KR100913986B1 - 나노분말 제조용 플라즈마 장치의 시료 공급유닛 - Google Patents
나노분말 제조용 플라즈마 장치의 시료 공급유닛 Download PDFInfo
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- 플라즈마 리액터, 생성 분말 또는 금속 증기의 분체 포집유닛, 응결된 나노분말을 포집하는 백필터 분체 포집유닛, 캐리어 가스의 가스순환유닛 및 시스템 냉각용 냉각수 제어유닛을 포함하여 구성되는 열분해식 또는 증기응결식 나노분말 제조용 플라즈마 장치의 시료 공급유닛에 있어서,상기 시료 공급유닛은 복수의 시료가 장착된 테이블이 상기 리엑터의 내부에 회전가능하게 구비되어 각각의 시료가 순차적으로 공급되고, 리액터에 삽입되는 중공 몸체; 상기 중공 몸체의 중공에 끼워지는 축; 리액터의 안쪽이면서 축의 일단에 결합되어 복수의 필렛을 장착할 수 있게 구비되는 테이블; 및 상기 축의 타단에 구비되어 상기 테이블을 회전시킬 수 있는 핸들을 포함하며, 상기 중공 몸체가 삽입되는 리액터에는 플랜지가 구비되고, 상기 플랜지에는 실링부재가 개재된 체결플렌지가 체결부재로 체결되며, 상기 중공 몸체는 플랜지와 체결플랜지의 홀에 끼워지는 것이 특징인 나노분말 제조용 플라즈마 장치의 시료 공급유닛
- 제 3 항에 있어서, 상기 체결 플랜지에는 픽서가 끼워맞춤식으로 끼워지고, 픽서에는 체결 플랜지의 경사에 대응하는 경사면이 구비되어 중공 몸체에 밀착 가능한 것이 특징인 나노분말 제조용 플라즈마 장치의 시료 공급유닛
- 삭제
- 제 4 항에 있어서, 상기 테이블에는 시료용 필렛이 장착되는 안착홈이 테이블의 원주방향을 따라 복수로 구비되며, 상기 안착홈의 주연을 따라 필렛에 탄성 홀딩력을 제공하는 스트립형 홀더가 더 포함되는 것이 특징인 나노분말 제조용 플라즈마 장치의 시료 공급유닛
- 제 6 항에 있어서, 상기 홀더의 양단에는 필렛의 직경보다 작은 간격을 두도 록 돌출립이 각각 구비된 것이 특징인 나노분말 제조용 플라즈마 장치의 시료 공급유닛
- 제 4 항에 있어서, 상기 테이블에는 시료용 필렛이 장착되는 안착홈이 테이블의 원주방향을 따라 복수로 구비되며, 상기 안착홈의 일측에는 탄성을 갖는 립부를 포함하는 필렛 고정용 클립이 더 포함되는 것이 특징인 나노분말 제조용 플라즈마 장치의 시료 공급유닛
- 나노분말 제조용 플라즈마 장치를 이용하여 나노분말을 제조하는 방법에 있어서, 시료 공급유닛의 테이블에 복수의 시료용 필렛을 장착하는 제1단계; 리액터, 분체 포집유닛, 백필터 분체 포집유닛을 진공 배기하는 제2단계; 냉각수 제어유닛을 온하여 정온 제어하는 제3단계; 캐리어 가스를 주입하고 가스순환유닛으로 순환시키는 제4단계, 플라즈마 아크를 발생시키는 제5단계; 상기 리액터에 구비되는 아크 발생용 토치를 제1필렛에 높이 제어하여 나노분말을 제조하는 제6단계; 제1필렛이 소진되면 토치를 상방으로 이동하고 다음 필렛이 남아 있는지 확인하는 제7단계; 및 다음 필렛이 남아 있는 경우, 핸들을 회전시켜 다음 필렛을 토치의 직하방으로 위치한 후 상기 제6단계로 진행하는 제8단계;를 포함하는 것이 특징인 나노분말 제조방법
- 제 9 항에 있어서, 상기 제7단계에서 다음 필렛이 남아있지 않다면, 작업을 종료하는 것이 특징인 나노분말 제조방법
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