JP3233975B2 - 風量調整ダンパ装置 - Google Patents
風量調整ダンパ装置Info
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- JP3233975B2 JP3233975B2 JP09607492A JP9607492A JP3233975B2 JP 3233975 B2 JP3233975 B2 JP 3233975B2 JP 09607492 A JP09607492 A JP 09607492A JP 9607492 A JP9607492 A JP 9607492A JP 3233975 B2 JP3233975 B2 JP 3233975B2
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- Japan
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- plate
- shutter plate
- damper device
- air volume
- ventilation pipe
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- Air-Flow Control Members (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、通風パイプを通る風量
を制御するための風量調整ダンパ装置に関するものであ
る。
を制御するための風量調整ダンパ装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】液晶板製造装置などで、ガラス基板を洗
浄処理をしたり、処理液による処理をしたり、乾燥処理
をするために、ほぼ密閉された処理槽内をコンベアによ
り移動させることが行われている。この場合処理槽内に
は清浄な空気を循環させる必要がある。そこで従来より
処理槽に排気パイプを接続し排気ポンプにより排気する
一方、この処理槽内へはフィルタを介して清浄な空気が
流入するようにしている。
浄処理をしたり、処理液による処理をしたり、乾燥処理
をするために、ほぼ密閉された処理槽内をコンベアによ
り移動させることが行われている。この場合処理槽内に
は清浄な空気を循環させる必要がある。そこで従来より
処理槽に排気パイプを接続し排気ポンプにより排気する
一方、この処理槽内へはフィルタを介して清浄な空気が
流入するようにしている。
【０００３】ここに処理槽は長いので、排気パイプを処
理槽の複数箇所に接続し、各排気パイプを集合させて共
通の排気ポンプによって排出している。この場合各排気
パイプの風量の均衡をとるために、各排気パイプにはそ
れぞれ風量調整用のダンパ装置を設けている。
理槽の複数箇所に接続し、各排気パイプを集合させて共
通の排気ポンプによって排出している。この場合各排気
パイプの風量の均衡をとるために、各排気パイプにはそ
れぞれ風量調整用のダンパ装置を設けている。
【０００４】ここに従来のダンパ装置はパイプを横断す
る軸に円盤を固定した蝶型弁を用いていた。そしてこの
蝶型弁の開閉は、軸を回転してその角度を変えることに
より行っていた。
る軸に円盤を固定した蝶型弁を用いていた。そしてこの
蝶型弁の開閉は、軸を回転してその角度を変えることに
より行っていた。
【０００５】
【従来技術の問題点】しかしこの蝶型弁は特に小開度に
おける開口面積の調整がしにくいという問題があった。
すなわち小開度では弁の角度の僅かな変化により開口面
積が大きく変化するのに対し、大開度では弁の角度の僅
かな変化によっては開口面積はほとんど変化しないから
である。
おける開口面積の調整がしにくいという問題があった。
すなわち小開度では弁の角度の僅かな変化により開口面
積が大きく変化するのに対し、大開度では弁の角度の僅
かな変化によっては開口面積はほとんど変化しないから
である。
【０００６】
【発明の目的】本発明はこのような事情に鑑みなされた
ものであり、開口面積の調整がし易く、特に小開度での
微調整が可能な風量調整ダンパ装置を提供することを目
的とする。
ものであり、開口面積の調整がし易く、特に小開度での
微調整が可能な風量調整ダンパ装置を提供することを目
的とする。
【０００７】
【発明の構成】本発明によればこの目的は、空気ポンプ
に接続された通気パイプに設けられ風量を制御する風量
調整ダンパ装置において、前記通気パイプに直交し通気
パイプと同径の円孔が形成された一対のボデー板と、こ
れらボデー板の間に挟持されたパッキン板と、このパッ
キン板に前記円孔の間から下方へ広がるように切り抜い
た窓内で上下動可能に保持されたシャッタ板と、前記円
孔の外側で前記ボデー板の間に略垂直かつ回転自在に保
持され一端がこのボデー板から突出し前記シャッタ板の
上縁付近の高さに設けたナット部材を送りねじ機構によ
って上下動させるねじ軸と、下端が前記シャッタ板の上
縁付近に係合し一部が前記円孔の内側を通り上部が前記
ボデー板より上方へ突出した針金状のインジケータ棒と
を備え、前記インジケータ棒の突出量から前記シャッタ
板の開閉量を目視可能としたことを特徴とする風量調整
ダンパ装置により達成される。
に接続された通気パイプに設けられ風量を制御する風量
調整ダンパ装置において、前記通気パイプに直交し通気
パイプと同径の円孔が形成された一対のボデー板と、こ
れらボデー板の間に挟持されたパッキン板と、このパッ
キン板に前記円孔の間から下方へ広がるように切り抜い
た窓内で上下動可能に保持されたシャッタ板と、前記円
孔の外側で前記ボデー板の間に略垂直かつ回転自在に保
持され一端がこのボデー板から突出し前記シャッタ板の
上縁付近の高さに設けたナット部材を送りねじ機構によ
って上下動させるねじ軸と、下端が前記シャッタ板の上
縁付近に係合し一部が前記円孔の内側を通り上部が前記
ボデー板より上方へ突出した針金状のインジケータ棒と
を備え、前記インジケータ棒の突出量から前記シャッタ
板の開閉量を目視可能としたことを特徴とする風量調整
ダンパ装置により達成される。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の一実施例を適用した処理槽と
しての乾燥炉の平面図、図２はダンパ装置を示す図、図
３はその III−III 線断面図、図４はその構成の概念を
示す分解斜視図である。なお図２の（Ａ）は一部断面し
た正面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は背面図である。
しての乾燥炉の平面図、図２はダンパ装置を示す図、図
３はその III−III 線断面図、図４はその構成の概念を
示す分解斜視図である。なお図２の（Ａ）は一部断面し
た正面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は背面図である。
【０００９】図１で符号１０は液晶板製造工程に用いる
乾燥炉であり、全体が略トンネル状に作られ、この内部
にガラス基板を搬送するコンベアが収容されている。例
えば洗浄された基板はこの乾燥炉１０にその一端から入
り、この中を送られる間にヒ−タで加熱され乾燥され
る。
乾燥炉であり、全体が略トンネル状に作られ、この内部
にガラス基板を搬送するコンベアが収容されている。例
えば洗浄された基板はこの乾燥炉１０にその一端から入
り、この中を送られる間にヒ−タで加熱され乾燥され
る。
【００１０】この乾燥炉１０の一方の側面には排気ダク
ト１２、１４が配設され、この排気ダクト１２、１４は
適宜数の小径の排気パイプ１６、および大径の排気パイ
プ１８に分岐して乾燥炉１０の適宜の位置に水平方向に
接続されている。排気ダクト１２、１４は工場内に敷設
した排気ダクト２０を介して排気ポンプ２２に接続され
る。乾燥炉１０内には排気パイプ１６、１８と反対の側
面に空気フィルタ２４が適宜間隔をもって取付けられ、
工場内の空気はこのフィルタ２４を通って乾燥炉１０内
に入る。
ト１２、１４が配設され、この排気ダクト１２、１４は
適宜数の小径の排気パイプ１６、および大径の排気パイ
プ１８に分岐して乾燥炉１０の適宜の位置に水平方向に
接続されている。排気ダクト１２、１４は工場内に敷設
した排気ダクト２０を介して排気ポンプ２２に接続され
る。乾燥炉１０内には排気パイプ１６、１８と反対の側
面に空気フィルタ２４が適宜間隔をもって取付けられ、
工場内の空気はこのフィルタ２４を通って乾燥炉１０内
に入る。
【００１１】ここに乾燥炉１０と排気ダクト１２、１４
との間を接続する排気パイプ１６、１８には、本発明に
かかる風量調整ダンパ装置２６、２８が介在する。これ
らのダンパ装置２６、２８はそれぞれ図２〜４および図
５に示す構造を有するが、ほぼ同じ構造であるから、そ
の一方の装置２６を中心にして説明する。
との間を接続する排気パイプ１６、１８には、本発明に
かかる風量調整ダンパ装置２６、２８が介在する。これ
らのダンパ装置２６、２８はそれぞれ図２〜４および図
５に示す構造を有するが、ほぼ同じ構造であるから、そ
の一方の装置２６を中心にして説明する。
【００１２】このダンパ装置２６は図４に示すように一
対のボデ−板３０、３２と、その間に挟まれるパッキン
板３４と、シャッタ板３６と、送りねじ機構を形成する
ねじ軸３８と、インジケ−タ４０と、その他の部材とを
有する。ボデ−板３０、３２には排気パイプ１６の内径
と同径の円孔４２、４４が形成されている。排気パイプ
１６はその一部が垂直な平面で切断されて、その切断部
には対向するフランジ４６、４８が固着されている。こ
れらのフランジ４６、４８はボデ−板３０、３２に接続
され、その時に排気パイプ１６、１６の内径が円孔４
２、４４に一致するようになっている。
対のボデ−板３０、３２と、その間に挟まれるパッキン
板３４と、シャッタ板３６と、送りねじ機構を形成する
ねじ軸３８と、インジケ−タ４０と、その他の部材とを
有する。ボデ−板３０、３２には排気パイプ１６の内径
と同径の円孔４２、４４が形成されている。排気パイプ
１６はその一部が垂直な平面で切断されて、その切断部
には対向するフランジ４６、４８が固着されている。こ
れらのフランジ４６、４８はボデ−板３０、３２に接続
され、その時に排気パイプ１６、１６の内径が円孔４
２、４４に一致するようになっている。
【００１３】パッキン板３４には円孔４２、４４の間か
ら下方へ広がるように切り抜いた窓５０が形成され、シ
ャッタ板３６はこの窓５０内で上下動可能となる。ねじ
軸３８は円孔４２、４４の外側で垂直になるように両ボ
デー板３０、３２間に保持される。このねじ軸３８には
ナット部材５２が螺合し、このナット部材５２にシャッ
タ板３６の側縁がシャッタ板３６の上縁付近の高さでビ
ス止めされている。このねじ軸３８とナット部材５２と
は公知の送りねじ機構を形成するものである。ねじ軸３
８の上部はボデー板３０、３２から上方へ突出し、この
突出端につまみ５４が固定されている。
ら下方へ広がるように切り抜いた窓５０が形成され、シ
ャッタ板３６はこの窓５０内で上下動可能となる。ねじ
軸３８は円孔４２、４４の外側で垂直になるように両ボ
デー板３０、３２間に保持される。このねじ軸３８には
ナット部材５２が螺合し、このナット部材５２にシャッ
タ板３６の側縁がシャッタ板３６の上縁付近の高さでビ
ス止めされている。このねじ軸３８とナット部材５２と
は公知の送りねじ機構を形成するものである。ねじ軸３
８の上部はボデー板３０、３２から上方へ突出し、この
突出端につまみ５４が固定されている。
【００１４】なお図４には省かれているが、このねじ軸
３８の下端には環状のゴムブッシュ５６（図２の（Ａ）
参照）が嵌め込まれ、このねじ軸３８の回転に抵抗力を
付与している。インジケータ４０は針金状の棒で作ら
れ、下端はシャッタ板３６上縁に固定されている。イン
ジケータ４０はボデー板３０、３２の円孔４２、４４の
内側を通り、一方のボデー板３２に設けた垂直な切欠き
溝６０（図３、図４参照）を通り、その上部はボデー板
３０、３２の上方へ突出している。このように両ボデー
板３０、３２は、その間にパッキン板３４、シャッタ板
３６、ねじ軸３８、ナット部材５２、ブッシュ５６など
を装着して互いにボルト（図示せず）により結合され
る。
３８の下端には環状のゴムブッシュ５６（図２の（Ａ）
参照）が嵌め込まれ、このねじ軸３８の回転に抵抗力を
付与している。インジケータ４０は針金状の棒で作ら
れ、下端はシャッタ板３６上縁に固定されている。イン
ジケータ４０はボデー板３０、３２の円孔４２、４４の
内側を通り、一方のボデー板３２に設けた垂直な切欠き
溝６０（図３、図４参照）を通り、その上部はボデー板
３０、３２の上方へ突出している。このように両ボデー
板３０、３２は、その間にパッキン板３４、シャッタ板
３６、ねじ軸３８、ナット部材５２、ブッシュ５６など
を装着して互いにボルト（図示せず）により結合され
る。
【００１５】従ってねじ軸３８のつまみ５４を回転すれ
ば送りねじ機構によってナット部材５２が上下動し、こ
のナット部材５２と一体のシャッタ板３６が上下動す
る。このシャッタ板３６は上昇すると円孔４２、４４の
間に入って排気パイプ１６の開口面積を次第に減少させ
る。シャッタ板３６が下降すると、シャッタ板３６は円
孔４２、４４の間から下方へ次第に退出し、排気パイプ
１６の開口面積を増大させる。
ば送りねじ機構によってナット部材５２が上下動し、こ
のナット部材５２と一体のシャッタ板３６が上下動す
る。このシャッタ板３６は上昇すると円孔４２、４４の
間に入って排気パイプ１６の開口面積を次第に減少させ
る。シャッタ板３６が下降すると、シャッタ板３６は円
孔４２、４４の間から下方へ次第に退出し、排気パイプ
１６の開口面積を増大させる。
【００１６】このシャッタ板３６の上下動と共に、イン
ジケ−タ４０は上下動する。このためその上端の位置す
なわちインジケ−タ４０のボデ−板３０、３２からの突
出量の変化を目視することにより、シャッタ板３６の位
置すなわち開口面積を容易に知ることができる。
ジケ−タ４０は上下動する。このためその上端の位置す
なわちインジケ−タ４０のボデ−板３０、３２からの突
出量の変化を目視することにより、シャッタ板３６の位
置すなわち開口面積を容易に知ることができる。
【００１７】図５は大径の排気パイプ１８に取付けるダ
ンパ装置２８を示すもので、同図（Ａ）は正面図、同図
（Ｂ）は側面図である。このダンパ装置２８は前記した
ダンパ装置２６と基本的に同じ構造を持つ。異なるのは
インジケ−タ４０Ａの取付け位置が円孔４２、４４と干
渉しない位置になった点だけである。従って同一部分に
同一符号を付すことによりその説明は繰り返さない。
ンパ装置２８を示すもので、同図（Ａ）は正面図、同図
（Ｂ）は側面図である。このダンパ装置２８は前記した
ダンパ装置２６と基本的に同じ構造を持つ。異なるのは
インジケ−タ４０Ａの取付け位置が円孔４２、４４と干
渉しない位置になった点だけである。従って同一部分に
同一符号を付すことによりその説明は繰り返さない。
【００１８】
【発明の効果】請求項１の発明は以上のように、一対の
ボデ−板間にシャッタ板を上下動可能に設け、このシャ
ッタ板を送りねじ機構によって上下動させることによ
り、通気パイプの開口面積を調整するものであるから、
送りねじ機構を形成するねじ軸の回転量によってシャッ
タ板を連続的に上下に位置決めすることができる。この
ため通気パイプの開口面積を調整し易く、特に小さい開
口面積でも正確な調整が可能である。
ボデ−板間にシャッタ板を上下動可能に設け、このシャ
ッタ板を送りねじ機構によって上下動させることによ
り、通気パイプの開口面積を調整するものであるから、
送りねじ機構を形成するねじ軸の回転量によってシャッ
タ板を連続的に上下に位置決めすることができる。この
ため通気パイプの開口面積を調整し易く、特に小さい開
口面積でも正確な調整が可能である。
【００１９】またシャッタ板と共に上下動するインジケ
ータを設けたので、外から開口面積を容易に目視により
確認できる。ここにシャッタ板は円孔内に下方から進入
するようにし、シャッタ板の上縁付近の高さに送りねじ
機構のナット部材を設け、インジケータ棒は円孔の内側
を通るようにシャッタ板の上縁付近に係合させたから、
シャッタ板の振動を防ぎ、通風量の正確な調整が可能に
なる。
ータを設けたので、外から開口面積を容易に目視により
確認できる。ここにシャッタ板は円孔内に下方から進入
するようにし、シャッタ板の上縁付近の高さに送りねじ
機構のナット部材を設け、インジケータ棒は円孔の内側
を通るようにシャッタ板の上縁付近に係合させたから、
シャッタ板の振動を防ぎ、通風量の正確な調整が可能に
なる。
【図１】乾燥炉の平面図
【図２】ダンパ装置の一例を示す図
【図３】図２の（Ａ）における III−III 線断面図
【図４】本発明の概念を示す分解斜視図
【図５】他の実施例を示す図
１６、１８ 排気パイプ（通気パイプ） ２６、２８ ダンパ装置 ３０、３２ ボデー板 ３４ パッキン板 ３６ シャッタ板 ３８ ねじ軸 ４０、４０Ａ インジケータ棒 ４２、４４ 円孔 ５０ 窓 ５２ ナット部材
Claims (1)
- 【請求項１】 空気ポンプに接続された通気パイプに設
けられ風量を制御する風量調整ダンパ装置において、前
記通気パイプに直交し通気パイプと同径の円孔が形成さ
れた一対のボデー板と、これらボデー板の間に挟持され
たパッキン板と、このパッキン板に前記円孔の間から下
方へ広がるように切り抜いた窓内で上下動可能に保持さ
れたシャッタ板と、前記円孔の外側で前記ボデー板の間
に略垂直かつ回転自在に保持され一端がこのボデー板か
ら突出し前記シャッタ板の上縁付近の高さに設けたナッ
ト部材を送りねじ機構によって上下動させるねじ軸と、
下端が前記シャッタ板の上縁付近に係合し一部が前記円
孔の内側を通り上部が前記ボデー板より上方へ突出した
針金状のインジケータ棒とを備え、前記インジケータ棒
の突出量から前記シャッタ板の開閉量を目視可能とした
ことを特徴とする風量調整ダンパ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09607492A JP3233975B2 (ja) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | 風量調整ダンパ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09607492A JP3233975B2 (ja) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | 風量調整ダンパ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05272797A JPH05272797A (ja) | 1993-10-19 |
| JP3233975B2 true JP3233975B2 (ja) | 2001-12-04 |
Family
ID=14155262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09607492A Expired - Lifetime JP3233975B2 (ja) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | 風量調整ダンパ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3233975B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1114131A (ja) * | 1997-06-20 | 1999-01-22 | Mitsubishi Electric Corp | 給排気口 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100622010B1 (ko) * | 2004-12-31 | 2006-09-18 | 위니아만도 주식회사 | 에어컨의 오토셔터 작동장치 |
| KR100779236B1 (ko) * | 2006-05-30 | 2007-11-23 | 세메스 주식회사 | 베이크 장치 |
| EP2267374A4 (en) * | 2008-02-27 | 2015-01-14 | Daikin Ind Ltd | AIR CONDITIONING |
| FI124864B (fi) * | 2011-01-25 | 2015-02-27 | Fläkt Woods AB | Ilmanvaihtolaitteen säätölevyn säätö- ja lukituselin |
| CN102162537A (zh) * | 2011-04-25 | 2011-08-24 | 中铁二院工程集团有限责任公司 | 幕帘风阀 |
-
1992
- 1992-03-24 JP JP09607492A patent/JP3233975B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1114131A (ja) * | 1997-06-20 | 1999-01-22 | Mitsubishi Electric Corp | 給排気口 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05272797A (ja) | 1993-10-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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