can transmit ultraviolet rays. Specifically, SiO 2 , SiF 2 , Si (O ·
F) 2 , oxides such as MgF 2 and CaF 2 , oxyfluorides, and fluorides (see Electrotechnical Laboratory, Vol. 44, No. 1, No. 1, 1980). Among them, SiO 2 and Si (OF) 2 are preferable because they are chemically stable.
【0035】コーティング層42は、蛍光体粒子41を
イオンの衝突から保護すると共に、以下に説明するよう
に、蛍光体粒子41表面での紫外線の反射を防ぎ、蛍光
体粒子41の紫外線利用率を向上させる働きがある。通
常、蛍光体粒子41の紫外線(波長140〜200n
m)領域における屈折率は2.0前後と考えられてお
り、未処理の蛍光体粒子41の表面に紫外線が入射した
時には、反射による損失が大きく、紫外線の利用効率は
低いと考えられる(この点に関して、「久保田、波動光
学、岩波書店、1973年、11ページ」に、蛍光体粒
子の屈折率が2の場合、表面での紫外線の反射率が約1
1%になることが記載されている)。The coating layer 42 protects the phosphor particles 41 from ion bombardment, prevents reflection of ultraviolet rays on the surface of the phosphor particles 41, and reduces the utilization rate of the ultraviolet rays of the phosphor particles 41, as described below. There is a function to improve. Usually, the ultraviolet rays (wavelength 140 to 200 n) of the phosphor particles 41
The refractive index in the m) region is considered to be around 2.0, and when ultraviolet light is incident on the surface of the untreated phosphor particles 41, the loss due to reflection is large and the utilization efficiency of ultraviolet light is considered to be low (this Regarding the point, "Kubota, Hado Optics, Iwanami Shoten, 1973, page 11," states that when the refractive index of the phosphor particles is 2, the reflectance of ultraviolet light on the surface is about 1
1%).
【0036】これに対して、コーティング層42を設け
ると、表面での紫外線の反射が防止される。更に、コー
ティング層42膜厚は上記数1で示す値に設定されてい
るため、コーティング層42の表面で反射される紫外線
と蛍光体粒子41の表面で反射される紫外線とが干渉し
て反射量は小さくなり、逆に蛍光体粒子41の中に入り
込む紫外線量は増大する(波動光学、岩波書店 197
3年、P.109参照)。従って、蛍光体粒子41の紫
外線利用率が向上する。なお、コーティング層42の膜
厚を上記数1式の値に設定したときには効果が大きい
が、上記数1式の値の近傍にあれば、ある程度の効果を
奏するものと考えられる。On the other hand, when the coating layer 42 is provided, reflection of ultraviolet rays on the surface is prevented. Further, since the film thickness of the coating layer 42 is set to the value represented by the above equation 1, the ultraviolet light reflected on the surface of the coating layer 42 and the ultraviolet light reflected on the surface of the phosphor particles 41 interfere with each other and the amount of reflection Becomes smaller, and conversely, the amount of ultraviolet light that enters the phosphor particles 41 increases (Wave Optics, Iwanami Shoten 197
3 years, 109). Therefore, the ultraviolet ray utilization rate of the phosphor particles 41 is improved. The effect is great when the film thickness of the coating layer 42 is set to the value of the above equation, but it is considered that a certain degree of effect is exerted when the thickness is near the value of the above equation.
【0037】ところで、コーティング層42の膜厚が厚
くなり過ぎると、イオン衝突に対する信頼性は向上する
ものの、紫外線(147nm,173nm)の透過率が
低下する傾向を示す。従って、SiO2からなるコーテ
ィング層の場合、膜厚は200nm以下に設定するのが
好ましい。放電空間で発生する紫外線の波長が147n
mであって、コーティング層42がSiO2(屈折率n
=1.41)からなる場合、上記数1式を満たすコーテ
ィング層42の膜厚は、約26nm,78nm,130
nm,182nmとなる(上記数1式においてm=0,
1,2,3に相当)。If the thickness of the coating layer 42 is too large, the reliability against ion bombardment is improved, but the transmittance of ultraviolet rays (147 nm, 173 nm) tends to decrease. Therefore, in the case of a coating layer made of SiO 2 , the thickness is preferably set to 200 nm or less. The wavelength of the ultraviolet light generated in the discharge space is 147n
m, and the coating layer 42 is made of SiO 2 (refractive index n
= 1.41), the thickness of the coating layer 42 that satisfies Equation 1 is about 26 nm, 78 nm, 130 nm.
nm, 182 nm (where m = 0,
1, 2, 3).
【0038】コーティング層42の膜厚の測定は、走査
電子顕微鏡(SEM)あるいは透過電子顕微鏡(TE
M)を用いて行うことができる。なお、CRTの場合、
電子線が蛍光体粒子に10μm程度の深さまで進入する
のに対して、PDPの場合、紫外線が蛍光体中へ進入す
る度合は、ごく表面層(0.1μm以下)に限られてい
る。The thickness of the coating layer 42 is measured by a scanning electron microscope (SEM) or a transmission electron microscope (TE
M). In the case of CRT,
While the electron beam penetrates the phosphor particles to a depth of about 10 μm, in the case of a PDP, the degree of penetration of ultraviolet rays into the phosphor is limited to only a very small surface layer (0.1 μm or less).
【0039】SiO2やSi(O・F)2のコーティング
層42を形成するには、硅酸カリ、硅酸エチルやケイフ
ッ化水素酸を加水分解することによって、蛍光体粒子4
1の表面にSiO2やSi(O・F)2を吸着させる方法
が有効である。このとき、膜厚は、反応温度や反応時間
等の条件によって変化するので、これらの条件を調整す
ることによって、所定の膜厚に調整することができる。In order to form the coating layer 42 of SiO 2 or Si (OF) 2 , phosphor particles 4 are obtained by hydrolyzing potassium silicate, ethyl silicate or hydrofluoric acid.
An effective method is to adsorb SiO 2 or Si (OF) 2 on the surface of No. 1. At this time, since the film thickness changes depending on conditions such as a reaction temperature and a reaction time, a predetermined film thickness can be adjusted by adjusting these conditions.
【0040】(実施の形態1) 本実施の形態のPDPは、全体的な構成及び製法につい
ては参考例のPDPと同様であるが、蛍光体粒子の被覆
処理において、平均粒径20nm〜100nmの粒状物
質を、粒子間に紫外線が通過できる隙間を隔てて配設し
ている点が異なっている。(Embodiment 1 ) The PDP of the present embodiment is the same in overall structure and manufacturing method as the PDP of the reference example , but has an average particle diameter of 20 nm to 100 nm in the coating treatment of the phosphor particles. The difference is that the particulate matter is disposed between the particles with a gap through which ultraviolet light can pass.
【0041】図5は、本実施の形態にかかる被覆蛍光体
粒子50を示す概略断面図であって、蛍光体粒子51の
表面に、粒状物質52が、紫外線が通過できる隙間53
を隔てて島状に付着している。ここで、粒状物質52ど
うしの平均間隔dは10nm〜100nmに設定し、島
の平均高さhと平均間隔dとの比h/d(アスペクト
比)は、1/1〜4/1の範囲となるように設定するこ
とが好ましい。なお、島の間隔(島どうしが一番接近し
ているところの距離)や高さは、SEMで測定すること
ができる。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing the coated phosphor particles 50 according to the present embodiment.
Are attached in an island shape. Here, the average distance d between the particulate matter 52 is set to 10 nm to 100 nm, and the ratio h / d (aspect ratio) between the average height h of the islands and the average distance d is in the range of 1/1 to 4/1. It is preferable to set so that The distance between islands (the distance between the closest islands) and the height can be measured by SEM.
【0042】用いる粒状物質52の性質としては、イオ
ンの衝突に耐えるものであれば良く、屈折率は特に限定
されない。粒状物質52の具体例としては、平均粒径2
0nm〜100nmのSiO2,TiO2,MgO,Al
2O3,ZrO2,In2O3,SnO2といった酸化物を挙
げることができる。このような被覆蛍光体粒子50は、
蛍光体粒子51と、粒状物質52とを、金属アルコキシ
ドのような結合剤と共に混合し、蛍光体粒子51の表面
に粒状物質52を付着させることによって作製すること
ができる。ここで、反応条件を変えることによって、平
均間隔dも変わるので、反応条件を調整することによっ
て、所定の平均間隔dに調整することができる。The properties of the particulate matter 52 used are not limited as long as they can withstand ion collisions. As a specific example of the particulate matter 52, the average particle size 2
SiO 2 , TiO 2 , MgO, Al of 0 nm to 100 nm
Oxides such as 2 O 3 , ZrO 2 , In 2 O 3 , and SnO 2 can be given. Such coated phosphor particles 50 are
It can be produced by mixing the phosphor particles 51 and the particulate matter 52 together with a binder such as a metal alkoxide, and attaching the particulate matter 52 to the surface of the phosphor particles 51. Here, by changing the reaction conditions, the average interval d also changes. Therefore, by adjusting the reaction conditions, the average interval d can be adjusted to a predetermined average interval d.
【0043】図5に示されるように、粒状物質52によ
って形成される島の平均高さhは、粒状物質52の平均
粒径とほぼ同等と見なすことができるので、用いる粒状
物質52の平均粒径に合わせて、アスペクト比h/dが
上記の範囲となるような反応条件を選択することが好ま
しい。このような構成の被覆蛍光体粒子50を用いるこ
とによって、粒状物質52がプラズマ中のイオンの衝突
から蛍光体粒子51を保護し、蛍光体層18の耐久性を
向上させることができる。As shown in FIG. 5, the average height h of the islands formed by the granular material 52 can be considered to be substantially equal to the average particle size of the granular material 52, It is preferable to select reaction conditions so that the aspect ratio h / d falls within the above range according to the diameter. By using the coated phosphor particles 50 having such a configuration, the particulate matter 52 protects the phosphor particles 51 from collision of ions in the plasma, and the durability of the phosphor layer 18 can be improved.
【0044】一方、紫外線は、粒状物質52どうしの隙
間53を多重反射しながら内部の蛍光体粒子51に到達
するので、紫外線の反射を防止し、紫外線の利用効率を
向上させることができる。このような効果は、アスペク
ト比h/dが上記の範囲にあり、平均間隔dが10nm
〜100nmにある場合は特に優れるものと考えられ
る。On the other hand, the ultraviolet rays reach the internal phosphor particles 51 while multiple-reflecting the gaps 53 between the particulate matter 52, so that the reflection of the ultraviolet rays can be prevented and the utilization efficiency of the ultraviolet rays can be improved. Such an effect is obtained when the aspect ratio h / d is in the above range and the average interval d is 10 nm.
It is considered to be particularly excellent when the thickness is within 100 nm.
【0045】(実施の形態2) 本実施の形態のPDPは、全体的な構成及び製法につい
ては参考例のPDPと同様であるが、蛍光体粒子の表面
に、有機金属化合物の加水分解反応を急速に行なうこと
によって、蛍光体表面上に金属酸化物を凹凸のある島状
に配設する点が異なっている。(Embodiment 2) The PDP of the present embodiment is the same as the PDP of the reference example in overall structure and manufacturing method, but the surface of the phosphor particles undergoes the hydrolysis reaction of the organometallic compound. The difference is that the metal oxide is arranged on the surface of the phosphor in the form of an uneven island by performing the process rapidly.
【0046】用いる有機金属化合物としては、Si,A
l,Mg,Zr,Ti,In,Snなどの金属キレート
やアルコキシドが挙げられ、SiO2,TiO2,Al2
O3,MgO,ZrO2,In2O3,SnO2といった金
属酸化物が島状に生成される。図6は、本実施の形態に
かかる被覆蛍光体粒子60を示す概略断面図であって、
蛍光体粒子61の表面に、紫外線が通過できる隙間63
を隔てて、金属酸化物62が島状に形成されている。As the organometallic compound used, Si, A
metal chelates and alkoxides such as 1, Mg, Zr, Ti, In, and Sn; and SiO 2 , TiO 2 , Al 2
Metal oxides such as O 3 , MgO, ZrO 2 , In 2 O 3 , and SnO 2 are formed in an island shape. FIG. 6 is a schematic sectional view showing the coated phosphor particles 60 according to the present embodiment,
A gap 63 through which ultraviolet light can pass is provided on the surface of the phosphor particles 61.
, Metal oxide 62 is formed in an island shape.
【0047】このような構成によって、上記実施の形態
1と同様、蛍光体粒子61の表面に島状に配設された金
属酸化物62が、プラズマ中のイオンから蛍光体粒子を
保護し、蛍光体層の耐久性を向上させる。一方、紫外線
は、金属酸化物62の島どうしの隙間63を多重反射し
ながら内部の蛍光体粒子に到達する。また、本実施形態
においても、反応条件を変えることによって、金属酸化
物62からなる島の平均間隔や平均高さを変えることが
できるので、反応条件を調整することによって、上述し
た適当な平均間隔及びアスペクト比に調整すればよい。With such a configuration, the above embodiment
As in the case of 1, the metal oxide 62 disposed in an island shape on the surface of the phosphor particles 61 protects the phosphor particles from ions in the plasma and improves the durability of the phosphor layer. On the other hand, the ultraviolet rays reach the internal phosphor particles while multiple-reflecting the gaps 63 between the islands of the metal oxide 62. Also in the present embodiment, by changing the reaction conditions, the average interval and the average height of the islands made of the metal oxide 62 can be changed. And the aspect ratio.
【0048】[0048]
【実施例】[参考例][Example] [ Reference example ]
【0049】[0049]
【表1】 表1に示したNo.1〜4のPDPは、上記参考例に基
づいて作製したものであって、隔壁17は、スクリーン
印刷をくりかえし行なった後焼成することによって形成
し、42インチのハイビジョンテレビ用のディスプレイ
に合わせて、隔壁17の高さは0.15mm、隔壁17
の間隔(セルピッチ)は0.15mmに設定した。[Table 1] No. shown in Table 1 The PDPs Nos. 1 to 4 were manufactured based on the above reference example, and the partition walls 17 were formed by repeating screen printing and then sintering, and were used for a 42-inch high-definition television. According to the display, the height of the partition 17 is 0.15 mm,
(Cell pitch) was set to 0.15 mm.
【0050】鉛系の誘電体ガラス層13は、75重量%
の酸化鉛[PbO]と15重量%の酸化硼素[B2O3]
と10重量%の酸化硅素[SiO2]と有機バインダー
[α− ターピネオールに10%のエチルセルローズを
溶解したもの]とを混合してなる組成物を、スクリーン
印刷法で塗布した後、520℃で10分間焼成すること
によって形成し、その膜厚は20μmに設定した。The lead-based dielectric glass layer 13 is 75% by weight.
Lead oxide [PbO] and 15% by weight boron oxide [B 2 O 3 ]
And 10% by weight of silicon oxide [SiO 2 ] and an organic binder [α- And a mixture obtained by dissolving 10% ethyl cellulose in terpineol] by screen printing, followed by baking at 520 ° C. for 10 minutes to form a film having a thickness of 20 μm. .
【0051】放電ガスにおけるHeとXeの比率及び封
入圧力は、表1の各該当欄に示す条件に設定した。誘電
体ガラス層の保護層の形成方法については、No.1,
2では、熱CVD法で、Magnesium Dipivaloyl Methane
[Mg(C11H19O2)2]をソースとして用い、気化器
22の温度は125℃、ガラス基板27の加熱温度は3
50℃に設定し、Arガスの流量は1 l/分、酸素の流
量は2 l/分で、共に1分間流し、膜形成速度は1.0
μm/分に調整し、膜厚1.0μmのMgO層を形成し
た。The ratio of He and Xe in the discharge gas and the sealing pressure were set under the conditions shown in the corresponding columns of Table 1. The method for forming the protective layer of the dielectric glass layer is described in 1,
In the second, Magnesium Dipivaloyl Methane by thermal CVD method
Using [Mg (C 11 H 19 O 2 ) 2 ] as a source, the temperature of the vaporizer 22 is 125 ° C., and the heating temperature of the glass substrate 27 is 3
The temperature was set at 50 ° C., the flow rate of Ar gas was 1 l / min, and the flow rate of oxygen was 2 l / min.
It was adjusted to μm / min to form a 1.0 μm thick MgO layer.
【0052】No.3,4では、イオンビーム(電流1
0mA)を照射しながらMgOを蒸着する方法で膜厚
1.0μmのMgO層を形成した。蛍光体粒子に対する
コーティング層の形成は、次のような方法で行った。N
o.1では、各色蛍光体粒子の粉末を、脱イオン水中に
投入し、超音波バス中において、約1時間分散させ、懸
濁液を作成し、次にこれに硅酸カリ[K2O・SiO2]
を1vol%添加し、硝酸バリウム[BaNO3]の水
溶液を添加しながら4時間スターラーで撹拌することに
よって、蛍光体粒子の表面上に非晶質のSiO2を厚さ
約28nmで吸着させた。その後、これを水洗し、脱
水、乾燥後、500℃で焼成することによって、蛍光体
粒子の表面に膜厚約25nmのSiO2層を形成した。No. In 3 and 4, the ion beam (current 1
A MgO layer having a thickness of 1.0 μm was formed by a method of evaporating MgO while irradiating 0 mA). The coating layer was formed on the phosphor particles by the following method. N
o. In No. 1, the powder of each color phosphor particles is put into deionized water and dispersed in an ultrasonic bath for about 1 hour to form a suspension, and then a potassium silicate [K 2 O.SiO. 2 ]
Was added thereto, and the mixture was stirred with a stirrer for 4 hours while an aqueous solution of barium nitrate [BaNO 3 ] was added, whereby amorphous SiO 2 was adsorbed to a thickness of about 28 nm on the surface of the phosphor particles. Thereafter, this was washed with water, dehydrated, dried, and baked at 500 ° C. to form a SiO 2 layer having a thickness of about 25 nm on the surface of the phosphor particles.
【0053】No.2では、各色蛍光体粒子の粉末を、
硅酸エチル[Si(O・C2H5)4]/エチルアルコー
ル/水/硝酸がモル比で2対45対12対0.26の割
合で混合された溶液中に投入し、超音波バスの中におい
て撹拌しながら約0.5時間反応させることによって、
蛍光体粒子の表面上に非晶質のSiO2を厚さ約78n
mで吸着させた。その後、これを水洗し、脱水、乾燥後
500℃で焼成することによって、蛍光体粒子の表面に
膜厚約76nmのSiO2層を形成した。No. In 2, the powder of the phosphor particles of each color is
Ethyl silicate [Si (OC 2 H 5 ) 4 ] / ethyl alcohol / water / nitric acid was put into a mixed solution in a molar ratio of 2: 45: 12: 0.26, and an ultrasonic bath was used. By reacting for about 0.5 hour with stirring in
Amorphous SiO 2 on the surface of the phosphor particles is about 78 n thick
m. Thereafter, this was washed with water, dehydrated, dried, and baked at 500 ° C. to form a SiO 2 layer having a thickness of about 76 nm on the surface of the phosphor particles.
【0054】No.3では、各色蛍光体粒子の粉末を、
5モル%の硅酸エチル[Si(O・C2H5)4]と0.
02モル%のステアリン酸を含むノルマルヘキサン溶液
中に投入し、超音波バス中において1時間を分散させて
懸濁液を作り、これをスターラーで撹拌しながら10時
間反応を進めることによって、蛍光体粒子の表面に非晶
質のSiO2を厚さ約130nmで吸着させた。次に、
溶液から粒子を分離し、メタノールで洗浄後乾燥し、5
00℃で焼成することによって、蛍光体粒子の表面に膜
厚約127nmのSiO2層を形成した。No. In 3, the powder of the phosphor particles of each color is
5 mol% of silicate ethyl [Si (O · C 2 H 5) 4] and 0.
The phosphor was poured into a normal hexane solution containing 02 mol% of stearic acid, dispersed in an ultrasonic bath for 1 hour to form a suspension, and the suspension was stirred for 10 hours to proceed with the reaction. Amorphous SiO 2 was adsorbed on the surface of the particles at a thickness of about 130 nm. next,
The particles are separated from the solution, washed with methanol, dried, and dried.
By baking at 00 ° C., an SiO 2 layer having a thickness of about 127 nm was formed on the surface of the phosphor particles.
【0055】No.4では、先ず、ケイフッ化水素酸
[H2SiF6]水溶液にシリカゲル[SiO2]を飽和
するまで添加し、次に、各色蛍光体粒子の粉末とホウ酸
(H3BO3)を少量加えながら超音波バス中で7時間撹
拌することによって、蛍光体粒子の表面に非晶質のSi
(O・F)2を吸着させた。次に、この溶液から粒子を
分離し、水洗後乾燥し600℃で焼成することによっ
て、蛍光体粒子の表面に膜厚約177nmのSi(O・
F)2層を形成した。No. In No. 4, first, silica gel [SiO 2 ] is added to an aqueous solution of hydrofluorosilicic acid [H 2 SiF 6 ] until it is saturated, and then powder of phosphor particles of each color and a small amount of boric acid (H 3 BO 3 ) are added. While stirring in an ultrasonic bath for 7 hours, amorphous Si was added to the surface of the phosphor particles.
(OF) 2 was adsorbed. Next, the particles are separated from this solution, washed with water, dried and baked at 600 ° C., so that the surface of the phosphor particles has a Si (O ·
F) Two layers were formed.
【0056】上記のようにして得られた各蛍光体粒子
を、10%のエチルセルロースを含むα−ターピネオー
ルと混合し、三本ロールでスクリーン印刷用のペースト
とし、スクリーン印刷法で隔壁内に印刷し、500℃で
焼成することによって蛍光体層を形成した。 [比較例1] 表1に示したNo.5のPDPは、蛍光体粒子に被覆処
理をしていない点と放電ガスの組成比率が異なっている
点以外は、参考例のNo.1のPDPと同様の構成であ
る。Each of the phosphor particles obtained as described above is mixed with α-terpineol containing 10% of ethylcellulose to form a paste for screen printing with a three-roll mill, and the paste is printed on the partition walls by a screen printing method. At 500 ° C. to form a phosphor layer. Comparative Example 1 No. 1 shown in Table 1 The PDP of Reference Example No. 5 was the same as the reference example except that the phosphor particles were not coated and the composition ratio of the discharge gas was different. This is the same configuration as the PDP No. 1.
【0057】[実験1]上記No.1〜No.5のPD
Pを用いて、放電維持電圧150V周波数30KHzで
放電させた時の紫外線の波長、パネル輝度、7000時
間駆動したときのパネル輝度の変化率及び放電維持電圧
の変化率(初期値に対する7000時間駆動後の値の変
化率)を測定した。[Experiment 1] 1 to No. 5 PD
Using P, a discharge sustaining voltage of 150 V, a wavelength of ultraviolet light when discharged at a frequency of 30 KHz, a panel luminance, a rate of change of panel luminance when driven for 7000 hours, and a rate of change of discharge sustaining voltage (after driving for 7000 hours with respect to the initial value) Was measured.
【0058】その測定結果は表1に示されている。表1
で紫外線の波長が147nmと記載されているのは、1
47nmを中心とするXeの共鳴線による励起波長が主
であることを示し、紫外線の波長が173nmと記載さ
れいるのは、173nmを中心とするXeの分子線励起
による波長が主であることを示している。The measurement results are shown in Table 1. Table 1
The wavelength of ultraviolet light is described as 147 nm in
It shows that the excitation wavelength by the resonance line of Xe centered on 47 nm is mainly, and the wavelength of the ultraviolet ray is described as 173 nm means that the wavelength mainly excited by the molecular beam of Xe centered on 173 nm. Is shown.
【0059】表1から明らかなように、No.1〜N
o.4のPDPは、No.5のPDPと比べて、パネル
輝度の初期値が高く、所定時間経過後のパネル輝度の変
化も少ない。これは、SiO2のコーティング層を、上
記数1式を満たす膜厚で、蛍光体粒子の表面に形成する
ことによって、蛍光体粒子への紫外線の吸収率が向上す
ると共に、蛍光体層の耐久性も向上することを示してい
る。As is clear from Table 1, No. 1 to N
o. No. 4 PDP is No. In comparison with the PDP No. 5, the initial value of the panel luminance is high, and the change in the panel luminance after a predetermined time has elapsed is small. This is because by forming a coating layer of SiO 2 on the surface of the phosphor particles with a thickness satisfying the above formula 1, the absorptivity of ultraviolet rays to the phosphor particles is improved, and the durability of the phosphor layer is improved. It shows that the performance is also improved.
【0060】[実施例1][Example 1 ]
【0061】[0061]
【表2】 表2に示したNo.6〜12のPDPは、上記実施の形
態1に基づいて作製したものである。これらのPDPの
構成は、蛍光体層以外は上記参考例のNo.5のPDP
と同様であって、10%のXeガスを含むヘリウムガス
(He)ガスを放電ガスとし、封入圧力は600Tor
rである。また、蛍光体層の形成においても、スクリー
ン印刷の方法は、参考例のPDPと同様であって、蛍光
体粒子の被覆処理の形態だけが異なっている。[Table 2] No. shown in Table 2. The PDPs 6 to 12 are manufactured based on the first embodiment. The structure of these PDPs is the same as that of the above reference example except for the phosphor layer. 5 PDPs
A helium gas (He) gas containing 10% Xe gas is used as a discharge gas, and a sealing pressure is 600 Torr.
r. Also in forming the phosphor layer, the screen printing method is the same as that of the PDP of the reference example , and only the form of the coating process of the phosphor particles is different.
【0062】以下、No.6〜12のPDPにおける蛍
光体粒子の被覆処理の方法について説明する。No.6
では、平均粒径0.3μmの各色蛍光体粒子の粉末と、
平均粒径20nm(0.02μm)のSiO2粒子と
を、金属アルコキシドである硅酸エチル[Si(O・C
2H5)4]とエチルアルコール[C2H5OH](硅酸エ
チルとエチルアルコールの比、1対90)の溶液の中に
投入後、超音波バス中において、10分間撹拌しながら
良く混合させることによって、蛍光体粒子の表面上に平
均粒径20nmのSiO2粒子を紫外線が透過できる隙
間(平均間隔約10nm)をあけて付着させた。その
後、これを水洗し、脱水、乾燥後500℃で焼成するこ
とによって、蛍光体粒子の表面に島状にSiO2を配設
した。なお、硅酸エチルは、蛍光体粒子とSiO2粒子
を結合するカップリング剤としての役割を果している。Hereinafter, no. The method of coating the phosphor particles in the PDPs 6 to 12 will be described. No. 6
Then, a powder of each color phosphor particles having an average particle diameter of 0.3 μm,
SiO 2 particles having an average particle diameter of 20 nm (0.02 μm) were combined with ethyl silicate [Si (OC
2 H 5 ) 4 ] and ethyl alcohol [C 2 H 5 OH] (ratio of ethyl silicate to ethyl alcohol, 1:90) and then stirred in an ultrasonic bath for 10 minutes. By mixing, SiO 2 particles having an average particle diameter of 20 nm were attached to the surface of the phosphor particles with a gap (average interval of about 10 nm) through which ultraviolet rays could pass. Thereafter, this was washed with water, dehydrated, dried, and baked at 500 ° C., so that SiO 2 was arranged in an island shape on the surface of the phosphor particles. Note that ethyl silicate plays a role as a coupling agent for binding the phosphor particles and the SiO 2 particles.
【0063】No.7では、平均粒径1.0μmの各色
蛍光体粒子の粉末と、平均粒径50nm(0.05μ
m)のTiO2粒子を、硅酸メチル[Si(O・CH3)
4]とエチルアルコール(硅酸メチルとエチルアルコー
ルの比、1対90)の溶液の中に投入後、超音波バス中
において、10分間撹拌しながら良く混合させることに
よって、蛍光体粒子の表面上にTiO2粒子を紫外線が
透過できる隙間(平均間隔約30nm)をあけて付着さ
せた。その後、これを水洗し、脱水、乾燥後500℃で
焼成することによって、蛍光体粒子の表面にSiO2を
島状に配設した。No.8では、平均粒径1.5μmの
各色蛍光体粒子の粉末と、平均粒径80nm(0.08
μm)のAl2O3粒子を、硅酸メチル[Si(O・CH
3)4]とエチルアルコール(硅酸メチルとエチルアルコ
ールの比、1対90)の溶液の中に投入後、超音波バス
中において、10分間撹拌しながら良く混合させること
によって、蛍光体粒子の表面上に、平均粒径80nmの
Al2O3粒子を紫外線が通過できる隙間(平均間隔約8
0nm)をあけて付着させた。その後、これを水洗し、
脱水、乾燥後500℃で焼成することによって、蛍光体
粒子の表面に島状にAl2O3を配設した。No. In No. 7, the powder of the phosphor particles of each color having an average particle size of 1.0 μm and an average particle size of 50 nm (0.05 μm) were used.
The TiO 2 particles m), silicate methyl [Si (O · CH 3)
4 ] and ethyl alcohol (ratio of methyl silicate to ethyl alcohol, 1:90), and then mixed well in an ultrasonic bath with stirring for 10 minutes to form a mixture on the surface of the phosphor particles. TiO 2 particles were adhered with a gap (average interval about 30 nm) through which ultraviolet rays could pass. Thereafter, this was washed with water, dehydrated, dried, and baked at 500 ° C., whereby SiO 2 was arranged in an island shape on the surface of the phosphor particles. No. In No. 8, a powder of each color phosphor particle having an average particle size of 1.5 μm and an average particle size of 80 nm (0.08
μm) of Al 2 O 3 particles with methyl silicate [Si (O.CH
3 ) 4 ) and into a solution of ethyl alcohol (ratio of methyl silicate to ethyl alcohol, 1:90), and then mix well in an ultrasonic bath with stirring for 10 minutes to obtain phosphor particles. On the surface, a gap (average interval of about 8) through which Al 2 O 3 particles having an average particle size of 80 nm can pass ultraviolet rays.
0 nm). After that, wash it with water,
After dehydration and drying, baking was performed at 500 ° C., whereby Al 2 O 3 was disposed on the surface of the phosphor particles in an island shape.
【0064】No.9では、平均粒径5.0μmの各色
蛍光体粒子の粉末と、平均粒径100nm(0.1μ
m)のMgO粒子とを、硅酸エチル[Si(O・C
2H5)4]とエチルアルコール(硅酸エチルとエチルア
ルコールの比、1対90)の溶液の中に投入後、超音波
バス中において、10分間撹拌しながら良く混合させる
ことによって、蛍光体粒子の表面上に、平均粒径100
nmのMgO粒子を、紫外線が通過できる隙間(平均間
隔約100nm)を隔てて付着させた。その後、これを
水洗し、脱水、乾燥後500℃で焼成することによっ
て、蛍光体粒子の表面に島状にMgOを配設した。No. In No. 9, the powder of the phosphor particles of each color having an average particle diameter of 5.0 μm and an average particle diameter of 100 nm (0.1 μm)
m) and the MgO particles are converted to ethyl silicate [Si (OC
2 H 5 ) 4 ] and ethyl alcohol (ratio of ethyl silicate to ethyl alcohol, 1:90) and then mixed well with stirring in an ultrasonic bath for 10 minutes to obtain a phosphor. On the surface of the particles, an average particle size of 100
nm of MgO particles were attached with a gap (average interval about 100 nm) through which ultraviolet rays could pass. Thereafter, this was washed with water, dehydrated, dried, and then baked at 500 ° C., whereby MgO was arranged on the surface of the phosphor particles in an island shape.
【0065】同様にして、No.10〜12では、用い
る金属酸化物粒子の種類と平均粒径を変えて、蛍光体粒
子の表面に紫外線が通過できる隙間を隔てて金属酸化物
粒子を島状に配設した。以上のように表面に金属酸化物
粒子を島状に配設した蛍光体粒子を用いて、上記参考例
と同様の方法でスクリーン印刷法で蛍光体層を形成し
た。Similarly, No. In Nos. 10 to 12, the type and average particle size of the metal oxide particles to be used were changed, and the metal oxide particles were arranged in an island shape on the surface of the phosphor particles with a gap through which ultraviolet rays could pass. As described above, a phosphor layer was formed by screen printing using the phosphor particles having the metal oxide particles arranged in an island shape on the surface in the same manner as in the above reference example .
【0066】なお、表2に示したNo.13のPDP
は、比較例のNo.5のPDPと同様の構成である。 [実験2]上記No.6〜No.13のPDPを用い
て、放電維持電圧150V周波数30KHzで放電させ
た時の紫外線の波長を測定したところ、173nmを中
心とするXeの分子線による励起波長が主であった。ま
た、パネル輝度、7000時間駆動したときのパネル輝
度の変化率及び放電維持電圧の変化率(初期値に対する
7000時間駆動後の値の変化率)を測定した。その測
定結果は表2に示されている。In addition, No. 2 shown in Table 2 13 PDPs
Is No. of the comparative example. 5 is the same as the PDP. [Experiment 2] 6-No. Using a PDP No. 13, the wavelength of the ultraviolet ray when the discharge was performed at a discharge sustaining voltage of 150 V and a frequency of 30 KHz was measured, and it was found that the excitation wavelength was mainly at 173 nm by the Xe molecular beam. In addition, the panel luminance, the rate of change of the panel luminance when driven for 7000 hours, and the rate of change of the discharge sustaining voltage (the rate of change of the value after driving for 7000 hours relative to the initial value) were measured. The measurement results are shown in Table 2.
【0067】表2から明らかなように、No.6〜N
o.12のPDPは、No.13のPDPと比べて、パ
ネル輝度(初期値)が高く、所定時間経過後のパネル輝
度の変化(劣化)も少ない。これは、蛍光体粒子の表面
に、紫外線が通過できる隙間を隔てて、金属酸化物粒子
を島状に配設することによって、蛍光体粒子への紫外線
の吸収率が向上すると共に、蛍光体層の耐久性も向上す
ることを示している。As is clear from Table 2, No. 6-N
o. PDP No. 12 is No. As compared with the PDP No. 13, the panel luminance (initial value) is high, and the change (deterioration) of the panel luminance after a predetermined time has elapsed is small. This is because, by arranging the metal oxide particles in an island shape on the surface of the phosphor particles with a gap through which the ultraviolet rays can pass, the absorptivity of the phosphor particles to the ultraviolet rays is improved, and the phosphor layer is formed. It also shows that the durability of the steel is improved.
【0068】[実施例2][Embodiment 2 ]
【0069】[0069]
【表3】 表3に示したNo.14〜22のPDPは、上記実施の
形態2に基づいて作製したものである。これらのPDP
の構成は、蛍光体層以外は上記参考例のNo.15のP
DPと同様であって、10%のXeガスを含むヘリウム
ガス(He)ガスを放電ガスとし、封入圧力は600T
orrである。また、蛍光体層の形成においても、スク
リーン印刷の方法は参考例のPDPと同様であって、蛍
光体粒子の被覆処理の形態だけが異なっている。[Table 3] No. shown in Table 3 The PDPs 14 to 22 are manufactured based on the second embodiment. These PDPs
Is the same as that of the reference example except for the phosphor layer. 15 P
Similar to DP, a helium gas (He) gas containing 10% Xe gas is used as a discharge gas, and a sealing pressure is 600 T
orr. Also in the formation of the phosphor layer, the screen printing method is the same as that of the PDP of the reference example , and only the form of the coating process of the phosphor particles is different.
【0070】以下、No.14〜22の各PDPにおけ
る蛍光体粒子の被覆処理の方法について説明する。N
o.14では、平均粒径2.5μmの各色蛍光体粒子の
粉末を、硅酸エチル[Si(O・C2H5)4]とエチル
アルコール[C2H5OH],水,硝酸がモル比で10対
50対5対1の割合で混合された溶液中に投入し、40
℃に加熱した超音波バス中において撹拌しながら約10
分間反応させることによって、蛍光体粒子の表面上に平
均高さ22nmで島状にSiO2を析出させた。その
後、これを水洗し、脱水、乾燥後500℃で焼成するこ
とによって、蛍光体粒子の表面に、島状にSiO2を形
成した(島の平均間隔10nm,平均高さ約20n
m)。No.15〜22では、コーティング材料(有機
金属化合物の種類)、有機金属,アルコール,水,硝酸
のモル比、反応時間等を変えて、これと同様に蛍光体粒
子の表面に金属酸化物を島状に析出させた。Hereinafter, no. A method of coating the phosphor particles in each of the PDPs 14 to 22 will be described. N
o. In No. 14, the powder of the phosphor particles of each color having an average particle diameter of 2.5 μm was mixed with ethyl silicate [Si (OC 2 H 5 ) 4 ], ethyl alcohol [C 2 H 5 OH], water and nitric acid in a molar ratio. Into a solution mixed at a ratio of 10: 50: 5: 1 at 40
About 10 ° C with stirring in an ultrasonic bath heated to
By reacting for 2 minutes, SiO 2 was precipitated in an island shape at an average height of 22 nm on the surface of the phosphor particles. Thereafter, this was washed with water, dehydrated, dried, and baked at 500 ° C. to form SiO 2 in the form of islands on the surface of the phosphor particles (average spacing between islands 10 nm, average height about 20 n).
m). No. In Nos. 15 to 22, the coating material (the kind of the organometallic compound), the molar ratio of the organometallic, alcohol, water, and nitric acid, the reaction time, and the like are changed, and the metal oxide is similarly formed on the surface of the phosphor particles in an island shape Was precipitated.
【0071】以上のように、表面に金属酸化物を島状に
配設した蛍光体粒子を用いて、上記参考例と同様の方法
でスクリーン印刷法で蛍光体層を形成した。 [実験3] 作製したNo.14〜No.22のPDPを用いて、放
電維持電圧150V周波数30KHzで放電させた時の
紫外線の波長を測定したところ、173nmを中心とす
るXeの分子線による励起波長が主であった。また、実
験2と同じ条件でパネル輝度、パネル輝度の変化率及び
放電維持電圧の変化率を測定した。その測定結果は表3
に示されている。As described above, a phosphor layer was formed by a screen printing method in the same manner as in the above reference example , using phosphor particles having a metal oxide disposed in an island shape on the surface. [Experiment 3] 14-No. When the wavelength of the ultraviolet ray was measured at a discharge sustaining voltage of 150 V and a frequency of 30 KHz using a 22 PDP, the wavelength of excitation by a molecular beam of Xe centered at 173 nm was dominant. The panel luminance, the rate of change in panel luminance, and the rate of change in discharge sustaining voltage were measured under the same conditions as in Experiment 2. Table 3 shows the measurement results.
Is shown in
【0072】表2のNo.13のPDPのデータと表3
のデータとから明らかなように、No.14〜No.2
2のPDPは、No.13のPDPと比べて、パネル輝
度(初期値)が高く、所定時間経過後のパネル輝度の変
化(劣化)も少ない。これは、蛍光体粒子の表面に、紫
外線が通過できる隙間を隔てて、金属酸化物を島状に付
着させることによって、蛍光体粒子への紫外線の吸収率
が向上すると共に、蛍光体層の耐久性も向上することを
示している。In Table 2, No. 13 PDP data and Table 3
As is clear from the data of No. 14-No. 2
PDP No. 2 is No. As compared with the PDP No. 13, the panel luminance (initial value) is high, and the change (deterioration) of the panel luminance after a predetermined time has elapsed is small. This is because the metal oxide is attached in an island shape on the surface of the phosphor particles with a gap through which the ultraviolet light can pass, thereby improving the absorptivity of the phosphor particles to the ultraviolet light and improving the durability of the phosphor layer. It shows that the performance is also improved.
【0073】なお、上記実施の形態においては、交流面
放電型PDPについて説明したが、本発明は、これに限
らず、直流型のPDPにおいても適用できる。In the above embodiment, an AC surface discharge type PDP has been described. However, the present invention is not limited to this, and can be applied to a DC type PDP.
【0074】[0074]
【発明の効果】以上述べてきたように、本発明のPDP
では、蛍光体層を構成する蛍光体粒子の表面に、突状物
を、紫外線が通過できる隙間を隔てて島状に配すること
によって、コーティング層や突状物が、プラズマ中のイ
オンの衝突から蛍光体粒子を保護し、蛍光体層の耐久性
を向上させる。また、蛍光体粒子に取り込まれる紫外線
量が増え、紫外線の利用効率が向上するので、輝度を向
上させることができる。As described above, the PDP of the present invention
In the surface of the phosphor particles constituting the fluorescent body layer, a protruding object, by placing the islands at a gap UV can pass, the coating layer and the projecting material is, ions in the plasma And protects the phosphor particles from the collision, thereby improving the durability of the phosphor layer. Further, the amount of ultraviolet rays taken into the phosphor particles increases, and the utilization efficiency of ultraviolet rays improves, so that the luminance can be improved.
【図1】本発明の一実施の形態に係る交流面放電型PD
Pの概略断面図である。FIG. 1 shows an AC surface discharge type PD according to an embodiment of the present invention.
It is a schematic sectional drawing of P.
【図2】誘電体ガラス層の保護層を形成するのに用いる
CVD装置の概略図である。FIG. 2 is a schematic view of a CVD apparatus used for forming a protective layer of a dielectric glass layer.
【図3】誘電体ガラス層の保護層を形成するのに用いる
イオンビーム照射装置の概略図である。FIG. 3 is a schematic view of an ion beam irradiation apparatus used for forming a protective layer of a dielectric glass layer.
【図4】参考例にかかる被覆蛍光体粒子を示す概略断面
図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing coated phosphor particles according to a reference example .
【図5】実施の形態1にかかる被覆蛍光体粒子を示す概
略断面図である。FIG. 5 is a schematic sectional view showing the coated phosphor particles according to the first exemplary embodiment;
【図6】実施の形態2にかかる被覆蛍光体粒子を示す概
略断面図である。FIG. 6 is a schematic sectional view showing the coated phosphor particles according to the second embodiment.
【図7】従来の一般的な交流面放電型PDPの概略断面
図である。FIG. 7 is a schematic sectional view of a conventional general AC surface discharge type PDP.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 茂夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平10−269952(JP,A) 特開 平10−195428(JP,A) 特開 平9−165572(JP,A) 特開 平8−31325(JP,A) 特開 平7−320645(JP,A) 特開 平9−40945(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C09K 11/08 - 11/89 H01J 9/22 - 9/227 H01J 11/02 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Shigeo Suzuki 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (56) References JP-A-10-269952 (JP, A) JP-A-10- 195428 (JP, A) JP-A-9-165572 (JP, A) JP-A-8-31325 (JP, A) JP-A-7-320645 (JP, A) JP-A-9-40945 (JP, A) (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) C09K 11/08-11/89 H01J 9/22-9/227 H01J 11/02
Claims (4)
電極及び蛍光体層が配設されガス媒体が封入された放電
空間が形成され、電極による放電に伴って紫外線を発し
前記蛍光体層で可視光に変換することによって発光する
プラズマディスプレイパネルであって、 前記蛍光体層を構成する蛍光体粒子の表面には、平均間隔が10nm〜100nmである隙間を隔てて、
SiO 2 ,Al 2 O 3 ,MgO,ZrO 2 ,TiO 2 ,In 2
O 3 ,SnO 2 及びこれらの混合物からなる群から選択さ
れたものからなる 突状物が島状に配されていることを特
徴とするプラズマディスプレイパネル。 1. A method according to claim 1, further comprising the step of :
A plasma display panel in which an electrode and a phosphor layer are provided, a discharge space in which a gas medium is sealed is formed, and ultraviolet light is emitted in accordance with the discharge by the electrode, and the phosphor layer emits light by converting to visible light with the phosphor layer. The surface of the phosphor particles constituting the phosphor layer is separated by a gap having an average interval of 10 nm to 100 nm,
SiO 2 , Al 2 O 3 , MgO, ZrO 2 , TiO 2 , In 2
Selected from the group consisting of O 3 , SnO 2 and mixtures thereof.
PDP protrusion composed of those is characterized in that it is arranged like islands.
を特徴とする請求項1 記載のプラズマディスプレイパネ
ル。 2. The projection according to claim 1, wherein the projection comprises a granular material having an average particle diameter of 20 nm to 100 nm.
The plasma display panel according to claim 1, wherein:
nmのSiO 2 ,Al 2 O 3 ,MgO,ZrO 2 ,Ti
O 2 ,In 2 O 3 ,SnO 2 及びこれらの混合物からなる群
から選択されたものからなる粒状物とを、結合剤を含む
溶液中で撹拌することによって、前記蛍光体粒子の表面
に、前記粒状物を、平均間隔が10〜100nmである
隙間を隔てて配設するステップを備えることを特徴とす
るプラズマディスプレイパネル用の蛍光体の製造方法。 3. The phosphor particles have an average particle diameter of 20 nm to 100 nm.
nm of SiO 2 , Al 2 O 3 , MgO, ZrO 2 , Ti
The group consisting of O 2 , In 2 O 3 , SnO 2 and mixtures thereof
By stirring the particles formed from those selected from the above in a solution containing a binder, the particles are formed on the surface of the phosphor particles with an average spacing of 10 to 100 nm. A method of manufacturing a phosphor for a plasma display panel, comprising a step of disposing the phosphor at an interval.
機金属化合物に対するモル比が50%以下である水を含
む溶液中で撹拌し、加水分解反応することによって、前
記蛍光体粒子の表面にSiO 2 ,Al 2 O 3 ,MgO,Z
rO 2 ,TiO 2 ,In 2 O 3 ,SnO 2 及びこれらの混合
物からなる突状物を、平均間隔が10nm〜100nm
である隙間を隔てて島状に配設するステップを備えるこ
とを特徴とするプラズマディスプレイパネル用蛍光体の
製造方法。The 4. A phosphor particles, organic metal compound and the organic
By stirring in a solution containing water having a molar ratio of 50% or less with respect to the organic metal compound and performing a hydrolysis reaction, SiO 2 , Al 2 O 3 , MgO, Z
rO 2 , TiO 2 , In 2 O 3 , SnO 2 and mixtures thereof
Protruding objects made of an object, with an average interval of 10 nm to 100 nm
A method for manufacturing a phosphor for a plasma display panel, comprising the step of: disposing in the form of an island with a gap therebetween.
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