JP3234065U

JP3234065U - Board basket inspection equipment

Info

Publication number: JP3234065U
Application number: JP2021002544U
Authority: JP
Inventors: 周坤麟
Original assignee: 敍豐企業股▲ふん▼有限公司
Priority date: 2021-06-30
Filing date: 2021-06-30
Publication date: 2021-09-16
Anticipated expiration: 2031-06-30

Abstract

【課題】バスケットに基板を収容する前にバスケットを検査することにより、基板の後工程の収率及び効率を向上させる、基板バスケット検査装置を提供する。【解決手段】基板バスケット検査装置は、バスケット搬送プラットフォーム１、バスケット蓋体検査部２、バスケット蓋体開閉部３、バスケット枠体検査部４及び外フレーム５を備える。バスケット搬送プラットフォーム１は、バスケット搬送チャネル１１を有する。バスケット蓋体検査部２は、バスケット搬送チャネル１１の上流に位置するとともに、２つの第１のバスケット位置検査ユニット２１及び２つのバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２を有する。第１のバスケット位置検査ユニット２１は、バスケット搬送チャネル１１の上流の左側及び右側にそれぞれ位置する。バスケット蓋体クローズ検査ユニット２２は、バスケット搬送チャネル１１の上流の前側及び後側にそれぞれ位置する。【選択図】図１PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate basket inspection apparatus which improves the yield and efficiency of a post-process of a substrate by inspecting the basket before accommodating the substrate in the basket. A substrate basket inspection device includes a basket transfer platform 1, a basket lid inspection unit 2, a basket lid opening / closing unit 3, a basket frame inspection unit 4, and an outer frame 5. The basket transport platform 1 has a basket transport channel 11. The basket lid inspection unit 2 is located upstream of the basket transport channel 11 and has two first basket position inspection units 21 and two basket lid close inspection units 22. The first basket position inspection unit 21 is located on the left side and the right side upstream of the basket transport channel 11, respectively. The basket lid closing inspection unit 22 is located on the front side and the rear side upstream of the basket transport channel 11, respectively. [Selection diagram] Fig. 1

Description

本考案は、基板バスケット検査装置に関し、特に、バスケットに基板を収容する前にバスケットを検査し、基板の後工程の収率及び効率を向上させる基板バスケット検査装置に関する。 The present invention relates to a substrate basket inspection apparatus, and more particularly to a substrate basket inspection apparatus that inspects a basket before accommodating the substrate in the basket to improve the yield and efficiency of the post-process of the substrate.

基板（例えば回路基板）に表面処理工程を行うとき、作業員は、まず複数の基板をバスケット内に並べて収容してから、作業員はバスケットを装置上に吊下げ、操作装置によりメッキ水溶液が収容されたメッキ槽内にバスケットを移動させ、バスケット内の基板をメッキ水溶液中に浸し、化学置換反応によりメッキを行う。しかし、従来のバスケットは、複数の基板を並べて収容する前に検査装置により検査されなかったため、基板が損傷し、基板の後工程の収率及び効率が低下してしまうことがあった。 When performing a surface treatment process on a substrate (for example, a circuit board), a worker first accommodates a plurality of substrates side by side in a basket, then a worker suspends the basket on the device and stores the plating aqueous solution by an operating device. The basket is moved into the plated plating tank, the substrate in the basket is immersed in the plating aqueous solution, and plating is performed by a chemical substitution reaction. However, since the conventional basket is not inspected by the inspection device before accommodating a plurality of substrates side by side, the substrates may be damaged and the yield and efficiency of the post-process of the substrates may decrease.

そこで、本考案者は、上記課題を解決するための鋭意検討を重ねた結果、かかる知見に基づいて、本考案に想到するに至った。
本考案の課題は、バスケットに基板を収容する前にバスケットを検査することにより、基板の後工程の収率及び効率を向上させる、基板バスケット検査装置を提供することである。 Therefore, the present inventor has come up with the present invention based on such findings as a result of repeated diligent studies for solving the above problems.
An object of the present invention is to provide a substrate basket inspection apparatus that improves the yield and efficiency of a post-process of a substrate by inspecting the basket before accommodating the substrate in the basket.

かくして、本考案の要旨は、次の（１）〜（５）に記載の通りのものである。
（１）バスケット搬送プラットフォーム、バスケット蓋体検査部、バスケット蓋体開閉部、バスケット枠体検査部及び外フレームを備えた、基板バスケット検査装置であって、
前記バスケット搬送プラットフォームは、バスケット搬送チャネルを有し、
前記バスケット蓋体検査部は、前記バスケット搬送チャネルの上流に位置するとともに、２つの第１のバスケット位置検査ユニット及び２つのバスケット蓋体クローズ検査ユニットを有し、前記第１のバスケット位置検査ユニットは、前記バスケット搬送チャネルの上流の左側及び右側にそれぞれ位置し、前記バスケット蓋体クローズ検査ユニットは、前記バスケット搬送チャネルの上流の前側及び後側にそれぞれ位置し、
前記バスケット蓋体開閉部は、前記バスケット搬送チャネルの中流に位置するとともに、２つのバスケット蓋体開閉ユニットを有し、前記バスケット蓋体開閉ユニットは、前記バスケット搬送チャネルの中流の左側及び右側にそれぞれ位置し、
前記バスケット枠体検査部は、前記バスケット搬送チャネルの下流に位置するとともに、基板収容槽検査ユニット及び３つの第２のバスケット位置検査ユニットを有し、前記基板収容槽検査ユニットは、前記バスケット搬送チャネルの下流の左側と右側との間に位置し、前記第２のバスケット位置検査ユニットは、前記バスケット搬送チャネルの下流の左側、右側及び終端側にそれぞれ位置し、
前記外フレームには、前記バスケット搬送プラットフォーム、前記第１のバスケット位置検査ユニット、前記バスケット蓋体クローズ検査ユニット、前記バスケット蓋体開閉ユニット、前記基板収容槽検査ユニット及び前記第２のバスケット位置検査ユニットが配設されることを特徴とする、基板バスケット検査装置。
（２）複数のバスケット蓋体クローズ検査ユニット間には、第１の前後方向平行移動ユニットが接続され、
前記第１の前後方向平行移動ユニットは、前記外フレームに配設され、
前記バスケット蓋体クローズ検査ユニットは、吊下げアーム及び昇降式検査ユニットをそれぞれ有し、
前記第１の前後方向平行移動ユニットは、複数の前記吊下げアーム間に接続され、前記昇降式検査ユニットは、前記吊下げアームにそれぞれ配設され、前記昇降式検査ユニットは、互いに対向して同期して昇降することを特徴とする（１）に記載の基板バスケット検査装置。
（３）前記バスケット蓋体開閉ユニットは、左右方向平行移動ユニット、第１の載置ユニット、回転アーム及び伸縮ユニットをそれぞれ有し、
前記左右方向平行移動ユニットは、前記外フレームに配設され、
前記第１の載置ユニットは、前記左右方向平行移動ユニットに配設され、
前記回転アームの両端間には、前記第１の載置ユニットが枢着され、
前記伸縮ユニットの両端は、前記第１の載置ユニット及び前記回転アームの末端にそれぞれ枢着され、
前記回転アームの始端には、蓋体接続ユニットが設けられることを特徴とする（１）に記載の基板バスケット検査装置。
（４）前記基板収容槽検査ユニットは、第２の前後方向平行移動ユニット、第２の載置ユニット、昇降ユニット、基板収容槽検査枠及び抵抗力検査ユニットを有し、
前記第２の前後方向平行移動ユニットは、前記外フレームに配設され、
前記第２の載置ユニットは、前記第２の前後方向平行移動ユニットに配設され、
前記昇降ユニットは、前記第２の載置ユニットに配設され、
前記基板収容槽検査枠は、前記昇降ユニットに配設され、
前記抵抗力検査ユニットは、前記昇降ユニットと前記基板収容槽検査枠との間に接続されることを特徴とする（１）に記載の基板バスケット検査装置。
（５）前記基板収容槽検査ユニットは、少なくとも１つの伸縮接続杆を有し、
前記伸縮接続杆は、前記昇降ユニットと前記基板収容槽検査枠との間に接続されることを特徴とする（４）に記載の基板バスケット検査装置。 Thus, the gist of the present invention is as described in the following (1) to (5).
(1) A substrate basket inspection device provided with a basket transport platform, a basket lid inspection unit, a basket lid opening / closing unit, a basket frame inspection unit, and an outer frame.
The basket transport platform has a basket transport channel and
The basket lid inspection unit is located upstream of the basket transport channel and has two first basket position inspection units and two basket lid close inspection units, and the first basket position inspection unit is , The basket lid close inspection unit is located on the left and right sides upstream of the basket transport channel, respectively, and the basket lid close inspection unit is located on the front side and the rear side upstream of the basket transport channel, respectively.
The basket lid opening / closing unit is located in the middle stream of the basket transport channel and has two basket lid opening / closing units, and the basket lid opening / closing unit is on the left side and the right side of the middle stream of the basket transport channel, respectively. Position to,
The basket frame inspection unit is located downstream of the basket transport channel and has a substrate storage tank inspection unit and three second basket position inspection units, and the substrate storage tank inspection unit is the basket transport channel. The second basket position inspection unit is located between the left side and the right side downstream of the basket transport channel, respectively, on the left side, the right side and the terminal side downstream of the basket transport channel.
The outer frame includes the basket transport platform, the first basket position inspection unit, the basket lid closing inspection unit, the basket lid opening / closing unit, the substrate storage tank inspection unit, and the second basket position inspection unit. A substrate basket inspection device, characterized in that
(2) A first translational movement unit in the front-rear direction is connected between the plurality of basket lid closing inspection units.
The first front-back translation unit is arranged on the outer frame.
The basket lid closed inspection unit has a hanging arm and an elevating inspection unit, respectively.
The first anteroposterior translation unit is connected between a plurality of the hanging arms, the elevating inspection unit is arranged on each of the hanging arms, and the elevating inspection units face each other. The substrate basket inspection apparatus according to (1), which moves up and down in synchronization.
(3) The basket lid opening / closing unit has a left-right parallel movement unit, a first mounting unit, a rotating arm, and a telescopic unit, respectively.
The left-right parallel movement unit is arranged on the outer frame.
The first mounting unit is arranged in the left-right parallel movement unit.
The first mounting unit is pivotally mounted between both ends of the rotating arm.
Both ends of the telescopic unit are pivotally attached to the ends of the first mounting unit and the rotary arm, respectively.
The substrate basket inspection device according to (1), wherein a lid connection unit is provided at the starting end of the rotary arm.
(4) The substrate accommodating tank inspection unit includes a second translational movement unit in the front-rear direction, a second mounting unit, an elevating unit, a substrate accommodating tank inspection frame, and a resistance inspection unit.
The second front-back translation unit is arranged on the outer frame.
The second mounting unit is arranged in the second anteroposterior translation unit.
The elevating unit is arranged in the second mounting unit.
The substrate accommodating tank inspection frame is arranged in the elevating unit.
The substrate basket inspection apparatus according to (1), wherein the resistance inspection unit is connected between the elevating unit and the substrate storage tank inspection frame.
(5) The substrate storage tank inspection unit has at least one telescopic connecting rod.
The substrate basket inspection apparatus according to (4), wherein the telescopic connecting rod is connected between the elevating unit and the substrate accommodating tank inspection frame.

本考案の基板バスケット検査装置は、バスケットに基板を収容する前にバスケットを検査することにより、基板の後工程の収率及び効率を向上させることができる。 The substrate basket inspection apparatus of the present invention can improve the yield and efficiency of the post-process of the substrate by inspecting the basket before accommodating the substrate in the basket.

本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the substrate basket inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケット搬送プラットフォーム、バスケット蓋体検査部、バスケット蓋体開閉部及びバスケット枠体検査部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the basket transport platform, the basket lid body inspection part, the basket lid body opening and closing part, and the basket frame body inspection part of the substrate basket inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケット蓋体検査部及びバスケット蓋体開閉部を示す斜視図（１）である。It is a perspective view (1) which shows the basket lid inspection part and the basket lid opening / closing part of the substrate basket inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケット蓋体検査部及びバスケット蓋体開閉部を示す斜視図（２）である。It is a perspective view (2) which shows the basket lid inspection part and the basket lid opening / closing part of the substrate basket inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケット枠体検査部を示す斜視図（１）である。It is a perspective view (1) which shows the basket frame body inspection part of the substrate basket inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケット枠体検査部を示す斜視図（２）である。It is a perspective view (2) which shows the basket frame body inspection part of the substrate basket inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケット枠体検査部を示す斜視図（３）である。It is a perspective view (3) which shows the basket frame body inspection part of the substrate basket inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置の第２のバスケット位置検査ユニットを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the 2nd basket position inspection unit of the substrate basket inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケット蓋体を閉じた状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which the basket lid body of the substrate basket inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention is closed. 本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケット蓋体を開いた状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which the basket lid body of the substrate basket inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention is opened. 本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケットを検査するときの状態を示す斜視図（１）である。It is a perspective view (1) which shows the state at the time of inspecting the basket of the substrate basket inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケットを検査するときの状態を示す斜視図（２）である。It is a perspective view (2) which shows the state at the time of inspecting the basket of the substrate basket inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置のバスケットを検査するときの状態を示す斜視図（３）である。It is a perspective view (3) which shows the state at the time of inspecting the basket of the substrate basket inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention.

以下、本考案の目的、特徴及び効果をより分かりやすくするために、具体的な実施形態について図に基づいて詳しく説明する。 Hereinafter, in order to make the purpose, features, and effects of the present invention easier to understand, specific embodiments will be described in detail with reference to the drawings.

以下、本考案の前述及び他の技術的内容、特徴及び機能の具体的な実施形態について図に基づいて詳しく説明する。なお以下の実施形態では、「上」、「下」、「左」、「右」、「前」、「後」など方向を表す用語については、添付図面の方向を示す単なる参考用のものであり、方向を表す用語は、説明の便宜上用いているだけであり、本考案を何ら制限するものではない。 Hereinafter, specific embodiments of the above-mentioned and other technical contents, features, and functions of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the following embodiments, terms such as "top", "bottom", "left", "right", "front", and "rear" are merely for reference to indicate the direction of the attached drawing. Yes, the term for direction is used only for convenience of explanation and does not limit the present invention in any way.

図１、図２、図９及び図１０を参照する。図１、図２、図９及び図１０に示すように、本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置は、バスケット６が複数の基板７（例えば回路基板）を収容するのに適しているか否か検査する。バスケット６は、２つのフックアーム（ｈｏｏｋａｒｍ）６１と、枠体６２と、２つの蓋体６３とを有する。複数のフックアーム６１は、枠体６２の左側及び右側にそれぞれ配設され、バスケット６を移動装置（図示せず）上に吊下げるために用い、バスケット６内の複数の基板７をメッキ槽（図示せず）内へ移動させてメッキ工程を行うことができる。枠体６２は、複数の基板７をそれぞれ収容する複数の基板収容槽６２１を有する。複数の蓋体６３は、枠体６２の開口の左側及び右側にそれぞれ枢着される。各蓋体６３の底部は、複数の位置決め槽６３２を有し、各蓋体６３により枠体６２が閉じられると、複数の基板７がそれぞれ位置決めされる。各蓋体６３の前側には、第２の蓋体接続ユニット６３１（例えば、枢着用の円柱）がそれぞれ設けられる。基板バスケット検査装置は、各第２の蓋体接続ユニット６３１により各蓋体６３を開閉する。基板バスケット検査装置は、バスケット搬送プラットフォーム１、バスケット蓋体検査部２、バスケット蓋体開閉部３、バスケット枠体検査部４及び外フレーム５を含む。バスケット搬送プラットフォーム１は、バスケット６を搬送するバスケット搬送チャネル１１を有する。バスケット搬送プラットフォーム１は、モータにより駆動される複数の動力ローラを有し、バスケット６をバスケット搬送チャネル１１の上流１１１からバスケット搬送チャネル１１の中流１１２及び下流１１３に搬送する。複数の動力ローラは、バスケット６をバスケット搬送チャネル１１から運び出すこともできる。バスケット蓋体検査部２は、バスケット搬送チャネル１１の上流１１１に位置する。バスケット蓋体検査部２は、２つの第１のバスケット位置検査ユニット２１及び２つのバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２を有する。図３、図４及び図１１を参照する。図３、図４及び図１１に示すように、複数の第１のバスケット位置検査ユニット２１は、バスケット搬送チャネル１１の上流１１１の左側及び右側にそれぞれ位置する。各第１のバスケット位置検査ユニット２１は、バスケット６が定点に達したか否かを検査する複数の位置検査装置を有してもよい。複数のバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２は、バスケット搬送チャネル１１の上流１１１の前側及び後側にそれぞれ位置する。複数のバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２は、複数の蓋体６３の前側及び後側により複数の蓋体６３が枠体６２の開口の掛止部６２２に正常に係合しているか否かを検査する。複数のバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２は、赤外線送信機及び赤外線受信機をそれぞれ有してもよい。赤外線受信機が赤外線送信機の赤外線を正常に受信する場合、複数の蓋体６３が枠体６２の開口の掛止部６２２に正常に係合され、赤外線を干渉していないことを表す。図１２及び図１３を併せて参照する。図１２及び図１３に示すように、バスケット蓋体開閉部３は、バスケット搬送チャネル１１の中流１１２に位置する。バスケット蓋体開閉部３は、２つのバスケット蓋体開閉ユニット３１を有する。複数のバスケット蓋体開閉ユニット３１は、バスケット搬送チャネル１１の中流１１２の左側及び右側にそれぞれ位置する。バスケット６がバスケット搬送チャネル１１の上流１１１から下流１１３に搬送される前に、複数のバスケット蓋体開閉ユニット３１は、各蓋体６３の第２の蓋体接続ユニット６３１により各蓋体６３をそれぞれ開くことができる。図５〜図８を併せて参照する。図５〜図８に示すように、バスケット枠体検査部４は、バスケット搬送チャネル１１の下流１１３に位置する。バスケット枠体検査部４は、基板収容槽検査ユニット４１及び３つの第２のバスケット位置検査ユニット４２を有する。基板収容槽検査ユニット４１は、バスケット搬送チャネル１１の下流１１３の左側と右側との間に位置する。複数の第２のバスケット位置検査ユニット４２は、バスケット搬送チャネル１１の下流１１３の左側、右側及び終端側にそれぞれ位置する。基板収容槽検査ユニット４１は、枠体６２の基板収容槽６２１が基板の投入が妨げられているか否かを検査することができる。各第２のバスケット位置検査ユニット４２は、バスケット６が定点に達したか否かを検査する複数の位置検査装置を有する。バスケット搬送プラットフォーム１、複数の第１のバスケット位置検査ユニット２１、複数のバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２、複数のバスケット蓋体開閉ユニット３１、基板収容槽検査ユニット４１及び複数の第２のバスケット位置検査ユニット４２は、外フレーム５に配設される。 See FIGS. 1, 2, 9 and 10. As shown in FIGS. 1, 2, 9 and 10, is the substrate basket inspection device according to the embodiment of the present invention suitable for the basket 6 to accommodate a plurality of substrates 7 (for example, a circuit board)? Inspect whether or not. The basket 6 has two hook arms 61, a frame body 62, and two lid bodies 63. The plurality of hook arms 61 are arranged on the left side and the right side of the frame body 62, respectively, and are used for suspending the basket 6 on a moving device (not shown). The plating process can be performed by moving it in (not shown). The frame body 62 has a plurality of substrate accommodating tanks 621 for accommodating the plurality of substrates 7. The plurality of lids 63 are pivotally attached to the left side and the right side of the opening of the frame body 62, respectively. The bottom of each lid 63 has a plurality of positioning tanks 632, and when the frame 62 is closed by each lid 63, the plurality of substrates 7 are respectively positioned. A second lid connection unit 631 (for example, a pivotally worn cylinder) is provided on the front side of each lid 63. The substrate basket inspection device opens and closes each lid 63 by each second lid connection unit 631. The substrate basket inspection device includes a basket transfer platform 1, a basket lid inspection unit 2, a basket lid opening / closing unit 3, a basket frame inspection unit 4, and an outer frame 5. The basket transport platform 1 has a basket transport channel 11 that transports the basket 6. The basket transport platform 1 has a plurality of power rollers driven by motors, and transports the basket 6 from the upstream 111 of the basket transport channel 11 to the middle stream 112 and the downstream 113 of the basket transport channel 11. The plurality of power rollers can also carry the basket 6 out of the basket transport channel 11. The basket lid inspection unit 2 is located upstream 111 of the basket transport channel 11. The basket lid inspection unit 2 has two first basket position inspection units 21 and two basket lid close inspection units 22. See FIGS. 3, 4, and 11. As shown in FIGS. 3, 4 and 11, the plurality of first basket position inspection units 21 are located on the left side and the right side of the upstream 111 of the basket transport channel 11, respectively. Each first basket position inspection unit 21 may have a plurality of position inspection devices for inspecting whether or not the basket 6 has reached a fixed point. The plurality of basket lid closed inspection units 22 are located on the front side and the rear side of the upstream 111 of the basket transport channel 11, respectively. The plurality of basket lid body closing inspection units 22 inspect whether or not the plurality of lid bodies 63 are normally engaged with the hooking portion 622 of the opening of the frame body 62 by the front side and the rear side of the plurality of lid bodies 63. do. The plurality of basket lid closed inspection units 22 may have an infrared transmitter and an infrared receiver, respectively. When the infrared receiver normally receives the infrared rays of the infrared transmitter, it means that the plurality of lids 63 are normally engaged with the hooking portion 622 of the opening of the frame body 62 and do not interfere with the infrared rays. 12 and 13 are also referred to. As shown in FIGS. 12 and 13, the basket lid opening / closing portion 3 is located at the middle stream 112 of the basket transport channel 11. The basket lid opening / closing unit 3 has two basket lid opening / closing units 31. The plurality of basket lid opening / closing units 31 are located on the left side and the right side of the middle stream 112 of the basket transport channel 11, respectively. Before the basket 6 is transported from the upstream 111 to the downstream 113 of the basket transport channel 11, the plurality of basket lid opening / closing units 31 each connect the lid 63 by the second lid connecting unit 631 of the lid 63. Can be opened. 5 to 8 are also referred to. As shown in FIGS. 5 to 8, the basket frame inspection unit 4 is located downstream 113 of the basket transport channel 11. The basket frame inspection unit 4 has a substrate storage tank inspection unit 41 and three second basket position inspection units 42. The substrate storage tank inspection unit 41 is located between the left side and the right side of the downstream 113 of the basket transport channel 11. The plurality of second basket position inspection units 42 are located on the left side, the right side, and the terminal side of the downstream 113 of the basket transport channel 11, respectively. The substrate accommodating tank inspection unit 41 can inspect whether or not the substrate accommodating tank 621 of the frame body 62 is hindered from loading the substrate. Each second basket position inspection unit 42 has a plurality of position inspection devices for inspecting whether or not the basket 6 has reached a fixed point. Basket transfer platform 1, a plurality of first basket position inspection units 21, a plurality of basket lid close inspection units 22, a plurality of basket lid opening / closing units 31, a substrate storage tank inspection unit 41, and a plurality of second basket position inspections. The unit 42 is arranged on the outer frame 5.

上述したように、本考案の一実施形態に係る基板バスケット検査装置は、複数のバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２により複数の蓋体６３が枠体６２を正常に閉じているか否かを検査するとともに、基板収容槽検査ユニット４１により枠体６２の基板収容槽６２１が実際の基板の投入を妨げているか否かを検査することができる。それによって、本実施形態の基板バスケット検査装置は、バスケット６に基板７を収容する前にバスケット６を検査し、バスケット６に基板７を正確に収容し、基板７の後工程の収率及び効率を高めることができる。 As described above, the substrate basket inspection device according to the embodiment of the present invention inspects whether or not the plurality of lids 63 normally close the frame 62 by the plurality of basket lid closing inspection units 22. The substrate accommodating tank inspection unit 41 can inspect whether or not the substrate accommodating tank 621 of the frame body 62 is hindering the actual loading of the substrate. Thereby, the substrate basket inspection apparatus of the present embodiment inspects the basket 6 before accommodating the substrate 7 in the basket 6, accurately accommodates the substrate 7 in the basket 6, and yields and efficiencies in the subsequent process of the substrate 7. Can be enhanced.

図３、図４及び図１１を参照する。図３、図４及び図１１に示すように、本実施形態において、複数のバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２間には、第１の前後方向平行移動ユニット２２１（例えば、気圧シリンダ又は液圧シリンダ）が接続される。第１の前後方向平行移動ユニット２２１は、外フレーム５に配設される。各バスケット蓋体クローズ検査ユニット２２は、吊下げアーム２２２及び昇降式検査ユニット２２３を有する。第１の前後方向平行移動ユニット２２１は、複数の吊下げアーム２２２間に接続される。各昇降式検査ユニット２２３は、リニアモータを介して各吊下げアーム２２２に配設される。複数の昇降式検査ユニット２２３のそれぞれは、赤外線送信機及び赤外線受信機でもよい。複数の昇降式検査ユニット２２３は、互いに対向して同期して昇降する。それによって、複数のバスケット蓋体クローズ検査ユニット２２は、複数の蓋体６３が枠体６２の開口の掛止部６２２に正常に係合されて赤外線に干渉していないか検査することができる。 See FIGS. 3, 4, and 11. As shown in FIGS. 3, 4 and 11, in the present embodiment, between the plurality of basket lid closing inspection units 22, a first transverse movement unit 221 in the front-rear direction (for example, a barometric pressure cylinder or a hydraulic cylinder). Is connected. The first front-back translation unit 221 is arranged on the outer frame 5. Each basket lid closing inspection unit 22 has a hanging arm 222 and an elevating inspection unit 223. The first front-back translation unit 221 is connected between the plurality of hanging arms 222. Each elevating inspection unit 223 is arranged on each hanging arm 222 via a linear motor. Each of the plurality of elevating inspection units 223 may be an infrared transmitter and an infrared receiver. The plurality of elevating inspection units 223 move up and down in synchronization with each other facing each other. Thereby, the plurality of basket lid close inspection units 22 can inspect whether or not the plurality of lids 63 are normally engaged with the hooking portion 622 of the opening of the frame body 62 and interfere with infrared rays.

図３、図４及び図１１〜図１３を示す。図３、図４及び図１１〜図１３に示すように、各バスケット蓋体開閉ユニット３１は、左右方向平行移動ユニット３１１（例えば、気圧シリンダ又は液圧シリンダ）、第１の載置ユニット３１２（例えば、載置板）、回転アーム３１３及び伸縮ユニット３１４（例えば、気圧シリンダ又は液圧シリンダ）を有する。左右方向平行移動ユニット３１１は、外フレーム５に配設される。第１の載置ユニット３１２は、左右方向平行移動ユニット３１１に配設される。回転アーム３１３の両端間には、第１の載置ユニット３１２が枢着される。伸縮ユニット３１４の両端は、第１の載置ユニット３１２及び回転アーム３１３の末端にそれぞれ枢着される。回転アーム３１３の始端には、第１の蓋体接続ユニット３１３１（例えば、貫通槽体）が設けられる。それによって、複数の蓋体６３により枠体６２が閉じられる際、各回転アーム３１３は、各伸縮ユニット３１４が短縮されて水平に調整された後、各左右方向平行移動ユニット３１１が各第１の載置ユニット３１２、各伸縮ユニット３１４及び各回転アーム３１３を水平移動させ、各回転アーム３１３の第１の蓋体接続ユニット３１３１が各蓋体６３の第２の蓋体接続ユニット６３１に枢着されてから、各回転アーム３１３は、各伸縮ユニット３１４が伸長されて垂直に調整され、各蓋体６３を開いて各回転アーム３１３の第１の蓋体接続ユニット３１３１が各蓋体６３の第２の蓋体接続ユニット６３１が外れた後、各左右方向平行移動ユニット３１１が水平移動し、各第１の載置ユニット３１２、各伸縮ユニット３１４及び各回転アーム３１３を回収し、バスケット６がバスケット搬送チャネル１１の上流１１１から中流１１２を通って下流１１３に搬送されて検査することができる。バスケット６の検査が完了した後、バスケット６がバスケット搬送チャネル１１の下流１１３から中流１１２を通って上流１１１に搬送されると、各バスケット蓋体開閉ユニット３１は、各蓋体６３により枠体６２を閉じた後、バスケット６をバスケット搬送チャネル１１から運び出すことができる。 3, FIG. 4 and FIGS. 11 to 13 are shown. As shown in FIGS. 3, 4 and 11 to 13, each basket lid opening / closing unit 31 includes a lateral translation unit 311 (for example, a barometric pressure cylinder or a hydraulic cylinder) and a first mounting unit 312 (for example, a barometric pressure cylinder or a hydraulic cylinder). For example, it has a mounting plate), a rotary arm 313 and a telescopic unit 314 (eg, a barometric cylinder or a hydraulic cylinder). The left-right parallel movement unit 311 is arranged on the outer frame 5. The first mounting unit 312 is arranged in the left-right parallel movement unit 311. A first mounting unit 312 is pivotally mounted between both ends of the rotary arm 313. Both ends of the telescopic unit 314 are pivotally attached to the ends of the first mounting unit 312 and the rotary arm 313, respectively. A first lid connecting unit 3131 (for example, a penetrating tank body) is provided at the starting end of the rotating arm 313. As a result, when the frame body 62 is closed by the plurality of lids 63, each rotating arm 313 is adjusted to be horizontal by shortening each telescopic unit 314, and then each lateral translation unit 311 is first. The mounting unit 312, each telescopic unit 314, and each rotating arm 313 are horizontally moved, and the first lid connecting unit 3131 of each rotating arm 313 is pivotally attached to the second lid connecting unit 631 of each lid 63. Then, in each rotating arm 313, each telescopic unit 314 is extended and adjusted vertically, each lid 63 is opened, and the first lid connecting unit 3131 of each rotating arm 313 is the second of each lid 63. After the lid connection unit 631 is disengaged, each lateral translation unit 311 moves horizontally, collects each first mounting unit 312, each telescopic unit 314, and each rotating arm 313, and the basket 6 transports the basket. It can be transported from the upstream 111 of the channel 11 through the middle stream 112 to the downstream 113 for inspection. After the inspection of the basket 6 is completed, when the basket 6 is transported from the downstream 113 of the basket transport channel 11 to the upstream 111 through the middle stream 112, each basket lid opening / closing unit 31 is transferred to the frame 62 by each lid 63. After closing, the basket 6 can be carried out of the basket transport channel 11.

図５〜図７、図１０、図１２及び図１３を参照する。図５〜図７、図１０、図１２及び図１３に示すように、本実施形態の基板収容槽検査ユニット４１は、第２の前後方向平行移動ユニット４１１、第２の載置ユニット４１２、昇降ユニット４１３、基板収容槽検査枠４１４及び抵抗力検査ユニット４１５を有する。第２の前後方向平行移動ユニット４１１は、外フレーム５に配設される。第２の前後方向平行移動ユニット４１１は、２つのガイドレール及びモータにより駆動されるねじ軸を有し、第２の載置ユニット４１２は、ねじ軸の駆動により、複数のガイドレール上で前後に平行移動可能である。第２の載置ユニット４１２は、搭載フレームでもよく、第２の前後方向平行移動ユニット４１１に配設される。昇降ユニット４１３は、気圧シリンダ、液圧シリンダ又はリニアモータを有するとともに、第２の載置ユニット４１２に配設される。基板収容槽検査枠４１４は、昇降ユニット４１３に配設される。抵抗力検査ユニット４１５は、フォースセンサー（ｆｏｒｃｅｓｅｎｓｏｒ）であるとともに、昇降ユニット４１３と基板収容槽検査枠４１４との間に接続される。それによって、第２の前後方向平行移動ユニット４１１は、第２の載置ユニット４１２、昇降ユニット４１３、基板収容槽検査枠４１４及び抵抗力検査ユニット４１５を前後に平行移動し、基板収容槽検査枠４１４が枠体６２の基板収容槽６２１のうちの１つの上方に位置した後、昇降ユニット４１３により基板収容槽検査枠４１４及び抵抗力検査ユニット４１５を降下させ、枠体６２の基板収容槽６２１のうちの１つに基板収容槽検査枠４１４を投入する際、抵抗力検査ユニット４１５により基板収容槽検査枠４１４を基板収容槽６２１に投入するときの抵抗力を検査することができる。例えば、抵抗力が所定値より大きい場合、基板収容槽６２１が基板を収容するのに適していないことを表し、昇降ユニット４１３により基板収容槽検査枠４１４及び抵抗力検査ユニット４１５を上昇させ、枠体６２の他の基板収容槽６２１を検査することができる。 5 to 7, FIG. 10, FIG. 12, and FIG. As shown in FIGS. 5 to 7, 10, 12 and 13, the substrate accommodating tank inspection unit 41 of the present embodiment includes a second translational movement unit 411, a second mounting unit 412, and an ascending / descending unit. It has a unit 413, a substrate storage tank inspection frame 414, and a resistance inspection unit 415. The second front-back translation unit 411 is arranged on the outer frame 5. The second translational translation unit 411 has a screw shaft driven by two guide rails and a motor, and the second mounting unit 412 moves back and forth on a plurality of guide rails by driving the screw shafts. It can be translated. The second mounting unit 412 may be a mounting frame, and is arranged in the second front-back translation unit 411. The elevating unit 413 has a pressure cylinder, a hydraulic cylinder, or a linear motor, and is arranged in the second mounting unit 412. The substrate accommodating tank inspection frame 414 is arranged in the elevating unit 413. The resistance inspection unit 415 is a force sensor and is connected between the elevating unit 413 and the substrate accommodating tank inspection frame 414. As a result, the second front-rear parallel moving unit 411 moves the second mounting unit 412, the elevating unit 413, the substrate accommodating tank inspection frame 414, and the resistance inspection unit 415 in parallel back and forth, and the substrate accommodating tank inspection frame. After the 414 is located above one of the board storage tanks 621 of the frame body 62, the board storage tank inspection frame 414 and the resistance inspection unit 415 are lowered by the elevating unit 413 to lower the board storage tank 621 of the frame body 62. When the substrate accommodating tank inspection frame 414 is put into one of them, the resistance inspection unit 415 can inspect the resistance when the substrate accommodating tank inspection frame 414 is put into the substrate accommodating tank 621. For example, when the resistance force is larger than a predetermined value, it means that the substrate accommodating tank 621 is not suitable for accommodating the substrate, and the elevating unit 413 raises the substrate accommodating tank inspection frame 414 and the resistance inspection unit 415 to raise the frame. The other substrate containing tank 621 of the body 62 can be inspected.

図５〜図７を参照する。図５〜図７に示すように、本実施形態の基板収容槽検査ユニット４１は、少なくとも１つの伸縮接続杆４１６を有する。伸縮接続杆４１６は、昇降ユニット４１３と基板収容槽検査枠４１４との間に接続される。それによって、伸縮接続杆４１６は、昇降ユニット４１３と基板収容槽検査枠４１４との間に接続される抵抗力検査ユニット４１５をアシストすることができる。 See FIGS. 5-7. As shown in FIGS. 5 to 7, the substrate storage tank inspection unit 41 of the present embodiment has at least one telescopic connecting rod 416. The telescopic connection rod 416 is connected between the elevating unit 413 and the substrate accommodating tank inspection frame 414. Thereby, the telescopic connecting rod 416 can assist the resistance inspection unit 415 connected between the elevating unit 413 and the substrate accommodating tank inspection frame 414.

当該分野の当業者にとって理解できるように、本考案の好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本考案を限定するものではない。本考案の主旨と領域を逸脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本考案の実用新案登録請求の範囲は、このような変更や修正を含めて広く解釈されるべきである。 Suitable embodiments of the present invention have been disclosed as described above, as will be appreciated by those skilled in the art, but these are by no means limiting to the present invention. Various changes and modifications can be made without departing from the gist and domain of the present invention. Therefore, the scope of claims for utility model registration of the present invention should be broadly interpreted including such changes and amendments.

１バスケット搬送プラットフォーム
２バスケット蓋体検査部
３バスケット蓋体開閉部
４バスケット枠体検査部
５外フレーム
６バスケット
７基板
１１バスケット搬送チャネル
２１第１のバスケット位置検査ユニット
２２バスケット蓋体クローズ検査ユニット
３１バスケット蓋体開閉ユニット
４１基板収容槽検査ユニット
４２第２のバスケット位置検査ユニット
６１フックアーム
６２枠体
６３蓋体
１１１上流
１１２中流
１１３下流
２１１位置検査器
２２１第１の前後方向平行移動ユニット
２２２吊下げアーム
２２３昇降式検査ユニット
３１１左右方向平行移動ユニット
３１２第１の載置ユニット
３１３回転アーム
３１４伸縮ユニット
４１１第２の前後方向平行移動ユニット
４１２第２の載置ユニット
４１３昇降ユニット
４１４基板収容槽検査枠
４１５抵抗力検査ユニット
４１６伸縮接続杆
４２１位置検査器
６２１基板収容槽
６２２掛止部
６３１第２の蓋体接続ユニット
６３２位置決め槽
３１３１第１の蓋体接続ユニット
1 Basket transport platform 2 Basket lid inspection unit 3 Basket lid opening / closing part 4 Basket frame inspection unit 5 Outer frame 6 Basket 7 Board 11 Basket transport channel 21 First basket position inspection unit 22 Basket lid close inspection unit 31 Basket Closure opening / closing unit 41 Board storage tank inspection unit 42 Second basket position inspection unit 61 Hook arm 62 Frame 63 Lid 111 Upstream 112 Midstream 113 Downstream 211 Position inspector 221 First front-back translation unit 222 Hanging arm 223 Elevating inspection unit 311 Left-right translation unit 312 Left-right parallel movement unit 312 First mounting unit 313 Rotating arm 314 Telescopic unit 411 Second front-back translation unit 412 Second mounting unit 413 Lifting unit 414 Board storage tank inspection frame 415 Resistance inspection unit 416 Telescopic connection rod 421 Position inspection device 621 Board storage tank 622 Hooking part 631 Second lid connection unit 632 Positioning tank 3131 First lid connection unit

Claims

A substrate basket inspection device including a basket transport platform, a basket lid inspection unit, a basket lid opening / closing unit, a basket frame inspection unit, and an outer frame.
The basket transport platform has a basket transport channel and
The basket lid inspection unit is located upstream of the basket transport channel and has two first basket position inspection units and two basket lid close inspection units, and the first basket position inspection unit is , The basket lid close inspection unit is located on the left and right sides upstream of the basket transport channel, respectively, and the basket lid close inspection unit is located on the front side and the rear side upstream of the basket transport channel, respectively.
The basket lid opening / closing unit is located in the middle stream of the basket transport channel and has two basket lid opening / closing units, and the basket lid opening / closing unit is on the left side and the right side of the middle stream of the basket transport channel, respectively. Position to,
The basket frame inspection unit is located downstream of the basket transport channel and has a substrate storage tank inspection unit and three second basket position inspection units, and the substrate storage tank inspection unit is the basket transport channel. The second basket position inspection unit is located between the left side and the right side downstream of the basket transport channel, respectively, on the left side, the right side and the terminal side downstream of the basket transport channel.
The outer frame includes the basket transport platform, the first basket position inspection unit, the basket lid closing inspection unit, the basket lid opening / closing unit, the substrate storage tank inspection unit, and the second basket position inspection unit. A substrate basket inspection device, characterized in that

A first anteroposterior translation unit is connected between the plurality of basket lid closing inspection units.
The first front-back translation unit is arranged on the outer frame.
The basket lid closed inspection unit has a hanging arm and an elevating inspection unit, respectively.
The first anteroposterior translation unit is connected between a plurality of the hanging arms, the elevating inspection unit is arranged on each of the hanging arms, and the elevating inspection units face each other. The substrate basket inspection apparatus according to claim 1, wherein the substrate basket is moved up and down in synchronization.

The basket lid opening / closing unit has a left-right parallel movement unit, a first mounting unit, a rotating arm, and a telescopic unit, respectively.
The left-right parallel movement unit is arranged on the outer frame.
The first mounting unit is arranged in the left-right parallel movement unit.
The first mounting unit is pivotally mounted between both ends of the rotating arm.
Both ends of the telescopic unit are pivotally attached to the ends of the first mounting unit and the rotary arm, respectively.
The substrate basket inspection device according to claim 1, wherein a lid connection unit is provided at the starting end of the rotary arm.

The substrate accommodating tank inspection unit includes a second translational movement unit in the front-rear direction, a second mounting unit, an elevating unit, a substrate accommodating tank inspection frame, and a resistance inspection unit.
The second front-back translation unit is arranged on the outer frame.
The second mounting unit is arranged in the second anteroposterior translation unit.
The elevating unit is arranged in the second mounting unit.
The substrate accommodating tank inspection frame is arranged in the elevating unit.
The substrate basket inspection apparatus according to claim 1, wherein the resistance inspection unit is connected between the elevating unit and the substrate storage tank inspection frame.

The substrate containing tank inspection unit has at least one telescopic connecting rod.
The substrate basket inspection apparatus according to claim 4, wherein the telescopic connecting rod is connected between the elevating unit and the substrate accommodating tank inspection frame.