JP3222612B2 - Surface processing method - Google Patents
Surface processing methodInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は金型のような被加工物の
表面に、切削、研削、研磨等の表面処理加工を行うにあ
たっての表面加工方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface processing method for performing a surface treatment such as cutting, grinding and polishing on the surface of a workpiece such as a mold.
【０００２】[0002]
【従来の技術】金型のような被加工物の表面加工処理に
あたり、被加工物表面の高さ情報を加工工具及びこれを
保持しているスピンドルを介して電気マイクロメータか
らなる位置検出装置で検出し、所望形状と加工状態での
形状との比較を行いながら被加工物表面に対する工具の
加工力制御を行うものが、特開昭６１−１２１８６４号
公報に示されている。2. Description of the Related Art In processing a surface of a workpiece such as a die, height information of the surface of the workpiece is obtained by a position detecting device comprising an electric micrometer via a processing tool and a spindle holding the processing tool. Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-121864 discloses an apparatus that detects and compares a desired shape with a shape in a machining state and controls the machining force of a tool on the surface of a workpiece.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のも
のでは、その位置検出装置がスピンドルの軸方向の情報
しか得ることができず、被加工物表面の凹凸による傾き
情報は検出することができなかった。また加工力制御に
しても、スピンドルの軸方向の力制御だけであった。However, in the above-mentioned conventional apparatus, the position detecting device can only obtain information in the axial direction of the spindle, and can detect inclination information due to unevenness on the surface of the workpiece. Did not. Also, the processing force control is only the force control in the axial direction of the spindle.
【０００４】本発明はこのような点に鑑み為されたもの
であり、その目的とするところは、加工工具の制御を被
加工物表面の状態に応じてより的確に行うことができる
表面加工方法を提供するにある。The present invention has been made in view of such a point, and an object of the present invention is to control a working tool more accurately in accordance with the state of the surface of a workpiece.
An object of the present invention is to provide a surface processing method .
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】しかして本発明に係る表
面加工方法は、加工工具を保持する磁気制御手段によっ
て、被加工物表面に加工工具を押し付ける方向の加工工
具の動き及びこの方向に対する加工工具の傾きを少なく
とも検出するとともに、上記磁気制御手段にて加工工具
による加工形態を制御する表面加工方法であって、被加
工物表面の凸部において加工工具を被加工物表面に押し
付ける加圧力を増大させ、被加工物表面 の凹部において
加圧力を減少させることを磁気制御手段による被加工物
表面の検出状態に応じてリアルタイムで行うことに第１
の特徴を有しており、被加工物表面の法線方向を検出し
ながら、エンドミルである加工工具の回転軸を上記法線
に一致させる加工工具の姿勢制御を行うことを磁気制御
手段による被加工物表面の検出状態に応じてリアルタイ
ムで行うことに第２の特徴を有しており、加工工具を移
動させる方向における被加工物表面の傾きを検出しなが
ら、この傾きに応じて加工工具の弾性中心位置を移動さ
せることを磁気制御手段による被加工物表面の検出状態
に応じてリアルタイムで行うことに第３の特徴を有して
おり、加工工具を移動させる方向における被加工物表面
の傾きを検出しながら、この傾きに応じた方向のモーメ
ントを加工工具に付加することを磁気制御手段による被
加工物表面の検出状態に応じてリアルタイムで行うこと
に第４の特徴を有しており、被加工物表面の内隅コーナ
ー部の研磨に際して、被加工物一面に接触させた加工工
具に発生するモーメントを検出して、このモーメントの
値から加工工具を被加工物表面に面接触させる姿勢制御
を行うことを磁気制御手段による被加工物表面の検出状
態に応じてリアルタイムで行うことに第５の特徴を有し
ており、被加工物表面の外隅エッジ部の研磨に際して、
被加工物一面に接触させた加工工具に発生するモーメン
トを検出して、このモーメントの値から加工工具を被加
工物表面に面接触させる姿勢制御を行うとともに、エッ
ジ部近傍において、加工工具における弾性中心位置を移
動させることを磁気制御手段による被加工物表面の検出
状態に応じてリアルタイムで行うことに第６の特徴を有
しており、被加工物表面の段差部の研磨に際して、被加
工物一面に接触させた加工工具に発生するモーメントを
検出して、このモーメントの値から加工工具を被加工物
表面に面接触させる姿勢制御を行う内隅コーナー部の研
磨工程と、被加工物一面に接触させた加工工具に発生す
るモーメントを検出して、このモーメントの値から加工
工具を被加工物表面に面接触させる姿勢制御を行うとと
もに、エッジ部近傍において、加工工具における弾性中
心位置を移動させる外隅エッジ部の研磨工程とを磁気制
御手段による被加工物表面の検出状態に応じてリアルタ
イムで行うことに第７の特徴を有しており、被加工物表
面に加工工具を押し付ける方向に対する加工工具の傾き
の補正項である弾性定数を０に設定して加工を行うこと
を磁気制御手段による被加 工物表面の検出状態に応じて
リアルタイムで行うことに第８の特徴を有しており、さ
らに磁気制御手段による検出動作で被加工物表面の凹凸
状態を予め検出し、ついでこの検出情報に基づいて加工
工具を制御して表面加工を行うことに第９の特徴を有し
ている。According to the surface machining method of the present invention, the magnetic control means for holding the machining tool moves the machining tool in a direction in which the machining tool is pressed against the surface of the workpiece and machining in this direction. A surface processing method for detecting at least the inclination of a tool and controlling a processing mode of a processing tool by the magnetic control means ,
Press the processing tool against the workpiece surface at the convex part of the workpiece surface
Increase the applied pressure, and in the recess on the surface of the workpiece
Workpiece by magnetic control means to reduce the pressing force
First to perform in real time according to surface detection status
Detects the normal direction of the workpiece surface
While rotating the rotation axis of the machining tool that is an end mill
Magnetic control to control the attitude of the machining tool to match
Real time according to the detection state of the workpiece surface by
Has the second feature of performing machining.
While detecting the inclination of the workpiece surface in the moving direction
Move the elastic center position of the machining tool according to this inclination.
The state of the workpiece surface detected by the magnetic control means
In real time according to the third characteristic
Workpiece surface in the direction in which the machining tool is moved
While detecting the inclination of the
That the magnetic control means
Performing in real time according to the detection state of the workpiece surface
Having the fourth feature, the inner corner corner of the surface of the workpiece.
Processing part that is in contact with one surface of the workpiece when polishing
The moment generated in the fixture is detected and this moment
Attitude control that makes the machining tool come into surface contact with the surface of the workpiece from the values
The state of the workpiece surface detected by the magnetic control means
The fifth characteristic is that it is performed in real time according to the situation.
When polishing the outer corner edge of the workpiece surface,
Moment generated in a machining tool brought into contact with one surface of a workpiece
And the machining tool is applied based on the value of this moment.
While controlling the posture to make surface contact with the workpiece surface,
Near the edge, move the elastic center position of the machining tool.
Moving the workpiece by magnetic control means
The sixth feature is that it is performed in real time according to the status.
When polishing the step on the surface of the workpiece,
The moment generated in the machining tool that is in contact with
Detects the machining tool from the value of this moment
Grinding of inner corner corners for controlling posture to make surface contact with the surface
Polishing process and machining tools that come into contact with one surface of the workpiece
The moment from the moment
When posture control is performed to bring the tool into surface contact with the workpiece surface,
In the vicinity of the edge, the elasticity of the machining tool
Magnetic control of the outer corner edge polishing process to move the center position
Real-time according to the detection state of the workpiece surface by
It has the seventh feature of performing in
The inclination of the machining tool with respect to the direction in which the machining tool is pressed against the surface
Processing by setting the elastic constant, which is the correction term of, to 0
In response to the detection state of the pressurized Engineering workpiece surface by the magnetic control means
It has an eighth feature of performing in real time.
In addition, irregularities on the surface of the workpiece
The state is detected in advance, and processing is performed based on this detection information.
The ninth feature is that the surface is processed by controlling the tool .
【０００６】[0006]
【作用】本発明によれば、磁気制御手段によって、加工
工具が接する被加工物表面の傾き具合を含む凹凸状態を
適切に検出とともに、この状態に応じた加工を適切に行
うことができる。According to the present invention, a magnetic control means, along with appropriately detect irregularities including the tilt of the workpiece surface that the machining tool is in contact, cormorants appropriate row <br/> processed in accordance with the state be able to.
【０００７】[0007]
【実施例】以下本発明を図示の実施例に基づいて詳述す
ると、本発明においては、たとえば図３に示すような加
工装置を用いる。この加工装置は、保持機構１にて保持
されている可動体２に、加工工具６が装着されるスピン
ドルモータ３を取り付けたもので、ここにおける保持機
構１は、可動体２を包み込むとともに可動体２を磁気吸
引力により浮上支持して、可動体２にＸ・Ｙ・Ｚの各軸
方向とこれらの各軸回りの回転θｘ・θｙ・θｚの６自
由度の動きを行わせることができるようになっており、
その内面には、可動体２の上記６自由度の動きによる位
置変化を捕らえる複数個の位置センサ４が配置されると
ともに、可動体２の上下面に対向する３対の等間隔で配
置された電磁石５と、可動体２の矩形状外周面に対向さ
せて配置した５対の電磁石５とが設置されている。これ
ら電磁石５による吸引力によって、可動体２の上記磁気
浮上に加えて、可動体２に上記６自由度の動きも行わせ
ることができるようになっている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the illustrated embodiment. In the present invention, for example, a processing apparatus as shown in FIG. 3 is used. In this processing apparatus, a spindle motor 3 on which a processing tool 6 is mounted is attached to a movable body 2 held by a holding mechanism 1, and the holding mechanism 1 wraps the movable body 2 and 2 is floated and supported by magnetic attraction, so that the movable body 2 can move in six axial directions of X, Y, and Z and rotations θx, θy, and θz around these axes. It has become
On its inner surface, a plurality of position sensors 4 for capturing a change in position of the movable body 2 due to the above-mentioned six degrees of freedom movement are arranged, and three pairs of equal distances opposed to the upper and lower surfaces of the movable body 2 are arranged. An electromagnet 5 and five pairs of electromagnets 5 arranged opposite to the rectangular outer peripheral surface of the movable body 2 are provided. By the attraction force of these electromagnets 5, in addition to the above-described magnetic levitation of the movable body 2, the movable body 2 can also perform the above-described movement with six degrees of freedom.
【０００８】そして、各位置センサ４は、図４に示すよ
うに、インターフェースＩ／Ｆを介して制御回路Ｃに接
続され、また各電磁石５もアンプＡとインターフェース
Ｉ／Ｆを介して制御回路Ｃに接続されている。この制御
回路Ｃは、位置センサ４から出力される上記６自由度の
動きが可能な可動体２の位置を検出してこれを基に各電
磁石５に流すコイル電流を調節することで、可動体２の
位置及び姿勢制御を行うとともに、加工工具６で被加工
物表面の加工を行う時の加工工具６を被加工物表面に押
し付ける力である加工力の制御を行うもので、各電磁石
５に作用する力の相互作用を考慮して制御のための演算
を行う必要があるために、行列演算を高速処理すること
ができるマイクロコンピュータで形成されている。As shown in FIG. 4, each position sensor 4 is connected to a control circuit C via an interface I / F, and each electromagnet 5 is connected to a control circuit C via an amplifier A and the interface I / F. It is connected to the. The control circuit C detects the position of the movable body 2 which can be moved in six degrees of freedom output from the position sensor 4 and adjusts the coil current flowing through each electromagnet 5 based on the detected position. 2 and controls the processing force, which is the force pressing the processing tool 6 against the surface of the workpiece when processing the surface of the workpiece with the processing tool 6. Since it is necessary to perform an operation for control in consideration of the interaction of acting forces, the microcomputer is formed by a microcomputer capable of performing high-speed matrix operation.
【０００９】しかして、加工工具６が研磨工具であり、
被加工物７の表面に加工工具６を押し付ける方向がＺ軸
方向である時、被加工物７のうねりのある表面を研磨し
てこの表面を平坦面とする研磨加工にあたっては、図１
及び図２に示すように、まず加圧力Ｎ、加圧力の増減量
α、研磨加工領域Ｘ0 〜Ｘ1 の設定と、被加工物７表面
のうねり量の目標値ａ等の条件設定を行い、研磨加工開
始点Ｘ0 に加工工具６を位置させて、この開始点Ｘ0 に
おける被加工物７表面に加工工具６を接触させるととも
に、上記電磁石５によってＺ軸方向に加圧力Ｎを加え、
この開始点Ｘ0における被加工物７表面の高さを位置セ
ンサ４で測定する。Thus, the working tool 6 is a polishing tool,
When the direction in which the processing tool 6 is pressed against the surface of the workpiece 7 is the Z-axis direction, the undulating surface of the workpiece 7 is polished to make this surface a flat surface.
As shown in FIG. 2, first, conditions such as the pressing force N, the increase / decrease amount α of the pressing force, the polishing areas X 0 to X 1 , and the target value a of the undulation amount on the surface of the workpiece 7 are set. The machining tool 6 is positioned at the polishing start point X 0 , the machining tool 6 is brought into contact with the surface of the workpiece 7 at the start point X 0, and the pressing force N is applied in the Z-axis direction by the electromagnet 5.
The height of the surface of the workpiece 7 at the start point X 0 is measured by the position sensor 4.
【００１０】そして開始点Ｘ0 における被加工物７表面
の高さを基準高さＺ＝０とする場合には、この基準高さ
のところには加圧力Ｎで加工工具６を研磨するととも
に、規準高さより高くなっている被加工物７の表面につ
いては、加工力をＮ＋αに、基準高さより低くなってい
るところでは加工力をＮ−αとして研磨加工領域Ｘ0〜
Ｘ1 内を順次研磨していくものであり、この研磨加工
を、被加工物７表面で最も高くなっているところの高さ
Ｚｍａｘから最も低くなっているところの高さＺｍｉｎ
を引いた値が前記目標値ａより小さくなるまで繰り返す
のである。When the height of the surface of the workpiece 7 at the starting point X 0 is set to the reference height Z = 0, the working tool 6 is polished at the reference height with the pressing force N, and criteria for the height higher than going on the surface of the workpiece 7, the working force in N + alpha, where is lower than the reference height polishing region X 0 ~ the working force as N-alpha
Are those sequentially polished in X 1, the polishing, Zmin height of the place where the lowest from a height Zmax of the place where the highest in the workpiece 7 surface
Is repeated until the value obtained by subtracting becomes smaller than the target value a.
【００１１】図５及び図６に示す加工方法は、うねり面
を研磨するにあたり、加圧力Ｎと目標高さＺｅｎｄと研
磨加工領域Ｘ0 〜Ｘ1 の設定を行い、研磨加工開始点Ｘ
0 に加工工具６を位置させて、この開始点Ｘ0 における
被加工物７表面に加工工具６を接触させるとともに、上
記電磁石５によってＺ軸方向に加圧力Ｎを加え、この開
始点Ｘ0 における被加工物７表面の高さが目標高さＺｅ
ｎｄとなるまで研磨している。その後、研磨加工位置を
所定量だけずらして、その地点を目標高さＺｅｎｄとな
るまで研磨することを研磨加工領域終点Ｘ1 に至るまで
繰り返している。In the processing method shown in FIGS. 5 and 6, in polishing the waviness surface, a pressing force N, a target height Zend, and polishing processing areas X 0 to X 1 are set, and a polishing starting point X is set.
The machining tool 6 is positioned at 0 , the machining tool 6 is brought into contact with the surface of the workpiece 7 at the start point X 0 , and a pressing force N is applied in the Z-axis direction by the electromagnet 5. The height of the surface of the workpiece 7 is the target height Ze.
Polishing is performed until the value reaches nd. Then, by shifting the polishing position by a predetermined amount, it is repeated up to the polishing area end point X 1 to be polished until the point the target height Zend.
【００１２】図７及び図８に示す実施例は、フラットエ
ンドミルである加工工具６によって、曲面となっている
被加工物７表面を切削する場合を示しており、加圧力Ｎ
とトレランスａと加工領域Ｘ0 〜Ｘ1 の設定の後、一定
加圧力Ｎにて開始点Ｘ0 から切削を開始する。そして切
削中のフラットエンドミルである加工工具６と被加工物
７表面との接触位置及び垂直反力の方向を位置センサ４
と電磁石４に印加する電流値とから検出することによ
り、加工工具６の姿勢情報と被加工物７表面の法線方向
を検知し、加工工具６の軸線と被加工物７表面の法線方
向とが一致するように、加工工具６の姿勢を制御する。
このように被加工物７表面の法線方向に合わせた加工工
具６の姿勢制御を行いつつ、加工領域終点Ｘ1 まで切削
することを、トレランスが設定値ａとなるまで繰り返す
ことで行えば、フラットエンドミルである加工工具６の
底面刃によって常に曲面の切削を行うことができるとと
もに、加工工具６としてボールエンドミルを使用する場
合に比して工具走査ピッチを大きくとることができて、
高能率に加工を行うことができる。The embodiment shown in FIGS. 7 and 8 shows a case in which a curved workpiece surface 7 is cut by a processing tool 6 which is a flat end mill.
After setting the tolerances a and the processing areas X 0 to X 1 , cutting is started from the start point X 0 at a constant pressure N. The position sensor 4 detects the contact position between the processing tool 6 which is a flat end mill during cutting and the surface of the workpiece 7 and the direction of the vertical reaction force.
And the current value applied to the electromagnet 4 to detect the attitude information of the machining tool 6 and the normal direction of the surface of the workpiece 7, and detect the axis of the machining tool 6 and the normal direction of the surface of the workpiece 7. The attitude of the machining tool 6 is controlled so that the position of the machining tool 6 coincides.
Thus while performing the attitude control of the working tool 6 to match the normal direction of the workpiece 7 surface, the cutting to the machining area end point X 1, be performed by repeating until tolerance becomes the set value a, A curved surface can always be cut by the bottom edge of the processing tool 6 which is a flat end mill, and the tool scanning pitch can be made larger than when a ball end mill is used as the processing tool 6,
Processing can be performed with high efficiency.
【００１３】図９及び図１０に示す実施例は、うねり面
を有する被加工物７表面の研磨を行うにあたり、加工工
具６近辺に位置させた弾性中心Ｄの位置を、被加工物７
表面の状態に応じて移動させる制御を行う場合を示して
いる。弾性中心Ｄは、弾性マトリックスを対角行列とし
て表すことができる座標系の原点と定義されるもので、
外力が弾性中心Ｄを通れば、質量は傾かずに外力の方向
に移動するが、弾性中心Ｄの回りにモーメントが加わっ
た場合は、質量が弾性中心Ｄの回りに回転する。これを
保持機構１とこれに空気軸受及び電磁石５で保持されて
いる可動体２の系に応用し、加工工具６の先端部付近に
位置するように設定した弾性中心Ｄを、被加工物７表面
が加工工具６を移動させる方向において上り傾斜となっ
ているところでは加工工具６の進行方向前方側に移動さ
せ、下り傾斜となっているところでは後方側に移動させ
る制御を行っている。被加工物７表面における凸部とな
っているところに加圧力Ｎの中心が移動するために、凸
部の研磨が早期に終了するものである。In the embodiment shown in FIGS. 9 and 10, when polishing the surface of the workpiece 7 having the undulating surface, the position of the elastic center D located near the processing tool 6 is determined by the processing of the workpiece 7.
A case is shown in which control is performed to move according to the state of the surface. The elastic center D is defined as the origin of a coordinate system that can represent the elastic matrix as a diagonal matrix.
When the external force passes through the elastic center D, the mass moves in the direction of the external force without tilting. However, when a moment is applied around the elastic center D, the mass rotates around the elastic center D. This is applied to a holding mechanism 1 and a system of a movable body 2 held by an air bearing and an electromagnet 5 on the holding mechanism 1, and an elastic center D set so as to be located near a tip end of a processing tool 6 is set to a workpiece 7. When the surface is inclined upward in the direction in which the processing tool 6 is moved, control is performed to move the processing tool 6 forward in the traveling direction of the processing tool 6 and to move downward when the surface is inclined downward. Since the center of the pressing force N moves to the convex portion on the surface of the workpiece 7, polishing of the convex portion is completed early.
【００１４】図１１及び図１２に示す実施例は、弾性中
心Ｄを移動させるのではなく、被加工物７表面の凹凸状
態に応じた電流を電磁石５に印加することで加工工具６
にモーメントＭを付加しているもので、加工工具６を移
動させる方向において上り傾斜となっているところで
は、進行方向前方側にモーメントＭを、下り傾斜になっ
ているところでは後方側にモーメントＭを付加すること
で、被加工物７表面の凸部となっている方向にモーメン
トＭを与えて凸部の研磨が早期に終了するようにしたも
のである。In the embodiment shown in FIGS. 11 and 12, a current corresponding to the unevenness of the surface of the workpiece 7 is applied to the electromagnet 5 instead of moving the elastic center D.
In the direction in which the machining tool 6 is moved, the moment M is forward in the traveling direction, and the moment M is backward in the direction in which the machining tool 6 is moved. Is added to apply a moment M in the direction of the convex portion on the surface of the workpiece 7 so that the polishing of the convex portion is completed early.
【００１５】ところで、加工工具６によって研磨を行う
とともに加工工具６を被加工物７表面に沿って移動させ
る時、図１３及び図１４に示すように、所定の抵抗が発
生するとともに、この抵抗値Ｆは、可動体２のＸ，Ｙ軸
方向の動きを電磁石５で補正するための電流値の変化と
して検出することができる。また、抵抗値Ｆは、研磨用
の加工工具６に目つぶれや磨耗、目詰まり等が生じると
小さくなる。従って、研磨中の上記抵抗値Ｆの測定を行
うとともに、この抵抗値Ｆが所定値Ｆ0より小さくなれ
ば、研磨用の加工工具６に目つぶれや目詰まりが生じた
として加工を停止することで、研磨加工を確実に行うこ
とができる。By the way, when the machining tool 6 is moved along the workpiece 7 surface performs polishing by the processing tool 6, as shown in FIGS. 13 and 14, with a predetermined resistance occurs, the resistance value F can be detected as a change in a current value for correcting the movement of the movable body 2 in the X and Y axis directions by the electromagnet 5. In addition, the resistance value F decreases when the polishing tool 6 is crushed, worn, clogged, or the like. Therefore, while measuring the resistance value F during polishing, if the resistance value F becomes smaller than the predetermined value F 0, it is determined that the grinding processing tool 6 is blinded or clogged, and the processing is stopped. Thus, the polishing process can be reliably performed.
【００１６】図１５及び図１６に示す実施例は、被加工
物７の直角となっている内隅コーナー部の研磨方法を示
しており、加工条件として接触圧Ｎ0 を設定して、被加
工物７の一面に加工工具６を接触圧Ｎ0 で接触させる。
この時、加工工具６が被加工物７表面に面接触していな
い時には、加工工具６に軸回りθｘ，θｙ，θｚのモー
メントＭｘ，Ｍｙ，Ｍｚが生じるために、これが０とな
るように加工工具６の姿勢を制御し、この後、加工工具
６を被測定物７表面に沿った方向に動かすことで、研磨
を行う。この動作を内隅両側の２面に対して行うこと
で、内隅コーナー部分の研磨を行うことができる。The embodiment shown in FIGS. 15 and 16 shows a method of polishing an inner corner of a workpiece 7 at a right angle. The working pressure is set at a contact pressure N 0 as a processing condition. contacting the one surface of the object 7 the working tool 6 at contact pressure N 0.
At this time, when the machining tool 6 is not in surface contact with the surface of the workpiece 7, moments Mx, My, and Mz around the axes θx, θy, and θz are generated in the machining tool 6. Polishing is performed by controlling the attitude of the tool 6 and then moving the processing tool 6 in a direction along the surface of the workpiece 7. By performing this operation on the two surfaces on both sides of the inner corner, the inner corner can be polished.
【００１７】図１７及び図１８は、被加工物７の直角と
なっている外隅部の研磨方法を示しており、加工条件と
して接触圧Ｎ0 を設定して、被加工物７の一面に加工工
具６を接触圧Ｎ0 で接触させる。この時、加工工具６が
被加工物７表面に面接触していない時には、加工工具６
に軸回りθｘ，θｙ，θｚのモーメントＭｘ，Ｍｙ，Ｍ
ｚが生じるために、これが０となるように加工工具６の
姿勢を制御し、この後、加工工具６を被測定物７表面に
沿ってエッジに向けて方向に動かすことで、研磨を行う
とともに、エッジに至って加工工具６の一部が被加工物
７表面から外れる時には、加工工具６の弾性中心Ｄを移
動方向における後方側に移動させて、弾性中心Ｄは被加
工物７表面上に残るようにする。この結果、エッジ付近
においても、加工工具６と被加工物７との面接触状態が
維持されるために、高精度なエッジ研磨を行うことがで
きる。FIGS. 17 and 18 show a method of polishing a right outer corner portion of the workpiece 7 by setting a contact pressure N 0 as a processing condition and applying a polishing method to one surface of the workpiece 7. contacting a working tool 6 at contact pressure N 0. At this time, when the processing tool 6 is not in surface contact with the surface of the workpiece 7, the processing tool 6
, The moments Mx, My, M around the axes θx, θy, θz
In order to generate z, the posture of the processing tool 6 is controlled so that it becomes 0, and thereafter, the polishing is performed by moving the processing tool 6 along the surface of the workpiece 7 in the direction toward the edge. When a part of the processing tool 6 comes off the surface of the workpiece 7 up to the edge, the elastic center D of the processing tool 6 is moved rearward in the moving direction, and the elastic center D remains on the surface of the workpiece 7. To do. As a result, even in the vicinity of the edge, the surface contact state between the processing tool 6 and the workpiece 7 is maintained, so that highly accurate edge polishing can be performed.
【００１８】被加工物７における段差を有している表面
は、図１９及び図２０に示すように、上記外隅のエッジ
部の研磨方法と、上記内隅のコーナー部の研磨方法とを
行うことで、研磨することができる。As shown in FIGS. 19 and 20, the stepped surface of the workpiece 7 is subjected to the above-mentioned outer corner edge polishing method and the above-mentioned inner corner corner polishing method. Thus, polishing can be performed.
【００１９】図２１及び図２２は、被加工物７表面の面
倣い研磨加工を行う場合を示しており、加工条件の設定
にあたり、加工工具６のＺ軸に対する傾き（θｘ，θ
ｙ）が生じた場合の弾性定数であるＫθｘ，Ｋθｙ（Ｋ
は定数）を０としている。この場合、加工工具６は被加
工物７表面の凹凸に倣う動作を行うとともに、この時、
加工工具６は被加工物７表面に常に広域な面接触を行
う。最終仕上げなどの面接触となる研磨に適したものと
なる。FIGS. 21 and 22 show a case in which the surface copy polishing of the surface of the workpiece 7 is performed. In setting the processing conditions, the inclination (θx, θ) of the processing tool 6 with respect to the Z axis is set.
y), the elastic constants Kθx, Kθy (K
Is a constant). In this case, the machining tool 6 performs an operation following the irregularities on the surface of the workpiece 7 and at this time,
The processing tool 6 always makes a wide area surface contact with the surface of the workpiece 7. This makes it suitable for polishing, which makes surface contact such as final finishing.
【００２０】図２３及び図２４は、うねり面を有する被
加工物７表面の研磨にあたり、まず所定圧Ｎで加工工具
６を被加工物７表面に接触させた状態で研磨領域Ｘ0 〜
Ｘ1全域を移動させることで、被加工物７表面の高さＺ
情報を取得して、凹凸分布を把握し、この情報に基づい
て被加工物７表面の研磨時に加圧力の設定を行っている
ものであって、この加圧力の設定は、最低高さＺｍｉｎ
のところは最小加圧力Ｎｍｉｎに、最大高さＺｍａｘの
ところは最大加圧力Ｎｍａｘとするとともに、この間の
高さは最小加圧力Ｎｍｉｎと最大加圧力Ｎｍａｘとの間
の力を比例配分している。図２５及び図２６に示すよう
に、最低高さＺｍｉｎのところは加圧力０となるように
加圧力の比例配分を行ってもよい。いずれも、被加工物
７表面のうねり量をまず検出して、このうねり量に応じ
て加圧力の配分を調整するために、うねり量が大きい時
にも、凹凸に応じた加圧力制御を行うことができる。FIGS. 23 and 24 show the polishing area X 0 to polishing the surface of the workpiece 7 having the waviness surface with the processing tool 6 being brought into contact with the surface of the workpiece 7 at a predetermined pressure N.
By moving the X 1 whole, of the workpiece 7 surface height Z
The information is acquired, the unevenness distribution is grasped, and the pressing force is set at the time of polishing the surface of the workpiece 7 based on this information. The setting of the pressing force is performed at the minimum height Zmin.
Is the minimum pressure Nmin, the maximum height Zmax is the maximum pressure Nmax, and the height between them is a proportional distribution of the force between the minimum pressure Nmin and the maximum pressure Nmax. As shown in FIGS. 25 and 26, the pressing force may be proportionally distributed so that the pressing force becomes zero at the minimum height Zmin. In any case, in order to first detect the amount of undulation on the surface of the workpiece 7 and adjust the distribution of the pressing force in accordance with the amount of undulation, even when the amount of undulation is large, perform the pressing force control according to the unevenness. Can be.
【００２１】図２７及び図２８は、やはり被加工物７表
面のうねり量（高さ分布）をまず測定した後、最も高い
所Ｚｍａｘを所定量ｈだけ研磨し、その後、再度高さ分
布を求めて、この時点で最も高いところＺｍａｘを所定
量ｈだけ研磨することを繰り返すことで、徐々にうねり
量を縮小させていく場合を示している。図２９及び図３
０は、被加工物７表面の高さ分布をまず測定した後、各
部をその高さＺから目標高さＺｅｎｄを引いた値だけ研
磨していくことで、目標高さＺｅｎｄを仕上げ面とする
ことができるようにした場合を示している。FIGS. 27 and 28 show that the waviness (height distribution) of the surface of the workpiece 7 is first measured, the highest point Zmax is polished by a predetermined amount h, and then the height distribution is obtained again. In this case, the swell amount is gradually reduced by repeatedly polishing the Zmax at the highest point by a predetermined amount h. FIG. 29 and FIG.
0 is to measure the height distribution of the surface of the workpiece 7 first and then grind each part by a value obtained by subtracting the target height Zend from the height Z, thereby setting the target height Zend as a finished surface. This shows the case where it is possible to do so.
【００２２】ところで、このような表面加工装置におい
ては、図３１及び図３２に示すように、被加工物７を載
せるテーブル８表面の傾きや反りを測定しておき、被加
工物７表面の加工に際しては、テーブル８表面の傾きや
反りを考慮して加工することができるために、テーブル
８表面の状態に起因する加工誤差も縮小することができ
る。By the way, in such a surface processing apparatus, as shown in FIGS. 31 and 32, the inclination and warpage of the surface of the table 8 on which the workpiece 7 is placed are measured, and the surface of the workpiece 7 is processed. At this time, since the processing can be performed in consideration of the inclination and the warpage of the surface of the table 8, a processing error caused by the state of the surface of the table 8 can be reduced.
【００２３】図３３及び図３４は、溶接の肉盛部分の除
去に利用した場合を示しており、被加工物７表面の高さ
Ｚｅｎｄと、肉盛部９の高さＺとを検出して、肉盛部９
を高さＺｅｎｄまで削っている。FIG. 33 and FIG. 34 show a case where the present invention is used for removing a weld overlay, and the height Zend of the surface of the workpiece 7 and the height Z of the overlay 9 are detected. , Overlay 9
To the height Zend.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上のように本発明においては、磁気制
御手段によって、加工工具が接する被加工物表面の状態
を適切に検出することができるとともに、この状態に応
じた加工を行うことができるものであり、従って、加工
工具の制御を被加工物表面の状態に応じてより的確に行
うことができるものであり、この時、被加工物表面の凸
部において加工工具を被加工物表面に押し付ける加圧力
を増大させ、被加工物表面の凹部において加圧力を減少
させることから、被加工物表面の凹凸によるうね りを徐
々に縮小させていくことができる。 As described above, according to the present invention, the state of the surface of the workpiece with which the processing tool is in contact can be appropriately detected by the magnetic control means, and the processing according to this state can be performed. Therefore, the control of the processing tool can be performed more accurately in accordance with the state of the surface of the workpiece.
Pressing the processing tool against the surface of the workpiece at the part
And reduce the pressing force at the concave part on the workpiece surface
Since thereby, ridges due to unevenness of the surface of the workpiece RioJo
Can be reduced in various ways.
【００２５】また、被加工物表面の法線方向を検出しな
がら、エンドミルである加工工具の回転軸を上記法線に
一致させる加工工具の姿勢制御を行うことで、フラット
エンドミルによっても曲面の切削を行うことができるも
のとなり、ボールエンドミルを用いる場合に比して高能
率で加工を行うことができる。 Further, the normal direction of the surface of the workpiece is not detected.
However, the rotation axis of the machining tool, which is an end mill, is
By controlling the attitude of the processing tool to match,
Curved surfaces can also be cut with end mills
Higher efficiency than when using a ball end mill
Processing can be performed at a rate.
【００２６】また、、加工工具を移動させる方向におけ
る被加工物表面の傾きを検出しながら、この傾きに応じ
て加工工具の弾性中心位置を移動させることで、被加工
物表面の凸部となっているところに加圧力の中心を向け
ることができ、凸部の研磨や切削を早期に完了させるこ
とができる。 Further, in the direction in which the machining tool is moved,
While detecting the inclination of the workpiece surface
Moving the elastic center of the machining tool
Point the center of the pressure on the convex part of the object surface
Can be used to complete the grinding and cutting of convex parts early.
Can be.
【００２７】また、加工工具を移動させる方向における
被加工物表面の傾きを検出しながら、この傾きに応じた
方向のモーメントを加工工具に付加することで、やはり
凸部の研磨を早期に終了させることができる。 In the direction in which the machining tool is moved,
While detecting the inclination of the surface of the workpiece,
By adding a directional moment to the machining tool,
Polishing of the projections can be terminated early.
【００２８】また、被加工物表面の内隅コーナー部の研
磨に際して、被加工物一面に接触させた加工工具に発生
するモーメントを検出して、このモーメントの値から加
工工具を被加工物表面に面接触させる姿勢制御を行うこ
とで、内隅コーナー部の研磨を的確に行うことができ
る。 In addition, the inner corner of the surface of the workpiece is ground.
Occurs on a processing tool that is in contact with one surface of the workpiece during polishing
Is detected and the value of this moment is added.
It is necessary to control the posture of the tool to make surface contact with the workpiece surface.
With this, the inner corner can be precisely polished.
You.
【００２９】また、被加工物表面の外隅エッジ部の研磨
に際して、被加工物一面に接触させた加工工具に発生す
るモーメントを検出して、このモーメントの値から加工
工具を被加工物表面に面接触させる姿勢制御を行うとと
もに、エッジ部近傍において、加工工具における弾性中
心位置を移動させることで、加工工具がエッジを通過す
る時にも所定の姿勢を保たせることができて高精度なエ
ッジ研磨が可能となる。 Polishing of the outer corner edge of the workpiece surface
Is generated on the machining tool that is in contact with one surface of the workpiece.
The moment from the moment
When posture control is performed to bring the tool into surface contact with the workpiece surface,
In the vicinity of the edge, the elasticity of the machining tool
By moving the center position, the machining tool passes through the edge.
Can maintain a predetermined posture when
Ledge polishing becomes possible.
【００３０】また、被加工物表面の段差部の研磨に際し
て、被加工物一面に接触させた加工 工具に発生するモー
メントを検出して、このモーメントの値から加工工具を
被加工物表面に面接触させる姿勢制御を行う内隅コーナ
ー部の研磨工程と、被加工物一面に接触させた加工工具
に発生するモーメントを検出して、このモーメントの値
から加工工具を被加工物表面に面接触させる姿勢制御を
行うとともに、エッジ部近傍において、加工工具におけ
る弾性中心位置を移動させる外隅エッジ部の研磨工程と
を磁気制御手段による被加工物表面の検出状態に応じて
リアルタイムで行うことで、高精度な段差部の研磨が可
能である。 Further , when polishing the stepped portion on the surface of the workpiece,
The mode generated by the machining tool that comes into contact with one surface of the workpiece
And the machining tool is determined from the value of this moment.
Inner corner corner for attitude control to make surface contact with the workpiece surface
Polishing process of machining part and machining tool brought into contact with one surface of workpiece
Is detected, and the value of this moment
Posture control to bring the machining tool into surface contact with the workpiece surface from
In the vicinity of the edge,
Polishing process of the outer corner edge to move the elastic center position
According to the detection state of the workpiece surface by the magnetic control means
High-precision polishing of stepped parts is possible by performing in real time
Noh.
【００３１】また、被加工物表面に加工工具を押し付け
る方向に対する加工工具の傾きの補正項である弾性定数
を０に設定して加工を行うことで、加工工具に被加工物
表面の凹凸に倣う動作を行わせることができて、最終仕
上げ研磨などに適切である面倣い加工を行わせることが
できる。 Further , a working tool is pressed against the surface of the workpiece.
Elastic constant as a correction term of the inclination of the machining tool with respect to the direction
By setting the value to 0, the work
An operation that follows the surface irregularities can be performed.
It is possible to perform surface copying that is appropriate for
it can.
【００３２】また、磁気制御手段による検出動作で被加
工物表面の凹凸状態を予め検出し、ついでこの検出情報
に基づいて加工工具を制御して表面加工を行うことか
ら、被加工物表面の凹凸状態に応じた加工を選択実行す
ることが可能である。 Further, the detection is performed by the magnetic control means.
The unevenness of the surface of the workpiece is detected in advance, and then the detected information
To perform surface machining by controlling machining tools based on the
Select and execute the processing according to the unevenness of the workpiece surface.
It is possible to
【００３３】この時、検出情報における被加工物表面の
最大高さと最低高さとから最大加圧力と最小加圧力との
間での加圧力の配分を定めて、被加工物表面をその高さ
に応じた加圧力で加工することで、被加工物表面の凹凸
によるうねりを徐々に縮小させていくことができ、最低
高さに対する最小加圧力を０とすることで、研磨加工前
の表面の高さが最小である部分を仕上げ面とする研磨が
できて、研磨量を最小とすることができる。 At this time, the surface of the workpiece in the detection information
From the maximum height and the minimum height, the maximum pressure and the minimum pressure
The distribution of the pressing force between
Processing with a pressing force according to the
Swell can be gradually reduced.
By setting the minimum pressing force to the height to 0, before polishing
Polishing with the part with the minimum surface height of the surface as the finishing surface
As a result, the polishing amount can be minimized.
【００３４】さらに、検出情報における被加工物表面の
最大高さの部分から研磨を行うことで、凹凸の差が大き
い時にも被加工物表面と加工工具とが干渉してしまうよ
うな事態を招くことなく徐々にうねり量を縮小させてい
くことができる。 Further, the surface of the workpiece in the detection information
The difference in unevenness is large by polishing from the part of the maximum height
The workpiece surface will interfere with the machining tool
The amount of swell is gradually reduced without inducing
Can be
【００３５】また、検出情報から各部の研磨量を算出
し、この算出値に基づき各部を順次研 磨していくこと
で、目標高さを仕上げ面とする研磨が可能である。 The polishing amount of each part is calculated from the detected information.
And, sequentially Migaku Ken each part based on the calculated value
Thus, polishing with a target height as a finish surface is possible.
【００３６】また、被加工物が載せられるテーブルに加
工工具を接触させることでテーブルの傾きや反り等を予
め検出しておき、この検出値に基づき、被加工物表面の
加工量を補正することで、テーブル表面の状態に起因す
る加工誤差を縮小することができる。 Also, the table on which the workpiece is placed is added.
Prevent the table from tilting or warping by contacting the tool.
The surface of the workpiece based on the detected value.
By correcting the amount of processing, the
Processing errors can be reduced.
【００３７】また、溶接肉盛部の除去に際して、肉盛部
の高さ分布を予め測定し、この測定値に基づいて目標高
さまで肉盛部を加工することで、溶接肉盛部の除去を的
確に行うことができる。 When removing the weld overlay, the weld overlay is removed.
Height distribution is measured in advance, and the target height is calculated based on the measured value.
By processing the overlay, the removal of the weld overlay is targeted.
I can do it for sure.
【図１】加工方法の一例を示すフローチャートである。FIG. 1 is a flowchart illustrating an example of a processing method.
【図２】(a)は同上の説明図、(b)は同上の被加工物表面
高さと加圧力との関係の説明図である。2 (a) is an explanatory view of the above, and FIG. 2 (b) is an explanatory view of a relationship between a workpiece surface height and a pressing force in the above.
【図３】表面加工装置における保持機構と可動体を示す
破断斜視図である。FIG. 3 is a cutaway perspective view showing a holding mechanism and a movable body in the surface processing apparatus.
【図４】同上の制御回路を示すブロック回路図である。FIG. 4 is a block circuit diagram showing a control circuit according to the first embodiment;
【図５】他の加工方法を示すフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart showing another processing method .
【図６】同上の加工方法の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a processing method according to the first embodiment;
【図７】加工方法の他例を示すフローチャートである。FIG. 7 is a flowchart showing another example of the processing method.
【図８】同上の加工方法の説明図である。FIG. 8 is an explanatory view of the processing method of the above.
【図９】加工方法の他例を示すフローチャートである。FIG. 9 is a flowchart showing another example of the processing method.
【図１０】同上の加工方法の説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram of a processing method of the above.
【図１１】加工方法の他例を示すフローチャートであ
る。FIG. 11 is a flowchart showing another example of the processing method.
【図１２】同上の加工方法の説明図である。FIG. 12 is an explanatory diagram of the processing method of the above.
【図１３】他の加工方法のフローチャートである。FIG. 13 is a flowchart of another processing method.
【図１４】同上の加工方法の説明図である。FIG. 14 is an explanatory diagram of a processing method according to the embodiment.
【図１５】他の加工方法を示すフローチャートである。FIG. 15 is a flowchart showing another processing method .
【図１６】同上の加工方法の説明図である。FIG. 16 is an explanatory diagram of the processing method of the above.
【図１７】加工方法の他例を示すフローチャートであ
る。FIG. 17 is a flowchart showing another example of the processing method.
【図１８】同上の加工方法の説明図である。FIG. 18 is an explanatory diagram of the processing method of the above.
【図１９】加工方法の他例を示すフローチャートであ
る。FIG. 19 is a flowchart showing another example of the processing method.
【図２０】同上の加工方法の説明図である。FIG. 20 is an explanatory diagram of the processing method of the above.
【図２１】加工方法の他例を示すフローチャートであ
る。FIG. 21 is a flowchart showing another example of the processing method.
【図２２】同上の加工方法の説明図である。FIG. 22 is an explanatory diagram of the processing method of the above.
【図２３】加工方法の他例を示すフローチャートであ
る。FIG. 23 is a flowchart showing another example of the processing method.
【図２４】(a)は同上の高さ検出工程の説明図、(b)は高
さと加圧力との相関図、(c)は加圧力の設定の説明図で
ある。24A is an explanatory diagram of a height detecting step in the above embodiment, FIG. 24B is a correlation diagram between the height and the pressing force, and FIG. 24C is an explanatory diagram of setting of the pressing force.
【図２５】加工方法の他例を示すフローチャートであ
る。FIG. 25 is a flowchart showing another example of the processing method.
【図２６】(a)は同上の高さ検出工程の説明図、(b)は高
さと加圧力との相関図、(c)は加圧力の設定の説明図で
ある。26A is an explanatory diagram of a height detecting step according to the embodiment, FIG. 26B is a correlation diagram between the height and the pressing force, and FIG. 26C is an explanatory diagram of setting of the pressing force.
【図２７】加工方法の他例を示すフローチャートであ
る。FIG. 27 is a flowchart illustrating another example of a processing method.
【図２８】同上の加工方法の説明図である。FIG. 28 is an explanatory diagram of the processing method of the above.
【図２９】加工方法の他例を示すフローチャートであ
る。FIG. 29 is a flowchart showing another example of the processing method.
【図３０】同上の加工方法の説明図である。FIG. 30 is an explanatory diagram of the processing method of the above.
【図３１】加工方法の他例を示すフローチャートであ
る。FIG. 31 is a flowchart showing another example of the processing method.
【図３２】同上の加工方法の説明図である。FIG. 32 is an explanatory diagram of the processing method of the above.
【図３３】加工方法の他例を示すフローチャートであ
る。FIG. 33 is a flowchart showing another example of the processing method.
【図３４】同上の加工方法の説明図である。FIG. 34 is an explanatory diagram of the processing method of the above.
１ 保持機構 ２ 可動体 ４ 位置センサ ５ 電磁石 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Holding mechanism 2 Movable body 4 Position sensor 5 Electromagnet
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−127254（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−228570（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−234161（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−3706（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−209866（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23Q 15/00 - 15/28 B24B 41/00 - 51/00 B23K 37/08 Continuation of front page (56) References JP-A-1-127254 (JP, A) JP-A-3-228570 (JP, A) JP-A-1-234161 (JP, A) JP-A-3-3706 (JP) , A) JP-A-61-209866 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) B23Q 15/00-15/28 B24B 41/00-51/00 B23K 37/08
Claims (15)
て、被加工物表面に加工工具を押し付ける方向の加工工
具の動き及びこの方向に対する加工工具の傾きを少なく
とも検出するとともに、上記磁気制御手段にて加工工具
による加工形態を制御する表面加工方法であって、被加
工物表面の凸部において加工工具を被加工物表面に押し
付ける加圧力を増大させ、被加工物表面の凹部において
加圧力を減少させることを磁気制御手段による被加工物
表面の検出状態に応じてリアルタイムで行うことを特徴
とする表面加工方法。At least a movement of a machining tool in a direction in which the machining tool is pressed against a surface of a workpiece and a tilt of the machining tool with respect to the direction are detected by magnetic control means for holding the machining tool. A surface processing method for controlling a processing mode using a processing tool ,
Press the processing tool against the workpiece surface at the convex part of the workpiece surface
Increase the applied pressure, and in the recess on the surface of the workpiece
Workpiece by magnetic control means to reduce the pressing force
It is performed in real time according to the detection state of the surface
Surface processing method to be.
て、被加工物表面に加工工具を押し付ける方向の加工工
具の動き及びこの方向に対する加工工具の傾きを少なく
とも検出するとともに、上記磁気制御手段にて加工工具
による加工形態を制御する表面加工方法であって、被加
工物表面の法線方向を検出しながら、エンドミルである
加工工具の回転軸を上記法線に一致させる加工工具の姿
勢制御を行うことを磁気制御手段による被加工物表面の
検出状態に応じてリアルタイムで行うことを特徴とする
表面加工方法。2. A magnetic control means for holding a working tool.
And press the machining tool against the surface of the workpiece
The movement of the tool and the inclination of the machining tool in this direction
Along with the machining tool
Surface processing method for controlling the processing mode by
It is an end mill while detecting the normal direction of the workpiece surface
Appearance of the processing tool that makes the rotation axis of the processing tool coincide with the above normal line
To control the force of the workpiece surface by the magnetic control means.
A surface processing method performed in real time according to a detection state .
て、被加工物表面に加工工具を押し付ける方向の加工工
具の動き及びこの方向に対する加工工具の傾きを少なく
とも検出するとともに、上記磁気制御手段にて加工工具
による加工形態を制御する表面加工方法であって、加工
工具を移動させる方向における被加工物表面の傾きを検
出しながら、この傾きに応じて加工工具の弾性中心位置
を移動させることを磁気制御手段による被加工物表面の
検出状態に応じてリアルタイムで行うことを特徴とする
表面加工方法。3. A magnetic control means for holding a working tool.
And press the machining tool against the surface of the workpiece
The movement of the tool and the inclination of the machining tool in this direction
Along with the machining tool
Surface processing method for controlling the processing form by
Detect the inclination of the workpiece surface in the direction of moving the tool
The center of elasticity of the machining tool according to this inclination.
Moving the surface of the workpiece by the magnetic control means.
A surface processing method performed in real time according to a detection state .
て、被加工物表面に加工工具を押し付ける方向の加工工
具の動き及びこの方向に対する加工工具の傾きを少なく
とも検出するとともに、上記磁気制御手段にて加工工具
による加工形態を制御する表面加工方法であって、加工
工具を移動させる方向における被加工物表面の傾きを検
出しながら、この傾きに応じた方向のモーメントを加工
工具に付 加することを磁気制御手段による被加工物表面
の検出状態に応じてリアルタイムで行うことを特徴とす
る表面加工方法。4. A magnetic control means for holding a working tool.
And press the machining tool against the surface of the workpiece
The movement of the tool and the inclination of the machining tool in this direction
Along with the machining tool
Surface processing method for controlling the processing form by
Detect the inclination of the workpiece surface in the direction of moving the tool
Process the moment in the direction corresponding to this inclination
Workpiece surface by magnetic control means to pressure attached to the tool
It is performed in real time according to the detection status of
Surface processing method that.
て、被加工物表面に加工工具を押し付ける方向の加工工
具の動き及びこの方向に対する加工工具の傾きを少なく
とも検出するとともに、上記磁気制御手段にて加工工具
による加工形態を制御する表面加工方法であって、被加
工物表面の内隅コーナー部の研磨に際して、被加工物一
面に接触させた加工工具に発生するモーメントを検出し
て、このモーメントの値から加工工具を被加工物表面に
面接触させる姿勢制御を行うことを磁気制御手段による
被加工物表面の検出状態に応じてリアルタイムで行うこ
とを特徴とする表面加工方法。5. A magnetic control means for holding a working tool.
And press the machining tool against the surface of the workpiece
The movement of the tool and the inclination of the machining tool in this direction
Along with the machining tool
Surface processing method for controlling the processing mode by
When polishing the inner corners of the workpiece surface,
Detects the moment generated in the machining tool that is in contact with the surface
From the value of this moment, place the machining tool on the workpiece surface
Performing attitude control to make surface contact by magnetic control means
This can be performed in real time according to the detection state of the workpiece surface.
And a surface processing method.
て、被加工物表面に加工工具を押し付ける方向の加工工
具の動き及びこの方向に対する加工工具の傾きを少なく
とも検出するとともに、上記磁気制御手段にて加工工具
による加工形態を制御する表面加工方法であって、被加
工物表面の外隅エッジ部の研磨に際して、被加工物一面
に接触させた加工工具に発生するモーメントを検出し
て、このモーメントの値から加工工具を被加工物表面に
面接触させる姿勢制御を行うとともに、エッジ部近傍に
おいて、加工工具における弾性中心位置を移動させるこ
とを磁気制御手段による被加工物表面の検出状態に応じ
てリアルタイムで行うことを特徴とする表面加工方法。6. A magnetic control means for holding a working tool.
And press the machining tool against the surface of the workpiece
The movement of the tool and the inclination of the machining tool in this direction
Along with the machining tool
Surface processing method for controlling the processing mode by
When polishing the outer corner edge of the work surface,
To detect the moment generated in the machining tool
From the value of this moment, place the machining tool on the workpiece surface
While controlling the posture to make surface contact, and near the edge
To move the elastic center position of the machining tool.
According to the detection state of the workpiece surface by the magnetic control means
Surface processing method characterized in that it is performed in real time .
て、被加工物表面に加工工具を押し付ける方向の加工工
具の動き及びこの方向に対する加工工具の傾きを少なく
とも検出するとともに、上記磁気制御手段にて加工工具
による加工形態を制御する表面加工方法であって、被加
工物表面の段差部の研磨に際して、被加工物一面に接触
させた加工工具に発生するモーメントを検出して、この
モーメントの値から加工工具を被加工物表面に面接触さ
せる姿勢制御を行う内隅コーナー部の研磨工程と、被加
工物一面に接触させた加工工具に発生するモーメントを
検出して、このモーメントの値から加工工具を被加工物
表面に面接触させる姿勢制御を行うとともに、エッジ部
近傍において、加工工具における弾性中心位置を移動さ
せる外隅エッジ部の研磨工程とを磁気制御手段による被
加工物表面の検出状 態に応じてリアルタイムで行うこと
を特徴とする表面加工方法。7. A magnetic control means for holding a working tool.
And press the machining tool against the surface of the workpiece
The movement of the tool and the inclination of the machining tool in this direction
Along with the machining tool
Surface processing method for controlling the processing mode by
When polishing a step on the surface of a workpiece, it comes into contact with the entire surface of the workpiece
Detects the moment generated in the machining tool
From the moment value, the machining tool is brought into surface contact with the workpiece surface.
Polishing process of the inner corner corner to control the posture
The moment generated in the machining tool that is in contact with
Detects the machining tool from the value of this moment
Control the posture to make surface contact with the surface, and
Move the elastic center position of the machining tool
The polishing process of the outer corner edge to be
It is done in real time according to the detection status of the workpiece surface
A surface processing method characterized by the above-mentioned .
て、被加工物表面に加工工具を押し付ける方向の加工工
具の動き及びこの方向に対する加工工具の傾きを少なく
とも検出するとともに、上記磁気制御手段にて加工工具
による加工形態を制御する表面加工方法であって、被加
工物表面に加工工具を押し付ける方向に対する加工工具
の傾きの補正項である弾性定数を０に設定して加工を行
うことを磁気制御手段による被加工物表面の検出状態に
応じてリアルタイムで行うことを特徴とする表面加工方
法。8. A magnetic control means for holding a working tool.
And press the machining tool against the surface of the workpiece
The movement of the tool and the inclination of the machining tool in this direction
Along with the machining tool
Surface processing method for controlling the processing mode by
Machining tool in the direction in which the machining tool is pressed against the workpiece surface
The processing is performed by setting the elastic constant, which is the
The state of the workpiece surface detected by the magnetic control means
A surface processing method characterized in that it is performed in real time in response to the request .
て、被加工物表面に加工工具を押し付ける方向の加工工
具の動き及びこの方向に対する加工工具の傾きを少なく
とも検出するとともに、上記磁気制御手段にて加工工具
による加工形態を制御する表面加工方法であって、磁気
制御手段による検出動作で被加工物表面の凹凸状態を予
め検出し、ついでこの検出情報に基づいて加工工具を制
御して表面加工を行うことを特徴とする表面加工方法。9. A magnetic control means for holding a working tool.
And press the machining tool against the surface of the workpiece
The movement of the tool and the inclination of the machining tool in this direction
Along with the machining tool
Surface processing method for controlling the processing mode by magnetic
Predict irregularities on the surface of the workpiece by the detection operation of the control means.
Machine tool based on this detection information.
A surface processing method characterized by performing surface processing under control .
高さと最低高さとから最大加圧力と最小加圧力との間で
の加圧力の配分を定めて、被加工物表面をその高さに応
じた加圧力で加工することを特徴とする請求項９記載の
表面加工方法。10. The maximum of the workpiece surface in the detection information.
From the height and the minimum height, between the maximum pressure and the minimum pressure
The distribution of the applied pressure and adjust the surface of the workpiece to its height.
The surface processing method according to claim 9, wherein the processing is performed with the same pressing force .
ていることを特徴とする請求項１０記載の表面加工方
法。11. The minimum pressing force for the minimum height is set to 0.
The surface processing method according to claim 10, wherein:
高さの部分から研磨を行うことを特徴とする請求項９記
載の表面加工方法。12. The maximum of the workpiece surface in the detection information.
10. The polishing according to claim 9, wherein polishing is performed from a height portion.
Surface processing method of the mounting.
この算出値に基づき各部を順次研磨していくことを特徴
とする請求項９記載の表面加工方法。13. A polishing amount of each part is calculated from detection information,
Each part is polished sequentially based on this calculated value.
The surface processing method according to claim 9, wherein
工具を接触させることでテーブルの傾きや反り等を予め
検出しておき、この検出値に基づき、被加工物表面の加
工量を補正することを特徴とする請求項９記載の表面加
工方法。14. Processing on a table on which a workpiece is placed.
By contacting the tool, the inclination or warpage of the table
Detected and based on this detected value,
The surface processing method according to claim 9, wherein the work amount is corrected .
高さ分布を予め測定し、この測定値に基づいて目標高さ
まで肉盛部を加工することを特徴とする請求項９記載の
表面加工方法。15. The method according to claim 15 , wherein, when removing the weld overlay, the weld overlay is removed.
The height distribution is measured in advance, and the target height is
The surface processing method according to claim 9, wherein the overlay portion is processed up to that .
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP06775693A JP3222612B2 (en) | 1993-03-26 | 1993-03-26 | Surface processing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP06775693A JP3222612B2 (en) | 1993-03-26 | 1993-03-26 | Surface processing method |
Publications (2)
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|---|---|
| JPH06277982A JPH06277982A (en) | 1994-10-04 |
| JP3222612B2 true JP3222612B2 (en) | 2001-10-29 |
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| JP (1) | JP3222612B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP6977640B2 (en) * | 2018-03-19 | 2021-12-08 | 株式会社Ihi | Processing equipment and processing method |
-
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- 1993-03-26 JP JP06775693A patent/JP3222612B2/en not_active Expired - Fee Related
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