JP3223470B2 - 微粒子導入装置 - Google Patents
微粒子導入装置Info
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- Japan
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波誘導プラズ
マ（以下「ＭＩＰ」という）を利用した元素分析計の、
プラズマ発生部に微粒子（パ―ティクル）を供給するた
めの微粒子導入装置に関するものである。
マ（以下「ＭＩＰ」という）を利用した元素分析計の、
プラズマ発生部に微粒子（パ―ティクル）を供給するた
めの微粒子導入装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】微粒子導入装置とは、ＭＩＰを利用した
元素分析計におけるプラズマ発生部に微粒子を供給する
装置であって、主たる構成はディスパ―サ及びアナライ
ザから構成されている。
元素分析計におけるプラズマ発生部に微粒子を供給する
装置であって、主たる構成はディスパ―サ及びアナライ
ザから構成されている。
【０００３】前記ディスパ―サとしては、例えば、ＭＩ
Ｐを利用した元素分析計のプラズマ発生部に試料（微粒
子）を供給する微粒子導入装置（特開平４−５５５４号
公報参照）により、前記アナライザとしては、例えば、
ＭＩＰを利用して試料中の元素を分析する発光分光分析
計に検出器として装着される発光分光検出器（特開平４
−５５５５号公報参照）により知られている。
Ｐを利用した元素分析計のプラズマ発生部に試料（微粒
子）を供給する微粒子導入装置（特開平４−５５５４号
公報参照）により、前記アナライザとしては、例えば、
ＭＩＰを利用して試料中の元素を分析する発光分光分析
計に検出器として装着される発光分光検出器（特開平４
−５５５５号公報参照）により知られている。
【０００４】即ち、前記ディスパ―サは、アスピレ―
タ、表面に固体微粒子が付着されたフィルタを固定する
フィルタユニットが装着されたア―ム、第１モ―タの回
転を全ア―ムの水平方向回転運動に変換する固定軸、及
び第２モ―タの回転をア―ムの上下方向直線運動に変換
するボ―ルネジを設け、アスピレ―タの吸引口がフィル
タと一定距離に近づいた状態で、毎分略３００ｍｌの小
流量で流れるキャリアガスがアスピレ―タに供給された
とき、アスピレ―タによって固体微粒子を吸引して放電
管を用いてプラズマ発生部に供給するものとなってい
る。
タ、表面に固体微粒子が付着されたフィルタを固定する
フィルタユニットが装着されたア―ム、第１モ―タの回
転を全ア―ムの水平方向回転運動に変換する固定軸、及
び第２モ―タの回転をア―ムの上下方向直線運動に変換
するボ―ルネジを設け、アスピレ―タの吸引口がフィル
タと一定距離に近づいた状態で、毎分略３００ｍｌの小
流量で流れるキャリアガスがアスピレ―タに供給された
とき、アスピレ―タによって固体微粒子を吸引して放電
管を用いてプラズマ発生部に供給するものとなってい
る。
【０００５】又、前記アナライザは、例えば、ディスパ
―サ側に位置するディスチャージ管、マイクロ波を空洞
共鳴させてディスチャージ管の外管内にＭＩＰを発生さ
せるキャビティ、外管の軸方向に取り出して集光する光
学系、及びこの光学系で集光された光を分光して信号処
理する信号処理部が設けられて、試料中の被測定元素を
検出するようになっている。
―サ側に位置するディスチャージ管、マイクロ波を空洞
共鳴させてディスチャージ管の外管内にＭＩＰを発生さ
せるキャビティ、外管の軸方向に取り出して集光する光
学系、及びこの光学系で集光された光を分光して信号処
理する信号処理部が設けられて、試料中の被測定元素を
検出するようになっている。
【０００６】
【従来の技術】図６はこのような微粒子導入装置の従来
の技術の説明に供する図である。図６において、１００
は微粒子導入装置であるディスパ―サ、１０１はＡrや
Ｈｅで成るキャリアガスを導入するキャリアガス導入
口、１０２は例えばＡrやＨｅ等の置換ガスを導入する
置換ガス導入口、１０３ａ〜１０３ｅは開閉弁、１０
４，１０５はガス排出口、１０６は吸引ポンプ、１０７
は表面に微粒子が付着されたフィルタ、１０８はアスピ
レ―タ、１０９は放電管、１１０はキャビティ、１１１
はマイクロ波誘導プラズマである。
の技術の説明に供する図である。図６において、１００
は微粒子導入装置であるディスパ―サ、１０１はＡrや
Ｈｅで成るキャリアガスを導入するキャリアガス導入
口、１０２は例えばＡrやＨｅ等の置換ガスを導入する
置換ガス導入口、１０３ａ〜１０３ｅは開閉弁、１０
４，１０５はガス排出口、１０６は吸引ポンプ、１０７
は表面に微粒子が付着されたフィルタ、１０８はアスピ
レ―タ、１０９は放電管、１１０はキャビティ、１１１
はマイクロ波誘導プラズマである。
【０００７】このような構成において、キャビティ１１
０の中心部にはマイクロ波発生器（図省略）からマイク
ロ波が照射されたとき、キャビティ１１０の中心部に挿
入されている放電管１０９内のキャリアガスを励起して
マイクロ波誘導プラズマ１１１が発生する。
０の中心部にはマイクロ波発生器（図省略）からマイク
ロ波が照射されたとき、キャビティ１１０の中心部に挿
入されている放電管１０９内のキャリアガスを励起して
マイクロ波誘導プラズマ１１１が発生する。
【０００８】測定時においては、開閉弁１０３ａ，１０
３ｂ，１０３ｄ，１０３ｅが開で開閉弁１０３ｃが閉と
なる。従って、キャリアガスは、開閉弁１０３ａ→アス
ピレ―タ１０８→開閉弁１０３ｅ→放電管１０９の流路
で流れる。一方、フィルタ１０７がアスピレ―タ１０８
の吸引口に一定距離近づく。これにより、フィルタの表
面に付着されている微粒子が吸引されて放電管１０９に
搬送される。
３ｂ，１０３ｄ，１０３ｅが開で開閉弁１０３ｃが閉と
なる。従って、キャリアガスは、開閉弁１０３ａ→アス
ピレ―タ１０８→開閉弁１０３ｅ→放電管１０９の流路
で流れる。一方、フィルタ１０７がアスピレ―タ１０８
の吸引口に一定距離近づく。これにより、フィルタの表
面に付着されている微粒子が吸引されて放電管１０９に
搬送される。
【０００９】非測定時においては、開閉弁１０３ａ，１
０３ｅを閉じる。これと共に、開閉弁１０３ｂ〜１０３
ｄの開閉と吸引ポンプ１０６の駆動が操作される。従っ
て、ディスパ―サー１００内のキャリアガスが置換ガス
（置換ガス導入口１０２から導入されるＡr やＨｅな
ど）で置換される。
０３ｅを閉じる。これと共に、開閉弁１０３ｂ〜１０３
ｄの開閉と吸引ポンプ１０６の駆動が操作される。従っ
て、ディスパ―サー１００内のキャリアガスが置換ガス
（置換ガス導入口１０２から導入されるＡr やＨｅな
ど）で置換される。
【００１０】図７（イ），（ロ）はこのような微粒子導
入装置に用いられるディスパーサの要部を示すもので、
１はネジやシ―ル部材等によって外からの空気の漏れ込
みを防ぐように構成されているケ―ス、２はフィルタ
（図省略）上の微粒子を吸引して放電管（図６参照）に
供給するアスピレ―タ、２´はアスピレ―タの吸引口、
３はノズル閉塞部材、４は先端部にノズル閉塞部材３が
装着された第１ア―ム、５はガス置換部などを構成し吸
引口２´を介してアスピレ―タ２と連通するチャンバで
ある。
入装置に用いられるディスパーサの要部を示すもので、
１はネジやシ―ル部材等によって外からの空気の漏れ込
みを防ぐように構成されているケ―ス、２はフィルタ
（図省略）上の微粒子を吸引して放電管（図６参照）に
供給するアスピレ―タ、２´はアスピレ―タの吸引口、
３はノズル閉塞部材、４は先端部にノズル閉塞部材３が
装着された第１ア―ム、５はガス置換部などを構成し吸
引口２´を介してアスピレ―タ２と連通するチャンバで
ある。
【００１１】ノズル閉塞部材３は第１ア―ム４の先端付
近に取り付けられており、この第１アーム４は第２ア―
ム８と共に支柱６に取り付けられている。ノズル閉塞部
材３は支柱６の回転に基づく第１アーム４の昇降によ
り、吸引口２´に蓋をすることによって、この吸引口２
´とチャンバ―５の連通を遮断する。
近に取り付けられており、この第１アーム４は第２ア―
ム８と共に支柱６に取り付けられている。ノズル閉塞部
材３は支柱６の回転に基づく第１アーム４の昇降によ
り、吸引口２´に蓋をすることによって、この吸引口２
´とチャンバ―５の連通を遮断する。
【００１２】微粒子を採取したフィルタ（図示省略）は
第２ア―ム８の先端付近に設けられたフィルタホルダ７
に装着されている。尚、フィルタホルダ７に装着された
フィルタとアスピレ―タ２の吸引口との間隔は例えば
０．１ｍｍ以下になるように制御されている。交換窓９
はフィルタホルダ７からフィルタを取外したりするとき
に使用する。
第２ア―ム８の先端付近に設けられたフィルタホルダ７
に装着されている。尚、フィルタホルダ７に装着された
フィルタとアスピレ―タ２の吸引口との間隔は例えば
０．１ｍｍ以下になるように制御されている。交換窓９
はフィルタホルダ７からフィルタを取外したりするとき
に使用する。
【００１３】このような構成においてその動作は以下の
ようになる。はじめに図８に示すように第１，第２アー
ムを交換窓９の位置に配置させ、交換窓９を開いて微粒
子を採取したフィルタアセンブリ（図省略）をフィルタ
ホルダ―７に乗せる。次に支柱６を回転させて、第１ア
―ム４，第２ア―ム８を介してフィルタホルダ―７及び
ノズル閉塞部材３を下降させる。
ようになる。はじめに図８に示すように第１，第２アー
ムを交換窓９の位置に配置させ、交換窓９を開いて微粒
子を採取したフィルタアセンブリ（図省略）をフィルタ
ホルダ―７に乗せる。次に支柱６を回転させて、第１ア
―ム４，第２ア―ム８を介してフィルタホルダ―７及び
ノズル閉塞部材３を下降させる。
【００１４】その後に、第１ア―ム４，第２ア―ム８を
図８の太線矢印方向Ｆに回転させて図７（イ）の状態に
する。その状態で、支柱６を回転させてノズル閉塞部材
３を上昇させて吸引口２´をシ―ルする。
図８の太線矢印方向Ｆに回転させて図７（イ）の状態に
する。その状態で、支柱６を回転させてノズル閉塞部材
３を上昇させて吸引口２´をシ―ルする。
【００１５】その後、図６における開閉弁１０３ｂ，１
０３ｄを閉として開閉弁１０３ｃを開とする。この状態
で吸引ポンプ１０６を駆動させてチャンバ５内の空気を
吸引してチャンバ内を真空とする。
０３ｄを閉として開閉弁１０３ｃを開とする。この状態
で吸引ポンプ１０６を駆動させてチャンバ５内の空気を
吸引してチャンバ内を真空とする。
【００１６】チャンバ５内が一定の真空度に達したら、
開閉弁１０３ｃを閉じ、開閉弁１０３ｂを開にしてチャ
ンバ５内に置換ガスを充填する。置換ガスが充填されて
チャンバ５内が大気圧になったら開閉弁１０３ｄを開に
してチャンバ５内を大気解放にする。と同時に、図７
（ロ）の支柱６を回転させてノズル閉塞部材３を下降さ
せ、第１ア―ム４，第２ア―ム８を更に回転させて図９
の位置とする。
開閉弁１０３ｃを閉じ、開閉弁１０３ｂを開にしてチャ
ンバ５内に置換ガスを充填する。置換ガスが充填されて
チャンバ５内が大気圧になったら開閉弁１０３ｄを開に
してチャンバ５内を大気解放にする。と同時に、図７
（ロ）の支柱６を回転させてノズル閉塞部材３を下降さ
せ、第１ア―ム４，第２ア―ム８を更に回転させて図９
の位置とする。
【００１７】この後、支柱６を回転させて、フィルタホ
ルダ７を上昇させる。所定の位置でフィルタホルダ７の
上昇を停止させた後に微粒子の吸引を開始させる。
ルダ７を上昇させる。所定の位置でフィルタホルダ７の
上昇を停止させた後に微粒子の吸引を開始させる。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来の微粒子導入装置ではフィルタ交換に際しては、交
換窓９をはずして、上部からサンプルを載せたフイルタ
アセンブリ（サンプルユニット）をフィルタホルダ７に
セットするという作業を要するため、作業性に劣る上
に、内部にサンプルを落としてしまう恐れがあるという
問題があった。本発明は上記従来技術の問題点を解決す
るためになされたもので、作業性の向上と操作性の簡単
化を図った微粒子導入装置を提供することを目的とする
ものである。
従来の微粒子導入装置ではフィルタ交換に際しては、交
換窓９をはずして、上部からサンプルを載せたフイルタ
アセンブリ（サンプルユニット）をフィルタホルダ７に
セットするという作業を要するため、作業性に劣る上
に、内部にサンプルを落としてしまう恐れがあるという
問題があった。本発明は上記従来技術の問題点を解決す
るためになされたもので、作業性の向上と操作性の簡単
化を図った微粒子導入装置を提供することを目的とする
ものである。
【００１９】
【課題を解決するための手段】チャンバ内に表面に固体
微粒子が付着したフィルタが固定されたカセットと、こ
のフィルタに付着した固体微粒子を吸引するアスピレー
タが配置され、前記チャンバ内にキャリアガスと置換ガ
スを導入、排出する手段を有し、前記アスピレータで吸
引した固体微粒子を微粒子放電ラインを介して放電管に
導くようにした微粒子導入装置において、前記カセット
を複数個装着可能なカセット装着手段（Ｋ）を前記チャ
ンバ内の所定位置へ移動させるカセット移動手段（Ｂ
e）と、該カセット移動手段上に前記カセット装着手段
の外周に接して配置される回転補助手段（Ｒ）と、前記
カセット移動手段のチャンバ内へのセット完了時まで前
記カセット装着手段の回転を固定しておくカセット位置
固定機構（ＬＯ）と、該カセット位置固定機構の固定手
段解除後に前記カセットの１つを選択するため前記カセ
ット装着手段を回転させるカセット回転手段（ＴＵ）
と、選択されたカセットのセット・リセットを操作する
カセット・セット・リセット手段（４’）とを具備した
ことを特徴としている。
微粒子が付着したフィルタが固定されたカセットと、こ
のフィルタに付着した固体微粒子を吸引するアスピレー
タが配置され、前記チャンバ内にキャリアガスと置換ガ
スを導入、排出する手段を有し、前記アスピレータで吸
引した固体微粒子を微粒子放電ラインを介して放電管に
導くようにした微粒子導入装置において、前記カセット
を複数個装着可能なカセット装着手段（Ｋ）を前記チャ
ンバ内の所定位置へ移動させるカセット移動手段（Ｂ
e）と、該カセット移動手段上に前記カセット装着手段
の外周に接して配置される回転補助手段（Ｒ）と、前記
カセット移動手段のチャンバ内へのセット完了時まで前
記カセット装着手段の回転を固定しておくカセット位置
固定機構（ＬＯ）と、該カセット位置固定機構の固定手
段解除後に前記カセットの１つを選択するため前記カセ
ット装着手段を回転させるカセット回転手段（ＴＵ）
と、選択されたカセットのセット・リセットを操作する
カセット・セット・リセット手段（４’）とを具備した
ことを特徴としている。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の１例
について図を用いて詳細に説明する。図１は本発明の要
部を示す一部断面平面図、図２は図1の一部断面側面
図、図３，図４は図１を補足するための説明図である。
について図を用いて詳細に説明する。図１は本発明の要
部を示す一部断面平面図、図２は図1の一部断面側面
図、図３，図４は図１を補足するための説明図である。
【００２１】図１，図２は、サンプルユニットのカセツ
ト化を図るため、カセット（サンプルユニット）をスラ
イドさせる部分と、スライドしてきたそのカセットの必
要なものを選択するために回転させる部分とを備えたサ
ンプルユニット機構を示している。本実施例ではカセッ
トをスムースに回転させるためにローラを設け、又回転
させるための部分には駆動アームを設け、更に、カセッ
トを回転させるに際しては、そのカセットの位置の固定
を簡単に解除しロツクができる機構を有している。
ト化を図るため、カセット（サンプルユニット）をスラ
イドさせる部分と、スライドしてきたそのカセットの必
要なものを選択するために回転させる部分とを備えたサ
ンプルユニット機構を示している。本実施例ではカセッ
トをスムースに回転させるためにローラを設け、又回転
させるための部分には駆動アームを設け、更に、カセッ
トを回転させるに際しては、そのカセットの位置の固定
を簡単に解除しロツクができる機構を有している。
【００２２】図１，図２において、Ｋは、例えば最大４
つのサンプル用のサンプルユニット（カセット）Ｓ1〜
Ｓ4と、リファレンス用のユニット（カセット）Ｌ1とを
載せるように構成したカセット装着手段である。
つのサンプル用のサンプルユニット（カセット）Ｓ1〜
Ｓ4と、リファレンス用のユニット（カセット）Ｌ1とを
載せるように構成したカセット装着手段である。
【００２３】カセツト装着手段Ｋは、カセット移動手段
（以下「ベース」という）Ｂe上にセットされる。この
ベースＢeは、例えば図３の２点鎖線で示す位置から矢
印Ｑ方向の交換窓９部分にスライドされる。
（以下「ベース」という）Ｂe上にセットされる。この
ベースＢeは、例えば図３の２点鎖線で示す位置から矢
印Ｑ方向の交換窓９部分にスライドされる。
【００２４】ベースＢeがチャンバ５内に収納された後
においては、図示しない扉で固定される構造となってい
る。又、このようにした場合は、必ずしも交換窓９を設
ける必要もないといえるが、メンテナンス時を配慮して
このまま設置しておいてもよい。
においては、図示しない扉で固定される構造となってい
る。又、このようにした場合は、必ずしも交換窓９を設
ける必要もないといえるが、メンテナンス時を配慮して
このまま設置しておいてもよい。
【００２５】前記ベースＢe上には、カセット装着手段
Ｋをスムースに回転させるため、その外周に接して一対
のローラＲ1,Ｒ2を有する回転補助手段Ｒが複数（図で
は４組）設けられている。
Ｋをスムースに回転させるため、その外周に接して一対
のローラＲ1,Ｒ2を有する回転補助手段Ｒが複数（図で
は４組）設けられている。
【００２６】ところで、カセット装着手段Ｋはこのまま
では図４に示すように、フリーに動いてしまう恐れがあ
り、動いた場合は、図５に示す矢印Ｑ方向にスライドさ
せることができなくなる。従って、このようなことを避
ける手段として、図１に示すように、カセット装着手段
Ｋの外周に、当該カセット装着手段の位置を簡単にロツ
ク又は解除ができるロック機構と解除機構とを兼ね備え
たカセット位置固定機構ＬＯが組み付け可能な溝Ｍが形
成されている。
では図４に示すように、フリーに動いてしまう恐れがあ
り、動いた場合は、図５に示す矢印Ｑ方向にスライドさ
せることができなくなる。従って、このようなことを避
ける手段として、図１に示すように、カセット装着手段
Ｋの外周に、当該カセット装着手段の位置を簡単にロツ
ク又は解除ができるロック機構と解除機構とを兼ね備え
たカセット位置固定機構ＬＯが組み付け可能な溝Ｍが形
成されている。
【００２７】カセット位置固定機構ＬＯは、図２に示す
ように、ロック解除ピンＬKPと、このロック解除ピンＬ
KPに連動し前記溝Ｍに嵌合するロックピンＬLPを有して
いる。
ように、ロック解除ピンＬKPと、このロック解除ピンＬ
KPに連動し前記溝Ｍに嵌合するロックピンＬLPを有して
いる。
【００２８】ＴＵは矢印Ｑ方向にスライドしてきたカセ
ット装着手段Ｋの切り欠き部分（案内溝）ＫT Aに嵌合し
て、カセット装着手段Ｋ上にセットされるカセットの１
つを所定の選択位置に固定するために回転させるカセッ
ト回転手段であり、回転駆動アームＥと、案内溝ＫT Aに
嵌合したカセット装着手段Ｋを所定の選択位置に回転さ
せるため例えばステッピングモータ等の駆動手段（図省
略）に連結している回転軸Ｇを有している。
ット装着手段Ｋの切り欠き部分（案内溝）ＫT Aに嵌合し
て、カセット装着手段Ｋ上にセットされるカセットの１
つを所定の選択位置に固定するために回転させるカセッ
ト回転手段であり、回転駆動アームＥと、案内溝ＫT Aに
嵌合したカセット装着手段Ｋを所定の選択位置に回転さ
せるため例えばステッピングモータ等の駆動手段（図省
略）に連結している回転軸Ｇを有している。
【００２９】カセット位置固定機構ＬＯは、図２に一点
鎖線で示すように、カセット装着手段Ｋがカセット回転
手段ＴＵに嵌合った状態において、回転駆動アームＥに
ロック解除ピンＬKPが突き当たって矢印Ｗのように押し
戻されるので、溝Ｍに嵌合したロック解除ピンＬKPの嵌
合が解除される。
鎖線で示すように、カセット装着手段Ｋがカセット回転
手段ＴＵに嵌合った状態において、回転駆動アームＥに
ロック解除ピンＬKPが突き当たって矢印Ｗのように押し
戻されるので、溝Ｍに嵌合したロック解除ピンＬKPの嵌
合が解除される。
【００３０】その後、回転駆動アームＥによりカセット
装着手段Ｋが回転し所定のカセットが選択される。４’
は上記回転駆動アームＥによって回転され選択位置にき
たサンプルユニット（カセット）Ｓ1〜Ｓ４若しくはＬ
１をフイルタホルダー７（図７参照）にセットするよう
にアップ動作する（リセットする場合はダウン動作とな
る）サンプルユニット・セット・リセット手段である。
装着手段Ｋが回転し所定のカセットが選択される。４’
は上記回転駆動アームＥによって回転され選択位置にき
たサンプルユニット（カセット）Ｓ1〜Ｓ４若しくはＬ
１をフイルタホルダー７（図７参照）にセットするよう
にアップ動作する（リセットする場合はダウン動作とな
る）サンプルユニット・セット・リセット手段である。
【００３１】以下、サンプルユニットＳ1〜Ｓ４若しく
はＬ１をフイルタホルダ７にセットするまでの動作の概
要は次のようになる。
はＬ１をフイルタホルダ７にセットするまでの動作の概
要は次のようになる。
【００３２】（イ）扉（図省略）を開としてカセットが
装着されたカセット装着手段ＫをベースＢeにセットす
る。このときに、カセット装着手段Ｋの溝Ｍにロックピ
ンＬL Pが嵌合し、カセット装着手段Ｋが固定される。
装着されたカセット装着手段ＫをベースＢeにセットす
る。このときに、カセット装着手段Ｋの溝Ｍにロックピ
ンＬL Pが嵌合し、カセット装着手段Ｋが固定される。
【００３３】（ロ）カセット装着手段Ｋが載ったベース
Ｂeを矢印Ｑのようにしてスライドさせてケース１内に
収納する。このときにスライドしてきたカセット装着手
段Ｋの案内溝ＫT Aと回転駆動アームＥとが嵌合してセッ
トされ、ロック解除ピンＬKPが回転駆動アームＥに当た
って押され、これと連動しているロックピンＬLPが溝Ｍ
から外れてカセット装着手段Ｋはフリー状態となる（こ
の状態で図示しない扉は閉じられる）。つまり、扉が閉
の状態でカセット装着手段Ｋは回転可能な状態とな
る）。
Ｂeを矢印Ｑのようにしてスライドさせてケース１内に
収納する。このときにスライドしてきたカセット装着手
段Ｋの案内溝ＫT Aと回転駆動アームＥとが嵌合してセッ
トされ、ロック解除ピンＬKPが回転駆動アームＥに当た
って押され、これと連動しているロックピンＬLPが溝Ｍ
から外れてカセット装着手段Ｋはフリー状態となる（こ
の状態で図示しない扉は閉じられる）。つまり、扉が閉
の状態でカセット装着手段Ｋは回転可能な状態とな
る）。
【００３４】（ハ）このセット後において、カセット装
着手段Ｋ上の分析したい対象サンプルユニット（カセッ
ト）が選択される。即ち、回転軸Ｇが駆動手段によって
例えば１２０°回転すると、回転駆動アームＥでカセッ
ト装着手段Ｋがその１２０°の選択位置まで回転させら
れる。このとき、カセット装着手段ＫはベースＢeに組
付けられた回転補助手段Ｒでその外周が決められている
ので、回転軸Ｇを支点としてスムースに１２０°回転す
る。
着手段Ｋ上の分析したい対象サンプルユニット（カセッ
ト）が選択される。即ち、回転軸Ｇが駆動手段によって
例えば１２０°回転すると、回転駆動アームＥでカセッ
ト装着手段Ｋがその１２０°の選択位置まで回転させら
れる。このとき、カセット装着手段ＫはベースＢeに組
付けられた回転補助手段Ｒでその外周が決められている
ので、回転軸Ｇを支点としてスムースに１２０°回転す
る。
【００３５】
【発明の効果】以上、実施例を用いて詳しく説明したよ
う本発明によれば、微粒子導入装置において、チャンバ
内に複数のカセットを装着可能なカセット装着手段をチ
ャンバ内の所定位置へ移動させるカセット移動手段と、
該カセット移動手段上に前記カセット装着手段の外周に
接して配置される回転補助手段と、前記カセット移動手
段のチャンバ内へのセット完了時まで前記カセット装着
手段の回転を固定しておくカセット位置固定機構と、該
カセット位置固定機構の固定手段解除後にサンプルユニ
ットの１つを選択するため前記カセット装着手段を回転
させるカセット回転手段と、選択後のサンプルユニット
のセット・リセットを操作するサンプルユニット・セッ
ト・リセット手段とを具備したサンプルユニットをカセ
ット化したので、チャンバ内部にサンプルユニットを落
としてしまう恐れもなく作業性の効率化を図ることがで
きる。
う本発明によれば、微粒子導入装置において、チャンバ
内に複数のカセットを装着可能なカセット装着手段をチ
ャンバ内の所定位置へ移動させるカセット移動手段と、
該カセット移動手段上に前記カセット装着手段の外周に
接して配置される回転補助手段と、前記カセット移動手
段のチャンバ内へのセット完了時まで前記カセット装着
手段の回転を固定しておくカセット位置固定機構と、該
カセット位置固定機構の固定手段解除後にサンプルユニ
ットの１つを選択するため前記カセット装着手段を回転
させるカセット回転手段と、選択後のサンプルユニット
のセット・リセットを操作するサンプルユニット・セッ
ト・リセット手段とを具備したサンプルユニットをカセ
ット化したので、チャンバ内部にサンプルユニットを落
としてしまう恐れもなく作業性の効率化を図ることがで
きる。
【図１】本発明の要部を示す一部断面平面図である。
【図２】図1の一部断面側面図である。
【図３】本発明の説明に供する図である。
【図４】本発明の説明に供する図である。
【図５】従来の技術の説明に供する図である。
【図６】従来の技術の説明に供する図である。
【図７】従来の技術の説明に供する図である。
【図８】従来の技術の説明に供する図である。
【図９】従来の技術の説明に供する図である。
Ｂｅ カセット移動手段 Ｅ 回転駆動アーム Ｇ 回転軸 Ｋ カセット装着手段 ＫTA 案内溝 ＬＯ カセット位置固定機構 ＬLP ロックピン ＬKP ロック解除ピン Ｒ 回転補助手段 Ｓ１〜Ｓ４，Ｌ１ カセット（サンプルユニット） ＴＵ カセット回転手段２ アスピレ―タ ２´ アスピレ―タの吸引口 ３，１１３ ノズル閉塞手段 ４，８ ア―ム ４´ サンプルユニット・セット・リセット手段 ５ ガス置換部 ７ フィルタホ―ルド ９ 交換窓 １００ デスパ―サ １０３ａ〜１０３ｄ 開閉弁 １０７ 微粒子が付着されたフィルタ １０８ アスピレ―タ １０９ 放電管 １１１ マイクロ波誘導プラズマ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−5554（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−25519（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−91539（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/62 - 21/74 G01N 1/00 101 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (1)
- 【請求項１】チャンバ内に表面に固体微粒子が付着した
フィルタが固定されたカセットと、このフィルタに付着
した固体微粒子を吸引するアスピレータが配置され、前
記チャンバ内にキャリアガスと置換ガスを導入、排出す
る手段を有し、前記アスピレータで吸引した固体微粒子
を微粒子放電ラインを介して放電管に導くようにした微
粒子導入装置において、前 記カセットを複数個装着可能なカセット装着手段
（Ｋ）を前記チャンバ内の所定位置へ移動させるカセッ
ト移動手段（Ｂe）と、該カセット移動手段上に前記カ
セット装着手段の外周に接して配置される回転補助手段
（Ｒ）と、前記カセット移動手段のチャンバ内へのセッ
ト完了時まで前記カセット装着手段の回転を固定してお
くカセット位置固定機構（ＬＯ）と、該カセット位置固
定機構の固定手段解除後に前記カセットの１つを選択す
るため前記カセット装着手段を回転させるカセット回転
手段（ＴＵ）と、選択されたカセットのセット・リセッ
トを操作するカセット・セット・リセット手段（４’）
とを具備したことを特徴とする微粒子導入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30086699A JP3223470B2 (ja) | 1991-10-22 | 1999-10-22 | 微粒子導入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30086699A JP3223470B2 (ja) | 1991-10-22 | 1999-10-22 | 微粒子導入装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04101073A Division JP3084693B2 (ja) | 1991-10-22 | 1992-04-21 | 微粒子導入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000214094A JP2000214094A (ja) | 2000-08-04 |
| JP3223470B2 true JP3223470B2 (ja) | 2001-10-29 |
Family
ID=17890061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30086699A Expired - Fee Related JP3223470B2 (ja) | 1991-10-22 | 1999-10-22 | 微粒子導入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3223470B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100913986B1 (ko) | 2007-05-31 | 2009-08-25 | 한국기초과학지원연구원 | 나노분말 제조용 플라즈마 장치의 시료 공급유닛 |
-
1999
- 1999-10-22 JP JP30086699A patent/JP3223470B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| JP2000214094A (ja) | 2000-08-04 |
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