JP3228218U - 受光素子ユニット - Google Patents
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Abstract
【課題】異なる波長域の光を受光しつつ小型軽量化可能な受光素子ユニットを提供する。【解決手段】Si基板31の主面側に第1受光領域32を有する第1の受光素子3と、InP基板41の主面側に第2受光領域42を有する第2の受光素子4と、第1、第2の受光素子3、4を支持する支持基板2とを備えた受光素子ユニット1において、第1の受光素子3は裏面から第1受光領域32側に向かって凹状に形成された収容部5を有し、第2の受光素子4は収容部5に収容され、収容部5は、支持基板2に向かい合う上壁部34と、上壁部34の外周部の全てではなく一部を支持基板2に連結する縦壁部35とで形成され、縦壁部35は、第2の受光素子4を挟んで向かい合う1対の第1縦壁部35aと、これら1対の第1縦壁部35aの一端部同士を連結する第2縦壁部とで構成されている。【選択図】図3
Description
本考案は、広域の波長の光を検知するために、異なる波長域の光を電気信号に変換する2種類の受光素子を有する受光素子ユニットに関する。
従来から、広域の波長の光を検知して電気信号に変換するために、検知する波長が異なる複数の受光素子を有する受光素子ユニットが利用されている。このような受光素子ユニットは、複数の受光素子を例えば支持基板上に並べて形成され、入射光の入射軸が受光素子毎に異なっている。光ファイバを利用する光通信では、波長が異なる光信号が同じ光ファイバを介して送信され、光ファイバの受信側端部から出射される。この光通信に上記の受光素子ユニットを使用する場合には、波長に応じて分光して対応する受光素子に入射させる。
複数の受光素子を有する受光素子ユニットは、受光素子を並べると幅(面積)が大きくなり、分光する機構も必要であるため、2つの受光素子が重畳するように配置される。
本出願人も、受光素子ユニットについて既に特許出願している(特許文献1参照)。
特許文献1の技術は、第1半導体基板の主面側に第1受光領域を有する第1の受光素子と、第2半導体基板の主面側に第2受光領域を有する第2の受光素子と、第1の受光素子と第2の受光素子を支持する支持基板とを備え、第1の受光素子はその主面と反対側の裏面から第1受光領域側に向かって凹状に形成された凹部を有し、第2の受光素子は前記凹部に収容され、第1受光領域は第1波長領域の光信号を電気信号に変換すると共に、第2受光領域は第1波長領域とは異なる第2波長領域の光信号を電気信号に変換する。
本出願人も、受光素子ユニットについて既に特許出願している(特許文献1参照)。
特許文献1の技術は、第1半導体基板の主面側に第1受光領域を有する第1の受光素子と、第2半導体基板の主面側に第2受光領域を有する第2の受光素子と、第1の受光素子と第2の受光素子を支持する支持基板とを備え、第1の受光素子はその主面と反対側の裏面から第1受光領域側に向かって凹状に形成された凹部を有し、第2の受光素子は前記凹部に収容され、第1受光領域は第1波長領域の光信号を電気信号に変換すると共に、第2受光領域は第1波長領域とは異なる第2波長領域の光信号を電気信号に変換する。
特許文献1の受光素子ユニットは、第1の受光素子に形成された四角錐台状の凹部内に第2の受光素子を収容している。この構成により、第2の受光素子の厚み方向寸法を第1の受光素子の厚み方向寸法内に吸収することができ、異なる波長域の光を受光可能な受光素子ユニットを小型化している。
しかし、特許文献1の技術では、第2の受光素子が第1半導体基板により外周全域に亙って覆われており、凹部が密閉構造に構成されていることから、受光素子ユニットの小型軽量化については、更に改善の余地が残されている。
しかし、特許文献1の技術では、第2の受光素子が第1半導体基板により外周全域に亙って覆われており、凹部が密閉構造に構成されていることから、受光素子ユニットの小型軽量化については、更に改善の余地が残されている。
本考案の目的は、小型軽量化可能な受光素子ユニット等を提供することである。
請求項1の受光素子ユニットは、第1半導体基板の主面側に第1受光領域を有する第1の受光素子と、第2半導体基板の主面側に第2受光領域を有する第2の受光素子と、前記第1の受光素子と前記第2の受光素子を支持する支持基板とを備えた受光素子ユニットにおいて、前記第1の受光素子はその主面と反対側の裏面から前記第1受光領域側に向かって凹状に形成された収容部を有し、前記第2の受光素子は前記収容部に収容され、前記収容部は、前記支持基板に向かい合う上壁部と、前記上壁部の外周部の一部を前記支持基板に連結する縦壁部とで形成され、前記縦壁部は、前記第2の受光素子を挟んで向かい合う1対の第1縦壁部と、これら1対の第1縦壁部の一端部同士を連結する第2縦壁部とで構成されたことを特徴としている。
この受光素子ユニットによれば、第1の受光素子はその主面と反対側の裏面から第1受光領域側に向かって凹状に形成された収容部を有し、第2の受光素子は収容部に収容されるため、波長域が異なる光を受光するために2つの受光素子を重ねて配置し、収容部により厚み方向寸法を抑えて受光素子ユニットを小型化することができる。
前記収容部は、支持基板に向かい合う上壁部と、上壁部の外周部の一部を支持基板に連結する縦壁部とで形成され、前記縦壁部は、第2の受光素子を挟んで向かい合う1対の第1縦壁部と、これら1対の第1縦壁部の一端部同士を連結する第2縦壁部とで構成されているため、上壁部の1辺に対応した縦壁部を省略することにより更なる小型軽量化を図ることができる。
前記収容部は、支持基板に向かい合う上壁部と、上壁部の外周部の一部を支持基板に連結する縦壁部とで形成され、前記縦壁部は、第2の受光素子を挟んで向かい合う1対の第1縦壁部と、これら1対の第1縦壁部の一端部同士を連結する第2縦壁部とで構成されているため、上壁部の1辺に対応した縦壁部を省略することにより更なる小型軽量化を図ることができる。
請求項2の受光素子ユニットは、第1半導体基板の主面側に第1受光領域を有する第1の受光素子と、第2半導体基板の主面側に第2受光領域を有する第2の受光素子と、前記第1の受光素子と前記第2の受光素子を支持する支持基板とを備えた受光素子ユニットにおいて、前記第1の受光素子はその主面と反対側の裏面から前記第1受光領域側に向かって凹状に形成された収容部を有し、前記第2の受光素子は前記収容部に収容され、前記収容部は、前記支持基板に向かい合う上壁部と、前記上壁部の外周部の一部を前記支持基板に連結する縦壁部とで形成され、前記縦壁部は、前記第2の受光素子を挟んで向かい合う1対の第3縦壁部で構成されたことを特徴としている。
この受光素子ユニットによれば、第1の受光素子はその主面と反対側の裏面から第1受光領域側に向かって凹状に形成された収容部を有し、第2の受光素子は収容部に収容されているため、波長域が異なる光を受光するために2つの受光素子を重ねて配置し、収容部により厚み方向寸法を抑えて受光素子ユニットを小型化することができる。
前記収容部は、支持基板に向かい合う上壁部と、上壁部の外周部の一部を支持基板に連結する縦壁部とで形成され、前記縦壁部は、第2の受光素子を挟んで向かい合う1対の第3縦壁部で構成されているため、上壁部の2辺に対応した縦壁部を省略することにより更なる小型軽量化を図ることができる。
前記収容部は、支持基板に向かい合う上壁部と、上壁部の外周部の一部を支持基板に連結する縦壁部とで形成され、前記縦壁部は、第2の受光素子を挟んで向かい合う1対の第3縦壁部で構成されているため、上壁部の2辺に対応した縦壁部を省略することにより更なる小型軽量化を図ることができる。
請求項3の受光素子ユニットは、第1半導体基板の主面側に第1受光領域を有する第1の受光素子と、第2半導体基板の主面側に第2受光領域を有する第2の受光素子と、前記第1の受光素子と前記第2の受光素子を支持する支持基板とを備えた受光素子ユニットにおいて、前記第1の受光素子はその主面と反対側の裏面から前記第1受光領域側に向かって凹状に形成された収容部を有し、前記第2の受光素子は前記収容部に収容され、前記収容部は、前記支持基板に向かい合うと共に平面視にて略矩形状に形成された上壁部と、前記上壁部の外周部の一部を前記支持基板に連結する縦壁部とで形成され、前記縦壁部は、前記上壁部の一辺に連なるように形成された第4縦壁部で構成されたことを特徴としている。
この受光素子ユニットによれば、第1の受光素子はその主面と反対側の裏面から第1受光領域側に向かって凹状に形成された収容部を有し、第2の受光素子は収容部に収容されているため、波長域が異なる光を受光するために2つの受光素子を重ねて配置し、収容部により厚み方向寸法を抑えて受光素子ユニットを小型化することができる。
前記収容部は、支持基板に向かい合うと共に平面視にて略矩形状に形成された上壁部と、上壁部の外周部の一部を支持基板に連結する縦壁部とで形成され、前記縦壁部は、上壁部の一辺に連なるように形成された第4縦壁部で構成されているため、収容部の形成が容易になり、上壁部の3辺に対応した縦壁部を省略することにより更なる小型軽量化を図ることができる。
前記収容部は、支持基板に向かい合うと共に平面視にて略矩形状に形成された上壁部と、上壁部の外周部の一部を支持基板に連結する縦壁部とで形成され、前記縦壁部は、上壁部の一辺に連なるように形成された第4縦壁部で構成されているため、収容部の形成が容易になり、上壁部の3辺に対応した縦壁部を省略することにより更なる小型軽量化を図ることができる。
請求項4の考案は、請求項1〜3の何れか1項において、前記第1受光領域は第1波長領域の光信号を電気信号に変換すると共に、前記第2受光領域は第1波長領域とは異なる第2波長領域の光信号を電気信号に変換することを特徴としている。この構成によれば、第1,第2波長領域を含む広い波長域の光を受光することができる。
請求項5の考案は、請求項1〜4の何れか1項において、前記第1の受光素子と前記第2の受光素子は、前記第1の受光素子の第1受光領域を透過した光が前記第2の受光素子の第2受光領域に入射するように配置されたことを特徴としている。この構成によれば、波長が異なる入射光を分光せずに受光することができる。
本考案の受光素子ユニットによれば、収容部を形成する上壁部を支持基板に連結する縦壁部の数を省略することにより、異なる波長域の光を受光可能な受光素子ユニットの小型軽量化を図ることができる。
以下、本考案を実施するための形態について実施例に基づいて説明する。
図1は受光素子ユニット1の外観を示し、図2は受光素子ユニット1を光が入射する方向から視た平面図を示し、図3は受光素子ユニット1の要部縦断面図を示し、図4は第1の受光素子3を背面側から視た図を示している。図1〜図3に示すように、受光素子ユニット1は、支持基板2と、第1の受光素子3と、第1の受光素子3の収容部5に収容された第2の受光素子4等を備えている。
支持基板2には、第1の受光素子3と第2の受光素子4を外部へ電気的に接続するための複数の配線11〜13が形成され、これら配線11〜13には外部との接続のためのパッド部21〜23が夫々形成されている。入射光は、支持基板2が存在する側と反対側から第1の受光素子3に入射する。つまり、光は図3における上方から入射する。
まず、第1の受光素子3について説明する。
図2,図3に示すように、第1の受光素子3は、第1半導体基板として例えばシリコン基板(以下、Si基板という)31の主面側に第1受光領域32を有し、主として可視光領域の入射光を受光するフォトダイオードである。
図3、図4に示すように、Si基板31の裏面側には第1受光領域に向って凹状に形成され且つ外界に連通した収容部5が形成されている。収容部5は開口部3aで外部に連通している。Si基板31には、平面視にて略矩形状の上壁部34と、この上壁部34の外周部のうち3辺に対応した部分を支持基板2に連結する略U字状の縦壁部35とが形成されている。収容部5は、前記の上壁部34と前記の縦壁部35とで形成されている。
図2,図3に示すように、第1の受光素子3は、第1半導体基板として例えばシリコン基板(以下、Si基板という)31の主面側に第1受光領域32を有し、主として可視光領域の入射光を受光するフォトダイオードである。
図3、図4に示すように、Si基板31の裏面側には第1受光領域に向って凹状に形成され且つ外界に連通した収容部5が形成されている。収容部5は開口部3aで外部に連通している。Si基板31には、平面視にて略矩形状の上壁部34と、この上壁部34の外周部のうち3辺に対応した部分を支持基板2に連結する略U字状の縦壁部35とが形成されている。収容部5は、前記の上壁部34と前記の縦壁部35とで形成されている。
上壁部34は、収容部5の上面を覆うと共に支持基板2に平行に向かい合うように配設されている。縦壁部35は、第2の受光素子4を挟んで向かい合う1対の第1縦壁部35aと、これら1対の第1縦壁部35aの一端部同士を連結する第2縦壁部35bとで構成されている。
図3に示すように、Si基板31は例えばn型であり、このn型のSi基板31の入射光の入射側の主面側に例えばホウ素がドープされたp型拡散領域33が形成され、この主面が所定の厚さの反射防止膜36(例えば厚さが160nmのシリコン窒化膜やシリコン酸化膜等)に覆われている。尚、反射防止膜36の材質や厚さは、適宜設定される。
p型拡散領域33に連通するように反射防止膜36に形成された開口部を含む所定の領域に、例えば主としてアルミニウム又は金を含む電極材料が選択的に堆積されて第1アノード電極38が形成されている。そして、n型のSi基板31の主面と反対側の露出した裏面が第1カソード電極39になっている。
第1アノード電極38は、例えば金ワイヤ14(導電性ワイヤ)によって支持基板2の対応する配線12に接続される。第1カソード電極39は、乾燥又は冷却によって固化させた導電性部材15(例えば、銀粒子を含有する導電性接着剤、共晶はんだ、金バンプ等)によって支持基板2の対応する配線13に固定され、電気的にも接続されている。
第1アノード電極38は、例えば金ワイヤ14(導電性ワイヤ)によって支持基板2の対応する配線12に接続される。第1カソード電極39は、乾燥又は冷却によって固化させた導電性部材15(例えば、銀粒子を含有する導電性接着剤、共晶はんだ、金バンプ等)によって支持基板2の対応する配線13に固定され、電気的にも接続されている。
n型のSi基板31とp型拡散領域33により形成されるpn接合の近傍が第1受光領域32であり、入射した光(光信号)が電荷に変換される。この電荷は、第1アノード電極38と第1カソード電極39を介して外部に電気信号として伝わる。尚、第1受光領域32の縦及び横の幅は例えば2000μm程度、深さは10μm程度であるが、これらは適宜設定される。また、第1の受光素子3は1辺が例えば3mm程度の矩形に形成され、その厚さは例えば250〜400μm程度である。
Si基板31の主面は、p型拡散領域33が形成された側のSi面である。このSi基板31は、上壁部34に相当する領域において、p型拡散領域33と反対側の面(裏面)から第1受光領域32側に向かってSi基板31の内方に凹状に形成された収容部5を備えている。第1の受光素子3を透過する入射光の出口側にある収容部5の内面には、所定の厚さの反射防止膜37(例えば厚さが250nmのシリコン窒化膜やシリコン酸化膜等)が形成されている。これら反射防止膜36,37は、絶縁保護層としても機能する。
収容部5は、Si基板31の裏面から第1受光領域32に対応する領域を選択的にエッチングを施して形成される。図示を省略するが、Si基板31の裏面に、第1受光領域32に対応する領域が開口されたエッチングマスクが形成され、エッチング液としてアルカリ性水溶液(例えばKOH水溶液やTMAH水溶液)を使用してSi基板31をエッチングすることにより形成される。
このとき、Si基板31の裏面はSi面であり、エッチングが進行するとSi基板31の内部のSi面が露出する。一方で、エッチングマスクに覆われた領域との境界付近では、エッチングの進行によってSi面よりもエッチング速度が遅いSi面が露出して、収容部5の周壁は傾斜状になる。このエッチング速度の違いを利用する異方性エッチングによって、収容部5は支持基板2と平行な面を有する断面台形状の凹穴に形成される。収容部5は例えば200μm程度の深さに形成されるが、この深さはエッチング時間によって容易に制御される。
次に、第2の受光素子4について説明する。
第2の受光素子4は、第2半導体基板として例えばリン化インジウム基板(以下、InP基板という)41の主面側に第2受光領域42を有し、第1の受光素子3の第1受光領域32を透過した赤外光領域の入射光を受光するフォトダイオードである。この第2の受光素子4は、その縦及び横の幅が第1の受光素子3の収容部5の縦及び横の幅よりも小さく、且つその厚さが収容部5の深さよりも小さく形成され、収容部5に第2の受光素子4が収容される。例えば第2の受光素子4は1辺が1mm程度の矩形に形成され、薄化されて厚さが150μm程度に形成されている。
第2の受光素子4は、第2半導体基板として例えばリン化インジウム基板(以下、InP基板という)41の主面側に第2受光領域42を有し、第1の受光素子3の第1受光領域32を透過した赤外光領域の入射光を受光するフォトダイオードである。この第2の受光素子4は、その縦及び横の幅が第1の受光素子3の収容部5の縦及び横の幅よりも小さく、且つその厚さが収容部5の深さよりも小さく形成され、収容部5に第2の受光素子4が収容される。例えば第2の受光素子4は1辺が1mm程度の矩形に形成され、薄化されて厚さが150μm程度に形成されている。
図3に示すように、InP基板41は例えばn型であり、このInP基板41の主面側に、例えば主としてInGaAsからなるp型領域43が形成されている。この主面が所定の厚さの反射防止膜46(例えば厚さが250nmのシリコン窒化膜やシリコン酸化膜等)に覆われ、主面と反対側の裏面も同様の反射防止膜47に覆われている。
第2受光領域42及びその外側のInP基板41に夫々連通するように反射防止膜46に開口部が夫々設けられ、これら開口部を含む夫々の領域に例えば主としてアルミニウム又は金を含む電極材料が選択的に堆積されて、第2アノード電極48と第2カソード電極49が形成されている。
第2受光領域42及びその外側のInP基板41に夫々連通するように反射防止膜46に開口部が夫々設けられ、これら開口部を含む夫々の領域に例えば主としてアルミニウム又は金を含む電極材料が選択的に堆積されて、第2アノード電極48と第2カソード電極49が形成されている。
第2アノード電極48と第2カソード電極49が、乾燥又は冷却によって固化させた導電性部材16によって支持基板2の対応する配線11,13に固定される。これにより、第2の受光素子4が支持基板2に固定され、電気的にも接続される。物理的な固定と電気的な接続を同時に行うので、受光素子ユニット1の形成が容易になっている。
n型のInP基板41とp型領域43により形成されるpn接合の近傍が第2受光領域42であり、入射した光が電荷に変換される。この電荷は第2アノード電極48と第2カソード電極49を介して外部に電気信号として伝わる。第2受光領域42の縦及び横の幅は例えば800μm程度、深さは10μm程度であるが、これらは適宜設定される。尚、第2の受光素子4は、PINフォトダイオードであってもよい。
n型のInP基板41とp型領域43により形成されるpn接合の近傍が第2受光領域42であり、入射した光が電荷に変換される。この電荷は第2アノード電極48と第2カソード電極49を介して外部に電気信号として伝わる。第2受光領域42の縦及び横の幅は例えば800μm程度、深さは10μm程度であるが、これらは適宜設定される。尚、第2の受光素子4は、PINフォトダイオードであってもよい。
支持基板2について説明する。
支持基板2は例えばセラミック基板やプリント基板であり、第1,第2の受光素子3,4の電極が固定される部分に露出した複数の配線11〜13が形成されている。これら複数の配線11〜13は、第1,第2の受光素子3,4の第1,第2アノード電極38,48と第1,第2カソード電極39,49に外部から電気的に容易に接続できるように形成され、外部との接続のためにパッド部21〜23を備えている。
支持基板2は例えばセラミック基板やプリント基板であり、第1,第2の受光素子3,4の電極が固定される部分に露出した複数の配線11〜13が形成されている。これら複数の配線11〜13は、第1,第2の受光素子3,4の第1,第2アノード電極38,48と第1,第2カソード電極39,49に外部から電気的に容易に接続できるように形成され、外部との接続のためにパッド部21〜23を備えている。
この支持基板2に第2の受光素子4が固定され、この第2の受光素子4を収容部5に収容するように第1の受光素子3が支持基板2に固定されて、受光素子ユニット1が形成される。これにより、第1受光領域32を透過した光が第2受光領域42に入射するように第1の受光素子3と第2の受光素子4が配置される。
受光素子ユニット1には、支持基板2と反対側(図3の上方)から第1の受光素子3に光が入射し、第1の受光素子3において、可視光領域から赤外光領域の例えば波長が400〜1000nmの領域の光(第1波長領域の光信号)を電気信号に変換されて外部に伝達する。そして、第1の受光素子3を透過する例えば波長が1000〜1600nmの領域の光(第2波長領域の光信号)が、第2の受光素子4に入射し、この光が第2の受光素子4において電気信号に変換されて外部に伝達される。
つまり、受光素子ユニット1は、入射光に含まれている波長が大きく異なる入射信号を分離やフィルタリングをせずに電気信号に変換する。この受光素子ユニット1は、第1の受光素子3の収容部5に第2の受光素子4が収容されたので、厚み方向寸法において、第1の受光素子3のみの受光ユニットと同等の大きさに小型化される。
次に、実施例1に係る受光素子ユニット1の作用・効果について説明する。
本受光素子ユニット1によれば、第1の受光素子3はその主面と反対側の裏面から第1受光領域32側に向かって凹状に形成された収容部5を有し、第2の受光素子4は収容部5に収容されているため、波長域が異なる光を受光するために2つの受光素子3,4を重ねて配置でき、収容部5により厚み方向寸法を抑えて受光素子ユニット1を小型化することができる。
本受光素子ユニット1によれば、第1の受光素子3はその主面と反対側の裏面から第1受光領域32側に向かって凹状に形成された収容部5を有し、第2の受光素子4は収容部5に収容されているため、波長域が異なる光を受光するために2つの受光素子3,4を重ねて配置でき、収容部5により厚み方向寸法を抑えて受光素子ユニット1を小型化することができる。
収容部5は、上壁部34と、上壁部34の外周部の一部を支持基板2に連結する縦壁部35とを有し、縦壁部35は、第2の受光素子4を挟んで向かい合う1対の第1縦壁部35aと、これら1対の第1縦壁部35aの一端部同士を連結する第2縦壁部35bとで構成されているため、上壁部34の1辺(開口部3aが形成された1辺)、換言すれば、第2縦壁部35bに向かい合う上壁部34の1辺に対応した縦壁部を省略することにより更なる小型軽量化を図ることができる。
第1受光領域32は第1波長領域の光信号を電気信号に変換すると共に、第2受光領域42は第1波長領域とは異なる第2波長領域の光信号を電気信号に変換するため、第1,第2波長領域を含む広い波長域の光を受光することができる。
第1の受光素子3と第2の受光素子4は、第1の受光素子3の第1受光領域32を透過した光が第2の受光素子4の第2受光領域42に入射するように配置されたため、波長が異なる入射光を分光せずに受光することができる。
次に、実施例2に係る受光素子ユニット1Aついて図5,図6に基づいて説明する。
図5は受光素子ユニット1Aを光が入射する方向から視た平面図を示し、図6は第1の受光素子3Aを背面側から視た斜視図を示している。尚、断面図は実施例1の図3と同様であるため省略する。尚、実施例1と同様の部材には、同じ符号を付して説明を適宜省略する。
図5は受光素子ユニット1Aを光が入射する方向から視た平面図を示し、図6は第1の受光素子3Aを背面側から視た斜視図を示している。尚、断面図は実施例1の図3と同様であるため省略する。尚、実施例1と同様の部材には、同じ符号を付して説明を適宜省略する。
図5に示すように、受光素子ユニット1Aは、支持基板2と、第1の受光素子3Aと、第1の受光素子3Aの収容部5Aに収容された第2の受光素子4等を備えている。
第1の受光素子3Aは、収容部5Aの構造以外は実施例1の第1の受光素子3と同様のものであり、第2の受光素子4は実施例1の第2の受光素子4と同様のものである。
支持基板2には、第1の受光素子3Aと第2の受光素子4を外部へ電気的に接続するための複数の配線11〜13が形成され、これら配線11〜13には外部との接続のためのパッド部21〜23が夫々形成されている。実施例1と同様に、入射光は、支持基板2が存在する側と反対側から第1の受光素子3Aに入射する。尚、第1の受光素子3Aは、実施例1と同様に、Si基板31Aの主面側に第1受光領域32を有し、主として可視光領域の入射光を受光するフォトダイオードである。
第1の受光素子3Aは、収容部5Aの構造以外は実施例1の第1の受光素子3と同様のものであり、第2の受光素子4は実施例1の第2の受光素子4と同様のものである。
支持基板2には、第1の受光素子3Aと第2の受光素子4を外部へ電気的に接続するための複数の配線11〜13が形成され、これら配線11〜13には外部との接続のためのパッド部21〜23が夫々形成されている。実施例1と同様に、入射光は、支持基板2が存在する側と反対側から第1の受光素子3Aに入射する。尚、第1の受光素子3Aは、実施例1と同様に、Si基板31Aの主面側に第1受光領域32を有し、主として可視光領域の入射光を受光するフォトダイオードである。
図5,図6に示すように、第1の受光素子3Aを構成するSi基板31Aには、平面視にて略矩形状の上壁部34と、この上壁部34の外周部のうち第2の受光素子4を挟んで向い会う2辺を支持基板2に連結する縦壁部35Aとが形成されている。
上壁部34は、支持基板2に向かい合うように配設され、その裏面側に向かい合う1対の開口部3b,3c及びこれら開口部3b,3cを介して開放される溝状の収容部5Aが異方性エッチングにて形成されている。縦壁部35Aは、第2の受光素子4を挟んで向かい合う1対の第3縦壁部35cで構成されている。Si基板31Aは、1対の第3縦壁部35cの一端部側に開口部3bを形成し、他端部側に開口部3cを形成することでトンネル構造(溝状構造体)を構成している。
上壁部34は、支持基板2に向かい合うように配設され、その裏面側に向かい合う1対の開口部3b,3c及びこれら開口部3b,3cを介して開放される溝状の収容部5Aが異方性エッチングにて形成されている。縦壁部35Aは、第2の受光素子4を挟んで向かい合う1対の第3縦壁部35cで構成されている。Si基板31Aは、1対の第3縦壁部35cの一端部側に開口部3bを形成し、他端部側に開口部3cを形成することでトンネル構造(溝状構造体)を構成している。
この光素子ユニット1Aによれば、収容部5Aは、支持基板2に向かい合う上壁部34と、上壁部34の外周部の一部を支持基板2に連結する縦壁部35Aとを有し、縦壁部35Aは、第2の受光素子4を挟んで向かい合う1対の第3縦壁部35cで構成されているため、上壁部34の2辺(開口部3b,3cが形成された2辺)に対応した縦壁部を省略することにより更なる小型軽量化を図ることができる。
次に、実施例3に係る受光素子ユニット1Bついて図7〜図10に基づいて説明する。
図7は受光素子ユニット1Bの外観を示し、図8は受光素子ユニット1Bを光が入射する方向から視た平面図を示し、図9は受光素子ユニット1Bの要部縦断面を示し、図10は第1の受光素子3Bを背面側から視た図を示している。尚、実施例1と同様の部材には、同じ符号を付している。
受光素子ユニット1Bは、支持基板2と、第1の受光素子3Bと、第2の受光素子4を備えている。第1の受光素子3Bは、収容部5Bの構造以外は実施例1の第1の受光素子3と同様のものであり、第2の受光素子4は実施例1の第2の受光素子4と同様のものである。
図7は受光素子ユニット1Bの外観を示し、図8は受光素子ユニット1Bを光が入射する方向から視た平面図を示し、図9は受光素子ユニット1Bの要部縦断面を示し、図10は第1の受光素子3Bを背面側から視た図を示している。尚、実施例1と同様の部材には、同じ符号を付している。
受光素子ユニット1Bは、支持基板2と、第1の受光素子3Bと、第2の受光素子4を備えている。第1の受光素子3Bは、収容部5Bの構造以外は実施例1の第1の受光素子3と同様のものであり、第2の受光素子4は実施例1の第2の受光素子4と同様のものである。
Si基板31Bには、上壁部34と、この上壁部34の外周部のうち1辺に対応した部分を支持基板2に連結する縦壁部35Bとが形成されている。
図7〜図9に示すように、支持基板2には、第1の受光素子3Bと第2の受光素子4を外部へ電気的に接続するための複数の配線11〜13が形成され、これら配線11〜13には外部との接続のためのパッド部21〜23が夫々形成されている。実施例1と同様に、入射光は、支持基板2が存在する側と反対側から第1の受光素子3Bに入射する。尚、第1の受光素子3Bは、Si基板31Bの主面側に第1受光領域32を有し、主として可視光領域の入射光を受光するフォトダイオードである。
図7〜図9に示すように、支持基板2には、第1の受光素子3Bと第2の受光素子4を外部へ電気的に接続するための複数の配線11〜13が形成され、これら配線11〜13には外部との接続のためのパッド部21〜23が夫々形成されている。実施例1と同様に、入射光は、支持基板2が存在する側と反対側から第1の受光素子3Bに入射する。尚、第1の受光素子3Bは、Si基板31Bの主面側に第1受光領域32を有し、主として可視光領域の入射光を受光するフォトダイオードである。
図10に示すように、収容部5Bは、平面視にて略矩形状の上壁部34と、この上壁部34の外周部のうち1辺(例えば、パッド部21〜23に近接する辺)に対応した部分を支持基板2に連結する縦壁部35Bとで形成されている。上壁部34は、支持基板2に平行に向かい合うように配設され、その裏面側に開口部3d〜3f及びこれら開口部3d〜3fを介して三辺(三方)が開放される収容部5Bが異方性エッチングで形成されている。異方性エッチングによって、収容部5Bは支持基板2と平行な面を有する略直方体状に形成される。尚、開口部3d〜3f及び収容部5Bについては、エッチング以外の精密機械加工技術等で形成してもよい。
縦壁部35Bは、パッド部21〜23と第2の受光素子4の間に位置する単一の第4縦壁部35dで構成されている。Si基板31Bは、第4縦壁部35dの一端部に対応した辺部分に開口部3dを形成し、他端部に対応した辺部分に開口部3eを形成し、第4縦壁部35dに向かい合う辺部分に開口部3fを形成することで三方が開放された庇構造を構成している。
この光素子ユニット1Bによれば、収容部5Bは、支持基板2に向かい合うと共に平面視にて略矩形状に形成された上壁部34と、上壁部34の外周部の一部を支持基板2に連結する縦壁部35Bとにより構成され、縦壁部35Bは、上壁部34の一辺に連なるように形成された第4縦壁部35dで構成されているため、上壁部34の3辺(開口部3d,3e,3fが形成された3辺)に対応した縦壁部を省略することにより更なる小型軽量化を図ることができる。
次に、実施例4に係る受光素子ユニット1Cについて図11に基づいて説明する。
図11は受光素子ユニット1Cの縦断面図を示している。尚、図面は省略したが実施例3と同様の部材には、同じ符号を付している。この受光素子ユニット1Cでは、収容部5Cが支持基板2と平行な面を備えていない形状に形成されている。
この受光素子ユニット1Cにおける第1の受光素子3Cは、収容部5Cの構造以外は実施例1の第1の受光素子3と同様のものであり、第2の受光素子4は実施例1の第2の受光素子4と同様のものである。
図11は受光素子ユニット1Cの縦断面図を示している。尚、図面は省略したが実施例3と同様の部材には、同じ符号を付している。この受光素子ユニット1Cでは、収容部5Cが支持基板2と平行な面を備えていない形状に形成されている。
この受光素子ユニット1Cにおける第1の受光素子3Cは、収容部5Cの構造以外は実施例1の第1の受光素子3と同様のものであり、第2の受光素子4は実施例1の第2の受光素子4と同様のものである。
図11に示すように、Si基板31Cには、平面視にて略矩形状の上壁部34Aと、この上壁部34Aの外周部のうち1辺(例えば、パッド部21〜23に近接する辺)に対応した部分を支持基板2に連結する縦壁部35Cとが形成されている。このSi基板31Cは、主面が支持基板2と平行な面を形成し、裏面が縦壁部35Cから離れる程支持基板2との離間距離が大きくなるような傾斜面に形成されている。
上壁部34Aは、支持基板2に平行に向かい合うように配設され、その裏面側に収容部5Cが形成されている。上壁部34Aの裏面には、反射防止膜37Aが設けられている。
収容部5Cは、精密機械加工によって、断面三角形に形成されている。縦壁部35Cは、パッド部21〜23と第2の受光素子4の間に位置する単一の第5縦壁部35eで構成されている。収容部5Cの三辺(三方)は開放されており、第5縦壁部35eに向かい合う辺部分に開口部3gが形成されている。これにより、Si基板31C構造の簡単化を図ることができる。
収容部5Cは、精密機械加工によって、断面三角形に形成されている。縦壁部35Cは、パッド部21〜23と第2の受光素子4の間に位置する単一の第5縦壁部35eで構成されている。収容部5Cの三辺(三方)は開放されており、第5縦壁部35eに向かい合う辺部分に開口部3gが形成されている。これにより、Si基板31C構造の簡単化を図ることができる。
次に、実施例5に係る受光素子ユニット1Dについて図12に基づいて説明する。
図12は受光素子ユニット1Dの縦断面図を示している。
実施例4では、第2の受光素子4を支持基板2が支持しているのに対し、この実施例5では、第2の受光素子4AがSi基板31Cに支持されている。第1の受光素子3Cと収容部5Cは実施例4と同様である。
第1の受光素子3Cには、収容部5Cの内面及びSi基板31Cの裏面に、第2の受光素子4Aの第2アノード電極48及び第2カソード電極49を支持基板2の対応する配線11,13に夫々接続するための2つの中間配線17,18が形成されている。中間配線17,18は、反射防止膜37A上に例えば主としてアルミニウム又は金を含む配線材料を選択的に堆積させて形成される。
図12は受光素子ユニット1Dの縦断面図を示している。
実施例4では、第2の受光素子4を支持基板2が支持しているのに対し、この実施例5では、第2の受光素子4AがSi基板31Cに支持されている。第1の受光素子3Cと収容部5Cは実施例4と同様である。
第1の受光素子3Cには、収容部5Cの内面及びSi基板31Cの裏面に、第2の受光素子4Aの第2アノード電極48及び第2カソード電極49を支持基板2の対応する配線11,13に夫々接続するための2つの中間配線17,18が形成されている。中間配線17,18は、反射防止膜37A上に例えば主としてアルミニウム又は金を含む配線材料を選択的に堆積させて形成される。
第2の受光素子4Aの第2アノード電極48と第2カソード電極49が、導電性部材16によって、第1の受光素子3Cの対応する中間配線17,18に夫々固定される。これにより、第2の受光素子4Aが第1の受光素子3Cの収容部5Cに固定され収容されると共に、中間配線17,18に電気的に接続されている。また、第1受光領域32を透過した光が第2受光領域42に入射するように配置されている。
第1の受光素子3Cの第1カソード電極39が、導電性部材15によって支持基板2の対応する配線13に固定されていることにより電気的にも接続される。このとき、中間配線17,18も導電性部材16によって対応する配線11,13に夫々固定され、電気的に接続される。これにより、Si基板31C構造の簡単化を図りつつ、第2の受光素子4Aを第1の受光素子3Cに支持させることができる。
尚、当業者であれば、本考案の趣旨を逸脱することなく、前記実施例に種々の変更を付加した形態で実施可能であり、本考案はそのような変更形態も包含するものである。
1,1A〜1D 受光素子ユニット
2 支持基板
3,3A〜3C 第1の受光素子
4,4A 第2の受光素子
5,5A〜5C 収容部
31,31A〜31C Si基板
34,34A 上壁部
35,35A〜35C 縦壁部
35a 第1縦壁部
35b 第2縦壁部
35c 第3縦壁部
35d 第4縦壁部
41 InP基板
2 支持基板
3,3A〜3C 第1の受光素子
4,4A 第2の受光素子
5,5A〜5C 収容部
31,31A〜31C Si基板
34,34A 上壁部
35,35A〜35C 縦壁部
35a 第1縦壁部
35b 第2縦壁部
35c 第3縦壁部
35d 第4縦壁部
41 InP基板
Claims (5)
- 第1半導体基板の主面側に第1受光領域を有する第1の受光素子と、第2半導体基板の主面側に第2受光領域を有する第2の受光素子と、前記第1の受光素子と前記第2の受光素子を支持する支持基板とを備えた受光素子ユニットにおいて、
前記第1の受光素子はその主面と反対側の裏面から前記第1受光領域側に向かって凹状に形成された収容部を有し、前記第2の受光素子は前記収容部に収容され、
前記収容部は、前記支持基板に向かい合う上壁部と、前記上壁部の外周部の一部を前記支持基板に連結する縦壁部とで形成され、
前記縦壁部は、前記第2の受光素子を挟んで向かい合う1対の第1縦壁部と、これら1対の第1縦壁部の一端部同士を連結する第2縦壁部とで構成されたことを特徴とする受光素子ユニット。 - 第1半導体基板の主面側に第1受光領域を有する第1の受光素子と、第2半導体基板の主面側に第2受光領域を有する第2の受光素子と、前記第1の受光素子と前記第2の受光素子を支持する支持基板とを備えた受光素子ユニットにおいて、
前記第1の受光素子はその主面と反対側の裏面から前記第1受光領域側に向かって凹状に形成された収容部を有し、前記第2の受光素子は前記収容部に収容され、
前記収容部は、前記支持基板に向かい合う上壁部と、前記上壁部の外周部の一部を前記支持基板に連結する縦壁部とで形成され、
前記縦壁部は、前記第2の受光素子を挟んで向かい合う1対の第3縦壁部で構成されたことを特徴とする受光素子ユニット。 - 第1半導体基板の主面側に第1受光領域を有する第1の受光素子と、第2半導体基板の主面側に第2受光領域を有する第2の受光素子と、前記第1の受光素子と前記第2の受光素子を支持する支持基板とを備えた受光素子ユニットにおいて、
前記第1の受光素子はその主面と反対側の裏面から前記第1受光領域側に向かって凹状に形成された収容部を有し、前記第2の受光素子は前記収容部に収容され、
前記収容部は、前記支持基板に向かい合うと共に平面視にて略矩形状に形成された上壁部と、前記上壁部の外周部の一部を前記支持基板に連結する縦壁部とで形成され、
前記縦壁部は、前記上壁部の一辺に連なるように形成された第4縦壁部で構成されたことを特徴とする受光素子ユニット。 - 前記第1受光領域は第1波長領域の光信号を電気信号に変換すると共に、前記第2受光領域は第1波長領域とは異なる第2波長領域の光信号を電気信号に変換することを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の受光素子ユニット。
- 前記第1の受光素子と前記第2の受光素子は、前記第1の受光素子の第1受光領域を透過した光が前記第2の受光素子の第2受光領域に入射するように配置されたことを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の受光素子ユニット。
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JPH1041529A (ja) | 光半導体装置 |
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