JP3227826B2 - 光導波路デバイスの製造方法 - Google Patents
光導波路デバイスの製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光変調器，光スイッチ
等の光導波路デバイスの製造方法に関する。
等の光導波路デバイスの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来例の図で、(A) は分離切断前
の平面図、(B) は切断後の断面図である。
の平面図、(B) は切断後の断面図である。
【０００３】なお、図に示した光導波路デバイスは、マ
ッハツェンダ型変調器である。図４において、１は、電
気光学結晶よりなる母材である。なお、母材１は一般に
は厚さ１mm程度の円板形であるが、図示の都合上角形で
示している。
ッハツェンダ型変調器である。図４において、１は、電
気光学結晶よりなる母材である。なお、母材１は一般に
は厚さ１mm程度の円板形であるが、図示の都合上角形で
示している。
【０００４】従来の光導波路デバイスの製造方法は、下
記の如くである。母材１を直交するＸーＸライン，Ｙー
Ｙラインによってマトリックス状に区画し、それぞれの
区画の表面にチタンを所望に拡散して、ＸーＸラインに
平行する光導波路３を設ける。
記の如くである。母材１を直交するＸーＸライン，Ｙー
Ｙラインによってマトリックス状に区画し、それぞれの
区画の表面にチタンを所望に拡散して、ＸーＸラインに
平行する光導波路３を設ける。
【０００５】なお、この光導波路３の中央部分は、近接
して（間隔は約10μm ) 平行な一対の平行光導波路3-1,
3-2 に分離してある。次に母材１の表面にSiO2膜等のバ
ッファ層を形成した後に、一方の平行光導波路3-1 の直
上に形成される直線部と、直線部の両端部をそれぞれ直
角に屈曲してＸーＸラインに達する長さの一対の脚部
と、からなるＵ形の制御電極５（信号電極）を設けると
ともに、制御電極５の内側に、他方の平行光導波路3-2
の直上からＸーＸラインに達する幅の角形の制御電極６
（アース電極）を設ける。
して（間隔は約10μm ) 平行な一対の平行光導波路3-1,
3-2 に分離してある。次に母材１の表面にSiO2膜等のバ
ッファ層を形成した後に、一方の平行光導波路3-1 の直
上に形成される直線部と、直線部の両端部をそれぞれ直
角に屈曲してＸーＸラインに達する長さの一対の脚部
と、からなるＵ形の制御電極５（信号電極）を設けると
ともに、制御電極５の内側に、他方の平行光導波路3-2
の直上からＸーＸラインに達する幅の角形の制御電極６
（アース電極）を設ける。
【０００６】なお、これらの制御電極５，６は、母材１
の表面に金を蒸着して下地金属膜を形成し、フォトリソ
グラフィ手段によりパターニングした後に、下地金属膜
の表面に金等の良導電性金属をめっきして、10μm 〜20
μm 厚としたものである。
の表面に金を蒸着して下地金属膜を形成し、フォトリソ
グラフィ手段によりパターニングした後に、下地金属膜
の表面に金等の良導電性金属をめっきして、10μm 〜20
μm 厚としたものである。
【０００７】なお、母材１の材料は電気光学効果の大き
いニオブ酸リチウム(LiNbO3)等を使用するものである
が、電気光学効果に方向性がある。したがって、平行光
導波路3-1,3-2 は電気光学効果が大きい方向を選択して
形成している。
いニオブ酸リチウム(LiNbO3)等を使用するものである
が、電気光学効果に方向性がある。したがって、平行光
導波路3-1,3-2 は電気光学効果が大きい方向を選択して
形成している。
【０００８】次に基板２と同材料よりなる、幅２mm, 厚
さ0.5mm 程度の短冊板10を設け、短冊板10の下面に接着
剤15を塗布して、短冊板10をＹーＹライン上に貼着す
る。その後、精密ダイシングソーで短冊板10を含めて母
材１をＹーＹラインに沿って切断し端面を鏡面状に仕上
げ、さらにＸーＸラインに沿って切断して、幅が１mm〜
２mm、長さ６０mm前後の基板２に分離する。
さ0.5mm 程度の短冊板10を設け、短冊板10の下面に接着
剤15を塗布して、短冊板10をＹーＹライン上に貼着す
る。その後、精密ダイシングソーで短冊板10を含めて母
材１をＹーＹラインに沿って切断し端面を鏡面状に仕上
げ、さらにＸーＸラインに沿って切断して、幅が１mm〜
２mm、長さ６０mm前後の基板２に分離する。
【０００９】そして、それぞれの制御電極５，６の所望
の個所に金線等のリード端子を熱圧着してボンディング
し、光導波路デバイスとしている。光導波路デバイス
（光変調器）は上述のように構成されているので、光導
波路３の一方の端部から光信号を伝送させると、制御電
極５（信号電極）と制御電極６（アース電極）間に電圧
を印加しない状態で、光導波路３の他方の端部の出力が
オンとなる。
の個所に金線等のリード端子を熱圧着してボンディング
し、光導波路デバイスとしている。光導波路デバイス
（光変調器）は上述のように構成されているので、光導
波路３の一方の端部から光信号を伝送させると、制御電
極５（信号電極）と制御電極６（アース電極）間に電圧
を印加しない状態で、光導波路３の他方の端部の出力が
オンとなる。
【００１０】また、制御電極５と制御電極６間に所定の
電圧を印加すると、平行光導波路の電気光学効果で屈折
率が変化し、平行光導波路3-1,3-2 を伝搬する光信号の
位相が波長／２だけずれる。よって光導波路３の出力が
オフとなる。即ち光変調器として機能する。
電圧を印加すると、平行光導波路の電気光学効果で屈折
率が変化し、平行光導波路3-1,3-2 を伝搬する光信号の
位相が波長／２だけずれる。よって光導波路３の出力が
オフとなる。即ち光変調器として機能する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述のよう
に短冊板の下面に接着剤を塗布して、短冊板を母材に貼
着し、その後精密ダイシングソーで切断されてなる光導
波路デバイスは、図５に図示したように、塗布した状態
で接着剤15の膜厚は充分に厚いが、短冊板10を母材１に
押しつけて貼着後の短冊板10の下面と基板２の表面間の
接着剤15の膜厚は約 0.1μm と薄い。
に短冊板の下面に接着剤を塗布して、短冊板を母材に貼
着し、その後精密ダイシングソーで切断されてなる光導
波路デバイスは、図５に図示したように、塗布した状態
で接着剤15の膜厚は充分に厚いが、短冊板10を母材１に
押しつけて貼着後の短冊板10の下面と基板２の表面間の
接着剤15の膜厚は約 0.1μm と薄い。
【００１２】したがって、接着剤15が短冊板10の下面か
ら側面側に滲み出て、接着剤はみ出し部15c として短冊
板10の側面に付着している。このような接着剤はみ出し
部15c は、光導波路デバイスを光学機器のパッケージに
組み込んだ後に剥離して、光学機器のレンズと他の光部
品との光軸間等に飛散して、光軸系の障害を発生させた
り、或いは伝送損失増大を惹起させるという問題点があ
った。
ら側面側に滲み出て、接着剤はみ出し部15c として短冊
板10の側面に付着している。このような接着剤はみ出し
部15c は、光導波路デバイスを光学機器のパッケージに
組み込んだ後に剥離して、光学機器のレンズと他の光部
品との光軸間等に飛散して、光軸系の障害を発生させた
り、或いは伝送損失増大を惹起させるという問題点があ
った。
【００１３】一方従来は、光導波路に直交するよう目視
で短冊板を貼着していた。したがって、この短冊板が光
導波路に斜めになったり、或いは接着剤の乾燥硬化中に
短冊板がずれたりする結果、精密ダイシングソーによる
鏡面化形成の際に光導波路端部にチッピングが発生する
恐れがあった。このことに起因して光導波路デバイスと
他の光デバイスとの光結合損失が増加するという問題点
があった。
で短冊板を貼着していた。したがって、この短冊板が光
導波路に斜めになったり、或いは接着剤の乾燥硬化中に
短冊板がずれたりする結果、精密ダイシングソーによる
鏡面化形成の際に光導波路端部にチッピングが発生する
恐れがあった。このことに起因して光導波路デバイスと
他の光デバイスとの光結合損失が増加するという問題点
があった。
【００１４】本発明はこのような点に鑑みて創作された
もので、短冊板の側面に接着剤はみ出し部が発生しにく
い光導波路デバイスを提供することにある。また他の目
的は、光導波路デバイスの端面の鏡面形成の際の不安定
要因を抑え、再現性が良く光結合損失が小さい光導波路
デバイスの製造方法を提供することにある。
もので、短冊板の側面に接着剤はみ出し部が発生しにく
い光導波路デバイスを提供することにある。また他の目
的は、光導波路デバイスの端面の鏡面形成の際の不安定
要因を抑え、再現性が良く光結合損失が小さい光導波路
デバイスの製造方法を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、図１に図示したように、母材１をＹーＹ
ライン及びＸーＸラインでマトリックス状に区画し、左
右の端部がＹーＹラインに直交するよう光導波路３をそ
れぞれの区画内に形成する。
めに本発明は、図１に図示したように、母材１をＹーＹ
ライン及びＸーＸラインでマトリックス状に区画し、左
右の端部がＹーＹラインに直交するよう光導波路３をそ
れぞれの区画内に形成する。
【００１６】一方、母材１と同材料よりなり下面に長手
方向に走行する溝30を有する短冊板10を設ける。短冊板
10の下面で溝30の片方の面部分に接着剤15を塗布し、塗
布した面がＹーＹライン上に位置し、溝30がＹーＹライ
ンの内側で平行するよう短冊板10を母材１に貼着する。
方向に走行する溝30を有する短冊板10を設ける。短冊板
10の下面で溝30の片方の面部分に接着剤15を塗布し、塗
布した面がＹーＹライン上に位置し、溝30がＹーＹライ
ンの内側で平行するよう短冊板10を母材１に貼着する。
【００１７】その後母材１を短冊板10を含めてそれぞれ
のＹーＹラインで切断し、さらにＸーＸラインで切断し
て、個々の基板２に分離するものとする。或いは図２に
例示したように、それぞれのＹーＹラインの内側に、Ｙ
ーＹラインに平行する帯状の金属膜20を、制御電極を形
成する際に同時に形成する。
のＹーＹラインで切断し、さらにＸーＸラインで切断し
て、個々の基板２に分離するものとする。或いは図２に
例示したように、それぞれのＹーＹラインの内側に、Ｙ
ーＹラインに平行する帯状の金属膜20を、制御電極を形
成する際に同時に形成する。
【００１８】次に前述の短冊板10を金属膜20の側端面を
ガイドにしてＹーＹライン上に貼着する。その後、短冊
板10を含めて母材１をそれぞれのＹーＹラインで切断
し、さらにＸーＸラインで切断して、個々の基板２に分
離するものとする。
ガイドにしてＹーＹライン上に貼着する。その後、短冊
板10を含めて母材１をそれぞれのＹーＹラインで切断
し、さらにＸーＸラインで切断して、個々の基板２に分
離するものとする。
【００１９】或いはまた図３に例示したように、それぞ
れのＹーＹラインの内側に、ＹーＹラインに平行する帯
状の金属膜20を、制御電極を形成する際に同時に形成す
る。一方、母材１と同材料よりなり、下面に長手方向に
走行するアングル形溝35を有する短冊板50を設ける。
れのＹーＹラインの内側に、ＹーＹラインに平行する帯
状の金属膜20を、制御電極を形成する際に同時に形成す
る。一方、母材１と同材料よりなり、下面に長手方向に
走行するアングル形溝35を有する短冊板50を設ける。
【００２０】そして、アングル形溝35を外れた短冊板50
の下面に接着剤15を塗布し、金属膜20の側端面にアング
ル形溝35の段差面36が当接するよう、短冊板50を母材１
に貼着する。
の下面に接着剤15を塗布し、金属膜20の側端面にアング
ル形溝35の段差面36が当接するよう、短冊板50を母材１
に貼着する。
【００２１】そして、短冊板50を含めて母材１をそれぞ
れのＹーＹラインで切断し、さらにＸーＸラインで切断
して、個々の基板２に分離するものとする。
れのＹーＹラインで切断し、さらにＸーＸラインで切断
して、個々の基板２に分離するものとする。
【００２２】
【作用】請求項１の発明は、母材に貼着する短冊板の下
面に溝を設けてある。したがって、短冊板を母材に押し
つけ貼着すると、短冊板の下面から流出した接着剤はみ
出し部は、溝内に留まり基板の表面に露出することがな
い。
面に溝を設けてある。したがって、短冊板を母材に押し
つけ貼着すると、短冊板の下面から流出した接着剤はみ
出し部は、溝内に留まり基板の表面に露出することがな
い。
【００２３】したがって、接着剤はみ出し部が剥離し、
光学機器のパッケージ内に飛散する恐れがない。よっ
て、光軸系の障害が発生したり、或いは伝送損失が増大
することがない。
光学機器のパッケージ内に飛散する恐れがない。よっ
て、光軸系の障害が発生したり、或いは伝送損失が増大
することがない。
【００２４】一方、請求項２，３の発明によれば、上述
の他に、制御電極の形成時に同時に、金属膜をフォトリ
ソグラフィ手段によりパターニング形成している。した
がってこの金属膜は、ＹーＹラインに高精度に平行する
のみならず、その形成位置及び形状が高精度である。
の他に、制御電極の形成時に同時に、金属膜をフォトリ
ソグラフィ手段によりパターニング形成している。した
がってこの金属膜は、ＹーＹラインに高精度に平行する
のみならず、その形成位置及び形状が高精度である。
【００２５】よって、この金属膜の側端面をガイドにす
ることで、短冊板を所望のＹーＹライン上に位置ずれな
く貼着することができる。即ち、光導波路の端面形成時
の短冊ずれにより起こるチッピング発生要因が抑制で
き、再現性良く光結合損失が小さい光導波路デバイスが
作製できる。
ることで、短冊板を所望のＹーＹライン上に位置ずれな
く貼着することができる。即ち、光導波路の端面形成時
の短冊ずれにより起こるチッピング発生要因が抑制で
き、再現性良く光結合損失が小さい光導波路デバイスが
作製できる。
【００２６】
【実施例】以下図を参照しながら、本発明を具体的に説
明する。なお、全図を通じて同一符号は同一対象物を示
す。
明する。なお、全図を通じて同一符号は同一対象物を示
す。
【００２７】図１は本発明の実施例の図で、(A) は分離
切断前の平面図、(B) は断面図、図２は本発明の他の実
施例の断面図、図３は本発明のさらに他の発明の実施例
の断面図である。
切断前の平面図、(B) は断面図、図２は本発明の他の実
施例の断面図、図３は本発明のさらに他の発明の実施例
の断面図である。
【００２８】図１において、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)
等の電気光学結晶よりなる母材１を、互いに直交する複
数のＸーＸライン，ＹーＹラインによってマトリックス
状に区画し、それぞれの区画表面にチタンを所望に拡散
して、ＸーＸラインに平行する光導波路３を設ける。
等の電気光学結晶よりなる母材１を、互いに直交する複
数のＸーＸライン，ＹーＹラインによってマトリックス
状に区画し、それぞれの区画表面にチタンを所望に拡散
して、ＸーＸラインに平行する光導波路３を設ける。
【００２９】この光導波路３の中央部分は、近接して平
行配置した一対の平行光導波路3-1,3-2 に分離して、光
変調器の導波路としている。なお、２本の光導波路をＸ
ーＸラインに平行に設け、それらの光導波路の中央部分
を屈曲して近接した平行光導波路3-1,3-2 としている。
行配置した一対の平行光導波路3-1,3-2 に分離して、光
変調器の導波路としている。なお、２本の光導波路をＸ
ーＸラインに平行に設け、それらの光導波路の中央部分
を屈曲して近接した平行光導波路3-1,3-2 としている。
【００３０】母材１の表面にSiO2膜等のバッファ層を形
成した後に、金をSiO2膜の表面に蒸着し、フォトリソグ
ラフィ手段によりパターニングに、それぞれのパターン
の表面に金めっきすることで、10μm 〜20μm 厚の制御
電極５，６を設けている。
成した後に、金をSiO2膜の表面に蒸着し、フォトリソグ
ラフィ手段によりパターニングに、それぞれのパターン
の表面に金めっきすることで、10μm 〜20μm 厚の制御
電極５，６を設けている。
【００３１】詳述すると、一方の平行光導波路3-1 の直
上に形成される直線部と、直線部の両端部をそれぞれ直
角に屈曲してＸーＸラインに達する長さの一対の脚部
と、からなるＵ形の制御電極５（信号電極）を設ける。
上に形成される直線部と、直線部の両端部をそれぞれ直
角に屈曲してＸーＸラインに達する長さの一対の脚部
と、からなるＵ形の制御電極５（信号電極）を設ける。
【００３２】また制御電極５の内側に、他方の平行光導
波路3-2 の直上からＸーＸラインに達する幅の角形の制
御電極６（アース電極）を設ける。一方、母材１と同材
料よりなる短冊板10（幅が約２mm, 厚さは約0.5mm ) を
設け、その下面の一方の長手側縁寄りの位置に、長手方
向に走行する断面角形の溝30を設けている。
波路3-2 の直上からＸーＸラインに達する幅の角形の制
御電極６（アース電極）を設ける。一方、母材１と同材
料よりなる短冊板10（幅が約２mm, 厚さは約0.5mm ) を
設け、その下面の一方の長手側縁寄りの位置に、長手方
向に走行する断面角形の溝30を設けている。
【００３３】この溝30の深さは約 100μm 、幅は約 500
μm である。そして、短冊板10の下面で溝30の片方の幅
が帯状の部分に接着剤15を塗布し、塗布した面がＹーＹ
ライン上に位置し、溝30がＹーＹラインの内側で平行す
るよう短冊板10を母材１に貼着する。
μm である。そして、短冊板10の下面で溝30の片方の幅
が帯状の部分に接着剤15を塗布し、塗布した面がＹーＹ
ライン上に位置し、溝30がＹーＹラインの内側で平行す
るよう短冊板10を母材１に貼着する。
【００３４】その後、短冊板10の上から、それぞれのＹ
ーＹラインに沿って精密ダイシングソーによって切断
（切断されるは幅は約0.2mm ) することで、光導波路端
面部を鏡面状に形成する。
ーＹラインに沿って精密ダイシングソーによって切断
（切断されるは幅は約0.2mm ) することで、光導波路端
面部を鏡面状に形成する。
【００３５】次に、それぞれのＸーＸラインに沿って切
断（切断されるは幅は約0.1mm ) して、個々の基板２に
分離する。そして、制御電極５（信号電極），及び制御
電極６（アース電極）のそれぞれの所望の個所に金線等
のリード端子を熱圧着しボンディングすることで、光導
波路デバイスが製造される。
断（切断されるは幅は約0.1mm ) して、個々の基板２に
分離する。そして、制御電極５（信号電極），及び制御
電極６（アース電極）のそれぞれの所望の個所に金線等
のリード端子を熱圧着しボンディングすることで、光導
波路デバイスが製造される。
【００３６】上述の製造過程において、短冊板10の下面
の所定の部分に塗布した接着剤15は、短冊板10の下面か
ら溝30内に流出し溝30内で接着剤はみ出し部として付着
凝固する。
の所定の部分に塗布した接着剤15は、短冊板10の下面か
ら溝30内に流出し溝30内で接着剤はみ出し部として付着
凝固する。
【００３７】したがって、基板２の表面に露出すること
がないので、剥離して飛散する恐れがない。図２におい
て、20は、制御電極５，６の形成従来に同時に、それぞ
れのＹーＹラインの内側に約 1.5mm離して平行に帯状に
設けた金属膜（膜厚は20μm 前後）である。
がないので、剥離して飛散する恐れがない。図２におい
て、20は、制御電極５，６の形成従来に同時に、それぞ
れのＹーＹラインの内側に約 1.5mm離して平行に帯状に
設けた金属膜（膜厚は20μm 前後）である。
【００３８】短冊板10は、図１に示したものと同形状の
ものであって、その下面に溝30を設け、短冊板10の下面
で溝30の片方の幅が帯状の部分に接着剤15を塗布し、溝
30に近い方の長手方向の側面を金属膜20の側端面に当接
し、接着剤15を塗布した面がＹーＹライン上に位置する
ように、短冊板10を母材１に貼着する。
ものであって、その下面に溝30を設け、短冊板10の下面
で溝30の片方の幅が帯状の部分に接着剤15を塗布し、溝
30に近い方の長手方向の側面を金属膜20の側端面に当接
し、接着剤15を塗布した面がＹーＹライン上に位置する
ように、短冊板10を母材１に貼着する。
【００３９】その後、短冊板10の上から、それぞれのＹ
ーＹラインに沿って精密ダイシングソーによって切断し
て、光導波路端面部を鏡面状にする。次に、それぞれの
ＸーＸラインに沿って切断して、個々の基板２に分離す
る。
ーＹラインに沿って精密ダイシングソーによって切断し
て、光導波路端面部を鏡面状にする。次に、それぞれの
ＸーＸラインに沿って切断して、個々の基板２に分離す
る。
【００４０】上述のように金属膜20は制御電極の形成時
に同時に、フォトリソグラフィ手段によりパターニング
形成したものであるから、ＹーＹラインに高精度に平行
するのみならず、その形成位置及び形状が高精度であ
る。
に同時に、フォトリソグラフィ手段によりパターニング
形成したものであるから、ＹーＹラインに高精度に平行
するのみならず、その形成位置及び形状が高精度であ
る。
【００４１】したがって、この金属膜20の側端面をガイ
ドにすることで、短冊板10を所望のＹーＹライン上に位
置ずれなく貼着することができる。即ち、光導波路の端
面形成時の短冊板ずれにより起こるチッピング発生要因
が抑制でき、再現性良く光結合損失の小さい光導波路デ
バイスを、容易に作成し得る。
ドにすることで、短冊板10を所望のＹーＹライン上に位
置ずれなく貼着することができる。即ち、光導波路の端
面形成時の短冊板ずれにより起こるチッピング発生要因
が抑制でき、再現性良く光結合損失の小さい光導波路デ
バイスを、容易に作成し得る。
【００４２】図３に示す50は、下面の長手方向の一方の
側面部分に、長手方向に走行するアングル形溝35を設け
た短冊板である。一方、金属膜20は、それぞれのＹーＹ
ラインの内側に約 1.0mm離して平行に帯状に設けてい
る。
側面部分に、長手方向に走行するアングル形溝35を設け
た短冊板である。一方、金属膜20は、それぞれのＹーＹ
ラインの内側に約 1.0mm離して平行に帯状に設けてい
る。
【００４３】そして、アングル形溝35を外れた短冊板50
の下面に接着剤15を塗布し、金属膜20の側端面にアング
ル形溝35の段差面36が当接するよう、短冊板50を母材１
に貼着し、短冊板50の上から、それぞれのＹーＹライン
に沿って精密ダイシングソーによって切断し、さらに、
ＸーＸラインに沿って切断して個々の基板２に分離す
る。
の下面に接着剤15を塗布し、金属膜20の側端面にアング
ル形溝35の段差面36が当接するよう、短冊板50を母材１
に貼着し、短冊板50の上から、それぞれのＹーＹライン
に沿って精密ダイシングソーによって切断し、さらに、
ＸーＸラインに沿って切断して個々の基板２に分離す
る。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、母材に貼
着する短冊板の下面に溝或いはアングル形溝を設け、短
冊板を母材に押しつけ貼着する際に、短冊板の下面から
流出する接着剤を、この溝或いはアングル形溝内に留め
て付着させるものである。
着する短冊板の下面に溝或いはアングル形溝を設け、短
冊板を母材に押しつけ貼着する際に、短冊板の下面から
流出する接着剤を、この溝或いはアングル形溝内に留め
て付着させるものである。
【００４５】したがって、接着剤はみ出し部が剥離し、
光学機器のパッケージ内に飛散することがなくて、光軸
系の障害が発生したり、或いは伝送損失が増大すること
がないという、優れた効果を有する。
光学機器のパッケージ内に飛散することがなくて、光軸
系の障害が発生したり、或いは伝送損失が増大すること
がないという、優れた効果を有する。
【００４６】また、請求項２，３の発明によれば、短冊
板を所望のＹーＹライン上に位置ずれなく貼着すること
ができるので、光導波路の端面形成時の短冊板ずれによ
り起こるチッピング発生要因が抑制でき、再現性良く光
結合損失の小さい光導波路デバイスが作製できるという
効果を有する。
板を所望のＹーＹライン上に位置ずれなく貼着すること
ができるので、光導波路の端面形成時の短冊板ずれによ
り起こるチッピング発生要因が抑制でき、再現性良く光
結合損失の小さい光導波路デバイスが作製できるという
効果を有する。
【図１】 本発明の実施例の図で (A) は分離切断前の平面図 (B) は断面図
【図２】 本発明の他の実施例の断面図
【図３】 本発明のさらに他の発明の実施例の断面図
【図４】 従来例の図で (A) は分離切断前の平面図 (B) は切断後の断面図
【図５】 従来例の要所詳細図
１ 母材 ２ 基板 ３ 光導波路、 3-1,3-2 平行光
導波路 5,6 制御電極 10,50 短冊板 15 接着剤 15c 接着剤はみ出
し部 20 金属膜 30 溝 アングル形溝
導波路 5,6 制御電極 10,50 短冊板 15 接着剤 15c 接着剤はみ出
し部 20 金属膜 30 溝 アングル形溝
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02F 1/035 G02B 6/12 G02F 1/313
Claims (3)
- 【請求項１】 電気光学結晶よりなる基板の表面側に形
成した光導波路と、該光導波路の上部に所望に形成した
制御電極と、からなる光導波路デバイスであって、 母材(1) をＹーＹライン及びＸーＸラインでマトリック
ス状に区画し、左右の端部が該ＹーＹラインに直交する
よう、光導波路(3) をそれぞれの区画内に形成し、 該母材(1) と同材料よりなり、下面に長手方向に走行す
る溝(30)を有する短冊板(10)を設け、 該短冊板(10)の下面で該溝(30)の片方の面部分に接着剤
(15)を塗布し、塗布した面が該ＹーＹライン上に位置
し、該溝(30)が該ＹーＹラインの内側で平行するよう、
該短冊板(10)を該母材(1) に貼着した後に、 該短冊板(10)を含めて該母材(1) をそれぞれの該ＹーＹ
ライン及び該ＸーＸラインで切断して、個々の基板(2)
に分離することを特徴とする光導波路デバイスの製造方
法。 - 【請求項２】 電気光学結晶よりなる基板の表面側に形
成した光導波路と、該光導波路の上部に所望に形成した
制御電極と、からなる光導波路デバイスであって、 母材(1) をＹーＹライン及びＸーＸラインでマトリック
ス状に区画し、左右の端部が該ＹーＹラインに直交する
よう、光導波路(3) をそれぞれの区画内に形成し、 それぞれの該ＹーＹラインの内側に、該ＹーＹラインに
平行する帯状の金属膜(20)を、制御電極を形成する際に
同時に形成し、 該母材(1) と同材料よりなり、下面に長手方向に走行す
る溝(30)を有する短冊板(10)を設け、 該短冊板(10)を該金属膜(20)の側端面をガイドにして、
該ＹーＹライン上に貼着し、 その後、該短冊板(10)を含めて該母材(1) をそれぞれの
該ＹーＹライン及び該ＸーＸラインで切断して、個々の
基板(2) に分離することを特徴とする光導波路デバイス
の製造方法。 - 【請求項３】 電気光学結晶よりなる基板の表面側に形
成した光導波路と、該光導波路の上部に所望に形成した
制御電極と、からなる光導波路デバイスであって、 母材(1) をＹーＹライン及びＸーＸラインでマトリック
ス状に区画し、左右の端部が該ＹーＹラインに直交する
よう、光導波路(3) をそれぞれの区画内に形成し、 それぞれの該ＹーＹラインの内側に、該ＹーＹラインに
平行する帯状の金属膜(20)を、制御電極を形成する際に
同時に形成し、 該母材(1) と同材料よりなり、下面に長手方向に走行す
るアングル形溝(35)を有する短冊板(50)を設け、 該アングル形溝(35)を外れた該短冊板(50)の下面に接着
剤(15)を塗布し、該金属膜(20)の側端面に該アングル形
溝(35)の段差面(36)が当接するよう、該短冊板(50)を該
母材(1) に貼着した後に、 該短冊板(50)を含めて該母材(1) をそれぞれの該ＹーＹ
ライン及び該ＸーＸラインで切断して、個々の基板(2)
に分離することを特徴とする光導波路デバイスの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25513492A JP3227826B2 (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 光導波路デバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25513492A JP3227826B2 (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 光導波路デバイスの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06110022A JPH06110022A (ja) | 1994-04-22 |
| JP3227826B2 true JP3227826B2 (ja) | 2001-11-12 |
Family
ID=17274559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25513492A Expired - Fee Related JP3227826B2 (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 光導波路デバイスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3227826B2 (ja) |
-
1992
- 1992-09-25 JP JP25513492A patent/JP3227826B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06110022A (ja) | 1994-04-22 |
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