JP3220297B2 - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents
磁気浮上搬送装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は高温超伝導体を用いた
磁気浮上搬送装置に関するもので、特に、高温超伝導体
の駆動機構に係わるものである。
磁気浮上搬送装置に関するもので、特に、高温超伝導体
の駆動機構に係わるものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の磁気浮上搬送装置は図３に示され
ており、同図において、真空容器１と断熱真空容器２と
は隔壁３で仕切られ、更に、その隔壁３を貫くように中
空の冷却容器４が隔壁３に取り付けられ、中空の冷却容
器４が真空容器１と断熱真空容器２とに亘って水平に配
置されている。そして、冷却容器４の室温部４ａは断熱
真空容器２内に内蔵され、一方、冷却容器４の低温部４
ｂは真空容器１内で真空断熱されている。冷却容器４内
には熱伝導の良いガスが封入されていると共に、冷却装
置５に接続され、冷媒が循環流通する冷却パイプ６が内
蔵されている。また、冷却容器４内のキャリア７には２
つの高温超伝導体８ａ、８ｂが間隔をおいて取り付けら
れている。キャリア７は、断熱真空容器２外の駆動モー
タ９に連結された駆動プーリ１０と、冷却容器４の低温
部４ｂ内に配設された従動プーリ１１との間に架け渡さ
れたベルト１２に取り付けられ、一対の平行にレール１
３上を走行する。冷却容器４上方の真空容器１内には冷
却容器４と平行に移動自在な移動子１４が水平に配設さ
れ、その移動子１４の一端部は搬送物（図示せず）を載
せる部分になっているが、他端部にはカウンターウエイ
ト１５が取付られ、移動子１４のバランスがとられてい
る。また、移動子１４には、キヤリア７に取付られた高
温超伝導体８ａ、８ｂと同じ間隔で２つの搬送用永久磁
石１６ａ、１６ｂが取付られている。２つの搬送用永久
磁石１６ａ、１６ｂは昇降機構１７ａ、１７ｂによって
上下移動できるようになっている。更に、真空容器１内
には、冷却容器４の低温部４ｂおよび移動子１４を囲む
ように熱シールド１８が配設されている。
ており、同図において、真空容器１と断熱真空容器２と
は隔壁３で仕切られ、更に、その隔壁３を貫くように中
空の冷却容器４が隔壁３に取り付けられ、中空の冷却容
器４が真空容器１と断熱真空容器２とに亘って水平に配
置されている。そして、冷却容器４の室温部４ａは断熱
真空容器２内に内蔵され、一方、冷却容器４の低温部４
ｂは真空容器１内で真空断熱されている。冷却容器４内
には熱伝導の良いガスが封入されていると共に、冷却装
置５に接続され、冷媒が循環流通する冷却パイプ６が内
蔵されている。また、冷却容器４内のキャリア７には２
つの高温超伝導体８ａ、８ｂが間隔をおいて取り付けら
れている。キャリア７は、断熱真空容器２外の駆動モー
タ９に連結された駆動プーリ１０と、冷却容器４の低温
部４ｂ内に配設された従動プーリ１１との間に架け渡さ
れたベルト１２に取り付けられ、一対の平行にレール１
３上を走行する。冷却容器４上方の真空容器１内には冷
却容器４と平行に移動自在な移動子１４が水平に配設さ
れ、その移動子１４の一端部は搬送物（図示せず）を載
せる部分になっているが、他端部にはカウンターウエイ
ト１５が取付られ、移動子１４のバランスがとられてい
る。また、移動子１４には、キヤリア７に取付られた高
温超伝導体８ａ、８ｂと同じ間隔で２つの搬送用永久磁
石１６ａ、１６ｂが取付られている。２つの搬送用永久
磁石１６ａ、１６ｂは昇降機構１７ａ、１７ｂによって
上下移動できるようになっている。更に、真空容器１内
には、冷却容器４の低温部４ｂおよび移動子１４を囲む
ように熱シールド１８が配設されている。
【０００３】このような磁気浮上搬送装置においては、
まず、真空容器１内を真空にし、２つの搬送用永久磁石
１６ａ、１６ｂと２つの高温超伝導体８ａ、８ｂとを対
向させると共に、昇降機構１７ａ、１７ｂにより、２つ
の搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂを上下移動させ、移動
子１４を冷却容器４と非接触となる所定の高さに保持
し、２つの搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂの磁束が２つ
の高温超伝導体８ａ、８ｂに及ぶようにする。このよう
な状態下で、冷却装置５に接続された冷却パイプ６に冷
媒を循環流通させて、冷却容器４内の封入ガスを冷却
し、高温超伝導体８ａ、８ｂを超伝導臨界温度以下にな
るまで冷却する。
まず、真空容器１内を真空にし、２つの搬送用永久磁石
１６ａ、１６ｂと２つの高温超伝導体８ａ、８ｂとを対
向させると共に、昇降機構１７ａ、１７ｂにより、２つ
の搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂを上下移動させ、移動
子１４を冷却容器４と非接触となる所定の高さに保持
し、２つの搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂの磁束が２つ
の高温超伝導体８ａ、８ｂに及ぶようにする。このよう
な状態下で、冷却装置５に接続された冷却パイプ６に冷
媒を循環流通させて、冷却容器４内の封入ガスを冷却
し、高温超伝導体８ａ、８ｂを超伝導臨界温度以下にな
るまで冷却する。
【０００４】次に、昇降機構１７ａ、１７ｂにより、２
つの搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂを下降させて行く
と、高温超伝導体８ａ、８ｂが搬送用永久磁石１６ａ、
１６ｂに及ぼす浮上力と、搬送用永久磁石１６ａ、１６
ｂやカウンターウエイト１５を取付けた移動子１４の荷
重とが釣合い、高温超伝導体８ａ、８ｂのピン止め効果
と反磁性効果により搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂが所
定の高さで浮上し、冷却容器４と非接触の状態になる。
つの搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂを下降させて行く
と、高温超伝導体８ａ、８ｂが搬送用永久磁石１６ａ、
１６ｂに及ぼす浮上力と、搬送用永久磁石１６ａ、１６
ｂやカウンターウエイト１５を取付けた移動子１４の荷
重とが釣合い、高温超伝導体８ａ、８ｂのピン止め効果
と反磁性効果により搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂが所
定の高さで浮上し、冷却容器４と非接触の状態になる。
【０００５】その後、ベルト１２を駆動モータ９により
駆動させ、キャリア７を水平に移動させると、キャリア
７に取付けられた２つの高温超伝導体８ａ、８ｂも水平
に移動する。２つの高温超伝導体８ａ、８ｂの水平移動
により、搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂと共に、移動子
１４が水平移動し、移動子１４の一端部において搬送物
（図示せず）の授受が行われ、搬送物が搬送されるよう
になる。
駆動させ、キャリア７を水平に移動させると、キャリア
７に取付けられた２つの高温超伝導体８ａ、８ｂも水平
に移動する。２つの高温超伝導体８ａ、８ｂの水平移動
により、搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂと共に、移動子
１４が水平移動し、移動子１４の一端部において搬送物
（図示せず）の授受が行われ、搬送物が搬送されるよう
になる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の磁気浮上搬送装
置は、上記のようにキャリア７は断熱真空容器２外の駆
動モータ９に連結された駆動プーリ１０と、冷却容器４
の低温部４ｂ内に配設された従動プーリ１１との間に架
け渡されたベルト１２に取り付けられ、一対の平行にレ
ール１３上を走行するようになっている。この場合、駆
動モータ９の駆動時に、駆動プーリ１０とベルト１２の
間にすべりが生じ、テンション調整機構２６によりベル
ト１２を調節しても、駆動モータ９の回転が正しくベル
ト１２に伝わらず、キャリア７および移動子１４の位置
制御が正確に行なわれないという問題が生じた。
置は、上記のようにキャリア７は断熱真空容器２外の駆
動モータ９に連結された駆動プーリ１０と、冷却容器４
の低温部４ｂ内に配設された従動プーリ１１との間に架
け渡されたベルト１２に取り付けられ、一対の平行にレ
ール１３上を走行するようになっている。この場合、駆
動モータ９の駆動時に、駆動プーリ１０とベルト１２の
間にすべりが生じ、テンション調整機構２６によりベル
ト１２を調節しても、駆動モータ９の回転が正しくベル
ト１２に伝わらず、キャリア７および移動子１４の位置
制御が正確に行なわれないという問題が生じた。
【０００７】高温超伝導体８ａ、８ｂの冷却時には、冷
却容器４の室温部４ａ内のテンション調整機構１９とキ
ャリア位置決め金具２０および温度計付きじゃま板２１
等の構造物を伝って冷却容器４の室温部４ａより冷却容
器４の低温部４ｂに進入する熱により、高温超伝導体８
ａの冷却に時間がかかり、装置の運転中は、高温超伝導
体８ａの温度が超伝導臨界温度近くのため、移動子１４
が安定に浮上しない問題が生じた。
却容器４の室温部４ａ内のテンション調整機構１９とキ
ャリア位置決め金具２０および温度計付きじゃま板２１
等の構造物を伝って冷却容器４の室温部４ａより冷却容
器４の低温部４ｂに進入する熱により、高温超伝導体８
ａの冷却に時間がかかり、装置の運転中は、高温超伝導
体８ａの温度が超伝導臨界温度近くのため、移動子１４
が安定に浮上しない問題が生じた。
【０００８】また、冷却容器４の室温部４ａの温度低下
により、駆動モータ９の回転導入部およびテンション調
整機構１９とシール部の温度が下がり、シール部より、
冷却容器４に封入された熱伝導の良いガスが漏れ、高温
超伝導体８ａ、８ｂの温度が超伝導臨界温度以上に上昇
し、搬送が出来ないという問題が生じた。
により、駆動モータ９の回転導入部およびテンション調
整機構１９とシール部の温度が下がり、シール部より、
冷却容器４に封入された熱伝導の良いガスが漏れ、高温
超伝導体８ａ、８ｂの温度が超伝導臨界温度以上に上昇
し、搬送が出来ないという問題が生じた。
【０００９】更に、冷却容器４の室温部４ａの開口部
と、冷却容器４の低温部４ｂのフランジ（図示せず）か
らキャリア等の部品を挿入し組み込むようにしているの
で、真空容器１内が真空の時、キャリア移動手段に支障
が生じた場合、真空容器１内を真空から大気に戻さなけ
れば、キャリア移動手段の調整が出来ないという問題が
生じた。
と、冷却容器４の低温部４ｂのフランジ（図示せず）か
らキャリア等の部品を挿入し組み込むようにしているの
で、真空容器１内が真空の時、キャリア移動手段に支障
が生じた場合、真空容器１内を真空から大気に戻さなけ
れば、キャリア移動手段の調整が出来ないという問題が
生じた。
【００１０】この発明の目的は、従来の問題を解決し
て、移動子の浮上搬送および位置決め性能を向上させ、
かつ、高温超伝導体を超伝導臨界温度以下まで冷却する
ときの冷却効率が良く、冷却容器の気密シール性が良好
で、真空容器内を真空から大気に戻すことをしないで、
キャリア移動手段の組立ておよび補修が可能な磁気浮上
搬送装置を提供するものである。
て、移動子の浮上搬送および位置決め性能を向上させ、
かつ、高温超伝導体を超伝導臨界温度以下まで冷却する
ときの冷却効率が良く、冷却容器の気密シール性が良好
で、真空容器内を真空から大気に戻すことをしないで、
キャリア移動手段の組立ておよび補修が可能な磁気浮上
搬送装置を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の磁気浮上搬送装置は、低温部の開口部を
着脱自在な孔付きフランジで閉じ、そのフランジの孔に
接続細管を取付けることによって、その接続細管で低温
部と室温部とを繋ぎ、その低温部に熱伝導の良いガスを
封入するとともに、冷却装置からの冷媒により低温部を
冷却する中空の冷却容器と、この冷却容器の低温部を内
蔵する真空容器と、前記冷却容器の低温部内の支持基板
上に配設されたキャリア移動手段と、このキャリア移動
手段の作動により移動するキャリアと、このキャリアに
間隔をおいて取付けられた複数の高温超伝導体と、前記
冷却容器の室温部内に内蔵された駆動モータと、この駆
動モータと前記キャリア移動手段とを連結し、前記接続
細管内を貫通する熱伝導率の小さな中空のシャフトと、
前記冷却容器の低温部上方の真空容器内に配設された移
動自在な移動子と、前記高温超伝導体と同じ間隔で上記
移動子に取付けられた複数の搬送用永久磁石と、この複
数の搬送用永久磁石を自由に上下動させることの可能な
昇降機構とを備えたものである。
に、この発明の磁気浮上搬送装置は、低温部の開口部を
着脱自在な孔付きフランジで閉じ、そのフランジの孔に
接続細管を取付けることによって、その接続細管で低温
部と室温部とを繋ぎ、その低温部に熱伝導の良いガスを
封入するとともに、冷却装置からの冷媒により低温部を
冷却する中空の冷却容器と、この冷却容器の低温部を内
蔵する真空容器と、前記冷却容器の低温部内の支持基板
上に配設されたキャリア移動手段と、このキャリア移動
手段の作動により移動するキャリアと、このキャリアに
間隔をおいて取付けられた複数の高温超伝導体と、前記
冷却容器の室温部内に内蔵された駆動モータと、この駆
動モータと前記キャリア移動手段とを連結し、前記接続
細管内を貫通する熱伝導率の小さな中空のシャフトと、
前記冷却容器の低温部上方の真空容器内に配設された移
動自在な移動子と、前記高温超伝導体と同じ間隔で上記
移動子に取付けられた複数の搬送用永久磁石と、この複
数の搬送用永久磁石を自由に上下動させることの可能な
昇降機構とを備えたものである。
【００１２】
【作用】この発明においては、駆動モータを駆動させる
と、その回転を正しく伝えるキキャリア移動手段が作動
してキャリアが移動するようになっているので、移動子
の位置決め性能を向上させることができる。また、接続
細管で低温部と室温部とを繋いだうえ、その接続細管内
を熱伝導率の小さな中空のシャフトで貫通させるように
しているので、冷却容器の低温部に侵入する熱を低減す
ることができると共に、冷却容器の室温部内に駆動モー
タを内蔵させ、冷却容器の壁面に回転導入部がない構造
になっているので、冷却容器からのガス漏れがなくな
る。更に、低温部の開口部を着脱自在な孔付きフランジ
で閉じるような構成になっているので、支持基板上にキ
ャリア移動手段を取り付けてから、それらを冷却容器の
低温部内に配設し、その後、低温部の開口部を孔付きフ
ランジで閉じることができ、反対に、キャリア移動手段
が故障したときには、孔付きフランジを開けてから、キ
ャリア移動手段を引き出して、キャリア移動手段を修理
するようになる。そのため、真空容器内を大気に戻すこ
となく、キャリア移動手段の組み立ておよび修理が可能
になる。
と、その回転を正しく伝えるキキャリア移動手段が作動
してキャリアが移動するようになっているので、移動子
の位置決め性能を向上させることができる。また、接続
細管で低温部と室温部とを繋いだうえ、その接続細管内
を熱伝導率の小さな中空のシャフトで貫通させるように
しているので、冷却容器の低温部に侵入する熱を低減す
ることができると共に、冷却容器の室温部内に駆動モー
タを内蔵させ、冷却容器の壁面に回転導入部がない構造
になっているので、冷却容器からのガス漏れがなくな
る。更に、低温部の開口部を着脱自在な孔付きフランジ
で閉じるような構成になっているので、支持基板上にキ
ャリア移動手段を取り付けてから、それらを冷却容器の
低温部内に配設し、その後、低温部の開口部を孔付きフ
ランジで閉じることができ、反対に、キャリア移動手段
が故障したときには、孔付きフランジを開けてから、キ
ャリア移動手段を引き出して、キャリア移動手段を修理
するようになる。そのため、真空容器内を大気に戻すこ
となく、キャリア移動手段の組み立ておよび修理が可能
になる。
【００１３】
【実施例】以下、この発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。この発明の実施例の磁気浮上搬送装
置は図１に示されている。この図において、真空容器１
と断熱真空容器２とは隔壁３で仕切られ、更に、その隔
壁３にはそれを貫くように中空の冷却容器４の低温部４
ｂが取り付けられ、中空の冷却容器４が真空容器１と断
熱真空容器２とに亘って水平に配置されている。中空の
冷却容器４の低温部４ｂの開口部は着脱自在な孔付きフ
ランジ４ｃで閉じられ、そのフランジ４ｃの孔に接続細
管２２を取付けることによって、その接続細管２２で低
温部４ｂと室温部４ａとが繋がれている。したがって、
冷却容器４の室温部４ａは断熱真空容器２内に内蔵され
ている。一方、冷却容器４の低温部４ｂは真空容器１内
で真空断熱されている。冷却容器４内には熱伝導の良い
ガスが封入されていると共に、冷却装置５に接続され、
冷媒が循環流通する冷却パイプ６が内蔵されている。ま
た、冷却容器４内のキャリア７には２つの高温超伝導体
８ａ、８ｂが間隔をおいて取り付けられている。キャリ
ア７はボールネジ２３に取付けられ、そのボールネジ２
３は、接続細管２２内を貫通する熱伝導率の小さな中空
のシャフト２４を介して、冷却容器４の室温部４ａ内に
配設された駆動モータ９に連結されている。そして、キ
ャリア７はボールネジ２３の回転とともにリニアガイド
２５に沿って走行する。冷却容器４上方の真空容器１内
には冷却容器４と平行に移動自在な移動子１４が水平に
配設され、その移動子１４の一端部は搬送物（図示せ
ず）を載せる部分になっているが、他端部にはカウンタ
ーウエイト１５が取付られ、移動子１４のバランスがと
られている。また、移動子１４には、キャリア７に取付
られた高温超伝導体８ａ、８ｂと同じ間隔で２つの搬送
用永久磁石１６ａ、１６ｂが取付られている。２つの搬
送用永久磁石１６ａ、１６ｂは昇降機構１７ａ、１７ｂ
によって上下移動できるようになっている。更に、真空
容器１内には、冷却容器４の低温部４ｂおよび移動子１
４を囲むように熱シールド１８が配設されている。
しながら説明する。この発明の実施例の磁気浮上搬送装
置は図１に示されている。この図において、真空容器１
と断熱真空容器２とは隔壁３で仕切られ、更に、その隔
壁３にはそれを貫くように中空の冷却容器４の低温部４
ｂが取り付けられ、中空の冷却容器４が真空容器１と断
熱真空容器２とに亘って水平に配置されている。中空の
冷却容器４の低温部４ｂの開口部は着脱自在な孔付きフ
ランジ４ｃで閉じられ、そのフランジ４ｃの孔に接続細
管２２を取付けることによって、その接続細管２２で低
温部４ｂと室温部４ａとが繋がれている。したがって、
冷却容器４の室温部４ａは断熱真空容器２内に内蔵され
ている。一方、冷却容器４の低温部４ｂは真空容器１内
で真空断熱されている。冷却容器４内には熱伝導の良い
ガスが封入されていると共に、冷却装置５に接続され、
冷媒が循環流通する冷却パイプ６が内蔵されている。ま
た、冷却容器４内のキャリア７には２つの高温超伝導体
８ａ、８ｂが間隔をおいて取り付けられている。キャリ
ア７はボールネジ２３に取付けられ、そのボールネジ２
３は、接続細管２２内を貫通する熱伝導率の小さな中空
のシャフト２４を介して、冷却容器４の室温部４ａ内に
配設された駆動モータ９に連結されている。そして、キ
ャリア７はボールネジ２３の回転とともにリニアガイド
２５に沿って走行する。冷却容器４上方の真空容器１内
には冷却容器４と平行に移動自在な移動子１４が水平に
配設され、その移動子１４の一端部は搬送物（図示せ
ず）を載せる部分になっているが、他端部にはカウンタ
ーウエイト１５が取付られ、移動子１４のバランスがと
られている。また、移動子１４には、キャリア７に取付
られた高温超伝導体８ａ、８ｂと同じ間隔で２つの搬送
用永久磁石１６ａ、１６ｂが取付られている。２つの搬
送用永久磁石１６ａ、１６ｂは昇降機構１７ａ、１７ｂ
によって上下移動できるようになっている。更に、真空
容器１内には、冷却容器４の低温部４ｂおよび移動子１
４を囲むように熱シールド１８が配設されている。
【００１４】このような実施例のキャリア駆動機構の組
立においては、まず、高温超伝導体８ａ、８ｂを取付け
ているキャリア７と中空のシャフト２４とをボールネジ
２３に取付け、そして、このボールネジ２３と冷却パイ
プとを支持基板２６上に取付ける。次に、支持基板２６
を冷却容器４の低温部４ｂの開口部より挿入し、支持基
板２６を冷却容器４の低温部４ｂに固定する。その後、
その開口部を孔付きフランジ４ｃで閉じ、そのフランジ
４ｃの孔に接続細管２２を取付ける。最後に、駆動モー
タ９を中空のシャフト２４に連結し、冷却容器４の室温
部４ａを取付ける。
立においては、まず、高温超伝導体８ａ、８ｂを取付け
ているキャリア７と中空のシャフト２４とをボールネジ
２３に取付け、そして、このボールネジ２３と冷却パイ
プとを支持基板２６上に取付ける。次に、支持基板２６
を冷却容器４の低温部４ｂの開口部より挿入し、支持基
板２６を冷却容器４の低温部４ｂに固定する。その後、
その開口部を孔付きフランジ４ｃで閉じ、そのフランジ
４ｃの孔に接続細管２２を取付ける。最後に、駆動モー
タ９を中空のシャフト２４に連結し、冷却容器４の室温
部４ａを取付ける。
【００１５】ところで、このような実施例の装置を運転
する場合、まず、真空容器１内を真空にし、２つの搬送
用永久磁石１６ａ、１６ｂと、２つの高温超伝導体８
ａ、８ｂさせると共に、昇降機構１７ａ、１７ｂによ
り、２つの搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂを上下動さ
せ、移動子１４の冷却容器４と非接触となる所定の高さ
に保持し、２つの搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂが２つ
の高温超伝導体８ａ、８ｂに及ぶようにする。このよう
な状態下で、冷却装置５に接続された冷却パイプ６に冷
媒を循環流通させて、冷却容器４内の封入ガスを冷却
し、高温超伝導体８ａ、８ｂを超伝導臨界温度以下にな
るまで冷却する。
する場合、まず、真空容器１内を真空にし、２つの搬送
用永久磁石１６ａ、１６ｂと、２つの高温超伝導体８
ａ、８ｂさせると共に、昇降機構１７ａ、１７ｂによ
り、２つの搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂを上下動さ
せ、移動子１４の冷却容器４と非接触となる所定の高さ
に保持し、２つの搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂが２つ
の高温超伝導体８ａ、８ｂに及ぶようにする。このよう
な状態下で、冷却装置５に接続された冷却パイプ６に冷
媒を循環流通させて、冷却容器４内の封入ガスを冷却
し、高温超伝導体８ａ、８ｂを超伝導臨界温度以下にな
るまで冷却する。
【００１６】次に、昇降機構１７ａ、１７ｂにより、２
つの搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂを下降させて行く
と、高温超伝導体８ａ、８ｂが搬送用永久磁石１６ａ、
１６ｂに及ぼす浮上力と、搬送用永久磁石１６ａ、１６
ｂに取付けた移動子１４の荷重とが釣合い、高温超伝導
体８ａ、８ｂの反磁性効果とピン止め効果により搬送用
永久１６ａ、１６ｂが所定の高さで浮上し、冷却容器４
と非接触の状態になる。
つの搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂを下降させて行く
と、高温超伝導体８ａ、８ｂが搬送用永久磁石１６ａ、
１６ｂに及ぼす浮上力と、搬送用永久磁石１６ａ、１６
ｂに取付けた移動子１４の荷重とが釣合い、高温超伝導
体８ａ、８ｂの反磁性効果とピン止め効果により搬送用
永久１６ａ、１６ｂが所定の高さで浮上し、冷却容器４
と非接触の状態になる。
【００１７】その後、ボールネジ２３を駆動モータ９に
より駆動させ、キャリア７を水平に移動させると、キャ
リア７に取付けられた２つの高温超伝導体８ａ、８ｂも
水平に移動する。２つの高温超伝導体８ａ、８ｂの水平
移動により、搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂと共に、移
動子１４が位置精度よく水平移動し、搬送物の授受が行
なわれ、搬送物が搬送されるようになる。
より駆動させ、キャリア７を水平に移動させると、キャ
リア７に取付けられた２つの高温超伝導体８ａ、８ｂも
水平に移動する。２つの高温超伝導体８ａ、８ｂの水平
移動により、搬送用永久磁石１６ａ、１６ｂと共に、移
動子１４が位置精度よく水平移動し、搬送物の授受が行
なわれ、搬送物が搬送されるようになる。
【００１８】なお、上記実施例においては、中空のシャ
フト２４を使用しているが、これを使用せず、駆動モー
タ９をボールネジ２３に直結してもよい。また、リニア
ガイド２５を使用しているが、レール上をキャリア７が
移動できるようにしてもよい。更に、冷却パイプ６は支
持基板２６に取付けられているが、キャリア移動手段と
は別に冷却容器を挿入するようにしてもよい。更にその
上、高温超伝導体と搬送用永久磁石との数は２個である
が、これらをそれ以上の数にして、これらの組数を増加
してもよい。また、冷却装置５に冷凍機を用いてもよ
い。
フト２４を使用しているが、これを使用せず、駆動モー
タ９をボールネジ２３に直結してもよい。また、リニア
ガイド２５を使用しているが、レール上をキャリア７が
移動できるようにしてもよい。更に、冷却パイプ６は支
持基板２６に取付けられているが、キャリア移動手段と
は別に冷却容器を挿入するようにしてもよい。更にその
上、高温超伝導体と搬送用永久磁石との数は２個である
が、これらをそれ以上の数にして、これらの組数を増加
してもよい。また、冷却装置５に冷凍機を用いてもよ
い。
【００１９】
【発明の効果】この発明においては、駆動モータを駆動
させると、その回転を正しく伝えるキャリア移動手段が
作動してキャリアが移動するようになっているので、駆
動モータの回転が正しくキャリアに伝わり、キャリアお
よび移動子の位置決め性能を向上させることができる。
させると、その回転を正しく伝えるキャリア移動手段が
作動してキャリアが移動するようになっているので、駆
動モータの回転が正しくキャリアに伝わり、キャリアお
よび移動子の位置決め性能を向上させることができる。
【００２０】また、接続細管で低温部と室温部とを繋い
だうえ、その接続細管内を熱伝導率の小さな中空のシャ
フトで貫通させるようにしているので、冷却容器の低温
部に侵入する熱を低減することができ、高温超伝導体が
効率良く冷却される。
だうえ、その接続細管内を熱伝導率の小さな中空のシャ
フトで貫通させるようにしているので、冷却容器の低温
部に侵入する熱を低減することができ、高温超伝導体が
効率良く冷却される。
【００２１】更に、冷却容器の室温部内に駆動モータを
内蔵させているので、冷却容器の壁面に回転導入部がな
い構造になり、そのため、冷却容器からのガス漏れがな
く、安定した移動子の浮上および搬送が可能となり、断
熱真空容器部のコンパクト化が可能になる。
内蔵させているので、冷却容器の壁面に回転導入部がな
い構造になり、そのため、冷却容器からのガス漏れがな
く、安定した移動子の浮上および搬送が可能となり、断
熱真空容器部のコンパクト化が可能になる。
【００２２】更にその上、低温部の開口部を着脱自在な
孔付きフランジで閉じるような構成になっているので、
支持基板上にキャリア移動手段を取り付けてから、それ
らを冷却容器の低温部内に配設し、その後、低温部の開
口部を孔付きフランジで閉じることができ、反対に、キ
ャリア移動手段が故障したときには、孔付きフランジを
開けてから、キャリア移動手段を引き出して、キャリア
移動手段を修理するようになる。そのため、真空容器内
を大気に戻すことなく、キャリア移動手段の組み立てお
よび修理が可能になる。
孔付きフランジで閉じるような構成になっているので、
支持基板上にキャリア移動手段を取り付けてから、それ
らを冷却容器の低温部内に配設し、その後、低温部の開
口部を孔付きフランジで閉じることができ、反対に、キ
ャリア移動手段が故障したときには、孔付きフランジを
開けてから、キャリア移動手段を引き出して、キャリア
移動手段を修理するようになる。そのため、真空容器内
を大気に戻すことなく、キャリア移動手段の組み立てお
よび修理が可能になる。
【図１】この発明の実施例の説明図
【図２】図１のＡ−Ａ線よりみた断面説明図
【図３】従来の磁気浮上搬送装置の説明図
１・・・・・・真空容器 ２・・・・・・断熱真空容器 ３・・・・・・隔壁 ４・・・・・・冷却容器 ４ａ・・・・・冷却容器の室温部 ４ｂ・・・・・冷却容器の低温部 ４ｃ・・・・・孔付きフランジ ５・・・・・・冷却装置 ６・・・・・・冷却パイプ ７・・・・・・キャリア ８ａ、８ｂ・・・・・高温超伝導体 ９・・・・・・駆動モータ １０・・・・・駆動プーリ １１・・・・・従動プーリ １２・・・・・ベルト １３・・・・・レール １４・・・・・移動子 １５・・・・・カウンターウエイト １６ａ、１６ｂ・・・・・搬送用永久磁石 １７ａ、１７ｂ・・・・・昇降機構 １８・・・・・熱シールド １９・・・・・テンション調整機構 ２０・・・・・キャリア位置決め金具 ２１・・・・・温度計付きじゃま板 ２２・・・・・接続細管 ２３・・・・・ボールネジ ２４・・・・・シャフト ２５・・・・・リニアガイド ２６・・・・・支持板 ２７・・・・・固定ローラ ２８・・・・・テンションローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−107336（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−125249（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65G 54/00 - 54/02 B60L 13/02 - 13/10 B61B 13/08
Claims (1)
- 【請求項１】低温部の開口部を着脱自在な孔付きフラン
ジで閉じ、そのフランジの孔に接続細管を取付けること
によって、その接続細管で低温部と室温部とを繋ぎ、そ
の低温部に熱伝導の良いガスを封入するとともに、冷却
装置からの冷媒により低温部を冷却する中空の冷却容器
と、この冷却容器の低温部を内蔵する真空容器と、前記
冷却容器の低温部内の支持基板上に配設されたキャリア
移動手段と、このキャリア移動手段の作動により移動す
るキャリアと、このキャリアに間隔をおいて取付けられ
た複数の高温超伝導体と、前記冷却容器の室温部内に内
蔵された駆動モータと、この駆動モータと前記キャリア
移動手段とを連結し、前記接続細管内を貫通する熱伝導
率の小さな中空のシャフトと、前記冷却容器の低温部上
方の真空容器内に配設された移動自在な移動子と、前記
高温超伝導体と同じ間隔で上記移動子に取付けられた複
数の搬送用永久磁石と、この複数の搬送用永久磁石を自
由に上下動させることの可能な昇降機構とを備えた磁気
浮上搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17372493A JP3220297B2 (ja) | 1993-06-20 | 1993-06-20 | 磁気浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17372493A JP3220297B2 (ja) | 1993-06-20 | 1993-06-20 | 磁気浮上搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH077813A JPH077813A (ja) | 1995-01-10 |
| JP3220297B2 true JP3220297B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=15965972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17372493A Expired - Lifetime JP3220297B2 (ja) | 1993-06-20 | 1993-06-20 | 磁気浮上搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3220297B2 (ja) |
-
1993
- 1993-06-20 JP JP17372493A patent/JP3220297B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH077813A (ja) | 1995-01-10 |
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