JP3084693B2 - 微粒子導入装置 - Google Patents
微粒子導入装置Info
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- JP3084693B2 JP3084693B2 JP04101073A JP10107392A JP3084693B2 JP 3084693 B2 JP3084693 B2 JP 3084693B2 JP 04101073 A JP04101073 A JP 04101073A JP 10107392 A JP10107392 A JP 10107392A JP 3084693 B2 JP3084693 B2 JP 3084693B2
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- JP
- Japan
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- aspirator
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- chamber
- gas
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波誘導プラズ
マ（以下「ＭＩＰ」という）を利用した元素分析計の、
プラズマ発生部に微粒子（パ―ティクル）を供給するた
めの微粒子導入装置に関するものである。
マ（以下「ＭＩＰ」という）を利用した元素分析計の、
プラズマ発生部に微粒子（パ―ティクル）を供給するた
めの微粒子導入装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】微粒子導入装置とは、ＭＩＰを利用した
元素分析計におけるプラズマ発生部に微粒子を供給する
装置であって、主たる構成はディスパ―サ―及びアナラ
イザから成る。
元素分析計におけるプラズマ発生部に微粒子を供給する
装置であって、主たる構成はディスパ―サ―及びアナラ
イザから成る。
【０００３】前記ディスパ―サ―としては、例えば、Ｍ
ＩＰを利用した元素分析計のプラズマ発生部に試料（微
粒子）を供給する微粒子導入装置（特開平４−５５５４
号公報参照）により、前記アナライザとしては、例え
ば、ＭＩＰを利用して試料中の元素を分析する発光分光
分析計に検出器として装着される発光分光検出器（特開
平４−５５５５号公報参照）により知られている。
ＩＰを利用した元素分析計のプラズマ発生部に試料（微
粒子）を供給する微粒子導入装置（特開平４−５５５４
号公報参照）により、前記アナライザとしては、例え
ば、ＭＩＰを利用して試料中の元素を分析する発光分光
分析計に検出器として装着される発光分光検出器（特開
平４−５５５５号公報参照）により知られている。
【０００４】即ち、前記ディスパ―サ―は、アスピレ―
タ、表面に固体微粒子が付着されたフィルタを固定する
フィルタユニットが装着されたア―ム、第１モ―タの回
転を全ア―ムの水平方向回転運動に変換する固定軸、及
び第２モ―タの回転をア―ムの上下方向直線運動に変換
するボ―ルネジを設け、アスピレ―タの吸引口がフィル
タと一定距離に近づいた状態で、毎分略３００ｍｌの小
流量で流れるキャリアガスがアスピレ―タに供給された
とき、アスピレ―タによって固体微粒子を吸引して放電
管を用いてプラズマ発生部に供給するものとなってい
る。
タ、表面に固体微粒子が付着されたフィルタを固定する
フィルタユニットが装着されたア―ム、第１モ―タの回
転を全ア―ムの水平方向回転運動に変換する固定軸、及
び第２モ―タの回転をア―ムの上下方向直線運動に変換
するボ―ルネジを設け、アスピレ―タの吸引口がフィル
タと一定距離に近づいた状態で、毎分略３００ｍｌの小
流量で流れるキャリアガスがアスピレ―タに供給された
とき、アスピレ―タによって固体微粒子を吸引して放電
管を用いてプラズマ発生部に供給するものとなってい
る。
【０００５】又、前記アナライザは、例えば、ディスパ
―サ―側に位置するディスチャージ管、マイクロ波を空
洞共鳴させてディスチャージ管の外管内にＭＩＰを発生
させるキャビティ、外管の軸方向に取り出して集光する
光学系、及びこの光学系で集光された光を分光して信号
処理する信号処理部が設けられて、試料中の被測定元素
を検出するものと成っている。
―サ―側に位置するディスチャージ管、マイクロ波を空
洞共鳴させてディスチャージ管の外管内にＭＩＰを発生
させるキャビティ、外管の軸方向に取り出して集光する
光学系、及びこの光学系で集光された光を分光して信号
処理する信号処理部が設けられて、試料中の被測定元素
を検出するものと成っている。
【従来の技術】図１０はこのような微粒子導入装置の従
来の技術の説明に供する図である。
来の技術の説明に供する図である。
【０００６】図１０において、１００は微粒子導入装置
であるディスパ―サ―、１０１はＡr やＨｅで成るキャ
リアガスを導入するキャリアガス導入口、１０２は例え
ばＡr やＨｅ等の置換ガスを導入する置換ガス導入口、
１０３ａ〜１０３ｅは開閉弁、１０４，１０５はガス排
出口、１０６は吸引ポンプ、１０７は表面に微粒子が付
着されたフィルタ―、１０８はアスピレ―タ、１０９は
放電管、１１０はキャビティ、１１１はマイクロ波誘導
プラズマである。
であるディスパ―サ―、１０１はＡr やＨｅで成るキャ
リアガスを導入するキャリアガス導入口、１０２は例え
ばＡr やＨｅ等の置換ガスを導入する置換ガス導入口、
１０３ａ〜１０３ｅは開閉弁、１０４，１０５はガス排
出口、１０６は吸引ポンプ、１０７は表面に微粒子が付
着されたフィルタ―、１０８はアスピレ―タ、１０９は
放電管、１１０はキャビティ、１１１はマイクロ波誘導
プラズマである。
【０００７】このような構成において、キャビティ１１
０の中心部にはマイクロ波発生器（図省略）からマイク
ロ波が照射されたとき、キャビティ１１０の中心部に挿
入されている放電管１０９内のキャリアガスを励起して
マイクロ波誘導プラズマ１１１が発生される。
０の中心部にはマイクロ波発生器（図省略）からマイク
ロ波が照射されたとき、キャビティ１１０の中心部に挿
入されている放電管１０９内のキャリアガスを励起して
マイクロ波誘導プラズマ１１１が発生される。
【０００８】測定時においては、開閉弁１０３ａ，１０
３ｂ，１０３ｄ，１０３ｅが開で開閉弁１０３ｃが閉と
なる。従って、キャリアガスは、開閉弁１０３ａ→アス
ピレ―タ１０８→開閉弁１０３ｅ→放電管１０９の流路
で流れる。一方、フィルタ１０７がスピレ―タ１０８の
吸引口に一定距離近ずく。これにより、フィルタ―の表
面に付着されている微粒子が吸引されてマイクロ波誘導
プラズマ１１１に搬送される。
３ｂ，１０３ｄ，１０３ｅが開で開閉弁１０３ｃが閉と
なる。従って、キャリアガスは、開閉弁１０３ａ→アス
ピレ―タ１０８→開閉弁１０３ｅ→放電管１０９の流路
で流れる。一方、フィルタ１０７がスピレ―タ１０８の
吸引口に一定距離近ずく。これにより、フィルタ―の表
面に付着されている微粒子が吸引されてマイクロ波誘導
プラズマ１１１に搬送される。
【０００９】非測定時においては、開閉弁１０３ａ，１
０３ｅを閉じる。これと共に、開閉弁１０３ｂ〜１０３
ｄの開閉と吸引ポンプ１０６の駆動が操作される。従っ
て、ディスパ―サ―１００内のキャリアガスが置換ガス
（置換ガス導入口１０２から導入されるＡr やＨｅな
ど）で置換される。
０３ｅを閉じる。これと共に、開閉弁１０３ｂ〜１０３
ｄの開閉と吸引ポンプ１０６の駆動が操作される。従っ
て、ディスパ―サ―１００内のキャリアガスが置換ガス
（置換ガス導入口１０２から導入されるＡr やＨｅな
ど）で置換される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の微粒
子導入装置には以下に述べるような問題点がある。
子導入装置には以下に述べるような問題点がある。
【００１１】（１）アスピレ―タ１０８の出口と放電管
１０９の間に設けられた開閉弁１０３ｅ等を閉にしてデ
ィスパ―サ１００内を真空引きすることが行われ、また
アスピレ―タ１０８の吸引ノズル部に盲栓をあててシ―
ルすることも行われていために、開閉弁１０３ｅ等を閉
にしてディパ―サ―１００内を真空引きする場合にはア
スピレ―タ１０８から放電管１０９までの距離が長くな
って微粒子の導入効率が低下するうえ、開閉弁１０３ｅ
などの接ガス部が樹脂で構成されているため水分などの
吸着がとり切れない。
１０９の間に設けられた開閉弁１０３ｅ等を閉にしてデ
ィスパ―サ１００内を真空引きすることが行われ、また
アスピレ―タ１０８の吸引ノズル部に盲栓をあててシ―
ルすることも行われていために、開閉弁１０３ｅ等を閉
にしてディパ―サ―１００内を真空引きする場合にはア
スピレ―タ１０８から放電管１０９までの距離が長くな
って微粒子の導入効率が低下するうえ、開閉弁１０３ｅ
などの接ガス部が樹脂で構成されているため水分などの
吸着がとり切れない。
【００１２】（２）アスピレ―タ１０８の吸引ノズル部
に盲栓をあててシ―ルする場合には、吸引ノズル部の先
端に機械的力が加わって該先端部が破損しやすいうえ、
盲栓がゴム板などで構成されているため水分などの吸着
がとり切れない。
に盲栓をあててシ―ルする場合には、吸引ノズル部の先
端に機械的力が加わって該先端部が破損しやすいうえ、
盲栓がゴム板などで構成されているため水分などの吸着
がとり切れない。
【００１３】本発明はこのような従来の技術の問題点に
鑑みてなされたものであり、微粒子導入効率が高く、し
かも信頼性も高い、或いは又操作性の簡単化をも達し得
る微粒子導入装置を提供することを目的とするものであ
る。
鑑みてなされたものであり、微粒子導入効率が高く、し
かも信頼性も高い、或いは又操作性の簡単化をも達し得
る微粒子導入装置を提供することを目的とするものであ
る。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めの本発明の微粒子導入装置は、チャンバー内に表面に
固体微粒子が付着したフィルタとこのフィルタに付着し
た固体微粒子を吸引するアスピレータが配置され、前記
チャンバー内にキャリアガスと置換ガスを導入、排出す
る手段を有し、前記アスピレータで吸引した固体微粒子
を微粒子放電ラインを介して放電管に導くようにした微
粒子導入装置において、前記チャンバー内に断面が凹状
に形成され内周にリング状のシール部材を有し、前記シ
ール部材を介して前記アスピレータの吸引口を挿入する
ことにより前記アスピレータ側への前記ガスの流通を遮
断するノズルプラグを設け、このノズルプラグと前記微
粒子が付着したフィルタを交互に前記アスピレータの吸
引口に対して垂直および水平方向に移動させる移動手段
を設けたことを特徴としている。
めの本発明の微粒子導入装置は、チャンバー内に表面に
固体微粒子が付着したフィルタとこのフィルタに付着し
た固体微粒子を吸引するアスピレータが配置され、前記
チャンバー内にキャリアガスと置換ガスを導入、排出す
る手段を有し、前記アスピレータで吸引した固体微粒子
を微粒子放電ラインを介して放電管に導くようにした微
粒子導入装置において、前記チャンバー内に断面が凹状
に形成され内周にリング状のシール部材を有し、前記シ
ール部材を介して前記アスピレータの吸引口を挿入する
ことにより前記アスピレータ側への前記ガスの流通を遮
断するノズルプラグを設け、このノズルプラグと前記微
粒子が付着したフィルタを交互に前記アスピレータの吸
引口に対して垂直および水平方向に移動させる移動手段
を設けたことを特徴としている。
【００１５】
【作用】本発明によれば、アスピレータの吸引口を例え
ばＯリング等のシール材でシールして、アスピレータと
チャンバー間のガスの連通を遮断することで、アスピレ
ータと放電管の間に開閉弁等を必要とせず、しかも、ア
スピレ―タの吸引口先端部に機械的な押圧力が加わらな
い構造とすることにより、微粒子導入効率が高く、高信
頼性も維持できる。
ばＯリング等のシール材でシールして、アスピレータと
チャンバー間のガスの連通を遮断することで、アスピレ
ータと放電管の間に開閉弁等を必要とせず、しかも、ア
スピレ―タの吸引口先端部に機械的な押圧力が加わらな
い構造とすることにより、微粒子導入効率が高く、高信
頼性も維持できる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明について図を用いて詳細に説明
する。
する。
【００１７】図１は本発明の具体的実施例の構成説明図
であり、特に、図１（イ）は本発明の具体的実施例の平
面図、図１（ロ）は本発明の具体的実施例の断面図であ
る。図２乃至図５は本発明の説明に供する図であり、特
に、図２はノズルプラグの拡大断面図、図３乃至図４は
動作を説明するための図、図５は具体的使用例の説明図
である。
であり、特に、図１（イ）は本発明の具体的実施例の平
面図、図１（ロ）は本発明の具体的実施例の断面図であ
る。図２乃至図５は本発明の説明に供する図であり、特
に、図２はノズルプラグの拡大断面図、図３乃至図４は
動作を説明するための図、図５は具体的使用例の説明図
である。
【００１８】図６は本発明のその他の具体的実施例の構
成説明図である。図７乃至図９はその他の実施例の説明
に供する図であり、特に、図７は図６の側面図、図８乃
至図９は図６に至る補足のための説明図である。
成説明図である。図７乃至図９はその他の実施例の説明
に供する図であり、特に、図７は図６の側面図、図８乃
至図９は図６に至る補足のための説明図である。
【００１９】図１乃至図５において、１はネジとＯリン
グシ―ルによって外からの空気の漏れ込みを防ぐように
構成されているケ―ス、２はフィルタ（図省略）上の微
粒子を吸引して放電管に供給するアスピレ―タ、２´は
アスピレ―タの吸引口、３はノズルプラグ、４は先端部
にノズルプラグが装着された第１ア―ム、５はガス置換
部などを構成し吸引口２´を介してアスピレ―タ２と連
通するチャンバ―である。
グシ―ルによって外からの空気の漏れ込みを防ぐように
構成されているケ―ス、２はフィルタ（図省略）上の微
粒子を吸引して放電管に供給するアスピレ―タ、２´は
アスピレ―タの吸引口、３はノズルプラグ、４は先端部
にノズルプラグが装着された第１ア―ム、５はガス置換
部などを構成し吸引口２´を介してアスピレ―タ２と連
通するチャンバ―である。
【００２０】ところで、アスピレ―タ１は、キャリアガ
スとしてＡr ガスを使用した場合には、キャリアガスと
試料ガスとの吸引比率を例えば１：３、キャリアガスと
してＨｅガスを使用した場合には、その吸引比率を例え
ば１：１．５となるように吸引特性が設計されている。
スとしてＡr ガスを使用した場合には、キャリアガスと
試料ガスとの吸引比率を例えば１：３、キャリアガスと
してＨｅガスを使用した場合には、その吸引比率を例え
ば１：１．５となるように吸引特性が設計されている。
【００２１】又、ノズルプラグ３は、図２に示すよう
に、第１ア―ム４の先端に装着されたノズルプラグ本体
３ａがＯリング３ｂを介してアスピレ―タの吸引口２´
を把持するようになっており、更に、第１ア―ム４を介
して第２ア―ム８と共に支柱６に取り付けられており、
吸引口２´に蓋をすることによって、この吸引口２´と
チャンバ―５の連通を遮断するようになっている。
に、第１ア―ム４の先端に装着されたノズルプラグ本体
３ａがＯリング３ｂを介してアスピレ―タの吸引口２´
を把持するようになっており、更に、第１ア―ム４を介
して第２ア―ム８と共に支柱６に取り付けられており、
吸引口２´に蓋をすることによって、この吸引口２´と
チャンバ―５の連通を遮断するようになっている。
【００２２】このときに前記支柱６は、バックラッシュ
が例えば０．０１ｍｍ以下となるように設計されている
ボ―ルネジと、このバックラッシュを相殺し第２モ―タ
から加えられた動き（即ち、角度分解能の極めて高いス
テッピングモ―タでなるモ―タの回転運動が、タイミン
グベルトを介して伝達される）をボ―ルネジを介してフ
ィルタホルダー７に装着されているフィルタ―のｚ軸方
向の動きに変換する固定軸から構成される。
が例えば０．０１ｍｍ以下となるように設計されている
ボ―ルネジと、このバックラッシュを相殺し第２モ―タ
から加えられた動き（即ち、角度分解能の極めて高いス
テッピングモ―タでなるモ―タの回転運動が、タイミン
グベルトを介して伝達される）をボ―ルネジを介してフ
ィルタホルダー７に装着されているフィルタ―のｚ軸方
向の動きに変換する固定軸から構成される。
【００２３】又、前記フィルタホルダー７は、ノズルプ
ラグ３と第１ア―ム４，先端に当該フィルタホルダー７
が装着された第２ア―ム８を介して機械的に接続された
上で微粒子を採取したフィルタアセンブリ（図示せず）
を固定している。尚、フィルタホルダー７に装着された
フィルタとアスピレ―タ１の吸引口との間隔は例えば
０．１ｍｍ以下になるように制御されている。
ラグ３と第１ア―ム４，先端に当該フィルタホルダー７
が装着された第２ア―ム８を介して機械的に接続された
上で微粒子を採取したフィルタアセンブリ（図示せず）
を固定している。尚、フィルタホルダー７に装着された
フィルタとアスピレ―タ１の吸引口との間隔は例えば
０．１ｍｍ以下になるように制御されている。
【００２４】９はフィルタホルダー７からフィルタを取
外したりするときに使用する交換窓を示す。
外したりするときに使用する交換窓を示す。
【００２５】このような構成においてその動作は以下の
ようになる。これを図１〜図５を用いて説明する。
ようになる。これを図１〜図５を用いて説明する。
【００２６】最初に、図３の位置で、交換窓９におい
て微粒子を採取したフィルタアセンブリ（図省略）をフ
ィルタホルダ―７に乗せる。
て微粒子を採取したフィルタアセンブリ（図省略）をフ
ィルタホルダ―７に乗せる。
【００２７】支柱６を回転させて、第１ア―ム４，第
２ア―ム８を介してフィルタホルダ―７及びノズルプラ
グ３を下降させる。
２ア―ム８を介してフィルタホルダ―７及びノズルプラ
グ３を下降させる。
【００２８】その後に、第１ア―ム４，第２ア―ム８
を図３の太線矢印方向Ｆに回転させて図１（イ）の状態
にする。
を図３の太線矢印方向Ｆに回転させて図１（イ）の状態
にする。
【００２９】この状態で、支柱６を回転させてノズル
プラグ３を上昇させ、図２のように吸引口２´をシ―ル
する。
プラグ３を上昇させ、図２のように吸引口２´をシ―ル
する。
【００３０】その後、図５における開閉弁１０３ｂ，
１０３ｄを閉として開閉弁１０３ｃを開とする。この状
態で吸引ポンプ１０６を駆動させてチャンバ―５内の空
気を吸引してチャンバー内を真空とする。
１０３ｄを閉として開閉弁１０３ｃを開とする。この状
態で吸引ポンプ１０６を駆動させてチャンバ―５内の空
気を吸引してチャンバー内を真空とする。
【００３１】チャンバ―５内が一定の真空度に達した
ら、開閉弁１０３ｃを閉じ、開閉弁１０３ｂを開にして
チャンバ―５内に置換ガスを充填する。
ら、開閉弁１０３ｃを閉じ、開閉弁１０３ｂを開にして
チャンバ―５内に置換ガスを充填する。
【００３２】置換ガスが充填されてチャンバ―５内が
大気圧になったら開閉弁１０３ｄを開にしてチャンバ―
５内を大気解放にする。と同時に、図１（ロ）の支柱６
を回転させてノズルプラグ３を下降させ、第１ア―ム
４，第２ア―ム８を更に回転させて図４の位置とする。
大気圧になったら開閉弁１０３ｄを開にしてチャンバ―
５内を大気解放にする。と同時に、図１（ロ）の支柱６
を回転させてノズルプラグ３を下降させ、第１ア―ム
４，第２ア―ム８を更に回転させて図４の位置とする。
【００３３】この後、支柱６を回転させて、フィルタ
ホルダ―７を上昇させる。所定の位置でフィルタホルダ
―７の上昇を停止させた後に微粒子の吸引を開始させる
こととなる。
ホルダ―７を上昇させる。所定の位置でフィルタホルダ
―７の上昇を停止させた後に微粒子の吸引を開始させる
こととなる。
【００３４】このように、アスピレ―タ２の吸引口２´
をＯリング３ｂでシ―ルし、アスピレ―タ２とチャンバ
―５の連通を遮断するような構成にしたため、微粒子導
入効率が高いうえ信頼性も高い微粒子導入装置が実現す
る。
をＯリング３ｂでシ―ルし、アスピレ―タ２とチャンバ
―５の連通を遮断するような構成にしたため、微粒子導
入効率が高いうえ信頼性も高い微粒子導入装置が実現す
る。
【００３５】なお、本発明は上述の実施例に限定される
ことなく種々の変形が可能であり、例えば、図３に示す
ようにフィルタホルダ―とノズルプラグを一体構造にし
ても良い。
ことなく種々の変形が可能であり、例えば、図３に示す
ようにフィルタホルダ―とノズルプラグを一体構造にし
ても良い。
【００３６】
【００３７】
【００３８】
【００３９】
【００４０】
【００４１】
【００４２】
【００４３】
【００４４】
【００４５】
【００４６】
【００４７】
【００４８】
【００４９】
【００５０】
【００５１】
【００５２】
【００５３】
【００５４】
【発明の効果】以上、実施例を用いて詳しく説明したよ
う本発明によれば、以下のような効果を奏する。
う本発明によれば、以下のような効果を奏する。
【００５５】アスピレ―タと放電管の間の開閉弁が不
要となるため、微粒子の導入路を短くできることから簡
単な構成とすることができ、微粒子の導入効率が向上す
る。
要となるため、微粒子の導入路を短くできることから簡
単な構成とすることができ、微粒子の導入効率が向上す
る。
【００５６】接ガス部が樹脂で構成されている従来の
技術の開閉弁１０３ｅ等を除くことができるので、これ
らの製造コストが不要となり、又接ガス部分全てを金属
で構成できるので水分等の吸着を最小限に押さえること
ができ、プラズマのバックグランドノイズを軽減でき
る。
技術の開閉弁１０３ｅ等を除くことができるので、これ
らの製造コストが不要となり、又接ガス部分全てを金属
で構成できるので水分等の吸着を最小限に押さえること
ができ、プラズマのバックグランドノイズを軽減でき
る。
【００５７】アスピレ―タ吸引口２´の微細な先端部
を押さえていないため、かかる先端部が変形等を起こす
恐れがない。
を押さえていないため、かかる先端部が変形等を起こす
恐れがない。
【００５８】第１アーム，第２ア―ムや支柱等に無理
な押圧力が加わらないために機構部の信頼性が向上す
る。
な押圧力が加わらないために機構部の信頼性が向上す
る。
【００５９】
【００６０】
【図１】本発明の具体的実施例の構成説明図である。
【図２】本発明の説明に供する図である。
【図３】本発明の説明に供する図である。
【図４】本発明の説明に供する図である。
【図５】本発明の説明に供する図である。
【図６】従来の技術の説明に供する図である。
２ アスピレ―タ ２´ アスピレ―タの吸引口 ３，１１３ ノズルプラグ ４，８ ア―ム ５ ガス置換部 ７ フィルタホ―ルド ９ 交換窓 １００ デスパ―サ― １０３ａ〜１０３ｄ 開閉弁 １０７ 微粒子が付着されたフィルタ― １０８ アスピレ―タ １０９ 放電管 １１１ マイクロ波誘導プラズマ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/62 - 21/74 G01N 1/00 101 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (1)
- 【請求項１】チャンバー内に表面に固体微粒子が付着し
たフィルタとこのフィルタに付着した固体微粒子を吸引
するアスピレータが配置され、前記チャンバー内にキャ
リアガスと置換ガスを導入、排出する手段を有し、前記
アスピレータで吸引した固体微粒子を微粒子放電ライン
を介して放電管に導くようにした微粒子導入装置におい
て、前記チャンバー内に断面が凹状に形成され内周にリ
ング状のシール部材を有し、前記シール部材を介して前
記アスピレータの吸引口を挿入することにより前記アス
ピレータ側への前記ガスの流通を遮断するノズルプラグ
を設け、このノズルプラグと前記微粒子が付着したフィ
ルタを交互に前記アスピレータの吸引口に対して垂直お
よび水平方向に移動させる移動手段を設けことを特徴と
する微粒子導入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04101073A JP3084693B2 (ja) | 1991-10-22 | 1992-04-21 | 微粒子導入装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3-274123 | 1991-10-22 | ||
| JP27412391 | 1991-10-22 | ||
| JP04101073A JP3084693B2 (ja) | 1991-10-22 | 1992-04-21 | 微粒子導入装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30086699A Division JP3223470B2 (ja) | 1991-10-22 | 1999-10-22 | 微粒子導入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05172750A JPH05172750A (ja) | 1993-07-09 |
| JP3084693B2 true JP3084693B2 (ja) | 2000-09-04 |
Family
ID=26441996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04101073A Expired - Fee Related JP3084693B2 (ja) | 1991-10-22 | 1992-04-21 | 微粒子導入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3084693B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8020458B2 (en) | 2006-05-09 | 2011-09-20 | Sumitomo Seika Chemicals Co., Ltd | Sample introducing system |
-
1992
- 1992-04-21 JP JP04101073A patent/JP3084693B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05172750A (ja) | 1993-07-09 |
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