JP3229901B2 - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
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- JP3229901B2 JP3229901B2 JP02440493A JP2440493A JP3229901B2 JP 3229901 B2 JP3229901 B2 JP 3229901B2 JP 02440493 A JP02440493 A JP 02440493A JP 2440493 A JP2440493 A JP 2440493A JP 3229901 B2 JP3229901 B2 JP 3229901B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は表面検査装置に係り、特
に得られた撮像信号を２値化処理することにより異物の
有無等を判別する表面検査装置に関する。
に得られた撮像信号を２値化処理することにより異物の
有無等を判別する表面検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、成形品の異物検査は画像処理を用
いた表面検査装置より行なわれている。
いた表面検査装置より行なわれている。
【０００３】図５に従来の表面検査装置の概要構成を示
す。表面検査装置３０は、検査対象物であるスプーン３
１の正面側（図面上、右側）から照明を行なう反射照明
装置３２と、スプーン３１の正面側から撮像してビデオ
信号ＳV を出力するカメラ３３と、ビデオ信号ＳV に基
づいて表面検査処理を行なう処理装置３４と、処理結果
である２値化画像データ等を表示するＣＲＴ等のディス
プレイ３５と、各種データを入力するキーボード等の入
力装置３６と、を備えて構成されている。
す。表面検査装置３０は、検査対象物であるスプーン３
１の正面側（図面上、右側）から照明を行なう反射照明
装置３２と、スプーン３１の正面側から撮像してビデオ
信号ＳV を出力するカメラ３３と、ビデオ信号ＳV に基
づいて表面検査処理を行なう処理装置３４と、処理結果
である２値化画像データ等を表示するＣＲＴ等のディス
プレイ３５と、各種データを入力するキーボード等の入
力装置３６と、を備えて構成されている。
【０００４】処理装置３４は、ビデオ信号ＳV を２値化
して２値化画像データＤB ’として出力する２値化回路
３７と、２値化画像データＤB ’、演算結果データ等の
各種データを記憶するメモリ３８と、処理装置３４全体
を制御する制御回路３９と、を備えて構成されている。
して２値化画像データＤB ’として出力する２値化回路
３７と、２値化画像データＤB ’、演算結果データ等の
各種データを記憶するメモリ３８と、処理装置３４全体
を制御する制御回路３９と、を備えて構成されている。
【０００５】検査対象物であるスプーン３１は、図７に
示すように、粉ミルクを計量するための深底形状のカッ
プ部と、裏面にスプーン強度補強用のリブを有し、ユー
ザが当該スプーンを握持するための柄部と、を備えて構
成されている。
示すように、粉ミルクを計量するための深底形状のカッ
プ部と、裏面にスプーン強度補強用のリブを有し、ユー
ザが当該スプーンを握持するための柄部と、を備えて構
成されている。
【０００６】次に動作を説明する。カメラ３３で取込ん
だ原画像が図６（ａ）に示すようなものである場合、カ
メラ３３から出力されるＡ’―Ａ’部分に相当するビデ
オ信号ＳV は図６（ｂ）に示すようなものとなる。この
ビデオ信号を２値化回路３７により、予め定めた２値化
レベルを用いて、２値化し、その結果に基づいて制御回
路３９が異物の有無の判定を行なっていた。
だ原画像が図６（ａ）に示すようなものである場合、カ
メラ３３から出力されるＡ’―Ａ’部分に相当するビデ
オ信号ＳV は図６（ｂ）に示すようなものとなる。この
ビデオ信号を２値化回路３７により、予め定めた２値化
レベルを用いて、２値化し、その結果に基づいて制御回
路３９が異物の有無の判定を行なっていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この表面検
査装置において、成形品のエッジ部分（成形品の外郭部
部分）は、検査精度の低下等から、検査対象（あるいは
検査範囲）から除外することが多い。
査装置において、成形品のエッジ部分（成形品の外郭部
部分）は、検査精度の低下等から、検査対象（あるいは
検査範囲）から除外することが多い。
【０００８】例えば、このＡ’―Ａ’部分のビデオ信号
ＳV を２値化回路３７により、所定の２値化レベル（し
きい値）ＬA で２値化した場合を想定すると、カメラ３
３側からみて検査対象物であるスプーン３１と背景の濃
淡差があるため、図６（ｃ）に示すように、背景部分は
異物のある部分と同一の値を有することとなり、自動検
査を行なう際には、検査対象範囲であるウィンドウを設
けて、当該ウィンドウ内のみで異物の有無を判別する必
要があった。このウィンドウは、成形品の形状誤差、検
査時の位置ずれ等を含めて、実際の成形品のエッジ部分
（外郭部）よりも小さく設定されているため、エッジ部
分に異物が付着しているような場合でも、良品と判別さ
れてしまう可能性があった。
ＳV を２値化回路３７により、所定の２値化レベル（し
きい値）ＬA で２値化した場合を想定すると、カメラ３
３側からみて検査対象物であるスプーン３１と背景の濃
淡差があるため、図６（ｃ）に示すように、背景部分は
異物のある部分と同一の値を有することとなり、自動検
査を行なう際には、検査対象範囲であるウィンドウを設
けて、当該ウィンドウ内のみで異物の有無を判別する必
要があった。このウィンドウは、成形品の形状誤差、検
査時の位置ずれ等を含めて、実際の成形品のエッジ部分
（外郭部）よりも小さく設定されているため、エッジ部
分に異物が付着しているような場合でも、良品と判別さ
れてしまう可能性があった。
【０００９】また、上記可能性を除去するため、Ａ’―
Ａ’部分のビデオ信号ＳV を２値化回路３７により、所
定の２値化レベルＬB で２値化した場合を想定すると、
図６（ｄ）に示すように、スプーンの背景部分はマスク
されることとなるが、同時にスプーンのエッジ部分及び
微小な異物もマスクされてしまうこととなる。
Ａ’部分のビデオ信号ＳV を２値化回路３７により、所
定の２値化レベルＬB で２値化した場合を想定すると、
図６（ｄ）に示すように、スプーンの背景部分はマスク
されることとなるが、同時にスプーンのエッジ部分及び
微小な異物もマスクされてしまうこととなる。
【００１０】上述のように、上記従来の表面検査装置に
おいては、成形品全面にわたる高精度の検査が困難であ
り、より高精度の検査を行なうためには製品形状に応じ
た検査ウィンドウサイズ、２値化レベルの設定および製
品位置ずれに対応する検査ウィンドウ位置の補正という
複雑な処理が必要となるという問題点があった。
おいては、成形品全面にわたる高精度の検査が困難であ
り、より高精度の検査を行なうためには製品形状に応じ
た検査ウィンドウサイズ、２値化レベルの設定および製
品位置ずれに対応する検査ウィンドウ位置の補正という
複雑な処理が必要となるという問題点があった。
【００１１】そこで、本発明の目的は、製品形状等に左
右されることなく製品全面にわたる高精度の検査を容易
に行なうことができる表面検査装置を提供することにあ
る。
右されることなく製品全面にわたる高精度の検査を容易
に行なうことができる表面検査装置を提供することにあ
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、検査対象物をカメラで撮像し、得られた
撮像信号に基づいて表面検査を行なう表面検査装置にお
いて、前記検査対象物を前記カメラ側の第１の方向から
照明する第１照明手段と、前記検査対象物を当該検査対
象物を介して前記第１の方向とはほぼ逆方向から照明す
る第２照明手段と、前記検査対象物の輪郭部分に相当す
る前記撮像信号レベルが、前記検査対象物の背景部分の
前記撮像信号レベルとほぼ等しくなるように、前記第１
照明手段及び前記第２照明手段を制御して、光量調整を
行なう照明制御手段と、前記撮像信号を微分して微分撮
像信号として出力する微分手段と、前記微分撮像信号を
２値化して２値化データとして出力する２値化手段と、
前記２値化データに基づいて良否判別を行なう判別手段
と、を備えて構成する。
め、本発明は、検査対象物をカメラで撮像し、得られた
撮像信号に基づいて表面検査を行なう表面検査装置にお
いて、前記検査対象物を前記カメラ側の第１の方向から
照明する第１照明手段と、前記検査対象物を当該検査対
象物を介して前記第１の方向とはほぼ逆方向から照明す
る第２照明手段と、前記検査対象物の輪郭部分に相当す
る前記撮像信号レベルが、前記検査対象物の背景部分の
前記撮像信号レベルとほぼ等しくなるように、前記第１
照明手段及び前記第２照明手段を制御して、光量調整を
行なう照明制御手段と、前記撮像信号を微分して微分撮
像信号として出力する微分手段と、前記微分撮像信号を
２値化して２値化データとして出力する２値化手段と、
前記２値化データに基づいて良否判別を行なう判別手段
と、を備えて構成する。
【００１３】
【作用】本発明によれば、照明制御手段の制御下で、第
１照明手段は、検査対象物をカメラ側の第１の方向から
照明し、第２の照明手段は、検査対象物を当該検査対象
物を介して第１の方向とはほぼ逆方向から照明する。
１照明手段は、検査対象物をカメラ側の第１の方向から
照明し、第２の照明手段は、検査対象物を当該検査対象
物を介して第１の方向とはほぼ逆方向から照明する。
【００１４】このとき、照明制御手段は、検査対象物の
輪郭部分に相当する撮像信号レベルが、検査対象物の背
景部分の撮像信号レベルとほぼ等しくなるように制御す
る。一方、微分手段は、撮像信号を微分して微分撮像信
号として出力し、２値化手段はこの微分撮像信号を２値
化して２値化データとして出力する。
輪郭部分に相当する撮像信号レベルが、検査対象物の背
景部分の撮像信号レベルとほぼ等しくなるように制御す
る。一方、微分手段は、撮像信号を微分して微分撮像信
号として出力し、２値化手段はこの微分撮像信号を２値
化して２値化データとして出力する。
【００１５】これにより、判別手段はこの２値化データ
に基づいて検査対象物の良否判別を行なう。従って、検
査対象物の輪郭部分の２値化データと検査対象物の背景
部分の２値化データとは良品の場合に等しくなるので、
区別して取り扱う必要がなくなり、自動検査の際に検査
範囲であるウィンドウを設定する等の特別な処理を行な
わずに検査対象物の輪郭部分を含め全面にわたって検査
を行なえる。また、２値化データは、微分撮像信号に基
づいて生成しているので、緩やかに傾斜が変化する検査
対象物でも、容易に良否判別を行なうことができ、製品
形状に左右されることがなく、表面検査を行なえる。
に基づいて検査対象物の良否判別を行なう。従って、検
査対象物の輪郭部分の２値化データと検査対象物の背景
部分の２値化データとは良品の場合に等しくなるので、
区別して取り扱う必要がなくなり、自動検査の際に検査
範囲であるウィンドウを設定する等の特別な処理を行な
わずに検査対象物の輪郭部分を含め全面にわたって検査
を行なえる。また、２値化データは、微分撮像信号に基
づいて生成しているので、緩やかに傾斜が変化する検査
対象物でも、容易に良否判別を行なうことができ、製品
形状に左右されることがなく、表面検査を行なえる。
【００１６】
【実施例】次に図１乃至図４及び図７を参照して本発明
の好適な実施例を説明する。図１に検査対象物である粉
ミルク計量用のスプーンを検査する表面検査装置の概要
構成を示す。
の好適な実施例を説明する。図１に検査対象物である粉
ミルク計量用のスプーンを検査する表面検査装置の概要
構成を示す。
【００１７】表面検査装置１は、スプーン２の正面側
（図面上、右側）から照明を行なうリングライト等の反
射照明装置３と、スプーン２の背面側から照明を行なう
背景照明装置４と、スプーン２の正面側から撮像してビ
デオ信号ＳV を出力するカメラ５と、ビデオ信号ＳV に
基づいて表面検査処理を行なう処理装置６と、処理結果
である２値化画像データ等を表示するＣＲＴ等のディス
プレイ７と、処理装置６の制御下で反射照明装置３及び
背景照明装置４の照明制御を行なう照明制御装置８と、
各種データを入力するキーボード等の入力装置９と、を
備えて構成されている。
（図面上、右側）から照明を行なうリングライト等の反
射照明装置３と、スプーン２の背面側から照明を行なう
背景照明装置４と、スプーン２の正面側から撮像してビ
デオ信号ＳV を出力するカメラ５と、ビデオ信号ＳV に
基づいて表面検査処理を行なう処理装置６と、処理結果
である２値化画像データ等を表示するＣＲＴ等のディス
プレイ７と、処理装置６の制御下で反射照明装置３及び
背景照明装置４の照明制御を行なう照明制御装置８と、
各種データを入力するキーボード等の入力装置９と、を
備えて構成されている。
【００１８】処理装置６は、ビデオ信号ＳV を微分して
微分ビデオ信号ＳD を出力する微分回路１０と、微分ビ
デオ信号ＳD を２値化して２値化画像データＤB として
出力する２値化回路１１と、２値化画像データＤB 、演
算結果データ等の各種データを記憶するメモリ１２と、
処理装置６全体を制御する制御回路１３と、を備えて構
成されている。
微分ビデオ信号ＳD を出力する微分回路１０と、微分ビ
デオ信号ＳD を２値化して２値化画像データＤB として
出力する２値化回路１１と、２値化画像データＤB 、演
算結果データ等の各種データを記憶するメモリ１２と、
処理装置６全体を制御する制御回路１３と、を備えて構
成されている。
【００１９】背景照明装置４は、背景照明光ＬＬを出射
する光源１４と、背景照明光ＬＬを拡散して均一な平面
光源とするための光拡散板１５と、を備えて構成されて
いる。
する光源１４と、背景照明光ＬＬを拡散して均一な平面
光源とするための光拡散板１５と、を備えて構成されて
いる。
【００２０】次に動作を説明する。１）検査準備 まず図２を参照して検査の準備について説明する。この
場合において、反射照明装置３の光量は予め設定した値
に固定しておくものとする。
場合において、反射照明装置３の光量は予め設定した値
に固定しておくものとする。
【００２１】所定位置に設置した検査対象物であるスプ
ーン２に対して反射照明装置３による反射照明のみを行
なった場合にカメラ５で取込んだ原画像が図２（ａ）に
示すものであるとすると、Ａ―Ａ部分を走査したときの
ビデオ信号ＳV は図２（ｂ）に示すようなものとなる。
ーン２に対して反射照明装置３による反射照明のみを行
なった場合にカメラ５で取込んだ原画像が図２（ａ）に
示すものであるとすると、Ａ―Ａ部分を走査したときの
ビデオ信号ＳV は図２（ｂ）に示すようなものとなる。
【００２２】このとき、ビデオ信号ＳV のスプーン２の
背景部分の信号レベルＬ1 と、スプーン２のエッジ部分
（図２（ａ）中、斜線で示す。）の信号レベルＬ2 が等
しくなるように、入力装置９、処理装置６を介して照明
制御装置８を制御して背景照明装置４の光量を調整す
る。
背景部分の信号レベルＬ1 と、スプーン２のエッジ部分
（図２（ａ）中、斜線で示す。）の信号レベルＬ2 が等
しくなるように、入力装置９、処理装置６を介して照明
制御装置８を制御して背景照明装置４の光量を調整す
る。
【００２３】この結果、ビデオ信号ＳV は、図２（ｃ）
に示すようなものとなり、スプーンのエッジ部分では信
号レベルが変化せず、異物２０存在位置のみ急激に信号
レベルが変化するように設定されることとなる。尚、実
際の表面検査の準備段階においては、良品を用いて準備
を行なうことが望ましい。２）表面検査 次に表面検査処理について説明する。
に示すようなものとなり、スプーンのエッジ部分では信
号レベルが変化せず、異物２０存在位置のみ急激に信号
レベルが変化するように設定されることとなる。尚、実
際の表面検査の準備段階においては、良品を用いて準備
を行なうことが望ましい。２）表面検査 次に表面検査処理について説明する。
【００２４】検査準備により、検査対象物であるスプー
ン２の背景部分の信号レベルＬ1 と、エッジ部分の信号
レベルＬ2 が等しくなったら、表面検査を開始する。カ
メラ５で取込んだ原画像が図３（ａ）に示すようなもの
である場合、カメラ５から出力されるＡ―Ａ部分に相当
するビデオ信号ＳV は３（ｂ）に示すようなものとな
る。
ン２の背景部分の信号レベルＬ1 と、エッジ部分の信号
レベルＬ2 が等しくなったら、表面検査を開始する。カ
メラ５で取込んだ原画像が図３（ａ）に示すようなもの
である場合、カメラ５から出力されるＡ―Ａ部分に相当
するビデオ信号ＳV は３（ｂ）に示すようなものとな
る。
【００２５】このＡ―Ａ部分のビデオ信号ＳV を微分回
路１０により微分すると、微分ビデオ信号ＳD は図３
（ｃ）に示すようなものとなり、信号レベルが急激に変
化した点、すなわち、異物により明るさが減少した部分
が検出される。
路１０により微分すると、微分ビデオ信号ＳD は図３
（ｃ）に示すようなものとなり、信号レベルが急激に変
化した点、すなわち、異物により明るさが減少した部分
が検出される。
【００２６】同様にして、原画像の全てのビデオ信号Ｓ
V を微分し、所定の２値化レベル（しきい値）で２値化
すると図３（ｄ）に示す画像データが得られ、この２値
化画像データに基づいて、制御回路１３が良品か不良品
かを示す判別信号ＤＥＴを出力するので、この判別信号
ＤＥＴに基づいて容易に異物を検出することが可能とな
る。
V を微分し、所定の２値化レベル（しきい値）で２値化
すると図３（ｄ）に示す画像データが得られ、この２値
化画像データに基づいて、制御回路１３が良品か不良品
かを示す判別信号ＤＥＴを出力するので、この判別信号
ＤＥＴに基づいて容易に異物を検出することが可能とな
る。
【００２７】次に上記表面検査装置をスプーン製造工程
後の全面自動検査工程に用いた場合について図４を参照
して説明する。まず、射出成形装置で成形されたスプー
ンは、表面検査装置に搬送され、所定の治具により、カ
ップ部の凸部を上側にしてカップ部をクランプされる。
後の全面自動検査工程に用いた場合について図４を参照
して説明する。まず、射出成形装置で成形されたスプー
ンは、表面検査装置に搬送され、所定の治具により、カ
ップ部の凸部を上側にしてカップ部をクランプされる。
【００２８】そのまま、第１の検査工程（図中、丸数字
で示す。以下、同様。）に搬送され、柄の先端部の表面
側（正面側）を第１の表面検査装置のカメラＣにより撮
像して上述したような手順で表面検査を行なう。
で示す。以下、同様。）に搬送され、柄の先端部の表面
側（正面側）を第１の表面検査装置のカメラＣにより撮
像して上述したような手順で表面検査を行なう。
【００２９】次に、第２の検査工程に搬送され、第１の
表面検査装置のカメラとは反対側に設置したカメラを有
する第２の表面検査装置により柄の先端部の裏面側（背
面側）の表面検査を行なう。
表面検査装置のカメラとは反対側に設置したカメラを有
する第２の表面検査装置により柄の先端部の裏面側（背
面側）の表面検査を行なう。
【００３０】つづいて、スプーンは検査待ちのスプーン
を一時的に蓄える中間バッファを介して、第３の検査工
程に搬送され、第１の表面検査装置と同構成の第３の表
面検査装置によりスプーンの中間部分（柄の根元部）の
表面側の表面検査を行なう。
を一時的に蓄える中間バッファを介して、第３の検査工
程に搬送され、第１の表面検査装置と同構成の第３の表
面検査装置によりスプーンの中間部分（柄の根元部）の
表面側の表面検査を行なう。
【００３１】次にスプーンは第４の検査工程に搬送さ
れ、図面上側に斜め方向に配置された２台のカメラを有
する第４の表面検査装置によりスプーンの中間部分（柄
の根元部）の裏面側の表面検査を行なう。この場合にお
いて２台のカメラで検査を行なうのは、図７（ｂ）及び
図７（ｃ）に示したように、柄の裏面側には、リブが垂
直に形成されており、リブの側面部に異物が付着してい
るような場合に１台の垂直方向に設置したカメラでは検
出することができないからである。
れ、図面上側に斜め方向に配置された２台のカメラを有
する第４の表面検査装置によりスプーンの中間部分（柄
の根元部）の裏面側の表面検査を行なう。この場合にお
いて２台のカメラで検査を行なうのは、図７（ｂ）及び
図７（ｃ）に示したように、柄の裏面側には、リブが垂
直に形成されており、リブの側面部に異物が付着してい
るような場合に１台の垂直方向に設置したカメラでは検
出することができないからである。
【００３２】つづいて、次の工程でスプーンは他の治具
により、柄の部分がクランプされる。クランプ終了後、
第５の検査工程に搬送され、第４の表面検査装置と同構
成の第５の表面検査装置により、カップ部の表面側の検
査を行なう。この場合も、２台のカメラを用いて検査を
行なうのは、図７（ｄ）に示すようにカップ部の側面も
垂直に切り立っており、カップ部内面の側面部に付着し
た異物を検出するためである。
により、柄の部分がクランプされる。クランプ終了後、
第５の検査工程に搬送され、第４の表面検査装置と同構
成の第５の表面検査装置により、カップ部の表面側の検
査を行なう。この場合も、２台のカメラを用いて検査を
行なうのは、図７（ｄ）に示すようにカップ部の側面も
垂直に切り立っており、カップ部内面の側面部に付着し
た異物を検出するためである。
【００３３】さらに第６の検査工程に搬送され、第４、
第５の表面検査装置と同構成の第６の表面検査装置によ
り、カップ部の裏面側の検査を行なう。同様にして、こ
の場合も、２台のカメラを用いて検査を行なうのは、カ
ップ部の外面の側面部に付着した異物を検出するためで
ある。
第５の表面検査装置と同構成の第６の表面検査装置によ
り、カップ部の裏面側の検査を行なう。同様にして、こ
の場合も、２台のカメラを用いて検査を行なうのは、カ
ップ部の外面の側面部に付着した異物を検出するためで
ある。
【００３４】以上の表面検査終了後の、スプーンは、リ
ジェクト工程に搬送され、判別信号ＤＥＴにより異物が
検出されたスプーンはリジェクトされ、残った良品は次
の工程へと搬送されることとなる。
ジェクト工程に搬送され、判別信号ＤＥＴにより異物が
検出されたスプーンはリジェクトされ、残った良品は次
の工程へと搬送されることとなる。
【００３５】以上の説明のように本実施例によれば、垂
直に切り立った面を有するような検査対象物であって
も、自動的に全面について表面検査を行なうことがで
き、表面検査の手間及び検査時間を削減するとともに、
確実に表面検査を行なうことができる。
直に切り立った面を有するような検査対象物であって
も、自動的に全面について表面検査を行なうことがで
き、表面検査の手間及び検査時間を削減するとともに、
確実に表面検査を行なうことができる。
【００３６】以上の実施例においては、検査準備の段階
で、反射照明を点灯した状態で、背景照明を調整した
が、逆に背景照明を点灯した状態で反射照明を調整した
り、双方とも点灯した状態で相対的に照明を調整するよ
うに構成することも可能である。また、反射照明及び背
景照明はそれぞれ１個の光源であっても良いし、複数の
光源であっても良い。
で、反射照明を点灯した状態で、背景照明を調整した
が、逆に背景照明を点灯した状態で反射照明を調整した
り、双方とも点灯した状態で相対的に照明を調整するよ
うに構成することも可能である。また、反射照明及び背
景照明はそれぞれ１個の光源であっても良いし、複数の
光源であっても良い。
【００３７】
【発明の効果】本発明によれば、検査対象物の輪郭部分
の２値化データと検査対象物の背景部分の２値化データ
とは良品の場合に等しくなるので、区別して取り扱う必
要がなくなり、自動検査の際に検査範囲であるウィンド
ウを設定する等の特別な処理を行なわずに検査対象物の
輪郭部分を含め全面にわたって検査を行なうことができ
る。また、２値化データは、微分撮像信号に基づいて生
成しているので、緩やかに傾斜が変化するような検査対
象物でも、容易に良否判別を行なうことができ、製品形
状に左右されることがなく、表面検査を行なうことがで
きる。
の２値化データと検査対象物の背景部分の２値化データ
とは良品の場合に等しくなるので、区別して取り扱う必
要がなくなり、自動検査の際に検査範囲であるウィンド
ウを設定する等の特別な処理を行なわずに検査対象物の
輪郭部分を含め全面にわたって検査を行なうことができ
る。また、２値化データは、微分撮像信号に基づいて生
成しているので、緩やかに傾斜が変化するような検査対
象物でも、容易に良否判別を行なうことができ、製品形
状に左右されることがなく、表面検査を行なうことがで
きる。
【図１】実施例の表面検査装置の概要構成を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図２】検査準備処理を説明する図である。
【図３】実施例の表面検査処理を説明する図である。
【図４】実施例の表面検査装置を全面自動検査工程に用
いた場合の工程説明図である。
いた場合の工程説明図である。
【図５】従来の表面検査装置の概要構成を示すブロック
図である。
図である。
【図６】従来の表面検査処理を説明する図である。
【図７】検査対象物であるスプーンの形状を説明する図
である。
である。
１…表面検査装置 ２…スプーン ３…反射照明装置 ４…背景照明装置 ５…カメラ ６…処理装置 ７…ディスプレイ ８…照明制御装置 ９…入力装置 １０…微分回路 １１…２値化回路 １２…メモリ １３…制御回路 １４…光源 １５…光拡散板
Claims (1)
- 【請求項１】 検査対象物をカメラで撮像し、得られた
撮像信号に基づいて表面検査を行なう表面検査装置にお
いて、 前記検査対象物を前記カメラ側の第１の方向から照明す
る第１照明手段と、 前記検査対象物を当該検査対象物を介して前記第１の方
向とはほぼ逆方向から照明する第２照明手段と、 前記検査対象物の輪郭部分に相当する前記撮像信号レベ
ルが、前記検査対象物の背景部分の前記撮像信号レベル
とほぼ等しくなるように、前記第１照明手段及び前記第
２照明手段を制御して、光量調整を行なう照明制御手段
と、 前記撮像信号を微分して微分撮像信号として出力する微
分手段と、 前記微分撮像信号を２値化して２値化データとして出力
する２値化手段と、 前記２値化データに基づいて良否判別を行なう判別手段
と、 を備えたことを特徴とする表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02440493A JP3229901B2 (ja) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02440493A JP3229901B2 (ja) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | 表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06242018A JPH06242018A (ja) | 1994-09-02 |
| JP3229901B2 true JP3229901B2 (ja) | 2001-11-19 |
Family
ID=12137236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02440493A Expired - Lifetime JP3229901B2 (ja) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3229901B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004219122A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Dainippon Printing Co Ltd | 異物不良の検査装置および検査方法 |
| KR102514005B1 (ko) * | 2021-04-29 | 2023-03-27 | 주식회사 아이파워 | 차박용 침대 구조체 |
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| JP2006226715A (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-31 | Dainippon Printing Co Ltd | 外観検査装置 |
| JP5601984B2 (ja) * | 2010-11-16 | 2014-10-08 | 東洋鋼鈑株式会社 | 多孔板表面検査方法及び多孔板表面検査装置 |
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-
1993
- 1993-02-12 JP JP02440493A patent/JP3229901B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JP2004219122A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Dainippon Printing Co Ltd | 異物不良の検査装置および検査方法 |
| KR102514005B1 (ko) * | 2021-04-29 | 2023-03-27 | 주식회사 아이파워 | 차박용 침대 구조체 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06242018A (ja) | 1994-09-02 |
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